TW201515789A - 產業用機器人 - Google Patents

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Yasuyuki Kitahara
Shigeyuki Kaino
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Nidec Sankyo Corp
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Abstract

本發明之目的在於提供一種產業用機器人，其係即便可於與搭載過特定之處理步驟之前之基板之手不同之手中搭載該處理步驟之後之基板，亦可簡化構成。 本發明之產業用機器人1包含：第1手11及第2手12，其等包含具有1個供搭載1片基板之基板搭載部20之第1手部21、與具有複數個基板搭載部20之第2手部22；第1機械臂13，其係將第1手11可轉動地連結於其前端側；第2機械臂14，其係將第2手12可轉動地連結於其前端側；及機械臂支持部15，其係將第1機械臂13之基端側及第2機械臂14之基端側可轉動地連結。於該產業用機器人1中，第1手部21與第2手部22可個別轉動，且第1機械臂13與第2機械臂14可個別轉動。

Description

產業用機器人
本發明係關於一種搬送半導體晶圓等之基板之產業用機器人。
先前，已知一種搬送半導體晶圓等之基板之產業用機器人(例如參照專利文獻1)。專利文獻1所記載之產業用機器人係例如設置於半導體之製造系統而使用。該產業用機器人具備：1個基板搭載機構，其係供搭載複數片基板；機械臂，其係可轉動地支持基板搭載機構之基端側；旋轉機構部，其係可轉動地支持機械臂之基端側；及本體部，其係將旋轉機構部支持為可於上下方向移動。基板搭載機構具備配置成以特定之間距於上下方向重疊之5個手叉，於該產業用機器人中，可於基板搭載機構同時搭載5片基板。因此，於該產業用機器人中，可同時搬送5片基板。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2010-179419號公報
如上所述，於專利文獻1所記載之產業用機器人中，由於可同時搬送5片基板，故於設置該產業用機器人之半導體之製造系統中，可提高生產性。另一方面，於半導體之製造系統中，亦有欲1片1片搬送基板之要求。然而，於專利文獻1所記載之產業用機器人中，難以僅 搬送1片基板。
又，於半導體之製造系統中，例如，有時進行基板之清洗，產業用機器人將清洗前之基板搬入至清洗裝置，或自清洗裝置搬出清洗後之基板。此處，有於搭載清洗前之基板之手叉，附著附著於清洗前之基板之塵埃等之虞。因此，當於搭載過清洗前之基板之手叉搭載清洗後之基板時，有搭載於手叉之清洗後之基板再次被污染之虞。因此，較佳為於與搭載清洗前之基板之手叉不同之手叉，搭載清洗後之基板。然而，於專利文獻1所記載之產業用機器人中，由於在1個基板搭載機構設置有5個手叉，故難以於與搭載清洗前之基板之基板搭載機構不同之基板搭載機構搭載清洗後之基板。
因此，本發明之課題在於提供一種可變更可同時搬送之基板之片數之產業用機器人。又，本發明之課題在於提供一種即便可於與搭載過特定之處理步驟之前之基板之手不同之手中搭載該處理步驟之後之基板，亦可簡化構成之產業用機器人。
為了解決上述問題，本發明之產業用機器人其特徵在於包含：第1手及第2手，其等具備具有1個供搭載1片基板之基板搭載部之第1手部與具有配置成以特定之間距於上下方向重疊之複數個基板搭載部之第2手部；第1機械臂，其係將第1手之第1手部及第2手部可轉動地連結於其前端側；第2機械臂，其係將第2手之第1手部及第2手部可轉動地連結於其前端側；機械臂支持部，其係將第1機械臂之基端側及第2機械臂之基端側可轉動地連結；柱部，其係將機械臂支持部保持為可於上下方向移動；第1手部轉動機構，其係使第1手之第1手部相對於第1機械臂轉動；第2手部轉動機構，其係使第1手之第2手部相對於第1機械臂轉動；第3手部轉動機構，其係使第2手之第1手部相對於第2機械臂轉動；第4手部轉動機構，其係使第2手之第2手部相對於第 2機械臂轉動；第1機械臂轉動機構，其係使第1機械臂相對於機械臂支持部轉動；及第2機械臂轉動機構，其係使第2機械臂相對於機械臂支持部轉動；且第1手之第1手部與第2手部係以相互於上下方向重疊之方式，並且，以使第1手之第1手部之轉動中心與第1手之第2手部之轉動中心一致之方式配置，第2手之第1手部與第2手部係以相互於上下方向重疊之方式，並且，以使第2手之第1手部之轉動中心與第2手之第2手部之轉動中心一致之方式配置，第1機械臂係安裝於機械臂支持部之上表面側，第2機械臂係安裝於機械臂支持部之下表面側，第1機械臂及第2機械臂係以使第1機械臂之轉動中心與第2機械臂之轉動中心一致之方式配置。
於本發明之產業用機器人中，第1手具備：第1手部，其具有1個基板搭載部；及第2手部，其具有複數個基板搭載部；且該第1手部及第2手部係可轉動地連結於第1機械臂。又，本發明之產業用機器人具備：第1手部轉動機構，其係使第1手之第1手部相對於第1機械臂轉動；及第2手部轉動機構，其係使第1手之第2手部相對於第1機械臂轉動；且第1手之第1手部與第2手部係以相互於上下方向重疊之方式，並且，以使第1手之第1手部之轉動中心與第1手之第2手部之轉動中心一致之方式配置。同樣地，於本發明中，第2手具備：第1手部，其具有1個基板搭載部；及第2手部，其具有複數個基板搭載部；且該第1手部及第2手部係可轉動地連結於第2機械臂。又，本發明之產業用機器人具備：第3手部轉動機構，其係使第2手之第1手部相對於第2機械臂轉動；及第4手部轉動機構，其係使第2手之第2手部相對於第2機械臂轉動；且第2手之第1手部與第2手部係以相互於上下方向重疊之方式，並且，以使第2手之第1手部之轉動中心與第2手之第2手部之轉動中心一致之方式配置。
因此，於本發明中，以可於第1手部與第2手部之兩者搭載基板 之方式，可重疊配置第1手部之基板搭載部與第2手部之基板搭載部，且以可僅於第1手部之基板搭載部搭載基板之方式，或以可僅於第2手部之基板搭載部搭載基板之方式，可錯開配置第1手部之基板搭載部與第2手部之基板搭載部。因此，於本發明中，可變更可同時搬送之基板之片數。
又，由於本發明之產業用機器人具備：第1手；第2手；第1機械臂，其係將第1手可轉動地連結；第2機械臂，其係將第2手可轉動地連結；第1機械臂轉動機構，其係使第1機械臂相對於機械臂支持部轉動；及第2機械臂轉動機構，其係使第2機械臂相對於機械臂支持部轉動；故可使第1手與第2手個別地動作。因此，於本發明中，例如，可將特定之處理步驟之前之基板搭載於第1手，並將該處理步驟之後之基板搭載於第2手，其結果，可於與搭載過特定之處理步驟之前之基板之手不同之手中，搭載該處理步驟之後之基板。又，於本發明中，由於將第1機械臂及第2機械臂安裝於共通之機械臂支持部，故與個別地設置有將第1機械臂之基端側可轉動地連結之機械臂支持部、與將第2機械臂之基端側可轉動地連結之機械臂支持部之情形相比，可簡化產業用機器人之構成。如此，於本發明中，即便可於與搭載過特定之處理步驟之前之基板之手不同之手中搭載該處理步驟之後之基板，亦可簡化產業用機器人之構成。
於本發明中，產業用機器人較佳為具備水平移動機構，其係使柱部於水平方向移動。若如此般構成，則可藉由產業用機器人，以更廣之範圍搬送基板。
於本發明中，例如，構成第1手部轉動機構之第1手部驅動馬達、及構成第2手部轉動機構之第2手部驅動馬達，係配置於第1機械臂之內部，構成第3手部轉動機構之第3手部驅動馬達、及構成第4手部轉動機構之第4手部驅動馬達，係配置於第2機械臂之內部。又，於 本發明中，例如，構成第1機械臂轉動機構之第1機械臂驅動馬達、及構成第2機械臂轉動機構之第2機械臂驅動馬達，係配置於機械臂支持部之內部。
於本發明中，較佳為於第1手之第1手部及第2手部，搭載特定之處理步驟之前之基板，於第2手之第1手部及第2手部，搭載處理步驟之後之基板。於本發明中，處理步驟係例如清洗基板之清洗步驟。於該情形時，由於在第1手搭載清洗步驟之前之基板，且於第2手搭載清洗步驟之後之基板，故可防止清洗後之基板再次被污染。
如以上所說明般，於本發明之產業用機器人中，可變更可同時搬送之基板之片數。又，於本發明之產業用機器人中，即便可於與搭載過特定之處理步驟之前之基板之手不同之手中搭載該處理步驟之後之基板，亦可簡化產業用機器人之構成。
1‧‧‧機器人(產業用機器人)
2‧‧‧晶圓(半導體晶圓、基板)
3‧‧‧製造系統
4‧‧‧盒
5‧‧‧交接台
11‧‧‧第1手
12‧‧‧第2手
13‧‧‧第1機械臂
14‧‧‧第2機械臂
15‧‧‧機械臂支持部
16‧‧‧柱部
17‧‧‧水平移動機構
20‧‧‧手叉(基板搭載部)
21‧‧‧第1手部
22‧‧‧第2手部
23‧‧‧叉保持部
24‧‧‧叉保持部
26‧‧‧馬達(第1手部驅動馬達)
27‧‧‧馬達(第2手部驅動馬達)
28‧‧‧滑輪
29‧‧‧滑輪
30‧‧‧滑輪保持構件
31‧‧‧滑輪
32‧‧‧皮帶
33‧‧‧滑輪保持構件
34‧‧‧滑輪
35‧‧‧皮帶
36‧‧‧第1手部轉動機構
37‧‧‧第2手部轉動機構
41‧‧‧滑輪
42‧‧‧皮帶
E‧‧‧部分
F‧‧‧部分
圖1係顯示將本發明之實施形態之產業用機器人配置於半導體之製造系統中之狀態之俯視圖。
圖2係圖1所示之產業用機器人之側視圖。
圖3係圖1之E部之放大圖。
圖4係用以說明圖2所示之第1手與第1機械臂之連結部分及第1機械臂與機械臂支持部之連結部分之圖。
圖5係圖4之F部之放大圖。
圖6係圖4所示之第1手及第1機械臂之俯視圖。
圖7係顯示圖4所示之第1手搬送1片半導體晶圓時之狀態之俯視圖。
以下，一面參照圖式，一面說明本發明之實施形態。
(產業用機器人之構成)
圖1係顯示將本發明之實施形態之產業用機器人1配置於半導體之製造系統3中之狀態之俯視圖。圖2係圖1所示之產業用機器人1之側視圖。圖3係圖1之E部之放大圖。圖4係用以說明圖2所示之第1手11與第1機械臂13之連結部分及第1機械臂13與機械臂支持部15之連結部分之圖。圖5係圖4之F部之放大圖。圖6係圖4所示之第1手11及第1機械臂13之俯視圖。圖7係顯示圖4所示之第1手11搬送1片半導體晶圓2時之狀態之俯視圖。
本形態之產業用機器人1(以下稱為「機器人1」)係用以搬送作為基板之半導體晶圓2(以下稱為「晶圓2」)之機器人。該機器人1係如圖1所示，配置於半導體之製造系統3而使用，且於盒4與交接台5之間搬送晶圓2。於盒4中，以特定之間距積層而收容有複數片晶圓2。於製造系統3中，可安裝複數個盒4。交接台5收容有搬入至進行特定之處理步驟之處理裝置(省略圖示)之晶圓2、或自處理裝置搬出之晶圓2。於交接台5，以特定之間距積層而收容有複數片晶圓2。另，於圖1中，於製造系統3中設置有1個交接台5，但亦可將2個以上之交接台5設置於製造系統3。
機器人1具備：第1手11及第2手12之2個手，其等搭載晶圓2；第1機械臂13，其係將第1手11可轉動地連結於其前端側；第2機械臂14，其係將第2手12可轉動地連結於其前端側；機械臂支持部15，其係將第1機械臂13之基端側及第2機械臂14之基端側可轉動地連結；及柱部16，其係將機械臂支持部15保持為可於上下方向移動。又，機器人1具備水平移動機構17，其係使柱部16於水平方向移動。
第1手11係安裝於第1機械臂13之上表面側，且配置於第1機械臂13之上側。第2手12係安裝於第2機械臂14之下表面側，且配置於第2機械臂14之下側。第1機械臂13係安裝於機械臂支持部15之上表面 側，且配置於機械臂支持部15之上側。第2機械臂14係安裝於機械臂支持部15之下表面側，且配置於機械臂支持部15之下側。第1機械臂13及第2機械臂14係以使第1機械臂13相對於機械臂支持部15之轉動中心、與第2機械臂14相對於機械臂支持部15之轉動中心一致之方式配置。
第1手11具備：第1手部21，其具有1個作為搭載1片晶圓2之基板搭載部之手叉20；及第2手部22，其具有配置成以特定之間距於上下方向重疊之複數個手叉20。本形態之第2手部22具備4個手叉20。第1手部21及第2手部22係可轉動地連結於第1機械臂13之前端側。如上所述，第1手11係配置於第1機械臂13之上側。即，第1手11之第1手部21及第2手部22係配置於第1機械臂13之上側。
手叉20係形成為大致U形狀。第1手部21具備供固定1個手叉20之叉保持部23。第2手部22具備供固定4個手叉20之叉保持部24。叉保持部23與叉保持部24係以自上下方向觀察時之形狀成為相同形狀之方式形成。
第1手部21與第2手部22係以使第1手部21相對於第1機械臂13之轉動中心、與第2手部22相對於第1機械臂13之轉動中心一致之方式配置。又，第1手部21與第2手部22係以相互於上下方向重疊之方式配置。於本形態中，第1手部21係配置於第2手部22之下側。第2手部22之配置於最下側之手叉20與第1手部21之手叉20之上下方向之間距係與第2手部22之4個手叉20之上下方向之間距相等。
第1機械臂13係形成為中空狀。於第1機械臂13之內部，配置有用以使第1手部21相對於第1機械臂13轉動之馬達26、與用以使第2手部22相對於第1機械臂13轉動之馬達27。馬達26與馬達27係以使其輸出軸之軸向於上下方向一致之方式配置。於馬達26之輸出軸，固定有滑輪28，於馬達27之輸出軸，固定有滑輪29。滑輪28係配置於較滑輪 29更上側。本形態之馬達26係第1手部驅動馬達，馬達27係第2手部驅動馬達。
於第1手部21之基端側之下表面(即，叉保持部23之基端側之下表面)，如圖5所示，固定有圓環狀之滑輪保持構件30之上端面。於滑輪保持構件30之下端面，固定有滑輪31。滑輪保持構件30及滑輪31係可旋轉地保持於第1機械臂31之前端側。於滑輪28與滑輪31，架設有皮帶32。
於第2手部22之基端側之下表面(即，叉保持部24之基端側之下表面)，如圖5所示，固定有大致圓筒狀之滑輪保持構件33之上端面。滑輪保持構件33之下端側係配置於滑輪保持構件30及滑輪31之內周側。於滑輪保持構件33之下端面，固定有滑輪34。滑輪34係配置於滑輪31之下側。滑輪保持構件33及滑輪34係可旋轉地保持於滑輪31。於滑輪29與滑輪34，架設有皮帶35。
於本形態中，藉由馬達26、滑輪28、31、皮帶32及滑輪保持構件30等，構成使第1手部21相對於第1機械臂13轉動之第1手部轉動機構36。又，藉由馬達27、滑輪29、34、皮帶35及滑輪保持構件33等，構成使第2手部22相對於第1機械臂13轉動之第2手部轉動機構37。
第2手12係藉由使第1手11之構成要素上下反轉而構成。意即，第2手12具備：第1手部21；及第2手部22，其係配置於第1手部21之下側。第2手12之第1手部21及第2手部22係配置於第2機械臂14之下側，且可轉動地連結於第2機械臂14之前端側。又，第2手12之第1手部21與第2手部22係以相互於上下方向重疊之方式，並且，以使第1手部21相對於第2機械臂14之轉動中心、與第2手部22相對於第2機械臂14之轉動中心一致之方式配置。
第2機械臂14係藉由使第1機械臂13之構成要素上下反轉而構成。又，機器人1具備：第3手部轉動機構(省略圖示)，其係使第2手 12之第1手部21相對於第2機械臂14轉動；及第4手部轉動機構(省略圖示)，其係使第2手12之第2手部22相對於第2機械臂14轉動。第3手部轉動機構係藉由使第1手部轉動機構36之構成要素上下反轉而構成，且具備用於使第2手12之第1手部21相對於第2機械臂14轉動之第3手部驅動馬達。又，第4手部轉動機構係藉由使第2手部轉動機構37之構成要素上下反轉而構成，且具備用於使第2手12之第2手部22相對於第2機械臂14轉動之第4手部驅動馬達。第3手部驅動馬達及第4手部驅動馬達，係配置於形成為中空狀之第2機械臂14之內部。
機械臂支持部15係形成為中空狀。於機械臂支持部15之內部，配置有用以使第1機械臂13相對於機械臂支持部15轉動之第1機械臂驅動馬達(省略圖示)。於第1機械臂13之基端側之下表面，如圖4所示，經由特定之構件固定有滑輪41。滑輪41係可轉動地保持於機械臂支持部15。於固定於第1機械臂驅動馬達之輸出軸之滑輪與滑輪41，架設有皮帶42。於本形態中，藉由第1機械臂驅動馬達、滑輪41及皮帶42等構成使第1機械臂13相對於機械臂支持部15轉動之第1機械臂轉動機構。
又，機器人1具備第2機械臂轉動機構(省略圖示)，其係使第2機械臂14相對於機械臂支持部15轉動。第2機械臂轉動機構係藉由使第1機械臂轉動機構之構成要素上下反轉而構成，且具備用於使第2機械臂14相對於機械臂支持部15轉動之第2機械臂驅動馬達。第2機械臂驅動馬達係配置於形成為中空狀之機械臂支持部15之內部。
柱部16係形成為於上下方向細長之柱狀。於柱部16，形成有於上下方向引導機械臂支持部15之引導部(省略圖示)。又，機器人1具備使機械臂支持部15沿著柱部16上下移動之上下驅動機構(省略圖示)，使機械臂支持部15可於上下方向移動。
水平移動機構17具備：固定構件(省略圖示)，其固定柱部16之下 端側；引導部(省略圖示)，其係於水平方向引導該固定構件；及驅動機構(省略圖示)，其係使固定構件於水平方向移動。水平移動機構17係如圖1所示，使柱部16移動於排列於特定方向之複數個盒4之排列方向。
於如以上所述般構成之機器人1中，藉由第1手11之轉動、第1機械臂13之轉動、機械臂支持部15之上下移動、及柱部16之水平移動之組合，第1手11於盒4與交接台5之間搬送晶圓2。又，藉由第2手12之轉動、第2機械臂14之轉動、機械臂支持部15之上下移動、及柱部16之水平移動之組合，第2手12於盒4與交接台5之間搬送晶圓2。
於本形態中，可藉由第1手11及第2手12，同時搬送5片晶圓2，及僅搬送1片晶圓2。於同時搬送5片晶圓2之情形時，如圖6所示，於以使第1手部21之手叉20與第2手部22之4個手叉20於上下方向重疊之方式配置之狀態下，機器人1動作。如此一來，藉由第1手部21之1個手叉20與第2手部22之4個手叉20搬送5片晶圓2。另一方面，於僅搬送1片晶圓2之情形時，如圖7所示，於第1手部21之手叉20與第2手部22之4個手叉20錯開之狀態下，機器人1動作。如此一來，藉由第1手部21之1個手叉20僅搬送1片晶圓2。
又，於本形態中，藉由第1手11搬送特定之處理步驟之前之晶圓2，藉由第2手12搬送該處理步驟之後之晶圓2。即，於第1手11之第1手部21及第2手部22，搭載特定之處理步驟之前之晶圓2，於第2手12之第1手部21及第2手部22，搭載該處理步驟之後之晶圓2。具體而言，於第1手11之第1手部21及第2手部22，搭載清洗步驟之前之晶圓2，於第2手12之第1手部21及第2手部22，搭載清洗步驟之後之晶圓2。
另，亦可於第2手12之第1手部21及第2手部22搭載特定之處理步驟之前之晶圓2，於第1手11之第1手部21及第2手部22搭載該處理步驟 之後之晶圓2。即，亦可於第2手12之第1手部21及第2手部22搭載清洗步驟之前之晶圓2，於第1手11之第1手部21及第2手部22搭載清洗步驟之後之晶圓2。又，於交接台5中，劃定搭載處理步驟之前之晶圓2之部分、與搭載處理步驟之後之晶圓2之部分。
(本形態之主要效果)
如以上所說明般，於本形態中，第1手11具備具有1個手叉20之第1手部21、與具有4個手叉20之第2手部22，第1手部21及第2手部22係可轉動地連結於第1機械臂13。又，於本形態中，第1手11之第1手部21與第2手部22係以相互於上下方向重疊之方式，並且，以使第1手部21相對於第1機械臂13之轉動中心、與第2手部22相對於第1機械臂13之轉動中心一致之方式配置。再者，本形態之機器人1具備：第1手部轉動機構36，其係使第1手11之第1手部21相對於第1機械臂13轉動；及第2手部轉動機構37，其係使第1手11之第2手部22相對於第1機械臂13轉動。
同樣地，於本形態中，第2手12具備第1手部21與第2手部22，第1手部21及第2手部22係可轉動地連結於第2機械臂14。又，於本形態中，第2手12之第1手部21與第2手部22係以相互於上下方向重疊之方式，並且，以使第1手部21相對於第2機械臂14之轉動中心、與第2手部22相對於第2機械臂14之轉動中心一致之方式配置。再者，本形態之機器人1具備：第3手部轉動機構，其係使第2手12之第1手部21相對於第2機械臂14轉動；及第4手部轉動機構，其係使第2手12之第2手部22相對於第2機械臂12轉動。
因此，於本形態中，如上所述，若於以使第1手部21之1個手叉20與第2手部22之4個手叉20於上下方向重疊之方式配置之狀態下，使機器人1動作，則可同時搬送5片晶圓2。又，於本形態中，若於第1手部21之1個手叉20與第2手部22之4個手叉20錯開之狀態下，使機器人1 動作，則可僅搬送1片晶圓2。即，於本形態中，可變更可同時搬送之晶圓2之片數。
於本形態中，機器人1具備：第1手11；第2手12；第1機械臂13，其係將第1手11可轉動地連結；第2機械臂14，其係將第2手12可轉動地連結；第1機械臂轉動機構，其係使第1機械臂13相對於機械臂支持部15轉動；及第2機械臂轉動機構，其係使第2機械臂14相對於機械臂支持部15轉動。因此，於本形態中，可使第1手11與第2手12個別地動作。因此，於本形態中，如上所述，可於第1手11之第1手部21及第2手部22搭載特定之處理步驟之前之晶圓2，於第2手12之第1手部21及第2手部22搭載該處理步驟之後之晶圓2。例如，可於第1手11之第1手部21及第2手部22搭載清洗步驟之前之晶圓2，於第2手12之第1手部21及第2手部22搭載清洗步驟之後之晶圓2。其結果，於本形態中，可防止清洗後之晶圓2再次被污染。
又，於本形態中，由於將第1機械臂13及第2機械臂14安裝於共通之機械臂支持部15，故與個別地設置有將第1機械臂13之基端側可轉動地連結之機械臂支持部、與將第2機械臂14之基端側可轉動地連結之機械臂支持部之情形相比，可簡化機器人1之構成。即，於本形態中，即便可於與搭載過特定之處理步驟之前之晶圓2之第1手11不同之第2手12中搭載該處理步驟之後之晶圓2，亦可簡化機器人1之構成。
(其他實施形態)
上述之形態係本發明之較佳之形態之一例，並非限定於此，可於不變更本發明之主旨之範圍內進行各種變化實施。
於上述之形態中，於第1手11之第1手部21及第2手部22搭載清洗步驟之前之晶圓2，且於第2手12之第1手部21及第2手部22搭載清洗步驟之後之晶圓2。除此以外，例如，亦可於第1手11之第1手部21及第2 手部22搭載熱處理步驟之前之溫度較低之晶圓2，於第2手12之第1手部21及第2手部22搭載熱處理步驟之後之溫度較高之晶圓2。於該情形時，第2手12之第1手部21及第2手部22必須以耐熱材料形成，但可不以耐熱材料形成第1手11之第1手部21及第2手部22。因此，可降低機器人1之成本。
於上述之形態中，於第1手部21之1個手叉20與第2手部22之4個手叉20錯開之狀態下，使機器人1動作，藉由第1手部21之1個手叉20僅搬送1片晶圓2。除此以外，例如，亦可於第1手部21之1個手叉20與第2手部22之4個手叉20錯開之狀態下，使機器人1動作，藉由第2手部22之4個手叉20搬送4片晶圓2。
於上述之形態中，第2手部22具備4個手叉20。除此以外，例如，第2手部22具備之手叉20之數量可為2個或3個，亦可為5個以上。又，於上述之形態中，第1機械臂13及第2機械臂14不具備關節部，但第1機械臂13及第2機械臂14亦可具備關節部。即，第1機械臂13及第2機械臂14亦可藉由經由關節部連結之複數個機械臂部構成。
於上述之形態中，機械臂支持部15可將上下方向作為轉動之軸向而相對於柱部16轉動。又，於上述之形態中，藉由機器人1搬送之基板為晶圓2，但藉由機器人1搬送之基板亦可為液晶顯示器用之玻璃基板等。
1‧‧‧機器人(產業用機器人)
11‧‧‧第1手
12‧‧‧第2手
13‧‧‧第1機械臂
14‧‧‧第2機械臂
15‧‧‧機械臂支持部
16‧‧‧柱部
17‧‧‧水平移動機構
20‧‧‧手叉(基板搭載部)
21‧‧‧第1手部
22‧‧‧第2手部
23‧‧‧叉保持部
24‧‧‧叉保持部

Claims (10)

  1. 一種產業用機器人，其特徵在於包含：第1手及第2手，其等包含具有1個供搭載1片基板之基板搭載部之第1手部、與具有配置成以特定之間距於上下方向重疊之複數個上述基板搭載部之第2手部；第1機械臂，其係將上述第1手之上述第1手部及上述第2手部可轉動地連結於其前端側；第2機械臂，其係將上述第2手之上述第1手部及上述第2手部可轉動地連結於其前端側；機械臂支持部，其係將上述第1機械臂之基端側及上述第2機械臂之基端側可轉動地連結；柱部，其係將上述機械臂支持部保持為可於上下方向移動；第1手部轉動機構，其係使上述第1手之上述第1手部相對於上述第1機械臂轉動；第2手部轉動機構，其係使上述第1手之上述第2手部相對於上述第1機械臂轉動；第3手部轉動機構，其係使上述第2手之上述第1手部相對於上述第2機械臂轉動；第4手部轉動機構，其係使上述第2手之上述第2手部相對於上述第2機械臂轉動；第1機械臂轉動機構，其係使上述第1機械臂相對於上述機械臂支持部轉動；及第2機械臂轉動機構，其係使上述第2機械臂相對於上述機械臂支持部轉動；且上述第1手之上述第1手部與上述第2手部係以相互於上下方向重疊之方式，並且，以使上述第1手之上述第1手部之轉動中心與上述第1手之上述第2手部之轉動中心一致之方式配置；上述第2手之上述第1手部與上述第2手部係以相互於上下方向重疊之方式，並且，以使上述第2手之上述第1手部之轉動中心與上述第2手之上述第2手部之轉動中心一致之方式配置；上述第1機械臂係安裝於上述機械臂支持部之上表面側； 上述第2機械臂係安裝於上述機械臂支持部之下表面側；上述第1機械臂及上述第2機械臂，係以使上述第1機械臂之轉動中心與上述第2機械臂之轉動中心一致之方式配置。
  2. 如請求項1之產業用機器人，其中包含水平移動機構，該水平移動機構係使上述柱部於水平方向移動。
  3. 如請求項1之產業用機器人，其中構成上述第1手部轉動機構之第1手部驅動馬達、及構成上述第2手部轉動機構之第2手部驅動馬達，係配置於上述第1機械臂之內部；且構成上述第3手部轉動機構之第3手部驅動馬達、及構成上述第4手部轉動機構之第4手部驅動馬達，係配置於上述第2機械臂之內部。
  4. 如請求項2之產業用機器人，其中構成上述第1手部轉動機構之第1手部驅動馬達、及構成上述第2手部轉動機構之第2手部驅動馬達，係配置於上述第1機械臂之內部；且構成上述第3手部轉動機構之第3手部驅動馬達、及構成上述第4手部轉動機構之第4手部驅動馬達，係配置於上述第2機械臂之內部。
  5. 如請求項1之產業用機器人，其中構成上述第1機械臂轉動機構之第1機械臂驅動馬達、及構成上述第2機械臂轉動機構之第2機械臂驅動馬達，係配置於上述機械臂支持部之內部。
  6. 如請求項2之產業用機器人，其中構成上述第1機械臂轉動機構之第1機械臂驅動馬達、及構成上述第2機械臂轉動機構之第2機械臂驅動馬達，係配置於上述機械臂支持部之內部。
  7. 如請求項3之產業用機器人，其中構成上述第1機械臂轉動機構之第1機械臂驅動馬達、及構成上述第2機械臂轉動機構之第2機械臂驅動馬達，係配置於上述機械臂支持部之內部。
  8. 如請求項4之產業用機器人，其中構成上述第1機械臂轉動機構之第1機械臂驅動馬達、及構成上述第2機械臂轉動機構之第2機械臂驅動馬達，係配置於上述機械臂支持部之內部。
  9. 如請求項1至8中任一項之產業用機器人，其中於上述第1手之上述第1手部及上述第2手部，搭載特定之處理步驟之前之上述基板；且於上述第2手之上述第1手部及上述第2手部，搭載上述處理步驟之後之上述基板。
  10. 如請求項9之產業用機器人，其中上述處理步驟係清洗上述基板之清洗步驟。
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