CN104552301A - 工业用机器人 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种即使加快动作速度也能够抑制搬运对象物的搬运精度的下降的工业用机器人。在本工业用机器人中，从Y方向观察时，驱动手部支承部件(5)的第一驱动机构的驱动力作用于手部支承部件(5)的第一作用位置(F1)位于依靠第一驱动机构的驱动力向Y方向移动的部分的重心(G1)的下侧，驱动手部支承部件(6)的第二驱动机构的驱动力作用于手部支承部件(6)的第二作用位置(F2)位于依靠第二驱动机构的驱动力向Y方向移动的部分的重心(G2)的下侧，驱动臂部(7)的第三驱动机构的驱动力作用于臂部(7)的第三作用位置(F3)位于依靠第三驱动机构的驱动力向Y方向移动的部分的重心(G3)的下侧。

Description

工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种搬运规定的搬运对象物的工业用机器人。

背景技术

以往，公知一种搬运液晶显示器用的玻璃基板等基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具有供基板装载的上叉以及下叉、上叉固定在其上的第一移动体、下叉固定在其上的第二移动体、将第一移动体以及第二移动体保持为能够移动的共通基部、以及将共通基部保持为能够移动的基部。第一移动体以及第二移动体能够相对于共通基部沿水平方向直线地往复移动。并且，第一移动体与第二移动体能够相对于共通基部向相同的方向往复移动。共通基部能够相对于基部沿水平方向直线地往复移动。并且，共通基部能够向与第一移动体以及第二移动体相对于共通基部的移动方向相同的方向相对于基部往复移动。

并且，专利文献1所记载的工业用机器人具有用于往复驱动第一移动体的第一驱动部、用于往复驱动第二移动体的第二驱动部、以及用于往复驱动共通基部的第三驱动部。第一驱动部具有固定于共通基部的马达、能够旋转地保持于共通基部并且依靠马达的动力旋转的滚珠丝杠、以及固定于第一移动体并且与滚珠丝杠螺合的球状螺母。第二驱动部具有固定于共通基部的马达、能够旋转地保持于共通基部并且依靠马达的动力旋转的滚珠丝杠、以及固定于第二移动体并且与滚珠丝杠螺合的球状螺母。第三驱动部具有固定于基部的马达、能够旋转地保持于基部并且依靠马达的动力旋转的滚珠丝杠、以及固定于共通基部并且与滚珠丝杠螺合的球状螺母。

在专利文献1所记载的工业用机器人中，在搬运基板时，第一移动体或者第二移动体相对于共通基部直线地相对移动，且共通基部向与第一移动体或者第二移动体相对于共通基部的相对移动方向相同的方向相对于基部直线地相对移动。此时，通过直线导轨引导第一移动体、第二移动体以及共通基部。

专利文献1：特开平11-238775号外报

近年来，为了提高设置有搬运基板的工业用机器人的基板制造系统的生产效率，要求工业用机器人的动作高速化。在专利文献1所记载的工业用机器人中，由于使用滚珠丝杠和球状螺母来驱动第一移动体、第二移动体以及共通基部，因此在第一移动体、第二移动体以及共通基部移动时，产生以滚珠丝杠为中心的力矩。因此，在该工业用机器人中，若第一移动体、第二移动体以及共通基部的移动速度加快，则存在有在第一移动体、第二移动体以及共通基部产生较大振动的风险。若在第一移动体、第二移动体以及共通基部产生较大振动，则存在装载有基板的上叉和下叉的动作变得不稳定，而导致基板的搬运精度下降的风险。

发明内容

在此，本发明的课题在于提供一种即使加快动作速度也能够抑制搬运对象物的搬运精度下降的工业用机器人。

为了解决上述课题，本发明的工业用机器人具有：第一手部以及第二手部，搬运对象物装载于所述第一手部以及第二手部；第一手部支承部件，第一手部固定于所述第一手部支承部件；第二手部支承部件，第二手部固定于所述第二手部支承部件；臂部，其将第一手部支承部件与第二手部支承部件保持为能够沿水平方向上的相同方向直线地往复移动；臂部支承部件，其将臂部保持为能够向与第一手部支承部件以及第二手部支承部件相对于臂部的移动方向相同的方向直线地往复移动；第一驱动机构，其使第一手部支承部件相对于臂部往复移动；第二驱动机构，其使第二手部支承部件相对于臂部往复移动；以及第三驱动机构，其使臂部相对于臂部支承部件往复移动，若以第一手部支承部件、第二手部支承部件以及臂部的移动方向为第一方向，则从第一方向观察时，第一手部与第二手部以在上下方向相互重叠的方式配置，且从第一方向观察时，第一驱动机构对第一手部支承部件施加的驱动力所作用的第一作用位置位于依靠第一驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的重心的下侧，第二驱动机构对第二手部支承部件施加的驱动力所作用的第二作用位置位于依靠第二驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的重心的下侧，第三驱动机构对臂部施加的驱动力所作用的第三作用位置位于依靠第三驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的重心的下侧。

在本发明的工业用机器人中，从作为第一手部支承部件、第二手部支承部件以及臂部的移动方向的第一方向观察时，使第一手部支承部件往复移动的第一驱动机构的驱动力作用于第一手部支承部件的第一作用位置位于依靠第一驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的重心的下侧，使第二手部支承部件往复移动的第二驱动机构的驱动力作用于第二手部支承部件的第二作用位置位于依靠第二驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的重心的下侧，使臂部往复移动的第三驱动机构的驱动力作用于臂部的第三作用位置位于依靠第三驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的重心的下侧。因此，在本发明中，能够抑制包括第一手部且依靠第一驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的以从第一方向观察时的第一作用位置为中心的力矩的产生、包括第二手部且依靠第二驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的以从第一方向观察时的第二作用位置为中心的力矩的产生、以及包括第一手部以及第二手部且依靠第三驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的以从第一方向观察时的第三作用位置为中心的力矩的产生。因此，在本发明中，即使加快工业用机器人的动作速度，也能够抑制供搬运对象物装载的第一手部以及第二手部的振动，从而能够抑制搬运对象物的搬运精度的下降。

在本发明中，例如，第一驱动机构具有：第一螺钉部件，其形成有外螺纹且能够旋转地保持于臂部；以及第一螺母部件，其形成有与第一螺钉部件的外螺纹卡合的内螺纹且固定于第一手部支承部件，第二驱动机构具有：第二螺钉部件，其形成有外螺纹且能够旋转地保持于臂部；以及第二螺母部件，其形成有与第二螺钉部件的外螺纹卡合的内螺纹且固定于第二手部支承部件，第一作用位置为第一螺钉部件的外螺纹与第一螺母部件的内螺纹之间的卡合位置，第二作用位置为第二螺钉部件的外螺纹与第二螺母部件的内螺纹之间的卡合位置。

并且，在本发明中，例如，第三驱动机构具有：第三螺钉部件，其形成有外螺纹且能够旋转地保持于臂部以及臂部支承部件中的任意一方；以及第三螺母部件，其形成有与第三螺钉部件的外螺纹卡合的内螺纹且固定于臂部以及臂部支承部件中的任意另一方，第三作用位置为第三螺钉部件的外螺纹与第三螺母部件的内螺纹之间的卡合位置。

在本发明中，例如工业用机器人具有用于向第一方向引导第一手部支承部件的第一导轨以及第一导块、用于向第一方向引导第二手部支承部件的第二导轨以及第二导块，若以与上下方向和第一方向正交的方向为第二方向、以第二方向的一方为第三方向、以第二方向的另一方为第四方向，则第一导轨固定在臂部的第三方向侧的侧面，第二导轨固定在臂部的第四方向侧的侧面，第一螺钉部件沿臂部的第三方向侧的侧面配置，第二螺钉部件沿臂部的第四方向侧的侧面配置。此时，能够使第一螺钉部件与第二螺钉部件之间的第二方向上的距离靠近。

在本发明中，优选第一驱动机构具有使第一螺钉部件旋转的第一马达，第二驱动机构具有使第二螺钉部件旋转的第二马达，第一马达固定在臂部的第一方向的一端侧，第二马达固定在臂部的第一方向的另一端侧，且第一马达以及第二马达以在从第一方向观察时第一马达的旋转中心与第二马达的旋转中心一致的方式配置，且从第一方向观察时，第一马达的旋转中心以及第二马达的旋转中心位于第三作用位置的上侧，且第一马达的旋转中心与第一螺钉部件的轴心之间的第二方向上的距离同第二马达的旋转中心与第二螺钉部件的轴心之间的第二方向上的距离相等。如此构成的话，则在第二方向上，能够容易地使依靠第三驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的重心与第三作用位置一致。

在本发明中，例如，第三驱动机构具有：第三螺钉部件，其形成有外螺纹且能够旋转地保持于臂部以及臂部支承部件中的任意一方；第三螺母部件，其形成有与第三螺钉部件的外螺纹卡合的内螺纹且固定于臂部以及臂部支承部件中的任意另一方；以及第三马达，其使第三螺钉部件旋转，第三马达以在从第一方向观察时第三马达的旋转中心与第三螺钉部件的轴心一致的方式配置。

在本发明中，优选从第一方向观察时，第一手部配置在第二手部的下侧，臂部配置在第一手部的下侧，若以与上下方向和第一方向正交的方向为第二方向，以第二方向的一方为第三方向，以第二方向的另一方为第四方向，则第一手部支承部件配置在臂部的第三方向侧且在比第一作用位置靠第三方向侧的位置与第一手部相连，第二手部支承部件配置在臂部以及第一手部的第四方向侧且在比第二作用位置靠第四方向侧的位置与第二手部相连。即，优选第一手部被第一手部支承部件单侧支承，第二手部被第二手部支承部件单侧支承。如此构成的话，则与第一手部被第一手部支承部件两侧支承，第二手部被第二手部支承部件两侧支承时相比，能够使第一手部支承部件以及第二手部支承部件轻量化。

另外，与第一手部被第一手部支承部件两侧支承，第二手部被第二手部支承部件两侧支承时相比，第一手部被第一手部支承部件单侧支承，第二手部被第二手部支承部件单侧支承时，容易产生依靠第一驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的以从第一方向观察时的第一作用位置为中心的力矩、以及依靠第二驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的以从第一方向观察时的第二作用位置为中心的力矩，但在本发明中，如上所述，能够抑制这些力矩的产生。

如上所述，在本发明的工业用机器人中，即使加快其动作速度，也能够抑制搬运对象物的搬运精度的下降。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。

图2是从图1的E-E方向示出工业用机器人的图。

图3是从图1的H-H方向示出工业用机器人的关键部位的图。

图4是用于从上表面说明图1所示的臂部的内部结构以及其周边部分的结构的图。

图5是用于从图4的J-J方向说明臂部的内部结构以及其周边部分的结构的图。

图6是用于从图5的K-K方向说明臂部的周边部分的结构的图。

图7是用于从图5的L-L方向说明第一手部支承部件以及第二手部支承部件等结构的图。

图8(A)、8(B)、8(C)是用于说明图2所示的第一手部、第二手部以及臂部的概略动作的图。

(符号说明)

1  机器人(工业用机器人)

2  基板(玻璃基板、搬运对象物)

3  手部(第一手部)

4  手部(第二手部)

5  手部支承部件(第一手部支承部件)

6  手部支承部件(第二手部支承部件)

7  臂部

11 臂部支承部件

21 第一驱动机构

22 第二驱动机构

23 第三驱动机构

27 导轨(第一导轨)

28 导轨(第二导轨)

30 导块(第一导块)

31 导块(第二导块)

36 螺钉部件(第一螺钉部件)

37 螺母部件(第一螺母部件)

38 马达(第一马达)

41 螺钉部件(第二螺钉部件)

42 螺母部件(第二螺母部件)

43 马达(第二马达)

46 螺钉部件(第三螺钉部件)

47 螺母部件(第三螺母部件)

48 马达(第三马达)

D1 第一马达的旋转中心与第一螺钉部件的轴心之间的第二方向上的距离

D2 第二马达的旋转中心与第二螺钉部件的轴心之间的第二方向上的距离

F1 第一作用位置

F2 第二作用位置

F3 第三作用位置

G1 依靠第一驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的重心

G2 依靠第二驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的重心

G3 依靠第三驱动机构的驱动力向第一方向移动的部分的重心

X  第二方向

X1 第四方向

X2 第三方向

Y  第一方向

Z  上下方向

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

(工业用机器人的概略结构)

图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1的俯视图。图2是从图1的E-E方向示出工业用机器人1的图。图3是从图1的H-H方向示出工业用机器人1的关键部位的图。另外，在以下的说明中，以相互正交的三个方向分别为X方向、Y方向以及Z方向，并以X方向为左右方向，以Y方向为前后方向，以Z方向为上下方向。在本方式中，以Z方向与铅垂方向一致的方式配置工业用机器人1。并且，在以下的说明中，以X1方向侧为“右侧”，以X2方向侧为“左侧”，以Y1方向侧为“前侧”，以Y2方向侧为“后侧”，以Z1方向侧为“上侧”，以Z2方向侧位“下侧”。

本方式的工业用机器人1(以下称为“机器人1”)为用于搬运作为搬运对象物的液晶显示器用的玻璃基板2(以下称为“基板2”)的机器人。机器人1具有作为供基板2装载的第一手部的手部3、作为供基板2装载的第二手部的手部4、作为供手部3固定的第一手部支承部件的手部支承部件5、作为供手部4固定的第二手部支承部件的手部支承部件6、保持手部支承部件5、6的臂部7、支承臂部7的本体部8、以及将本体部8支承为能够沿水平方向(具体为左右方向)移动的基底部件9。

本体部8具有保持臂部7的臂部支承部件11、固定有臂部支承部件11且可上下移动的升降部件12、将升降部件12支承为能够沿上下方向移动的柱状部件13、构成本体部8的下端部分且能够相对于基底部件9水平移动的基台14、以及固定有柱状部件13的下端且能够相对于基台14旋转的旋转部件15。

臂部7保持在臂部支承部件11的末端侧。臂部支承部件11的基端侧固定于升降部件12。升降部件12通过省略了图示的升降机构的动力而相对于形成为以上下方向为长度方向的柱状的柱状部件13与臂部7等一起上下移动。基台14通过省略了图示的移动机构的动力相对于基底部件9向左右方向移动。即，本体部8通过该移动机构的动力相对于基底部件9向左右方向移动。并且，旋转部件15通过省略了图示的旋转机构的动力相对于基台14旋转。

手部支承部件5以及手部支承部件6以能够向图1等的前后方向直线地往复移动的方式保持于臂部7。即，臂部7以手部支承部件5与手部支承部件6能够向水平方向上的相同方向直线地往复移动的方式保持手部支承部件5、6。机器人1具有使手部支承部件5相对于臂部7往复移动的第一驱动机构21和使手部支承部件6相对于臂部7往复移动的第二驱动机构22(参照图4)。

臂部7以能够向图1等的前后方向直线地往复移动的方式保持于臂部支承部件11。即，臂部支承部件11以能够向与手部支承部件5、6相对于臂部7的移动方向相同的方向直线地往复移动的方式保持臂部7。机器人1具有使臂部7相对于臂部支承部件11往复移动的第三驱动机构23(参照图5、图6)。

另外，本方式的前后方向(Y方向)为成为手部支承部件5、6以及臂部7的移动方向的第一方向。并且，左右方向(X方向)为与作为第一方向的前后方向和上下方向正交的第二方向，X2方向为成为第二方向的一方的第三方向，X1方向为成为第二方向的另一方的第四方向。

(手部、手部支承部件、臂部以及驱动机构的结构)

图4是用于从上表面说明图1所示的臂部7的内部结构以及其周边部分的结构的图。图5是用于从图4的J-J方向说明臂部7的内部结构以及其周边部分的结构的图。图6是用于从图5的K-K方向说明臂部7的周边部分的结构的图。图7是用于从图5的L-L方向说明手部支承部件5、6等的结构的图。

手部3、4具有供基板2装载的两根叉部25、以及供叉部25的基端固定的手部基部26。手部3与手部4配置为在从前后方向观察时在上下方向上重叠。在本方式中，在从前后方向观察时，手部3配置在手部4的下侧。

臂部7配置在手部3的下侧。该臂部7形成为在前后方向呈细长的大致长方体状。具体地说，臂部7形成为具有与由前后方向和左右方向构成的XY平面平行的上表面以及下表面、与由前后方向和上下方向构成的YZ平面平行的左右的侧面、与由上下方向和左右方向构成的ZX平面平行的前后的侧面的大致长方体状。并且，臂部7形成为中空状。左右方向的臂部7的宽度比左右方向的手部3、4的宽度窄。

如图7所示，在臂部7的左侧面固定有用于向前后方向引导手部支承部件5的两根导轨27。在臂部7的右侧面固定有用于向前后方向引导手部支承部件6的两根导轨28。在臂部7的下表面固定有用于向前后方向引导臂部7的两根导轨29。两根导轨27以在上下方向隔开规定间隔的状态固定在臂部7的左侧面，两根导轨28以在上下方向隔开规定间隔的状态固定在臂部7的右侧面。导轨27的固定位置与导轨28的固定位置在上下方向大致一致。两根导轨29以在左右方向隔开规定间隔的状态固定在臂部7的下表面。本方式的导轨27为第一导轨，导轨28为第二导轨，导轨29为第三导轨。

手部支承部件5如图7所示形成为在从前后方向观察时的形状呈大致L形的块状。该手部支承部件5具有供手部3固定的手部固定部5a以及供与导轨27卡合的两个导块30固定的块固定部5b。手部固定部5a以及块固定部5b配置在臂部7的左侧。即，手部支承部件5配置在臂部7的左侧。本方式的导块30为第一导块。

两个导块30以在上下方向隔开规定间隔的状态固定在块固定部5b的右端侧。手部固定部5a的下端侧与块固定部5b的左端相连。手部固定部5a的上端面配置在比块固定部5b的上端靠上侧的位置。手部3的手部基部26的下表面固定在手部固定部5a的上端面。即，手部支承部件5配置在手部3的下侧。在本方式中，手部固定部5a在手部3的比左右方向上的中心靠左侧的位置与手部3的手部基部26的下表面相连。

手部支承部件6如图7所示形成为从前后方向观察时的形状呈大致L形的块状。该手部支承部件6具有供手部4固定的手部固定部6a以及供与导轨28卡合的两个导块31固定的块固定部6b。两个导块31以在上下方向隔开规定间隔的状态固定在块固定部6b的左端侧。本方式的导块31为第二导块。

手部固定部6a的下端侧与块固定部6b的右端相连。手部固定部6a为了防止与装载于手部3的基板2发生干涉而形成为从块固定部6b的右端朝向右斜上侧延伸之后朝向上侧延伸。手部固定部6a的上端面配置在比块固定部6b的上端靠上侧的位置。手部4的手部基部26固定在手部固定部6a的上端侧。在本方式中，手部固定部6a与手部4的手部基部26的右端相连。

手部固定部6a的下端侧以及块固定部6b配置在臂部7的右侧。并且，手部固定部6a的上端侧配置在手部3的右侧。即，手部支承部件6配置在臂部7以及手部3的右侧。并且，手部固定部6a的下端侧以及块固定部6b配置在手部3的下侧。

臂部支承部件11如图7所示具有供与导轨29卡合的两个导块32固定的块固定部件33。块固定部件33固定在臂部支承部件11的末端侧的上表面。两个导块32以在左右方向隔开规定间隔的状态固定在块固定部件33的上端侧。本方式的导块32为第三导块。

第一驱动机构21配置在手部3的下侧。该第一驱动机构21如图4所示具有在外周面形成有外螺纹的作为第一螺钉部件的螺钉部件36、在内周面形成有与螺钉部件36的外螺纹卡合的内螺纹的作为第一螺母部件的螺母部件37、使螺钉部件36旋转的作为第一马达的马达38、以及将马达38的动力传递到螺钉部件36的动力传递机构39。

螺钉部件36例如为滚珠丝杠。螺钉部件36以前后方向为轴向配置在臂部7的左侧。即，螺钉部件36沿臂部7的左侧面配置。螺钉部件36的前后的两端侧通过固定在臂部7的左侧面的轴承被保持为能够旋转。即，螺钉部件36经由轴承以能够旋转的方式保持于臂部7。螺母部件37固定于手部支承部件5的块固定部5b。如图7所示，螺钉部件36以及螺母部件37在上下方向上配置在两个导轨27以及两个导块30之间。并且，螺钉部件36以及螺母部件37的轴中心配置在比导轨27与导块30之间的卡合部分靠左侧的位置。

马达38配置在臂部7的内部的末端侧，且固定在臂部7的内部的末端侧。并且，马达38以输出轴向前侧突出的方式固定在臂部7的前端侧。在本方式中，从前后方向观察时，臂部7的中心与马达38的旋转中心大致一致。动力传递机构39具有固定在马达38的输出轴的末端侧的带轮、固定在螺钉部件36的前端侧的带轮、架设在带轮之间的轮带。

第二驱动机构22配置在手部3的下侧。该第二驱动机构22如图4所示具有在外周面形成有外螺纹的作为第二螺钉部件的螺钉部件41、在内周面形成有与螺钉部件41的外螺纹卡合的内螺纹的作为第二螺母部件的螺母部件42、使螺钉部件41旋转的作为第二马达的马达43、以及将马达43的动力传递给螺钉部件41的动力传递机构44。

螺钉部件41例如为滚珠丝杠。螺钉部件41以前后方向为轴向配置在臂部7的右侧。即，螺钉部件41沿臂部7的右侧面配置。螺钉部件41的前后的两端侧通过固定在臂部7的右侧面的轴承而保持为能够旋转。即，螺钉部件41经由轴承以能够旋转的方式保持于臂部7。螺母部件42固定在手部支承部件6的块固定部6b。如图7所示，螺钉部件41以及螺母部件42在上下方向配置在两个导轨28以及两个导块31之间。并且，螺钉部件41以及螺母部件42的轴中心配置在比导轨28与导块31之间的卡合部分靠右侧的位置。

马达43配置在臂部7的内部的后端侧，且固定在臂部7的内部的后端侧。并且，马达43以输出轴朝向后侧突出的方式固定在臂部7的后端侧。在本方式中，从前后方向观察时，臂部7的中心与马达43的旋转中心大致一致。并且，在本方式中，在从前后方向观察时马达38的旋转中心与马达43的旋转中心一致。动力传递机构44具有固定在马达43的输出轴的后端侧的带轮、固定在螺钉部件41的后端侧的带轮、架设在带轮之间轮带。

如图7所示，在本方式中，马达38、43的旋转中心与螺钉部件36的轴心之间的左右方向的距离D1同马达38、43的旋转中心与螺钉部件41的轴心之间的左右方向的距离D2相等。

第三驱动机构23配置在臂部7的下侧。该第三驱动机构23具有在外周面形成有外螺纹的作为第三螺钉部件的螺钉部件46、在内周面形成有与螺钉部件46的外螺纹卡合的内螺纹的作为第三螺母部件的螺母部件47、以及使螺钉部件46旋转的作为第三马达的马达48。

螺钉部件46例如为滚珠丝杠。螺钉部件46以前后方向为轴向配置在臂部7的下侧。即，螺钉部件46沿臂部7的下表面配置。螺钉部件46的前后的两端侧通过固定在臂部7的下表面的轴承而保持为能够旋转。即，螺钉部件46经由轴承以能够旋转的方式保持于臂部7。螺母部件47固定于块固定部件33。即，螺母部件47经由块固定部件33固定于臂部支承部件11。如图7所示，螺钉部件46以及螺母部件47在左右方向上配置在两个导轨29以及两个导块32之间。

马达48固定在臂部7的下表面的后端侧。并且，马达48以输出轴向前侧突出的方式固定在臂部7的下表面。马达48的输出轴的前端侧与螺钉部件46的后端侧经由连接器49而连接，从前后方向观察时，马达48的旋转中心与螺钉部件46的轴心一致。并且，从前后方向观察时，马达48的旋转中心以及螺钉部件46的轴心与马达38、43的旋转中心(即臂部7的中心)在左右方向一致。即，从前后方向观察时，马达38、43的旋转中心配置在通过马达48的旋转中心以及螺钉部件46的轴心的与上下方向平行的线CL1上，且位于马达48的旋转中心以及螺钉部件46的轴心的上侧。

在本方式中，螺钉部件36的外螺纹与螺母部件37的内螺纹相卡合的卡合位置为第一驱动机构21对手部支承部件5施加的驱动力所作用的第一作用位置F1。并且，螺钉部件41的外螺纹与螺母部件42的内螺纹相卡合的卡合位置为第二驱动机构22对手部支承部件6施加的驱动力所作用的第二作用位置F2。并且，螺钉部件46的外螺纹与螺母部件47的内螺纹相卡合的卡合位置为第三驱动机构23对臂部7施加的驱动力所作用的第三作用位置F3。

并且，在本方式中，如图7所示，从前后方向观察时，第一作用位置F1位于依靠第一驱动机构21的驱动力向前后方向移动的部分的重心G1的下侧，第二作用位置F2位于依靠第二驱动机构22的驱动力向前后方向移动的部分的重心G2的下侧。即，从前后方向观察时，第一作用位置F1与重心G1在上下方向重叠，第二作用位置F2与重心G2在上下方向重叠，在左右方向上，第一作用位置F1与重心G1大致一致，第二作用位置F2与重心G2大致一致。具体地说，从前后方向观察时，重心G1位于通过螺钉部件36的轴心的与上下方向平行的线CL2上，重心G2位于通过螺钉部件41的轴心的与上下方向平行的线CL3上。

在本方式中，依靠第一驱动机构21的驱动力向前后方向移动的部分为手部3、手部支承部件5、导块30以及螺母部件37，重心G1为手部3、手部支承部件5、导块30以及螺母部件37的重心。并且，依靠第二驱动机构22的驱动力向前后方向移动的部分为手部4、手部支承部件6、导块31以及螺母部件42，重心G2是手部4、手部支承部件6、导块31以及螺母部件42的重心。

并且，如上所述，在本方式中，从前后方向观察时，马达48的旋转中心以及螺钉部件46的轴心与马达38、43的旋转中心(即臂部7的中心)在左右方向上一致，且马达38、43的旋转中心与螺钉部件36的轴心之间的距离D1同马达38、43的旋转中心与螺钉部件41的轴心之间的距离D2相等，第三作用位置F3位于依靠第三驱动机构23的驱动力向前后方向移动的部分的重心G3的下侧。即，从前后方向观察时，第三作用位置F3与重心G3在上下方向重叠，在左右方向上，第三作用位置F3与重心G3大致一致。具体地说，从前后方向观察时，重心G3位于通过螺钉部件46的轴心的与上下方向平行的线CL1上。并且，马达38、43的旋转中心位于第三作用位置F3的上侧。

在本方式中，依靠第三驱动机构23的驱动力向前后方向移动的部分是支承手部3、4、手部支承部件5、6、臂部7、第一驱动机构21、第二驱动机构22、导轨27～29、导块30、31、螺钉部件46、连接器49以及螺钉部件36、41、46的轴承等，重心G3是支承手部3、4、手部支承部件5、6、臂部7、第一驱动机构21、第二驱动机构22、导轨27～29、导块30、31、螺钉部件46、连接器49以及螺钉部件36、41、46的轴承等的重心。

如上所述，手部支承部件5的手部固定部5a的下端侧与块固定部5b的左端相连。即，手部支承部件5在比第一作用位置F1靠左侧的位置与手部3相连。并且，如上所述，手部支承部件6的手部固定部6a的下端侧与块固定部6b的右端相连。即，手部支承部件6在比第二作用位置F2靠右侧的位置与手部4相连。

(手部以及臂部的概略动作)

图8(A)、8(B)、8(C)是用于说明图2所示的手部3、4以及臂部7的概略动作的图。

在如上构成的机器人1中，在将基板2搬入供基板2容纳的基板容纳部(省略图示)之前，或者在将基板2从基板容纳部搬出之前，例如，如图8(A)所示，臂部7相对于臂部支承部件11向前侧相对移动，手部3、手部支承部件5、手部4以及手部支承部件6相对于臂部7向前侧相对移动。

将装载于手部3、4的基板2搬入基板容纳部时，或者通过手部3、4将容纳在基板容纳部的基板2搬出时，马达48起动，如图8(B)、8(C)所示，臂部7相对于臂部支承部件11向后侧移动。臂部7相对于臂部支承部件11向后侧移动的话，则手部3、4也与臂部7一起相对于臂部支承部件11向后侧移动。

并且，将装载于手部4的基板2搬入基板容纳部时，或者，通过手部4将容纳在基板容纳部的基板2搬出时，马达43与马达48一起起动，如图8(B)所示，手部4以及手部支承部件6向后侧移动。同样，将装载于手部3的基板2搬入基板容纳部时，或者，通过手部3将容纳在基板容纳部的基板2搬出时，马达38与马达48一起起动，如图8(C)所示，手部3以及手部支承部件5向后侧移动。

(本方式的主要效果)

如以上所作说明，在本方式中，从前后方向观察时，第一驱动机构21对手部支承部件5施加的驱动力所作用的第一作用位置F1位于依靠第一驱动机构21的驱动力向前后方向移动的部分的重心G1的下侧，第二驱动机构22对手部支承部件6施加的驱动力所作用的第二作用位置F2位于依靠第二驱动机构22的驱动力向前后方向移动的部分的重心G2的下侧，第三驱动机构23对臂部7施加的驱动力所作用的第三作用位置F3位于依靠第三驱动机构23的驱动力向前后方向移动的部分的重心G3的下侧。因此，在本方式中，能够抑制包括手部3等且依靠第一驱动机构21的驱动力向前后方向移动的部分的以从前后方向观察时的第一作用位置F1为中心的力矩的产生、包括手部4等且依靠第二驱动机构22的驱动力向前后方向移动的部分的以从前后方向观察时的第二作用位置F2为中心的力矩的产生、以及包括手部3、4等且依靠第三驱动机构23的驱动力向前后方向移动的部分的以从前后方向观察时的第三作用位置F3为中心的力矩的产生。因此，在本方式中，即使加快手部3、4以及臂部7的移动速度(即，即使加快机器人1的动作速度)，也能够抑制装载有基板2的手部3、4的振动，从而能够抑制基板2的搬运精度的下降。

在本方式中，手部支承部件5配置在比臂部7靠左侧的位置，且在比臂部7靠左侧的位置与手部3相连。并且，手部支承部件6配置在比臂部7靠右侧的位置，且在比臂部7靠右侧的位置与手部4相连。即，在本方式中，手部3被手部支承部件5单侧支承，手部4被手部支承部件6单侧支承。因此，与手部3被手部支承部件5两侧支承，手部4被手部支承部件6两侧支承时相比，能够使手部支承部件5、6轻量化。

另外，相比于手部3被手部支承部件5两侧支承，手部4被手部支承部件6两侧支承时，手部3被手部支承部件5单侧支承，手部4被手部支承部件6单侧支承时，容易产生依靠第一驱动机构21的驱动力向前后方向移动的部分的以从前后方向观察时的第一作用位置F1为中心的力矩、以及依靠第二驱动机构22的驱动力向前后方向移动的部分的以从前后方向观察时的第二作用位置F2为中心的力矩，但在本方式中，如上所述，能够抑制这些力矩的产生。

在本方式中，马达38固定在臂部7的内部的前端侧，马达43固定在臂部7的内部的后端侧，且马达38以及马达43以从前后方向观察时马达38的旋转中心与马达43的旋转中心一致的方式配置。并且，在本方式中，从前后方向观察时，马达38、43的旋转中心位于第三作用位置F3的上侧。并且，在本方式中，马达38、43的旋转中心与螺钉部件36的轴心之间的距离D1同马达38、43的旋转中心与螺钉部件41的轴心之间的距离D2相等。因此，在本方式中，在左右方向上，容易使依靠第三驱动机构23的驱动力向前后方向移动的部分的重心G3与第三作用位置F3一致。

在本方式中，导轨27固定在臂部7的左侧面，导轨28固定在臂部7的右侧面。并且，在本方式中，螺钉部件36沿臂部7的左侧面配置，螺钉部件41沿臂部7的右侧面配置。因此，在本方式中，能够使螺钉部件36与螺钉部件41之间的左右方向的距离靠近。即，在本方式中，能够使第一作用位置F1与第二作用位置F2之间的左右方向的距离靠近，因此，能够使重心G1与重心G2之间的左右方向的距离靠近。因此，在本方式中，在左右方向上，能够使重心G1、重心G2和重心G3靠近，其结果是，能够使通过第三驱动机构23移动的手部3、4以及臂部7等的动作稳定。

(其他实施方式)

上述实施方式是本发明的优选实施方式的一个例子，但本发明并不限定于此，只要不变更本发明的要旨即可进行各种变形。

在上述方式中，两根导轨27以在上下方向隔开规定间隔的状态固定在臂部7的左侧面，两根导轨28以在上下方向隔开规定间隔的状态固定在臂部7的右侧面。除此以外，例如也可以按两根导轨27、28以在左右方向隔开规定间隔的状态固定在臂部7的上表面以及/或者下表面的方式形成臂部7。

在上述方式中，螺钉部件46经由轴承以能够旋转的方式保持于臂部7，螺母部件47固定于块固定部件33。除此以外，例如也可螺钉部件46经由轴承以能够旋转的方式保持于块固定部件33，螺母部件47固定于臂部7。此时，马达48固定于块固定部件33。并且，在上述方式中，螺钉部件46与马达48经由连接器49连接，但螺钉部件46与马达48也可经由带轮以及轮带连接。

在上述方式中，通过机器人1搬运的搬运对象物为液晶显示器用的玻璃基板2，但通过机器人1搬运的搬运对象物也可以是玻璃基板2以外的半导体晶圆等。

Claims (7)

1.一种工业用机器人，其特征在于，

所述工业用机器人具有：

第一手部以及第二手部，搬运对象物装载于所述第一手部以及所述第二手部；

第一手部支承部件，所述第一手部固定于所述第一手部支承部件；

第二手部支承部件，所述第二手部固定于所述第二手部支承部件；

臂部，其将所述第一手部支承部件以及所述第二手部支承部件保持为能够沿水平方向上的相同方向直线地往复移动；

臂部支承部件，其将所述臂部保持为能够向与所述第一手部支承部件以及所述第二手部支承部件相对于所述臂部的移动方向相同的方向直线地往复移动；

第一驱动机构，其使所述第一手部支承部件相对于所述臂部往复移动；

第二驱动机构，其使所述第二手部支承部件相对于所述臂部往复移动；以及

第三驱动机构，其使所述臂部相对于所述臂部支承部件往复移动，

以所述第一手部支承部件、所述第二手部支承部件以及所述臂部的移动方向为第一方向，

从所述第一方向观察时，所述第一手部与所述第二手部以在上下方向相互重叠的方式配置，

且从所述第一方向观察时，所述第一驱动机构对所述第一手部支承部件施加的驱动力所作用的第一作用位置位于依靠所述第一驱动机构的驱动力向所述第一方向移动的部分的重心的下侧，所述第二驱动机构对所述第二手部支承部件施加的驱动力所作用的第二作用位置位于依靠所述第二驱动机构的驱动力向所述第一方向移动的部分的重心的下侧，所述第三驱动机构对所述臂部施加的驱动力所作用的第三作用位置位于依靠所述第三驱动机构的驱动力向所述第一方向移动的部分的重心的下侧。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述第一驱动机构具有：

第一螺钉部件，其形成有外螺纹且能够旋转地保持于所述臂部；以及

第一螺母部件，其形成有与所述第一螺钉部件的外螺纹卡合的内螺纹，且固定于所述第一手部支承部件，

所述第二驱动机构具有：

第二螺钉部件，其形成有外螺纹且能够旋转地保持于所述臂部；以及

第二螺母部件，其形成有与所述第二螺钉部件的外螺纹卡合的内螺纹，且固定于所述第二手部支承部件，

所述第一作用位置为所述第一螺钉部件的外螺纹与所述第一螺母部件的内螺纹之间的卡合位置，

所述第二作用位置为所述第二螺钉部件的外螺纹与所述第二螺母部件的内螺纹之间的卡合位置。

3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，

所述第三驱动机构具有：

第三螺钉部件，其形成有外螺纹且能够旋转地保持于所述臂部以及所述臂部支承部件中的任意一方；以及

第三螺母部件，其形成有与所述第三螺钉部件的外螺纹卡合的内螺纹，且固定于所述臂部以及所述臂部支承部件中的任意另一方，

所述第三作用位置为所述第三螺钉部件的外螺纹与所述第三螺母部件的内螺纹之间的卡合位置。

4.根据权利要求2或3所述的工业用机器人，其特征在于，

所述工业用机器人还包括：

第一导轨以及第一导块，所述第一导轨以及第一导块用于向所述第一方向引导所述第一手部支承部件；以及

第二导轨以及第二导块，所述第二导轨以及第二导块用于向所述第一方向引导所述第二手部支承部件，

以与上下方向和所述第一方向正交的方向为第二方向、以所述第二方向中的一方为第三方向、以所述第二方向中的另一方为第四方向，

所述第一导轨固定在所述臂部的所述第三方向侧的侧面，

所述第二导轨固定在所述臂部的所述第四方向侧的侧面，

所述第一螺钉部件沿所述臂部的所述第三方向侧的侧面配置，

所述第二螺钉部件沿所述臂部的所述第四方向侧的侧面配置。

5.根据权利要求4所述的工业用机器人，其特征在于，

所述第一驱动机构具有使所述第一螺钉部件旋转的第一马达，

所述第二驱动机构具有使所述第二螺钉部件旋转的第二马达，

所述第一马达固定在所述臂部的所述第一方向的一端侧，所述第二马达固定在所述臂部的所述第一方向的另一端侧，且所述第一马达以及所述第二马达以在从所述第一方向观察时所述第一马达的旋转中心与所述第二马达的旋转中心一致的方式配置，

且从所述第一方向观察时，所述第一马达的旋转中心以及所述第二马达的旋转中心位于所述第三作用位置的上侧，且所述第一马达的旋转中心与所述第一螺钉部件的轴心之间的所述第二方向上的距离同所述第二马达的旋转中心与所述第二螺钉部件的轴心之间的所述第二方向上的距离相等。

6.根据权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，

所述第三驱动机构具有：

第三螺钉部件，其形成有外螺纹且能够旋转地保持于所述臂部以及所述臂部支承部件中的任意一方；

第三螺母部件，其形成有与所述第三螺钉部件的外螺纹卡合的内螺纹，且固定于所述臂部以及所述臂部支承部件中的任意另一方；以及

第三马达，其使所述第三螺钉部件旋转，

所述第三马达以在从所述第一方向观察时所述第三马达的旋转中心与所述第三螺钉部件的轴心一致的方式配置。

7.根据权利要求1至3中的任一项所述的工业用机器人，其特征在于，

从所述第一方向观察时，所述第一手部配置在所述第二手部的下侧，所述臂部配置在所述第一手部的下侧，

以与上下方向和所述第一方向正交的方向为第二方向，以所述第二方向的一方为第三方向，以所述第二方向的另一方为第四方向，

所述第一手部支承部件配置在所述臂部的所述第三方向侧，且在比所述第一作用位置靠所述第三方向侧的位置与所述第一手部相连，

所述第二手部支承部件配置在所述臂部以及所述第一手部的所述第四方向侧，且在比所述第二作用位置靠所述第四方向侧的位置与所述第二手部相连。