KR101291811B1 - 하이브리드 진공 로봇 이송장치 - Google Patents

하이브리드 진공 로봇 이송장치 Download PDF

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Abstract

하이브리드 진공 로봇 이송장치가 개시된다. 가이드라인을 따라 수직으로 직선운동을 하는 안내블록과 상기 안내블록으로 동력을 전달하는 제1 동력부가 구비된 하부 몸체부재와 상기 하부 몸체부재의 내부에 위치되고 상기 안내블록에 체결되어 수직으로 움직이면서 회전운동을 하는 회전플랜트와 상기 회전플랜트에 동력을 전달하는 제2 구동부가 포함된 연결부재와 상기 연결부재의 상단부에 체결되며, 상기 회전플랜트의 중심 양측으로 소정거리 이격되어 회전이 가능하고 회전 시에 발생되는 마찰열을 냉각시키는 다수개의 쿨링 회전조인트부와 상기 쿨링 회전조인트부에 동력을 전달하는 제3 구동부가 구비된 상부 몸체부재와 상기 상부 몸체부재의 상부 중앙에 위치되어 직선운동을 하는 다수개의 가이드 블록이 구비되고 직사각 형상을 갖는 리니어 가이드 모듈와 상기 리니어 가이드 모듈의 상부에 위치되며 직선운동을 하는 상기 가이드 블록에 체결되고 기판이 안착되는 기판 지지부가 구비되는 하부핸드와 상기 하부핸드의 상부에 위치되어 기판이 안착되는 기판 지지부를 구비하는 상부핸드 및 2개의 링크 부재를 구비하고 일측 단부는 쿨링 회전조인트부에 체결되며 타측 단부는 직선운동을 하는 상부핸드 또는 하부핸드에 각각 체결되는 다수개의 아암을 포함하는 하이브리드 진공 로봇 이송장치에 관한 것이다.

Description

하이브리드 진공 로봇 이송장치 {Hybrid vacuum robot transport apparatus}
본 발명은 하이브리드 진공 로봇 이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 챔버내에 배치되고 공정 챔버와 웨이퍼 등의 기판을 저장하는 공간사이에서 기판을 이송하는 장치로서, 핑거를 구비하고 동시에 이송정밀도가 높고 회전 반경이 작아 챔버내에 차지하는 면적을 줄일 수 있는 하이브리드 진공 로봇 이송장치에 관한 것이다.
종래의 다중 아암 하이브리드 진공 로봇 이송장치에서는, 이송장치의 아암 또는 링크 부재들(linkages)은 다수의 모터를 이용하여 예를 들어 3자유도 이상의 운동이 가능하도록 동축 방식으로 구성된다. 최외각 축은 예를 들어 회전 중심축 주위로 다중 아암들을 회전시키기 위한 허브(hub)에 결합되고, 2개의 내부축은 독립적인 벨트 및 풀리 구성을 통하여 다중 아암들 각각에 연결될 수 있다.
기존 사용되고 있는 이러한 하이브리드 진공 로봇 이송장치의 아암(arm)에 2개의 핸드를 장착하기 위해서는 아암을 길게 하거나 상부(upper) 아암과 하부(lower) 아암을 상하로 배치하였다. 그러나 이와 같이 구성하였을 경우 아암의 길이가 길어짐에 따라 구조적 강성이 떨어져 이송 작업의 정밀도가 떨어지는 문제가 발생한다. 정밀도를 개선하기 위하여 아암의 강성을 높이는 경우 아암의 무게가 증가하거나 이송장치의 크기가 커져 설치에 어려움이 따른다. 또한, 아암의 구조적 강성을 높이기 위하여 특수한 구조를 갖도록 하는 경우에는 이송장치의 동작에 제한이 가해지기 때문에 공정 속도가 저하되는 문제가 발생한다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 각 핸드의 구조적 강성을 높이면서 이송작업의 정밀도를 높일 수 있는 하이브리드 진공 로봇 이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또, 로봇의 면적을 작게 하고, 로봇의 회전반경을 최소화함으로써 장비가 차지하는 면적이 작은 하이브리드 진공 로봇 이송장치를 제공함을 목적으로 한다.
또한, 아암의 구동시에 발생되는 이물질이 진공 챔버내로 주입되는 것을 방지하고, 공정시에 발생되는 고온의 열을 냉각시키는 하이브리드 진공 로봇 이송장치를 제공함을 목적으로 한다.
[과제의 해결 수단]
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따라, 챔버와 웨이퍼 등의 기판을 저장하는 공간사이에서 기판을 이송하는 장치로서, 상하 직선방향 운동을 방생시키는 제1 구동장치를 구비하는 하부 몸체부와 상기 제1 구동장치에 의하여 소정의 높이 구간 사이에서 상하 직선운동을 하는 프레임부, 상기 프레임부의 상부에 배치되어 회전운동을 하는 회전부재 및 상기 회전부재를 회전하도록 구동시키는 제2 구동장치를 구비하는 연결부와 상기 연결부의 위쪽에 배치되며, 상기 회전부재의 회전에 따라 회전 운동을하는 상부 몸체부와 상기 상부 몸체부의 위쪽에 배치되고, 길이방향으로 평행하게 연장되는 복수개의 안내 레일을 구비하는 리니어 가이드 모듈와 상기 리니어 가이드 모듈의 위쪽에 배치되고, 상기 안내 레일을 따라 직선운동을 하며 기판이 안착되는 핑거를 구비하는 하부핸드와 상기 하부핸드의 위쪽에 배치되며 기판이 안착되는 핑거를 구비하는 상부핸드 및 각각 2개의 링크 부재를 구비하고 일측 단부는 상부몸체부에 체결되며 타측 단부는 상부핸드 또는 하부핸드와 연결되는 2개의 아암을 포함하는 하이브리드 진공 로봇 이송장치를 제공한다.
바람직하게는, 연결부는 상기 하부 몸체부재의 넓이 작게 하기 위하여 구동력의 전달축과 회전부재의 회전축의 간격을 최소로 유지되는 것이 좋다.
연결부는 중공부를 구비하며 에어공급관이 중공부를 통하여 상기 상부 몸체부에 냉각을 위한 기체를 전달하는게 바람직하다. .
상부 몸체부는 회전속도를 감속시켜 토크를 증가시키기 위한 감속기어열과 상기 감속기어열의 증가된 토크를 외부로 전달하는 출력축이 포함되는 제1 회전조이트가 포함되는 것이 좋다.
상부 몸체부는 제1 회전조이트에 타이밍 벨트로 구동력을 전달하는 것이 바람직하다.
상부 몸체부 타이밍 벨트의 장력을 조절하는 아이들링 기어가 더 포함되는 것이 좋다.
제1 회전조인트는 수리가 용이 하도록 분리 되어 구성될 수도 있다.
제1 회전조인트부의 내부로 냉각 기체가 주입되어 고온의 공정시에 발생되는 전도열을 냉각시키는 것이 좋다.
제1 회전조인트는 상기 유입로는 냉각 기체가 주입되는 유입로와 공기가 배출 되는 배출로가 각각 형성되는 것이 바람직하다.
발명의 효과
본 발명에 따른 하이브리드 진공 로봇 이송장치는, 각 핸드의 구조적 강성을 높이고 기판의 이송작업 시에 구동하는 리니어 가이드 모듈을 구비함으로써 높은 정밀도를 갖는 효과가 있다.
또, 로봇의 면적을 작게 하기위해 구동부를 병렬로 연결하고, 로봇의 회전반경을 최소화함으로써 장비가 차지하는 면적이 작은 하이브리드 진공 로봇 이송장치를 제공하는 효과가 있다.
또한, 아암의 구동시에 발생되는 이물질이 진공 챔버내로 주입되는 것을 방지하고, 공정시에 발생되는 고온의 열을 냉각시키는 에어공급관이 구비됨으로써 공랭이 가능한 하이브리드 진공 로봇 이송장치를 제공하는 효과가 있다.
도 1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 하이브리드 진공 로봇 이송장치의 사시도.
도 2 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 하이브리드 진공 로봇 이송장치의 단면도.
도 3 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 상부 몸체부의 저면도.
도 4 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제1 회전조인트의 부분단면 확대도.
도 5 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제1 회전조인트의 단면도.
도 6 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 하부덮개 저면도.
도 7 은 도6의 발명의 바람직한 실시예에 따른 하부덮개 측면도.
도 8 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 리니어 가이드 모듈 저면도.
도 9 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 냉각시스템의 흐름도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 따른 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 상세한 설명은 생략한다.
들어가기에 앞서, 본 발명을 설명하는데 있어서, 그 실시 예가 상이하더라도 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하고, 필요에 따라 그 설명을 생략할 수 있다.
도 1 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 하이브리드 진공 로봇 이송장치의 사시도이고, 도 2 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 하이브리드 진공 로봇 이송장치의 단면도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 하이브리드 진공 로봇 이송장치는, 하부 몸체부(10), 하부 몸체부(10)의 내부에 배치되고 상승 또는 하강이 가능한 연결부(20), 연결부(20)의 상부에 회전운동이 가능하게 배치되는 상부 몸체부(30), 상부 몸체부(30)의 위쪽에 배치되고 대체로 직사각형 형상을 갖는 리니어 가이드 모듈(40), 리니어 가이드 모듈(40)의 상부에 배치되고 기판이 안착되는 상부핸드(50)/하부핸드(60) 및 상부핸드(50) 와 하부핸드(60)를 각각 상부 몸체부(30)와 연결하고 연결된 핸드를 이송시키는 아암(70)을 포함한다.
하부 몸체부(10)는 다른 구성요소들을 지지하며, 지면상에 배치된다. 하부 몸체부(10)는 연결부(20)를 상하 직선운동으로 구동하는 제1 구동장치(110)와 하부 몸체부(10) 내부에 위치되고 연결부(20)의 상하 직선운동을 안내하는 안내부(120)를 포함한다.
제1 구동장치(110)는 하부 몸체부(10)의 내부에 위치되고 전기로 구동되는 모터를 구비한다. 이 모터는 일정거리 이격된 볼스크류축의 구동부측 단부에 마련된 풀리와 연결된다. 볼스크류축은 연결부(20)가 일정 높이 구간 사이에서 수직방향으로 직선운동을 하도록 한다.
안내부(120)는 하부 몸체부(10)의 내부에 위치되며, 높이 방향으로 연장되는 레일과 레일 위를 이동하는 블록을 구비한다. 레일이 1개 이상의 복수개가 제공되는 경우 각 레일은 등각도 간격으로 배치되는 것이 바람직하다. 레일이 예를 들어 3개인 경우 120도 간격으로 배치된다. 블록은 연결부(20)와 연결되어 연결부의 상하 직선운동을 안내한다.
연결부(20)는 하부 몸체부의 내부에서 상하로 직선운동을 하며, 상부 몸체부(30)를 회전가능하게 지지한다. 연결부(20)는 하부 몸체부의 안내부(120)와 연결되는 프레임부(220)와 프레임부(220)의 내부에 위치되는 제2 구동장치(210)와 제2 구동장치(210)의 구동력을 상부 몸체부(30)로 전달하여 이를 회전시키는 회전부재(230)를 포함한다.
프레임부(220)는 하부 몸체부의 안내부(120) 레일을 따라 안내되는 블록과 연결된다. 프레임부(220)는 소정의 높이구간 사이에서 상하 직선운동을 한다. 프레임부(220)는 중공형상을 가지며, 중공부에 회전부재(230:감속기)가 배치된다. 프레임부(220)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다.
회전부재(230)는 프레임부(220) 상부에 마련된 중공부에 배치된다. 회전부재(230)는 중공부를 구비하며 에어공급관이 중공부를 통하여 배치된다. 에어공급관은 상부 몸체부(30)의 양단부에 위치되는 제1 회전조인트(320)등에 냉각을 위한 기체를 제공한다. 또한, 회전부재(230)의 중공부를 통하여 각종 전원 케이블 등이 배치될 수 있다.
제2 구동장치는(210)는 프레임부(220)의 내부에 위치되고 전기로 구동되는 모터를 구비한다. 회전부재(230)는 전술한 바와 같이 에어공급관 또는 전원케이블 등이 통과할 수 있도록 중공부를 구비하므로, 모터의 회전축과 직결되기 곤란하다. 따라서, 제2 구동장치(210)는 모터의 회전축 및 구동력 전달부의 회전축과 평행하게 연장되는 회전축을 갖는 구동력 전달축(240)을 구비하는게 좋다. 제2 구동장치(210) 모터의 회전축은 구동력 전달축(240)의 일단에 마련된 풀리와 벨트로 연결되고, 구동력 전달축(240)의 타단에 마련된 풀리는 회전부재(230)의 하단부에 마련된 풀리와 벨트로 연결된다. 하부 몸체부(10)의 넓이를 작게 하기 위하여 구동력 전달축(240)과 회전부재(230)의 회전축의 간격은 최소로 유지되는 것이 바람직하다. 제2 구동장치는(210)는 회전부재(230)에 회전 구동력을 전달함으로써 결과적으로 상부 몸체부(30)를 회전시킨다.
상부 몸체부(30)는 리니어 가이드 모듈, 상부핸드(50) 및 하부핸드(60) 아암(70)을 지지한다. 상부 몸체부(30)는 중심에서 양측으로 소정거리 이격되어 위치되는 제1 회전조인트(320)와 제1 회전조인트(320)에 구동력을 전달하는 제3 구동장치(310)를 포함한다.
제3 구동장치(310)는 상부 몸체부(30)의 내부에 위치되고 전기로 구동되는 모터를 구비한다. 제3 구동장치(310)는 제1 회전조인트(320)에 구동력을 전달한다. 제1 회전조인트(320)에 대응하여 제3 구동장치(310)는 2개의 모터를 구비한다. 이때, 제3 구동장치(310)의 모터는 구동축이 하부방향으로 위치되도록 하는 게 바람직하다. 제3 구동장치(310)의 모터는 제1 회전조인트(320)의 하단부에 마련된 풀리와 벨트로 연결된다. 제3 구동장치(310)는 구동시에 이물질이 챔버내로 유입되는 것을 차단하는 덮개(330)가 형성된다.
제1 회전조인트(320)는 제3 구동장치(310)의 구동력을 전달받아 아암(70)으로 전달한다. 제1 회전조인트(320)는 제3 구동장치(310)와 벨트를 통해 연결된 풀리로부터 회전력을 전달받는 샤프트(321), 샤프트(321)의 회전속도를 감속시켜 토크를 증가시키기 위한 감속기어열(323), 감속기어열(323)의 증가된 토크를 외부로 전달하는 출력축(325), 이들 구성요소를 감싸는 상부덮개(329)와 하부덮개(327)를 포함한다.(도 5 참조)
풀리(322)는 제3 구동장치(310)로부터 벨트를 통하여 구동력을 전달 받는다. 벨트의 장력을 일정하게 유지하기 위해 다수개의 아이들링 기어가 제공될 수 있다. 샤프트(321)는 풀리(322)의 내부에 삽입되어 체결된다. 풀리(322)가 벨트에 의해 회전하면 샤프트(321)도 같이 회전한다.
감속기어열(323)은 샤프트(321)에서 전달되는 회전속도를 감속하고 토크를 증가시켜 출력축(325)을 통해 출력시킨다. 출력축(325)에 의해 증가된 토크는 아암(70)에 전달된다.
상부덮개와 하부덮개(327)는 내부의 먼지가 외부로 방출되지 않도록 한다. 하부덮개(327)는 내부에 샤프트(321)가 삽입되도록 구가 형성된다. 하부덮개(327)의 내부에 감속기어열(323)의 회전이 원활하도록 윤활유가 구비된다. 하부덮개(327)는 하부에 기체의 유입이 가능하도록 유입로(328)가 형성되고 유입로(328)와 일정거리 이격되어 기체의 배출이 가능한 배출로(326)가 형성된다. 유입로(328)를 통해서 주입되는 기체는 감속기어열(323)와 출력축(325)을 순환한 후 배출로(326)를 통하여 배출된다. 이는 공정 중에 발생되는 고온의 열에 의해 감속기어열(323)의 온도가 증가됨으로써 윤활유가 열화되는 것을 방지하기 위함이다. 하부덮개(327)의 하부 면에는 공랭의 효율을 높이기 위해 기체의 이동을 안내하는 홈이 형성될 수 있다.(도 6 및 도 7 참조)
상부덮개(329)는 상부 몸체부재(30)에 고정된다. 상부덮개(329)는 하부덮개(327)와 체결되고 출력축(325)과 감속기어열(323)을 감싸도록 형성된다. 상부덮개(329)는 하부덮개(327)에 형성된 유입로(328)를 통하여 주입되는 대기 및 기체가 감속기어열(323)과 출력축(325)을 냉각시키기 위해 내부의 일부가 개구되도록 형성된다. 기체가 원활하게 이동할 수 있도록 감속기어열(323)과 출력축(325)의 외주 면보다 상부덮개(329)의 내주면이 크게 형성되는 게 바람직하다.
도 8를 참조하여 설명하면, 리니어 가이드 모듈(40)은 후술할 상부핸드(50)와 하부핸드(60)의 구조적 강성을 증가시키고 각 핸드가 직선으로 운동하는 이송 작업을 수행하도록 안내한다. 리니어 가이드 모듈(40)은 길이방향으로 서로 평행하게 연장되는 복수개의 안내 레일을 구비한다. 각 안내 레일상에는 복수개의 가이드 블록(410)이 배치된다. 본 실시예에서 리니어 가이드 모듈(40)의 바깥쪽에 위치되는 가이드 블록(410)은 상부핸드(50)와 연결되고 안쪽에 배치되는 가이드 블록(410)은 하부핸드(50)와 연결된다. 다만, 이는 리니어 가이드 모듈(40)에서 직선운동을 하는 가이드 블록(410)의 위치를 한정하기 위함이 아니고 상부핸드(50)와 하부핸드(60)의 직선운동이 평행으로 이루어질 수 있다면 어떠한 위치여도 상관없다.
상부핸드(50)는 리니어 가이드 모듈(40)의 위쪽에 배치되며 리니어 가이드 모듈(40)이 연장된 방향을 따라 직선 왕복운동을 한다. 상부핸드(50)는 아암(70)과 가이드 블록(410)에 체결되고 가이드 블록(410)을 따라 직선운동을 하는 상부 베이스부(510), 상부 베이스부(510)의 각 단부로부터 연장되고 웨이퍼와 같은 기판을 지지하는 핑거(520)를 포함한다. 상부 베이스부(510)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 핑거(520)는 기판과 웨이퍼에 정전기로 인한 손상을 입히지 않으면서 진동의 발생이 작은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 상부 베이스부(510)는 후술할 하부 베이스(610)를 감싸도록 배치된다.(도 1 참조)
하부핸드(60)는 리니어 가이드 모듈(40)의 위쪽에 배치되며 리니어 가이드 모듈(40)이 연장된 방향을 따라 직선 왕복운동을 한다. 하부핸드(60)는 아암(70)과 가이드 블록(410)에 체결되고 가이드 블록(410)을 따라 직선운동을 하는 하부 베이스부(610)의 각 단부로부터 연장되고 웨이퍼와 같은 기판을 지지하는 핑거(620)를 포함한다. 하부 베이스부(610)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 핑거(620)는 기판과 웨이퍼에 정전기로 인한 손상을 입히지 않으면서 진동의 발생이 작은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 하부핸드(60)는 상부핸드의 내부에 위치되고 안쪽에 배치된 가이드 블록 1쌍과 체결된다. 하부핸드(60)의 기판이 안착되는 핑거(620)는 상부핸드 핑거(520)과 일정거리를 두고 복층으로 배치된다.(도 4 참조)
아암(70)은 상부핸드(50)/ 하부핸드(60)와 각각 상부 몸체부(30)를 연결한다. 아암(70)은 상부핸드(50)과 연결되는 상부아암(71)과 하부핸드(60)와 연결되는 하부아암(72)을 포함한다. 상부아암(71)/하부아암(72)은 각각 연결되는 제1 링크부재(711)와 제2 링크부재(713)를 구비한다.
제1 링크부재(711)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제1 링크부재(711)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제1 링크부재(711)의 일측 단부는 제3 회전조인트에 의해 상부 베이스부(510) 또는 하부 베이스부(610)에 회전가능하게 연결되고, 타측 단부는 제2 회전조인트(715)에 의해 제2 링크부재(713)가 회전가능하게 연결된다.
제2 링크부재(713)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제2 링크부재(713)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제2 링크부재(713)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제2 링크부재(713)의 일측 단부는 제2 회전조인트(715)를 통해 제1 링크부재(711)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 제1 회전조인트(720)에 의해 상부 몸체부에 회전 가능하게 연결된다. 제2 회전조인트(713)와 제1 회전조인트(320)는 벨트로 연동되어 아암(70)이 원활하게 작동할 수 있도록 한다.
이하 본 발명의 실시예에 의한 작용을 첨부도면과 연계하여 설명하면 다음과 같다.
공정을 진행하기 위해 여러 장의 기판이 보관되는 카세트가 일정높이에 놓이면, 제1 구동장치(110)가 구동하여 안내부(120)를 상승 시키고, 이에따라 상부핸드(50) 또는 하부핸드(60)가 상승된다. 상부 핸드(50) 또는 하부핸드(60)가 일정높이에 도달하면 제3 구동장치(310)가 구동하여 제1 회전조인트(320)를 구동하여 아암(70)이 상부핸드(50) 또는 하부핸드(60)를 구동시킨다. 상부핸드(50) 또는 하부핸드(60)는 리니어 가이드 모듈(40)의 안내에 따라 직선운동을 한다.
기판이 핑거(520, 620)에 안착되면 카세트에서 제3 구동장치(310)가 작동하여 상부핸드(50) 또는 하부핸드(60)를 카세트로부터 이격시킨다.
기판이 카세트로부터 빠져나오면, 제2 구동장치(210)의 구동에 의해 상부 몸체부(30)가 회전하여 다음 공정에 기판을 안착할 수 있는 위치로 이동한다. 다음으로, 제3 구동장치(310)가 구동하여 아암(70)에 의해 상부핸드(50)와 하부핸드(60)가 기판을 안착할 수 있는 위치까지 직선운동을 한다. 이후 제1 구동장치(110)가 구동하여 높이가 하강하면 하이브리드 진공 로봇 이송장치는 대기 자세로 돌아간다. 공정순서에 따라 상기와 같은 순서를 반복하여 구동한다.
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 냉각시스템을 첨부도면과 연계하여 설명한다.
도 9를 참조하여 설명하면, 회전부재(230)의 중공부를 통하여 에어공급관이 상부 몸체부(30)에 배치된 제3 구동장치(310)가 구동되는 구동부실(311)로 연결된다. 모터의 작동 및 공정중에 발생되는 고온의 열을 냉각시킨다. 이후, 냉각용 기체는 양 갈래로 나뉜 에어공급관을 따라 이를 통해 공급된 냉각용 기체는 상부아암(710)과 하부아암(720)과 연결되는 제1 회전조인트(320)로 공급된다.
제1 회전조인트(320)로 공급된 기체는 하부덮개(329)의 유입로(328)를 통하여 제1 회전조인트(320) 내부로 에어가 유입된다. 유입된 기체는 감속기어열(323)과 출력축(325)의 외주면을 따라 순환되면서 내부온도를 냉각시킨다 이후, 냉각용 기체는 배출로(326)를 따라 제1 회전조인트(320)로부터 배출된다.
또한, 유입로(328)의 일부는 하부덮개(329)의 하단부에 형성된 홈을 따라 냉각용 기체를 공급한다. 공급된 기체는 하부덮개(326)를 냉각시킨다. 하부덮개(326)의 위쪽에는 감속기어열(323)의 작동을 원활하게하기 위한 윤활유가 고여 있는데, 하부 덮개를 냉각시킴에 따라 윤활유를 냉각시키고 고온에 의한 열화를 방지한다.
이상과 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 하이브리드 진공 로봇 이송장치
10: 하부 몸체부
110: 제1 구동장치 120: 안내부
20: 연결부
210: 제2 구동장치 220: 프레임부 230: 회전부재
30: 상부 몸체부
310: 제3 구동장치 320: 제1 회전조인트
321: 샤프트 323: 감속기어열 325: 출력 축
327: 하부덮개 329: 상부덮개
40: 리니어 가이드 모듈
410: 가이드 블록
50: 상부핸드
510: 상부 베이스 520: 핑거
60: 하부핸드
610: 하부 베이스 620: 핑거
70: 아암
710: 상부아암 720: 하부아암
711: 제1 링크부재 713: 제2 링크부재
715: 제2 회전조인트 721: 제3 회전조인트

Claims (9)

  1. 상하 직선방향 운동을 발생시키는 제1 구동장치를 구비하는 하부 몸체부;
    상기 제1 구동장치에 의하여 소정의 높이 구간 사이에서 상하 직선운동을 하는 프레임부, 상기 프레임부의 상부에 배치되어 회전운동을 하는 회전부재 및 상기 회전부재를 회전하도록 구동시키는 제2 구동장치를 구비하는 연결부;
    상기 연결부의 위쪽에 배치되어 상기 회전부재의 회전에 따라 회전 운동을 하는 상부 몸체부;
    상기 상부 몸체부의 위쪽에 배치되고, 길이방향으로 평행하게 연장되는 복수개의 안내 레일을 구비하는 리니어 가이드 모듈;
    상기 리니어 가이드 모듈의 위쪽에 배치되고, 상기 안내 레일을 따라 직선운동을 하며 기판이 안착되는 핑거를 구비하는 하부핸드;
    상기 하부핸드의 위쪽에 배치되며 기판이 안착되는 핑거를 구비하는 상부핸드; 및,
    각각 2개의 링크 부재를 구비하고 일측 단부는 상기 상부 몸체부의 제1 회전조인트에 연결되며 타측 단부는 상기 상부핸드 또는 상기 하부핸드와 연결되는 2개의 아암;
    장치가 점유하는 바닥 면적을 작게 하기 위하여 상기 연결부의 제2 구동장치의 구동력의 전달축과 상기 연결부의 회전부재의 회전축의 간격이 작동시 상호 간섭이 발생하지 않는 범위 내에서 최소가 되도록 배치되는 하이브리드 진공 로봇 이송장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 연결부는 중공부를 구비하고, 상기 상부 몸체부에 냉각을 위한 기체를 전달하는 에어공급관이 상기 중공부를 통하여 연장 배치되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 진공 로봇 이송장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 상부 몸체부는 회전속도를 감속시켜 토크를 증가시키기 위한 감속기어열과 상기 감속기어열에 의해 증가된 토크를 외부로 전달하는 출력축을 갖는 제1 회전조인트를 구비하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 진공 로봇 이송장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 상부 몸체부는 제1 회전조인트에 타이밍 벨트로 구동력을 전달하는 것을 특징으로 하는 기판 하이브리드 진공 로봇 이송장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 타이밍 벨트의 장력을 조절하는 아이들링 기어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 진공 로봇 이송장치.
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1 회전조인트는 수리가 용이하도록 분리되어 구성되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 진공 로봇 이송장치.
  8. 청구항 4에 있어서,
    상기 상부 몸체부의 제1 회전조인트의 내부로 상기 에어공급관에 의해 공급된 냉각을 위한 기체가 유입되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 진공 로봇 이송장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제1 회전조인트는 냉각 기체가 주입되는 유입로와 공기가 배출되는 배출로를 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 진공 로봇 이송장치.
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