KR101035896B1 - 기판반송장치 - Google Patents

Abstract

구성을 복잡화하지 않고 안정 또는 고정밀도한 반송성을 얻을 수 있는 기판반송장치를 제공한다.

본 발명에 관한 기판반송장치(30)는, 일단이 기대에 설치되고, 타단이 기판지지용 핸드(32)에 접속된 다관절 암(31)과, 핸드(32)의 직선 이동을 안내하는 리니어 가이드(36)와, 핸드(32)를 리니어 가이드(36)의 가이드 레일(37a)에 따라 이동시키는 벨트구동기구(38)를 구비하고 있다.

이와 같은 구성의 기판반송장치(30)는, 다관절 암(31)으로 핸드(32)에 작용하는 부하를 지지하고, 리니어 가이드(36)로 핸드(32)의 직진 반송성을 확보한다. 따라서, 사점을 통과하기 위한 특별한 기구를 필요로 하지 않기 때문에 구성의 복잡화를 방지할 수 있다. 또, 리니어 가이드(36)에 직접 부하가 작용하지 않기 때문에 높은 반송 정밀도를 얻을 수 있다.

반송장치, 기판반송장치, 리니어 가이드

Description

기판반송장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS}

본 발명은 반도체 기판이나 유리기판 등의 피처리기판을 반송하기 위한 기판반송장치에 관한 것이다.

근년, 반도체 웨이퍼, 액정표시장치용 유리기판 등의 피처리기판을 진공처리하는 기판처리장치로서, 반송실을 중심으로서 그 주위에 복수의 처리실을 배치하고, 게이트 밸브를 통해 연결하는 것에 의해 여러 가지 기판처리를 진공중에서 일관되게 행할 수 있는 멀티 챔버장치가 알려져 있다. 그리고 이런 종류의 멀티 챔버형 진공처리장치는 반송실에서 각각의 처리실로 기판을 자동적으로 반입·반출하기 위한 기판반송장치가 구비되어 있다.

기판반송장치에는 예를 들면 도 7에 나타내는 바와 같은 평행 링크형의 것이 알려져 있다(하기 특허문헌 1 참조). 도시하는 평생 링크형 기판반송장치(5)는 적어도 한쪽의 구동원이 접속된 한 쌍의 회동축(1, 2)과, 회동축(1, 2)이 일단에 접속된 제1 암(11, 12)과, 이들 제1 암(11, 12) 각각의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합된 한 쌍의 제2 암(21, 22)과, 이들 제2 암(21, 22) 각각의 타단에 회전 가능하게 결합된 핸드(4)를 구비하고 있다.

제1 암(11, 12), 제2 암((21, 22)은 각각 동일한 암 길이를 가지고 있고, 이 들에 의해 평행 링크기구가 구성되어 있다. 따라서, 회동축(1, 2)을 서로 역방향으로 회전시키는 것으로, 제1 암(11, 12)과 제2 암(21, 22)이 이루는 각(θ)이 변화하고, 핸드(4)는 도면중 상하방향으로 이동된다. 이에 의해, 핸드(4)상의 기판(W)을 임의의 위치로 반송하는 것이 가능해진다.

특허문헌 1: 일본국 특개평 9-283588호 공보

특허문헌 2: 일본국 특개 2004-228370호 공보

도 7에 나타낸 종래의 평행 링크형 기판반송장치에 있어서는, 기판(W)을 예를 들면 전방위치에서 후방위치로 반송할 때, 제1 암(11, 12)과 제2 암(21, 22)이 서로 평행(θ=0°)되는 위치를 통과할 필요가 있다. 이 위치는 평행 링크기구의 사점(死点)에 대응하고, 기판(W)의 원활한 반송을 저해한다. 그래서, 도시하는 기판반송장치(5)는 회동축(2)에 동심적으로 고정된 제1 풀리(6)와, 제1 암(11)과 제2 암(21)의 연결부에 동심적으로 고정된 제2 풀리(7)와, 이들 제1 풀리(6)와 제2 풀리(7) 사이를 가로질러 연결하는 벨트(8)로 되는 사점탈출기구를 구비하고 있다. 이에 의해, 회동축(2)의 회동력을 벨트(8)를 통해 제2 암(21)에 다이렉트로 전달하고, 원활하게 링크의 사점위치를 통과시켜 기판(W)의 반송을 안정되게 행하도록 하고 있다.

그렇지만, 평행 링크형 기판반송장치에 있어서는 링크기구의 사점을 원활히 통과하기 위해 상술한 바와 같은 사점탈출기구를 설치할 필요가 있어, 장치 구성이 복잡화한다고 하는 문제가 있다. 또, 평행 링크형 기판반송장치는 기판의 직진 반송성이 반드시 높지는 않고, 높은 반송 정밀도를 얻기 어렵다고 하는 문제도 있다.

이에 대해서, 핸드를 리니어 가이드에 따라 이동시키는 직동형 기판반송장치가 알려져 있다(상기 특허문헌 2 참조). 직동형 기판반송장치는 평행 링크형 기판반송장치에 있어서와 같은 사점이 존재하지 않기 때문에, 구성을 간소화할 수 있는 이점이 있다. 또, 기판의 직진 반송성이 뛰어나기 때문에 높은 반송 정밀도가 얻어지기 쉽다.

그렇지만, 직동형 기판반송장치에 있어서는 반송하는 기판이나 핸드의 자중이 리니아 가이드에 다이렉트로 작용한다. 리니어 가이드는 부하 특성이 낮고, 높은 부하가 작용했을 때에 기판의 반송 정밀도가 저하해 고정밀도의 반송 정밀도를 얻을 수 없게 된다는 문제를 가지고 있어, 향후 더욱더 진전되는 기판의 대형화에 대응하는 것이 불가능하게 된다.

본 발명은 상술의 문제를 감안해서, 구성을 복잡화하지 않고 안정되고도 고정밀도한 반송성을 얻을 수 있는 기판반송장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

이상의 과제를 해결함에 있어서, 본 발명의 기판반송장치는 일단이 기대에 설치되고, 타단이 기판지지용 핸드에 접속된 다관절 암과, 상기 핸드의 직선 이동을 안내하는 리니어 가이드와, 상기 핸드를 상기 리니어 가이드의 가이드 레일에 따라 이동시키는 벨트구동기구를 구비하고 있다.

이상의 구성을 가지는 본 발명의 기판반송장치에 있어서는, 다관절 암은 독자적인 구동원을 가지지 않고, 핸드에 연결된 벨트구동기구의 구동에 의해 신축하는 것으로 핸드를 리니어 가이드의 가이드 레일에 따라 직선적으로 이동시킨다. 이러한 구성의 기판반송장치는, 다관절 암으로 핸드에 작용하는 부하를 지지하고, 리니어 가이드로 핸드의 직진 반송성을 확보한다. 따라서, 사점을 통과하기 위한 특별한 기구를 필요로 하지 않기 때문에 구성의 복잡화를 방지할 수 있다. 또, 리니어 가이드에 직접 부하가 작용하지 않기 때문에 높은 반송 정밀도와 내구성을 동시에 얻을 수 있다.

본 발명에 관한 벨트구동기구는 구동축에 연결된 구동 풀리와 종동 풀리와, 이들 구동풀리와 종동 풀리 사이에 가로질러 연결된 벨트부재와, 벨트부재와 핸드를 연결해 리니어 가이드의 가이드 레일에 따라 이동하는 연결부재와, 기대 위에 설치되어 구동 풀리 및 종동 풀리를 지지하는 프레임부재를 가진다. 벨트부재는 구동 풀리의 회전운동을 핸드의 직선운동으로 변환하고, 정밀도가 높은 반송제어를 실현한다.

또, 종동 풀리와 구동 풀리는 한 쌍 설치되어 있고, 각 종동 풀리와 구동 풀리 사이에는, 벨트부재의 장력을 조정하기 위한 보조 풀리가 각각 설치되어 있다. 이에 의해, 벨트부재의 장력을 적정하게 유지하고, 벨트부재에 대해서 구동 풀리의 회전구동력을 확실히 전달할 수 있다.

또, 구동 풀리와 벨트부재간 접합면의 마찰력이 충분히 유지되면, 구동축 회전각이 핸드의 이동량에 백러쉬(back rush)없이 정확하게 일치하지만, 불측의 외력 등에 의한 미끄러짐으로 소기의 위치차이가 생기는 것이 염려되는 경우에는, 이를 회피할 목적으로 구동 풀리 주위면에 복수의 계합돌기를 설치함과 동시에, 이 계합돌기와 계합하는 계합공을 벨트부재 주위면에 형성해도 좋다.

더욱이, 구동축을 구동 풀리에 대해서 착탈자재하게 구성하는 것으로 벨트구동기구의 메인트넌스(보전)성을 높일 수 있다. 이 구성은, 특히, 진공조내에 있어 기판반송에 본 발명이 적용되는 경우에 현저한 효과를 얻을 수 있다.

또, 다관절 암의 구성은 특히 한정되지 않고, 예를 들면, 일단이 기대에 회전 가능하게 지지된 한 쌍의 제1 암과, 이들 한 쌍의 제1 암 각각의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합된 한 쌍의 제2 암을 구비하고, 상기 핸드는 한 쌍의 제2 암 각각의 타단에 회전 가능하게 결합된 구성으로 할 수 있다. 제1 암 및 제2 암 각각의 암길이는 서로 동일해도 좋고 다르게 해도 좋다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 기판반송장치의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.

도 2는 본 발명의 실시형태에 의한 기판반송장치를 구성하는 벨트구동기구의 전체 사시도이다.

도 3은 도 2에 도시한 벨트구동기구의 평면도이다.

도 4는 도 2에 도시한 벨트구동기구의 구동 풀리 주변의 사시도이다.

도 5는 도 2에 도시한 벨트구동기구의 핸드 직하위치의 사시도이다.

도 6은 도 2에 도시한 벨트구동기구와 구동축과의 관계를 나타내는 사시도이다.

도 7은 종래 기판반송장치의 구성을 나타내는 평면도이다.

*부호의 설명*

30: 기판반송장치 31: 다관절 암

32: 핸드 33: 기대

36: 리니어 가이드 37a: 가이드 레일

37b: 슬라이더 38: 벨트구동기구

41: 제1 암 42: 제2 암

43: 구동 풀리 43a: 계합돌기

44a, 44b: 종동 풀리 45a, 45b: 보조 풀리

46: 벨트부재 46a: 계합공

47: 프레임부재 51: 연결부재

52: 부하완충기구 55: 구동축

57: 선회축

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조해 설명한다. 본 실시형태의 기판반송장치는, 도시하지 않아도 진공반송실 주위에 복수의 진공처리실이 배치된 멀티 챔버장치에 있어서, 그 진공 반송실내에 설치되고, 로드/언로드실을 포함한 복수의 진공처리실 사이에서 반도체 웨이퍼나 유리기판 등의 피처리기판을 자동반송하는 기판반송장치로서 구성되어 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 기판반송로봇(30)의 구성을 나타내는 사시도이다. 이 기판반송로봇(30)은 선단부에 핸드(32)가 결합된 다관절 암(31)과, 핸드(32)를 직선 이동시키는 벨트구동기구(38)를 구비하고 있다. 또, 도 1에서는 이해 하기 쉽게 하기 위해 벨트구동기구(38)의 구성을 간략적으로 나타내고 있다.

본 실시형태에 있어서, 다관절 암(31)은 평행 링크형으로 구성되어, 일단이 기대(33)에 회전 가능하게 지지된 한 쌍의 제1 암(41, 41)과, 이들 한 쌍의 제1 암(41, 41) 각각의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합된 한 쌍의 제2 암(42, 42)을 가지고 있다. 제1 암(41)과 제2 암(42)은 서로 동일한 암길이를 가지고 있지만, 이에 한정되지 않고, 서로 다르게 해도 좋다. 핸드(32)는 한 쌍의 제2 암(42, 42) 각각의 타단에 회전 가능하게 결합된 블록부(34)와, 기판을 지지하는 복수 라인의 포크부(35)로 구성되어 있다.

상기 구성의 다관절 암(31)의 일단이 설치되는 하대(33)에는 핸드(32)의 이동량 및 이동방향을 제어하는 벨트구동기구(38)와, 핸드(32)의 직선이동을 안내하는 리니어 가이드(36)가 설치되어 있다. 벨트구동기구(38)는 리니어 가이드(36)의 가이드 레일(37a)에 따라 핸드(32)를 직선적으로 이동시킨다. 이하, 도 2∼도 5를 참조하여 벨트구동기구(38)의 상세에 대하여 설명한다.

도 2 및 도 3은 핸드구동기구(38)의 구체적인 구성예를 나타내는 사시도 및 평면도이다. 핸드구동기구(38)는 구동축(55; 도 6)에 연결된 구동 풀리(43)와, 종동 풀리(44a, 44b)와, 구동 풀리(43)와 종동 풀리(44a, 44b) 사이를 가로질러 연결한 벨트부재(46)를 구비하고 있다. 종동 풀리(44a, 44b)는 한 쌍 설치되고, 이들 사이의 거리는 핸드(32)의 이동거리에 응해 적절히 설정된다.

각 종동 풀리(44a, 44b)와 구동 풀리(43) 사이에는 벨트부재(46)의 장력을 조정하기 위한 보조 풀리(45a, 45b)가 각각 설치되어 있어 구동 풀리(43)와 벨트부 재(46) 사이의 밀착력 향상이 도모되어 있다.

벨트구동기구(38)는 구동 풀리(43)의 회전운동을 벨트부재(46)의 직선주행운동으로 변환한다. 특히, 도 4에 나타내듯이, 구동 풀리(43) 주위면에 복수의 계합돌기(43a)를 형성하고, 벨트부재(46)의 벨트면에는 이러한 계합돌기(43a)에 계합하는 계합공(46a)을 복수 설치하는 것이 매우 적합하다. 이에 의해, 구동 풀리(43)와 벨트부재(46) 사이의 미끄러짐을 방지하고, 구동 풀리(43)의 회전력을 벨트부재(46)에 확실히 전달할 수 있다. 또, 도 4에서는 프레임부재(47)의 도시를 생략하고 있다.

종동 풀리(44a, 44b)와 보조 풀리(45a, 45b)는 각각의 축심부가 동일 직선상에 정렬 배치되어 있다. 벨트부재(46)는 스텐레스 강철 등의 금속 벨트로 되어, 기판반송면인 수평면내에 있어 각 풀리 사이에 걸려져 있다. 이에 의해, 벨트구동기구(38) 구성의 컴팩트화가 꾀해진다. 또, 벨트구동기구(38)의 진공반송실 내로의 설치가 용이해진다.

구동 풀리(43), 종동 풀리(44a, 44b) 및 보조 풀리(45a, 45b)는 프레임부재(47)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 프레임부재(47)는 종동 풀리(44a, 44b)를 지지하는 브라켓부(48a, 48b), 보조 풀리(45a, 45b)를 지지하는 브라켓부(49a, 49b) 및 구동 풀리(43)를 지지하는 베이스부(50)를 구비하고 있다. 또, 각 브라켓부(48a, 48b, 49a, 49b)에는 종동 풀리(44a, 44b), 보조 풀리(45a, 45b)의 축 지지위치를 조정하기 위한 조정기구부(S)가 각각 설치되어 있다.

리니어 가이드(36)의 가이드 레일(37a)은 프레임부재(47)의 역 L자상의 직선 적인 앵글부(47a)상에 설치되어 있다. 가이드 레일(37a)은 한쪽의 종동 풀리(44a)에서 다른 쪽의 종동 풀리(44b)로 향해 직선적으로 연재하는 벨트부재(46)의 벨트면과 평행하게 배치되어 있다. 또, 가이드 레일(37a)은 물론, 복수 라인이 계합되어 구성되어도 좋다.

한편, 가이드 레일(37a)과 조(組)가 되는 리니어 가이드(36)의 슬라이더(37b)는 도 5에 나타내듯이, 연결부재(51)를 통해 핸드(32) 및 벨트부재(46)에 연결되어 있다. 여기서, 도 5는 핸드(32)의 직하방에 있어 벨트구동기구(38)의 구성을 나타내는 사시도이며, 이해의 용이를 위해 프레임부재(47)의 도시는 생략하고 있다.

연결부재(51)의 하단부(51a)는 벨트부재(46)에 일체로 고정되고, 상단부(51b)는 후술하는 부하완충기구(52)를 통해 핸드(32)의 블록부(34)에 고정되어 있다. 연결부재(51)의 대략 중앙부에는, 리니어 가이드(36)의 슬라이더(37b)에 연결되는 완부(51c)가 돌출 형성되어 있다. 이상의 구성에 의해, 벨트부재(46)가 주행하면 핸드(32)가 연결부재(51)를 통해 리니어 가이드(36)의 가이드 레일(37a)에 따라 직선적으로 이동된다.

부하완충기구(52)는 핸드(32)에 작용하는 연직방향의 부하가 리니어 가이드(36)에 직접 작용하는 것을 막기 위한 것이다. 본 실시형태의 기판반송장치(30)에 있어서는, 핸드(32)에 작용하는 연직방향의 부하는 다관절 암(31)의 각 암(41, 42)에 의해 지지되므로, 리니어 가이드(36)에 직접 해당 부하가 작용하는 것은 아니다. 그러나 예를 들면, 다관절 암(31)에 변형이 생기는 경우도 생각할 수 있으 므로, 이때 가이드 레일(36)에 부하가 직접 작용하는 것을 막기 위해서, 본 실시형태에서는 핸드(32)와 연결부재(51) 사이에 상술한 부하완충기구(52)를 설치하고 있다. 부하완충기구(52)는 예를 들면, 고무 등의 탄성재료나 스프링 핀 등의 충격흡수구(52a)를 내장한 블록체로 구성할 수 있다.

이상과 같이 하여 구성되는 벨트구동기구(38)는 구동 풀리(43)의 직하위치에 동축 배치되고 베이스부(50)에 일체 고정된 원통상의 고정부(53)를 통해 기대(33) 위에 설치되어 있다. 다관절 암(31) 및 벨트구동기구(38)를 지지하는 기대(33)는 회전기구부(39)에 취부된 회전대(40) 위에 설치되어 있다(도 1). 회전기구부(39)는 도시하지 않은 진공반송실 저벽면에 대해서 기대(33)를 회전 가능하게 지지하고 있다. 벨트구동기구(38)의 구동 풀리(43)는 기대(33)의 회전축심부에 정렬 배치되어 있다.

구동 풀리(43)를 회전시키는 구동축(55)은 도 6에 나타내듯이 구동 풀리(43)에 대해서 착탈자재하게 구성되어 있다. 구동축(55)은 회전 진공씰기구(57)를 구비하고 있어, 도시하지 않은 진공반송실 저벽을 통하여, 구동 풀리(43)의 축심부에 대기측으로부터 삽입 결합된다. 구동축(55)의 외주측에는, 기대(33)를 회전시키는 선회축(56)이 구동축(55)과 동심적으로 배치되어 있다. 선회축(55)은 벨트구동기구(38)의 프레임부재{47; 고정부(53)}에 일체로 결합되고, 이 프레임부재(47)에 회전축력을 부여하는 것으로 기대(33)의 선회작용을 얻도록 하고 있다.

이상과 같이 구성되는 본 실시형태의 기판반송장치(30)에 있어서는, 구동축(55)의 회전구동에 의해 구동 풀리(43)가 회전하고, 벨트부재(46)가 주행한다. 벨트부재(46)에는 연결부재(51)를 통해 핸드(32)가 연결되고, 또, 연결부재(51)가 리니어 가이드(36)의 슬라이더(37b)에 고정되고 있는 것으로부터, 벨트부재(46)의 주행에 의해 핸드(32)가 리니어 가이드(36)의 가이드 레일(37a)에 따라 직선 이동된다. 그리고 핸드(32)의 이동량은 구동 풀리(43)의 회전량에 의해 제어되고, 핸드(32)의 이동방향은 구동 풀리(43)의 회전방향에 의해 제어된다.

이때, 다관절 암(31)의 각 암(41, 42)은 독자적인 구동원을 가지지 않고, 벨트부재(46)의 주행방향 및 주행량에 응해 신축한다. 따라서, 제1 암(41)과 제2 암(42)이 이루는 각이 0°로 되는 평행 링크기구의 사점위치에 있어도, 다관절 암(31)의 신축동작을 원활히 실시하는 것이 가능해져, 핸드(32)가 안정된 직진 반송성을 얻을 수 있다.

또, 본 실시형태의 기판반송장치(30)에 있어서는 핸드(32)에 작용하는 연직방향의 부하를 다관절 암(31)에 의해 지지하는 구성이므로, 리니어 가이드(36)에 해당 부하가 직접 작용하는 것이 회피되어 리니어 가이드(36)에 의한 핸드(32)의 이동 정밀도의 저하를 방지할 수 있다. 이에 의해, 핸드(32)의 높은 반송 정밀도 또는 반송 정밀도와 내구성을 동시에 얻을 수 있다.

더욱이, 본 실시형태의 기판반송장치(30)에 있어서는 벨트구동기구(38)를 구성하는 각 풀리 및 벨트부재가 프레임부재(47)상에서 모듈화됨과 동시에, 벨트구동기구(38)의 구동축(55)을 구동 풀리(43)에 대해서 착탈 자재하게 구성했으므로, 벨트구동기구(38)의 취출을 용이화 하여 메인터넌스성 향상을 꾀할 수 있다. 또, 구동축(55)과 동심적으로 기대(33)의 선회축(56)을 배치했으므로, 기판반송장치(30) 의 구동원 구조의 소형화 및 간소화를 꾀할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시형태에 대해 설명했지만, 물론, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상에 근거하여 여러 가지의 변형이 가능하다.

예를 들면 이상의 실시형태에서는, 벨트구동기구(38)를 구성하는 벨트부재(46)를 금속제로 했지만, 이에 한정하지 않고, 수지 등의 다른 재료로 구성하는 것도 가능하다.

또, 구동 풀리(43)와 벨트부재(46) 사이의 밀착력 향상을 꾀하기 위해서, 구동 풀리(43)를 영구자석으로 구성하고, 벨트부재(46)를 강자성 재료로 구성하도록 해도 좋다. 혹은 구동 풀리(43)와 보조 풀리(45a, 45b) 사이를 자기적으로 결합하는 것으로 벨트부재(46)의 압압력을 향상시키도록 해도 좋다.

더욱이, 다관절 암(31)은 상술한 평행 링크형의 것에 한정되지 않는다. 또, 기판 반송계는 진공 분위기중에 한정하지 않고, 대기 분위기중에서의 기판반송에도 본 발명은 적용 가능하다.

이상과 같이, 본 발명의 기판반송장치에 의하면, 구성을 복잡화하지 않고 기판의 높은 반송 정밀도를 얻을 수 있다.

Claims (7)

1. 일단이 기대에 설치되고, 타단이 기판지지용 핸드에 접속된 다관절 암과,

   상기 핸드의 직선 이동을 안내하는 리니어 가이드와,

   상기 핸드를 상기 리니어 가이드의 가이드 레일에 따라 이동시키는 벨트구동기구를 구비하고,

   상기 벨트구동기구는,

   구동축에 연결된 구동 풀리와,

   종동 풀리와,

   상기 구동 풀리와 상기 종동 풀리 사이에 걸려진 벨트부재와,

   상기 벨트부재와 상기 핸드를 연결하고 상기 리니어 가이드의 슬라이더에 일체로 고정된 연결부재와,

   상기 기대 위에 설치되어 상기 구동 풀리 및 상기 종동 풀리를 지지하는 프레임부재를 가지는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 종동 풀리는 상기 구동 풀리를 사이에 두고 한 쌍 설치됨과 동시에, 상기 각 종동 풀리와 상기 구동 풀리 사이에는 상기 벨트부재의 장력을 조정하기 위한 보조 풀리가 각각 설치되어 있고, 상기 벨트부재는 수평면내에서 상기 각 풀리 간에 걸려진 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 구동풀리 주위면에는 복수의 계합돌기가 설치됨과 동시에, 상기 벨트부재에는 상기 계합돌기와 계합하는 복수의 계합공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 구동축은 상기 구동 풀리에 대해서 결합과 분리가 자유롭게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 구동축과 동심적으로 상기 기대를 선회시키는 선회축이 배치되고 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 다관절 암은 일단이 상기 기대에 회전 가능하게 지지된 한 쌍의 제1 암과, 이들 한 쌍의 제1 암 각각의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합된 한 쌍의 제2 암을 구비하고, 상기 핸드는 상기 한 쌍의 제2 암 각각의 타단에 회전 가능하게 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
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