TW201441525A - 光源裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之光源裝置之特徵為具備有：放電燈；橢圓反射鏡，其係將由放電燈所被放射的光進行反射；箱形框體，其係收容放電燈及橢圓反射鏡，在前面面板設有出射光的出射口；及光量調整單元，其係具有：控制光的光量的光圈機構、控制通過光圈機構的光的出射與遮斷的快門機構、及支持快門機構與光圈機構的大致箱形外殼構件，框體之一側面面板係具有可插入光量調整單元的安裝開口部，外殼構件係在光量調整單元的插入方向後端，具有可覆蓋安裝開口部的蓋體，光量調整單元係由安裝開口部被插入在框體內，以蓋體覆蓋安裝開口部的方式被安裝在框體之一側面面板。

Description

光源裝置

本發明係關於具備有放電燈的光源裝置，尤其係關於在由放電燈被照射的光的光路上具備有光圈及快門的光源裝置。

自以往以來，為了進行光學零件的接著、塗料或接著劑的硬化、半導體製造的晶圓周邊曝光等，使用具備有放電燈作為光源的光源裝置。該種放電燈係例如在氙燈中係使Xe氣體發光、在超高壓水銀燈中係使水銀發光、在金屬鹵化物燈中係使水銀及金屬鹵化物發光的放電燈，與發光管的直徑相比為較短的電弧，亦即以較短的電極間距離放電，發生非常高的亮度的光。

由放電燈所被放射的光係藉由反射反射鏡被反射、聚光而被導光至光源裝置的出射口，藉由與出射口相連接的光纖束等導光手段被出射至外部。由放電燈所被放射的光的光量係藉由被設在放電燈與出射口之間的光圈機構進行調整。此外，由放電燈所被放射的光的ON/OFF(亦即光的出射/遮斷)係藉由被設在放電燈與出射 口之間的快門機構進行控制(例如專利文獻1)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2000-057816號公報

一般而言，光圈機構或快門機構係藉由旋轉電磁線圈等致動器而被驅動，但是如上所示之致動器係因長時間使用以致發熱或振動的影響、及因長時間不使用以致潤滑劣化等影響而經年劣化，因此必須定期更換。

專利文獻1所記載的光源裝置係形成為以下構成：在放電燈與出射口之間設置內箱，將由快門板或快門驅動部(旋轉電磁線圈)等所構成的快門機構一體固定在該內箱的蓋部(內箱蓋部)。接著，在更換快門機構時，藉由連同內箱蓋部一起更換，不需要進行更換時的快門的對位等複雜的作業。

但是，在專利文獻1所記載的光源裝置中，若更換快門機構時，必須進行：(1)卸除殼體的上面蓋部、(2)由內箱卸下內箱蓋部、(3)卸下電氣配線(連接器)、(4)更換成新的內箱蓋部、(5)連接電氣配線、(6)在內箱安裝內箱蓋部、(7)在殼體安裝上面蓋 部等一連串作業，快門機構更換時所發生的停歇時間(非運轉時間)依然會有未被縮短的問題。

本發明係鑑於如上所示之情形而研創者，目的在提供可輕易進行快門機構或光圈機構的更換，可縮短停歇時間(down time)的光源裝置。

為達成上述目的，本發明之光源裝置之特徵為具備有：放電燈；橢圓反射鏡，其係將由放電燈所被放射的光進行反射；箱形框體，其係收容放電燈及橢圓反射鏡，在前面面板設有出射光的出射口；及光量調整單元，其係具有：控制光的光量的光圈機構、控制通過光圈機構的光的出射與遮斷的快門機構、及支持快門機構與光圈機構的大致箱形外殼構件，框體之一側面面板係具有可插入光量調整單元的安裝開口部，外殼構件係在光量調整單元的插入方向後端，具有可覆蓋安裝開口部的蓋體，光量調整單元係由安裝開口部被插入在框體內，以蓋體覆蓋安裝開口部的方式被安裝在框體之一側面面板。

藉由如上所示之構成，無須卸下框體的面板，即可更換光量調整單元，因此可大幅地縮短停歇時間。

此外，可構成為：外殼構件係具有：第1板狀構件，其係當被安裝在框體之一側面面板時，被配置在橢圓反射鏡側，具有使光通過的第1開口部；第2板狀構 件，其係當被安裝在框體的側面面板時，以與第1板狀構件相對向的方式被配置在第1板狀構件與前面面板之間，具有使光通過的第2開口部；及隔板，其係將第1板狀構件與第2板狀構件之間的空間，隔開成：使第1開口部與第2開口部相連通而使光通過的光透過區域、及將光進行遮光的遮光區域。此時較佳為隔板係以導管狀包圍第1開口部及第2開口部的周圍，光透過區域係形成在藉由隔板所被包圍的空間內。此外，此時較佳為藉由隔板所被包圍的空間係朝與光的光路呈正交的方向被開放。藉由如上所示之構成，可在第1板狀構件與第2板狀構件之間的空間容易形成光透過區域及遮光區域，可將因光所包含的紫外線而劣化的電機零件等配置在遮光區域內。

此外，可構成為：光圈機構係具備有：被配置在光的光路上，變更光的透過量的調光元件；及使調光元件驅動的第1致動器，第1致動器係被配置在遮光區域，調光元件係被配置在第2板狀構件的外側。藉由如上所示之構成，可防止第1致動器因光所包含的紫外線而劣化的情形。

此外，調光元件係可具備有：以橫穿光的光路的方式作配置的圓盤狀的旋轉板、及以開口面積沿著旋轉板的圓周方向連續變化的方式所形成的網狀開口部。

此外，調光元件係可具備有：以橫穿光的光路的方式作配置的圓盤狀的旋轉板、及以光的透過率沿著旋轉板的圓周方向連續變化的方式所形成的光學濾光片 部。

此外，較佳為第1致動器係使前述旋轉板進行旋轉的電動機。

此外，可構成為：快門機構係具備有：被配置在光的光路上，且將光進行遮光的快門板；及將快門板在光的光路上進行進退驅動的第2致動器，第2致動器係被配置在遮光區域，快門板係被配置在第2板狀構件的外側。藉由如上所示之構成，可防止第2致動器因光所包含的紫外線而劣化的情形。

此外，較佳為調光元件係被配置在第2板狀構件與快門板之間。藉由如上所示之構成，由放電燈至快門板的距離比至調光元件的距離為更長，因此可將由光量調整單元被出射的光以較小的快門板進行遮光。

此外，可構成為：光源裝置係具有：由框體的外部將空氣進行吸氣的吸氣口；及將由吸氣口所吸氣的空氣排氣至框體的外部的排氣口，遮光區域係形成有將由吸氣口所吸氣的空氣朝向排氣口流通的流路。此時，較佳為光量調整單元係具備有連結構件，其係以在蓋體與外殼構件之間形成中空部的方式，將蓋體與外殼構件相連結，中空部係與遮光區域相連通，當光量調整單元被安裝在框體之一側面面板時，中空部及遮光區域形成將由吸氣口所吸氣的空氣朝向排氣口流通的流路。藉由如上所示之構成，可效率佳地將被配置在遮光區域的零件冷卻。

此外，較佳為外殼構件係在與蓋體相對向之 側的面，具有與快門機構及光圈機構作電性連接的第1連接機構，框體係具備有在該框體的內部與第1連接機構相嵌合的第2連接機構，第1連接機構或第2連接機構的至少任一方相對於外殼構件或框體，具有預定的間隙而予以固定。此外，此時較佳為第1連接機構或第2連接機構的至少任一方具備有導引任何另一方來輔助相互之嵌合的導引機構。藉由如上所示之構成，由於光量調整單元的加工誤差、組裝誤差、裝設位置誤差等被間隙所吸收，因此光量調整單元正確地被定位在框體內。此外，第1連接機構與第2連接機構的嵌合平順且確實地進行。

此外，可構成為：框體係具有導軌，其係當光量調整單元被插入在框體內時，導引外殼構件的插入。藉由如上所示之構成，可輕易插入光量調整單元。

如以上所示，藉由本發明之光源裝置，可輕易進行快門機構及光圈機構的更換，可大幅地縮短光源裝置的停歇時間。

1‧‧‧光源裝置

10‧‧‧框體

10a‧‧‧前面面板

10b‧‧‧背面面板

10c‧‧‧右側面面板

10d‧‧‧左側面面板

10da‧‧‧開口部

10f‧‧‧上面蓋部

10e‧‧‧底板

12‧‧‧光連接器部

12a‧‧‧出射口

14‧‧‧燈單元

14a‧‧‧前面面板

14b‧‧‧背面面板

14c‧‧‧右側面面板

14ca‧‧‧開口部

14d‧‧‧左側面面板

14g‧‧‧蓋罩

15a~15f、16‧‧‧隔板

17‧‧‧導軌

18‧‧‧連接器

30‧‧‧放電燈

31‧‧‧接口

32‧‧‧接口

40‧‧‧橢圓反射鏡

50‧‧‧驅動電路

51‧‧‧AC入口

100‧‧‧致動器單元

100M‧‧‧致動器單元

101‧‧‧外殼

101a‧‧‧第1遮光板

101ao‧‧‧開口

101aM‧‧‧第1遮光板

101aoM‧‧‧開口

101b‧‧‧第2遮光板

101ba‧‧‧貫穿孔

101bb‧‧‧凹部

101bc‧‧‧切口開口部

101bd‧‧‧遮光板

101be‧‧‧舌部

101bo‧‧‧開口

101bM‧‧‧第2遮光板

101c‧‧‧第1側板

101ca‧‧‧切口部

101cb‧‧‧上側安裝面

101cc‧‧‧下側安裝面

101d‧‧‧第2側板

101da‧‧‧切口部

101db‧‧‧開口

101dc‧‧‧上側安裝面

101dd‧‧‧中央安裝面

101de‧‧‧下側安裝面

101e‧‧‧隔板

101ea‧‧‧彎曲部

101eM‧‧‧隔板

101eaM‧‧‧彎曲部

101M‧‧‧外殼

102‧‧‧蓋體

103‧‧‧連接器

110‧‧‧光圈機構

111‧‧‧光圈板

111a‧‧‧開口

111b‧‧‧開口

111c‧‧‧切口部

112‧‧‧間隔件

112a‧‧‧嵌合孔

113‧‧‧光斷續器

114‧‧‧電動機

114a‧‧‧旋轉軸

130‧‧‧快門機構

131‧‧‧快門板

131a‧‧‧前端部

131b‧‧‧基端部

131c‧‧‧舌部

132‧‧‧間隔件

133‧‧‧光斷續器

134‧‧‧旋轉電磁線圈

134a‧‧‧旋轉板

135‧‧‧支持板

200‧‧‧風扇單元

IN1‧‧‧吸氣口

IN2‧‧‧吸氣口

EX1‧‧‧排氣口

EX2‧‧‧排氣口

圖1係本發明之一實施形態之光源裝置的概略構成圖。

圖2係說明本發明之一實施形態之光源裝置的概略構 成的斜視圖。

圖3係說明本發明之一實施形態之光源裝置所收容之致動器單元的概略構成的斜視圖。

圖4係圖3所示之致動器單元的分解斜視圖。

圖5係說明本發明之一實施形態之光源裝置的內部的空氣流的圖。

圖6係圖5的A-A剖面圖。

圖7係顯示圖3所示之致動器單元之變形例的斜視圖。

圖8係顯示圖7所示之致動器單元之變形例的分解斜視圖。

以下參照圖示，詳加說明本發明之實施形態。其中，在圖中相同或相當部分標註相同符號且不反覆進行其說明。

圖1係說明本發明之一實施形態之光源裝置1的概略構成圖。圖1係將框體10的上面蓋部10f(圖1中未圖示)卸下時的上面圖，惟為方便說明起見，關於局部構成(例如橢圓反射鏡40等)係以剖面圖來顯示。光源裝置1係在使感光性樹脂藉由光硬化而由單體硬化成聚合物的UV硬化等中供給紫外光的裝置。如圖1所示，光源裝置1係具備有：收容各構成零件的箱形框體10、收容有放電燈30及將由放電燈30所被放射的光進行反射的橢 圓反射鏡40的燈單元14、形成有將藉由橢圓反射鏡40所被反射的光(以下稱為「照明光」)出射的出射口12a的光連接器部12、被配置在橢圓反射鏡40與光連接器部12之間之致動器單元100、及驅動控制放電燈30或致動器單元100的控制電路50。

框體10係具備有：前面面板10a、背面面板10b、右側面面板10c、左側面面板10d、底板10e、上面蓋部10f(圖1中未圖示)。在前面面板10a係以出射口12a朝向光源裝置1的外側形成開口的方式安裝有光連接器部12。光連接器部12係連接未圖示的光纖束的圓筒狀構件，由放電燈30被放射的照明光係通過光連接器部12，藉由光纖束被導光而被出射至外部。此外，在背面面板10b係構成為可安裝將框體10的外部空氣吸氣至內部，並且將框體10的內部空氣排氣至外部的風扇單元200(圖1中未圖示)(後述)，在框體10的內部係配設有構成被取入至框體10內的空氣的流路，並且由放電燈30被放射的光不會漏洩至外部的方式進行遮光的隔板15a~15f、16。其中，在本說明書中，將由光源裝置1被出射照明光的方向(亦即框體10的前後方向)設為X軸，將前面面板10a及背面面板10b的長邊方向(亦即框體10的左右方向)設為Y軸，將與X軸及Y軸呈正交的方向(亦即框體10的高度方向)設為Z軸來作說明。

致動器單元100(光量調整單元)係一體配備有：控制由橢圓反射鏡40所被出射的光的光量的光圈機 構110、及控制由橢圓反射鏡40所被出射的照明光的ON/OFF(亦即照明光的出射/遮斷)的快門機構130的單元(零件)。本實施形態之致動器單元100係構成為一種更換零件，構成為可通過形成在框體10之左側面面板10d的開口部10da而在框體10進行插入抽拔(亦即相對於左側面面板10d朝Y軸方向安裝卸下自如)。接著，致動器單元100係當被裝設在框體10時，被連接在框體40內的連接器18，被配置在橢圓反射鏡40與出射口12a之間。連接器18(第2連接機構)係與被設在致動器單元100的連接器103(第1連接機構)相連接的連接器。

圖2係說明本實施形態之光源裝置1的概略構成的斜視圖。在圖2中，將框體10的上面蓋部10f破斷而顯示裝置內部的概略構成。此外，在圖2中，為使圖示更為清楚，省略圖示內部的電氣配線等部分構成。

如圖1及圖2所示，在光源裝置1係夾著隔板16而在左側(亦即左側面面板10d側)配置有燈單元14，在右側(亦即右側面面板10c側)配置有驅動電路50。驅動電路50係藉由由被安裝在背面面板10b的AC入口51所被供給的商用電源來進行動作，與放電燈30、致動器單元100等各構成零件作電性連接，對該等構成零件供給電源，並且將控制訊號進行傳送接收。其中，在本實施形態中，驅動電路50與致動器單元100係透過連接器18而相連接，在後述之致動器100的電動機114、旋轉電磁線圈134等(圖4)，係透過連接器18而被供給 電源，並且被傳送接收控制訊號。

燈單元14係收容放電燈30及橢圓反射鏡40的外殼，具備有前面面板14a、背面面板14b、右側面面板14c、左側面面板14d(圖1)。燈單元14的前面面板14a與框體10的前面面板10a係透過光連接器部12而相連接，來自燈單元14的照明光由光連接器部12的出射口12a被出射。放電燈30係具備有使用紫外光透過性或耐熱性優異的石英玻璃等所形成的發光管的市售的燈。放電燈30係在前端側(X軸方向正側)安裝有陽極側的接口31，在基端側(X軸方向負側)安裝有陰極側的接口32(固定用接口)。在背面面板14b係露出夾持接口32的夾持構件(未圖示)，放電燈30係藉由將接口32夾持在夾持構件，被定位在燈單元14內予以固定。若放電燈30被裝設在燈單元14時，放電燈30的電弧亮點的位置會與橢圓反射鏡40的第1焦點的位置相一致。接著，若接通光源裝置1的電源時，藉由驅動電路50，高電壓被施加至接口31與接口32之間(亦即陽極與陰極之間)。結果，在陽極與陰極間發生絕緣破壞而開始電弧放電。若電弧放電開始，驅動電路50係以維持電弧放電的方式供給電流。因此，放電燈30安定亮燈。

橢圓反射鏡40係將由放電燈30被放射的光朝向出射口12a作反射的反射構件。藉由橢圓反射鏡40所被反射的照明光係以在出射口12a成為預定的點徑的方式，慢慢被聚光，通過致動器單元100而由出射口12a被 出射(圖1)。

如圖2所示，致動器單元100係構成為可由形成在框體10之左側面面板10d的開口部10da在框體10內進行插入抽拔。在框體10內係形成有朝與致動器單元100的插入方向(亦即Y軸方向)呈平行地延伸，當致動器單元100被插入在框體10內時，在致動器單元100的上端部及下端部導引外徑的一對導軌17(在圖2中，下側的導軌17並未圖示)。因此，當裝設致動器單元100時，係將致動器單元100的前端側(Y軸方向正側)插入在開口部10da，藉由壓入在框體10內而被輕易裝設。

圖3係說明本實施形態之致動器單元100的概略構成的斜視圖。此外，圖4係圖3所示之致動器單元100的分解斜視圖。其中，在圖4中，為使圖示更為清楚，省略顯示內部的電氣配線等部分構成。

<致動器單元100的構成>

如圖3及圖4所示，本實施形態之致動器單元100係具備有：控制由橢圓反射鏡40被出射的照明光的光量的光圈機構110；控制照明光的ON/OFF(亦即照明光的出射/遮斷)的快門機構130；光圈機構110及快門機構130被一體固定的外殼101；被安裝在外殼101之插入方向(Y軸方向)後端側之一側面(第1側板101c)的蓋體102；及與光圈機構110及快門機構130作電性連接，被 安裝在外殼10之插入方向(Y軸方向)前端側的另一側面(第2側板101d)的連接器103。

外殼101係大致箱形的金屬性外殼，具備有：當致動器單元100被裝設在框體10時，位於橢圓反射鏡40側的第1遮光板101a；以與第1遮光板101a相對向的方式位於出射口12a側的第2遮光板101b；用以連結第1遮光板101a與第2遮光板101b的第1側板101c及第2側板101d；及將第1遮光板101a與第2遮光板101b之間的空間，分隔成由橢圓反射鏡40被出射的照明光所通過的光透過區域、及由橢圓反射鏡40被出射的照明光被遮光的遮光區域的隔板101e。

第1遮光板101a(第1板狀構件)係在大致中心部形成有圓形的開口101ao(第1開口部)的矩形板狀構件，當致動器單元100被裝設在框體10時，以開口101ao橫穿照明光的光路的方式作配置。因此，在由橢圓反射鏡40被出射的照明光之中，僅有通過開口101ao的光入射至外殼101內。

第1側板101c係被設在外殼101的插入方向後端側(Y軸方向負側)之用以連結第1遮光板101a與第2遮光板101b的板狀構件。本實施形態之第1側板101c係由與第1遮光板101a為共通的板材所形成，藉由將第1遮光板101a的Y軸方向負側的端部朝X軸方向正側折曲來形成。第1側板101c係當由Y軸方向負側觀看時，呈倒字狀的形狀，當致動器單元100被裝設在框體 10時，形成有在框體10內構成空氣的流路的(亦即用以通過空氣的)矩形狀的切口部101ca(詳容後述)。此外，第1側板101c的第2遮光板101b側係以與第2遮光板101b相對向的方式另外被折曲，形成有用以安裝第2遮光板101b的上側安裝面101cb及下側安裝面101cc。

第2側板101d係被設在外殼101的插入方向前端側(Y軸方向正側)之用以連結第1遮光板101a與第2遮光板101b的板狀構件。本實施形態之第2側板101d係由與第1遮光板101a為共通的板材所形成，藉由將第1遮光板101a的Y軸方向正側的端部朝X軸方向正側折曲來形成。在第2側板101d的上側，係當致動器單元100被裝設在框體10時，形成有在框體10內構成空氣的流路的(亦即用以通過空氣的)矩形狀切口部101da(詳容後述)。此外，在第2側板101d的下側係形成有用以安裝連接器103的矩形狀的開口101db。連接器103係被插入在開口101db來作定位，藉由未圖示的螺絲而被固定在第2側板101d。其中，連接器103的各端子係藉由未圖示的纜線而與光圈機構110的電動機114、快門機構130的旋轉電磁線圈134作電性連接。此外，第2側板101d的第2遮光板101b側係以與第2遮光板101b相對向的方式另外被折曲，形成有用以安裝第2遮光板101b的上側安裝面101dc、中央安裝面101dd及下側安裝面101de。

第2遮光板101b(第2板狀構件)係在大致 中心部形成有圓形的開口101bo(第2開口部)的矩形板狀構件，當致動器單元100被裝設在框體10時，以開口101bo橫穿照明光的光路的方式作配置。因此，在通過開口101ao而入射至外殼101的光之中，僅有通過開口101bo的光由外殼101被出射。此外，在第2遮光板101b組裝有光圈機構110及快門機構130(後述)。接著，組裝有光圈機構110及快門機構130的第2遮光板101b被螺止在第1側板101c及第2側板101d，藉此光圈機構110及快門機構130相對於外殼101作固定。

蓋體102係覆蓋形成在框體10之左側面面板10d的開口部10da的(亦即用以覆蓋開口部10da的)板狀構件，在蓋體102的背側(Y軸方向正側)固定有間隔件102a。間隔件102a係X軸方向的剖面呈字狀的板狀構件，蓋體102係夾著間隔件102a而被螺止在第1側板101c，蓋體102與間隔件102a之間的中空部係當致動器單元100被裝設在框體10時，在框體10內形成空氣的流路。此外，在間隔件102a係在與切口部101ca相對向的位置形成有開口部(未圖示)，以蓋體102與間隔件102a的間的中空部、與外殼101的內部(遮光區域)相連通的方式構成。

蓋體102係當致動器單元100被裝設在框體10時，覆蓋開口部10da，並且抵接於左側面面板10d，藉由被插入在形成於蓋體102的3個貫穿孔102b的螺絲(未圖示)而被固定在左側面面板10d。亦即，本實施形 態之蓋體102係當致動器單元100被裝設在框體10時，即構成左側面面板10d的一部分。因此，當更換致動器單元100時，係僅將固定有蓋體102的螺絲卸下而更換致動器單元100即可，並不會發生將框體10的各面板卸下等繁雜的作業。

隔板101e係使細長金屬板材彎曲成大致U字形狀所形成的構件，具備有上側形成開放的U字狀彎曲部101ea。隔板101e係以夾在第1遮光板101a與第2遮光板101b之間的方式作配置，彎曲部101ea包圍開口101ao及開口101bo的周圍。彎曲部101ea的上端係以沿著第1遮光板101a的上端緣部的方式朝第1側板101c及第2側板101d側被折曲，彎曲部101ea的內側(亦即U字的內側)的空間係朝向上側被開放，彎曲部101ea的外側(亦即U字的外側)的空間係朝向下側被開放。如上所示，本實施形態之隔板101e係將第1遮光板101a與第2遮光板101b之間的空間分隔成U字狀，藉此在彎曲部101ea的內側的空間形成供由橢圓反射鏡40被出射的照明光通過的光透過區域，在彎曲部101ea的外側的空間形成由橢圓反射鏡40被出射的照明光被遮光的遮光區域。接著，本實施形態之致動器單元100係構成為藉由在該遮光區域配置光圈機構110的電動機114、快門機構130的旋轉電磁線圈134、及該等的配線纜線，該等電氣零件不會被曝露在照明光所包含的紫外線而劣化。其中，在由橢圓反射鏡40被出射的照明光之中，未被入射至開口101ao內的光 (亦即入射至第1遮光板101a上的光)係藉由第1遮光板101a而被反射至橢圓反射鏡40側，被封閉在橢圓反射鏡40與第1遮光板101a之間的空間。此外，未入射至開口101bo內的光(亦即入射至第2遮光板101b上的光)係藉由第2遮光板101b而被反射至第1遮光板101a側，被封閉在第2遮光板101b與第1遮光板101a之間的空間。因此，並不會有由橢圓反射鏡40被出射的照明光的一部分由開口101bo以外的部分漏洩至燈單元14的外部的情形。

<光圈機構110的構成>

接著，說明被安裝在本實施形態之致動器單元100的第2遮光板101b的光圈機構110的具體構成。光圈機構110係藉由以下所構成：圓盤狀的光圈板111、使光圈板111旋轉的電動機114、將光圈板111固定在電動機114的旋轉軸114a的圓筒狀的間隔件112、及檢測光圈板111的旋轉角度的光斷續器113。

在第2遮光板101b形成有供插通電動機114的旋轉軸114a的貫穿孔101ba，電動機114係由第2遮光板101b的內側(亦即遮光區域側)被安裝在第2遮光板101b，藉由未圖示的螺絲被固定。若在第2遮光板101b安裝有電動機114時，電動機114的旋轉軸114a突出在第2遮光板101b的外側。接著，電動機114的旋轉軸114a被插通在間隔件112的嵌合孔112a來安裝間隔件 112，接著，藉由未圖示的螺絲，光圈板111被安裝在間隔件112的前端。在第2遮光板101b的外側(X軸方向正側)形成有將光斷續器113定位的凹部101bb，光斷續器113係被安裝在該凹部101bb，藉由未圖示的螺絲被固定。

光圈板111係具有：變更通過開口101bo的照明光的透過量的網狀開口111a、及使通過開口101bo的照明光100%透過的圓形開口111b的金屬製構件，以圓盤面垂直橫穿照明光的光路的方式，被配置在第2遮光板101b的外側(亦即開口101bo的外側)。開口111a係以沿著光圈板111的周方向，網目的直徑慢慢地(連續地)變化的方式所形成，可對應光圈板111的停止位置(亦即開口111a的停止位置)，來調整照明光的透過量(亦即出射光量)。此外，在光圈板111的外周緣部形成有表示光圈板111的基準位置(基準角度)的切口部111c。

電動機114係用以使光圈板111旋轉的步進電動機(第1致動器)，如上所述，以旋轉軸114a與照明光的光路呈平行的方式被安裝在第2遮光板101b。電動機114係與連接器103作電性連接，按照由驅動電路50透過連接器103而被供給的電源及驅動脈衝，使旋轉軸114a以預定的步進角度旋轉。在電動機114的旋轉軸114a的前端，係透過間隔件112而安裝有光圈板111。因此，若旋轉軸114a以預定的步進角度旋轉時，光圈板111即伴隨此而旋轉。

光斷續器113係被配置在光圈板111的外周緣部的近傍，檢測被形成在光圈板111的切口部111c的透過型的光斷續器。光斷續器113係與連接器103作電性連接，藉由由驅動電路50透過連接器103所被供給的電源來進行動作。接著，當光圈板111的切口部111c位於光斷續器113的位置時(亦即檢測出切口部111c時)，檢測訊號透過連接器103而被輸出至驅動電路50。在本實施形態中，係構成為當光圈板111的切口部111c位於光斷續器113的位置時，開口101bo的中心與開口111b的中心大致一致，通過開口101bo的照明光100%透過，將光圈板111的該位置設為基準位置。接著，若光源裝置1的使用者藉由操作未圖示的操作面板或操作按鍵，進行用以降低照明光的出射光量的輸入時，驅動電路50係以成為對應來自使用者的輸入的出射光量的方式對電動機114輸出預定的驅動脈衝，使光圈板111以預定的角度旋轉。如上所示，本實施形態之光圈機構110係對應來自使用者的輸入來使光圈板111旋轉，藉此以使用者所希望的出射光量的照明光由出射口12a被出射的方式進行光量控制。

<快門機構130的構成>

接著，說明本實施形態之快門機構130的具體構成。快門機構130係藉由以下所構成：細長板狀的快門板131、使快門板131旋轉的旋轉電磁線圈134、將快門板 131固定在旋轉電磁線圈134的3個間隔件132、支持旋轉電磁線圈134的支持板135、及檢測快門板131的旋轉角度的光斷續器133。

快門機構130係被安裝在支持板135而被固定在第2遮光板101b。具體而言，首先，旋轉電磁線圈134被安裝在支持板135，藉由未圖示的螺絲被固定。接著，光斷續器133被安裝在支持板135，藉由未圖示的螺絲被固定。接著，在旋轉電磁線圈134的旋轉板134a與快門板131之間夾著間隔件132，藉由未圖示的螺絲，將快門板131固定在旋轉板134a。接著，將被固定在支持板135的快門機構130，由第2遮光板101b的內側(亦即遮光區域側)插入至被形成在第2遮光板101b的切口開口部101bc，藉由未圖示的螺絲來進行固定。其中，本實施形態之快門機構130被固定在第2遮光板101b時，旋轉電磁線圈134係以比第2遮光板101b的表面稍微突出的方式被安裝(圖3)，但是由於在旋轉電磁線圈134與開口101bo之間形成有遮光板101bd，因此並不會來自開口101bo的漏光直接入射至旋轉電磁線圈134的情形。

快門板131係被配置在光圈板111的外側的金屬製板狀構件，構成為其前端部131a可在通過光圈板111的照明光的光路內進行進退。當致動器單元100被裝設在框體10時，若快門板131的前端部131a被配置在通過光圈板111的照明光的光路內時，照明光被快門板131所遮蔽，因此由出射口12a所被出射的照明光即被遮斷。 相反地，若快門板131的前端部131a被配置在不在通過光圈板111的照明光的光路的位置時(退避)，由於照明光未被快門板131所遮蔽，因此照明光由出射口12a被出射。如上所示，本實施形態之快門板131係構成為在照明光的光路內的位置(以下稱為「遮斷位置」)、與照明光的光路外的位置(以下稱為「退避位置」)之間移動，藉此進行照明光的ON/OFF控制。在快門板131的基端部131b側係以光斷續器133可檢測快門板131的位置(遮斷位置或退避位置)的方式形成有舌部131c。

旋轉電磁線圈134係用以使被安裝在旋轉板134a的快門板131旋轉(進退)的致動器。旋轉電磁線圈134係與連接器103作電性連接，按照由驅動電路50透過連接器103而被供給的電源及控制訊號，使旋轉板134a以預定的角度(例如30°)旋轉。在旋轉電磁線圈134的旋轉板134a係夾著圓筒狀間隔件132而安裝有快門板131的基端部131b，若旋轉板134a以預定的角度旋轉時，快門板131的前端部131a伴隨此而移動。亦即，本實施形態之旋轉電磁線圈134係藉由使光圈板111旋轉預定的角度，將快門板131的位置在遮斷位置與退避位置之間作切換。

光斷續器133係以夾著快門板131的舌部131c的方式所配置的透過型的光斷續器。光斷續器133係與連接器103作電性連接，藉由由驅動電路50透過連接器103所被供給的電源來進行動作。接著，當快門板 131的舌部131c位於光斷續器133的位置時(亦即檢測出舌部131c時)，檢測訊號透過連接器103而被輸出至驅動電路50。在本實施形態中係構成為當快門板131的舌部131c位於光斷續器133的位置時，快門板131的前端部131a被配置在通過光圈板111的照明光的光路內(亦即被配置在遮斷位置)，將快門板131的該位置設為基準位置。接著，構成為光源裝置1的使用者藉由操作未圖示的操作面板或操作按鍵，來進行用以導通照明光的輸入時，驅動電路50係對旋轉電磁線圈134輸出預定的訊號，使快門板131以預定的角度旋轉，使其由照明光的光路退避(亦即使其移動至退避位置)。如上所示，本實施形態之快門機構130係對應來自使用者的輸入而使快門板131旋轉(移動)，藉此進行照明光的ON/OFF控制。其中，在本實施形態中，藉由橢圓反射鏡40所被反射的照明光係以在出射口12a成為預定的點徑的方式被慢慢聚光。因此，藉由將快門板131配置在比光圈板111更為外側，由放電燈30至快門板131的距離比至光圈板111的距離為更長，因此可將由外殼101所被出射的光以較小的快門板131進行遮光。

如上所示，本實施形態之致動器單元100係構成為一體配備有：控制照明光的光量的光圈機構110、及控制照明光的ON/OFF(亦即照明光的出射/遮斷)的快門機構130，通過被形成在框體10之左側面面板10d的開口部10da，可在框體10進行插入抽拔(亦即相對於 左側面面板10d而朝Y軸方向安裝卸下自如)。接著，構成為：當致動器單元100被裝設在框體10時，連接器103與框體40內的連接器18相嵌合，兩者作電性連接。因此，藉由本實施形態之構成，不需要進行在更換致動器單元100時之電氣配線的安裝卸下作業。其中，本實施形態之連接器18係吸收致動器單元100的加工誤差、組裝誤差、裝設位置誤差等，因此以預定的間隙，鬆緩地被固定在框體10內。在其他實施形態中，亦可將連接器18牢固地固定在框體10內，而將連接器103鬆緩地固定。此外，亦可具備有連接器103與連接器18的至少任一方導引任何另一方來輔助相互的嵌合的導引機構，俾使連接器103與連接器18的嵌合平順且確實地進行。

如上所述，在本實施形態之致動器單元100中，係構成為在遮光區域配置電動機114、旋轉電磁線圈134及該等之配線纜線，藉此該等電氣零件不會被曝露在照明光所包含的紫外線而劣化。但是，電動機114及旋轉電磁線圈134被配置在狹窄的遮光區域，若成為經常被通電的狀態時，會有發熱問題之虞。因此，在本實施形態中，構成為當致動器單元100被裝設在框體10時，致動器單元100的遮光區域成為空氣的流路，電動機114及旋轉電磁線圈134即被冷卻。

圖5係說明在本實施形態之光源裝置1的背面面板10b安裝有風扇單元200時的概略構成圖。此外，圖6係圖5的A-A剖面圖。其中，在圖5中，各箭號係 表示空氣流。

如圖5所示，本實施形態之光源裝置1的內部係藉由隔板16，完全分離出配置控制電路50的空間(以下稱為「空間A」)、及配置燈單元14的空間(以下稱為「空間B」)。接著，在空間A中，在背面面板10b形成有吸氣口IN1及排氣口EX1，若風扇單元200內的風扇旋轉時，空氣由吸氣口IN1被吸氣至框體10的空間A，在空間A形成空氣流。接著，空間A的空氣係在空間A內作循環後，由排氣口EX1通過風扇單元200而被排氣至外部。如上所示，因空間A的空氣作循環，控制電路50即被冷卻。

在空間B中，在左側面面板10d形成有吸氣口IN2，在背面面板10b形成有排氣口EX2。若風扇單元200內的風扇旋轉時，空氣由吸氣口IN2被吸氣至框體10的空間B。被吸氣至空間B的空氣係在空間B內分歧為複數路徑來流通。具體而言，被吸氣至空間B的空氣係先沿著燈單元14的左側面面板14d而分為2個方向。流至其中一方(X軸方向正側)的空氣係通過隔板15d的開口部(未圖示)，一部分係流入至燈單元14的內部，一部分係通過隔板15e的開口部(未圖示)而流入至致動器單元100的內部。此外，沿著左側面面板14d而流至X軸方向負側的空氣係通過隔板15c及15b的開口部(未圖示)，一部分係流入至燈單元14的內部的橢圓反射鏡40的背側，一部分係通過隔板15a的開口部(未圖示)而流入至 背面面板14b與背面面板10b之間的空間。

流入至燈單元14的內部的橢圓反射鏡40的背側的空氣係由形成在背面面板14b的右側面面板14c側的開口部(未圖示)流入至背面面板14b與背面面板10b之間的空間。接著，流入至背面面板14b與背面面板10b之間的空間的空氣係流入至隔板15f與背面面板10b之間的空間，由排氣口EX2被排氣。如上所示，因空間B的空氣作循環，橢圓反射鏡40及放電燈30的接口32即被冷卻。

通過隔板15d而流入至燈單元14的內部的空氣係通過由橢圓反射鏡40與第1遮光板101a所包圍的空間，由形成在右側面面板14c的開口部14ca(圖2)通過蓋罩14g內，另外通過隔板15f的開口部(未圖示)而由排氣口EX2被排氣。如上所示，因空間B的空氣作循環，橢圓反射鏡40及放電燈30的前端側即被冷卻。

通過隔板15e而流入至致動器單元100的內部的空氣係通過蓋體102與間隔件102a之間的中空部，由第1側板101c的切口部101ca流入至遮光區域(圖6)。接著，流入至遮光區域內的空氣係一面冷卻旋轉電磁線圈134及電動機114一面進至遮光區域內，由第2側板101d的切口部101da被排氣至燈單元14與隔板16之間的空間。流入至燈單元14與隔板16之間的空間的空氣係另外通過隔板15f的開口部(未圖示)而由排氣口EX2被排氣。如上所示，在本實施形態中係構成為當致動器單 元100被裝設在框體10時，致動器單元100的遮光區域形成為空氣的流路。因此，電動機114及旋轉電磁線圈134效率佳地被冷卻，亦不會發生電動機114及旋轉電磁線圈134因發熱而破損、或壽命縮短的問題。

以上為本發明之一實施形態之說明。本發明之實施形態並非限定於上述說明者，可在本發明之技術思想範圍內作各種變形。

例如，本實施形態之光圈板111的開口111a係形成為以沿著光圈板111的周方向而網目直徑慢慢地(連續地)變化的方式所形成的網狀開口，但是並非限定於該構成，亦可使用例如沿著光圈板111的周方向而透過率慢慢地(連續地)變化的光學濾光片。

此外，本實施形態之隔板101e係形成為具備有上側呈開放的U字狀彎曲部101ea的構成，但是彎曲部101ea並不一定必須為上側呈開放者，亦可為例如下側形成開放者。此時，遮光區域形成在光透過區域的上側。此外，彎曲部101ea並不一定必須為U字狀，若形成為例如V字狀、字狀等一方側呈開放的導管狀即可。此外，第1遮光板101a的開口101ao並不一定必須為圓形。

圖7係顯示本實施形態之致動器單元100之變形例的斜視圖。此外，圖8係圖7所示之致動器單元100M的分解斜視圖。其中，在圖8中，與圖4同樣地，為使圖示更為清楚，省略圖示內部的電氣配線等部分構成。

本變形例之致動器單元100M係第1遮光板101aM、第2遮光板101bM、及隔板101eM的形狀與本實施形態之第1遮光板101a、第2遮光板101b、及隔板101e的形狀不同。

具體而言，本變形例之第1遮光板101aM係在具有沿著隔板101eM而形成為U字狀的開口101aoM方面，與本實施形態之第1遮光板101a不同。此外，本變形例之第2遮光板101bM係在設有朝向第1遮光板101aM突出，前端部朝下折曲的剖面倒L字形狀的舌部101be的方面，與本實施形態之第2遮光板101b不同。此外，本變形例之隔板101eM係在彎曲部101eaM(亦即隔板101eM)的上端以沿著第1遮光板101aM的上端緣部的方式被折曲的方面，與本實施形態之隔板101e不同。

藉由形成為如上所示之構成，由橢圓反射鏡40被出射的照明光係通過U字狀的開口101aoM而入射至外殼101內，但是另外藉由舌部101be的前端部，其一部分被遮光，僅有未被舌部101be的前端部所遮光的照明光(亦即通過彎曲部101eaM的周邊的照明光)朝向第2遮光板101bM。接著，在朝向第2遮光板101bM的照明光之中，僅有已通過開口101bo的光由外殼101M被出射。

如上所示，由外殼101M被出射的照明光係最終以開口101bo予以規制，因此若在彎曲部101eaM的內側的空間形成照明光通過的光透過區域，即可達成本發明 之目的，如本實施形態所示形成在第1遮光板101aM的開口101aoM並不一定必須為圓形。

其中，應理解本次所揭示之實施形態全部均為例示，並非為具限制性者。本發明之範圍係藉由申請專利範圍而非上述說明來顯示，意圖包含在與申請專利範圍為均等的涵義及範圍內的所有變更。

1‧‧‧光源裝置

10‧‧‧框體

10a‧‧‧前面面板

10b‧‧‧背面面板

10c‧‧‧右側面面板

10d‧‧‧左側面面板

10da‧‧‧開口部

10f‧‧‧上面蓋部

12‧‧‧光連接器部

14‧‧‧燈單元

14a‧‧‧前面面板

14c‧‧‧右側面面板

14ca‧‧‧開口部

14d‧‧‧左側面面板

14g‧‧‧蓋罩

16‧‧‧隔板

17‧‧‧導軌

30‧‧‧放電燈

31‧‧‧接口

32‧‧‧接口

40‧‧‧橢圓反射鏡

50‧‧‧驅動電路

51‧‧‧AC入口

100‧‧‧致動器單元

110‧‧‧光圈機構

130‧‧‧快門機構

IN2‧‧‧吸氣口

Claims (15)

1. 一種光源裝置，其特徵為具備有：放電燈；橢圓反射鏡，其係將由前述放電燈所被放射的光進行反射；箱形框體，其係收容前述放電燈及前述橢圓反射鏡，在前面面板設有出射前述光的出射口；及光量調整單元，其係具有：控制前述光的光量的光圈機構、控制通過前述光圈機構的前述光的出射與遮斷的快門機構、及支持前述快門機構與前述光圈機構的大致箱形外殼構件，前述框體之一側面面板係具有可插入前述光量調整單元的安裝開口部，前述外殼構件係在前述光量調整單元的插入方向後端，具有可覆蓋前述安裝開口部的蓋體，前述光量調整單元係由前述安裝開口部被插入在前述框體內，以前述蓋體覆蓋前述安裝開口部的方式被安裝在前述框體之一側面面板。
2. 如申請專利範圍第1項之光源裝置，其中，前述外殼構件係具有：第1板狀構件，其係當被安裝在前述框體之一側面面板時，被配置在前述橢圓反射鏡側，具有使前述光通過的第1開口部；第2板狀構件，其係當被安裝在前述框體的側面面板 時，以與前述第1板狀構件相對向的方式被配置在前述第1板狀構件與前述前面面板之間，具有使前述光通過的第2開口部；及隔板，其係將前述第1板狀構件與前述第2板狀構件之間的空間，隔開成：使前述第1開口部與前述第2開口部相連通而使前述光通過的光透過區域、及將前述光進行遮光的遮光區域。
3. 如申請專利範圍第2項之光源裝置，其中，前述隔板係以導管狀包圍前述第1開口部及前述第2開口部的周圍，前述光透過區域係形成在藉由前述隔板所被包圍的空間內。
4. 如申請專利範圍第3項之光源裝置，其中，藉由前述隔板所被包圍的空間係朝與前述光的光路呈正交的方向被開放。
5. 如申請專利範圍第2項至第4項中任一項之光源裝置，其中，前述光圈機構係具備有：被配置在前述光的光路上，變更前述光的透過量的調光元件；及使前述調光元件驅動的第1致動器，前述第1致動器係被配置在前述遮光區域，前述調光元件係被配置在前述第2板狀構件的外側。
6. 如申請專利範圍第5項之光源裝置，其中，前述調光元件係具備有：以橫穿前述光的光路的方式作配置的圓盤狀的旋轉板、及以開口面積沿著前述旋轉板的圓周方 向連續變化的方式所形成的網狀開口部。
7. 如申請專利範圍第5項之光源裝置，其中，前述調光元件係具備有：以橫穿前述光的光路的方式作配置的圓盤狀的旋轉板、及以前述光的透過率沿著前述旋轉板的圓周方向連續變化的方式所形成的光學濾光片部。
8. 如申請專利範圍第6項或第7項之光源裝置，其中，前述第1致動器係使前述旋轉板進行旋轉的電動機。
9. 如申請專利範圍第2項至第8項中任一項之光源裝置，其中，前述快門機構係具備有：被配置在前述光的光路上，且將前述光進行遮光的快門板；及將前述快門板在前述光的光路上進行進退驅動的第2致動器，前述第2致動器係被配置在前述遮光區域，前述快門板係被配置在前述第2板狀構件的外側。
10. 如申請專利範圍第9項之光源裝置，其係引用如申請專利範圍第5項至第8項中任一項之光源裝置，其中，前述調光元件係被配置在前述第2板狀構件與前述快門板之間。
11. 如申請專利範圍第2項至第10項中任一項之光源裝置，其中，前述光源裝置係具有：由前述框體的外部將空氣進行吸氣的吸氣口；及將由前述吸氣口所吸氣的空氣排氣至前述框體的外部的排氣口，前述遮光區域係形成有將由前述吸氣口所吸氣的空氣朝向前述排氣口流通的流路。
12. 如申請專利範圍第11項之光源裝置，其中，前 述光量調整單元係具備有連結構件，其係以在前述蓋體與前述外殼構件之間形成中空部的方式，將前述蓋體與前述外殼構件相連結，前述中空部係與前述遮光區域相連通，當前述光量調整單元被安裝在前述框體之一側面面板時，前述中空部及前述遮光區域形成將由前述吸氣口所吸氣的空氣朝向前述排氣口流通的流路。
13. 如申請專利範圍第1項至第12項中任一項之光源裝置，其中，前述外殼構件係在與前述蓋體相對向之側的面，具有與前述快門機構及前述光圈機構作電性連接的第1連接機構，前述框體係具備有在該框體的內部與前述第1連接機構相嵌合的第2連接機構，前述第1連接機構或前述第2連接機構的至少任一方相對於前述外殼構件或前述框體，具有預定的間隙而予以固定。
14. 如申請專利範圍第13項之光源裝置，其中，前述第1連接機構或前述第2連接機構的至少任一方具備有導引任何另一方來輔助相互之嵌合的導引機構。
15. 如申請專利範圍第1項至第14項中任一項之光源裝置，其中，前述框體係具有導軌，其係當前述光量調整單元被插入在前述框體內時，導引前述外殼構件的插入。