CN104884859A - 光源装置 - Google Patents

Abstract

一种光源装置，其具有：放电灯；椭圆反射镜，其对放电灯放射出的光进行反射；箱形机壳，其收纳放电灯和椭圆反射镜，在前面板设有射出光的射出口；及光量调整单元，其具有控制光的光量的光圈机构、控制穿过光圈机构的光的射出与遮断的快门机构、及支撑快门机构与光圈机构的大致箱形的外壳构件，机壳的一侧面板具有可插入光量调整单元的安装开口部，外壳构件在光量调整单元的插入方向后端，具有可覆盖安装开口部的盖体，光量调整单元从安装开口部插入在机壳内，以盖体覆盖安装开口部的方式安装在机壳的一侧面板上。

Description

光源装置

技术领域

本发明涉及一种具备有放电灯的光源装置，特别涉及一种在放电灯射出的光的光路上设有光圈及快门的光源装置。

背景技术

从很早以前开始，在光学零件的粘合、涂料或胶粘剂的硬化、半导体制造的晶圆周边曝光等方面所使用的光源装置中，一直采用放电灯作为光源。该种类的放电灯是一种例如在氙灯中使氙(Xe)气发光、在超高压水银灯中使水银发光、在金属卤化物灯中使水银及金属卤化物发光的放电灯，以比发光管的直径要短的电弧，即以较短的电极间距离放电，产生非常高亮度的光。

从放电灯射出的光通过反射镜的反射、聚光被导光至光源装置的射出口，并通过连接在射出口的光纤束等导光装置射出外部。从放电灯放射出的光的光量，通过设在放电灯与射出口之间的光圈机构进行调整。此外，从放电灯放射出的光的开启/关闭(即光的射出/遮断)，通过设在放电灯与射出口之间的快门机构进行控制(例如专利文献1)。

现有技术文献

【专利文献1】特开2000-057816号公报

发明内容

发明所要解决的问题：

一般而言，光圈机构或快门机构通过旋转螺线管等致动器驱动，但该致动器因受长时间使用引起的发热或振动的影响、此外还因长时间不使用而引起的润滑脂老化等影响而会出现经年老化，因此需要定期更换。

专利文献1所述光源装置，构成为：在放电灯与射出口之间设有内箱，将由快门板或快门驱动部(旋转螺线管)等构成的快门机构一体固定在该内箱的盖部(内箱盖)。并且，在更换快门机构时，连同内箱盖一起更换，因此不需要进行更换时的快门定位等复杂操作。

不过，专利文献1所述的光源装置中，替换快门机构时，需要进行以下一系列的操作：(1)拆下壳体的上面盖、(2)从内箱上拆下内箱盖、(3)拆下电气配线(连接器)、(4)更换成新内箱盖、(5)连接电气配线、(6)在内箱上安装内箱盖、(7)在壳体上安装上面盖等，因此存在替换快门机构时所产生的停工时间(非运转时间)依然未被缩短的问题。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种可轻松替换快门机构或光圈机构，且可缩短停工时间(down time)的光源装置。

解决问题的手段：

为达成上述目的，本发明的光源装置，其特征在于，具备有：放电灯；椭圆反射镜，其对放电灯放射出的光进行反射；箱形机壳，其收纳放电灯及椭圆反射镜，且在其前面板上设有射出光的射出口；及光量调整单元，其具有控制光的光量的光圈机构、控制穿过光圈机构的光的射出与遮断的快门机构、及支撑快门机构与光圈机构的大致箱形的外壳构件。机壳一侧面板上具有可插入光量调整单元的安装开口部，外壳构件在光量调整单元的插入方向后端，且外壳构件具有可覆盖安装开口部的盖体，光量调整单元从安装开口部插入在机壳内，以盖体覆盖安装开口部的方式安装在机壳一侧面板上。

根据上述结构，无需卸下机壳面板，便可替换光量调整单元，因此可大幅缩短停工时间。

此外，可构成为：外壳构件具有第1板状构件，其安装在机壳一侧面板上时，设置在椭圆反射镜一侧，具有使光通过的第1开口部；第2板状构件，其被安装在机壳的侧面板上时，以与第1板状构件相对的方式设置在第1板状构件与前面板之间，具有使光通过的第2开口部；及隔板，其将第1板状构件与第2板状构件之间的空间隔为：使第1开口部与第2开口部连通而使光通过的光透射区域、及用于遮光的遮光区域。这种情况下，优选为隔板将第1开口部及第2开口部的周围围成槽形，光透射区域形成在由隔板包围的空间内。此外，在这种情况下，优选地，由隔板包围的空间朝与光的光路呈正交的方向敞开。根据上述结构，在第1板状构件与第2板状构件之间的空间内可轻松形成光透射区域及遮光区域，可将容易因光线中所含紫外线引起老化的电机零件设置在遮光区域内。

此外，可构成为：光圈机构具有设置在光的光路上，用于改变透光量的调光元件；及用于驱动调光元件的第1致动器，第1致动器设置在遮光区域内，调光元件设置在第2板状构件的外侧。根据上述结构，可避免第1致动器因光线中所含紫外线所导致的老化现象。

此外，调光元件可具备有：以横穿光的光路方式设置的圆盘状旋转板、及开口面积沿着旋转板的圆周方向连续变化而形成的网状开口部。

此外，调光元件可具备有：以横穿光的光路方式设置的圆盘状旋转板、及以沿旋转板的圆周方向连续变化而形成的光学滤光片部。

此外，优选地，第1致动器为使旋转板旋转的电机。

此外，可构成为：快门机构具有设置在光的光路上，且进行遮光的快门板；及将快门板在光的光路上进行前后驱动的第2致动器，第2致动器设置在遮光区域，快门板设置在第2板状构件的外侧。根据上述结构，可避免第2致动器因光线中所含紫外线所导致的老化现象。

此外，优选地，调光元件设置在第2板状构件与快门板之间。根据上述结构，从放电灯到快门板的距离比到调光元件的距离要长，因此可用较小的快门板对光量调整单元射出的光进行遮光。

此外，可构成为：光源装置具有吸入机壳外部空气的进气口；及将进气口吸入的空气排向机壳外部的排气口，遮光区域形成有将进气口吸入的空气向排气口流动的流道。这种情况下，优选地，光量调整单元具备有连接构件，其以在盖体与外壳构件之间形成中空部的方式，将盖体与外壳构件连接，中空部与遮光区域连通，当光量调整单元安装在机壳一侧面板上时，中空部及遮光区域形成有将进气口吸入的空气向排气口流动的流道。根据上述结构，可有效冷却设置在遮光区域的部件。

此外，优选地，外壳构件与盖体相对的一面，具有与快门机构及光圈机构作电性连接的第1连接机构，机壳具有在该机壳的内部与第1连接机构配合的第2连接机构，第1连接机构或第2连接机构的至少任意一方相对外壳构件或机壳，留有规定间隙并固定。此外，在这种情况下，优选地，第1连接机构或第2连接机构的至少任意一方，具有引导任意另一方并辅助相互之间的配合的导向机构。根据上述结构，由于光量调整单元的加工误差、装配误差、安装位置误差等通过间隙而吸收，因此光量调整单元被准确地定位在机壳内。此外，第1连接机构与第2连接机构的配合可以顺利地、准确地进行。

此外，可构成为：机壳具有导轨，其当光量调整单元插入在机壳内时，引导外壳构件的插入。根据上述结构，可轻松插入光量调整单元。

发明效果：

如上所示，根据本发明的光源装置，可轻松替换快门机构及光圈机构，且可大幅缩短光源装置的停工时间。

附图说明  图1是本发明的实施方式所涉及的光源装置的结构示意图。

图2是说明本发明的实施方式所涉及的光源装置的示意性结构的透视图。

图3是说明本发明的实施方式的光源装置所收纳的致动器单元的示意性结构的透视图。

图4是图3所示致动器单元的分解透视图。

图5是说明本发明的实施方式所涉及的光源装置的内部空气流动的图。

图6是图5的A-A剖面图。

图7是示出了图3所示致动器单元的变形例的透视图。

图8是示出了图7所示致动器单元的变形例的分解透视图。

图中：

1：光源装置

10：机壳

10a：前面板

10b：背面板

10c：右侧面板

10d：左侧面板

10da：开口部

10f：上面盖

10e：底板

12：光连接器部

12a：射出口

14：灯单元

14a：前面板

14b：背面板

14c：右侧面板

14ca：开口部

14d：左侧面板

14g：遮光罩

15a～15f、16：隔板

17：导轨

18：连接器

30：放电灯

31：接口

32：接口

40：椭圆反射镜

50：驱动电路

51：AC入口

100：致动器单元

100M：致动器单元

101：外壳

101a：第1遮光板

101ao：开口

101aM：第1遮光板

101aoM：开口

101b：第2遮光板

101ba：贯穿孔

101bb：凹部

101bc：切口开口部

101bd：遮光板

101be：舌部

101bo：开口

101bM：第2遮光板

101c：第1侧板

101ca：切口部

101cb：上侧安装面

101cc：下侧安装面

101d：第2侧板

101da：切口部

101db：开口

101dc：上侧安装面

101dd：中央安装面

101de：下侧安装面

101e：隔板

101ea：弯曲部

101eM：隔板

101eaM：弯曲部

101M：外壳

102：盖体

103：连接器

110：光圈机构

111：光圈板

111a：开口

111b：开口

111c：切口部

112：垫片

112a：配合孔

113：光断续器

114：电机

114a：旋转轴

130：快门机构

131：快门板

131a：前端部

131b：基端部

131c：舌部

132：垫片

133：光断续器

134：旋转螺线管

134a：旋转板

135：支撑板

200：风扇单元

IN1：进气口

IN2：进气口

EX1：排气口

EX2：排气口

具体实施方式

以下参考图纸对本发明的实施方式作详细说明。并且，图中相同或相当部分标注相同符号且不再重复说明。

图1是说明本发明的实施方式所涉及的光源装置1的示意性结构图。图1是将机壳10的上面盖10f(图1中未图示)拆下时的上面图，为方便说明，局部结构(例如椭圆反射镜40等)以剖面图示出。光源装置1是一种使感光树脂通过光固化从单体固化成聚合物的UV固化中提供紫外光的装置。如图1所示，光源装置1具有：收纳各构成部件的箱形机壳10、收纳有放电灯30及对放电灯30射出的光进行反射的椭圆反射镜40的灯单元14、形成有射出椭圆反射镜40所反射的光(以下称为“照明光”)的射出口12a的光连接器部12、设置在椭圆反射镜40与光连接器部12之间的致动器单元100、及驱动控制放电灯30或致动器单元100的驱动电路50。

机壳10具有前面板10a、背面板10b、右侧面板10c、左侧面板10d、底板10e、上面盖10f(图1中未图示)。在前面板10a上，以射出口12a朝向光源装置1的外侧开口的方式安装有光连接器部12。光连接器部12是一种连接未图示的光纤束的圆筒状构件，从放电灯30射出的照明光穿过光连接器部12，由光纤束导光射出至外部。此外，构成为(后述)，在背面板10b上可安装将机壳10的外部空气吸入内部，并将机壳10的内部空气排出外部的风扇单元200(图1中未图示)，在机壳10内部，构成有机壳10内所吸入空气所用的流道，同时还设有确保放电灯30放射出的光不会漏至外部而进行遮光的隔板15a～15f、16。并且，在本说明书中，将从光源装置1射出的照明光方向(即机壳10的前后方向)设为X轴，将前面板10a及背面板10b的长边方向(即机壳10的左右方向)设为Y轴，将与X轴及Y轴呈正交的方向(即机壳10的高度方向)设为Z轴来进行说明。

致动器单元100(光量调整单元)是一种将对椭圆反射镜40所射出的光的光量进行控制的光圈机构110、及对椭圆反射镜40所射出的照明光的开启/关闭(即照明光的射出/遮断)进行控制的快门机构130一体配备的单元(零件)。本实施方式的致动器单元100作为一种替换零件构成，其穿过形成在机壳10的左侧面板10d的开口部10da从而在机壳10内可自由地插入和拔出(即相对于左侧面板10d在Y轴方向上可自由地安装和拆卸)。并且，致动器单元100安装在机壳10上时，连接在机壳10内的连接器18上，并设置在椭圆反射镜40与射出口12a之间。连接器18(第2连接机构)是一种与设在致动器单元100上的连接器103(第1连接机构)相连接的连接器。

图2是说明本实施方式的光源装置1的示意性结构的透视图。在图2中，将机壳10的上面盖10f破开，示出了装置内部的示意性结构。此外，在图2中，为了使图纸一目了然，示出时省略内部的电气配线等部分构成。

如图1及图2所示，光源装置1上夹着隔板16在其左侧(即左侧面板10d侧)配置有灯单元14，在其右侧(即右侧面板10c侧)配置有驱动电路50。驱动电路50通过安装在背面板10b的AC入口51所提供的商用电源动作，与放电灯30、致动器单元100等各组成部件作电性连接，向这些组成部件提供电源的同时，并传送及接收控制信号。并且，在本实施方式中，驱动电路50与致动器单元100通过连接器18连接，在后述的致动器100的电机114、第2致动器(例如：旋转螺线管134)等(图4)，通过连接器18提供电源，并且传送及接收控制信号。

灯单元14是一种用于收纳放电灯30及椭圆反射镜40的外壳，具备有前面板14a、背面板14b、右侧面板14c、左侧面板14d(图1)。灯单元14的前面板14a与机壳10的前面板10a通过光连接器部12连接，来自灯单元14的照明光从光连接器部12的射出口12a射出。放电灯30是一种在市面上销售的灯，其具备有通过由有优异的紫外线穿透性或耐热性的石英玻璃等所制成的发光管。放电灯30的前端(X轴方向正侧)安装有阳极侧的接口31，基端(X轴方向负侧)安装有阴极侧的接口32(固定用接口)。在背面板14b露出夹持接口32的夹持构件(未图示)，放电灯30通过将接口32夹持在夹持构件上，从而被定位并固定在灯单元14内。放电灯30安装在灯单元14上时，放电灯30的电弧亮点的位置与椭圆反射镜40的第1焦点的位置一致。此外，接通光源装置1的电源时，通过驱动电路50，高电压被施加到接口31与接口32之间(即阳极与阴极之间)。结果，在阳极与阴极间产生绝缘破坏而开始电弧放电。电弧放电一旦开始，驱动电路50为了维持电弧放电而提供电流。因此，放电灯30会稳定地亮灯。

椭圆反射镜40是一种将放电灯30放射出的光向射出口12a进行反射的反射构件。通过椭圆反射镜40所反射的照明光，以在射出口12a成为规定的光点直径的方式，慢慢被聚光，穿过致动器单元100从射出口12a射出(图1)。

如图2所示，构成为：致动器单元100从形成在机壳10的左侧面板10d的开口部10da向机壳10内可自由地插入或拔出。在机壳10内形成有一对导轨17(在图2中，下侧的导轨17未图示)，其向致动器单元100的插入方向(即Y轴方向)平行延伸，当致动器单元100插入在机壳10内时，在致动器单元100的上端部及下端部引导外径。因此，当安装致动器单元100时，将致动器单元100的前端侧(Y轴方向正侧)插入在开口部10da，然后压入机壳10内，由此可轻松安装。

图3是说明本实施方式的致动器单元100的示意性结构的透视图。此外，图4是图3所示的致动器单元100的分解透视图。并且，在图4中，为了使图纸一目了然，示出时省略内部的电气配线等部分构成。

致动器单元100的构成：

如图3及图4所示，本实施方式的致动器单元100具备有：控制椭圆反射镜40所射出的照明光的光量的光圈机构110；控制照明光的开启/关闭(即照明光的射出/遮断)的快门机构130；与光圈机构110及快门机构130一体固定的外壳101；安装在外壳101的插入方向(Y轴方向)后端侧的一侧面(第1侧板101c)上的盖体102；及与光圈机构110及快门机构130作电性连接，安装在外壳10的插入方向(Y轴方向)前端侧的另一侧面(第2侧板101d)的连接器103。

外壳101是一种大致箱形的金属外壳，具备有：第1遮光板101a，其当致动器单元100安装在机壳10上时，位于椭圆反射镜40侧；第2遮光板101b，其与第1遮光板101a相对并位于射出口12a侧；第1侧板101c及第2侧板101d，其用于连接第1遮光板101a与第2遮光板101b；及隔板101e，其将第1遮光板101a与第2遮光板101b之间的空间分隔成供椭圆反射镜40所射出的照明光通过的光透射区域、及遮断椭圆反射镜40所射出的照明光的遮光区域。

第1遮光板101a(第1板状构件)是一种在大致中心部形成有圆形开口101ao(第1开口部)的矩形板状构件，当致动器单元100安装在机壳10时，以开口101ao横穿照明光的光路方式配置。因此，在椭圆反射镜40射出的照明光之中，只有通过开口101ao的光才射入至外壳101内。

第1侧板101c是一种设在外壳101的插入方向后端侧(Y轴方向负侧)、用于连接第1遮光板101a与第2遮光板101b的板状构件。本实施方式的第1侧板101c由与第1遮光板101a通用的板材形成，通过将第1遮光板101a的Y轴方向负侧的端部向X轴方向正侧折弯而形成。第1侧板101c当从Y轴方向负侧观看时，呈倒コ字形，当致动器100安装在机壳10上时，形成有在机壳10内构成空气流道(即用以通过空气的)的矩形切口部101ca(稍后详述)。此外，第1侧板101c的第2遮光板101b侧以与第2遮光板101b相对向的方式更进一步折弯，形成有用以安装第2遮光板101b的上侧安装面101cb及下侧安装面101cc。

第2侧板101d是一种设在外壳101的插入方向前端侧(Y轴方向正侧)、用于连接第1遮光板101a与第2遮光板101b的板状构件。本实施方式的第2侧板101d由与第1遮光板101a通用的板材形成，通过将第1遮光板101a的Y轴方向正侧的端部向X轴方向正侧折弯形成。在第2侧板101d的上侧，当致动器单元100安装在机壳10上时，形成有在机壳10内构成空气流道的(即用以通过空气的)矩形切口部101da(稍后详述)。此外，在第2侧板101d的下侧形成有用以安装连接器103的矩形开口101db。连接器103插入在开口101db上定位，通过未图示的螺丝固定在第2侧板101d上。并且，连接器103的各端子通过未图示的电缆与光圈机构110的电机114、快门机构130的旋转螺线管134电性连接。此外，第2侧板101d的第2遮光板101b侧以与第2遮光板101b相对向的方式更进一步折弯，形成有用以安装第2遮光板101b的上侧安装面101dc、中央安装面101dd及下侧安装面101de。

第2遮光板101b(第2板状构件)是一种在大致中心部形成有圆形开口101bo(第2开口部)的矩形板状构件，当致动器单元100安装在机壳10上时，以开口101bo横穿照明光的光路方式配置。因此，通过开口101ao射入到外壳101的光之中，只有通过开口101bo的光才从外壳101射出。此外，在第2遮光板101b上组装有光圈机构110及快门机构130(后述)。此外，组装有光圈机构110及快门机构130的第2遮光板101b被拧紧在第1侧板101c及第2侧板101d上，由此光圈机构110及快门机构130相对外壳101固定。

盖体102是一种覆盖形成在框体10的左侧面板10d的开口部10da上的(即用以覆盖开口部10da的)板状构件，在盖体102的背面(Y轴方向正侧)固定有连接构件，例如垫片102a。垫片102a是一种X轴方向的剖面呈コ字形的板状构件，盖体102夹着垫片102a拧紧在第1侧板101c上，盖体102与垫片102a之间的中空部，在致动器单元100安装在机壳10上时，在机壳10内形成空气流道。此外，在垫片102a中与切口部101ca相对的位置形成有开口部(未图示)，以盖体102与垫片102a之间的中空部、与外壳101的内部(遮光区域)连通的方式构成。

盖体102在致动器单元100安装在机壳10上时，覆盖开口部10da，同时抵接左侧面板10d，通过插入在形成于盖体102的3个贯穿孔102b内的螺丝(未图示)固定在左侧面板10d上。也就是说，本实施方式的盖体102当致动器单元100安装在机壳10上时，即构成为左侧面板10d的一部分。因此，当替换致动器单元100时，只需将固定盖体102的螺丝拆下然后替换致动器单元100即可，无需进行将框体10的各面板拆下等繁琐的操作。

隔板101e是一种将细长金属板材弯曲成大致U形所形成的构件，具备有上侧敞开的U形弯曲部101ea。隔板101e以夹在第1遮光板101a与第2遮光板101b之间的方式配置，弯曲部101ea包围在开口101ao及开口101bo的周围。弯曲部101ea的上端以沿着第1遮光板101a的上端缘部的方式朝第1侧板101c及第2侧板101d侧折弯，弯曲部101ea内侧(即U字的内侧)的空间向上侧敞开，弯曲部101ea外侧(即U字的外侧)的空间向下侧敞开。如上所示，本实施方式的隔板101e将第1遮光板101a与第2遮光板101b之间的空间分隔成U字形，由此在弯曲部101ea的内侧空间形成供椭圆反射镜40射出的照明光通过的光透射区域，在弯曲部101ea的外侧空间形成遮断椭圆反射镜40所射出的照明光的遮光区域。此外，本实施方式的致动器单元100构成为：在该遮光区域配置光圈机构110的电机114、快门机构130的旋转螺线圈134、及所需配线电缆，由此可确保这些电气零件不会曝露在照明光所含的紫外线下而导致老化。并且，在椭圆反射镜40射出的照明光之中，未射入到开口101ao内的光(即射入到第1遮光板101a上的光)通过第1遮光板101a而被反射到椭圆反射镜40侧，被封闭在椭圆反射镜40与第1遮光板101a之间的空间内。此外，未射入到开口101bo内的光(即射入到第2遮光板101b上的光)通过第2遮光板101b而被反射到第1遮光板101a侧，被封闭在第2遮光板101b与第1遮光板101a之间的空间内。因此，不会出现椭圆反射镜40射出的照明光的一部分从开口101bo以外的部分漏至灯单元14外部的情况。

光圈机构110的构成：

其次，对安装在本实施方式的致动器单元100的第2遮光板101b的光圈机构110的具体结构进行说明。光圈机构110由调光元件(例如：圆盘状的光圈板111)、使光圈板111旋转的电机114、将光圈板111固定在电机114的旋转轴114a上的圆筒形垫片112、及检测光圈板111的旋转角度的光断续器113。

在第2遮光板101b形成有供电机114的旋转轴114a插入的贯穿孔101ba，电机114从第2遮光板101b的内侧(即遮光区域侧)安装在第2遮光板101b上，通过未图示的螺丝固定。在第2遮光板101b安装电机114时，电机114的旋转轴114a突出在第2遮光板101b的外侧。此外，电机114的旋转轴114a插入在垫片112的配合孔112a内来安装垫片112，其次，通过未图示的螺丝，将光圈板111安装在垫片112的前端。在第2遮光板101b的外侧(X轴方向正侧)形成有将光断续器113定位的凹部101bb，光断续器113安装在该凹部101bb，通过未图示的螺丝固定。

光圈板111是一种具有用于改变穿过开口101bo的照明光的透射量的网状开口111a、及使穿过开口101bo的照明光100％透射的圆形开口111b的金属构件，以圆盘面垂直横穿照明光的光路方式，设置在第2遮光板101b的外侧(即开口101bo的外侧)。开口111a以沿着光圈板111圆周方向，网格直径逐渐(连续地)变化的方式形成，可根据光圈板111的停止位置(即开口111a的停止位置)，来调整照明光的透射量(即射出光量)。此外，在光圈板111的外周缘部形成有表示光圈板111的基准位置(基准角度)的切口部111c。

电机114是一种用以使光圈板111旋转的步进电机(第1致动器)，如上所述，以旋转轴114a与照明光的光路呈平行的方式被安装在第2遮光板101b上。电机114与连接器103作电性连接，根据驱动电路50通过连接器103所提供的电源及驱动脉冲，使旋转轴114a以规定的步进角度旋转。在电机114的旋转轴114a的前端，通过垫片112安装有光圈板111。因此，旋转轴114a以规定的步进角度旋转时，光圈板111也随之旋转。

光断续器113是一种设置在光圈板111的外周缘部附近，检测形成在光圈板111的切口部111c的透射型光断续器。光断续器113与连接器103作电性连接，由驱动电路50通过连接器103所提供的电源进行动作。其次，当光圈板111的切口部111c位于光断续器113的位置时(即检测出切口部111c时)，检测信号通过连接器103而被输出至驱动电路50。在本实施方式中，构成为当光圈板111的切口部111c位于光断续器113的位置时，开口101bo的中心与开口111b的中心大体一致，穿过开口101bo的照明光100％透射，将光圈板111的该位置设为基准位置。并且，光源装置1的使用者通过操作未图示的操作面板或按键进行，进行用以降低照明光的射出光量的输入时，为了成为对应使用者所输入的射出光量，驱动电路50对电机114输出规定的驱动脉冲，使光圈板111仅以规定角度旋转。如上所示，本实施方式的光圈机构110对应使用者的输入使光圈板111旋转，由此进行光量控制，从而使得使用者所需射出光量的照明光从射出口12a射出。

快门机构130的构成：

其次，对本实施方式的快门机构130的具体结构进行说明。快门机构130由以下构成：细长板状的快门板131、使快门板131旋转的旋转螺线管134、将快门板131固定在旋转螺线管134的3个垫片132、支撑旋转螺线管134的支撑板135、及检测快门板131的旋转角度的光断续器133。

快门机构130安装在支撑板135上并固定在第2遮光板101b上。具体而言，首先，旋转螺线管134安装在支撑板135上，并通过未图示的螺丝固定。其次，光断续器133安装在支撑板135上，并通过未图示的螺丝固定。其次，在旋转螺线管134的旋转板134a与快门板131之间夹着垫片132，通过未图示的螺丝，将快门板131固定在旋转板134a上。并且，将被固定在支撑板135上的快门机构130，从第2遮光板101b的内侧(即遮光区域侧)插入到形成在第2遮光板101b的切口开口部101bc内，并通过未图示的螺丝固定。并且，本实施方式的快门机构130固定在第2遮光板101b时，旋转螺线管134安装时虽然比第2遮光板101b的表面稍微突出(图3)，但是由于在旋转螺线管134与开口101bo之间形成有遮光板101bd，因此从开口101bo漏出的光并不会直接射入到旋转螺线管134内。

快门板131是一种设置在光圈板111外侧的金属板状构件，构成为其前端部131a可在穿过光圈板111的照明光的光路内自由进退。当致动器单元100安装在机壳10内时，如果快门板131的前端部131a配置在穿过光圈板111的照明光的光路内时，照明光被快门板131遮蔽，因此由射出口12a射出的照明光被遮断。相反如果快门板131的前端部131a配置在穿过光圈板111的照明光的光路以外的位置时(退避的话)，由于照明光未被快门板131遮蔽，因此照明光从射出口12a射出。如上所示，本实施方式的快门板131构成为在照明光的光路内位置(以下称为「遮断位置」)、与照明光的光路外位置(以下称为「退避位置」)之间移动，由此进行照明光的开启/关闭控制。在快门板131的基端部131b侧形成有舌部131c，以便光断续器133可检测快门板131的位置(即遮断位置或退避位置)。

旋转螺线管134是一种使安装在旋转板134a上的快门板131旋转(进退)的致动器。旋转螺线管134与连接器103作电性连接，按照由驱动电路50通过连接器103所提供的电源及控制信号，使旋转板134a仅以规定角度(例如30°)旋转。在旋转螺线管134的旋转板134a内，夹着圆筒状垫片132安装有快门板131的基端部131b，旋转板134a以规定角度旋转时，快门板131的前端部131a随此移动。即本实施方式的旋转螺线管134使光圈板111仅以规定角度旋转，由此将快门板131的位置在遮断位置与退避位置之间切换。

光断续器133是一种以夹着快门板131的舌部131c的方式所配置的透射型光断续器。光断续器133与连接器103作电性连接，由驱动电路50通过连接器103所提供的电源进行动作。其次，当快门板131的舌部131c位于光断续器133的位置时(即检测出舌部131c时)，检测信号通过连接器103输出至驱动电路50。在本实施方式中，构成为当快门板131的舌部131c位于光断续器133的位置时，快门板131的前端部131a设置在通过光圈板111的照明光的光路内(即配置在遮断位置)，将快门板131的该位置设为基准位置。其次，构成为光源装置1的使用者通过操作未图示的操作面板或操作按键，进行用以开启照明光的输入时，驱动电路50对旋转螺线管134输出规定信号，使快门板131仅以规定角度旋转，使其退避照明光的光路(即，使其移动至退避位置)。如上所示，本实施方式的快门机构130对应使用者的输入使快门板131旋转(移动)，由此进行照明光的开启/关闭控制。并且，在本实施方式中，由椭圆反射镜40反射出的照明光，以在射出口12a成为规定的光点直径的方式被慢慢聚光。因此，将快门板131配置在比光圈板111更为外侧的位置，由此放电灯30到快门板131的距离比到光圈板111的距离要长，因此可用较小的快门板131遮断外壳101射出的光。

如上所示，本实施方式的致动器单元100构成为：控制照明光光量的光圈机构110、及控制照明光开启/关闭(即照明光的射出/遮断)的快门机构130呈一体配备，通过形成在机壳10的左侧面板10d上的开口部10da，可在机壳10内自由地插入和拔出(即相对于左侧面板10d向Y轴方向可自由地安装卸下)。并且，构成为：当致动器单元100安装在机壳10上时，连接器103与机壳40内的连接器18配合，两者作电性连接。因此，根据本实施方式的结构，在替换致动器单元100时不需要进行电气配线的安装拆卸作业。并且，本实施方式的连接器18为了吸收致动器单元100的加工误差、装配误差、安装位置误差等，留有规定间隙，松散地固定在机壳10内。在其他的实施方式中，也可将连接器18紧紧地固定在机壳10内，而将连接器103松散地固定。此外，也可具备有连接器103与连接器18的至少任意一方引导任意另一方并辅助相互之间的配合的导向机构，以便连接器103与连接器18的配合能够顺利且确切地进行。

如上所述，在本实施方式的致动器单元100中，构成为在遮光区域设置电机114、旋转螺线圈134及所需配线电缆，由此而避免这些电气零件因暴露在照明光所含的紫外线下而导致的老化现象。但是，电机114及旋转螺线管134配置在狭小的遮光区域，如果呈持续通电的状态，则有可能会出现发热问题。因此，在本实施方式中，构成为当致动器单元100安装在机壳10上时，致动器单元100的遮光区域成为空气流道，电机114及旋转螺线管134被冷却。

图5是说明在本实施方式的光源装置1的背面板10b上安装风扇单元200时的示意性结构的图。此外，图6是图5的A-A剖面图。并且，在图5中，各箭头表示空气流。

如图5所示，本实施方式的光源装置1的内部通过隔板16，完全分离出配置驱动电路50的空间(以下称为“空间A”)、及配置灯单元14的空间(以下称为“空间B”)。并且，在空间A中，背面板10b上形成有进气口IN1及排气口EX1，当风扇单元200内的风扇旋转时，空气从进气口IN1被吸入至机壳10的空间A内，在空间A形成空气流。此外，空间A的空气在空间A内循环后，从排气口EX1通过风扇单元200排出外部。如上所示，因空间A的空气循环流通，驱动电路50从而被冷却。

在空间B中，在左侧面板10d形成有进气口IN2，在背面板10b形成有排气口EX2。当风扇单元200内的风扇旋转时，空气从进气口IN2被吸入至机壳10的空间B内。被吸入至空间B内的空气，在空间B内分成多条路径流动。具体而言，被吸入到空间B内的空气先沿着灯单元14的左侧面板14d分为2个方向。流向其中一侧(X轴方向正侧)的空气通过隔板15d的开口部(未图示)，一部分流入灯单元14的内部，一部分通过隔板15e的开口部(未图示)而流入致动器单元100的内部。此外，沿着左侧面板14d流向X轴方向负侧的空气，通过隔板15c及15b的开口部(未图示)，一部分流入灯单元14内部的椭圆反射镜40的背面，一部分通过隔板15a的开口部(未图示)流入背面板14b与背面板10b之间的空间。

流入灯单元14内部的椭圆反射镜40背面的空气，从形成在背面板14b的右侧面板14c侧的开口部(未图示)流入背面板14b与背面板10b之间的空间内。其次，流入背面板14b与背面板10b之间的空间内的空气，流向隔板15f与背面板10b之间的空间内，并从排气口EX2排出。如上所示，通过空间B的空气流通，椭圆反射镜40及放电灯30的接口32被冷却。

通过隔板15d流入灯单元14内部的空气，穿过由椭圆反射镜40与第1遮光板101a所包围的空间，从形成在右侧面板14c的开口部14ca(图2)穿过遮光罩14g内，再穿过隔板15f的开口部(未图示)后从排气口EX2排出。如上所示，通过空间B内的空气流通，椭圆反射镜40及放电灯30的前端侧被冷却。

通过隔板15e流入致动器单元100内部的空气，穿过盖体102与垫片102a之间的中空部，从第1侧板101c的切口部101ca流入遮光区域(图6)。其次，流入遮光区域内的空气，冷却旋转螺线管134及电机114的同时进入遮光区域内，从第2侧板101d的切口部101da排向灯单元14与隔板16之间的空间内。流入灯单元14与隔板16之间的空间内的空气，再穿过隔板15f的开口部(未图示)从排气口EX2排出。如上所示，在本实施方式中，构成为当致动器单元100安装在机壳10上时，致动器单元100的遮光区域形成为空气流道。因此，电机114及旋转螺线管134有效冷却，不会发生电机114及旋转螺线管134因发热而导致的破损、或寿命缩短的问题。

以上是本发明一实施方式的说明。本发明的实施方式并非局限于上述说明，在本发明的技术性思想范围内可做各种变形。

例如，本实施方式的光圈板111的开口111a是以网格直径沿着光圈板111的圆周方向逐渐变化的方式所形成的网状开口，但并非局限于该结构，也可使用透射率沿光圈板111的圆周方向逐渐(连续地)变化的光学滤光片。

此外，本实施方式的隔板101e为具备有上侧敞开的U形弯曲部101ea的结构，但是弯曲部101ea并非一定为上侧敞开，也可以为下侧敞开。这种情况下，遮光区域形成在光透射区域的上侧。此外，弯曲部101ea并非一定为U形，也可以为V形、コ形等一侧敞开的槽形。此外，第1遮光板101a的开口101ao并非一定为圆形。

图7是示出了本实施方式的致动器单元100的变形例的透视图。此外，图8是图7所示致动器单元100M的分解透视图。并且，在图8中，与图4相同，为使图纸一目了然，示出时省略内部的电气配线等部分构成。

本变形例的致动器单元100M，第1遮光板101aM、第2遮光板101bM、及隔板101eM的形状与本实施方式的第1遮光板101a、第2遮光板101b、及隔板101e的形状不同。

具体而言，本变形例的第1遮光板101aM具有沿隔板101eM形成为U形的开口101aoM，这一点与本实施方式的第1遮光板101a不同。此外，本变形例的第2遮光板101bM，设有朝向第1遮光板101aM突出、且前端部朝下弯曲的剖面倒L形舌部101be，这一点与本实施方式的第2遮光板101b不同。此外，本变形例的隔板101eM，其弯曲部101eaM(即隔板101eM)的上端没有沿着第1遮光板101aM的上边缘部折弯，这一点与本实施方式的隔板101e不同。

形成为上述结构时，椭圆反射镜40射出的照明光穿过U形开口101aoM射入外壳101内，但是由于舌部101be的前端部，其一部分被遮断，仅有未被舌部101be的前端部遮断的照明光(即通过弯曲部101eaM周边的照明光)朝向第2遮光板101bM。并且，在朝向第2遮光板101bM的照明光之中，仅已通过开口101bo的光从外壳101M射出。

如上所示，从外壳101M射出的照明光，最终在开口101bo处被限制，因此如果在弯曲部101eaM的内侧空间内形成供照明光穿过的光透射区域，即可达成本发明的目的，如本实施方式所示形成在第1遮光板101aM的开口101aoM并非一定为圆形。

并且，本次所公开的实施方式，在各方面做出了例示，但应理解，本发明不仅仅限于所述实施方式。本发明范围并非局限于上述说明，其旨在包含权利要求书所示、与权利要求书范围均等的意图，以及其范围内所包括的所有变形。

Claims (15)

1.一种光源装置，其特征在于，具备有：

放电灯；

椭圆反射镜，其对所述放电灯所放射出的光进行反射；

箱形机壳，其收纳所述放电灯和所述椭圆反射镜，在前面板上设有射出所述光的射出口；及

光量调整单元，其具有控制所述光的光量的光圈机构、控制穿过所述光圈机构的所述光的射出与遮断的快门机构、及支撑所述快门机构与所述光圈机构的箱形的外壳构件，

所述机壳的一侧面板具有可插入所述光量调整单元的安装开口部，

所述外壳构件在所述光量调整单元的插入方向后端，具有可覆盖所述安装开口部的盖体，

所述光量调整单元从所述安装开口部插入在所述机壳内，以所述盖体覆盖所述安装开口部的方式安装在所述机壳的一侧面板上。

2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述外壳构件具有：

第1板状构件，其安装在所述机壳的一侧面板上时，设置在所述椭圆反射镜侧，具有使所述光通过的第1开口部；

第2板状构件，其安装在所述机壳的侧面板上时，以与所述第1板状构件相对向的方式配置在所述第1板状构件与所述前面板之间，具有使所述光通过的第2开口部；及

隔板，其将所述第1板状构件与所述第2板状构件之间的空间，隔开成：使所述第1开口部与所述第2开口部相连通而使所述光通过的光透射区域、及将所述光遮断的遮光区域。

3.根据权利要求2所述的光源装置，其特征在于，所述隔板将所述第1开口部及所述第2开口部的周围围成槽形，

所述光透射区域形成在由所述隔板所包围的空间内。

4.根据权利要求3所述的光源装置，其特征在于，由所述隔板所包围的空间，朝与所述光的光路呈正交的方向敞开。

5.根据权利要求2所述的光源装置，其特征在于，所述光圈机构具备有：配置在所述光的光路上，改变所述透光量的调光元件；及用于驱动所述调光元件的第1致动器，

所述第1致动器配置在所述遮光区域，所述调光元件配置在所述第2板状构件的外侧。

6.根据权利要求5所述的光源装置，其特征在于，所述调光元件具备有：以横穿所述光的光路方式配置的圆盘状旋转板、及开口面积沿所述旋转板的圆周方向连续变化所形成的网状开口部。

7.根据权利要求5所述的光源装置，其特征在于，所述调光元件具备有：以横穿所述光的光路的方式配置的圆盘状旋转板、及以所述光的透光率沿着所述旋转板的圆周方向连续变化的方式所形成的光学滤光片部。

8.根据权利要求6所述的光源装置，其特征在于，所述第1致动器为使所述旋转板旋转的电机。

9.根据权利要求2～8中任意一项所述的光源装置，其特征在于，所述快门机构具备有：配置在所述光的光路上，且将所述光遮断的快门板；及将所述快门板在所述光的光路上前后驱动的第2致动器，

所述第2致动器配置在所述遮光区域，所述快门板配置在所述第2板状构件的外侧。

10.根据权利要求9引用权利要求5～8中任意一项的光源装置，其特征在于，所述调光元件配置在所述第2板状构件与所述快门板之间。

11.根据权利要求2～8中任意一项所述的光源装置，其特征在于，所述光源装置具有：吸入所述机壳外部空气的进气口；及将所述进气口吸入的空气排出所述机壳外部的排气口，

所述遮光区域形成有将所述进气口所吸入的空气向所述排气口流动的流道。

12.根据权利要求11所述的光源装置，其特征在于，所述光量调整单元具备有连接构件，其以在所述盖体与所述外壳构件之间形成中空部的方式，将所述盖体与所述外壳构件相连接，

所述中空部与所述遮光区域相连通，当所述光量调整单元安装在所述机壳的一侧面板上时，所述中空部及所述遮光区域形成将所述进气口所吸入的空气向所述排气口流动的流道。

13.根据权利要求1～8中任意一项所述的光源装置，其特征在于，所述外壳构件在与所述盖体相对向的一面，具有与所述快门机构及所述光圈机构作电性连接的第1连接机构，

所述机壳具备有在该机壳的内部与所述第1连接机构相配合的第2连接机构，

所述第1连接机构或所述第2连接机构的至少任意一方，相对于所述外壳构件或所述机壳，具有规定间隙并固定。

14.根据权利要求13所述的光源装置，其特征在于，所述第1连接机构或所述第2连接机构的至少任意一方，具备有引导任意的另一方并辅助相互之间的配合的导向机构。

15.根据权利要求1～8中任意一项所述的光源装置，其特征在于，所述机壳具有导轨，其当所述光量调整单元插入在所述机壳内时，引导所述外壳构件的插入。