JP2005134565A - 光源装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】作業者毎に照度のバラツキが生じることがなく、さらに、光源装置を筐体に組み込んだ後にも放電ランプの位置調整を行うことが可能な光源装置を提供する。
【解決手段】本光源装置は、ケーシング内に放電ランプと反射鏡が配置され、当該放電ランプから放射された光を反射鏡によってケーシング外に配置されたインテグレーターレンズの端部に集光させるものであり、前記反射鏡は、視認用の貫通穴が設けられ、前記ケーシングは、ランプ位置調整用のターゲットと、このターゲットを前記貫通穴と前記放電ランプの輝点が形成されるべき箇所とを通過する仮想線上に視認できるように放電ランプの位置調整を行うための位置調整手段とを有することを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、高輝度の放電ランプと反射鏡とを備えたデジタルプロジェクター用の光源装置に関する。特に、映像分野における映写機用のデジタルプロジェクター用の光源装置に関するものである。
映像分野において使用される光源装置としては、従来から高輝度のキセノンショートアークランプを光源とし、このランプが反射鏡に組み合わされたものがケーシング内に収容された構造のものが知られている。
図5は、インテグレーターレンズが取り付けられた筐体に従来の光源装置が組み込まれた構造について説明するための図である。
光源装置50は、ケーシング51内に、発光物質としてキセノンガスが封入された放電ランプ52と、この放電ランプ52から放射された光を集光するための
反射鏡53とが配置され、反射鏡53によって集光された光がケーシング51に設けられた開口部510を通過してケーシング51外に配置されたインテグレーターレンズ54の端部541に導かれる構造である。光源装置50は、ランプ交換を容易に行うため筐体55に対して取り外し可能な状態で組み込まれている。インテグレーターレンズ54は、ケーシング51外にて筐体55に組み込まれている。
ケーシング51は、放電ランプ52を支持している支持部材501に接続された、反射鏡53に対して放電ランプ52をX、Y、Z軸方向へ移動させるための位置調整手段502が設けられている。
反射鏡53は、放電ランプ52から放射された光をインテグレーターレンズ54の端部541に集光させるための集光反射鏡53aと、放電ランプ52から放射された光であって集光反射鏡53aから外れた光を捕えて集光反射鏡53aに戻す球面状の捕捉反射鏡53bとからなる。
集光反射鏡53aは、集光反射鏡53a側に第1焦点531を有し、インテグレーターレンズ54側に第2焦点532を有し、第1焦点531と第2焦点532とを通過する光軸500を有する。また、集光反射鏡53aは、第1焦点531に放電ランプ52の輝点が形成されるべき箇所523(発光管520内にて対向する陽極521と陰極522との間の箇所)が合わさるように放電ランプ52が配置され、第2焦点532にインテグレーターレンズ54の端部541が合わさるようにケーシング51に所定の支持手段により固定されている。
このような光源装置50において、放電ランプ52から放射される光を最も効率良く利用するためには、ケーシング51内に組み込まれた集光反射鏡53aの第1焦点531に放電ランプ52の輝点(発光点)を精度良く合わせる必要がある。
従来、放電ランプ52の位置は、光源装置50が筐体55に組み込まれた状態で、作業者が長年の経験と勘を頼りに放電ランプ52を点灯させてスクリーン照度を測定して、最大の照度が得られるようにケーシング51に設けられたランプ位置調整手段502にて微調整することにより決められていた。
しかしながら、従来のランプ位置調整方法は、作業者の経験と勘に大きく依存するため、作業者の力量次第で照度のバラツキが生じやすいという問題がある。さらに、光源装置50が組み込まれた筐体55に衝撃等が加わることにより放電ランプ52の位置がずれて照度が変化した場合には、変化前の照度と同一の照度を再現することが極めて困難である。
そこで、このような問題を解決するために、以下の図6に示すように放電ランプ52の位置調整を、光源装置50を筐体55に組み込む前の段階で行う方法が提案された。
図6は、光源装置を筐体に組み込む前の段階で放電ランプの位置調整を行う方法について説明するための図である。図5と同一符号は同一部分を説明する。
光源装置50は、容易に動くことがないように支持台56によって強固に固定されている。光源装置50の外部には、集光反射鏡53aの第2焦点532に合わさるように放電ランプ12の位置調整を行うためのターゲット57が配置されている。このターゲット57は、支持台58に固定されている。支持台56と支持台58は一体でも構わない。集光反射鏡53aは、光軸500に交差し放電ランプ52の輝点が形成されるべき箇所523を通過する仮想線Aに交差する一方の交差箇所533において、ターゲット57を視認するための貫通穴59が設けられている。尚、図示していないが、Y、Z軸と垂直なX軸方向にもターゲット57を視認するための貫通穴がもう一つ設けられている。
光源装置50においては、覗き穴511から貫通穴59を通じて集光反射鏡53aが仮想線Aに交わる他方の交差箇所534に投影されたターゲット57の像を視認して、位置調整手段502によって放電ランプ52の位置調整を行っている。
このような位置調整方法によれば、作業者の経験と勘に頼らずとも放電ランプ52の位置調整を良好に行うことができるので、作業者毎に照度のバラツキを生じることがない。
ところが、上記の位置調整方法によると、放電ランプ52の位置調整にはターゲット57を支持するための支持台58が必ず必要となる。したがって、光源装置50を筐体55に組み込む際に放電ランプ52が最適位置からずれる又は光源装置50を筐体55に組み込んだ後に衝撃等が筐体55に加わることにより放電ランプ52の最適位置からのズレが生じた場合には、光源装置50を筐体55から取り外して放電ランプ52の位置調整を行った後に再度筐体55への組み込みを行う、という極めて煩雑な作業を行う必要がある。
本発明は、このような事情に基づいてなされたものであり、その目的は作業者毎に照度のバラツキが生じることがなく、さらに、光源装置を筐体に組み込んだ後にも放電ランプの位置調整を行うことが可能な光源装置を提供することにある。
本発明の光源装置は、ケーシング内に放電ランプと反射鏡が配置され、当該放電ランプから放射された光を反射鏡によってケーシング外に配置されたインテグレーターレンズの端部に集光させるものであり、前記反射鏡は、視認用の貫通穴が設けられ、前記ケーシングは、ランプ位置調整用のターゲットが設けられるとともに、このターゲットを前記貫通穴と前記放電ランプの輝点が形成されるべき箇所とを通過する仮想線上にて視認できるように放電ランプの位置調整を行うための位置調整手段が設けられたことを特徴とする。
さらに、請求項1の発明において、前記ターゲットは、前記反射鏡が前記仮想線に交わる箇所にその像が投影されるように配置されたことを特徴とする。
さらに、請求項1の発明において、前記ターゲットは、前記仮想線上に設けられたことを特徴とする。
さらに、請求項1または請求項2の発明において、前記貫通穴が少なくとも2個設けられたことを特徴とする。
さらに、請求項1または請求項3の発明において、前記貫通穴が少なくとも4個設けられたことを特徴とする。
さらに、本発明の光源装置は、ケーシング内に放電ランプと反射鏡が配置され、当該放電ランプから放射された光を反射鏡によってケーシング外に配置されたインテグレーターレンズの端部に集光させるものであり、前記反射鏡には視認用の貫通穴およびランプ位置調整用のターゲットが設けられ、前記ケーシングにはこのターゲットを前記仮想線上に視認できるように放電ランプの位置調整を行うための位置調整手段が設けられたことを特徴とする。
本発明の光源装置によると、反射鏡に設けられた貫通穴を通じてケーシングに設けられたランプ位置調整用のターゲットを視認することにより放電ランプの位置調整を行う構造であるため、作業者毎に照度のバラツキが生じることがない。さらに、光源装置を筐体に組み込む際又は光源装置を筐体に組み込んだ後に衝撃等により放電ランプの最適位置からのズレが生じることがあっても光源装置を筐体に組み込んだままの状態で放電ランプの位置調整を行うことができる。
図1は、インテグレーターレンズが取り付けられた筐体に第1の発明の光源装置が組み込まれた構造について説明するための図である。図1(a)は、長手方向にて切断した断面図を、図1(b)は図1(a)に示される仮想線Bを含み光軸100に直交する平面にて切断した断面図を、図1(c)は図1(a)の点線部分MをZ軸方向から見た拡大図を示す。
図1(a)に示すように、光源装置10は、ケーシング11内に、発光物質としてキセノンガスが封入された放電ランプ12と、この放電ランプ12から放射された光を集光するための反射鏡13とが配置され、反射鏡13によって集光された光をケーシング11外に配置されたインテグレーターレンズ14の端部141に導く構造である。光源装置10は、インテグレーターレンズ14が固定された筐体15に組み込まれている。
ケーシング11は、放電ランプ12の位置を調整するためのターゲット17と、放電ランプ12を支持している支持部材101に接続された、反射鏡13に対して放電ランプ12をX、Y、Z軸方向へ移動させるための位置調整手段102が設けられている。また、ケーシング11は、反射鏡13によって集光された光をケーシング11外に出射するための開口部110が形成され、この開口部110から出射された光はインテグレーターレンズ14の端部141に集光して照射される。さらに、ケーシング11には、後述の貫通穴19a、19bを介してターゲット17を視認するために、覗き穴111が設けられている。
放電ランプ12は、発光管120内にて陽極121と陰極122とが対向配置され、発光管120内に発光物質としてキセノンガスが封入され、両端封止型の構造を有する。
反射鏡13は、放電ランプ12から放射された光をインテグレーターレンズ14の端部141に集光させるための集光反射鏡13aと、放電ランプ12から放射された光であって集光反射鏡13aから外れた光を捕えて集光反射鏡13aに戻す球面状の捕捉反射鏡13bとからなる。
集光反射鏡13aは、集光反射鏡13a側に第1焦点131を有し、インテグレーターレンズ14側に第2焦点132を有し、第1焦点131と第2焦点132とを通過する光軸100を有する。また、集光反射鏡13aは、第1焦点131に放電ランプ12の輝点が形成されるべき箇所123(対向する陽極121と陰極122との間の箇所)が合わさるように放電ランプ12が配置され、第2焦点132にインテグレーターレンズ14の端部141が合わさるようにケーシング11に所定の支持手段により固定されている。そして、集光反射鏡13aは、光軸100に交差するとともに放電ランプ12の輝点が形成されるべき箇所123を通過する仮想線Bに交差する一方の交差箇所133において、ターゲット17を視認するための貫通穴19aが設けられている。
図1(b)に示すように、集光反射鏡13aには、図1(a)に示された貫通穴19aの他に、仮想線Bに交差する仮想線B´と集光反射鏡13aとの交差箇所135にもう一つの貫通穴19bが設けられている。すなわち、集光反射鏡13aには2個の貫通穴が設けられており、仮想線Bと仮想線B´とでなす角α1は、放電ランプ12の位置調整作業上の観点から70〜110°の範囲内であることが好ましく、特に90°であることが好ましい。
図1(a)に戻って説明を続けると、筐体15は、貫通穴19を介してターゲット17を視認するための覗き穴151が設けられている。
ターゲット17は、その材質が例えばアルミであり、例えば、複数枚の板を曲げ伸ばし可能となるように連結させた構造である。すなわち、ターゲット17は、放電ランプ12の位置調整後、放電ランプ12からの光を遮らないように折りたたむことになる。また、ターゲット17は、集光反射鏡13aが仮想線Bに交差する他方の交差箇所134にその像が投影されるように配置されている。
すなわち、ターゲット17は、他方の交差箇所134と集光反射鏡13aの第2焦点132とを通過する仮想線C上に配置され、図1(c)に示すように仮想線Cと交わる交差箇所170にはケガキ等によって目印171が形成されている。
尚、ターゲット17に設けられた目印171は、目印となる部分にターゲット17と色の異なる他の部品を組み合わせることにより目印としても良いし、目印となる部分を切り欠く等しても良い。
このように、第1の発明の光源装置10によると、集光反射鏡13aに設けられた貫通穴19aを通じて、集光反射鏡13aが仮想線Bに交差する他方の交差箇所134に投影されたターゲット17上の目印171の像を視認することにより、放電ランプ12の位置調整を行うものである。ここで、具体的な位置調整方法について以下に説明する。
集光反射鏡13aに設けられた貫通穴19a、19bから消灯している放電ランプ12を見た時、もし放電ランプが所定の位置に配置されていれば、放電ランプ12の輝点が形成されるべき箇所123にターゲット17の目印171が合わさることになる。ここで、貫通穴19aから中を見て放電ランプ12の位置がずれていれば、X軸方向とZ軸方向の位置調整をケーシング11に設けられた位置調整手段102によって行う。一方、貫通穴19bから中を見たときに位置がずれていれば、Y軸方向とZ軸方向の位置調整を同様に行う。尚、図1(a)においては、位置調整手段102がケーシング11の外側に設けられた構造が示されているが、これに限るものではなく、位置調整手段102がケーシング11の内側に設けられた構造としても良い。
したがって、本発明の光源装置によれば、作業者毎に照度のバラツキが生じることがなく、誰でも容易に放電ランプ12の位置調整を行うことができ、さらに、光源装置10を筐体に組み込む際又は組み込んだ後に放電ランプ12のズレが生じても光源装置10を筐体15に組み込んだままの状態で放電ランプ12の位置調整を良好に行うことができる。
尚、図示していないが、ケーシング11および筐体15には、X軸方向にも上記の位置調整を行うための覗き穴が設けられている。
図2は、インテグレーターレンズが取り付けられた筐体に第2の発明の光源装置が組み込まれた構造について説明するための図である。図2(a)は長手方向にて切断した断面図を、図2(b)は図2(a)に示される仮想線Bを含み光軸100に直交する平面にて切断した断面図を示す。尚、図1と同一符号は同一部分を示す。
図2(a)に示すように、第2の発明の光源装置20において、集光反射鏡13aには、前記仮想線Bとの一方の交差箇所133及び他方の交差箇所134に、それぞれ、ターゲット27を視認するための貫通穴19a、19cが設けられている。
さらに、図2(b)に示すように、仮想線Bと交差する仮想線B´と集光反射鏡13aとの交差する交差箇所135、136に、それぞれ、貫通穴19b、19dが設けられている。すなわち、集光反射鏡13aには4個の貫通穴が設けられており、仮想線Bと仮想線B´とでなす角α2は、第1の発明と同様に70〜110°の範囲内であることが好ましく、特に90°であることが好ましい。
ケーシング11内には、仮想線B上であって、集光反射鏡13aの外側にターゲット27が設けられている。ターゲット27は、例えば、アルミを材質とする板から構成される。尚、図2においては、ターゲット27がケーシング11の内表面に当接して固定されているが、これに限るものではなく、当接しない状態で固定されていても良い。
図3は、図2(a)に示される点線部分NをY軸方向から見た拡大図である。
図3(a)に示すように、ターゲット27には、ターゲット27と上記仮想線Bとの交差箇所271を中心とした十字状の第1の目印272が、工具等でケガキすることにより形成される。そして、放電ランプ12は、十字状の第1の目印272の中心271に対して、放電ランプ12の輝点が重なるように位置調整される。ところが、放電ランプ12の輝点は、ランプを点灯させないと形成されないので、非点灯状態での放電ランプ12の位置調整は、具体的には以下のように行われる。
図2において、集光反射鏡13aに設けられた貫通穴19aを覗き込むと、陽極121の先端部および陰極122の先端部を見ることができる。放電ランプ12の位置調整については、先端部が尖頭形状である陰極122を用いて行うことが好ましい。すなわち、あらかじめ計算により放電ランプ12の輝点が形成されるべき箇所123と陰極122の先端部との距離Lを求めておき、図3(a)において第1の目印272の中心271から距離Lだけ離れた位置273に対して、第1の目印272と直交する第2の目印274を第1の目印272と同様の方法で形成する。そして、放電ランプ12の位置調整を行う際には、陰極122の先端が上記の位置273に重なるように配置すれば必然的に放電ランプ12の輝点が形成されるべき箇所123が第1の目印272の中心271に重なることになる。
尚、上記の距離Lは、陽極121の先端部から計算しても良い。
図3(b)に示すように、ターゲット27には十字状の第1の目印272が工具等によりケガキすることにより形成される。そして、ターゲット27とは色が異なる別部材28が、上記の位置273に対してその角部281が重なるようにターゲット27に貼り付けられることにより第2の目印となる。
図3(c)に示すように、ターゲット27には十字状の第1の目印272が工具等によりケガキすることにより形成される。そして、ターゲット27の一部がくりぬかれることにより第2の目印となるべき略三角形状の切り欠き29が形成される。この切り欠き29は、その先端部291が上記の位置273に重なるように形成されている。
尚、図2、3においては、貫通穴19aから中を見たときのX軸方向およびZ軸方向の位置調整についてのみ説明しているが、無論、貫通穴19bから中を見た場合にもY軸方向およびZ軸方向の位置調整を同様に行うことになる。すなわち、X軸方向にもランプ位置調整用のターゲットが設けられている。
このように、第2の発明の光源装置20によると、集光反射鏡13aに設けられた貫通穴19a、19bを通じてケーシング11内において仮想線B上であって反射鏡の外側に存在するターゲット27を覗き込み、放電ランプ12の陰極122の先端部とターゲット27に設けられた第2の目印とが重なるように放電ランプ12を配置することにより、放電ランプ12の3次元方向における位置調整を行うものである。したがって、作業者毎に照度のバラツキが生じることがなく、誰でも容易に放電ランプ12の位置調整を行うことができ、さらに、光源装置20を筐体に組み込む際又は組み込んだ後に放電ランプ12のズレが生じても光源装置20を筐体15に組み込んだままの状態で放電ランプ12の位置調整を良好に行うことができる。
尚、図1に示すターゲット17に対して、図3(a)、(b)、(c)に示すような目印を形成し、同様にして放電ランプ12の位置調整を行うことも可能である。
図4は、インテグレーターレンズが取り付けられた筐体に第3の発明の光源装置が組み込まれた構造について説明するための図である。図4(a)は長手方向にて切断した断面図を、図4(b)は図4(a)の点線部分OをY軸方向から見た拡大図である。尚、図1、3と同一符号は同一部分を示す。
光源装置40においては、ターゲットが集光反射鏡13aに直接設けられていることを除けば、他の構造は光源装置10と同様である。
図4(b)に示すように、集光反射鏡13aにおいて前記他方の交差箇所134には、図3(a)に示すターゲット27と同様にして十字状の目印272が工具等で切削することにより形成されている。
尚、図示していないが、図1(c)と同様の目印を形成しても良いし、放電ランプ12から放射された光をインテグレーターレンズ14の端部141に集光させる際に悪影響を及ぼさないのであれば図3(b)、(c)と同様にして目印を形成しても良い。
以上説明したように、本発明の光源装置によると、反射鏡に設けられた貫通穴を通じてケーシングに設けられたランプ位置調整用のターゲットを視認することにより放電ランプの位置調整を行う構造であるため、作業者毎に照度のバラツキが生じることがなく、さらに、光源装置を筐体に組み込む際又は光源装置を筐体に組み込んだ後に衝撃等により放電ランプの位置にズレが生じることがあっても光源装置を筐体に組み込んだままの状態で放電ランプの位置調整を行うことができる。
インテグレーターレンズが取り付けられた筐体に第1の発明の光源装置が組み込まれた構造について説明するための図である。 インテグレーターレンズが取り付けられた筐体に第2の発明の光源装置が組み込まれた構造について説明するための図である。 図2(a)に示される点線部分NをY軸方向からみた図である。 インテグレーターレンズが取り付けられた筐体に第3の発明の光源装置が組み込まれた構造について説明するための図である。 インテグレーターレンズが取り付けられた筐体に従来の光源装置が組み込まれた構造について説明するための図である。 光源装置を筐体に組み込む前の段階で放電ランプの位置調整を行う方法について説明するための図である。
符号の説明
10 光源装置
11 ケーシング
12 放電ランプ
123 輝点が形成されるべき箇所
13 反射鏡
13a 集光反射鏡
13b 捕捉反射鏡
14 インテグレーターレンズ
15 筐体
17 ターゲット
19a 貫通穴
19b 貫通穴
102 位置調整手段
B 仮想線

Claims (6)

  1. ケーシング内に放電ランプと反射鏡が配置され、当該放電ランプから放射された光を反射鏡によってケーシング外に配置されたインテグレーターレンズの端部に集光させる光源装置において、
    前記反射鏡は、視認用の貫通穴が設けられ、
    前記ケーシングは、ランプ位置調整用のターゲットが設けられるとともに、このターゲットを前記貫通穴と前記放電ランプの輝点が形成されるべき箇所とを通過する仮想線上にて視認できるように放電ランプの位置調整を行うための位置調整手段が設けられたことを特徴とする光源装置。
  2. 前記ターゲットは、前記反射鏡が前記仮想線に交わる箇所にその像が投影されるように配置されたことを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
  3. 前記ターゲットは、前記仮想線上に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
  4. 前記貫通穴は、少なくとも2個設けられたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光源装置。
  5. 前記貫通穴は、少なくとも4個設けられたことを特徴とする請求項1または請求項3に記載の光源装置。
  6. ケーシング内に放電ランプと反射鏡が配置され、当該放電ランプから放射された光を反射鏡によってケーシング外に配置されたインテグレーターレンズの端部に集光させる光源装置において、
    前記反射鏡は、視認用の貫通穴およびランプ位置調整用のターゲットが設けられ、
    前記ケーシングは、このターゲットを前記仮想線上に視認できるように放電ランプの位置調整を行うための位置調整手段が設けられたことを特徴とする光源装置。



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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007264293A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Seiko Epson Corp プロジェクタ
JP2009032449A (ja) * 2007-07-25 2009-02-12 Panasonic Electric Works Co Ltd 光源ユニット及びそれを備えたスポットライト
JP2009105014A (ja) * 2007-10-25 2009-05-14 Panasonic Electric Works Co Ltd 照明器具

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI443439B (zh) * 2010-11-22 2014-07-01 Delta Electronics Inc 一種投影裝置、用於該投影裝置之光源模組及亮度調整方法
TWI497007B (zh) * 2012-08-24 2015-08-21 Ledlink Optics Inc Telescopic lens
WO2014104014A1 (ja) * 2012-12-29 2014-07-03 Hoya Candeo Optronics株式会社 光源装置
CN112576989A (zh) * 2020-11-12 2021-03-30 深圳市骁阳工程咨询有限公司 太阳能辐射模拟照明装置及系统

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4605301A (en) * 1984-07-07 1986-08-12 Ushio Denki Kabushiki Kaisha Exposure method of semiconductor wafer by mercury-vapor lamp
JPS61189636A (ja) * 1985-02-19 1986-08-23 Ushio Inc キセノン・水銀放電灯による半導体ウエハ−の露光方法
US4880309A (en) * 1987-04-14 1989-11-14 General Signal Corporation Dark field target design system for alignment of semiconductor wafers
JP2003282412A (ja) * 2002-03-25 2003-10-03 Ushio Inc 光照射装置
JP4273912B2 (ja) * 2003-10-07 2009-06-03 ウシオ電機株式会社 光源装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007264293A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Seiko Epson Corp プロジェクタ
JP4682896B2 (ja) * 2006-03-28 2011-05-11 セイコーエプソン株式会社 プロジェクタ
JP2009032449A (ja) * 2007-07-25 2009-02-12 Panasonic Electric Works Co Ltd 光源ユニット及びそれを備えたスポットライト
JP2009105014A (ja) * 2007-10-25 2009-05-14 Panasonic Electric Works Co Ltd 照明器具

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