TW201439560A - 用於識別電子電路中之缺陷之裝置及方法 - Google Patents

Abstract

本發明揭露用於在防止大規模面板損壞之同時保持用於面板檢測(即，畫素及線缺陷偵測)的可靠及可再現狀態之技術。一種實施方式涉及到一種用於識別一電子電路中之一缺陷之裝置，該裝置包含：一電路驅動模組，用以對該電子電路施加一電性測試訊號；一缺陷偵測模組，用以至少根據所施加之該電性測試訊號來識別該電子電路中之該缺陷；一訊號監測模組，用以於該電子電路處量測該電性測試訊號；以及一控制模組，可操作地耦合至該訊號監測模組及該電路驅動模組，並用以根據於該電子電路處所量測之該電性測試訊號來控制至少該電路驅動模組。

Description

用於識別電子電路中之缺陷之裝置及方法

本發明概言之係關於對電子器件之電性檢測領域，且具體而言，係關於對剛性及撓性液晶(Liquid Crystal；LC)顯示器及有機發光二極體(Organic Light Emitting Diode；OLED)顯示器之檢測以及用於檢測與缺陷偵測之系統。

液晶顯示器(Liquid Crystal Display；LCD)面板包含具有電場相依光調製特性(electric-field dependent light modulating property)之液晶。液晶顯示器面板最常用於在自傳真機、行動電話、平板電腦及膝上型電腦螢幕至大螢幕高解析度電視在內之各種器件中顯示影像及其他資訊。主動矩陣LCD面板係由若干功能層組成之複雜分層結構：一或多個偏光膜層；一TFT玻璃基板，包含有薄膜電晶體、存儲電容器、畫素電極及互連件，該互連件配接一濾色片玻璃基板及一透明共用電極，該濾色片玻璃基板包含有一黑色矩陣及一濾色片陣列；一取向膜，由聚醯亞胺製成；以及實際液晶材料，包含有塑膠/玻璃間隔件以保持適當之LCD單元厚度。

LCD面板係在潔淨室環境中於高度受控狀態下製造以使良率最大化。儘管如此，某些LCD可能因組裝產品中之製造瑕疵而不得不被丟棄。

為提高LCD面板生產良率，在LCD面板之整個製造過程期間實施多個檢測及修復步驟。在此等步驟中，最關鍵之檢測步驟其中之一係為陣列測試(在TFT陣列製作過程結束時執行之電性檢測步驟)。

LCD製造商當前可在市場上獲得幾種傳統陣列測試技術，其中最流行的當數如例如以引用方式全文併入本文中之美國專利4,983,911中所述使用電光換能器(調製器)之電性LCD檢測。一個此種類型之實例性LCD檢測器件係為可自位於美國加利福尼亞州聖何塞市之光子動力(Photon Dynamics)公司(一家奧寶公司)購得之陣列檢查器(Array Checker)。具體而言，上述陣列檢查器檢測系統採用一種叫做「電壓成像(VOLTAGE IMAGING)®」之方法，該方法利用一基於反射型液晶之調製器來量測個別TFT陣列畫素上之電壓。在藉由陣列檢查器來對TFT陣列進行檢測時，藉由一測試圖案(test pattern)產生器子系統來對受測試TFT面板施加驅動電壓圖案(voltage pattern)，並藉由使上述電光調製器之位置緊密靠近受測試TFT陣列(通常相距大約50微米)並使其經受一高壓方波電壓圖案來量測所得面板畫素電壓。舉例而言，被施加至調製器之電壓方波圖案之振幅可為300V、頻率60Hz。由於電光調製器靠近被施加有驅動電壓之受測試TFT陣列之畫素，在檢測系統之電光調製器兩端會形成電位，該電位迫使調製器中之液晶改變其電場相依空間取向，從而局部地改變其透過調製器之光透射率。換言之，調製器之光透射率可表示與其靠近之陣列畫素上之電壓。為捕獲發生改變之調製器透射率，使用光脈衝來照射調製器並使由承受面板電壓之調製器反射之光成像至一電壓成像光學子系統(voltage imaging optical subsystem；VIOS)照相機上，該照相機獲取所得影像並使其數位化。 上述光脈衝之持續時間可為例如1毫秒。一種用於將原始電壓影像轉換成LCD畫素圖(map)並使用該圖來偵測缺陷之實例性系統及方法闡述於以引用方式全文併入本文中之第7,212,024號美國專利中。

然而，由於根據傳統檢測技術，在檢測期間被施加至受測試TFT面板之驅動電壓不被連續監測或控制，因而任何測試圖案產生器子系統漂移或系統或面板狀態之變化均可導致各順次之TFT面板在不同狀態下受到檢測或在檢測過程期間不知不覺地被損壞。在沒有即時監測之情況下，缺陷偵測精度及可重複性之變化將無人知曉，直至面板到達製造工廠中之組立制程(cell process)為止。到問題在組立製程中被發現時，成千上萬之面板可能已被損壞或於次於最佳狀態下被檢測，從而給製造商帶來經濟損失。

本發明係關於用於實質上消除一或多個與用於檢測電子電路之傳統技術相關聯之上述及其他問題之方法及系統。

根據本文所述實施例之一個態樣，提供一種用於識別一電子電路中之一缺陷之裝置，該裝置包含：一電路驅動模組，用以對該電子電路施加一電性測試訊號；一缺陷偵測模組，用以至少根據所施加之該電性測試訊號來識別該電子電路中之該缺陷；一訊號監測模組，用以於該電子電路處量測該電性測試訊號；以及一控制模組，可操作地耦合至該訊號監測模組及該電路驅動模組，並用以根據於該電子電路處所量測之該電性測試訊號來控制至少該電路驅動模組。

在一或多個實施例中，該電性測試訊號經由一力線被施加至 該電子電路，且其中該訊號監測模組於該力線處量測該電性測試訊號。

在一或多個實施例中，該監測模組於電性連接至該電子電路之一返回線處量測該電性測試訊號。

在一或多個實施例中，該訊號監測模組量測該電性測試訊號之一電壓。

在一或多個實施例中，該控制模組根據由該訊號監測模組所量測之該電性測試訊號之該電壓來控制該電路驅動模組之一輸出電壓。

在一或多個實施例中，該訊號監測模組量測該電性測試訊號之一電流。

在一或多個實施例中，該控制模組根據由該訊號監測模組所量測之該電性測試訊號之該電流來控制該電路驅動模組之一輸出電流。

在一或多個實施例中，該控制模組亦根據該缺陷偵測模組之一輸出來控制該電路驅動模組。

在一或多個實施例中，該控制模組於一預定參數範圍內控制該電路驅動模組之至少一個參數。

在一或多個實施例中，該控制模組控制該電路驅動模組之至少一個參數以補償由該電路驅動模組對該電子電路施加之該電性測試訊號之一漂移。

在一或多個實施例中，該控制模組控制該電路驅動模組之至少一個參數以補償該電子電路之至少一種狀態之一變化。

在一或多個實施例中，該控制模組亦根據於該電子電路處所量測之該電性測試訊號來控制該缺陷偵測模組。

在一或多個實施例中，該訊號監測模組用以於該電子電路處連續量測該電性測試訊號。

根據本文所述實施例之另一態樣，提供一種用於識別一電子電路中之一缺陷之裝置，該裝置包含：一電路驅動模組，用以對該電子電路施加一電性測試訊號；一缺陷偵測模組，用以至少根據所施加之該電性測試訊號來識別該電子電路中之該缺陷；一訊號監測模組，用以於該電子電路處量測該電性測試訊號；以及一訊號分析模組，可操作地耦合至該訊號監測模組，並用以分析所量測之該電性測試訊號並且判定是否已發生對該電子電路之一損壞。

在一或多個實施例中，該電性測試訊號經由一力線被施加至該電子電路，且其中該訊號監測模組於該力線處量測該電性測試訊號。

在一或多個實施例中，該訊號監測模組於電性連接至該電子電路之一返回線處量測該電性測試訊號。

在一或多個實施例中，該訊號監測模組量測該電性測試訊號之一電壓。

在一或多個實施例中，該訊號監測模組量測該電性測試訊號之一電流。

根據本文所述實施例之另一態樣，提供一種用於識別一電子電路中之一缺陷之方法，該方法涉及到：對該電子電路施加一電性測試訊號；至少根據所施加之該電性測試訊號來識別該電子電路中之該缺陷；於該電子電路處量測該電性測試訊號；以及根據在該電子電路處所量測之該電性測試訊號來控制被施加至該電子電路之該電性測試訊號。

在一或多個實施例中，該電性測試訊號經由一力線被施加至該電子電路，且其中該電性測試訊號於該力線處被量測。

在一或多個實施例中，該電性測試訊號於電性連接至該電子電路之一返回線處被量測。

在一或多個實施例中，該電性測試訊號包含量測該電性測試訊號之一電壓。

在一或多個實施例中，量測該電性測試訊號包含量測該電性測試訊號之一電流。

與本發明相關之其他態樣將部分地闡述於以下之說明中，且部分地將根據本說明顯而易見，或者可藉由實踐本發明而獲悉。本發明之各個態樣可藉由以下詳細說明及隨附申請專利範圍中具體指出之元件及各種元件與態樣之組合來實現及獲得。

應理解，以上及以下說明僅係為實例性及說明性的，而非旨在以任何方式限制所請求保護之發明或發明申請。

101‧‧‧可程式化器件

102‧‧‧數位-類比轉換器

103‧‧‧放大器電路

104‧‧‧力線

105‧‧‧電壓量測電路

106‧‧‧電流量測電路

107‧‧‧多路複用器

108‧‧‧數位-類比轉換器

109‧‧‧查找表

210‧‧‧面板檢測結果

301‧‧‧方波

302‧‧‧可預測及可重複之形狀

303‧‧‧被損壞之面板電流軌跡

401‧‧‧檢測頭

402‧‧‧受測試器件

403‧‧‧資料處理單元

404‧‧‧可程式化器件

405‧‧‧子系統供應單元1

406‧‧‧子系統供應單元2

併入本發明書中且構成本說明書之一部分之隨附圖式例示本發明之實施例，且與本說明一起，用來解釋並舉例說明本發明技術之原理。具體為：第1圖例示一種用於根據對檢測系統與受測試顯示面板之間力線或感測線上之訊號進行監測來進行測試圖案產生器漂移補償之系統之實例性實施例；第2圖例示一種用於根據對檢測系統與受測試顯示面板之間力線或感 測線上之訊號進行監測來進行測試圖案產生器漂移補償之系統之另一實例性實施例以及一閉環控制機制；第3圖例示被施加至一受測試面板之一典型電壓方波形、在力線上所量測的一電流以及一被損壞之顯示面板跡線處之一電流圖案(current pattern)之實例；以及第4圖例示控制環之實例性實施例之簡化方塊圖。

在以下詳細說明中，將參考圖式，在各圖式中，以相同之編號表示相同之功能元件。上述圖式以舉例說明方式而非以限制方式顯示與本發明原理相一致之特定實施例及實施方式。此等實施方式被充分地詳細說明，以使熟習此項技術者能夠實踐本發明，且應理解，可利用其他實施方式且可在不背離本發明之範圍及精神之情況下對各種元件作出結構改變及/或替換。因此，以下詳細說明不應被解釋為具有限制意義。另外，所述本發明各實施例可以在通用電腦上運行之軟體形式、以專用硬體形式或以軟體與硬體之任一組合形式來實施。

本發明各個態樣提供用於在防止大規模面板損壞之同時保持用於面板檢測(即，畫素及線缺陷偵測)之可靠及可再現狀態之技術。在沒有此類控制及監測之情況下，各個順次之面板可能會在不同狀態下受到檢測或者在檢測過程期間不知不覺地被損壞。在沒有即時監測之情況下，缺陷偵測精度及可重複性之變化將無人知曉，直至該等面板到達製造工廠中之組立製程為止。到問題在組立製程中被發現時，成千上萬面板可能已被損壞或於次於最佳之狀態下被檢測，從而給製造商帶來經濟損失。

所述本發明各實施例提供一種用於檢測系統之閉環控制機制及一種用於即時監測受測試顯示器之方法。本文所述發明概念適用於檢測包含LCD及OLED(均既可為剛性亦可為撓性)顯示器在內之所有類型之顯示器。本發明實施例亦不依賴背板(backplane)技術，例如，在顯示器中所使用之a-Si、LTPS、IGZO。

在一或多個實施例中，對受測試顯示器之監測可使用本文所述「力線」監測或「感測線」監測兩種方式來執行。閉環控制亦可使用來自系統之各種量測值(例如，檢測部位電壓、缺陷對比度等)作為控制環之輸入資料來設置，以動態調整面板測試狀態。

在力線監測技術之一或多個實施例中，在傳送至受測試面板之類比驅動訊號之輸出處執行量測。此等訊號經由通常被稱作一「力線」之訊號路徑被供應至面板。藉由在測試期間連續監測力線，可即時調整類比驅動通道輸出，以補償任何測試圖案產生器子系統漂移或面板狀態變化。由此得到對於每一受測試面板而言均更加穩定之面板驅動狀態。

如熟習此項技術者將瞭解，在沒有上述控制及監測之情況下，若在測試圖案產生器子系統中存在任何漂移，則各順次之面板可能會在略微不同之驅動狀態下接受測試。相反，藉由實施下面詳細闡述之閉環控制，對所有面板之檢測均將在盡可能幾乎相同之驅動狀態下進行。

另一方面，在感測線監測技術之實施例中，於連接至受測試面板之返回線處執行量測。此返回線通常被稱作一「感測線」。可對此感測線進行監測，以偵測受測試顯示面板之特性之任何變化。受測試顯示面板之變化可因面板內之故障(例如，接觸焊墊燒壞)或測試圖案產生器子系 統內之漂移而引起。

下面更詳細地闡述上述力線監測技術。在一或多個實施例中，可使用感測線來實施同一類型之監測，但此需要具有一用於將檢測系統連接至受測試面板之附加訊號路徑。另一方面，力線監測將提供與感測線監測相同之有益效果，而無需添加上述額外訊號通路。如前所述，在沒有力線或感測線監測之情況下，若於測試圖案產生器子系統中存在一正在損壞受測試面板之未偵測到之故障，則已被檢測之所有面板均將被損壞。在發生測試圖案產生器子系統故障之情況下，所述實施例可使損壞僅限於單個面板，進而為製造商省卻大量損失。

在一或多個實施例中，本文所述即時監測及閉環控制技術適用於：災難性面板損壞偵測、自適應性面板驅動、重複性系統調諧、系統漂移補償及自動化配方調整。

在一或多個實施例中，藉由監測檢測系統與受測試面板之間力線或感測線上之訊號來實現系統漂移補償，如第1圖中所例示。在第1圖中，可在檢測面板之同時監測力線104。可程式化器件101將根據由系統使用者提供之配方輸入將數位-類比轉換器(DAC)102及放大器電路(AMP)103之輸出設定至所期望之位準。在面板驅動期間，分別使用電壓量測電路105及電流量測電路106來監測力線104上有無適當電壓傳送及電流流動。該二個電路經由一多路複用器(MUX)107及一類比-數位轉換器(ADC)108連接至可程式化器件101。數位-類比轉換器108將所量測之類比訊號重新轉換成數位域，而多路複用器107允許可程式化器件101監測多條力線104。若在力線104上所量測之電壓或電流開始偏離使用者指定值，則可程式化器件 101用以使用一或多個查找表(LUT)109(例如，藉由自動增大或減小電流值及電壓值直至其中一者或兩者重新回到使用者指定位準)來控制驅動訊號。

在一或多個實施例中，允許使用者設定預定控制限值，以使得電壓及電流只可於預定調整範圍內由可程式化器件101自動調整。若在力線104上所量測之電壓或電流超出由使用者指定之最小值或最大值，則此可能預示著災難性面板損壞。此類災難性損壞可包含因檢測系統內之不佳配方設置或硬體故障而引起之受測試面板內之接觸焊墊燒壞或短路形成。在此兩種情況下，此類面板損壞均將使大量電流自測試圖案產生器子系統流入面板。當電流量測電路106偵測到力線104上之此種大電流流動時，系統發出一警報並關閉檢測過程。此將使損壞僅限於一單個面板並提醒操作者注意檢測系統內之可能之不佳配方設置或硬體故障。

在一或多個實施例中，提供一種在系統之測試圖案產生器子系統與檢測頭之間所建立之閉環控制機制(參見第2圖)。閉環控制機制可根據在面板處實施之實際檢測量測來提供反饋。此類量測值之實例包含(但不限於)檢測部位處之平均電壓或於檢測影像中所偵測到之某些缺陷類型之對比度。所接收到之量測結果用於調整被施加至面板之測試圖案(此被稱作「自適應性面板驅動」)並且用於根據面板測試結果來自動調整檢測配方。

上述閉環控制機制之一實例性實施例例示於第2圖中。該閉環控制機制之所示實例性實施例藉由收集面板檢測結果210並將此等結果饋送回至可程式化器件101中來進行工作。可程式化器件101可使用數位-類 比轉換器102來以一遞增量修改放大器電路103之輸出，進而修改面板檢測結果210。在一或多個實施例中，可重複此過程直至針對一或多個面板達到所期望之面板檢測結果210。

即時力線監測

所述技術之一或多個實施例提供偵測可在面板檢測過程期間形成之顯示面板短路之能力。一種用於偵測此類損壞之實例性技術涉及到在測試顯示面板之同時監測力線電流量測電路。具體而言，第3圖顯示被施加至一有代表性之電容性負載或受測試面板之典型電壓方波形301之一實例。方波可於二或更多個額定正電壓或負電壓之間切換。在此實例中，方波301正於0v與一額定最大正電壓X v之間切換。在正常面板驅動期間，在力線上所量測之電流應具有一可預測的及可重複之形狀302。當電壓被切換為正時，電流將快速升至操作者所定義之限流設定值Y mA。一旦電壓穩定下來，電流便會逐漸降至接近0mA而電壓保持處於X v。此行為針對圖案中之每一電壓脈衝進行重複。當發生面板損壞時，此電流軌跡看起來會有明顯之不同。被損壞之面板電流軌跡303顯示來自驅動至一面板短路中之一力線之預期電流量測。並非在施加初始電壓脈衝之後逐漸朝0mA返回，通道將在電壓脈衝持續期間以操作者定義之電流限值繼續輸出電壓。電流只有在脈衝被切斷時才會回到0mA。在此種情況下，可程式化器件101將經由電流量測電路偵測到通道正以電流限值工作達一延長之時間週期。可程式化器件將關閉驅動通道並向系統發出警報。警報可提醒操作者注意一被損壞之面板並建議檢查系統有無硬體故障或提醒對圖案調諧作出改變。應注意，所有監測均在逐一通道基礎上進行且一典型系統將具有許多獨立通 道。系統中之每一通道均受到獨立監測及控制，如上所述。

閉環控制

所述技術之一或多個實施例提供在一閉環控制模式下操作檢測系統之能力。在此種操作模式下，系統可使用檢測結果作為控制環之輸入。若系統開始感測到量測值之漂移，則控制環可修改檢測參數其中之一或多者以補償漂移並使系統重新回到一提供可重複及可再現檢測狀態之狀態。第4圖例示控制環之一實例性實施例之簡化方塊圖。在所示實例中，檢測頭401對受測試器件402執行主動檢測。檢測頭401連接至一資料處理單元403，該資料處理單元負責收集並解譯所收集到之資料。資料處理單元403為操作者提供即時結果並且保存隨著時間而用於監測系統漂移之代表性資料。資料處理單元403連接至可程式化器件404。該可程式化器件可解譯隨著時間由資料處理單元403收集之資料並判定系統是否正在漂移。若偵測到系統漂移，則可程式化器件404可對任意數量之子系統供應單元405、406之輸出作出改變，以抵消系統漂移並使系統回到一穩定工作模式。第4圖顯示可調整面板驅動狀態(例如，驅動電壓、電流、脈衝寬度等)之子系統供應單元1(405)及可調整感測器狀態(例如，感測器偏壓電壓、照明強度等)之子系統供應單元2(406)。儘管圖中未顯示，但控制環可被設置成連接可程式化器件404以調整附加子系統，該等附加子系統之實例可為其中可根據檢測結果來調整X、Y及Z運動軸以補償運動系統漂移之平台運動(stage motion)子系統。在一或多個實施例中，該系統含有多組獨立通道及子系統供應單元。閉環控制功能可根據個別或共同反饋來對所有此等群組施加校正。

應注意，本文所述發明性技術不僅限於檢測顯示面板。本發明實施例亦可用於檢測其他電子器件，包含(但不限於)印刷電路板(PCB)、半導體電路(例如，在晶圓上)以及其他此類器件。

最後，應理解，本文所述過程及技術並非固有地與任一特定裝置相關，而係可由任一合適之組件組合來實施。此外，可根據本文所述教示內容使用各種類型之通用器件。構造專用裝置來執行本文所述方法步驟亦可證明係為有利的。已就在所有方面均旨在為例示性而非限制性之特定實例闡述了本發明。但熟習此項技術者應瞭解，硬體、軟體與韌體之許多不同組合將適用於實踐本發明。

此外，熟習此項技術者藉由考慮本文所揭示發明之說明書及實踐，將易知本發明之其他實施方式。所述實施例之各個態樣及/或各種組件可單獨地或以任一組合形式用於檢測系統中。旨在使本說明書及各實例應僅被視為實例性的，本發明之真實範圍及精神由隨附申請專利範圍指示。

101‧‧‧可程式化器件

102‧‧‧數位-類比轉換器

103‧‧‧放大器電路

104‧‧‧力線

105‧‧‧電壓量測電路

106‧‧‧電流量測電路

107‧‧‧多路複用器

108‧‧‧數位-類比轉換器

109‧‧‧查找表

Claims (23)

1. 一種用於識別一電子電路中之一缺陷之裝置，該裝置包含：a.一電路驅動模組，用以對該電子電路施加一電性測試訊號；以及b.一缺陷偵測模組，用以至少根據所施加之該電性測試訊號來識別該電子電路中之該缺陷；c.一訊號監測模組，用以於該電子電路處量測該電性測試訊號；以及d.一控制模組，可操作地耦合至該訊號監測模組及該電路驅動模組，並用以根據於該電子電路處所量測之該電性測試訊號來控制至少該電路驅動模組。
2. 如請求項1所述之裝置，其中該電性測試訊號經由一力線被施加至該電子電路，且其中該訊號監測模組於該力線處量測該電性測試訊號。
3. 如請求項1所述之裝置，其中該訊號監測模組於電性連接至該電子電路之一返回線處量測該電性測試訊號。
4. 如請求項1所述之裝置，其中該訊號監測模組量測該電性測試訊號之一電壓。
5. 如請求項4所述之裝置，其中該控制模組根據由該訊號監測模組所量測之該電性測試訊號之該電壓來控制該電路驅動模組之一輸出電壓。
6. 如請求項1所述之裝置，其中該訊號監測模組量測該電性測試 訊號之一電流。
7. 如請求項6所述之裝置，其中該控制模組根據由該訊號監測模組所量測之該電性測試訊號之該電流來控制該電路驅動模組之一輸出電流。
8. 如請求項1所述之裝置，其中該控制模組更根據該缺陷偵測模組之一輸出來控制該電路驅動模組。
9. 如請求項1所述之裝置，其中該控制模組於一預定參數範圍內控制該電路驅動模組之至少一個參數。
10. 如請求項1所述之裝置，其中該控制模組控制該電路驅動模組之至少一個參數，以補償由該電路驅動模組對該電子電路施加之該電性測試訊號之一漂移。
11. 如請求項1所述之裝置，其中該控制模組控制該電路驅動模組之至少一個參數，以補償該電子電路之至少一種狀態之一變化。
12. 如請求項1所述之裝置，其中該控制模組更根據於該電子電路處所量測之該電性測試訊號，控制該缺陷偵測模組。
13. 如請求項1所述之裝置，其中該訊號監測模組用以於該電子電路處連續地量測該電性測試訊號。
14. 一種用於識別一電子電路中之一缺陷之裝置，該裝置包含：a.一電路驅動模組，用以對該電子電路施加一電性測試訊號；b.一缺陷偵測模組，用以至少根據所施加之該電性測試訊號來識別該電子電路中之該缺陷； c.一訊號監測模組，用以於該電子電路處量測該電性測試訊號；以及d.一訊號分析模組，可操作地耦合至該訊號監測模組，並用以分析所量測之該電性測試訊號並且判斷是否已發生對該電子電路之一損壞。
15. 如請求項14所述之裝置，其中該電性測試訊號經由一力線施加至該電子電路，且其中該訊號監測模組於該力線處量測該電性測試訊號。
16. 如請求項14所述之裝置，其中該訊號監測模組於電性連接至該電子電路之一返回線處量測該電性測試訊號。
17. 如請求項14所述之裝置，其中該訊號監測模組量測該電性測試訊號之一電壓。
18. 如請求項14所述之裝置，其中該訊號監測模組量測該電性測試訊號之一電流。
19. 一種用於識別一電子電路中之一缺陷之方法，該方法包含：a.對該電子電路施加一電性測試訊號；b.至少根據所施加之該電性測試訊號來識別該電子電路中之該缺陷；c.於該電子電路處量測該電性測試訊號；以及d.根據於該電子電路處所量測之該電性測試訊號，控制被施加至該電子電路之該電性測試訊號。
20. 如請求項19所述之方法，其中該電性測試訊號經由一力線被 施加至該電子電路，且其中該電性測試訊號於該力線處被量測。
21. 如請求項19所述之方法，其中該電性測試訊號於電性連接至該電子電路之一返回線處被量測。
22. 如請求項19所述之方法，其中量測該電性測試訊號包含：量測該電性測試訊號之一電壓。
23. 如請求項19所述之方法，其中量測該電性測試訊號包含量測該電性測試訊號之一電流。