JP3407341B2 - 表示デバイス検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、いわゆる液晶表示デバ
イス（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ、または、ＥＬ
表示デバイスの如き平面状の画像表示デバイスの特性を
検査するための表示デバイス検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、いわゆる液晶表示デバイス（ＬＣ
Ｄ）、プラズマディスプレイ、または、ＥＬ表示デバイ
スの如き平面状の画像表示デバイスが提案されている。
このような表示デバイスは、電気的及び光学的特性が、
環境温度に依存して変化する。例えば、液晶表示デバイ
スにおける欠陥、すなわち、白駆動時の黒点、または、
黒駆動時の白点は、環境温度に依って、出現のしかたが
異なる。この液晶表示デバイスの欠陥は、温度上昇に伴
って、発生、消滅、または、程度の変化を生ずる。

【０００３】そのため、従来より、表示デバイスの特性
を検査は、検査条件として、該表示デバイスの温度を所
定の温度に規定して行っている。すなわち、上記表示デ
バイスの特性の検査を行う表示デバイス検査装置は、上
記表示デバイスの温度を所定温度に制御する温度制御装
置と、この温度制御装置により温度制御された表示デバ
イスの表示する画像を測定する画像測定装置とを有して
構成されている。上記温度制御装置は、上記表示デバイ
スの温度を測定する温度測定装置と、この温度測定装置
による測定結果がフィードバックされて作動して該表示
デバイスを加熱（または冷却）する加熱（冷却）装置と
を有して構成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の表示
デバイス検査装置においては、上記表示デバイスの温度
を所定の温度に正確に維持することが困難であり、信頼
性の高い検査を行うことが困難であった。また、この表
示デバイス検査装置においては、画像の測定に先だっ
て、上記表示デバイスの温度を所定の温度に上昇（下
降）させるための時間を要すため、迅速な検査を行うこ
とが困難である。

【０００５】さらに、上述のような表示デバイス検査装
置においては、上記表示デバイスの温度を種々の異なる
温度に正確に設定することが困難であるため、この表示
デバイスの実際の使用条件に適合させた検査を行うこと
が困難である。

【０００６】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されるものであって、被検査物である表示デバイスの
温度を迅速、かつ、正確に制御することができ、この表
示デバイスの特性をこの表示デバイスの使用条件に適合
した検査条件にて容易に検査することが可能となされた
表示デバイス検査装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し上記
目的を達成するため、本発明に係る表示デバイス検査装
置は、予熱部と、この予熱部にある被検査物である表示
デバイスの温度を制御する予熱温度制御手段と、この予
熱温度制御手段により温度制御された表示デバイスが搬
入される測定部と、この測定部にある表示デバイスの温
度を制御する測定温度制御手段と、この測定温度制御手
段により温度制御された表示デバイスが表示する画像を
測定する画像測定手段とを備えてなるものである。

【０００８】また、本発明は、上述の表示デバイス検査
装置において、上記予熱部は、予熱温度制御手段により
温度制御され表示デバイスが載置される台部と、この台
部上の表示デバイスに上記予熱温度制御手段により温度
制御された空気を吹き付けるエアブロウ手段と、上記台
部及びこの台部上の表示デバイスを覆うケース部とを有
して構成されることとしたものである。

【０００９】さらに、本発明は、上述の各表示デバイス
検査装置において、上記予熱温度制御手段は、予熱部に
ある複数の表示デバイスの温度を制御し、上記測定温度
制御手段は、測定部にある１個の表示デバイスの温度を
制御することとしたものである。

【００１０】

【作用】本発明に係る表示デバイス検査装置において
は、予熱部にある被検査物である表示デバイスは、予熱
温度制御手段により温度を制御され、その後、測定部に
搬入されて測定温度制御手段により温度を制御されつつ
画像測定手段により表示する画像を測定されるので、該
画像の測定をなされるときには、既に正確に所定の設定
温度となされている。

【００１１】そして、上述の表示デバイス検査装置にお
いて、上記予熱部を、予熱温度制御手段により温度制御
され表示デバイスが載置される台部と、この台部上の表
示デバイスに上記予熱温度制御手段により温度制御され
た空気を吹き付けるエアブロウ手段と、上記台部及びこ
の台部上の表示デバイスを覆うケース部とを有して構成
されたものとした場合には、上記表示デバイスの温度を
迅速に所定の設定温度にすることができるとともに、こ
の温度を良好に維持することができる。

【００１２】さらに、上述の各表示デバイス検査装置に
おいて、上記予熱温度制御手段は、予熱部にある複数の
表示デバイスの温度を制御し、上記測定温度制御手段
は、測定部にある１個の表示デバイスの温度を制御する
こととした場合には、予熱温度制御手段による温度制御
に要する時間が画像の測定に要する時間よりも長い場合
であっても、該画像の測定を連続的に行うことができ、
測定毎の間隔時間（ロスタイム）が生ずることがない。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例を図面を参照
しながら説明する。この例は、本発明に係る表示デバイ
ス検査装置を、被検査物である表示デバイスとしてＬＣ
Ｄ（液晶表示）パネルを検査する装置として構成した例
である。

【００１４】上記ＬＣＤパネルは、積層された複数枚の
ガラス板と、これらガラス板の層間に封入された液晶と
を有して構成され、図１５に示すように、前面側主面部
上の画像表示部１０２と、この画像表示部１０２の一側
側に設けられた電極部１０３とを有して構成されてい
る。このＬＣＤパネル１０１においては、上記電極部１
０３を構成する複数の電極に対して、所定の電圧を選択
的に印加すると、上記画像表示部１０２において所定の
画像が表示される。このＬＣＤパネル１０１による画像
表示は、透過光に対する旋光性（偏光方向を変化させる
性質）の変化を画像の濃淡（明暗）に対応させるもので
ある。そのため、このＬＣＤパネル１０１によって濃淡
のある画像を表示させるためには、このＬＣＤパネル１
０１と偏光フィルタとを組み合わせる必要がある。

【００１５】そして、この表示デバイス検査装置は、図
１及至図４に示すように、予熱部、測定部及び搬送機構
等を含む本体部１と、後述するような種々の制御回路を
有する制御部２９とを有して構成されている。これら本
体部１及び制御部２９は、それぞれ外筐体を有して構成
されている。

【００１６】上記本体部１において、上記予熱部は、予
熱ステージ部３４及び中間位置決め部３３から構成され
ている。上記予熱ステージ部３４は、図５に示すよう
に、略々平板状に形成され、上面部に４枚のＬＣＤパネ
ル１０１が上記画像表示部１０２を上方側となして載置
され得るように構成されている。この予熱ステージ部３
４には、図２に示すように、予熱温度制御手段を構成す
る第１の予熱用ヒータ５６が取り付けられている。この
第１の予熱用ヒータ５６は、上記予熱温度制御手段を構
成する第１の温度制御回路３７によって制御されてい
る。この第１の温度制御回路３７には、上記第１の予熱
用ヒータ５６の温度を検出する温度センサ５７より、検
出された上記予熱ステージ部３４の温度を示す信号が送
られる。すなわち、上記第１の温度制御回路３７は、上
記予熱ステージ部３４の温度の検出結果をフィードバッ
クされて、該予熱ステージ部３４の温度が所定の設定温
度となるように、上記第１の予熱用ヒータ５６を制御す
る。

【００１７】上記中間位置決め部３３は、図６及び図７
に示すように、平板状の台部６４を有して構成されてい
る。この台部６４上には、上記予熱ステージ部３４より
搬送された一のＬＣＤパネル１０１が上記画像表示部１
０２を上方側となして載置されるための支持部材６５が
配設されている。また、上記台部６４上には、上記支持
部材６５上のＬＣＤパネル１０１を位置決めするため
の、それぞれ一対の第１及び第２の位置決めシリンダ６
２，６２、６３，６３が配設されている。上記各第１の
位置決めシリンダ６２，６２は、上記支持部材６５上に
おいて互いに先端部を対向させて、図６中矢印Ａ及び矢
印Ｂで示すように、互いに接近する方向に移動操作可能
となされている。また、上記各第２の位置決めシリンダ
６３，６３は、上記各第１の位置決めシリンダ６２，６
２に対して直交する方向に配設されて、上記支持部材６
５上において互いに先端部を対向させ、図６中矢印Ｃ及
び矢印Ｄで示すように、互いに接近する方向に移動操作
可能となされている。すなわち、これら各位置決めシリ
ンダ６２，６２、６３，６３は、互いに接近する方向に
移動操作されることにより、それぞれの先端部におい
て、上記支持部材６５上のＬＣＤパネル１０１を、四方
より挟持して、２次元方向について位置決めするように
なされている。

【００１８】上記台部６４は、ケース部に収納されてい
る。このケース部は、ケース本体７０と底板７１とを有
して構成されている。上記ケース本体７０は、上記台部
６４の周縁部を巡る側壁部及びこの台部６４の上方側を
覆う天板部とを有している。そして、上記底板７１は、
上記ケース本体７０の開放された底面部を閉蓋してい
る。なお、上記台部６４は、上記底板７１に対して、支
柱７２を介して離間されて支持されている。また、上記
ケース本体７０の天板部には、上記ＬＣＤパネル１０１
が入出されるための開口部６８が開設されている。この
開口部６８は、シャッタ板６９によって、開閉されるよ
うになされている。

【００１９】上記中間位置決め部３３の支持部材６５に
は、第２の予熱用ヒータ５８が取り付けられている。こ
の第２の予熱用ヒータ５８は、上記予熱温度制御手段を
構成する第２の温度制御回路３６によって制御されてい
る。この第２の温度制御回路３６には、上記第２の予熱
用ヒータ５８の温度を検出する温度センサ５９より、検
出された上記支持部材６５の温度を示す信号が送られ
る。すなわち、上記第２の温度制御回路３６は、上記支
持部材６５の温度の検出結果をフィードバックされて、
該支持部材６５の温度が所定の設定温度となるように、
上記第２の予熱用ヒータ５８を制御する。

【００２０】なお、上記支持部材６５は、上記ＬＣＤパ
ネル１０１が載置される中央部に上面部より下面部に至
る透孔が形成された略々円柱状に形成されている。上記
ＬＣＤパネル１０１は、上記支持部材６５上に載置され
ると、この支持部材６５の透孔の上方端を閉蓋する状態
に載置される。そして、上記台部６４には、上記支持部
材６４の透孔に対応して、第１の透孔６７が開設されて
いる。すなわち、上記支持部材６５上に載置されたＬＣ
Ｄパネル１０１の下面部は、上記各透孔を通して、上記
台部６４の下方側に臨んでいる。

【００２１】また、上記台部６４には、上記支持部材６
５より外れた位置に、第２の透孔６６が開設されてい
る。この第２の透孔６６には、接続筒８４を介して、チ
ューブ７３の一端側が接合されている。このチューブ７
３は、上記台部６４の上方側の空間に連通されており、
他端側を、上記ケース本体７０の側壁部であって上記台
部６４よりも下方に取り付けられた第１の吸引筒７４に
接合させている。この第１の吸引筒７４は、上記ケース
本体７０の側壁部に設けられた透孔に嵌合されている。
すなわち、上記チューブ７３は、上記台部６４の上方側
の空間を外方側に連通させている。そして、上記ケース
本体７０の側壁部であって上記台部６４よりも下方に
は、第２の吸引筒７５が取り付けられている。この第２
の吸引筒７５は、上記ケース本体７０の側壁部に設けら
れた透孔に嵌合されている。すなわち、上記第２の吸引
筒７５は、上記台部６４の下方側の空間を外方側に連通
させている。

【００２２】そして、上記各吸引筒７４，７５は、図示
しない吸引装置に接続される。この吸引装置は、図７中
矢印Ｋ及び矢印Ｌで示すように、上記ケース部内の上記
台部６４の上方側及び下方側の空気を吸引する。上記台
部６４の下方側の空気が吸引されることによって、上記
ＬＣＤパネル１０１は、上記支持部材６５の上面部に対
して吸着されるとともに、上記ＬＣＤパネル１０１の下
面部に付着していた塵挨が上記ケース部の外方に排出さ
れる。また、上記台部６４の上方側の空気が吸引される
ことによって、上記ＬＣＤパネル１０１の上面部に付着
していた塵挨が上記ケース部の外方に排出される。

【００２３】そして、上記中間位置決め部３３には、エ
アブロウ手段を構成する第１のエアブロウ装置４８が、
第１及び第２のエアブロウノズル５３，５５を介して接
続されている。上記第１のエアブロウ装置４８は、空気
を送出する送風機構と、この送風機構により送出される
空気を加熱するヒータ４０と、該空気の温度を検出する
温度センサ３９とを有している。上記送風機構における
空気送出量（流量）は、第１の流量コントローラ４４に
より制御されている。そして、上記ヒータ４０は、第３
の温度制御回路４１により制御されている。この第３の
温度制御回路４１は、上記温度センサ３９より検出した
温度を示す信号を供給されて、上記ヒータ４０を制御し
ている。この第１のエアブロウ装置４８より送出された
加熱された空気は、上記第１及び第２のエアブロウノズ
ル５３，５５を介して、上記中間位置決め部３３のケー
ス部内に送り込まれる。上記第１のエアブロウノズル５
３は、上記ＬＣＤパネル１０１の下面部に対して、図７
中矢印Ｊで示すように、上記台部６４の下方側より、上
記透孔６７を介して、空気を吹き付ける。また、上記第
２のエアブロウノズル５５は、上記ＬＣＤパネル１０１
の上面部に対して、図７中矢印Ｈで示すように、上記台
部６４の上方側より、空気を吹き付ける。

【００２４】なお、上記第１のエアブロウ装置４８の送
出する空気は、除電回路５０により電圧を供給される除
電端子５１に接して帯電されられた後、上記中間位置決
め部３３に送られる。上記中間位置決め部３３に送られ
る空気は、このように帯電させられることにより、上記
ＬＣＤパネル１０１の有する静電気を相殺して、該ＬＣ
Ｄパネル１０１への塵挨の付着を少なくする。

【００２５】そして、この表示デバイス検査装置は、上
記本体部１内に、測定部となる測定ステージ部５を有し
ている。この測定ステージ部５は、図８中に矢印Ｆで示
すように、上記中間位置決め部３３に近接する位置と、
後述する画像測定手段の側とに亘って、移動操作可能と
なされている。この測定ステージ部５は、図１４及至図
１６に示すように、略々平板状に形成され、上面部にＬ
字状の位置決めブロック８８が取り付けられている。こ
の位置決めブロック８８は、図１５に示すように、Ｌ字
の内側縁側部分に、少なくとも３本の当接ピン８９，８
９，８９を有している。これら当接ピン８９，８９，８
９は、上記ＬＣＤパネル１０１の直交する二側縁部に当
接することによって、このＬＣＤパネル１０１の二次元
方向についての位置決めを行えるようになされている。

【００２６】また、この測定ステージ部５には、プラン
ジャ９２が取り付けられている。このプランジャ９２の
駆動軸９３には、連結アーム９４を介して、押圧支持ブ
ロック９１が取り付けられている。この押圧支持ブロッ
ク９１は、略々Ｌ字状の形状を有している。この押圧支
持ブロック９１には、Ｌ字の内側縁部に、一対の押圧ピ
ン９０，９０が取り付けられている。この押圧支持ブロ
ック９１は、内側側を、上記位置決めブロック８８の内
側側に対向させて、上記測定ステージ部５上に位置され
ている。この測定ステージ部５においては、上記プラン
ジャ９２が作動すると、上記押圧支持ブロック９１は、
図１４及至図１６中矢印Ｇで示すように、上記位置決め
ブロック８８に接近する方向に移動操作される。このと
き、上記位置決めブロック８８の内側側となる位置に上
記ＬＣＤパネル１０１が載置されていると、このＬＣＤ
パネル１０１は、上記各押圧ピン９０，９０により直交
する二側縁部を押圧され、他の直交する二側縁部を上記
各当接ピン８９，８９，８９に当接させて、位置決めさ
れて保持される。

【００２７】上記測定ステージ部５には、上記位置決め
ブロック８８及び上記押圧支持ブロック９１により位置
決めされて保持されたＬＣＤパネル１０１に対応する透
孔が開設されている。すなわち、この測定ステージ部５
上においては、上記ＬＣＤパネル１０１は、下面部を該
測定ステージ部５の下方側に臨ませている。

【００２８】また、上記測定ステージ部５には、図８及
び図１３に示すように、コンタクタ（接触子）８５が移
動操作可能に取り付けられている。このコンタクタ８５
は、上記ＬＣＤパネル１０１の電極部１０３の各電極に
対応する複数の接触ピン８６を有しており、上記測定ス
テージ部５に取り付けられたプランジャ８７の駆動軸に
支持されている。このコンタクタ８５は、上記プランジ
ャ８７が作動することにより、上記測定ステージ部５の
上面部に接近する方向に移動操作される。このコンタク
タ８５は、上記ＬＣＤパネル１０１が上記位置決めブロ
ック８８により位置決めされているときに、上記測定ス
テージ部５の上面部に接近する方向に移動操作される
と、上記各接触ピン８６を、上記電極部１０３の各電極
に対応させて接触させる。上記各接触ピン８６は、後述
する上記制御部２９内の制御コンピュータに接続されて
いる。

【００２９】そして、上記測定ステージ部５には、測定
温度制御手段となる測定部用ヒータ６０及び温度センサ
６１が取り付けられている。上記測定部用ヒータ６０
は、第４の温度制御回路３５によって制御されて作動す
る。この第４の温度制御回路３５は、上記測定ステージ
部５の温度を検出する上記温度センサ６１による検出結
果に基づいて、該測定ステージ部５の温度が所定の設定
温度となるように、上記測定部用ヒータ６０を制御す
る。

【００３０】そして、上記測定ステージ部５には、第２
のエアブロウ装置４９が、第３のエアブロウノズル５４
を介して接続されている。上記第２のエアブロウ装置４
９は、空気を送出する送風機構と、この送風機構により
送出される空気を加熱するヒータ４７と、該空気の温度
を検出する温度センサ４６とを有している。上記送風機
構における空気送出量（流量）は、第２の流量コントロ
ーラ４５により制御されている。そして、上記ヒータ４
７は、第５の温度制御回路３８により制御されている。
この第５の温度制御回路３８は、上記温度センサ４６よ
り検出した温度を示す信号を供給されて、上記ヒータ４
７を制御している。この第２のエアブロウ装置４９より
送出された加熱された空気は、上記第３のエアブロウノ
ズル５４を介して、上記測定ステージ部５の上面側に送
られる。

【００３１】なお、上記第２のエアブロウ装置４９の送
出する空気は、上記除電回路５０により電圧を供給され
る除電端子５２に接して帯電されられた後、上記測定ス
テージ部５上に送られる。上記測定ステージ部５上に送
られる空気は、このように帯電させられることにより、
上記ＬＣＤパネル１０１の有する静電気を相殺して、該
ＬＣＤパネル１０１への塵挨の付着を少なくする。

【００３２】上記測定ステージ部５は、図８に示すよう
に、上記画像測定手段の側、すなわち、上記本体部１の
内方側方向に移動操作されると、上記ＬＣＤパネル１０
１を測定室部７７内に収納させる。この測定室部７７
は、恒温（高温）室となされている。この測定室部７７
の天板部分は、上部偏光フィルタ７８により構成されて
いる。そして、この測定室部７７の底板部分は、上記測
定ステージ部５が構成することとなる。この測定室部７
７の下方側には、光源６が配設されている。この光源よ
り発した光束は、下部偏光フィルタ７６を透過して直線
偏光となされた後、上記測定ステージ部５の透孔を介し
て、上記測定室部７７内に入射する。そして、上記測定
室部７７に入射した光束は、上記ＬＣＤパネル１０１を
透過し、上記上部偏光フィルタ７８を透過して、この測
定室部７７の上方側に出射する。

【００３３】そして、上記本体部１には、上記画像測定
手段を構成するＣＣＤカメラ３及びフォトセンサ２が内
蔵されている。上記ＣＣＤカメラ３は、上記本体部１内
に配設された３軸移動操作装置（Ｘ−Ｙ−Ｚステージ）
４により支持されて、上記測定室部７７の上方側に位置
し、該測定室部７７より上方側に射出された光束を撮像
するようになされている。上記３軸移動操作装置４は、
上記ＣＣＤカメラ３を、図８中に矢印Ｘ、矢印Ｙ及び矢
印Ｚで示すように、このＣＣＤカメラ３の撮影レンズの
光軸に直交する２方向及び該光軸方向に移動操作可能と
なして支持している。上記フォトセンサ２は、上記ＣＣ
Ｄカメラ３の上方側に位置して、上記本体部１内に配設
された２軸移動操作機構（Ｘ−Ｙステージ）７８に支持
されている。

【００３４】なお、上記本体部１の外筐体８３は、図８
に略々密閉された構成を有しており、内部の空気の換気
のためのエアダクト８１，８２を有している。

【００３５】そして、上記本体部１は、搬送機構である
ハンドラ部８を有している。このハンドラ部８は、一の
ＬＣＤパネル１０１を保持して搬送することができる機
構であって、上記本体部１の外筐体８３上に配設されて
いる。このハンドラ部８は、上記外筐体８３上に設けら
れたＬＣＤパネル供給トレイ部１０上に載置された複数
のＬＣＤパネル１０１のうちの一を保持して、上記予熱
ステージ部３４に搬送する。上記ＬＣＤパネル供給トレ
イ部１０上には、図１１に示すように、複数のＬＣＤパ
ネル１０１が載置された搬送トレイ１０４が、複数枚、
積層状に載置されるようになされている。

【００３６】上記ハンドラ部８は、さらに、図１３に示
すように、上記予熱ステージ部３４上のＬＣＤパネル１
０１を、上記中間位置決め部３３へ搬送する。上記ＬＣ
Ｄパネル１０１の上記中間位置決め部３３への搬送は、
上記シャッタ板６９を開放して上記開口部６８を介して
行われる。また、このハンドラ部８は、上記ＬＣＤはね
る１０１の上記中間位置決め部３３より上記測定ステー
ジ部５への搬送、及び、測定が終了したＬＣＤパネル１
０１の該測定ステージ部５よりの搬出を行う。このハン
ドラ部８は、測定が終了したＬＣＤパネル１０１につい
ては、測定の結果に応じて、図１２に示すように、上記
外筐体８３上に設けられた第１の良品トレイ部１１、第
２の良品トレイ部１２、または、不良品トレイ部１３に
搬送する。これら各トレイ部１１，１２，１３には、複
数の上記搬送トレイ１０４が積層されて載置される。

【００３７】そして、上記本体部１を構成する各機構
は、上記制御部２９によって制御されるて動作する。こ
の制御部２９は、この制御部２９内の各回路及び上記本
体部１内の各機構を制御する制御コンピュータ２２を有
している。この制御コンピュータ２２には、画像処理Ｃ
ＰＵ２３、画像処理ボード２４及びＣＲＴモニタ２８が
接続されている。上記制御コンピュータ２２は、制御ラ
イン（ＧＰＩＢ）によりハンドラ部コントローラ１８及
び画像測定（センサユニット）コントローラ１４が接続
されており、該ハンドラ部コントローラ１８を介して上
記ハンドラ部８を制御し、該画像測定コントローラ１４
を介して上記３軸移動操作装置４及び上記２軸移動操作
装置７８を制御する。また、この制御コンピュータ２２
には、上記本体部１に設けられた操作部３０、表示装置
３１，３２が接続されている。そして、この制御コンピ
ュータ２２は、上述した各温度制御回路３７，３６，４
１，３５，３８を制御して、測定温度の設定を行う。そ
して、この制御コンピュータ２２は、測定の結果、進行
状況や測定条件を上記ＣＲＴモニタ２８により表示す
る。また、この制御部２９は、駆動回路１５及び上記コ
ンタクタ８５を介して上記ＬＣＤパネル１０１に所定の
画像表示を行わせるシグナルジェネレータ（ＳＧ）２７
を有している。このシグナルジェネレータ２７は、上記
制御コンピュータ２２に制御される。

【００３８】また、上記画像処理ボード２４には、カメ
ラコントロール回路２１を介して、上記ＣＣＤカメラ３
が接続されている。そして、上記フォトセンサ２は、上
記制御部２９内のキドアナライズ回路１９を介して、上
記制御ラインに接続されている。

【００３９】なお、この表示デバイス検査装置は、ＩＣ
テスト回路１７，２６を有している。このＩＣテスト回
路１７，２６は、上記制御コンピュータ２２に制御され
て、上記ＬＣＤパネル１０１のＩＣ（集積回路）として
の電気適特性を測定する回路である。このＩＣテスト回
路１７は、切り換えスイッチ１６を介して、上記駆動回
路１５と択一的に上記コンタクタ８５に接続される。

【００４０】上述のように構成された本発明に係る表示
デバイス検査装置においては、この表示デバイス検査装
置により特性の検査をなされるＬＣＤパネル１０１は、
上記搬送トレイ１０４に載置された状態で、上記供給ト
レイ部１０上に載置される。このＬＣＤパネル１０１
は、上記ハンドラ部８により、上記予熱ステージ部３４
上に搬送される。この予熱ステージ部３４上には、４枚
のＬＣＤパネル１０１が搬送される。この予熱ステージ
部３４上に載置されたＬＣＤパネル１０１は、上記第１
の予熱用ヒータ５６によって、所定の設定温度に加熱さ
れる。この設定温度とは、上記ＬＣＤパネル１０１の特
性を測定するときのこのＬＣＤパネル１０１の温度であ
って、該ＬＣＤパネル１０１の使用状態に適合させた温
度、例えば、常温及至６０, Ｃ程度の温度が設定され
る。この設定温度は、上記操作部３０やその他の入力装
置を介して上記制御コンピュータ２２に対して入力さ
れ、この制御コンピュータ２２の上記各温度制御回路に
対する制御の基準値となる。

【００４１】上記予熱ステージ部３４上に載置され加熱
されたＬＣＤパネル１０１のうちの１枚は、上記ハンド
ラ部８により、上記中間位置決め部３３に搬送される。
この中間位置決め部３４においては、上記ＬＣＤパネル
１０１の温度は、上記第２の予熱用ヒータ５８と上記第
１のエアブロウ装置４８とにより、上記予熱ステージ部
３４上におけるより正確に、上記設定温度に制御され
る。この中間位置決め部３３において温度制御されたＬ
ＣＤパネル１０１は、上記ハンドラ部８により、該中間
位置決め部３３側に移動操作されている上記測定ステー
ジ部５上に搬送される。

【００４２】上記ＬＣＤパネル１０１が載置された測定
ステージ部５は、上記測定室部７７側に移動操作され
る。この測定ステージ部５上においては、上記ＬＣＤパ
ネル１０１は、上記位置決めブロック８８及び上記押圧
支持ブロック９１により位置決めされて保持される。こ
の測定ステージ部５上においては、上記ＬＣＤパネル１
０１の温度は、上記測定部用ヒータ６０及び上記第２の
エアブロウ装置４９により、上記設定温度に維持され
る。

【００４３】上記測定室部７７においては、上記ＬＣＤ
パネル１０１は、まず、上記ＩＣテスト回路１７，２６
により、電気的特性の検査をなされる。このときに不良
品であることが判明した場合には、上記ＬＣＤパネル１
０１は、上記ハンドラ部８により、上記不良品トレイ部
１３に搬送される。電気的特性の検査を良品として通過
したＬＣＤパネル１０１は、次いで、光学的特性の検査
をなされる。すなわち、上記ＬＣＤパネル１０１は、上
記シグナルジェネレータ２７及び上記駆動回路１５によ
って、いわゆる白駆動、または、黒駆動をなされる。そ
して、上記ＣＣＤカメラ３は、上記３軸移動操作装置４
により上記ＬＣＤパネル１０１の直上に位置され、上記
画像表示部１０２を撮像する。このＣＣＤカメラ３の撮
像により得られた映像信号は、上記カメラコントロール
回路２１を介して、上記画像処理ボード２４に送られ
る。上記画像処理ＣＰＵ２３は、上記画像処理ボード２
４に送られた映像信号に基づき、上記ＬＣＤパネル１０
１における欠陥、すなわち、白駆動時の黒点、または、
黒駆動時の白点の有無及び程度を判別する。また、上記
画像処理ＣＰＵ２３は、上記映像信号に基づいて、コン
トラスト、色再現性等のＬＣＤパネル１０１についての
種々の光学的特性を判別することができる。

【００４４】このような上記測定室部７７におけるＬＣ
Ｄパネル１０１の特性についての測定が行われていると
き、上記ハンドラ部８は、上記供給トレイ部１０より、
新たなＬＣＤパネル１０１を、上記予熱ステージ部３４
上に搬送する。

【００４５】上記測定室部７７における特性の測定を終
了されたＬＣＤパネル１０１は、上記測定ステージ部５
が上記中間位置決め部５側に移動操作された後、上記ハ
ンドラ部により、この測定ステージ部５より取り出され
る。上記測定ステージ部５より取り出されたＬＣＤパネ
ル１０１は、上記測定室部７７における測定の結果に応
じて、上記ハンドラ部８により、上記第１または第２の
良品トレイ部１１，１２、または、上記不良品トレイ部
１３上に載置された搬送トレイ１０４上に搬送される。
このようにして、一のＬＣＤパネル１０１についての検
査が完了する。なお、上記第１の良品トレイ部１１に搬
送されるＬＣＤパネル１０１と上記第２の良品トレイ部
１２に搬送されるＬＣＤパネル１０１とは、ともに良品
であるが、特性のランクにより分類されている。

【００４６】そして、上記ハンドラ部８は、上記予熱ス
テージ部３４上に載置されている複数のＬＣＤパネル１
０１のうちより、この予熱ステージ部３４上に載置され
ていた時間の長いものから順に、一を上記中間位置決め
部３３に搬送し、次の検査を開始する。この表示デバイ
ス検査装置においては、一のＬＣＤパネル１０１につい
ての測定が行われているときに、他のＬＣＤパネル１０
１の温度を上記設定温度となす温度制御が充分になされ
ているため、該他のＬＣＤパネル１０１の測定を開始す
るときには、該他のＬＣＤパネル１０１の温度が既に上
記設定温度となっており、迅速に測定を開始することが
できる。

【００４７】この表示デバイス検査装置においては、上
記設定温度としては、上記操作部３０またはその他の入
力装置を用いて、上記制御コンピュータ２２に対して、
種々の温度を入力することができる。また、上記設定温
度は、測定の途中において変化させることも可能であ
る。

【００４８】なお、本発明に係る表示デバイス検査装置
において、上記第１のエアブロウ装置４８は、上記第２
のエアブロウノズル５５を介して、上記中間位置決め部
３３におけるＬＣＤパネル１０１の画像表示部１０２上
の塵挨を風圧によって吹き飛ばして除去するものとして
もよい。

【００４９】

【発明の効果】上述のように、本発明に係る表示デバイ
ス検査装置においては、予熱部にある被検査物である表
示デバイスは、予熱温度制御手段により温度を制御さ
れ、その後、測定部に搬入されて測定温度制御手段によ
り温度を制御されつつ画像測定手段により表示する画像
を測定される。したがって、この表示デバイス検査装置
においては、上記表示デバイスの画像の測定をするとき
には、該表示デバイスの温度を正確に所定の設定温度と
しておくことができる。

【００５０】そして、上述の表示デバイス検査装置にお
いて、上記予熱部を、予熱温度制御手段により温度制御
され表示デバイスが載置される台部と、この台部上の表
示デバイスに上記予熱温度制御手段により温度制御され
た空気を吹き付けるエアブロウ手段と、上記台部及びこ
の台部上の表示デバイスを覆うケース部とを有して構成
されたものとした場合には、この予熱部は、上記表示デ
バイスの温度を迅速に所定の設定温度にすることができ
るとともに、この温度を良好に維持することができる。

【００５１】さらに、上述の各表示デバイス検査装置に
おいて、上記予熱温度制御手段は、予熱部にある複数の
表示デバイスの温度を制御し、上記測定温度制御手段
は、測定部にある１個の表示デバイスの温度を制御する
こととした場合には、予熱温度制御手段による温度制御
に要する時間が画像の測定に要する時間よりも長い場合
であっても、該画像の測定毎の間隔時間（ロスタイム）
が生じさせることなく、連続的な画像の測定を行うこと
ができる。

【００５２】すなわち、本発明は、被検査物である表示
デバイスの温度を迅速、かつ、正確に制御することがで
き、この表示デバイスの特性をこの表示デバイスの使用
条件に適合した検査条件にて容易に検査することが可能
となされた表示デバイス検査装置を提供することができ
るものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る表示デバイス検査装置の構成を示
すブロック図である。

【図２】上記表示デバイス検査装置における電装部分の
構成を示すブロック図である。

【図３】上記表示デバイス検査装置の本体部の外観の構
成を示す斜視図である。

【図４】上記表示デバイス検査装置の制御部の外観の構
成を示す斜視図である。

【図５】上記表示デバイス検査装置の予熱ステージ部の
構成を示す拡大平面図である。

【図６】上記表示デバイス検査装置の中間位置決め部の
構成を示す拡大平面図である。

【図７】上記中間位置決め部の構成を示す拡大縦断面図
である。

【図８】上記表示デバイス検査装置の画像測定部の構成
を示す側面縦断面図である。

【図９】上記画像測定部の構成を示す正面縦断面図であ
る。

【図１０】上記画像測定部の構成を示す横断面図であ
る。

【図１１】上記表示デバイス検査装置により検査される
表示デバイスの検査される前の状態を示す斜視図であ
る。

【図１２】上記表示デバイス検査装置により検査される
表示デバイスの検査された後の状態を示す斜視図であ
る。

【図１３】上記表示デバイス検査装置における予熱ステ
ージ部、中間位置決め部及び測定ステージ部の位置関係
を示す要部斜視図である。

【図１４】上記測定ステージ部の構成を示す平面図であ
る。

【図１５】上記測定ステージ部の要部の構成を示す拡大
平面図である。

【図１６】上記測定ステージ部の要部の構成を示す拡大
縦断面図である。

【符号の説明】

２・・・・・・・・・・・・フォトセンサ ３・・・・・・・・・・・・ＣＣＤカメラ ５・・・・・・・・・・・・測定ステージ部 ２３・・・・・・・・・・・・画像処理ＣＰＵ ３３・・・・・・・・・・・・中間位置決め部 ３４・・・・・・・・・・・・予熱ステージ部 ３５・・・・・・・・・・・・第４の温度制御回路 ３６・・・・・・・・・・・・第２の温度制御回路 ３７・・・・・・・・・・・・第１の温度制御回路 ３８・・・・・・・・・・・・第５の温度制御回路 ４１・・・・・・・・・・・・第３の温度制御回路 ４８・・・・・・・・・・・・第１のエアブロウ装置 ４９・・・・・・・・・・・・第２のエアブロウ装置 ５３・・・・・・・・・・・・第１のエアブロウノズル ５５・・・・・・・・・・・・第２のエアブロウノズル ６４・・・・・・・・・・・・台部 ６９・・・・・・・・・・・・シャッタ板 ７０・・・・・・・・・・・・ケース本体 ７１・・・・・・・・・・・・底板 １０１・・・・・・・・・・・・ＬＣＤパネル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−146923（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−95846（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−128181（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−279875（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−54176（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−153973（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−116648（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01M 11/00 G02F 1/13 101 G09G 3/18 G01R 31/26 - 31/28

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 予熱部と、 上記予熱部にある被検査物である表示デバイスの温度を
   制御する予熱温度制御手段と、 上記予熱温度制御手段により温度制御された表示デバイ
   スが搬入される測定部と、 上記測定部にある表示デバイスの温度を制御する測定温
   度制御手段と、 上記測定温度制御手段により温度制御された表示デバイ
   スが表示する画像を測定する画像測定手段とを備えてな
   る表示デバイス検査装置。
2. 【請求項２】 予熱部は、予熱温度制御手段により温度
   制御され表示デバイスが載置される台部と、この台部上
   の表示デバイスに上記予熱温度制御手段により温度制御
   された空気を吹き付けるエアブロウ手段と、上記台部及
   びこの台部上の表示デバイスを覆うケース部とを有して
   構成されてなる請求項１記載の表示デバイス検査装置。
3. 【請求項３】 予熱温度制御手段は、予熱部にある複数
   の表示デバイスの温度を制御し、 測定温度制御手段は、測定部にある１個の表示デバイス
   の温度を制御してなる請求項１または請求項２記載の表
   示デバイス検査装置。