TW201435489A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
感光性樹脂組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- TW201435489A TW201435489A TW102142583A TW102142583A TW201435489A TW 201435489 A TW201435489 A TW 201435489A TW 102142583 A TW102142583 A TW 102142583A TW 102142583 A TW102142583 A TW 102142583A TW 201435489 A TW201435489 A TW 201435489A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- meth
- acrylate
- acid
- solvent
- mass
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
- G03F7/033—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09B—ORGANIC DYES OR CLOSELY-RELATED COMPOUNDS FOR PRODUCING DYES, e.g. PIGMENTS; MORDANTS; LAKES
- C09B11/00—Diaryl- or thriarylmethane dyes
- C09B11/04—Diaryl- or thriarylmethane dyes derived from triarylmethanes, i.e. central C-atom is substituted by amino, cyano, alkyl
- C09B11/10—Amino derivatives of triarylmethanes
- C09B11/24—Phthaleins containing amino groups ; Phthalanes; Fluoranes; Phthalides; Rhodamine dyes; Phthaleins having heterocyclic aryl rings; Lactone or lactame forms of triarylmethane dyes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/22—Absorbing filters
- G02B5/223—Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/22—Absorbing filters
- G02B5/23—Photochromic filters
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
本發明提供一種感光性樹脂組成物,係含有黏合劑樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合起始劑(C)、體質顏料(D)及溶劑(E),其中,前述溶劑(E)係含有相對於前述溶劑(E)為70至99質量%之溶解度參數為8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑(E1),且含有相對於前述溶劑(E)為1至30質量%之溶解度參數為9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑(E2)。
Description
本發明有關感光性樹脂組成物。
在液晶顯示面板、致電發光面板、電漿顯示面板、電子紙等顯示裝置中所使用的彩色濾光片等之圖案(pattern),係使用感光性樹脂組成物而製造。具體上,係藉由在基板上塗布感光性樹脂組成物後,乾燥,將得到之乾燥膜選擇性地曝光後,顯像來形成圖案。
作為如此的感光性樹脂組成物者,例如在日本特開2011-221310號公報中,係揭示含有黏合劑(binder)樹脂、聚合性化合物、聚合起始劑、體質顏料及溶劑的感光性樹脂組成物,且揭示使用丙二醇單甲基醚乙酸酯作為前述溶劑的例子。
由前述以往的感光性樹脂組成物所得到之乾燥膜,其低黏性(tack)有不一定能夠滿足的情形,又,由前述以往的感光性樹脂組成物所得到之圖案,其之硬度有不一定能夠滿足的情形。
為了解決前述課題,本發明提供以下之[1]。
[1]一種感光性樹脂組成物,含有黏合劑樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合起始劑(C)、體質顏料(D)及溶劑(E),其中,前述溶劑(E),係含有相對於前述溶劑(E)為70至99質量%之溶解度參數為8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑(E1),且含有相對於前述溶劑(E)為1至30質量%之溶解度參數為9.2至11.0(cal/cm3)1/2之溶劑(E2)。
又,本發明提供以下之[2]至[8]。
[2]如前述[1]所述之感光性樹脂組成物,其中,前述聚合起始劑(C)是肟化合物。
[3]如前述[1]或[2]所述之感光性樹脂組成物,其中,前述黏合劑樹脂(A)的酸價是50至180mg-KOH/g。
[4]如前述[1]至[3]中任一項所述之感光性樹脂組成物,其中,前述黏合劑樹脂(A)的含量,相對於前述黏合劑樹脂(A)及前述聚合性化合物(B)的合計量100質量份,係30至80質量份。
[5]如前述[1]至[4]中任一項所述之感光性樹脂組成物,其中,前述體質顏料(D)為氧化矽。
[6]如前述[1]至[5]中任一項所述之感光性樹脂組成物,其更含有著色劑。
[7]一種圖案,係藉由如前述[1]至[6]中任一項所述之感光性樹脂組成物所形成者。
[8]一種顯示裝置,含有如前述[7]所述之圖案。
若依本發明,可以提供一種感光性樹脂組
成物,其賦與有可滿足之低黏性之乾燥膜,並且,賦與有可滿足之硬度之圖案。
本發明的感光性樹脂組成物,係含有黏合劑樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合起始劑(C)、體質顏料(D)及溶劑(E)。
黏合劑樹脂(A)較佳含有:在具有源自不飽和羧酸之結構單元的加成聚合物(a)(以下,有稱為「(a)」的情形)中,與有環氧基之不飽和化合物(b)(以下,有稱為「(b)」的情形)反應之黏合劑樹脂(Aa)。
作為(a)者,例如,可以列舉,使不飽和羧酸(a1)(以下,有稱為「(a1)」的情形),與可與(a1)加成聚合的具有不飽和鍵之單體(a2)(以下,有稱為「(a2)」的情形),加成聚合而得到之加成聚合物。
作為(a1)者,例如可以列舉:(甲基)丙烯酸、巴豆酸、鄰-乙烯基苯甲酸、間-乙烯基苯甲酸、對-乙烯基苯甲酸等不飽和單羧酸類;馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸、3-乙烯基鄰苯二甲酸、4-乙烯基鄰苯二甲酸、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸、二甲基四氫鄰苯二甲酸、1,4-環己烯二羧酸等不飽和二羧酸類;甲基-5-降冰片烯-2,3-二羧酸、5-羧基雙環[2.2.1]庚-2-
烯、5,6-二羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯等含有羧基之雙環不飽和化合物類;琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯基氧基乙基]酯、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙烯醯基氧基乙基]酯等2元以上的多元羧酸不飽和單[(甲基)丙烯醯基氧基烷基]酯類;α-(羥基甲基)丙烯酸等在同一分子中含有羥基及羧基之不飽和化合物類等。
其中,從共聚合反應性之觀點或是鹼溶解性之觀點而言適合使用(甲基)丙烯酸。
因此,在本說明書中,「(甲基)丙烯酸」是表示選自丙烯酸及甲基丙烯酸所成群組中至少1種。「(甲基)丙烯醯基」及「(甲基)丙烯酸酯」等記載也有同樣的意思。
作為(a2)者,例如可以列舉:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸二級丁酯、(甲基)丙烯酸三級丁酯等(甲基)丙烯酸烷酯類;(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環己酯、(甲基)丙烯酸三環[5.2.1.02.6]癸-8-酯(在該技術領域,是以(甲基)丙烯酸二環戊酯當作慣用名)、(甲基)丙烯酸二環戊基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯等(甲基)丙烯酸環狀烷酯類;(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯等(甲基)丙烯
酸芳酯或芳烷酯類;馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、依康酸二乙酯等二羧酸二酯;(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯等羥基烷酯類;雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-(2’-羥基乙基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羥基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(羥基甲基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2’-羥基乙基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二甲氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二乙氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-三級丁氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-環己氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-雙(三級丁氧基羰基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-雙(環己氧基羰基)雙環[2.2.1]庚-2-烯等雙環不飽和化合物類;N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺、N-苯甲基馬來醯亞胺、3-馬來醯亞胺苯甲酸N-琥珀醯亞胺酯、4-馬來醯亞胺丁酸N-琥珀醯亞胺酯、6-馬來醯亞胺己酸N-琥珀醯亞胺酯、3-馬來醯亞胺丙酸N-琥珀醯亞胺酯、N-(9-吖啶基)馬來醯亞胺等二羰基醯亞胺衍生物類;苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯、對-甲基苯
乙烯、乙烯基甲苯、對-甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯化乙烯、氯化亞乙烯、丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、乙酸乙烯酯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等。
(a2)是以具有選自三環癸烷骨架及三環癸烯骨架所成群組中之至少1種骨架,與乙烯性不飽和鍵之化合物(a2-1)(以下有稱為(a2-1)的情形)為佳。(a2)是(a2-1)的情形,可以抑制顯像所致之圖案之膜減少。
在此,本說明書中之「三環癸烷骨架」及「三環癸烯骨架」分別是指以下之結構(各個鍵結鍵是在任意點)。
作為(a2-1)者,可以列舉:(甲基)丙烯酸二環戊酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環戊基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯基氧基乙酯。此等可以分別單獨或是組合2種以上而使用。
作為(b)者,例如可以列舉:具有鏈式烯烴經環氧化的結構與乙烯性不飽和鍵之單體(b-1)(以下有稱為「(b-1)」的情形)、具有環烯烴經環氧化的結構與乙烯性不飽和鍵之單體(b-2)(以下有稱為「(b-2)」的情形)。作為(b)者,從反應性的觀點而言是以(b-1)為佳。
作為(b-1)者,可以列舉:(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基縮水甘油酯、縮水甘油基乙烯基醚、鄰-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、間-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、對-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、α-甲基-鄰-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、α-甲基-間-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、α-甲基-對-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、2,3-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,4-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,5-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,6-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,4-參(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,5-參(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,6-參(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、3,4,5-參(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,4,6-參(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、日本特開平7-248625號公報中所記載的化合物等。
作為(b-2)者,可以列舉:乙烯基環己烯單氧化物、1,2-環氧基-4-乙烯基環己烷(例如,Celloxide2000;Daicel(股)公司製)、丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯(例如,Cyclomer-A400;Daicel(股)公司製)、甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯(例如,Cyclomer-M100;Daicel(股)公司製)、式(I)所示化合物、式(II)所示化合物等。
X1及X2互相獨立表示單鍵、-R3-、*-R3-O-、*-R3-S-、*-R3-NH-。
R3表示碳數1至6的烷二基。
*表示與O的鍵結鍵]。
黏合劑樹脂(Aa)可經過二階段步驟而製造。此情形,例如,可參考在文獻「高分子合成的實驗法」(大津隆行著發行所;化學同人(股)第1版第1刷1972年3月1日發行)中記載的方法,及在日本特開2001-89533號公報中記載的方法等而製造。
黏合劑樹脂(Aa)的製造中,首先,作為第一階段,得到(a1)與(a2)的加成聚合物(a)。具體上,例示如:將預定量的(a1)及(a2)、聚合起始劑與溶劑等放入反應容器中,藉由氮氣取代氧氣,於脫氧的環境中,攪拌、加熱、保溫的方法。在此使用的聚合起始劑與溶劑等,並無特別限定,可以使用該領域技術通常使用者中的任何一種。作為聚合起始劑者,例如,可以列舉:偶氮化合物(2,2’-偶氮雙異丁腈、2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)等)或有機過氧化物(苯甲醯過氧化物等),作為溶劑者,只要可以溶解各單體者即可,可以使用後述溶劑等作為著色感光性樹脂組成物的溶劑。
又,得到之加成聚合物,可以直接使用反應後的溶液,也可以使用經濃縮或是稀釋的溶液,也可以使用以再沉澱等方法作成固體(粉體)而取出者。
源自(a1)及(a2)的結構單元之比率,相對於構成加成聚合物(a)之全結構單元之合計莫耳數,以在下述範圍為佳。
源自(a1)的結構單元:5至50莫耳%,更佳的是10至45莫耳%
源自(a2)的結構單元:50至95莫耳%,更佳的是55至90莫耳%
其次,作為第2階段者,將得到之加成聚合物所具有的源自(a1)之結構單元中之羧基的一部分,與(b)反應。因為反應性高,未反應的(b)不易殘留,故作為(b)者是以(b-1)為佳。
具體上,持續上述,將燒瓶內之環境氣體的氮氣以空氣取代,將(b)設成相對於(a1)的莫耳數為5至80莫耳%,將反應觸媒(例如參(二甲基胺基甲基)酚等)設成相對於(a1)、(b)及(a2)的合計量為0.001至5質量%,並且將聚合禁止劑(例如,氫醌等)設成相對於(a1)、(b)及(a2)的合計量為0.001至5質量%,置入燒瓶內,通常,在60至130℃,反應1至10小時,可以得到黏合劑樹脂(Aa)。又,與聚合條件同樣,可以考慮製造設備、由聚合產生的發熱量等,適當調整置入方法及反應溫度。
又,此時,(b)的莫耳數,相對於(a1)的莫耳數,是以設成10至75莫耳%為佳,更佳是15至70莫耳%。藉由將(b)的莫耳數設成在此範圍內,有保存安定性、耐溶劑性及耐熱性的平衡性變良好之傾向。
作為黏合劑樹脂(Aa)者,可以列舉:(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應的樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸環己酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/苯乙烯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸環己酯共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、巴豆酸/苯乙烯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、巴豆酸/巴豆酸甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、巴豆酸/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂;馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸環己酯共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、馬來酸/苯乙烯的共聚合物與(甲基)丙
烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、馬來酸/馬來酸甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、馬來酸/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂;(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸環己酯共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/苯乙烯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂;(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸環己酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/苯乙烯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/N-環己基馬來醯亞
胺的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂;巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸環己酯共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、巴豆酸/苯乙烯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、巴豆酸/巴豆酸甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、巴豆酸/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂;馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸環己酯共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、馬來酸/苯乙烯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、馬來酸/馬來酸甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、馬來酸/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂;(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹
脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸環己酯共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/苯乙烯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂;再者,作為黏合劑樹脂(Aa)者,係以在和(a1)與(a2-1)與(a2-1)以外的(a2)共聚合而得到之加成聚合物中,與(b)反應而得之樹脂為更佳。黏合劑樹脂(Aa)藉由上述之結構,而所得到之圖案有與基板的密著性及耐溶劑性優良之傾向。
在加成聚合物(a)為由(a1)與(a2-1)與(a2-1)以外之(a2)所成的情形,源自(a2-1)及(a2-1)以外之(a2)的結構單元比率(源自(a2-1)之結構單元:源自(a2-1)以外之(a2)之結構單元)是以10:90至60:40為佳,以10:90至40:60為較佳,以10:90至30:70為更佳。
在將(a1)與(a2-1)與(a2-1)以外之(a2)共聚合而得到之加成聚合物中,與(b)反應而得到之樹脂者,可以列舉:(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯
酸苯甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂;巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/巴豆酸甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂;馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯的共聚合物與(甲基)丙烯
酸縮水甘油酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/馬來酸甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂;(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應之樹脂;(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環
己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂;巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/巴豆酸甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂;馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/馬來酸甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、馬來酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂;(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/
(甲基)丙烯酸苯甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂、(甲基)丙烯酸/馬來酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基馬來醯亞胺的共聚合物與甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯反應之樹脂;此等黏合劑樹脂(A),可以分別單獨使用,也可以組合2種以上而使用。
黏合劑樹脂(A)的聚苯乙烯換算之重量平均分子量(Mw),較佳是8×103至100×103,更佳是10×103至50×103。黏合劑樹脂(A)的重量平均分子量(Mw),在前述的範圍內時,感光性樹脂組成物的塗布性及乾燥膜之低黏性有變更良好的傾向,且在顯像時不易發生膜減少,再者,有在顯像時非畫素部分的移除性良好之傾向。
黏合劑樹脂(A)的酸價,較佳是30至200mg-KOH/g,更佳是40至190mg-KOH/g,再更佳是50至180mg-KOH/g。酸價是測定作為用以中和1g黏合劑樹脂(A)而必需的氫氧化鉀量(mg)之值,可使用氫氧化鉀水溶液藉由滴定而求得。
黏合劑樹脂(A),雖是以只由前述之黏合劑樹脂(Aa)所構成者為佳,但也可以含有其他樹脂。作為如此之樹脂者,可以列舉:環氧樹脂、丙烯酸樹脂、胺基甲酸乙酯(urethane)樹脂、聚酯樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚烯烴樹脂、酚醛清漆樹脂、聚胺樹脂等。
在黏合劑樹脂(A)含有黏合劑樹脂(Aa)以外的樹脂之情形,黏合劑樹脂(Aa)的含量,相對於黏合劑樹脂(A),是以20至99質量%為佳,以50至99質量%為更佳。
聚合性化合物(B),只要為可藉由因光或是熱的作用而由聚合起始劑(C)產生之活性自由基、酸等開始聚合之化合物即可,無特別限定者。作為聚合性化合物(B)者,可以列舉具有聚合性的碳-碳不飽和鍵之化合物等,較佳是使用單官能單體、2官能單體、3官能以上的多官能單體。又,作為聚合性化合物(B)者,是以使用不具酸性基之化合物為佳。
作為單官能單體者,可以列舉:壬基苯基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、2-乙基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、N-乙烯基吡咯啶酮等。
作為2官能單體者,可以列舉:1,6-己烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A的雙(丙烯醯氧基乙基)醚、3-甲基戊烷二醇二(甲基)丙烯酸
酯、三環癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯等。
作為3官能以上的多官能單體者,可以列舉:三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、新戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、新戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二新戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、新戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、二新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、大阪有機化學工業(股)製的V#1000、V#802、STAR-501,及共榮社化學(股)製的UA-306H、UA-306T、UA-306I,第一工業製藥(股)製的New Frontier R-1150等胺基甲酸乙酯丙烯酸酯等。其中,以使用2官能單體、3官能以上的多官能單體為佳。
又,作為聚合性化合物(B)者,也可以使用下述的聚合性化合物。
此等聚合性化合物(B),可以分別單獨使用,也可以組合2種以上來使用。
聚合性化合物(B)的含量,相對於感光性樹脂組成物的固形分,以1至50質量%為佳,以5至30質量%為更佳。又,黏合劑樹脂(A)的含量,相對於黏合劑性樹脂(A)及聚合性化合物(B)的合計量100質量份,以30至80質量份為佳。
在此,固形分是指除去在感光性樹脂組成物中所含有的溶劑之總成分。
黏合劑樹脂(A)的含量在前述範圍時,由於乾燥膜的黏性更被抑制,且有得到無色不均之彩色濾光片的傾向故而為佳。
聚合起始劑(C),係用以開始聚合聚合性化合物(B)之產生活性自由基、酸等之化合物,且可為藉由光的作用而產生活性自由基、酸等的光聚合起始劑,也可為藉由熱的作用而產生活性自由基、酸等的熱聚合起始劑,但以光聚合起始劑為佳,以藉由光的作用而產生活性自由基之光自由基聚合起始劑為更佳。
聚合起始劑(C),係以肟化合物為佳。藉由使用此種聚合起始劑,感光性樹脂組成物變高感度,又使
用此等形成的膜在解像度及耐溶劑性優良之圖案良好。再者,藉由併用聚合起始助劑(C-1),得到之感光性樹脂組成物變更高感度,使用此等形成彩色濾光片之際的生產性提高,故佳。
作為肟化合物者,可以列舉:N-苯甲醯基氧基-1-(4-苯基硫基苯基)丁烷-1-酮-2-亞胺、N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺、N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(3,3-二甲基-2,4-二氧雜環戊基甲基氧基)苯甲醯基}-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺等。也可以使用Irgacure(註冊商標)OXE-01、OXE-02(以上,日本BASF(股)製)、N-1919(ADEKA(股)製)等市售品。其中是以N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(下式)為佳。
又,作為肟化合物以外的聚合起始劑者,可以列舉:聯咪唑化合物、苯烷基酮(alkylphenone)化合物、三化合物、醯基膦氧化合物等。
作為聯咪唑化合物者,可以列舉:2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑、2,2’-雙(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑(例如,參考日本特開平6-75372號公報、日本特開平6-75373號公報等)、2,2’-雙(2-氯苯
基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧基苯基)聯咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(二烷氧基苯基)聯咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)聯咪唑(例如,參照日本特公昭48-38403號公報、日本特開昭62-174204號公報等)、4,4’,5,5’-位的苯基為由烷氧羰基所取代的咪唑化合物(例如,參考日本特開平7-10913號公報等)等。較佳可以列舉:2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑、2,2’-雙(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑、2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑。
作為苯烷基酮化合物者,可以列舉:二乙氧基苯乙酮、2-甲基-2-(N-嗎啉基)-1-(4-甲基硫基苯基)丙烷-1-酮、2-二甲基胺基-1-(4-(N-嗎啉基)苯基)-2-苯甲基丁烷-1-酮、2-二甲基胺基-1-(4-(N-嗎啉基)苯基)-2-(4-甲基苯基甲基)丁烷-1-酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苯甲基二甲基縮醛、2-羥基-2-甲基-1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]丙烷-1-酮、1-羥基環己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-(4-異丙烯基苯基)丙烷-1-酮的寡聚物等,較佳是2-甲基-2-(N-嗎啉基)-1-(4-甲基硫基苯基)丙烷-1-酮、2-二甲基胺基-1-(4-(N-嗎啉基)苯基)-2-苯甲基丁烷-1-酮等。也可以使用Irgacure(註冊商標)369、907(以上,日本BASF(股)製)等市售品。
作為三化合物者,可以列舉:2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-
(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基胺基-2-甲基苯基)乙烯基]-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1,3,5-三等。
作為醯基膦氧化物化合物者,可以列舉2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基膦氧化物等。也可以使用Irgacure(註冊商標)819(日本BASF(股)製)等市售品。
又,作為肟化合物、聯咪唑化合物、苯烷基酮化合物、三化合物及醯基膦氧化物以外的聚合起始劑(C)者,可以列舉:苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚、苯偶姻異丁基醚等苯偶姻化合物;二苯甲酮、鄰-苯甲醯基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲醯基-4’-甲基二苯基硫化物、3,3’,4,4’-四(三級丁基過氧羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等二苯甲酮化合物;9,10-菲醌、2-乙基蒽醌、樟腦醌等醌化合物;10-丁基-2-氯吖啶酮、二苯甲醯、苯基乙醛酸甲酯、二茂鈦化合物等。
此等聚合起始劑(C),可以分別單獨使用,也可以組合2種以上使用。
聚合起始劑(C)的含量,相對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)的合計量100質量份,較佳是0.1至80質量
份,更佳是1至60質量份。聚合起始劑的合計量在此範圍內時,可以高感度地形成圖案,圖案的耐藥品性、機械強度、表面平滑性有變良好之傾向。
聚合起始劑(C)是以與聚合起始助劑(C-1)(尤其是胺類)組合而使用為佳。聚合起始助劑(C-1)是用以促進藉由聚合起始劑(C)而開始聚合的聚合性化合物的聚合而使用的化合物,或是增感劑。
作為聚合起始助劑(C-1)者,可以列舉:胺化合物、噻唑啉化合物、烷氧基蒽化合物、噻噸酮(thioxanthone)化合物、羧酸化合物、硫醇化合物等。
作為胺化合物者,可以列舉:三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、4-二甲基胺基苯甲酸甲酯、4-二甲基胺基苯甲酸乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸異戊酯、苯甲酸2-二甲基胺基乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸2-乙基己酯、N,N-二甲基對甲苯胺、4,4’-雙(二甲基胺)二苯甲酮(通稱米希勒酮)、4,4’-雙(二乙基胺)二苯甲酮、4,4’-雙(乙基甲基胺基)二苯甲酮等,其中以4,4’-雙(二乙基胺)二苯甲酮為佳。也可以使用EAB-F(保土谷化學工業(股)製)等市售品。
作為噻唑啉化合物者,可以列舉式(III-1)至式(III-3)所示化合物等。
作為烷氧基蒽化合物者,可以列舉:9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽、9,10-二丁氧基蒽、2-乙基-9,10-二丁氧基蒽等。
作為噻噸酮化合物者,可以列舉:2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2,4-二氯噻噸酮、1-氯-4-丙氧基噻噸酮等。
作為羧酸化合物者,可以列舉:苯基硫基乙酸、甲基苯基硫基乙酸、乙基苯基硫基乙酸、甲基乙基苯基硫基乙酸、二甲基苯基硫基乙酸、甲氧基苯基硫基乙酸、二甲氧基苯基硫基乙酸、氯苯基硫基乙酸、二氯苯基硫基乙酸、N-苯基甘胺酸、苯氧基乙酸、萘基硫乙酸、N-萘基甘胺酸、萘氧基乙酸等。
作為硫醇化合物者,可以列舉:2-硫基唑、2-硫基噻唑、2-硫基苯并咪唑、2-硫基苯并噻唑、2-硫基苯并唑、2-硫基菸鹼酸、2-硫基吡啶、2-硫基吡啶-3-
醇、2-硫基吡啶、2-硫基吡啶-3-醇、2-硫基吡啶-N-氧化物、4-胺基-6-羥基-2-硫基嘧啶、4-胺基-6-羥基-2-硫基嘧啶、4-胺基-2-硫基嘧啶、6-胺基-5-亞硝基-2-硫尿嘧啶、4,5-二胺基-6-羥基-2-硫基嘧啶、4,6-二胺基-2-硫基嘧啶、2,4-二胺基-6-硫基嘧啶、4,6-二羥基-2-硫基嘧啶、4,6-二甲基-2-硫基嘧啶、4-羥基-2-硫基-6-甲基嘧啶、4-羥基-2-硫基-6-丙基嘧啶、2-硫基-4-甲基嘧啶、2-硫基嘧啶、2-硫尿嘧啶、3,4,5,6-四氫嘧啶-2-硫醇、4,5-二苯基咪唑-2-硫醇、2-硫基咪唑、2-硫基-1-甲基咪唑、4-胺基-3-聯胺基-5-硫基-1,2,4-三唑、3-胺基-5-硫基-1,2,4-三唑、2-甲基-4H-1,2,4-三唑-3-硫醇、4-甲基-4H-1,2,4-三唑-3-硫醇、3-硫基-1H-1,2,4-三唑-3-硫醇、2-胺基-5-硫基-1,3,4-噻二唑、5-胺基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇、2,5-二硫基-1,3,4-噻二唑、(呋喃-2-基)甲烷硫醇、2-硫基-5-噻唑酮、2-硫基噻唑啉、2-硫基-4(3H)-喹唑啉酮、1-苯基-1H-四唑-5-硫醇、2-喹啉硫醇、2-硫基-5-甲基苯并咪唑、2-硫基-5-硝基苯并咪唑、6-胺基-2-硫基苯并噻唑、5-氯-2-硫基苯并噻唑、6-乙氧基-2-硫基苯并噻唑、6-硝基-2-硫基苯并噻唑、2-硫基萘并咪唑、2-硫基萘并唑、3-硫基-1,2,4-三唑、4-胺基-6-硫基吡唑并[2,4-d]吡啶、2-胺基-6-嘌呤硫醇、6-硫基嘌呤、4-硫基-1H-吡唑并[2,4-d]嘧啶、己烷二硫醇、癸烷二硫醇、1,4-雙(甲基硫基)苯、丁二醇雙(3-硫基丙酸酯)、丁二醇雙(3-硫基乙酸酯)、乙二醇雙(3-硫基乙酸酯)、三羥甲基丙烷參(3-硫基乙酸酯)、丁二醇雙(3-硫基丙酸酯)、三羥甲基丙烷參(3-硫基丙酸酯)、三羥甲
基丙烷參(3-硫基乙酸酯)、新戊四醇肆(3-硫基丙酸酯)、新戊四醇肆(3-硫基乙酸酯)、參羥基乙基參(3-硫基丙酸酯)、新戊四醇肆(3-硫基丁酸酯)、1,4-雙(3-硫基丁基氧基)丁烷等。
在使用聚合起始助劑(C-1)的情形,其含量,相對於樹脂(A)及聚合性化合物(C)的合計量100質量份,較佳是0.01至50質量份,更佳是0.1至40質量份。又,相對於每1莫耳聚合起始劑(C),較佳是含有0.01至10莫耳,更佳是0.01至5莫耳。聚合起始助劑(C-1)的含量在此範圍內時,可以更高感度地形成圖案,有提高圖案的生產性之傾向。
體質顏料(D)雖無特別限定,但可以使用選自氧化矽、硫酸鋇、氧化鈦、氧化鋅、氧化鋁、氧化鎂及碳酸鈣所成群組中之至少一種。又,從透明性的觀點而言,體質顏料的平均粒徑是以在500nm以下為佳。其中,從可信度與乾燥膜的低黏性的觀點而言是以氧化矽為佳。
體質顏料(D)的含量,相對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)的合計量100質量份,較佳是0.1至80質量份,更佳是1至30質量份。體質顏料的含量在此範圍內時,有乾燥膜的低黏性及耐溶劑性變良好之傾向。
本發明的感光性樹脂組成物,是含有溶解度參數為8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑(E1),與溶解度參數為9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑(E2)。藉由使用含有此種預定的溶劑之感光性組成物,可以得到有能滿足之低黏
性之乾燥膜,且,可以得到有能滿足之硬度之圖案。
作為溶解度參數為8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑(E1)者,於括弧中記載而附上其之溶解度參數((cal/cm3)1/2)時,可以列舉:乙二醇單異丁基醚(8.9)、二乙二醇單2-乙基己基醚(8.4)、二丙二醇單正丙基醚(8.8)、二丙二醇單正丁基醚(8.5)、三丙二醇單正丙基醚(8.5)、三丙二醇單正丁基醚(8.2)、乙二醇二甲基醚(8.6)、二乙二醇二甲基醚(8.6)、二乙二醇二乙基醚(8.6)、二乙二醇二正丁基醚(8.3)、三乙二醇二甲基醚(8.4)、二乙二醇乙基甲基醚(8.6)、二乙二醇單正丁基醚乙酸酯(9.0)、丙二醇單甲基醚乙酸酯(9.0)、二丙二醇單甲基醚乙酸酯(8.1)、乙基-3-乙氧基丙酸酯(9.1)、乙酸正丙酯(8.6)、丙酸正丙酯(8.6)、丙酸正丁酯(8.3)、丙酸正戊酯(8.4)、乙酸乙酯(9.1)、乙酸丁酯(8.3)等。其中,從溶解度的觀點而言,以如丙二醇單甲基醚乙酸酯的二醇單醚之醯酯(acylate)為佳,以如伸烷二醇、二伸烷二醇或是三伸烷二醇的單烷基醚的烷酸酯(alkanoate)為更佳。
作為溶解度參數為9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑(E2)者,於括弧中記載而附上其之溶解度參數((cal/cm3)1/2)時,可以列舉:乙二醇單丙基醚(10.6)、乙二醇單異丙基醚(9.2)、乙二醇單正丁基醚(10.2)、乙二醇單己基醚(9.4)、乙二醇單苯基醚(10.9)、乙二醇單苯甲基醚(10.8)、乙二醇單烯丙基醚(9.8)、二乙二醇單甲基醚(10.7)、二乙二醇單正丁基醚(10.0)、二乙二醇單己基醚(9.7)、二乙二醇單
2-乙基己基醚(9.2)、二乙二醇單苯甲基醚(9.6)、三乙二醇單甲基醚(10.2)、三乙二醇單乙基醚(9.9)、三乙二醇單正丁基醚(9.3)、聚乙二醇單甲基醚(9.2)、丙二醇單甲基醚(10.7)、丙二醇單正丙基醚(9.7)、丙二醇單正丁基醚(9.3)、丙二醇單三級丁基醚(9.7)、丙二醇單苯基醚(11.0)、二丙二醇單甲基醚(9.6)、三丙二醇單甲基醚(9.4)、乙二醇單正丁基醚乙酸酯(10.3)、丙二醇二乙酸酯(9.6)、甲基3-甲氧基丙酸酯(9.5)、乳酸甲酯(10.7)、乳酸丁酯(9.8)、環己酮(9.9)、4-羥基-4-甲基-2-戊酮(別名二丙酮醇)(10.2)、1-丁醇(11.4)、二烷(10.0)、氯仿(9.3)、丙酮(9.9)、1,1,2,2-四氯乙烷(9.7)等。其中,從溶解性的觀點而言,以羥基化合物為佳,以如丙二醇單甲基醚的二醇單醚、或如4-羥基-4-甲基-2-戊酮的羥基酮為更佳,以伸烷二醇、二伸烷二醇、或是三伸烷二醇的單烷基醚、或羥基烷酮為更佳。
溶解度參數為8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑(E1)含量,相對於溶劑(E),是70至99質量%,較佳是70至97質量%,溶解度參數為9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑(E2)含量,相對於溶劑(E),是1至30質量%,較佳是3至30質量%。溶劑的質量%之比率在前述範圍時,溶解性、塗布時的平坦性有變良好的傾向。又,溶劑(E),雖也可以含有溶劑(E1)及溶劑(E2)以外的溶劑,但其之含量,相對於溶劑(E),通常是20質量%以下,較佳是10質量%以下。
又,溶解度參數是由下述式求得。
溶解度參數=(△E/V)1/2
△E:凝集能量(蒸發焓(enthalpy))、V:莫耳體積
溶劑(E)可以在合成黏合劑樹脂(A)之際使用。
溶劑(E)的含量,相對於感光性樹脂組成物,較佳是60至95質量%,更佳是70至90質量%。換言之,感光性樹脂組成物的固形物,較佳是5至40質量%,更佳是10至30質量%。溶劑(E)的含量在前述範圍時,塗布時的平坦性有變良好的傾向。
本發明的感光性樹脂組成物,係以更含有著色劑(F)為佳。作為此種著色劑(F)者,可以列舉顏料及染料,但從耐熱性及耐光性的觀點而言,以含有顏料為佳。
作為顏料者,係列舉有機顏料及無機顏料,可以列舉在彩色指數(The Society of Dyers and Colourists出版)中分類為顏料的化合物。
作為有機顏料者,係列舉:C.I.顏料黃1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等黃色顏料;C.I.顏料橘13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等橘色顏料;C.I.顏料紅9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等紅色顏料;C.I.顏料藍15、15:3、15:4、15:6、60等藍色顏料;
C.I.顏料紫1、19、23、29、32、36、38等紫色顏料;C.I.顏料綠7、36、58等綠色顏料;C.I.顏料褐23、25等褐色顏料;C.I.顏料黑1、7等黑色顏料等。
其中,以C.I.顏料黃138、139、150,C.I.顏料紅177、242、254,C.I.顏料紫23,C.I.顏料藍15:3、15:6,C.I.顏料綠7、36、58為佳。
此等顏料,可以單獨也可以混合2種以上而使用。
前述顏料,可因應需要施以下述處理:松脂處理、使用經導入酸性基或是鹼性基之顏料衍生物或顏料分散劑等之表面處理、藉由高分子化合物等而對顏料表面的接枝處理、藉由硫酸微粒化法等之微粒化處理、或是為了除去雜質而藉由有機溶劑或水等之洗淨處理、藉由離子性雜質的離子交換法等的除去處理等。又,顏料是以有均勻粒徑為佳。藉由含有顏料分散劑進行分散處理,可以得到顏料在溶液中均勻分散之狀態的顏料分散液。
作為前述顏料分散劑者,可以使用市售的界面活性劑,可以列舉:矽氧系、氟系、酯系、陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性、聚酯系、聚胺系、丙烯酸系等界面活性劑等。作為前述界面活性劑者,可以列舉:聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯烷基苯基醚類、聚乙二醇二酯類、山梨糖醇酐脂肪酸酯類、脂肪酸改質聚酯類、3級胺改質聚胺基甲酸乙酯類、聚乙烯亞胺類等之外,商品名方
面可以列舉KP(信越化學工業(股)製)、Flowlen(共榮社化學(股)製)、Solsperse(Zeneca(股)製)、EFKA(CIBA公司(股)製)、Ajisper(註冊商標)(味之素精緻科技(股)製)、Disperbyk(BYK公司製)等。此等,可以分別單獨使用,也可以組合2種以上來使用。
在使用顏料分散劑的情形,其使用量,相對於顏料,較佳是100質量%以下,更佳是5至50質量%。顏料分散劑的使用量在前述之範圍內時,有可以得到均勻分散狀態之顏料分散液的傾向。
作為著色劑(F)者,可以使用公知的染料,作為染料者,可以列舉:油溶性染料、酸性染料等。
此等染料,係配合對溶劑的溶解度以及使用含有該染料的著色硬化性樹脂組成物而形成彩色濾光片之圖案時之光褪色耐性或分光光譜而適當地選擇。
染料無特別限定,可以使用公知的染料,例如,可以列舉:溶劑染料、酸性染料、直接染料、媒染染料等。作為染料者,例如,可以列舉在彩色指數(The Society of Dyers and Colourists出版)中分類為顏料以外之有色相者的化合物,或在染色筆記(色染公司)中記載之習知染料。又,依化學結構的話,可以列舉:偶氮染料、菁染料(cyanine dye)、三苯基甲烷染料、呫噸(xanthene)染料、酞菁染料、蒽醌染料、萘醌染料、醌亞胺染料、次甲基染料、偶氮次甲基染料、方酸菁染料(Squarylium Dyes)、吖啶染料、苯乙烯基染料、香豆素染料、喹啉染料、及硝基染
料等。其中以有機溶劑可溶性染料為佳。
具體上,可以列舉:C.I.溶劑黃4(下文中,省略C.I.溶劑黃之記載,僅記載號碼)、14、15、23、24、38、62、63、68、82、94、98、99、117、162、163、167、189;C.I.溶劑紅45、49、111、125、130、143、145、146、150、151、155、168、169、172、175、181、207、218、222、227、230、245、247;C.I.溶劑橘2、7、11、15、26、56、77、86;C.I.溶劑紫11、13、14、26、31、36、37、38、45、47、48、51、59、60;C.I.溶劑藍4、5、14、18、35、36、37、45、58、59、59:1、63、67、68、69、70、78、79、83、90、94、97、98、100、101、102、104、105、111、112、122、128、132、136、139;C.I.溶劑綠1、3、4、5、7、28、29、32、33、34、35等C.I.溶劑染料;C.I.酸性黃1、3、7、9、11、17、23、25、29、34、36、38、40、42、54、65、72、73、76、79、98、99、111、112、113、114、116、119、123、128、134、135、138、139、140、144、150、155、157、160、161、163、168、169、172、177、178、179、184、190、193、196、197、199、202、203、204、205、207、212、214、220、221、228、230、232、235、238、240、242、243、251;
C.I.酸性紅1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、33、34、35、37、40、42、44、50、51、52、57、66、73、76、80、87、88、91、92、94、95、97、98、103、106、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、155、158、160、172、176、182、183、195、198、206、211、215、216、217、227、228、249、252、257、258、260、261、266、268、270、274、277、280、281、289、308、312、315、316、339、341、345、346、349、382、383、388、394、401、412、417、418、422、426;C.I.酸性橘6、7、8、10、12、26、50、51、52、56、62、63、64、74、75、94、95、107、108、169、173;C.I.酸性紫6B、7、9、15、16、17、19、21、23、24、25、30、34、38、49、72、102;C.I.酸性藍1、3、5、7、9、11、13、15、17、18、22、23、24、25、26、27、29、34、38、40、41、42、43、45、48、51、54、59、60、62、70、72、74、75、78、80、82、83、86、87、88、90、90:1、91、92、93、93:1、96、99、100、102、103、104、108、109、110、112、113、117、119、120、123、126、127、129、130、131、138、140、142、143、147、150、151、154、158、161、166、167、168、170、171、175、182、183、184、187、192、199、203、204、205、210、213、229、234、236、242、243、256、259、267、269、278、280、285、290、296、315、324:1、335、340;C.I.酸性綠1、3、5、6、7、8、9、11、13、14、15、
16、22、25、27、28、41、50、50:1、58、63、65、80、104、105、106、109等C.I.酸性染料;C.I.直接黃2、33、34、35、38、39、43、47、50、54、58、68、69、70、71、86、93、94、95、98、102、108、109、129、136、138、141;C.I.直接紅79、82、83、84、91、92、96、97、98、99、105、106、107、172、173、176、177、179、181、182、184、204、207、211、213、218、220、221、222、232、233、234、241、243、246、250;C.I.直接橘26、34、39、41、46、50、52、56、57、61、64、65、68、70、96、97、106、107;C.I.直接紫47、52、54、59、60、65、66、79、80、81、82、84、89、90、93、95、96、103、104;C.I.直接藍1、2、3、6、8、15、22、25、28、29、40、41、42、47、52、55、57、71、76、77、78、80、81、84、85、86、90、93、94、95、97、98、99、100、101、106、107、108、109、113、114、115、117、119、120、137、149、150、153、155、156、158、159、160、161、162、163、164、165、166、167、168、170、171、172、173、188、189、190、192、193、194、195、196、198、199、200、201、202、203、207、209、210、212、213、214、222、225、226、228、229、236、237、238、242、243、244、245、246、247、248、249、250、251、252、256、257、259、260、268、274、275、293;C.I.直接綠25、27、31、32、34、37、63、65、66、67、
68、69、72、77、79、82等C.I.直接染料;C.I.分散黃51、54、76;C.I.分散紫26、27;C.I.分散藍1、14、56、60等C.I.分散染料;C.I.鹼性紅1、10;C.I.鹼性藍1、3、5、7、9、19、21、22、24、25、26、28、29、40、41、45、47、54、58、59、60、64、65、66、67、68、81、83、88、89;C.I.鹼性紫2;C.I.鹼性紅9;C.I.鹼性綠1;等C.I.鹼性染料(Basic dye);C.I.反應性黃2、76、116;C.I.反應性橘16;C.I.反應性紅36;等C.I.反應性染料;C.I.媒染黃5、8、10、16、20、26、30、31、33、42、43、45、56、61、62、65;C.I.媒染紅1、2、3、4、9、11、12、14、17、18、19、22、23、24、25、26、27、29、30、32、33、36、37、38、39、41、42、43、45、46、48、52、53、56、62、63、71、74、76、78、85、86、88、90、94、95;C.I.媒染橘3、4、5、8、12、13、14、20、21、23、24、28、29、32、34、35、36、37、42、43、47、48;C.I.媒染紫1、1:1、2、3、4、5、6、7、8、10、11、14、15、16、17、18、19、21、22、23、24、27、28、30、
31、32、33、36、37、39、40、41、44、45、47、48、49、53、58;C.I.媒染藍1、2、3、7、8、9、12、13、15、16、19、20、21、22、23、24、26、30、31、32、39、40、41、43、44、48、49、53、61、74、77、83、84;C.I.媒染綠1、3、4、5、10、13、15、19、21、23、26、29、31、33、34、35、41、43、53等C.I.媒染染料(Mordant dye)。
C.I.還原綠1等C.I.還原染料(Vat dye;又稱為甕染料)等。
此等染料,只要配合所期望之彩色濾光片的分光光譜而適當選擇即可。
染料是以含有在分子內具有呫噸骨架的化合物為佳。
著色劑(F)的含量,相對於感光性樹脂組成物的固形分,較佳是5至60質量%,更佳是5至45質量%。著色劑(E)的含量在前述之範圍內時,可以得到所期望之分光或色濃度。
本發明的感光性樹脂組成物,可以含有界面活性劑。作為界面活性劑者,可以列舉:矽氧系界面活性劑、氟系界面活性劑、有氟原子之矽氧系界面活性劑等。藉由含有界面活性劑,有塗布時的平坦性變良好之傾向。
作為矽氧系界面活性劑者,可以列舉:有矽氧烷鍵之界面活性劑。具體上,可以列舉:Toray silicon
DC3PA、同SH7PA、同DC11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、聚醚改質矽油SH8400(東麗道康寧(Toray Dow Corning)(股)製),KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化學工業(股)製),TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF-4446、TSF4452、TSF4460(日本Momentive Performance Materials合同公司製)等。
作為氟系界面活性劑者,可以列舉有氟碳鏈之界面活性劑。具體上,可以列舉:Fluorinert(註冊商標)FC430、同FC431(住友3M(股)製),Megafac(註冊商標)F142D、同F171、同F172、同F173、同F177、同F183、同R30(DIC(股)製),EFTOP(註冊商標)EF301、同EF303、同EF351、同EF352(三菱材料電子化成(股)製),Surflon(註冊商標)S381、同S382、同SC101、同SC105(旭硝子(股)製),E5844(Daikin工業(股)製)等。
作為有氟原子之矽氧系界面活性劑者,可以列舉:有矽氧烷鍵及氟碳鏈之界面活性劑。具體上,可以列舉:Megafac(註冊商標)R08、同BL20、同F475、同F477、同F443(DIC(股)製)等。較佳可列舉Megafac(註冊商標)F475。
界面活性劑,相對於感光性樹脂組成物,較佳是0.001質量%以上0.2質量%以下,更佳是0.002質量%以上0.1質量%以下,特佳是0.01質量%以上0.05質量%以下。藉由含有界面活性劑在此範圍,可以使塗膜的
平坦性變成良好。
本發明的感光性樹脂組成物,可因應需要而含有填充劑、其他的高分子化合物、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、光安定劑、鏈轉移劑等各種添加劑。
本發明的感光性樹脂組成物,可藉由混合黏合劑樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合起始劑(C)、體質顏料(D)、溶劑(E)及因應必要的著色劑(F)或其他的成分而得到。
又,作為著色劑(F)而混合顏料的情形,例如,以依照以下的順序調製為佳。
首先,將顏料預先與溶劑(E)混合,使用珠粒研磨機(bead mill)等分散,直到顏料之平均粒徑變成0.2μm以下左右。此時,可因應必要調配顏料分散劑、黏合劑樹脂(A)的一部分或全部。在得到的顏料分散液中,將剩餘的黏合劑樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合起始劑(C)、體質顏料(D)、及因應必要而使用的其他成分、還有因應必要而追加之溶劑(E),以變成預定之濃度之方式而添加,而可以得到感光性樹脂組成物。
作為本發明之感光性樹脂組成物對基板之塗布方法者,可以列舉:擠出塗布法、直接凹版塗布法、反轉凹版塗布法、CAP塗布法、模具塗布法等。又,也可以使用浸漬塗布機、輥筒塗布機、棒塗布機、旋轉塗布機、狹縫&旋轉塗布機、狹縫塗布機(也有稱為模具塗布機、簾流塗布機、無旋轉塗布機之情形)、噴墨等塗布裝置塗布。
其中,以使用狹縫塗布機、旋轉塗布機、輥筒塗布機等塗布為佳。
作為在基板上塗布感光性樹脂組成物而得到之塗膜的乾燥方法者,可以列舉:加熱乾燥、自然乾燥、通風乾燥、減壓乾燥等方法。也可以組合複數種方法來進行。
乾燥溫度是以10至120℃為佳,以25至100℃為更佳。又,加熱時間,以10秒鐘至60分鐘為佳,以30秒鐘至30分鐘為更佳。
減壓乾燥是以在50至150Pa的壓力下,20至25℃的溫度範圍中進行為佳。
將塗膜乾燥而得到之乾燥膜的膜厚,並無特別限定,可以藉由使用的材料、用途等而適當調整,通常,是0.1至20μm,而以1至6μm為佳。
乾燥膜隔著用以形成目的圖案之光罩而曝光。此時光罩上之圖案形狀並無特別限定,可使用因應作為目的之用途之圖案形狀。又,作為聚合起始劑(C)而使用熱聚合起始劑的情形,係藉由曝光而使乾燥膜加熱,此熱作用在熱聚合起始劑。
作為在曝光所使用的光源者,係以產生250至450nm波長之光的光源為佳。例如,將未達350nm的光,使用遮斷此波長區域的濾光片來遮斷,或者將436nm附近、408nm附近、365nm附近的光,使用取出此等波長區域的帶通濾光片(band pass filter)選擇性地取出。作為光源
者,可列舉:水銀燈、發光二極管、金屬鹵素燈、鹵素燈等。
為了可以對曝光面全體均勻地照射平行光線,或將光罩與基材對齊正確位置,係以使用光罩對準器、步進器等裝置為佳。
使曝光乾燥膜而得到之曝光膜與顯像液接觸,而溶解預定部分(例如,未曝光部分),顯像,藉此可以得到圖案。作為顯像液者,雖可以使用有機溶劑,但由於曝光膜的曝光部分不易因顯像液而溶解或澎潤,且可以得到良好形狀的圖案,故以使用鹼性化合物的水溶液為佳。
顯像方法,可為覆液法、浸漬法、噴霧法等中任何一種。再者,於顯像時可以將基板傾斜成任意之角度。
顯像後,以水洗為佳。
作為前述鹼性化合物者,可以列舉:氫氧化鈉、氫氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、矽酸鈉、矽酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、氨等無機鹼性化合物;四甲基銨氫氧化物、2-羥基乙基三甲基銨氫氧化物、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、乙醇胺等有機鹼性化合物。
其中,以氫氧化鉀、碳酸氫鈉、四甲基銨氫氧化物為
佳。
此等無機及有機鹼性化合物的水溶液中之濃度,較佳是0.01至10質量%,以0.03至5質量%為更佳。
前述鹼性化合物的水溶液,也可以含有界面活性劑。
作為界面活性劑者,可以列舉:聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他的聚氧乙烯衍生物、氧乙烯/氧丙烯嵌段共聚合物、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等非離子系界面活性劑;月桂醇硫酸酯鈉、油醇硫酸酯鈉、月桂基硫酸鈉、月桂基硫酸銨、十二烷基苯磺酸鈉、十二烷基萘磺酸鈉等陰離子系界面活性劑;硬脂胺鹽酸鹽、月桂基三甲基銨氯化物等陽離子系界面活性劑等。
鹼性化合物的水溶液中之界面活性劑濃度,較佳是0.01至10質量%,更佳是0.05至8質量%,特佳是0.1至5質量%。
藉由將如上述方式所得到之圖案進一步的烘烤,可以得到經熱硬化之圖案。作為烘烤溫度者,通常是25℃以上220℃以下,較佳是25℃以上200℃以下,更佳是25℃以上160℃以下,再更佳是25℃以上120℃以下。作為烘烤時間者,通常是1至300分鐘,較佳是1至180
分鐘,更佳是1至60分鐘。
如上述方式所得到之圖案,例如,可以有用於在液晶顯示裝置中所使用的感光間隙材料(photo spacer)、可圖案化的保護塗膜、彩色濾光片。又,本發明的感光性樹脂組成物,可適合利用於用以形成作為液晶顯示裝置或是圖像感測器(image sensor)的畫素之膜或圖案等,可利用在將此等膜或圖案作為其構成零組件之一部分而具備的彩色濾光片、陣列基板、再者,可利用在具備此等彩色濾光片及/或是陣列基板等之顯示裝置,例如,液晶顯示裝置、有機EL裝置、固體攝影裝置等。
以下,藉由實施例更詳細說明本發明之著色感光性樹脂組成物。例中之「%」及「份」若無特別論述,是表示質量%及質量份。
在具備攪拌裝置、滴下漏斗、冷凝器、溫度計、氣體導入管的燒瓶中,放入67份之丙二醇單甲基醚乙酸酯、33份之丙二醇單甲基醚,一面以氮氣取代一面攪拌,昇溫到120℃。其次,在由11份之丙烯酸二環戊酯、31份之甲基丙烯酸苯甲酯、23份之甲基丙烯酸所成單體混合物中,以相對於單體混合物100份為1份之比率添加Perbutyl O。將此自滴下漏斗花2小時滴到燒瓶中,進一步,在120℃攪拌2小時,得到共聚合物。其次,將燒瓶內以空氣取代,將甲基丙烯酸縮水甘油酯10份、三苯基膦0.46份、及甲
基氫醌0.08份投入上述共聚合物之溶液中,在120℃持續反應直到固形分酸價變成150mg-KOH/g時停止反應,加入75份的丙二醇單甲基醚乙酸酯、5份之丙二醇單甲基醚,藉此可得到含有30質量%之重量平均分子量(Mw)為30×103,酸價為150mg-KOH/g的黏合劑樹脂(A1)的溶液。黏合劑樹脂(A1)是具有下述之結構單元者。
在具備攪拌裝置、滴下漏斗、冷凝器、溫度計、氣體導入管的燒瓶中,放置67份之丙二醇單甲基醚乙酸酯、33份之丙二醇單甲基醚,一面以氮氣取代一面攪拌,昇溫到120℃。其次,在由10份之丙烯酸二環戊酯、34份甲基丙烯酸苯甲酯、20份之甲基丙烯酸所成單體混合物中,以相對於單體混合物100份為1份之比率添加Perbutyl O。將此自滴下漏斗花2小時滴到燒瓶中,進一步,在120℃攪拌2小時,得到共聚合物。其次,將燒瓶內以空氣取代,將甲基丙烯酸縮水甘油酯10份、三苯基膦0.44份、及甲基氫醌0.08份投入上述共聚合物之溶液中,在120℃持續反應直到固形分酸價變成130mg-KOH/g時停止反應,加入74份的丙二醇單甲基醚乙酸酯、5份之丙二醇單甲基醚,藉
此可得到含有30質量%之重量平均分子量(Mw)為30×103,酸價為130mg-KOH/g的黏合劑樹脂(A2)之溶液。黏合劑樹脂(A2)是具有下述之結構單元者。
在具備攪拌機、溫度計、回流冷卻管、滴下漏斗、及氣體導入管的燒瓶中,放入413份之丙二醇單甲基醚乙酸酯。之後,將氮氣經由氣體導入管導入燒瓶內,將燒瓶內環境取代成氮氣,添加144份之甲基丙烯酸苯甲酯、30份之丙烯酸二環戊酯、35份之甲基丙烯酸及5.2份之偶氮雙異丁腈,在100℃攪拌5小時。之後冷卻到室溫,得到含有33.6質量%之重量平均分子量(Mw)為10×103,酸價為110mg-KOH/g的黏合劑樹脂(A3)之溶液。樹脂(A3)是具有下述之結構單元者。
在具備回流冷卻管、滴下漏斗、及攪拌機的1L燒瓶
內,適量流入氮氣而取代成氮氣環境,放入371份的丙二醇單甲基醚乙酸酯,一面攪拌一面加熱到85℃。其次,將54份的丙烯酸、丙烯酸3,4-環氧基三環[5.2.1.02.6]癸烷-8-酯及丙烯酸3,4-環氧基三環[5.2.1.02.6]癸烷-9-酯的混合物225份、乙烯基甲苯(異構物混合物)81份、丙二醇單甲基醚乙酸酯80份的混合溶液花4小時滴下。另一方面,將使聚合起始劑2,2-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)30份溶解到丙二醇單甲基醚乙酸酯160份中之溶液花5小時滴下。起始劑溶液滴下終止後,維持在同溫度4小時後,冷卻至室溫為止,可得到含有37.5質量%之重量平均分子量(Mw)為10×103,酸價為115mg-KOH/g的黏合劑樹脂(A4),且B型黏度(23℃)為246mPas之溶液。黏合劑樹脂(A4)是具有下述之結構單元者。
合成例所得到之樹脂之重量平均分子量(Mw)及數量平均分子量(Mn)的測定,係使用GPC法,用以下的條件進行。
裝置:K2479(島津製作所(股)製)
管柱:SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
管柱溫度:40℃
溶劑:THF(四氫呋喃)
流速:1.0ml/min
檢測器:RI
將式(IV-1)所示化合物40.5份與2,6-二甲基苯胺(東京化成(股)製)60.5份在遮光條件下混合,在N-甲基吡啶酮200份中,於150℃攪拌8小時。將得到之反應液冷卻到室溫後,添加到水1200份、35%鹽酸75份的混合液中,在室溫攪泮1小時時,析出結晶。將析出之結晶當作吸引過濾之殘渣而取得並以甲醇100份洗淨後,在60℃減壓乾燥1晚,得到式(IV-2)所示化合物49份。收率是85%。
其次,將(IV-2)所示化合物28.8份,與1-溴丙烷21.6份及碳酸鉀24.2份加到N-甲基吡啶酮144份中,於90℃攪拌4小時,將得到之反應液冷卻到室溫後濃縮,添加到水560份中,在10至15℃攪拌1小時時,會析出結晶。將生成之結晶當作吸引過濾之殘渣而取得後乾燥,以離子交換水1000份洗淨後,在60℃減壓乾燥1晚,得到式(F1)所示化合物30.0份。收率是91%。
式(F1)所示化合物的鑑定
(質量分析)離子化模式=ESI+:m/z=[M+H]+659.3精確質量(Exact Mass):658.3
將下述者混合:
在得到之感光性樹脂組成物1中的全溶劑(E)中佔有的丙二醇單甲基醚乙酸酯(溶劑(E1))之比率是93.3質量%,丙二醇單甲基醚(溶劑(E2))的比率是6.7質量%。又,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)的質量比率(黏合劑樹脂(A1)/聚合性化合物(B))是70/30。
將下述者混合:
在得到之感光性樹脂組成物2中的全溶劑(E)中佔有的丙二醇單甲基醚乙酸酯(溶劑(E1))的比率是96.9質量%,丙二醇單甲基醚(溶劑(E2))的比率是3.1質量%。又,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)的質量比率(黏合劑樹脂(A1)
/聚合性化合物(B))是60/40。
將下述者混合:
在得到之感光性樹脂組成物3的全溶劑(E)中佔有之丙二醇單甲基醚乙酸酯(溶劑(E1))的比率是94.2質量%,丙二醇單甲基醚的比率是5.8質量%,又,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)的質量比率(黏合劑樹脂(A1)/聚合性化合物(B))是70/30。
將下述者混合:
在得到之感光性樹脂組成物中的全溶劑(E)中佔有之丙二醇單甲基醚乙酸酯(溶劑(E1))的比率是95.1質量%,丙二醇單甲基醚(溶劑(E2))之比率是4.9質量%。又,黏合劑樹脂(A2)與聚合性化合物(B)的質量比率(黏合劑樹脂(A2)/聚合性化合物(B))是60/40。
將下述者混合:
在得到之感光性樹脂組成物中的全溶劑(E)中佔有之丙二醇單甲基醚乙酸酯(溶劑(E1))的比率是93.8質量%,丙二醇單甲基醚(溶劑(E2))的比率是6.2質量%,又,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)的質量比率(黏合劑樹脂(A1)/聚合性化合物(B))是75/25。
將下述者混合:
東麗道康寧(股)製) 0.5份。
在得到之感光性樹脂組成物6中的全溶劑(E)中佔有之丙二醇單甲基醚乙酸酯(溶劑(E1))的比率是71.2質量%,丙二醇單甲基醚(溶劑(E2))的比率是28.9質量%,又,黏合劑樹脂(A2)與聚合性化合物(B)的質量比率(黏合劑樹脂(A2)/聚合性化合物(B))是70/30。
依日本特開2011-221310號公報實施例1而得到感光性樹脂組成物7。
將下述者混合:
在得到之感光性樹脂組成物8中的全溶劑(E)中佔有之丙二醇單甲基醚乙酸酯(溶劑(E1))的比率是75.7質量%,4-羥基-4-甲基-2-戊酮(溶劑(E2))的比率是24.3質量%,又,黏合劑樹脂(A3)與黏合劑樹脂(A4)與聚合性化合物(B)的質量比率(黏合劑樹脂(A3)/黏合劑樹脂(A4)/聚合性化合物(B))是11/39/50。
將下述者混合:
著色劑(F):C.I.顏料藍15:6 26份
在得到之感光性樹脂組成物9中的全溶劑(E)中佔有之丙二醇單甲基醚乙酸酯(溶劑(E1))的比率是75.7質量%,4-羥基-4-甲基-2-戊酮(溶劑(E2))的比率是24.3質量%。又,黏合劑樹脂(A4)與聚合性化合物(B)的質量比率(黏合劑樹脂(A4)/聚合性化合物(B))是50/50。
將下述者混合:
在得到之感光性樹脂組成物10中的全溶劑中佔有之丙二醇單甲基醚乙酸酯(溶劑(E1))的比率是75.8質量%,4-羥基-4-甲基-2-戊酮(溶劑(E2))的比率是24.2質量%,又,黏合劑樹脂(A4)與聚合性化合物(B)的質量比率(黏合劑樹脂(A4)/聚合性化合物(B))是50/50。
在2吋見方的玻璃基板上,以旋轉塗布法塗布感光性樹脂組成物後,於100℃預烘烤3分鐘形成乾燥膜。放冷後,在前述基板上所形成的乾燥膜,隔著以與此乾燥膜之間隔成為100μm之方式所配置的石英玻璃製光罩,使用曝光機(TME-150RSK;TOPCON(股)製)於大氣環境下,以50mJ/cm2的曝光量(365nm為基準)施行光照射。作為光罩者,係使用形成有50μm線間隔(line and space)圖案者。光照射後,將得到之曝光膜,在含有非離子系界面活性劑0.12%與碳酸鈉2%之水系顯像液中,於24℃浸漬顯像60秒鐘,水洗後,於烘烤爐中,於230℃進行30分鐘後烘烤,
得到圖案。
將得到的圖案使用雷射顯微鏡(Axio Imager MAT蔡司公司製)觀察,將解像的最小尺寸當作解像度。解像度愈高,愈可以在高精細的彩色濾光片的製造中使用。
將得到的圖案使用雷射顯微鏡(Axio Imager MAT蔡司公司製)觀察,在圖案上無水漬者評估為○(看不到顯像不均),有水漬者評估為×(看到顯像不均)。在看得到顯像不均的情形,在使用於製造彩色濾光片之際,產生色不均。
在前述基板上所形成的圖案中,滴下丙二醇單甲基醚乙酸酯1ml,靜止30秒鐘後,使用旋轉塗布機以旋轉數1000rpm旋轉10秒鐘,將圖案上之丙二醇單甲基醚乙酸酯振離。由測定與丙二醇單甲基醚乙酸酯接觸前後之膜厚值,依下述式計算膜厚保持率。膜厚保持率愈高硬化性愈良好,在使用於製造彩色濾光片之際,可以防止混色,改善顯像不均。
(膜厚保持率)(%)=(接觸後之膜厚)/(接觸前之膜厚)
在2吋見方的玻璃板上黏貼PET薄膜(東麗公司製Lumirror 75-T60)並製作基板。在基板的PET薄膜側,將感光性樹脂組成物藉由旋轉塗布法塗布,於熱盤上,於80℃預烘烤2分鐘。放冷後,對前述基板上所形成之乾燥膜的
全面,使用曝光機(TME-150RSK;TOPCON(股)製),於大氣環境下,以150mJ/cm2的曝光量(365nm為基準)施行光照射。光照射後,在含有非離子系界面活性劑0.12%與氫氧化鉀0.04%之水系顯像液中,於23℃浸漬50秒鐘顯像,以純水洗淨,而得到全面曝光顯像膜。將得到之全面曝光顯像膜,使用膜厚測定裝置(DEKTAK3;ULVAC公司(股)製)測定時是2μm。
針對得到之全面曝光顯像膜,根據JIS K5600-5-6進行膠帶剝離試驗(十字切割試驗),評估與PET薄膜的密著性。將結果在表1中顯示。
針對得到之全面曝光顯像膜,根據JIS-K5400,使用鉛筆刮痕硬度試驗機(安田精機製作所有限公司製)進行鉛筆硬度測定。又,負重是設為1,000g。
在5cm見方PET薄膜(東麗(股)製Lumirror 75-T60),將感光性樹脂組成物使用薄膜塗布機(film applicator)(太佑機材(股)製AP75)塗布,在熱盤上,於80℃預烘烤2分鐘。放冷後,在前述5cm見方PET薄膜上形成的乾燥膜,壓附另外的5cm見方PET薄膜(東麗製Lumirror 75-T60)後,剝離該壓附之PET薄膜。在乾燥膜上沒有不均且剝離之PET薄膜上無轉印者評估為○(看不到黏性),在乾燥膜上有不均且剝離之PET薄膜上有轉印者評估為×(看得到黏
性)。看得到有黏性的情形,在使用於製造彩色濾光片之際,會產生色不均。
依本發明的話,可以提供賦與具有可以滿足之低黏性之乾燥膜,並且,賦與具有可以滿足之硬度之圖案的感光性樹脂組成物。
藉由使用本發明的感光性樹脂組成物,可以得到改善顯像不均之解像度高的圖案。藉由本發明得到之圖案,有用於作為在液晶顯示裝置、有機EL顯示裝置、或電子紙顯示裝置等所用之顯示用彩色濾光片。
Claims (8)
- 一種感光性樹脂組成物,係含有黏合劑樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合起始劑(C)、體質顏料(D)及溶劑(E),其中,前述溶劑(E)係含有相對於前述溶劑(E)為70至99質量%之溶解度參數為8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑(E1),且含有相對於前述溶劑(E)為1至30質量%之溶解度參數為9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑(E2)。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中,前述聚合起始劑(C)是肟化合物。
- 如申請專利範圍第1或2項所述之感光性樹脂組成物,其中,前述黏合劑樹脂(A)的酸價是50至180mg-KOH/g。
- 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之感光性樹脂組成物,其中,前述黏合劑樹脂(A)的含量,相對於前述黏合劑樹脂(A)及前述聚合性化合物(B)的合計量100質量份,係30至80質量份。
- 如申請專利範圍第1至4項中任一項所述之感光性樹脂組成物,其中,前述體質顏料(D)是氧化矽。
- 如申請專利範圍第1至5項中任一項所述之感光性樹脂組成物,更含有著色劑。
- 一種圖案,藉由如申請專利範圍第1至6項中任一項所述之感光性樹脂組成物所形成者。
- 一種顯示裝置,含有如申請專利範圍第7項所述之圖案。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012257136 | 2012-11-26 | ||
JP2012-257136 | 2012-11-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201435489A true TW201435489A (zh) | 2014-09-16 |
TWI632423B TWI632423B (zh) | 2018-08-11 |
Family
ID=50801746
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW102142583A TWI632423B (zh) | 2012-11-26 | 2013-11-22 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6303436B2 (zh) |
KR (1) | KR102128122B1 (zh) |
CN (1) | CN103838084B (zh) |
TW (1) | TWI632423B (zh) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101391224B1 (ko) * | 2013-05-28 | 2014-05-02 | 동우 화인켐 주식회사 | 스페이서 형성용 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조되는 스페이서 |
JP2015125235A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-06 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子用カラーフィルタ感光性組成物、固体撮像素子用カラーフィルタおよび固体撮像素子 |
JP2016091015A (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | サカタインクス株式会社 | トリアリールメタン系色素含有カラーフィルター用着色組成物及びそれを含有するトリアリールメタン系色素含有カラーフィルター用レジスト組成物 |
JP6634753B2 (ja) * | 2015-09-17 | 2020-01-22 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | カラーフィルタ用感光性着色組成物、感光性着色組成物の製造方法、およびカラーフィルタ |
KR102397093B1 (ko) * | 2016-03-31 | 2022-05-12 | 동우 화인켐 주식회사 | 착색 감광성 수지 조성물, 이를 포함하는 컬러필터 및 표시장치 |
KR102337048B1 (ko) * | 2016-03-31 | 2021-12-07 | 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤 | 착색 경화성 수지 조성물, 컬러 필터 및 그것을 포함하는 표시 장치 |
JP7043306B2 (ja) * | 2018-03-23 | 2022-03-29 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 感光性組成物とその利用 |
KR102464594B1 (ko) * | 2019-09-09 | 2022-11-11 | 주식회사 에스지플렉시오 | 전도성 광학 필름 및 이의 제조방법 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG97168A1 (en) * | 1999-12-15 | 2003-07-18 | Ciba Sc Holding Ag | Photosensitive resin composition |
JP4837315B2 (ja) * | 2005-06-29 | 2011-12-14 | 凸版印刷株式会社 | フォトスペーサ用感光性樹脂組成物及びそれを用いた液晶表示装置用カラーフィルタ |
CN101114123B (zh) * | 2006-07-28 | 2011-11-02 | 富士胶片株式会社 | 光固化性组合物及使用该组合物的滤色器 |
KR100961818B1 (ko) * | 2007-02-21 | 2010-06-08 | 주식회사 엘지화학 | 블랙 매트릭스용 감광성 수지 조성물, 이에 의해 형성되는블랙 매트릭스 및 이를 포함하는 액정표시소자 |
JP5284833B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-09-11 | 富士フイルム株式会社 | フォトスペーサーの製造方法 |
JP5422931B2 (ja) * | 2008-07-01 | 2014-02-19 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ基板及び半透過型液晶表示装置 |
CN101727003B (zh) * | 2008-10-24 | 2012-07-18 | 第一毛织株式会社 | 用于彩色滤光片的光敏树脂组合物以及使用其制备的彩色滤光片 |
JP5834379B2 (ja) * | 2009-06-25 | 2015-12-24 | Jsr株式会社 | 着色組成物、カラーフィルタ及びカラー液晶表示素子 |
JP2011039165A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Hitachi Chem Co Ltd | アルカリ可溶性光硬化型組成物、該組成物を使用した硬化塗膜及び透明部材 |
JP2011122005A (ja) * | 2009-12-08 | 2011-06-23 | Sony Corp | 反射防止フィルム及びその製造方法、並びに紫外線硬化性樹脂材料組成物塗液 |
JP5690490B2 (ja) * | 2010-02-18 | 2015-03-25 | 東京応化工業株式会社 | 感光性組成物 |
JP2011221310A (ja) * | 2010-04-09 | 2011-11-04 | Fujifilm Corp | カラーフィルタ用光硬化性青色着色組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置 |
KR101867851B1 (ko) * | 2010-12-28 | 2018-06-15 | 후지필름 가부시키가이샤 | 티타늄블랙 분산 조성물, 그것을 함유하는 흑색 감방사선성 조성물, 흑색 경화막, 고체 촬상 소자, 및 흑색 경화막의 제조 방법 |
CN103329044A (zh) * | 2011-01-18 | 2013-09-25 | 株式会社Lg化学 | 光敏树脂组合物以及包含该组合物的光敏材料 |
JP5853731B2 (ja) * | 2011-02-04 | 2016-02-09 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | カラーフィルタ用着色組成物、およびカラーフィルタ |
JP5211307B2 (ja) * | 2011-03-04 | 2013-06-12 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 感光性組成物 |
JP5880196B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2016-03-08 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | カラーフィルタ用赤色着色組成物及びカラーフィルタ |
JP2014122926A (ja) * | 2011-03-31 | 2014-07-03 | Asahi Glass Co Ltd | ネガ型用感光性組成物および塗膜 |
WO2012147626A1 (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | 旭硝子株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、隔壁およびブラックマトリックスとその製造方法、カラーフィルタならびに有機el素子 |
JP5539429B2 (ja) * | 2012-03-19 | 2014-07-02 | 富士フイルム株式会社 | 着色感光性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、および液晶表示装置 |
-
2013
- 2013-11-20 CN CN201310589020.2A patent/CN103838084B/zh active Active
- 2013-11-21 KR KR1020130141983A patent/KR102128122B1/ko active IP Right Grant
- 2013-11-22 TW TW102142583A patent/TWI632423B/zh active
- 2013-11-25 JP JP2013242588A patent/JP6303436B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI632423B (zh) | 2018-08-11 |
CN103838084B (zh) | 2020-06-16 |
CN103838084A (zh) | 2014-06-04 |
KR20140067913A (ko) | 2014-06-05 |
JP6303436B2 (ja) | 2018-04-04 |
JP2014123116A (ja) | 2014-07-03 |
KR102128122B1 (ko) | 2020-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6713517B2 (ja) | 赤色着色硬化性樹脂組成物 | |
TWI632423B (zh) | 感光性樹脂組成物 | |
JP6852971B2 (ja) | 着色硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ及び液晶表示装置 | |
TWI578105B (zh) | Coloring the photosensitive resin composition | |
TW201344361A (zh) | 著色光敏性樹脂組成物 | |
TW201331711A (zh) | 著色硬化性樹脂組成物 | |
TWI570511B (zh) | Coloring the photosensitive resin composition | |
JP6019596B2 (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
KR20170003404A (ko) | 착색 경화성 수지 조성물, 컬러 필터 및 표시 장치 | |
JP2017128708A (ja) | 着色硬化性樹脂組成物 | |
TW201413382A (zh) | 感光性樹脂組成物 | |
JP2021152145A (ja) | 着色硬化性樹脂組成物 | |
TWI615680B (zh) | 著色感光性樹脂組合物 | |
JP6799943B2 (ja) | 着色硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ及び表示装置 | |
JP2017186547A (ja) | 着色硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ及びそれを含む表示装置 | |
CN109212899B (zh) | 着色固化性树脂组合物、滤色器及显示装置 | |
TW201303489A (zh) | 感光性樹脂組合物 | |
JP7020791B2 (ja) | カラーフィルタ及び表示装置 | |
CN113439092B (zh) | 着色固化性树脂组合物、滤色器和显示装置 | |
TW202212368A (zh) | 著色硬化性樹脂組成物、彩色濾光片、及顯示裝置 | |
KR20130120394A (ko) | 감광성 수지 조성물 | |
WO2021131834A1 (ja) | 着色樹脂組成物 | |
WO2021039491A1 (ja) | 着色樹脂組成物 | |
JP6722442B2 (ja) | 化合物、着色硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ及び液晶表示装置 | |
TW201520691A (zh) | 感光性樹脂組成物 |