JP5690490B2 - 感光性組成物 - Google Patents
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Description
本発明の感光性組成物で使用される光重合性化合物(A)(以下、単に「(A)成分」とも呼ぶ。)としては、エチレン性不飽和基を有する樹脂又はモノマーが好ましく、これらを組み合わせることがより好ましい。エチレン性不飽和基を有する樹脂とエチレン性不飽和基を有するモノマーとを組み合わせることにより、硬化性を向上させ、パターン形成を容易にすることができる。なお、本明細書では、エチレン性不飽和基を有する化合物のうち、質量平均分子量が1000以上のものを「エチレン性不飽和基を有する樹脂」と称し、質量平均分子量が1000未満のものを「エチレン性不飽和基を有するモノマー」と称することとする。
エチレン性不飽和基を有する樹脂としては、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、カルドエポキシジアクリレート等が重合したオリゴマー類;多価アルコール類と一塩基酸又は多塩基酸とを縮合して得られるポリエステルプレポリマーに(メタ)アクリル酸を反応させて得られるポリエステル(メタ)アクリレート、ポリオールと2個のイソシアネート基を持つ化合物とを反応させた後、(メタ)アクリル酸を反応させて得られるポリウレタン(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノール又はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸ポリグリシジルエステル、ポリオールポリグリシジルエステル、脂肪族又は脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂と、(メタ)アクリル酸とを反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂等が挙げられる。さらに、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂に多塩基酸無水物を反応させた樹脂を好適に用いることができる。
その中でも、下記式(1)で表される化合物が好ましい。この式(1)で表される化合物は、それ自体が高い光硬化性を示す点で好ましい。
また、上記式(1)中、nは、0〜20の整数を表す。
エチレン性不飽和基を有するモノマーには、単官能モノマーと多官能モノマーとがある。
単官能モノマーとしては、(メタ)アクリルアミド、メチロール(メタ)アクリルアミド、メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、プロポキシメチル(メタ)アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、tert−ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノ(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの単官能モノマーは、単独で用いてもよく、2種以上組み合わせて用いてもよい。
本発明の感光性組成物は、光重合開始剤(B)を含有する。光重合開始剤(B)(以下、「(B)成分」とも呼ぶ。)は、紫外線等の活性エネルギー線の照射によりラジカルを発生させ、上記(A)成分を重合させる。
本発明の感光性組成物は、アクリル樹脂微粒子が分散されたアクリル樹脂微粒子分散液(C)(以下、単に「(C)成分」とも呼ぶ。)を含む。本発明の感光性組成物が(C)成分を含むことにより、本発明の感光性組成物から作製されたパターンは、露光による硬化が下層部分まで進むので、現像後にT−Top形状になることや、ポストベーク後のシワの発生が抑制される。また、本発明の感光性組成物が(C)成分を含むことにより、本発明の感光性組成物から作製されたパターンは、ポストベーク中のフローを原因とする形状の低下が抑制される。
本発明の感光性組成物には、さらに着色剤が含まれてもよい。本発明の感光性組成物は、着色剤が含まれることにより、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタ用レジストとして好ましく使用される。また、上記着色剤としてカーボンブラック等の遮光剤が含まれることにより、本発明の感光性組成物は、例えば、ブラックマトリクス形成用のレジストとして好ましく使用される。
C.I.ピグメントオレンジ1(以下、「C.I.ピグメントオレンジ」は同様で番号のみ記載する。)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73;
C.I.ピグメントバイオレット1(以下、「C.I.ピグメントバイオレット」は同様で番号のみ記載する)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50;
C.I.ピグメントレッド1(以下、「C.I.ピグメントレッド」は同様で番号のみ記載する。)、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、265;
C.I.ピグメントブルー1(以下、「C.I.ピグメントブルー」は同様で番号のみ記載する。)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン37;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラウン26、C.I.ピグメントブラウン28;
C.I.ピグメントブラック1、ピグメントブラック7。
なお、本発明の感光性組成物における着色剤の使用量は、感光性組成物の固形分に対して、5〜70質量%が好ましく、25〜55質量%がより好ましく、30〜50質量%がさらに好ましい。上記の範囲にすることにより、目的とするパターンでブラックマトリクスや各着色層を形成することができ、好ましい。
例えば1.2μmといった薄膜のブラックマトリクスを形成する場合には、被膜1μmあたりのOD値が4以上となるように感光性組成物における黒色顔料の量を調整することが好ましい。ブラックマトリクスにおける被膜1μmあたりのOD値が4以上あれば、液晶表示ディスプレイのブラックマトリクスに用いた場合に、十分な表示コントラストを得ることができる。また、インクジェットプリント用撥インクブラックマトリクスやブラックカラムスペーサのように厚膜のブラックマトリクスを形成する場合には、形成させた被膜全体としてのOD値が4以上となるように、被膜1μmあたりのOD値を適宜調整することが好ましい。
本発明の感光性組成物には、溶剤が含まれることが好ましい。感光性組成物に溶剤が含まれることにより、塗布性等の特性を向上させることができる。本発明の感光性組成物に使用される溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感光性組成物は、必要に応じて添加剤を含有してもよい。具体的には、増感剤、硬化促進剤、光架橋剤、光増感剤、分散助剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が例示される。
本発明の感光性組成物は、上記各成分を全て撹拌機で混合することにより得られる。なお、得られた混合物が均一なものとなるようフィルタを用いて濾過してもよい。
本発明の感光性組成物を用いてパターンを形成するには、まず、ロールコータ、リバースコータ、バーコータ等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて、基板上に感光性組成物を塗布する。
・樹脂Aの合成
まず、500mL四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量235)235g、テトラメチルアンモニウムクロライド110mg、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール100mg、及びアクリル酸72.0gを仕込み、これに25ml/分の速度で空気を吹き込みながら90〜100℃で加熱溶解した。次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、120℃に加熱して完全溶解させた。この際、溶液は次第に透明粘稠になったが、そのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで加熱撹拌を続けた。酸価が目標値に達するまで12時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の下記式(7)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
この樹脂Aは、上記式(1)で表される化合物に相当し、エチレン性不飽和基を有する樹脂である。この樹脂を3−メトキシブチルアセテートにて固形分濃度50質量%に調整して使用した。なお、後述する表1及び表2における樹脂Aの添加量は、樹脂Aの固形分量を表す。
メタクリル酸:ベンジルメタクリレート=20:80の共重合体であるエチレン性不飽和基を有する樹脂(新中村化学株式会社製、製品名NCF−2、質量平均分子量10000)を樹脂Bとした。さらに、エチレン性不飽和基を有するモノマー(モノマー)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA、日本化薬株式会社製)を使用した。なお、後述する表1及び表2における樹脂Bの添加量は、樹脂Bの固形分量を表す。
チバスペシャリティケミカルズジャパン株式会社製のイルガキュアOXE−02を光重合開始剤とした。
・アクリルビーズ分散液1
撹拌機、還流冷却器、温度計、窒素導入管を有する反応容器に、メタノール89.6部、メチルメタクリレート9.0部、ベンジルメタクリレート1.0部を仕込み、窒素ガスを流し溶存酸素を除去した。反応容器を60℃に加熱後、アゾ系重合開始剤(和光純薬工業株式会社製、製品名V−50)0.025部をイオン交換水0.5部に溶解したものを添加し、8時間加熱撹拌した後、ベンゾイルパーオキサイド(日油株式会社製、製品名ナイパーBW)を0.1部添加し、さらに2時間加熱撹拌を行い、固形分10質量%、粒径2.07μm、変動係数24.0%のアクリル樹脂微粒子の分散した分散液を得た。続いて、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート30.0部を加え、分水管を装着し70〜90℃でメタノール及び水あわせて90.1部を留去し、溶剤置換した固形分25質量%のアクリル樹脂微粒子分散液を得た。
このアクリル樹脂微粒子分散液をサンドグラインダーにより分散処理(条件:径0.3mmのジルコニアビーズを使用、温度80度以下に制御、分散剤としてビックケミー社製BYK−167を対粒子比2質量%添加、分散時間1時間)し、さらに、溶剤を留去して濃縮することにより、分散平均粒子径138nm、固形分11質量%のアクリルビーズ分散液1を得た。なお、後述する表1及び2におけるアクリルビーズ分散液1(アクリル分散液1)の添加量は、当該分散液に含まれる固形分量(アクリル樹脂微粒子及び分散剤)を表す。
モノマーとして、メチルメタクリレート(MMA)9.0部、ベンジルメタクリレート(BzMA)0.5部及びメタクリル酸(MAA)0.5部を使用したこと以外はアクリルビーズ分散液1と同様の手順にて、アクリルビーズ分散液2を得た。また、同様に、MMA9.0部、BzMA0.5部及びグリシジルメタクリレート0.5部を使用してアクリルビーズ分散液3を、MMA9.0部、BzMA0.5部及び脂環式エポキシアクリレート(ダイセル化学工業株式会社製、サイクロマーM−100)0.5部を使用してアクリルビーズ分散液4を、MMA9部、BzMA0.5部及びアリルメタクリレート0.5部を使用してアクリルビーズ分散液6を、それぞれ得た。また、MMA9部及び2−ヒドロキシエチルメタアクリレート(HEMA)1部を共重合させた後に、さらにHEMA由来のヒドロキシル基をアクリル酸と反応させて、アクリル樹脂中にアクリロイル基を導入させたこと以外は、上記と同様の手順にてアクリルビーズ分散液5を得た。このときに使用したアクリル酸は、共重合に使用したHEMAと同じモル数である。なお、後述する表1及び2におけるアクリルビーズ分散液2〜6(アクリル分散液2〜6)の添加量は、当該分散液に含まれる固形分量(アクリル樹脂微粒子及び分散剤)を表す。
モノマーとして、MMA7部及びスチレン3部を使用したこと以外はアクリルビーズ分散液1と同様の手順にて、アクリルビーズ分散液7を得た。また、同様に、MMA3部及びスチレン7部を使用してアクリルビーズ分散液8を、MMA3部及びBzMA7部を使用してアクリルビーズ分散液9を、MMA7部及びトリシクロデカニルメタクリレート3部を使用してアクリルビーズ分散液10を、それぞれ得た。各アクリルビーズ分散液に含まれるアクリル樹脂微粒子の屈折率は、アクリルビーズ分散液7が1.54、アクリルビーズ分散液8が1.58、アクリルビーズ分散液9が1.55、アクリルビーズ分散液10が1.47だった。なお、後述する表2におけるアクリルビーズ分散液7〜10(アクリル分散液7〜10)の添加量は、当該分散液に含まれる固形分量(アクリル樹脂微粒子及び分散剤)を表す。
コロイダルシリカ(シリカビーズ)が分散したシリカゾルである日産化学工業株式会社製、スノーテックスPS−SOをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)溶剤中にプレミックスしたのちサンドグラインダーにより分散処理(条件:径0.3mmのジルコニアビーズを使用、温度80度以下に制御、分散剤としてビックケミー社製BYK−167を対粒子比3質量%添加、分散時間2時間)し、シリカビーズ分散液1とした。シリカビーズ分散液1に含まれるシリカビーズ濃度は、10質量%である。同様の手順にて、日産化学工業株式会社製、スノーテックスPS−Mを分散処理したものをシリカビーズ分散液2とし、日産化学工業株式会社製、スノーテックスPS−MOを分散処理したものをシリカビーズ分散液3とした。なお、後述する表1及び2におけるシリカビーズ分散液1〜3(シリカ分散液1〜3)の添加量は、当該分散液に含まれる固形分量(シリカビーズ及び分散剤)を表す。
カーボンブラックの25質量%分散液(御国色素株式会社製、溶剤:3−メトキシブチルアセテート)をカーボン分散液とした。また、フタロシアニンブルーの20質量%分散液(サカタインクス株式会社製、カラーインデックスNo. C.I.ブルー15−6、溶剤PGMEA)をブルー分散液とした。なお、後述する表1及び2におけるカーボン分散液及びブルー分散液の添加量は、当該分散液に含まれる固形分量を表す。
溶剤は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:3−メトキシブチルアセテート:シクロヘキサノン=50:30:20(質量比)の混合溶剤を使用した。また、界面活性剤は、共栄社化学株式会社製、グラノール400を使用した。
以上の各材料を表1及び表2に記載する割合にて混合し、実施例1〜5、参考例1〜14、及び比較例1〜7の感光性組成物を調製した。なお、表1及び表2における各数値の単位は、質量部である。また、表1及び表2において、「アクリル分散液」及び「シリカ分散液」は、それぞれアクリルビーズ分散液及びシリカビーズ分散液を意味する。
現像後のパターンについて、露光表面側の線幅に対して基底面側の線幅が細くなるT−Top形状の抑制性を走査型電子顕微鏡(SEM)でパターン断面の形状から評価した。評価基準は、以下の通りである。なお、表3及び表4における「T−Top抑制性」とは、「T−Top形状抑制性」を意味する。
◎:T−Top形状が観察されない
○:実用上問題にならない程度のT−Top形状が観察される
△:T−Top形状となることにより、パターンの直進性が低下する
×:T−Top形状となることにより、パターンの直進性が著しく低下する
上述の通り、ポストベーク処理によってパターンの流動(フロー)が発生し、パターンの矩形性が低下する場合がある。そこで、ポストベーク後のパターンについて、パターントップ部分の形状を走査型電子顕微鏡(SEM)でパターン断面の形状から評価した。評価基準は、以下の通りである。
◎:パターントップ部分が矩形を維持している
○:パターンの角部分で実用上問題ない程度の僅かなフローが観察される
△:フローが発生し、パターンのトップ部分がやや丸くなっている
×:フローが発生し、パターンのトップ部分が著しく丸くなっている
ポストベーク後のパターンの表面におけるシワの発生具合を顕微鏡にて観察した。評価基準は、以下の通りである。
◎:パターンの表面にシワが観察されない
○:パターンの表面に実用上問題ない程度の僅かなシワが観察される
△:パターンの表面にシワがやや目立つ
×:パターンの表面にシワが著しく目立つ
ポストベーク後のパターンについて、PCT試験(Pressure Cooker Test)を行った。PCT試験の条件は、パターンを形成した基板を120℃、100%RH、2気圧の条件で2時間放置し、その後、パターンの表面に碁盤目状の傷を付けて粘着テープ(セロハンテープ、ニチバン株式会社製)による剥離試験(クロスハッチテスト)を行い、基板の表面からのパターンの剥がれ具合を観察して行った。評価基準は、以下の通りである。
◎:全く剥離が観察されない
○:僅かに剥離が観察される
△:剥離がやや目立つ
×:剥離が著しく目立つ
露光されていない箇所の現像時における溶解性について評価を行った。評価は、現像が開始されてから未露光部分の膜がすべて溶解して基板が露出するまでの時間を測定することにより行った。評価基準は、以下の通りである。
◎:基板が露出するまでの時間が40秒以下である
○:基板が露出するまでの時間が41〜60秒である
△:基板が露出するまでの時間が61〜80秒である
×:基板が露出するまで81秒以上を必要とする
ポストベーク後のパターンについて鉛筆硬度を測定し、パターンの膜強度を評価した。評価基準は、以下の通りである。
◎:鉛筆硬度が5H以上である
○:鉛筆硬度が3H以上5H未満である
△:鉛筆硬度が2H以上3H未満である
×:鉛筆硬度が2H未満である
上記の条件にて、感光性組成物に露光を行った際の感度を評価した。20μmラインのマスクを使用して100mJで露光して現像した後のラインパターンがマスクに対してBiasがどのくらいあるかを測定した。評価基準は、以下の通りである。
◎:Biasが+2.0μm以上である
○:Biasが+0.5μm以上+2.0μm未満である
△:Bias0.0μm以上+0.5μm未満である
×:Biasが0.0μm未満(マイナスBias)である
上記の条件にてパターニングを行った際、パターンにおけるクラックの発生状態を評価した。評価基準は、以下の通りである。
○:現像後のパターンにクラックが観察されない
×:現像後のパターンにクラックが観察された
Claims (4)
- 光重合性化合物(A)、光重合開始剤(B)、アクリル樹脂微粒子が分散されたアクリル樹脂微粒子分散液(C)、及び着色剤(D)を含み、
前記アクリル樹脂微粒子分散液(C)に含まれるアクリル樹脂微粒子が、エポキシ基、オキセタニル基、及びアリル基からなる群より選択される少なくとも1つの置換基を有し、
前記着色剤(D)が遮光剤である感光性組成物。 - 前記アクリル樹脂微粒子分散液(C)に含まれるアクリル樹脂微粒子の分散平均粒子径が20〜500nmである請求項1記載の感光性組成物。
- 前記光重合性化合物(A)が、エポキシ化合物(a1)と、エチレン性不飽和基含有カルボン酸化合物(a2)との反応物を、さらに多塩基酸無水物(a3)と反応させることにより得られる樹脂を含む請求項1または2記載の感光性組成物。
- 光重合性化合物(A)、光重合開始剤(B)、アクリル樹脂微粒子が分散されたアクリル樹脂微粒子分散液(C)、及び着色剤(D)を含み、
前記アクリル樹脂微粒子分散液(C)に含まれるアクリル樹脂微粒子が、(メタ)アクリロイル基を置換基として有し、
前記光重合性化合物(A)が、エポキシ化合物(a1)と、エチレン性不飽和基含有カルボン酸化合物(a2)との反応物を、さらに多塩基酸無水物(a3)と反応させることにより得られる樹脂を含み、
前記着色剤(D)が遮光剤である感光性組成物。
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