TW201400216A

TW201400216A - 線放電加工系統、線放電加工方法、工件

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Publication number: TW201400216A
Application number: TW102112170A
Authority: TW
Inventors: Yasuhiro Okamoto; Akira Okada; Haruya Kurihara
Original assignee: Canon Marketing Japan Kk; Makino Huraisu Seisakusho Kk
Priority date: 2012-04-26
Filing date: 2013-04-03
Publication date: 2014-01-01
Also published as: JP5464506B2; CN103372694A; CN103372694B; TWI495526B; JP2013226632A; US9364910B2; US20130284983A1

Abstract

本發明提供一種線放電加工系統、線放電加工方法、工件。減少未被適當供電的線能在多線間進行均勻性高的放電加工。以等間隔並列設置的線的間隔來切割工件的線放電加工系統，使線向同一方向移動；並具備：供電件，其對移動的線中的多條線一併供給加工電源；接近的兩個供電件分別與供給加工電源的多條線接觸，並未整列配置在與線所移動的方向垂直的方向。

Description

線放電加工系統、線放電加工方法、工件

有關一種線(wire)放電加工系統、線放電加工方法、工件。

作為以往用於將矽錠(silicon ingot)切割為多個薄片的裝置，已知線鋸(wire saw)，存在藉由線放電加工將構件加工成薄板的技術。

例如，在專利文獻1中公開了對3條捲繞的線在一處進行供電，對半導體錠進行放電加工的技術。

專利文獻1：日本特開平9-248719號公報

在多線放電加工中，藉由在適當的位置對所有的線適當進行供電，且能夠進行均勻性高的放電加工，但是在專利文獻1中關於解決如下問題的方法並無任何揭示，萬一具有未被適當供電之線的情況下，在利用未被適當供電的線來加工的加工槽中，與利用其他被適當供電的線來加工的加工槽相比，導致成為不良加工。

本發明的目的在於，提供一種減少未被適當供電的線，能夠在多線間進行均勻性高的放電加工的結構。

本發明是一種線放電加工系統，以等間隔並列設置的線的間隔切割工件，其特徵為，具備：移動手段，使前述線向同一方向移動；以及供電件，對進行前述移動的前述線中的多條線一併供給加工電源，接近的兩個前述供電件分別與供給前述加工電源的多條前述線接觸，並未整列配置在與前述線所移動的方向垂直的方向上。

另外，前述兩個前述供電件被配置成與分別接觸的多條前述線中的一部分線重複接觸為其特徵。

另外，前述供電件配置成前述兩個前述供電件重複接觸的前述線的條數未定為其特徵。

另外，還具備加工電源部，該加工電源部針對每個前述供電件個別供給前述加工電源為其特徵。

另外，還具備電源控制部，該電源控制部控制前述加工電源使得供給至前述兩個供電件的前述加工電源的脈衝相同為其特徵。

另外，前述供電件對前述移動的前述線中的30條以下的線一併供給前述加工電源為其特徵。

另外，從前述加工電源部到前述供電件的電阻值小於從前述供電件到對前述工件放電的放電部的電阻值為其特徵。

另外，從前述加工電源部到前述供電件的電壓下降小於從前述供電件到對前述工件放電的放電部的電壓下降為其特徵。

藉由本發明，能夠提供一種減少未被適當供電的線能夠在多線間進行均勻性高的放電加工的結構。

1‧‧‧多線放電加工裝置

2‧‧‧加工電源裝置

103‧‧‧線電極

104‧‧‧供電件

105‧‧‧工件(矽錠)

圖1是本發明中的多線放電加工系統。

圖2是本發明中的多線放電加工裝置。

圖3是本發明中的供電件。

圖4是習知技術中的電路圖。

圖5是習知技術中的多線放電加工裝置。

圖6是本發明中的放電脈衝。

圖7是本發明中的電路圖。

圖8是本發明中的多線放電加工系統。

圖9是表示本發明中的供電件的配置的一例的圖。

圖10是表示本發明中的供電件的配置的一例的圖。

圖11是表示本發明中的供電件的配置的一例的圖。

圖12是表示本發明中的供電件的配置的一例的圖。

圖13是表示根據本發明中的供電件的配置的電流的流動方式的圖。

說明圖1。

圖1是由前方觀察有關本發明的實施方式的多線放電加工機1的外觀圖。此外，圖1所示的各機構的結構是一例，當然是配合目的、用途而具有各種的結構例。

圖1是表示本發明中的多線放電加工系統的結構的圖。多線放電加工系統由多線放電加工裝置1、電源裝置2、加工液供給裝置50構成。

多線放電加工系統能夠藉由放電以並列設置的多條線的間隔將被加工物切割為薄片。

1是多線放電加工裝置，在1中，藉由伺服馬達驅動的工件輸送裝置3設置於線103上部，能夠沿上下方向移動工件105。在本發明中，工件105向下方輸送，在工件105與線103之間進行放電加工，但是也可以將工件輸送裝置3設置線103的下部，並使工件105向上方移動。

2是電源裝置，在2中，控制伺服馬達的放電伺服控制電路為了根據放電的狀態效率良好的產生放電，將放電縫隙(gap)控制成保持在既定的間隙，進行工件定位，使其進行放電加工。

加工電源電路(圖7)將用於放電加工的放電脈衝供給至線103，並且進行與在放電縫隙中產生的短路等的狀態相適應的控制，而且對放電伺服控制電路供給放電縫隙訊號。

50是加工液供給裝置，50藉由泵向工件105和線103輸送放電加工部的冷卻、加工碎片(屑)的去除所需的加工液，並且進行加工液中的加工碎片的去除、按照離子交換的電導率(1μS~250μS)的管理、液溫(20℃附近)的管理。加工液中主要使用水，但也能夠使用放電加工油。

8、9是主輥，在主輥上以預先決定的間距、數量形成有槽使得能夠以期望的厚度進行加工，被來自線供給線軸的張力控制的線以所需數量捲繞在兩個主輥上，並輸送至纏繞線軸。線速度使用100m/min至900m/min左右。

藉由兩個主輥在相同方向以相同速度連動進行旋轉，從線抽出部送出的一條線103在主輥(兩個)的外周進行捲繞，能夠使並列設置的多條線103朝同一方向移動(移動手段)。

線103如圖8所示那樣是一條連接的線，從圖未表示的線軸被抽出，一邊被嵌入到主輥的外周面的導向槽(圖未表示)、一邊在該主輥的外側以螺旋狀多次(最多為2000次左右)捲繞之後，纏繞到圖未表示的線軸。

多線放電加工機1經由電線513與電源單元2相連接，藉由從電源單元2供給的電力進行動作。

如圖1所示，多線放電加工機1具備：作為多線放電加工機1的基座發揮功能的塊15；以及設置於塊15的上部中的、塊20、工件輸送裝置3、黏接部4、矽錠105、加工液槽6、主輥8、線103、主輥9、供電單元10和供電件104。

說明圖2。

圖2是圖1所示的虛線16框內的放大圖。

8、9是主輥，在主輥上多次繞上線103，按照刻在主輥上的槽，以規定間距對線103進行整列。

主輥是在中心處使用金屬並以樹脂覆蓋外側的構造。

在主導向輥間的中央部的下部，為了供給來自加工電源的放電脈衝，設置有供電件104使其與10條線103接觸(圖3)。

關於供電件104的配置，以從矽錠105的兩端起線的長度相等的位置為中心設置。

供電件104要求抗機械磨損能力強且具有導電性，使用超硬合金。

在主輥間的中央部的上部配置矽錠105，將其安裝在工件輸送裝置3上，沿上下方向移動進行加工。

在主輥間的中央部設置加工液槽6，浸漬線103及矽錠105，進行放電加工部的冷卻、加工碎片的去除。

如圖3雖然表示將線104的條數對十條所接觸的供電件104為一個，但每個供電件的線條數、供電件的總數當然可對應所需要數量而增加。

塊20與工件輸送裝置3接合。另外，工件輸送裝置3藉由接著部4與矽錠105(工件)接著(接合)。

在本實施例中，作為加工材料(工件)，以矽錠105為例進行說明。

接著部4只要是用於將工件輸送裝置3與矽錠105(工件)接著(接合)的構件，任何構件皆可，例如使用導電性的接著劑。

工件輸送裝置3是具備將藉由接著部4接著(接合)的矽錠105沿上下方向移動的機構的裝置，藉由工件輸送裝置3向下方移動，能夠使矽錠105接近線103。

加工液槽6是用於積存加工液的容器。加工液例如是電阻值高的脫離子水。藉由在線103與矽錠105之間設置加工液，線103與矽錠105之間產生放電，就能切削矽錠105。

在主輥8、9上形成有多列用於安裝線103的槽，在該槽中安裝有線103。而且，藉由主輥8、9向右或左進行旋轉，使線103移動。

另外，如圖2所示，線103安裝於主輥8、9，在主輥8、9的上側和下側形成有線列。

另外，線103是導體，藉由從電源單元2被供給電壓的供電單元10的供電件104與線103產生接觸，該供給的電壓是由供電件104施加到線103。(供電件104對線103施加電壓)。

然後，在線103與矽錠105之間產生放電，切削矽錠105(進行放電加工)，就能製作薄板狀的矽(矽晶圓)。

說明圖3。

圖3表示供電件104的放大圖。

供電件104(1個)與線103(10條)接觸。

線103彼此的間隔(線的間距)為0.3mm(300μm)左右。

說明圖4。

圖4是表示在作為習知方式對每條線個別供給放電電流的個別供電的電氣電路400的圖。

401是加工電源(Vm)。是為了供給放電加工所需的電流而設定的電壓。Vm能夠設定為60V~150V中的任意電壓。

402是加工電源(Vs)。是為了引起放電而設定的電壓。並且，還使用於線與工件之間監視極間電壓(極間電流)之狀態的目的。Vs能夠設定為60V~300V中的任意電壓。403是電晶體(Tr2)。利用開關切換加工電源Vm的ON(導通)狀態和OFF(非導通)狀態。

404是電晶體(Tr1)。利用開關切換加工電源Vs的ON(導通)狀態和OFF(非導通)狀態。

405是電流限制電阻體(Rm)。以設定既定的電阻值，來限制每一條的線電流(Iw)、放電電流(Ig)。Rm能夠設定為1Ω~100Ω的任意電阻值。也就是說，在設為Vm=60V(伏特)、Vg=30V、Rm=10Ω的情況下，成為Iw(Ig)=(60V-30V)/10Ω=3A(安培)。

此外，在前述計算式中，將從加工電源到供電點的電壓下降設為30V，但是不考慮因線電阻(Rw)的供電點到放電點的電壓下降。

也就是說，在作為習知方式的個別供電方式的情況下，Iw是根據Rm決定的，因此為了對每一條得到期望的線電流(Iw)、放電電流(Ig)，設定為線電阻Rw成為Rm>Rw的關係。

406是電流限制電阻(Rs)。以設定既定的電阻值，來限制引起放電的電流。Rs能夠設定為1Ω~100Ω的任意電阻值。

407是極間電壓(Vg)。是在放電中對線103與工件105之間施加的放電電壓。

408是極間電流(Ig)。是在放電中流過線103與工件105之間的放電電流。

410是對每一條線個別供給的線電流(Iw)。

說明圖5。

圖5是在習知方式對每一條線個別供給放電電流的個別供電的電氣電路400對多條線供電的圖。

409是表示每條線的電阻的線電阻(Rw)。

204是個別的供電件。從設置於矽錠105的兩端附近的兩處個別供電件施加放電脈衝，進行放電加工。

連接到與捲繞的線103的條數相同數量的電源電路400。

圖6表示本發明的極間電壓(Vgn)及極間電流(Ign)的變化和Tr1、Tr2的ON/OFF動作(時序圖)。圖表的橫軸是時間。

首先，使電晶體Tr1503為ON，施加電壓。此時，由於線103與工件105之間被絕緣，因此幾乎不流過極間電流。之後，當開始放電時，根據Vgn產生電壓下降，檢測放電，若Tr2為ON的話，可得到大的極間電流。在經過規定時間後Tr2為OFF。在Tr2的OFF經過規定時間之後再次重複一系列的動作。

說明圖7。

圖7是表示本發明中的對多條線(10條)一併供給放電電流的一併供電的電氣電路2的圖。示出放電電流流動的狀態。

示出與圖8所示的電氣電路2的等效電路。

假設將圖4所示的習知方式的電氣電路400直接導入到對多條線(10條)一併供給放電電流的一併供電的電氣電路的話，為了從加工電源在供電點之間來控制放電電流，以代替電流限制電阻體Rm405，只要將Rm除以10條(捲繞主輥8、9的繞圈數)所得的電阻值的電流限制電阻體設置在從加工電源到供電點之間以供給向多條線(10條)供給的放電電流的合計(10倍)的放電電流即可。

首先，說明將具有這樣既定的電阻值的Rm/10條設置在從加工電源到供電件之間的情況。

在10條的所有線與工件之間放電狀態均勻且同時產生的情況下，放電電流在10條線中均等的分散，因此與既定的電阻值(Rm/10條)相應的放電電流供給至各線與工件之間，因此過剩的放電電流的供給不會成為問題。

然而，在10條的所有線與工件之間放電狀態沒有均勻且同時產生的情況下，與既定的電阻值(Rm/10條)相應的放電電流集中供給至成為放電狀態的線與工件之間，因此過剩的放電電流的供給成為問題。也就是說，在10條中只有1條成為放電狀態的情況下，本來應供給至1條線與工件的放電電流的10倍的放電電流供給至成為放電狀態的線與工件，導致線發生斷線。

本發明的電阻值Rmn505並非如習知方式的電流限制電阻體，將電阻值既定為規定的值，而是具備即使在10條中只有1條成為放電狀態的情況下仍能控制成使得電阻值配合成為放電狀態的條數而變動的機構。

並且，藉由使本發明的電阻值Rmn505與Rwn509相比，使其在十分小的電阻值的範圍內變動，在限制放電電流時，Rwn509占主導地位，就能大致忽略Rmn505的影響。

也就是說，從加工電源部501到供電件104之間不需要具備限制對工件105放電的電流之下限的電阻體。也就是說，只要小於將Rmn除以10條(捲繞主輥8、9的繞圈數)所得的電阻值即可。

也就是說，藉由利用作為各線的電阻Rwn509的阻抗，穩定的供給各線的放電電流Ign，因此不會引起放電電流的集中。

509是基於每條線的線的電阻(Rwn)。

在此，從供電件104到放電部的電阻值是基於與供電件104接觸且移動的線(1條)的電阻。

例如，將對10條線(將主輥8、9捲繞10周)一併供電的情況下的各線電阻分別設為Rw1、Rw2、~Rw10。

將Rwn設為限制每條的線電流(Iw)、放電電流(Ig)的電阻而不是如習知方式那樣的Rmn，就能限制每條的線電流(Iwn)、放電電流(Ign)。也就是說，改變供電點(供電件)與放電點(放電部)的距離(長度L)，就能設定為任意的電阻值。也就是說，在設為Vmn=60V、Vgn=30V、Rwn=10Ω的情況下，成為Iwn(Ign)=(60V-30V)/10Ω=3A。

此外，在前述計算式中，雖是將因線電阻(Rwn)的供電點到放電點的電壓下降設為30V，但並未考慮到因引起加工電源到供電點的電壓下降的電阻(Rmn)的供電點到放電點的電壓下降。

也就是說，在作為本發明的一併供電方式的情況下，Iwn是因Rmn決定的，因此為了針對每條得到期望的線電流(Iwn)、放電電流(Ign)，設定為引起加工電源到供電點的電壓降的電阻Rmn成為Rmn<Rwn的關係。

另外，關於各線個別的線電阻Rwn，能夠根據(1)因線的材質的電阻值ρ、(2)線的截面積B、(3)線的長度L之三個參數，藉由Rwn=(ρ×B)/L的關係式確定。

501是加工電源部(Vmn)。是為了供給放電加工所需的電流而設定的電壓。Vmn能夠設定為任意的電壓。而且，與習知方式相比放電電流的供給量更大，因此若與401相比，可供給大電力。

加工電源部501向供電件104供給加工電源(Vmn)。

502是加工電源部(Vsn)。是為了引起放電而設定的電壓。並且還使用於在線與工件之間監視極間電壓(極間電流)之狀態的目的。Vsn能夠設定為任意的電壓。而且，與習知方式相比，放電電流的供給量更大，因此與402相比，可供給大電力。

加工電源部502對供電件104供給加工電源(Vsn)。

503是電晶體(Tr2)。利用開關切換加工電源Vmn的ON(導通)狀態和OFF(非導通)狀態。

504是電晶體(Tr1)。利用開關切換加工電源Vsn的ON(導通)狀態和OFF(非導通)狀態。

507是極間電壓(Vgn)。是在放電中對線103與工件105之間施加的放電電壓。

例如，將對10條線一併供電的情況下的各放電電壓分別設為Vg1、Vg2、~Vg10。

藉由放電在線103與工件105之間施加極間電壓的部分是放電部。在放電部中，將藉由移動的多條線與供電件的接觸對移動的多條線一併供電的加工電源對工件放電。

508是極間電流(Ign)。是在放電中流線103與工件105之間的放電電流。

例如，將對10條線一併供電的情況下的各放電電流分別設為Ig1、Ig2、~Ig10。

藉由放電在線103與工件105之間流過極間電流的部分是放電部。在放電部中，將藉由移動的多條線與供電件的接觸對移動的多條線一併供電的加工電源對工件放電。

510是針對每條線個別供給的線電流(Iwn)。例如，將對10條線一併供電的情況下的各線電流分別設為Iw1、 Iw2、~Iw10。

511是從供電點到放電點的距離L，即從供電點到放電點的線的長度。

說明圖8。

圖8是本發明中的對多條線(10條)一併供給放電電流的一併供電下的電路2對多條線一併供電的圖。

104是供電件。供電件104與移動的多條線一併接觸。從設置在與矽錠105相對置的位置之一處的供電件104施加放電脈衝，進行放電加工。

針對捲繞主輥的線103的條數(10條)連接一個電源電路2。

以下參照圖8的配置進行說明。

如圖8所示，從供電點(供電件104與線103接觸的位置)流向放電點(線103與工件105之間)的電流流向左右的主輥的兩個方向，因此存在對於各方向的線電阻。

511L1是電流流向左的主輥方向的情況下的供電點與放電點的長度(距離)，將在L1的情況下確定的線電阻設為Rw1a。

511L2是電流流向右的主輥方向的情況下的放電點與供電點的長度(距離)，將在L2的情況下確定的線電阻設為Rw1b。

將線103在主輥8、9捲繞一周的長度設為2m。

供電件104配置在捲繞一周的長度的大致一半的距離處，因此放電點與供電點的距離(線的長度L)為1m。

因此，從供電件到放電部移動的線的距離比0.5m長。

線103的材質的主成分是鐵，線的直徑是0.12mm(截面積0.06×0.06×πmm²)。線的電阻值Rw1a、Rw1b分別為相同的長度(L1=L2=1m)，因此，如果將各自的線電阻值設為相同的20Ω左右，則Rw1a和Rw1b的1條(將主輥8、9捲繞一周)的合成的線電阻值為10Ω左右。

另外，如圖8，將L1和L2的長度的線電阻值設為相同的電阻值，因此優選的是以L1和L2的長度相同的方式配置供電件104，但是，即使使L1和L2的長度差異為10%左右(例如L1為1m而L2為1.1m)不同的方式配置供電件104，也沒有特別問題。

在放電電壓Vg1~Vg10大致相等的情況下，Vmn施加到各個Rw1~Rw10，因此Iw1~Iw10是全部相同的線電流。

在此，根據基於線電阻的電壓下降值(Rw1×Iw1)和放電電壓(Vgn)求出Vmn。

從供電件104到放電部的電壓下降是藉由移動的線的電阻的電壓降。

Rw1=10Ω(從供電件104到放電部的電阻值)。

Iw1=3A

如果設為Vgn=30V，則Vmn如下。

Vmn=10(Ω)×3(A)+30V=60V

因此，從供電件到放電部的電壓下降大於10V。

因此，從供電件到放電部的電阻值大於1Ω。

此外，也可以根據Rwn=(ρ×B)/L的關係式，利用線的參數設定藉由線電阻的電壓下降值。

因此，當計算在10條的所有線與工件之間放電狀態均勻且同時產生的情況下的Rmn時，在所有的線中成為放電狀態而在10條線中流過Iw1=3A的情況下，從加工電源到供電點之間整體需要10條×3A=30A的加工電流，如果將該從加工電源到供電點之間的電壓下降設為Vmn的100分之1(0.6V)，則該情況下的Rmn如下。

因此，從加工電源部到供電件104的電壓下降小於1V。

因此，從加工電源部到供電件的電壓下降小於從供電件到放電部的電壓下降。

Rmn=0.6V/30A=0.02Ω(從加工電源部501到供電件104的電阻值)。

因此，從加工電源部到供電件的電阻值小於0.1Ω。

因此，從加工電源部到供電件的電阻值小於從供電件到放電部的電阻值。

因此，從加工電源部到供電件104的電壓下降與從供電件104到放電部的電壓下降之比為10倍以上。

因此，從加工電源部到供電件104的電阻值與從供電件到放電部的電阻值之比為10倍以上。

因此，當考慮Rmn求出10條的加工電流時，為(60V-30V)/((10Ω/10條)+0.02Ω)=29.41A，每條線的加工電流為2.941A。

另外，即使在10條的所有線與工件之間放電狀態並未均勻且同時產生的情況下流過一條線電流，每條線的加工電流也為(60V-30V)/(10Ω+0.02Ω)=2.994A，與在10條的所有線與工件之間放電狀態均勻且同時產生的情況相比，並未產生太大的差別。

而且，作為進一步的效果，在對多條的N條(將主輥8、9捲繞N周)的線在一處(一併)供電的情況下，與針對每條線個別供電時的加工速度相比，加工速度為1/N，但是根據本發明，對N條線在一處(一併)供電的情況下，也能夠維持與對一條線個別供電時同等的加工速度。

說明圖9。

是示出配置對100條線一併供電的供電件的情況的圖。

該情況下的一個供電件的長度為30cm左右。

在本發明的多線放電加工系統中，從一個加工電源和一個供電件供給至線的加工電流的總電流不未與供電件接觸的線的條數成正例，而是與放電狀態均勻且同時產生的線的條數成正例，因此，如圖8中說明的那樣，在10條線與工件之間放電狀態均勻且同時產生的情況下，當考慮Rmn求出供給至10條線的加工電流的總電流時，為(60V-30V)/((10Ω/10條)+0.02Ω)=29.41A，此時流過每條線的加工電流為2.941A。

因此、在100條的所有的線與工件之間放電狀態均勻且同時產生的情況下，當考慮Rmn求出供給至100條線的加工電流的總電流(最大)時，為(60V-30V)/((10Ω/100條)+0.02Ω)=250A，此時流過每條線的加工電流為2.5A。

這樣，如果從一個加工電源和一個供電件對100條線一併供電並在100條線與工件之間放電狀態均勻且同時產生，則需要60V×250A=15kW的大加工電源的供給能力。

另外，如果從一個加工電源和一個供電件對100條線一併供電並僅在10條線與工件之間放電狀態均勻且同時產生，則加工電源的供給能力為60V×29.41A=1.7kW，在線與工件之間放電狀態均勻且同時產生的線供給的總電流的變動幅度變大，用於控制總電流的加工電源的負荷增大。

說明圖10。

圖10是表示將對20條線一併供電的供電件排列配置的情況的圖。

該情況下的一個供電件的長度為6cm左右。

此時，在20條的所有線與工件之間放電狀態均勻且同時產生的情況下，當考慮Rmn求出供給至100條線的加工電流的總電流(最大)時，為(60V-30V)/((10Ω/20條)+0.02Ω)=57.69A，此時流過每條線的加工電流為2.8846A。

這樣，在從一個加工電源和一個供電件對20條線一併供電並在20條線與工件之間放電狀態均勻且同時產生的情況下，為60V×57.69A=3.4kW，與圖9的情況相比，不需要大的加工電源的供給能力，在線與工件之間放電狀態均勻且同時產生的線供給的總電流的變動幅度變小，用於控制總電流的加工電源的負荷降低。

當考慮發生加工電源的負荷側的電纜等短路的情況下的電氣保護時，針對加工電源的每個單元設為幾十A是適當的。流過每條線的電流的最大值能夠根據各線的電阻Rwn進行限制，因此，當流過一條線的電流例如設為3A時，如果使用供給至一個供電件的加工電源的供給電流為30A的加工電源的情況下，將一併供電的線的條數限制為10條以下，或者在使用供給電流60A的加工電源的情況下，將一併供電的線的條數限制為20條以下，就不會超過加工電源的供給能力。

因此，在對100條線進行供電的情況下，如果供給能力相等的加工電源設為5個單元或10個單元，並分別對應將供電件設置5個或10個，就能維持對加工電源的供給能力的關係(對每個供電件個別供給加工電源的加工電源部)。

說明圖11。

圖11是表示將對20條線一併供電的供電件排列配置的情況的圖。

在如圖10那樣排列配置供電件的情況下，導致在接近的(相鄰的)供電件之間形成間隙。藉由本發明的並列設置的線的間隔(間距)為0.3mm(300μm)左右，就不會產生在接近的供電件之間，供電至間隙移動的線之問題。因此，如果如圖11那樣將接近的供電件以未整列配置在與線移動的方向垂直的方向上，就能解決間隙的問題。

並且，如果將未整列配置的供電件的組件(set)重複整列配置在與線移動的方向垂直的方向上的話，就能擴大配置供電件，藉此產生的空間寬度變窄，不必在線表面上確保為了排列配置供電件所需的空間，因此能夠精巧的設計多線放電加工裝置。

說明圖12。

圖12是表示將對20條線一併供電的供電件排列配置的情況的圖。

在如圖11那樣排列配置供電件的情況下，對所配置的供電件彼此的間隔、位置要求高精度，在因劣化而需定期更換的供電件，在更換且重新配置的情況下非常麻煩。

藉由本發明，接近的兩個供電件重複接觸的線的條數可為任意條數，並且，即使將供電件配置成重複接觸的線的條數未定，也沒有特別問題。例如在配置100個供電件的情況下，不需要以高的位置精度均等的排列供電件，只要配置成一部分重疊，就能夠對所有線供電。詳細理由以圖13做說明。

另外，具備電源控制部，該電源控制部控制個別供給的加工電源使得供給至接近的兩個供電件的加工電源的脈衝相同。這是因為，如果不供給相同的脈衝，在重疊的部分與不重疊的部分之間會產生所施加的脈衝條件(時間等)的偏離，導致放電加工的條件不同。

說明圖13。

圖13示出配置成使接近的兩個供電件(A和B)與多條線中的一部分線重複接觸的情況。

如上所述，流過每條線的電流的最大值能夠根據各線的電阻Rwn進行限制，因此流過重複的線的Iw8+Iw1’的合計電流值與流過不重複的線的Iw7的單獨的電流值大致相等地流過，因此在重複的線與不重複的線中，工件的加工精度不會不均勻。

此外，藉由本發明的多線放電加工系統切割的半導體錠能夠用作半導體用的基板或太陽能電池用的基板。

2‧‧‧加工電源裝置

104‧‧‧供電件

Claims

一種線放電加工系統，針對以等間隔並列設置的線的間隔來切割工件的線放電加工系統，其具備：移動手段，使前述線向同一方向移動；以及供電件，對進行前述移動的前述線中的多條線一併供給加工電源；接近的兩個前述供電件分別與供給前述加工電源的多條前述線接觸，並未整列配置在與前述線所移動的方向垂直的方向。
請求項1所述的線放電加工系統，其中，前述兩個前述供電件配置成重複接觸到各別接觸的多條前述線中的一部分線。
請求項2所述的線放電加工系統，其中，前述供電件配置成前述兩個前述供電件重複接觸的前述線的條數未定。
請求項1~3中的任一項所述的線放電加工系統，其中，還具備加工電源部，該加工電源部針對每個前述供電件個別供給前述加工電源。
請求項4所述的線放電加工系統，其中，還具備電源控制部，該電源控制部控制前述加工電源使得供給至前述兩個供電件的前述加工電源的脈衝相同。
請求項1~5中的任一項所述的線放電加工系統，其中，前述供電件對前述移動的前述線中的30條以下的線一併供給前述加工電源。
請求項4~6中的任一項所述的線放電加工系統，其中，從前述加工電源部到前述供電件的電阻值小於從前述供電件到對前述工件放電的放電部的電阻值。
請求項3~7中的任一項所述的線放電加工系統，其中，從前述加工電源部到前述供電件的電壓下降小於從前述供電件到對前述工件放電的放電部的電壓降。
一種線放電加工方法，針對藉由線放電加工系統切割工件；該線放電加工系統，以等間隔並列設置的線的間隔切割前述工件，具備：移動手段，使前述線向同一方向移動；以及供電件，對進行前述移動的前述線中的多條線一併供給加工電源；接近的兩個前述供電件分別與供給前述加工電源的多條前述線接觸，並未整列配置成在與前述線所移動的方向垂直的方向。
一種工件，其為：藉由線放電加工系統被切割，該線放電加工系統以等間隔並列設置的線的間隔來切割前述工件，該線放電加工系統具備：移動手段，使前述線向同一方向移動；以及供電件，對進行前述移動的前述線中的多條線一併供給加工電源；接近的兩個前述供電件分別與供給前述加工電源的多條前述線接觸，並未整列配置在與前述線所移動的方向垂直的方向。