TW201345594A - 模組化過濾系統 - Google Patents

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Louis Barrows Jr
Christopher John Lowe
Ben Mai Pak Lee
Marc Laverdiere
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Abstract

本發明揭示一種使用可移除過濾器卡匣來過濾液體(其例如包含用於半導體製造中之液體)之模組化過濾系統。一過濾系統可包含：一可移除過濾器卡匣，其具有一過濾器入口埠及一過濾器出口埠；一過濾器卡匣固持器，其經組態以接納及保持該過濾器卡匣；及一主總成。該主總成可進一步包括經組態以接納該過濾器入口埠之一過濾器入口介面埠及經組態以接納該過濾器出口埠之一過濾器出口介面埠，且可界定流動路徑以以導引進出該過濾器卡匣之流動。該過濾器卡匣固持器可移動地耦合至該主總成，使得該過濾器卡匣可相對於該主總成而自一未配接位置移動至一配接位置。

Description

模組化過濾系統
本發明係關於過濾系統。更特定言之，本文所述之實施例係關於模組化過濾系統。甚至更特定言之，本文所述之實施例係關於用於過濾半導體製造流體之模組化過濾系統。
本申請案主張2011年10月3日申請之名稱為「Modular Filtration System」之美國臨時專利申請案第61/542,645號及2012年3月21日申請之名稱為「Modular Filtration System」之美國臨時專利申請案第61/613,886號之權利，茲以引用方式將其等全文併入本文。
半導體製程對污染高度敏感，此係因為即使一半導體晶圓上沈積一細小顆粒，亦可導致缺陷。因此，通常採用具有用於移除次微米顆粒之薄膜之超潔淨過濾器。雖然已開發不同過濾模組來過濾半導體製造液體，但諸多既有過濾器模組呈圓柱形，其具有含一單件式圓柱形槽池或套管(其中駐留過濾薄膜)之一殼體。此等過濾器通常含有環繞一中空芯體之一圓形褶皺過濾薄膜。流體自頂部進入過濾器模組以流動於過濾薄膜與殼體之間、穿過過濾薄膜而至中空芯體且自頂部離開模組。
既有圓柱形過濾器模組存在若干缺點。一缺點在於：圓形褶皺薄膜過度限制流體流動，此係因為薄膜必須朝向中心更緊密地聚攏以實現圓形組態。另一缺點在於：圓柱形 殼體係模製或擠出為單件以難以或無法添加垂直於圓柱體之軸而運行之幾何結構。此外，諸多既有過濾器模組難以安裝及更換。由於用於半導體製造中之諸多液體具腐蝕性或毒性，所以工作人員在更換過濾器模組時會有危險。
採用圓柱形過濾器之當前過濾系統具有受限可組態性。在諸多情況中，過濾器透過多個單元而連接成一固定組態以難以視需要將透過該等過濾器之流動自串接改為並行。另外，諸多過濾系統僅使用一單一類型之過濾器以限制不同用途或顆粒尺寸之不同過濾器應用於一單一過濾系統中之能力。
本發明係關於過濾系統及過濾器。特定實施例提供用於過濾半導體製造液體之過濾系統及過濾器。
根據一實施例，用於過濾液體之一過濾系統可包括：一非圓柱形之可移除過濾器卡匣，其具有一過濾器入口埠及一過濾器出口埠；一過濾器卡匣固持器，其經組態以接納及保持該過濾器卡匣；及一主總成。該主總成可進一步包括經組態以接納該過濾器入口埠之一過濾器入口介面埠及經組態以接納該過濾器出口埠之一過濾器出口介面埠，且可界定流動路徑以以導引進出該過濾器卡匣之流動。該過濾器卡匣固持器可移動地耦合至該主總成，使得該過濾器卡匣可相對於該主總成而自一未配接位置移動至一配接位置。
過濾系統可進一步包含一組過濾器卡匣接納區側壁，其 等至少部分界定一第一端處敞開以接納過濾器卡匣之一過濾器卡匣接納區。該等接納區側壁可經間隔以鄰接及支撐過濾器卡匣側壁。因此，需要更少材料來製造一次性過濾器。該過濾器卡匣接納區及過濾器卡匣可帶有鍵槽，使得過濾器卡匣具有相對於該卡匣接納區之一適當定向。根據一實施例，卡匣固持器進一步包括界定該過濾器卡匣接納區之一護套。該護套可與過濾卡匣之大部分重疊且允許過濾器卡匣透過線性運動而插入至該護套中。該護套可旋轉地耦合至主總成，使得過濾器卡匣可自未配接位置旋轉至配接位置。在未配接位置中，過濾器卡匣可向下傾斜遠離過濾器入口埠。根據另一實施例，可由一過濾器隔間總成界定該過濾器卡匣接納區。佈置於該過濾器隔間中之一過濾器卡匣固持器可耦合至一升降機且可使過濾器卡匣透過線性垂直運動而自一配接位置移動至一未配接位置。
根據一實施例，主總成進一步包括在過濾器卡匣固持器下方延伸之一基座部分，該基座部分耦合至過濾器入口介面埠。主總成可進一步包含懸掛於過濾器卡匣固持器上之一支撐臂，該支撐臂耦合至過濾器出口介面埠。主總成可進一步包括界定一第一軌道及一第二軌道之一引導構件。護套可包括佈置於該第一軌道中之一護套引導銷且該支撐臂可包括佈置於該第二軌道中之一支撐臂引導銷。該等第一及第二軌道可經塑形，使得該引導構件自一第一引導構件位置至一第二引導構件位置之旋轉導致過濾器入口埠在過濾器出口介面埠與過濾器出口埠配接之前與過濾器入口 介面埠配接。
另一實施例可包含用於過濾液體之一過濾系統，其包括：一組非圓柱形之可移除過濾器卡匣，其等具有一過濾器入口埠及一過濾器出口埠；一組過濾器卡匣固持器，其等經組態以將該過濾器卡匣組接納及保持於一組過濾器卡匣接納區中；及一主總成，其進一步包括經組態以接納該等過濾器入口埠之過濾器入口介面埠，及過濾器出口介面埠。該主總成可界定流動路徑以將流動物導引至該等過濾器卡匣及自該等過濾器卡匣導引流動物。各過濾器卡匣固持器可移動地耦合至該主總成，使得一對應過濾器卡匣可相對於該主總成而自一未配接位置獨立移動至一配接位置。根據一實施例，該等過濾器卡匣固持器可配置成一列。
因此，用於過濾液體之一過濾系統之一實施例可例如包括：一第一非圓柱形之可移除過濾器卡匣，其具有一過濾器入口埠及一過濾器出口埠；及一第二非圓柱形之可移除過濾器卡匣，其具有一過濾器入口埠及一過濾器出口埠。該過濾系統可進一步包含：一第一過濾器卡匣固持器，其經組態以接納及保持該第一過濾器卡匣；及一第二過濾器卡匣固持器，其經組態以接納及保持該第二過濾器卡匣。該過濾系統可進一步包含一主總成。該主總成可進一步包括：過濾器入口介面埠，其等經組態以接納該等過濾器入口埠；及過濾器出口介面埠，其等經組態以接納該等過濾器出口埠。該主總成可界定流動路徑以將流動物導引至該 等第一過濾器卡匣及第二過濾器卡匣及自該等第一過濾器卡匣及第二過濾器卡匣導引流動物。根據一實施例，該第一過濾器卡匣固持器可移動地耦合至該主總成，使得該第一過濾器卡匣可相對於該主總成而自一未配接位置移動至一配接位置。該第二過濾器卡匣固持器可移動地耦合至該主總成，使得該第二過濾器卡匣可相對於該主總成而自一未配接位置移動至一配接位置。該等第一及第二卡匣固持器可一起或獨立地移動。
各過濾器卡匣固持器可進一步包括界定一對應過濾器卡匣接納區之一護套。因此，例如，第一過濾器卡匣固持器可為界定一第一過濾器卡匣接納區之一第一護套且第二過濾器卡匣固持器可為界定一第二過濾器卡匣接納區之一第二護套。根據一實施例，各護套可旋轉地耦合至主總成，使得對應過濾器卡匣可自未配接位置旋轉至配接位置。當對應過濾器卡匣處於未配接位置時，對應過濾器卡匣可向下傾斜遠離過濾器入口埠。在另一實施例中，一組過濾器隔間可界定過濾器卡匣接納區(例如，一第一過濾器隔間總成可界定第一過濾器卡匣接納區且一第二過濾器隔間總成可界定第二過濾器卡匣接納區)。過濾器卡匣固持器可耦合至升降機以將線性垂直運動賦予過濾器卡匣固持器以使對應卡匣自一未配接位置移動至一配接位置(例如，一第一升降機可移動第一過濾器卡匣固持器且一第二升降機可移動第二過濾器卡匣固持器，或一單一升降機可移動第一與第二過濾器卡匣固持器兩者)。
主總成可進一步包括位於過濾器卡匣固持器組下方之一基座部分，該基座部分耦合至過濾器入口介面埠。主總成可進一步包括懸掛於過濾器卡匣固持器組上之一組支撐臂。該支撐臂組可耦合至過濾器出口介面埠。例如，一第一支撐臂可懸掛於第一過濾器卡匣固持器上且一第二支撐臂可懸掛於一第二過濾器卡匣固持器上。
主總成可進一步包括一組引導構件，各引導構件界定一第一軌道及一第二軌道。各護套可包括佈置於一對應引導構件之該第一軌道中之一護套引導銷且各支撐臂可包括佈置於一對應引導構件之該第二軌道中之一支撐臂引導銷。在一實施例中，一第一引導構件可界定一第一引導構件內軌道及一第一引導構件外軌道且一第二引導構件可界定一第二引導構件內軌道及一第二引導構件外軌道。一第一護套可包括佈置於該第一引導構件內軌道中之一第一護套引導銷，第一支撐臂可包括佈置於該第一引導構件外軌道中之一第一支撐臂引導銷，一第二護套可包括佈置於一第二引導構件內軌道中之一第二護套引導銷且一第二支撐臂可包括佈置於一第二引導構件外軌道中之一第二支撐臂引導銷。該等第一及第二軌道可經塑形，使得引導構件自一第一引導構件位置至一第二引導構件位置之旋轉導致一對應護套旋轉，以便在對應過濾器卡匣之過濾器出口介面埠與一對應過濾器出口埠配接之前使該對應過濾器卡匣之過濾器入口埠與一對應過濾器入口介面埠配接。
過濾器卡匣組可串接或並行連接。例如，一第一與第二 過濾器卡匣可串接或並行連接。主總成可包括一組可重組態之流動路徑，使得該等過濾器卡匣之連接方式可改變。
一過濾系統之另一實施例可包括一組壁，其界定具有筆直側壁之一過濾器隔間，該過濾器隔間之一第一端敞開以接納一非圓柱形過濾器卡匣。該等側壁可經間隔以在該過濾器卡匣被接納於該隔間中時鄰接過濾器卡匣側壁。該過濾系統可進一步包括一歧管，其包括佈置於該隔間上之一過濾器入口介面埠及一過濾器出口介面埠。該過濾系統亦可進一步包括一過濾器卡匣固持器，其經組態以接納及保持該非圓柱形過濾器卡匣。一升降機可耦合至該過濾器卡匣固持器，該升降機可操作以將線性垂直運動賦予該過濾器卡匣固持器以使該過濾器卡匣自一未配接位置移動至一配接位置。
一過濾系統之另一實施例可包含一主總成，其具有：一第一部分，其在一過濾區下方延伸，該第一部分包括一過濾器入口介面埠；及一第二部分，其與該第一部分間隔且在該過濾區上方延伸，該第二部分包括一過濾器出口介面埠且可圍繞一第一旋轉軸而相對於該第一部分旋轉。該過濾系統可進一步包括佈置於該過濾區中之一護套，該護套之一第一端敞開以接納具有一過濾器入口埠及一過濾器出口埠之一非圓柱形過濾器卡匣，該護套包括一組側壁，該等側壁經間隔以在該過濾器卡匣被接納於該護套中時鄰接該過濾器卡匣之側壁。該護套可相對於該主總成之該第一部分及該主總成之該第二部分旋轉。該護套可旋轉以使接 納於該護套中之該過濾器卡匣自與其中該過濾器入口埠未與該過濾器入口介面埠配接之一位置對應之一第一位置旋轉至其中該過濾器入口埠與該過濾器入口介面埠配接之一第二位置。再者，該主總成之該第二部分可自與其中該出口介面埠未與一過濾器出口埠配接之一位置對應之一第一位置旋轉至與其中該過濾器出口介面埠與該過濾器出口埠配接之一位置對應之一第二位置。
根據一實施例，一過濾器總成可包含不含一過濾器殻罩或芯體(非圓柱形)之一矩形過濾元件。該過濾元件可包含由主外殼直接約束之一相對脆弱薄膜。一薄膜蓋可將該薄膜固持於適當位置中。一過濾器殼體之四個側可結合或以其他方式耦合在一起以完全囊封該過濾元件。
一過濾器卡匣可包括一過濾器殼體，其具有界定一入口流動路徑之一過濾器入口及界定一出口流動路徑之與該過濾器入口間隔之一過濾器出口。該過濾器殼體可界定一過濾器空腔，其包括與該入口流體連通之該過濾器空腔之一上游部分及與該出口流體連通之該過濾器空腔之一下游部分。過濾元件可進一步包括佈置於該過濾器空腔中之一過濾元件。該過濾元件可與過濾元件之一第一側上之該過濾器入口至少部分重疊。該過濾元件可藉由一灌注材料而使該過濾器空腔之該上游部分與該過濾器空腔之該下游部分分離。該過濾元件可包括含一組褶皺之一矩形褶皺過濾器，該等褶皺具有位於該過濾元件之一上游側上之一第一組褶皺尖端及位於該褶皺過濾器之一下游側上之一第二組 褶皺尖端。該第一組褶皺尖端與該過濾器空腔之該上游部分形成一大體上平坦之矩形入口介面。該第二組褶皺尖端可與該過濾器空腔之該下游部分形成一大體上平坦之矩形出口介面。該過濾元件可佈置於一移位平行四邊形過濾器固持區中。
過濾器卡匣可包含佈置於入口與過濾元件之間之一流動物導件，該流動物導件經組態以將流動物自入口導引至一上游側壁。過濾器卡匣可進一步包含至少部分界定過濾元件固持區之一過濾器蓋。過濾元件之一第一薄膜瓣及一第二薄膜瓣可保持於過濾器蓋與過濾器殼體之間。灌注材料可密封過濾元件之一第一端及過濾元件之一第二端。
可由以下各者至少部分界定過濾器空腔：一上游側壁；一下游側壁，其與該上游側壁間隔；一第三壁，其自該上游側壁運行至該下游側壁；及一第四壁，其自該上游側壁運行至該下游側壁且與該第三壁間隔。過濾元件可移位朝向該上游側壁，使得過濾元件與該上游側壁之間之一距離沿自該第三壁至該第四壁之一方向減小。過濾器入口可經由該第三壁而與過濾器空腔介接且出口可經由該第四壁而與過濾器空腔介接。可由一第五壁及一第六壁進一步界定過濾器空腔。入口可經由該第五壁而與過濾器空腔介接且出口可經由該第六壁而與過濾器空腔介接。
過濾器空腔之上游部分可經塑形，使得過濾器空腔之上游部分具有遠離過濾器入口而減小之一液壓直徑且過濾器空腔之下游部分經塑形以具有朝向出口而增大之一液壓直 徑。
另一實施例可包含一過濾器殼體，其具有界定一垂直入口流動路徑之一過濾器入口及與該過濾器入口間隔之一過濾器出口，該過濾器出口界定一垂直出口流動路徑。該過濾器殼體可包括一上游側壁及一下游側壁，且界定具有與該過濾器入口流體連通之一上游部分及與該出口流體連通之一下游部分之一過濾器空腔。一過濾元件可佈置於該過濾器空腔中。該過濾元件可經灌注且使該過濾器空腔之該上游部分與該過濾器空腔之該下游部分分離。該過濾元件可包括含一組褶皺之一矩形褶皺過濾器，該等褶皺具有位於該過濾元件之一上游側上之一第一組褶皺尖端及位於該過濾元件之一下游側上之一第二組褶皺尖端。該褶皺過濾器係佈置於一移位平行四邊形過濾器固持區中。一實施例可進一步包含一流動物導件以將流動物自該入口導引至該上游側壁。該褶皺過濾器本身可充當該流動物導件或該流動物導件可佈置於該過濾元件與該入口之間。
又一實施例可包括用於過濾一液體之一方法。該方法可包含沿一第一方向透過界定之一入口流動路徑之一入口而將液體接納至一過濾器空腔之一上游部分中。該方法可進一步包含使用一流動物導件來沿一第二方向將該液體重新導引至一過濾元件之一上游側上之一上游側壁。該方法可進一步包含使一過濾元件濕潤，該過濾元件包括含一組褶皺之一褶皺過濾器，該等褶皺具有位於該過濾元件之一上游側上之一第一組褶皺尖端及位於該過濾元件之一下游側 上之一第二組褶皺尖端。流體可透過該過濾元件而導引至該過濾器空腔之一下游部分以提供正常流過濾，且導引至與該過濾器空腔之該上游部分流體耦合之一出口。
另一實施例可包含一過濾器殼體，其具有界定一垂直入口流動路徑之一入口及界定一垂直出口流動路徑之與該入口間隔之一出口。該過濾器殼體可包括一上游側壁及一下游側壁，且可界定具有與該入口流體連通之一上游部分及與該出口流體連通之一下游部分之一過濾器空腔。該過濾器空腔之該上游部分包括鄰近於該上游側壁之一第一部分及將該入口流體耦合至該上游部分之該第一部分之一第二部分。一過濾元件可佈置於該過濾器空腔中以與該過濾元件之一第一側上之該入口至少部分重疊。該過濾元件可使該過濾器空腔之該上游部分與該過濾器空腔之該下游部分分離。該過濾元件進一步包括含一組褶皺之一褶皺過濾器，該等褶皺具有位於該過濾元件之一上游側上之一第一組褶皺尖端及位於該過濾元件之一下游側上之一第二組褶皺尖端，其中該第一組褶皺尖端與該過濾器空腔之該上游部分形成一大體上平坦之矩形入口介面。
在諸多當前過濾系統中，一單一過濾器負責過濾整個流體流。因此，基於待過濾之最細小顆粒尺寸而選擇所使用之過濾器。此意謂：使用一細小粒度(通常較昂貴)之過濾器來過濾大顆粒與小顆粒兩者以導致過度磨損。本文所述之過濾系統之實施例允許串接過濾以提供相較於其中使用一單一過濾器之傳統過濾系統之一優點。在最新過濾器之 前，可使用其他可能較便宜之過濾器來預先濾除較大顆粒。此可導致劣化減少或擴展最終過濾器之性能。
作為另一優點，諸多製造者使用遍及一製造系統而分佈之過濾系統(例如位於進入點處、底層地板中、製造工具處)。允許在一單一過濾單元中進行串接過濾之一過濾系統可無需多個分離過濾系統且允許全部過濾發生在製造系統中之一單一點處。
本文所述之實施例可藉由利用一矩形褶皺封裝而減少或消除與圓形過濾器關聯之問題。對於矩形褶皺封裝，褶皺封裝密度在整個器件中保持均勻以使過濾面積之有效性最大化。對於具有相同過濾面積之器件，一矩形褶皺封裝將如同其具有比一圓形褶皺薄膜更大之過濾面積一樣執行。
作為另一優點，一矩形褶皺封裝一般允許其褶皺高於一圓形過濾器濾筒之褶皺。因此，該矩形褶皺封裝可更佳地填充一體積且提供比一圓形褶皺封裝更均勻之一形狀，藉此減小一矩形褶皺封裝器件之包封尺寸。
作為另一優點，本文所述之一實施例提供一殼體，其沿器件之長度分裂(沿與褶皺相同之方向運行)以允許產生垂直於褶皺方向之幾何結構，諸如肋件(具有流動空間)。此提供直接位於外殼/殼體中之褶皺封裝支撐件以無需具有一分離殻罩以支撐褶皺封裝之外部幾何結構。
包含伴隨及形成本說明書之部分之圖式以描繪本發明之某些態樣。應注意，圖式中所繪示之特徵未必按比例繪 製。可藉由參考結合附圖之以下描述而更完全地理解本發明及其優點，附圖中之相同元件符號指示相同特徵。
參考附圖中所繪示及以下描述中所詳述之非限制性實施例而更完全地解釋過濾器、過濾系統及其各種特徵與有利細節。省略熟知起始材料、處理技術、組件及設備之描述以便不會不必要地使本發明之細節不清楚。然而，應瞭解，詳細描述及特定實例在指示較佳實施例時僅以繪示方式給出，而非以限制方式給出。熟習技術者將自本發明明白落在潛在概念之精神及/或範疇內之各種取代、修改、添加及/或重新配置。
本文所述之實施例係關於用於過濾液體之過濾系統。特定言之，本文所述之實施例提供用於過濾半導體製程流體(其包含用於濕式蝕刻及清潔應用中之化學品)之過濾系統。例如，實施例可應用於過濾光微影處理中之化學品(光化學品)。光化學品包含諸如以下各者之材料：底漆、黏著促進劑、光阻劑、邊珠去除劑、抗反射塗層、顯影劑、介電質等等。可在使用點(POU)、底層地板或其他位置處過濾化學品。
根據一實施例，一過濾系統可視需要使用具有入口埠、出口埠及通風埠之一或多個非圓柱形之可移除過濾器卡匣。一主總成提供流體流動路徑以將流體供給至過濾器卡匣中及自過濾器卡匣向外供給流體。該過濾系統之該等流體流動路徑可重組態，使得流體可以不同方式(例如並行、串接或以上兩者之一組合)提供至過濾器卡匣。使用 垂直運動或一傾覆/傾斜機構，可以使得化學品滴液被減少或消除之一方式安裝及移除過濾器卡匣。
根據一實施例，可使用無O形環之接頭及接頭總成(如Gashgaee等人於2009年6月16日發表之名稱為「O-Ring-Less Low Profile Fittings and Fitting Assemblies」之美國專利第7,547,049號中所述，該專利之全文以引用方式併入本文中)或其他連接機構來將過濾器與主總成接合。在其他實施例中，過濾器可使用一連接機構，使得埠可透過旋轉而連接，諸如以下專利中所述：2002年4月30日發表之名稱為「Connector Apparatus and System Including Connector Apparatus」之美國專利第6,378,907號、2006年4月4日發表之名稱為「Connector Apparatus and System Including Connector Apparatus」之美國專利第7,021,667號、2007年11月20日發表之名稱為「Method and System for Purging a Dispensed Fluid Within a Fluid Dispensing System Including a Filter-Free Connector Apparatus」之美國專利第7,296,582號、2008年4月1日發表之名稱為「Method and System for Purging a Dispensed Fluid with a Fluid Dispensing System Including A Filter-Free Connector Apparatus」之美國專利第7,350,821號、2006年5月2日發表之名稱為「Connector Apparatus and System Including Connector Apparatus」之美國專利第7,037,424號，該等專利之各者之全文以引用方式併入本文中。
過濾器卡匣可經組態以提供正常流過濾(NFF)，其中流 體在施加壓力下直接對流朝向過濾薄膜。因過大而無法穿過薄膜之微孔之顆粒累積於薄膜表面處或深度過濾介質中，而小分子穿過薄膜微孔而至下游側。根據一實施例，過濾器卡匣可經選擇以移除微米級及/或次微米級顆粒(其例如包含100奈米或更小之顆粒)。多個過濾器可串接地應用於一單一過濾系統單元中以連續地移除較小顆粒或不同類型之顆粒。最精細過濾器可放置於串接列之最後處，使得較大顆粒在到達最後過濾器之前已被濾除。此可減少對最精細(通常最昂貴)過濾器之磨損。
在一實施例中，過濾器卡匣使用非圓形褶皺過濾元件。例如，一實施例可包含一褶皺過濾器，其具有面向過濾器空腔之上游部分之一第一組褶皺尖端及面向過濾器空腔之下游部分之一第二組褶皺尖端。該第一組褶皺尖端可大體上配置於一第一平面中且該第二組褶皺尖端可大體上配置於一第二平面中。根據一實施例，該過濾元件可提供一大體上平坦之矩形入口介面及一大體上平坦之矩形出口介面。矩形褶皺封裝之使用可提供與傳統半導體液體過濾器相同之佔用面積中之可觀額外過濾。
圖1係一過濾器總成100之一實施例之一圖形表示，其具有界定一過濾器空腔110之一過濾器殼體105，佈置於過濾器空腔110中之一過濾元件125將過濾器空腔110分成一上游部分115及一下游部分120。過濾元件125可為任何適合過濾介質，其包含(但不限於)褶皺過濾器、深度過濾器、中空纖維薄膜或其他過濾器。在一實施例中，過濾元件 125包括一矩形褶皺封裝。可由一單一薄膜或多個薄膜(其等由相同或不同材料形成)形成過濾器之褶皺。另外，聚合結網材料及其他材料可使薄膜起褶皺。
一過濾器入口埠130係位於過濾元件125之上游且一過濾器出口埠135係位於過濾元件125之下游(自運行通過過濾器之一流體流之觀點)。過濾器通風埠(例如過濾器通風埠140)可位於過濾元件125之上游及/或下游。根據一實施例，過濾器入口埠130界定一垂直向上之入口流動路徑，過濾器出口埠135界定一垂直向上之出口流動路徑，且過濾器通風埠140界定一垂直向上之通風流動路徑。較佳地，過濾器通風埠140在可行之最高點處通向過濾器空腔之上游部分115，使得上游部分115中之任何氣體自然地升高至過濾器通風埠140。類似地，可提供一出口通風埠，其較佳地在可行之最高點處通向過濾器空腔之下游部分120，使得下游部分120中之任何氣體自然地升高至通風埠140。若未提供一下游通風埠，則可較佳地在可行之最高位置處具有出口埠，使得出口側上之全部空氣在啟動時被清除且不駐留或收集於過濾器中。通風埠可流體耦合至閥。
可用比流體之驅動壓力更大之一致動壓力來壓力致動通風埠(或歧管中之對應埠)。亦可使用手動閥。例如，過濾器或歧管可包含閥(諸如提升閥或其他閥)，使得氣體僅在其超過一特定壓力(例如，比過濾器總成100之預期操作壓力高出5 psi)或體積時被排出。埠可包括購自Billerica,MA 之Entegris公司之Connectology連接、Swagelok接頭或能夠流體密封之其他連接。
過濾元件125之一褶皺區可覆蓋過濾器入口埠130、過濾器出口埠135及/或(若干)過濾器通風埠140以將埠地放置於一覆蓋區中。然而，若進入過濾器總成100之流體之流量係足夠的，則直接撞擊過濾元件125之流體流會損害過濾元件125。相應地，佈置於過濾元件125與入口之間之一流動物導件150(例如折流板、管道或其他導流結構)可阻止沿入口之軸之流動且將流動物重新導引朝向上游側壁155。雖然流動物導件150係繪示為大體上垂直於過濾器入口埠130之軸而延伸，但流動物導件150可配置成其他角度。在其他實施例中，流動物可足夠少或過濾元件125足夠耐用以在無需流動物導件150之情況下將流動物導引至上游側壁155。
可由相對於過濾元件125之材料而更親近或更疏遠之一材料形成過濾器空腔110之內表面。在一實施例中，可由一材料形成過濾器殼體105，使得側壁155比過濾元件125更親氣(或換言之，過濾元件125可經選擇以比殼體材料更疏氣)以促進氣體對側壁155之親和性。舉例而言(但非限制)，殼體材料與過濾元件125之間之表面能之差值可大於每平方公分10達因(10 dyne/cm2)。因此，過濾元件125與側壁155之間存在一表面能梯度。因此，當流體沖刷側壁155且填充上游部分115時，該流體中之氣體將被吸附至側壁155。因此，氣體更可能升高至過濾器通風埠140，而非 穿過過濾元件125。一類似現象可發生在下游部分120中。
在操作中，過濾器總成100提供正常流過濾(NFF)。流體沿一大體向上方向進入過濾器入口埠130且被導引至過濾器空腔之一上游側壁155。當上游部分115中之壓力增大時，流體流動通過過濾元件125而至下游部分120。在一實施例中，通過過濾元件125之流體之主流動路徑可大體上垂直於通過過濾器入口埠130之流動路徑。過濾器空腔110可經組態以促進整個器件內之均勻或接近均勻之流動以完全清掃過濾器(例如最小化或消除死角)且最小化壓力損失效應。
根據一實施例，過濾器空腔110可經塑形以維持上游部分115及/或下游部分120中之流體體積與液壓直徑(液壓直徑為在論述沿非圓形管及通道之流動時此項技術中已知之一術語且由DH=4 A/P界定，其中A為橫截面面積且P為橫截面之潤周)之比率。在另一實施例中，比率不被維持，但在流體體積增大之區中液壓直徑增大。在其他實施例中，上游部分115及/或下游部分120之液壓直徑保持恆定。較佳地，過濾器入口埠130接近處之上游部分115之液壓直徑大於或等於過濾器入口埠130之液壓直徑。此外，上游部分115經較佳地塑形，使得上游部分115之液壓直徑隨其遠離過濾器入口埠130而減小。類似地，下游部分120之液壓直徑較佳地逐漸增大以等於或大於過濾器出口埠135之液壓直徑。一般而言，過濾器殼體可經設計，使得過濾器殼體不會成為一限制因素以便使流動通過過濾器之流體損失 少於流動通過接頭之流體損失。
圖2A至圖2C係配置為一非圓柱形過濾器卡匣之一過濾器總成之一實施例之圖形表示。為解釋之目的，過濾器卡匣具有一第一端165(被稱為「前部」)、一第二端(被稱為「後部」)170、一頂部175、一底部180、一第一側185及一第二側190。在所繪示實施例中，該過濾器總成之長軸為自第一端165運行至第二端170之一水平軸。
過濾器殼體105可由多個殼體部分組成。例如，在圖2A至圖2C中，由一主外殼195、一側蓋200、一前端蓋210及一後端蓋215形成殼體105。可藉由音波結合、焊接、黏著劑、機械緊固件或根據任何適合耦合方案而接合過濾器殼體105之各種部分。根據一實施例，過濾器殼體之一主結合縫220沿長軸自過濾器殼體105之前部運行至後部。
圖2A至圖2C進一步繪示殼體105之底部上之過濾器入口埠130、殼體105之頂部上之過濾器出口埠135及過濾器殼體105之頂部上之過濾器通風埠140(該等埠位於前端165逼近處)。根據一實施例，各種埠可儘可能遠離過濾器卡匣之前部，同時仍允許組件之間之結合。在其他實施例中，該等埠可以其他方式配置(例如，其中一或多個埠位於過濾器卡匣之中心或後端附近)。在一實施例中，埠130及135之開口之中心線可位於卡匣之最寬部分處。自卡匣內之一流體流之觀點，過濾器入口埠130之開口可位於過濾器空腔之最低點處且埠135及140之開口可位於過濾器空腔之最高點處。
參考圖2B至圖2C，假定：內腔之形狀與過濾器卡匣之外部形狀大致相同。卡匣之形狀可經選擇，使得內腔之上游及下游部分之寬度及/或高度隨其遠離各自埠而減小。內腔之上游部分至過濾器入口埠130之前部之一區段(上游部分之「前區段」(指示為225))之高度及/或寬度可減小，此係因為在區段225中側壁155向內漸縮及/或頂壁向下漸縮及/或底壁自後部向上漸縮至前部。內腔之上游部分至入口埠之後部之一區段(上游部分之「後區段」(指示為230))之高度及/或寬度亦可隨其遠離過濾器入口埠130而減小，此係因為在後區段230中側壁155向內漸縮及/或頂壁向下漸縮及/或底壁自前部向上漸縮至後部。因此，過濾器空腔之上游部分之液壓直徑隨其遠離過濾器入口埠130而減小。類似地，內腔之下游部分至出口埠之前部之一區段(下游部分之「前區段」(指示為240))之高度及/或寬度可減小，此係因為在區段240中下游側壁235向內漸縮及/或頂壁向下漸縮及/或底壁自過濾器出口埠135向上漸縮至前部。內腔之下游部分至入口埠之後部之一區段(下游部分之「後區段」(指示為245))之高度及/或寬度亦可隨其遠離過濾器出口埠135而減小，此係因為在後區段245處壁235向內漸縮及/或頂部向下漸縮及/或底部自前部向上漸縮至後部。因此，過濾器空腔之下游部分之液壓直徑可隨其逼近過濾器出口埠135而增大。
亦如圖2B至圖2C中所繪示，過濾器殼體105可視情況包含有助於結合或以其他方式組裝過濾器殼體105之特徵。 舉例而言(但非限制)，過濾器殼體105可包含諸如特徵250(其自頂面延伸)及特徵255(其自底面延伸)之特徵以提供用於鎖定過濾器蓋及過濾薄膜(下文中加以論述)之額外區。此等特徵亦可有助於對準且充當導軌以對準接納卡匣之一系統中之卡匣。亦可提供其他或替代對準特徵以將過濾器總成插入至一過濾系統中。
圖3係一過濾器總成之一實施例之一分解圖。主外殼195、側蓋200、前端蓋210及後端蓋215形成一過濾器殼體，該過濾器殼體具有其中佈置過濾元件125之一內腔。一過濾器蓋260係耦合至該殼體以在施加流體壓力時將過濾元件125保持在適當位置中。
在圖3之實施例中，過濾元件125為一矩形褶皺封裝，其中過濾薄膜係平行於過濾器殼體之長軸而褶皺。該褶皺封裝包含面向過濾器空腔之上游部分之一第一組褶皺尖端127及面向過濾器空腔之下游部分之一第二組褶皺尖端129。該第一組褶皺尖端係大體上配置於一上游平面中且該第二組褶皺尖端係大體上配置於一下游平面中。該褶皺封裝與過濾器空腔之上游部分形成一大體上呈矩形之介面且與過濾器空腔之下游部分形成一大體上呈矩形之介面。
圖4A至圖4C係主外殼195之一實施例之圖形表示。主外殼195可包含一頂壁部分270、一底壁部分275及自主外殼195之一第一端運行至主外殼195之一第二端之一側壁155。根據一實施例，頂壁部分270與底壁部分275兩者沿側壁155之長度運行。底壁部分275相較於頂壁部分270而 進一步延伸，如沿垂直於側壁155之一軸所量測(例如參考圖2A，底璧部分275相較於頂壁部分270而自第一側185進一步延伸朝向第二側190)(但底壁部分275及頂壁部分270可沿相對於側壁155之角度(直角除外)延伸)。
頂壁部分270及底壁部分275可相對於多個軸傾斜。例如，頂壁部分270可相對於兩個軸成角度：自過濾器通風埠140向下至主外殼195之後端；及自側壁155向上至邊緣277。底壁部分275可自過濾器入口埠130向上傾斜至後端，使得主外殼195在過濾器通風埠140處之高度大於其在後端處之高度。底壁部分275亦可自側壁155向下傾斜至邊緣279。
主外殼195可包含諸多肋件。在所繪示實例中，主外殼195包含端部肋件2801及2802、底部肋件2901至290n、頂部肋件2951至295n及中間肋件3001至300n。各肋件可包含一底部偏移部分、一側壁偏移部分及一頂部偏移部分之一或多者。例如，肋件290可大體上呈L形，其中一底部偏移部分305自底壁部分275延伸一第一高度且一側壁偏移部分310沿側壁155延伸比該第一高度更大之一第二高度。在一實施例中，底部偏移部分305自壁155橫跨內腔之底部而延伸垂直於內腔之長度(或與該長度成另一角度)之一第一距離，且側壁偏移部分310自側壁155朝向內腔延伸比底部偏移部分305之該第一距離更小之一距離。底部偏移部分305可充當與內腔之底面隔開之一薄膜且側壁偏移部分310可充當與側壁155隔開之一褶皺。側壁偏移部分310可經漸 縮，使得側壁偏移部分310至側壁155之距離隨其朝向頂部而減小，藉此減小自底部至頂部之內腔之上游部分之面積。
頂部肋件295亦可大體上呈L形，其中一頂部偏移部分315自頂壁部分270延伸一第一深度且側壁155接近處之一側壁偏移部分320延伸比該第一深度更大之一第二深度。在一實施例中，頂部偏移部分315自側壁155橫跨內腔之頂部而延伸垂直於內腔之長度(或與該長度成另一角度)之一第一距離，且側壁偏移部分320自側壁155朝向內腔延伸比頂部偏移部分315之該第一距離更小之一距離。頂部偏移部分315可充當與內腔之頂面隔開之一薄膜且側壁偏移部分320可充當與隔開側壁155之一褶皺。側壁偏移部分320可經漸縮，使得側壁偏移部分320至側壁155之距離隨其朝向頂部而減小。
根據一實施例，底部肋件290之高度經選擇，使得在安裝過濾器卡匣時底部偏移部分305之上邊緣彼此等高。當過濾器卡匣處於一完全安裝位置(例如，其中過濾器入口埠130垂直對準)時，交替底部肋件之側壁偏移部分310之頂端亦可彼此等高。例如，肋件290之底部偏移部分305之上邊緣位於一第一平面中，一第一組交替底部肋件290之側壁偏移部分310之上邊緣位於一第二平面中，且一第二組交替底部肋件290之側壁偏移部分310之上邊緣位於一第三平面中。因此，當安裝過濾器時，各肋件2901至290n之底部偏移部分305之頂部將處於相同液面高度，第一組交 替底部肋件290(例如肋件2902、2904等等)之側壁偏移部分310之頂部將處於彼此相同之液面高度，且一第二組底部肋件(例如肋件2903、2905等等)之側壁偏移部分310之頂部將處於彼此相同之液面高度。
類似地，當安裝過濾器卡匣時，交替頂部肋件295之頂部偏移部分315之下邊緣可彼此等高且交替頂部肋件295之側壁偏移部分320之下邊緣亦可彼此等高。例如，肋件295之頂部偏移部分315之下邊緣可位於一第四平面中，一第一組頂部肋件295之側壁偏移部分320之下邊緣可位於一第五平面中，且一第二組交替頂部肋件之側壁偏移部分320之下邊緣可位於一第六平面中。當過濾器卡匣處於一完全安裝之操作位置(例如，其中過濾器入口埠130垂直對準)時，第一、第二、第三、第四、第五及第六平面可為平行水平面。在其他實施例中，肋件可在各種平面中以其他方式間隔及/或對準以提供過濾器支撐及殼體強度且最小化流量/壓力損失。
主外殼195可進一步包括一組中間肋件3001至300n，其等與交替之頂部及底部肋件對準且自側壁155向內突出以提供側壁偏移量。中間肋件300之向內突出距離可沿肋件自底部減小至頂部。交替之頂部肋件295及底部肋件290可與中間肋件300垂直對準。根據一實施例，一中間肋件300之長度經選擇，使得該中間肋件之上端與相鄰之交替頂部肋件295之側壁偏移部分320部分重疊且該中間肋件之下端與相鄰之交替底部肋件290之側壁偏移部分310部分重疊。例 如，肋件3001之上端與肋件2951及2953之側壁偏移部分320部分重疊且肋件3001之下端與底部肋件2901及2903之側壁偏移部分310之頂部部分重疊。換言之，在一實施例中，中間肋件之垂直長度大於圖4B中所繪示之第二與第五平面之間之垂直距離。
相鄰肋件之間之空間與過濾元件(或流動物導件150(圖中未展示))之底部一起形成通道。例如，相鄰肋件2901與2902之間之區形成通向過濾器入口之流動通道3252。當過濾元件處於適當位置中且流體被引入至過濾器空腔中時，該流體將沿流動通道行進。在所展示實例中，流體將沿內腔之底部填充流動通道3252且接著沿流動通道3252向上行進至側壁155，直至其溢過肋件2902，此時該流體將流入至相鄰通道3253中。流體將繼續填充通道3252及3253，直至該流體溢過肋件2901及2903以開始填充流動通道3251及3254。此程序可繼續，直至流體填充通道325n。肋件組態有助於確保：流體沿側壁155迂迴前進以增大氣泡被吸附至側壁155且向上流動之可能性。此外，肋件組態有助於沿側壁155之長度分配流體以促進過濾元件之均勻濕潤。
圖4B進一步繪示：頂部部分270與底部部分275可遠離過濾器入口埠130而朝向彼此漸縮。圖4C進一步繪示：主外殼195可經塑形，使得過濾器卡匣或過濾器空腔之至少上游部分在過濾器通風埠140之中心線處最寬且朝向前端及/或後端向內漸縮。在所繪示實施例中，漸縮恰好開始於過濾器入口埠130處。因此，過濾器空腔之液壓直徑可隨其 遠離過濾器入口埠130而減小以有助於減小或消除死角。此外，在所展示實施例中，過濾器通風埠140係通向過濾器空腔中之最高點。其他實施例可包含非漸縮部分及漸縮部分。
圖5A及圖5B係側蓋200之一實施例之圖形表示。側蓋200可包含沿側蓋200之長度運行之接合邊緣327及329，其等可接合至主外殼195之邊緣277及279(參閱圖4A)以產生平行於過濾器褶皺折疊之一縫。側蓋200可包含一頂壁部分335、一底壁部分340及一側壁235。側蓋200可經塑形，使得卡匣之最寬部分或內腔之下游部分之至少最寬部分與過濾器出口埠135之中心線重合。此外，側蓋200可經塑形，使得內腔之下游部分之前區段之面積自出口埠向前減小及/或內腔之下游部分之後區段之面積自過濾器出口埠135向後減小。例如，頂壁部分335可自過濾器出口埠135向後向下漸縮。頂壁部分335亦可自過濾器出口埠135向前向下漸縮。類似地，底壁部分340可自過濾器出口埠135向後向上傾斜且自過濾器出口埠135向前向上傾斜。側壁235亦可自過濾器出口埠135向後向內漸縮且自過濾器出口埠135向前向內漸縮。
在圖5A之實施例中，側蓋200經塑形，使得頂壁部分335自過濾器出口埠135向後向下傾斜且底壁部分340自過濾器出口埠135向後向上漸縮。側壁235經塑形，使得側壁235之頂部外邊緣350沿一曲線自過濾器出口埠135向後向內漸縮。然而，側壁235之底部外邊緣355不向內漸縮或向內漸 縮程度不及頂部邊緣327以給予側壁235一「扭曲」輪廓。根據一實施例，扭曲可經選擇以產生自過濾器出口埠135至過濾器卡匣之端部之橫截面積或液壓直徑之一線性或其他所要變化。提供底部邊緣329處之減小漸縮或無漸縮以維持材料接近於邊緣329與邊緣279之間之接合縫(參閱圖4A)。該形狀亦有助於確保：過濾器卡匣僅可沿一適當定向插入至一過濾系統中。然而，在其他實施例中，可使用其他側壁形狀。
圖5B繪示側蓋200之一實施例之另一視圖。圖5B之箭頭繪示：流體大體上流動至過濾器出口埠135。根據一實施例，側蓋200經塑形以促進過濾器空腔之下游部分中之更均勻流速。側蓋200可包含有助於流動物直接至過濾器出口埠135之肋件或其他特徵。
圖6係過濾器蓋260之一實施例之一圖形表示。過濾器蓋260可經組態以將一過濾元件維持於適當位置中，同時允許流動。根據一實施例，過濾器蓋260可包括一外框架，其具有一上構件360、一下構件365、一前端構件370及一後端構件375(前端構件370及後端構件375跨越於上構件360與下構件365之間)。上構件360及下構件365可包含允許將過濾器蓋260耦合至過濾器卡匣之剩餘部分之特徵。例如，如下所論述，過濾器蓋260可包含以搭扣配合方式連接至主外殼之一榫槽(tongue and groove)特徵。過濾器蓋260可經組態，使得上構件360之一第一側含有與頂部肋件295之尖端接觸之一接觸表面且下構件365包含與底部肋 件290之尖端接觸之一接觸表面。
過濾器蓋260亦可包含跨越於上構件360與下構件365之間之中間間隔構件380。一支撐構件385可提供額外支撐給間隔構件380。較佳地，中間構件380或其他截留結構足夠結實以抵著主外殼之肋件而固持過濾元件。側蓋亦可包含與中間構件380接觸之肋件以提供額外支撐。中間構件380可向上及向前地成角度以允許側蓋上之此等肋件充當導流器件以將進入內腔之下游部分之流動物導引至過濾器出口埠。在其他實施例中，過濾器蓋260可包含網孔或其他結構性元件以維持過濾元件，同時允許流動。
圖7係一過濾器總成之一實施例之一圖形表示，其具有主外殼195、過濾元件125及過濾器蓋260。底部偏移、側壁偏移及頂部偏移分別自過濾器空腔之底部、上游及頂部抵抗過濾元件。過濾器蓋260自過濾器空腔之一第一端運行至過濾器空腔之一第二端且可朝向側壁155成角度。當自過濾元件125之上游施加壓力時，過濾器蓋260將過濾元件125固持於適當位置中。
根據一實施例，過濾器蓋260與主外殼195可協作以提供一移位平行四邊形之過濾元件固持區。過濾器蓋260可自底部至頂部地朝向上游側壁155成角度，且由自上游側壁155向內突出之肋件提供之側壁偏移可自底部至頂部地朝向側壁漸縮。過濾器蓋260之角度可匹配肋件之漸縮角。過濾器蓋260可抵著肋件而推動過濾元件125，其中第一(上游)組褶皺尖端鄰接肋件。在上游側上，肋件允許過濾 元件125被固持住，且無需一額外過濾元件固持器/殻罩。在此組態中，一矩形褶皺封裝將變成一移位矩形，其中過濾元件125之上游側上之褶皺尖端大體上配置於由肋件界定之一第一平面中且過濾元件之下游側上之褶皺尖端大體上配置於由過濾器蓋260界定之一第二平面中。該移位平行四邊形(例如稜形或長稜形)之過濾元件固持區提供若干益處。首先，使該褶皺封裝移位可允許空間放置過濾器出口埠，且不會佔用過多水平空間。其次，該褶皺封裝充當結構之部分以減小液壓直徑(線性地或以其他方式)。
根據一實施例，肋件之底部偏移部分305可具有一漸縮尖端部分400，其自頂部至底部地遠離過濾器蓋260而成角度以產生一排放通道405。排放通道405可與底部肋件290(圖4B中所繪示)之間流動通道交叉連接。當將流體引入至過濾器入口埠130時，其除可沿流動通道3252(圖4B)流動(如上所論述)以外，亦可透過排放通道405而自過濾器入口埠130流動至相鄰流動通道。較佳地，過濾器入口埠130之液壓直徑小於或等於過濾器入口埠130處之通道3252與排放通道405之液壓直徑(沿兩個方向)之總和。
根據一實施例，通向過濾器入口埠130之開口與排放通道405部分重疊(參閱圖4A)。當自過濾器入口埠130移除壓力時，餘留於卡匣中之流體可流動至排放通道405，此係因為內腔之上游部分之底面可朝向排放通道405向下傾斜(自側壁155至排放通道405)。排放通道405中之流體可流動至過濾器入口埠130，此係因為內腔之底面朝向過濾器入 口埠130傾斜(例如以上參考圖4A及圖4B所論述)。
類似地，頂部偏移部分315可含有一尖端部分408，其自底部至頂部地遠離過濾器蓋260成角度以形成一通風通道410。通風通道410可與上肋件295(圖4B中所繪示)之間之流動通道交叉連接。較佳地，通向過濾器通風埠140之開口與通風通道410部分重疊。當過濾器卡匣受壓時，氣體可流動至通風通道410，此係因為內腔之上游部分之上表面可朝向通風通道410向上傾斜。接著，氣體可沿通風通道410向上流動至過濾器通風埠140，此係因為通風通道410朝向過濾器通風埠140傾斜(例如以上參考圖4A及圖4B所論述，上表面可朝向過濾器通風埠140向上傾斜)。
使用搭扣配合、干涉配合、音波結合或根據任何適合耦合機構，過濾器蓋260可耦合至主外殼195。根據一實施例，主外殼195可包含下耦合部分420及上耦合部分425以將過濾器蓋260耦合至主外殼195。耦合部分420界定沿主外殼195之長度運行之一凹槽430及一榫舌435。耦合部分425包含沿主外殼195之長度運行之一凹槽440及一榫舌445。過濾器蓋260包含對應之下榫舌455及凹槽460及上榫舌465及凹槽470。凹槽430鎖定榫舌455且凹槽460鎖定榫舌435。類似地，凹槽440鎖定榫舌465且凹槽470鎖定榫舌445。在操作中，可使用一搭扣配合來牢固過濾器蓋260，其中上及下耦合部分略微散開以允許榫舌455及465分別穿過榫舌435及445且落位於凹槽430及440中。主外殼195之材料之彈性可導致耦合部分420及425迅速恢復至使過濾器 蓋260被鎖定之一位置。根據一實施例，搭扣可足以提供過濾器蓋260已牢固之觸覺或聽覺回饋。
如圖7中所繪示，過濾器蓋260可經安裝，使得肋件尖端將以其他方式接觸或極其靠近接觸表面以便可將過濾薄膜之一部分鎖定於肋件尖端與過濾器蓋260之接觸表面之間。根據一實施例，過濾元件125之頂部及底部薄膜瓣可延伸一足夠距離，使得其等穿過待鎖定於耦合部分420及425與過濾器蓋260之間之肋件及過濾器蓋260之尖端400/408之間。例如，圖8係連接至過濾器蓋260之主外殼195之一部分之一實施例之一圖形表示，其繪示鎖定於耦合部分420與過濾器蓋260之間之下薄膜瓣490。鎖定過濾元件125之一部分有助於保持待用於後續組裝步驟之過濾元件125。音波結合或其他耦合操作可與灌注一起執行以將過濾器蓋260進一步結合至主外殼195及/或將薄膜進一步結合至主外殼195及過濾器蓋260以自下游部分(而非透過薄膜)密封上游部分。
圖9係一過濾器總成之一實施例之一圖形表示，其中主外殼195經由平行於過濾器卡匣之長通路而運行之主結合縫220而耦合至之側蓋200。主外殼195與側蓋200形成一空腔，過濾元件125係佈置於該空腔中以將該空腔分成上游部分115及下游部分120。圖10繪示圖9之過濾器總成之一橫截面圖，其進一步繪示內腔之下游部分之後部處之液壓分佈(指示為495)及過濾器出口埠135處之液壓分佈(指示為495與497之組合)。亦應注意，液壓分佈自內腔之下游部 分之底部增大至頂部。
根據一實施例，側蓋200經塑形，使得液壓分佈自空腔之下游部分之後部近似線性地增大至過濾器出口埠135且自底部近似線性地增大至頂部。較佳地，內腔之後部處之液壓分佈等於零。然而，在其他實施例中，可操作過濾薄膜之端部處之液壓分佈大於零。根據一實施例，過濾器出口埠135之液壓直徑可近似等於過濾器出口埠135鄰近處之內腔之下游部分之液壓直徑。在其他實施例中，過濾器出口埠135之液壓直徑可大於或小於該埠鄰近處之內腔之下游部分之液壓直徑。
圖11係與圖7之過濾器總成類似之一過濾器總成之另一實施例之一圖形表示。圖11之實施例中未展示過濾元件以更佳地繪示一移位平行四邊形之過濾元件固持區500之一實施例。另外，圖11中繪示底部肋件290、頂部肋件295及中間肋件300以展示經漸縮以匹配過濾器蓋260之角度之該等肋件之側壁偏移部分。圖11進一步繪示：過濾器總成之實施例可包含一流動物導件150以防止進入過濾器入口埠130之流動物直接撞擊過濾薄膜。
參考圖1至圖11，與製程流體接觸之全部材料可經選擇以不與製程流體反應且最小化污染。殼體之實施例可由各種材料製成，其包含(但不限於)親油樹脂、全氟樹脂(諸如(但不限於)聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、全氟烷氧基聚合物(PFA))、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、聚醚醚酮(PEEK)、聚乙烯(PE)、 聚丙烯(PP)、金屬或其他材料。在一實施例中，過濾器總成之組件可由多個層形成。主外殼及側蓋之外部分可包括一相對便宜聚合物，而內層可包括不可能與製程流體反應或污染製程流體之一較昂貴聚合物。在一實例中，主外殼195及側蓋200可包括一外殼，其由可承受溫度及壓力要求之聚丙烯或其他材料形成。在內部，由通常較昂貴、較抗化學腐蝕、較高純度之材料形成之一內層可經熱成形且附接至主外殼195及側蓋200之邊緣。此等材料之實例包含(但不限於)PFA、FEP或其他聚合物。過濾器之整個濕潤表面可為較抗化學腐蝕之純度更高聚合物。在另一實施例中，由所要材料形成之一內層可包覆模製於外殼之內部上。另一方面，過濾器蓋260可具有由相對便宜材料形成之一芯體及由較昂貴、但較不易起反應之材料形成之一外塗層或外層。
可根據以下步驟而組裝使用一褶皺封裝過濾元件125之一過濾器卡匣。一過濾薄膜可插入至主外殼195中，其中褶皺之最後瓣之端部沿耦合部分420及425落位。過濾器蓋260可搭扣配合至適當位置中。此步驟使用出口蓋與外殼之間之榫舌配合來將薄膜鎖定於適當位置中。與一典型之圓柱型濾筒器件不同，在將一褶皺封裝組裝成一器件之前，無需包裹一褶皺封裝以在兩個長薄膜邊緣組裝成一器件之前將其等密封在一起。接著，可使用任何適合之結合方案(其包含(但不限於)音波結合、焊接、黏著劑、熱接觸或非接觸結合操作)來將側蓋200結合至主外殼195。根據 一實施例，結合殼體及密封薄膜邊緣可發生在一單一結合操作中。亦可使用機械緊固件來將側蓋200耦合至主外殼195。一墊圈可視需要佈置於側蓋200與主外殼195之間。
可用聚合物或樹脂來灌注褶皺封裝之端部。根據一實施例，總成之一所要長度之各端部可浸入至所要灌注材料(諸如層壓材料、聚合物、樹脂、黏著劑或其他灌注材料)中以密封內腔室及褶皺封裝之端部。較佳地，灌注材料為熱塑性塑膠。舉例而言(但非限制)，可用灌注材料密封褶皺封裝之前部及後部達0.125英寸至0.5英寸。灌注材料可密封褶皺封裝及內腔之端部以將過濾器總成之上游部分115與下游部分120分離，且防止產生滯留體積。在其他實施例中，在將褶皺封裝之端部插入主外殼195中之前用一灌注材料密封該褶皺封裝之該等端部，然而，如此做法可導致灌注材料與過濾器卡匣之端部之間之某一死角。可使用灌注材料、音波結合、焊接、黏著劑、接觸或非接觸結合操作、機械緊固件或其他方式來將前端蓋210/後端蓋215耦合至過濾器卡匣之主體。例如，圖12係一過濾器總成之一實施例之一圖形表示，其繪示處於適當位置中且經由灌注材料590密封之一褶皺封裝。
圖13係一過濾器總成600之另一實施例之一圖形表示，其具有界定一過濾器空腔603之一過濾器殼體602，佈置於過濾器空腔603中之一過濾元件610將過濾器空腔603分成一上游部分604及一下游部分606。過濾元件610可為任何適合過濾介質，其包含(但不限於)褶皺過濾器、深度過濾 器、中空纖維薄膜或其他過濾器。在又一實施例中，過濾元件610包含夾持於多個薄膜之間之聚合物過濾材料。在一實施例中，過濾元件610包括一矩形褶皺封裝。一過濾器入口埠612係位於過濾元件610之上游且一過濾器出口埠614係位於過濾元件610之下游(自運行通過過濾器之一流體流之觀點)。過濾器通風埠(例如過濾器通風埠615及616)可位於過濾元件610之上游及/或下游。通風埠615及616亦可視情況連接至閥。
根據一實施例，過濾器入口埠612係位於過濾器總成600之頂部處且界定一垂直向下之入口流動路徑，過濾器出口埠614係位於過濾器總成600之頂部上且界定一垂直向上之出口流動路徑，且過濾器通風埠616界定一垂直向上之通風流動路徑。較佳地，過濾器通風埠615在可行之最高點處通向過濾器空腔之上游部分604，使得上游部分604中之任何氣體自然地升高至過濾器通風埠615。類似地，可提供一出口通風埠616，其較佳地在可行之最高點處通向過濾器空腔之下游部分606，使得下游部分606中之任何氣體自然地升高至通風埠。過濾器入口埠612可包含一入口閥618以密封過濾器入口埠612。
過濾元件610可與過濾器入口埠612、過濾器出口埠614及/或(若干)過濾器通風埠615/616部分重疊以將埠有效率地放置於一覆蓋區中。若進入過濾器總成600之流體之流量係足夠的，則直接撞擊過濾元件610之流體流會損害過濾元件610。相應地，佈置於過濾元件610與入口之間之一 流動物導件620(例如折流板、管道或其他導流結構)可阻止沿入口之軸之流動且將流動物重新導引朝向上游側壁622。如上所論述，壁可經選擇以比過濾元件610更親近氣體以促進氣體對壁622之親和性。雖然流動物導件620係繪示為大體上垂直於過濾器入口埠612之軸而延伸，但流動物導件620可配置成其他角度。在其他實施例中，過濾元件610可提供足夠阻力以將流動物導引至上游側壁622。
圖14係與圖13之過濾器總成類似之一過濾器總成600之另一實施例之一圖形表示，但其繪示密封過濾器出口埠614之一出口閥624及確保流體在離開下游部分606之前沿側壁628流動之一第二流動物導件626。根據一實施例，當流入至過濾器總成600中之流體之流體壓力降至低於一臨限數量或某一其他條件被滿足時，入口閥618及出口閥624可在自一歧管移除過濾器總成600時密封。在一實施例中，入口閥618及出口閥624可為提升閥。可用比流體之驅動壓力更大之一致動壓力來壓力致動通風埠(或歧管中之對應埠)。例如，過濾器或歧管可包含諸如提升閥或其他閥之閥，使得氣體僅在其超過一特定壓力(例如，比過濾器總成600之預期操作壓力高出5 psi)時被排出。該等埠可包括購自Billerica,MA之Entegris公司之Connectology®連接、Swagelok接頭或能夠流體密封之其他連接。雖然圖14已繪示整合為過濾器總成之部分之入口閥及出口閥，但在其他實施例中該等閥可為與過濾器連接之歧管之部分或可放置於其他位置中(若確實存在)。
根據一實施例，過濾器總成600可配置為一過濾器卡匣。圖15係一過濾器卡匣之一橫截面之一實施例之一圖形表示，其包含配置於一過濾器固持器630(其佈置於過濾器殼體602中)中之一過濾元件610。過濾器殼體602包括一主體，其具有經由接合縫635而耦合在一起以部分界定過濾器空腔之對稱部分632與634。過濾元件610將過濾器空腔分成上游部分604及下游部分606。
過濾器入口埠構件636及過濾器出口埠構件642係耦合至殼體602且提供通向過濾器空腔之埠。過濾器埠構件636及642可容納諸如提升閥或其他閥之閥。根據一實施例，入口埠構件636包括用於入口埠612之一公接頭637、用於入口通風埠615之一公接頭638及自一基座640延伸之一流體截留壁639，流體截留壁639環繞接頭637及638。接頭637及638由一歧管上之互補母埠接納以產生一密封連接。截留壁639包圍接頭以與基座640一起產生可在自歧管移除過濾卡匣時收集液滴之一液滴杯。埠構件636之基座640自接頭637向上傾斜至接頭638以產生通向上游部分604之最高點之一氣體累積區641。入口通風埠615係通向該氣體累積區。
在圖15之實施例中，過濾器出口埠構件642類似地包含用於出口埠614之一公接頭643及自一基座645延伸之一壁644以形成圍繞埠614之一液滴杯。在此實例中，過濾器出口埠構件642上不存在通風埠，但其可存在於其他實施例中。在一些實施例中，一單一埠可充當過濾器出口埠及出 口側過濾器通風埠。在此一情況中，出口埠614較佳地通向與下游部分606流體連通之最高區，使得氣體升高至過濾器出口埠614。
入口埠構件636與卡匣之主體一起形成通向入口埠612之上游部分604之一入口區646，但由過濾或淨化介質使入口區646與下游部分606分離。根據一實施例，由垂直於入口埠612之主軸而延伸(例如橫跨透過入口埠612而進入之流體之流動路徑)以水平地重新導引流動物之一表面648至少部分界定入口區646。過濾器固持器630之一上表面650與表面648一起形成將流動物導引至壁622之一流動物導件(例如一折流板)。
在操作中，流體沿一第一方向(例如垂直地)透過入口埠612而進入過濾器卡匣且藉由表面648及650而沿一第二方向重新導引至壁622。流體可透過過濾器固持器630與壁622之間之一間隙而流入至過濾元件610與壁622之間之空間中。流體將穿過過濾元件610且經由出口埠614而離開過濾器卡匣。因此，過濾器卡匣提供NFF。吸附至壁622之氣體自上游部分604升高至氣體累積區641且透過入口側通風埠615而離開。
圖16A至圖16C係一過濾器卡匣之一實施例之外視圖之圖形表示，其等展示以上所論述之各種特徵。根據一實施例，該過濾器卡匣可大體上呈矩形，其中頂壁652、底壁654、端壁656與658、側壁622及側壁628由主體部分632及634形成。主體之實施例可由各種材料製成，其包含(但不 限於)親油樹脂、全氟樹脂(諸如(但不限於)聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、全氟烷氧基聚合物(PFA))、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚醚醚酮(PEEK)、金屬或其他材料。在一實施例中，主體可由多個層形成。外殼可包括一相對便宜聚合物，而內層可包括不可能與製程流體反應或污染製程流體之一較昂貴聚合物。根據一實施例，主體可包括一外殼，其可由可承受溫度及壓力要求之聚丙烯或其他材料形成。在外殼內部，由通常較昂貴、較抗化學腐蝕、純度較高之材料形成之一內層可經熱成形且附接至外殼之邊緣。此等材料之實例包含(但不限於)PFA、FEP或其他聚合物。過濾器之整個濕潤表面可為較抗化學腐蝕之純度更高聚合物。在另一實施例中，由所要材料形成之一內層可包覆模製於外殼之內部上。
可在理解過濾器卡匣可充當一壓力容器之後選擇各種壁之厚度。在典型之先前技術系統中，一過濾器必須具有足以承受該過濾器之預期操作壓力之壁。即，該過濾器必須具有足夠厚以使撓度保持在一可接受範圍內(例如，在100 psi處，一般小於10%、小於5%、小於1%)之側壁。另一方面，過濾器卡匣可具有相對較薄之側壁。該等側壁具有將允許該等側壁在預期操作壓力期間撓曲大於一可接受量(即，大於30%)之一厚度。如下所論述，過濾器隔間可提供額外支撐以使撓度保持在該可接受範圍內。端壁656及658可具有與側壁622及628相同之厚度或具有一不同厚 度。根據一實施例，端壁656及658可包含肋件664及665以最小化撓度。頂壁652及底壁654可具有與側壁622及628類似之一厚度，可更厚以最小化撓度，或可更薄。
主體部分632及634之各者可各包含自各自壁向外延伸之一連續肋件材料(分別為肋件667及668)。根據一實施例，肋件667及668沿各自主體部分之邊緣向外延伸以產生用於接合主體部分之一較大可用結合區。
過濾器卡匣可包含一引導構件660以有助於將過濾器卡匣引導至一過濾器隔間中。在圖16A至圖16C之實例中，引導構件660包含一組橫向延伸之引導凸緣661及663，其等分別自肋件667及668延伸以形成可被接納於一過濾器隔間總成之一對應軌道中之一軌道。在其他實施例中，一過濾器卡匣可包含全部在一起之多個軌道或其他引導構件。
圖16A至圖16C亦繪示：一過濾器濾筒之一實施例可包含對稱埠。具有對稱埠及構造之對稱方法提供比傳統過濾器更大之一靈活度。舉例而言(但非限制)，卡匣可經反沖洗，過濾程序可沿相反方向運行，真空可施加至該濾筒之兩側以允許全蒸發序列。另一方面，非對稱濾筒限制使沿任一方向之流動最佳化之能力。
圖17係過濾器卡匣之主體之一實施例之一圖形表示，其展示以上所論述之各種特徵。如圖17中所繪示，肋件667及668使主體之長度之一第一部分及主體之長度之一第二部分自主體部分632及634之邊緣向內轉以形成一入口槽池670及一出口槽池672之側壁。根據一實施例，主體部分 634包含橫跨由主體部分634形成之入口槽池670之底部之部分而延伸之表面648，表面648可為頂壁652之一部分。入口槽池670之其他側可通向過濾器空腔。即，主體部分632可在由主體部分632形成之入口槽池之部分內敞開。因此，入口槽池670可通向過濾器空腔之上游部分，但不通向下游部分。類似地，主體部分632包含橫跨由主體部分632形成之出口槽池672之部分之底部而延伸之表面674，表面674可為頂壁652之一部分。出口槽池672可通向過濾器空腔之下游部分，但不通向過濾器空腔之上游部分。即，主體部分634可在由主體部分634形成之出口槽池之部分內敞開。根據一實施例，可使用超音波結合、黏著劑或其他類型之結合來將埠構件636、642(參閱圖16B)結合至入口槽池側壁及出口槽池側壁之頂部邊緣，其中過濾器入口埠與表面648對準且過濾器出口埠可與表面674對準。
在諸多前述過濾器中，埠連接係製造為主殼體之部分。因此，對於各連接類型及尺寸，需要不同加工來製造過濾器殼體。圖17之實施例提供以下優點：可組裝其中已安裝過濾元件之過濾器卡匣之對稱主體，且無需附接入口埠及出口埠。接著，可視需要添加適當尺寸之埠。在此一系統中，對於各種埠類型，可使用一單一工具來製造過濾器殼體之主體。一特定工具僅需用於特定類型之埠構件，而非用於具有全部埠之過濾器殼體。
圖18繪示卡匣之主體之對稱主體部分632及634之一實施例。如圖18中可見，部分632可與部分634相同，使得可使 用一單一工具來製造一過濾器卡匣主體之兩個半體。在此實施例中，由主體部分632界定之頂壁652之部分在出口槽池672之周邊(由表面674繪示)中連續，但在入口槽池670之周邊(繪示為675)內敞開。類似地，在此實施例中，由主體部分634界定之頂壁652之部分在入口槽池670之側壁之周邊(由表面648繪示)中連續且在出口槽池672之側壁之周邊內敞開(繪示為676)。
圖19係一過濾器固持器630之一實施例之一圖形表示。過濾器固持器630可包含端壁680及682，其中一頂壁684及一底壁685延伸於端部部分之間呈一間隔關係以界定兩側上敞開之一過濾元件固持區686。在圖19之實施例中，端壁680及682可具有與過濾器空腔相同之寬度且過濾器固持器630之長度可與過濾器空腔之長度相同，使得過濾器固持器630緊密地配合於過濾器空腔中。頂部部分684可略微窄於端部部分680及682，使得在過濾器固持器630係配置於過濾器空腔中時，頂部部分684之邊緣與過濾器空腔之側壁之間存在一微小間隙以允許流體流入至過濾元件與側壁之間之空間中及/或自該空間流出。在一些實施例中，過濾器固持器係對稱的。此有利地減少製造成本及部件數目。
過濾器固持器630亦可包含自過濾器固持器630之外表面向外延伸之一薄的連續材料片(本文稱為飛邊(flashing)688)。飛邊688延伸一足夠距離，使得在組裝過濾器卡匣時飛邊688將定位於肋件667與肋件668之間。飛邊688可包 含與入口槽池670及出口槽池672對準之切口690。此提供例如過濾器空腔之上游部分604之入口區646與剩餘部分之間之一開口(參閱圖15)。因此，例如，開口690a可允許進入過濾器入口埠且由表面648重新導引之流體流流入至開口675中(參閱圖18)。類似地，開口690b可允許透過開口676而離開之流體自表面674上流過且自過濾器出口埠流出(參閱圖15及圖18)。根據一實施例，音波焊接可用於結合肋件667、668與飛邊688及密封部分632、634與過濾器固持器630。因此，飛邊688較佳由可與主體之材料熔合之一材料形成。
過濾元件固持區686可封裝有一過濾元件。該過濾元件可結合至過濾元件固持區686之內表面。在一實施例中，該過濾元件可包括一矩形褶皺封裝。一第一組褶皺尖端可面向腔室之上游部分且一第二組褶皺尖端可面向過濾器腔室之一下游部分。一般而言，該過濾元件可經封裝，使得該過濾元件之上游表面大體上平坦而非圍繞一中心芯體彎曲，但若該過濾元件本身被對折且該過濾器可包含褶皺，則邊緣處可存在一些彎曲。使用一平坦而非彎曲過濾器提供以下優點：可在一給定體積內封裝更多薄膜材料且可使用具有較小順應彎矩之過濾介質。此外，由於一褶皺過濾器可配置有一大體上平坦之輪廓(例如，配置有壓縮褶皺)，所以褶皺之上游尺寸與下游尺寸可相等(其與其中上游側上之褶皺將比下游褶皺更大程度地展開之一圓形過濾器設計不同)。在其他實施例中，可使該矩形褶皺封裝之 褶皺分離。
過濾器固持器630之實施例可由各種材料製成，其包含(但不限於)親油樹脂、全氟樹脂(諸如(但不限於)聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、全氟烷氧基聚合物(PFA))、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、聚乙烯(PP)、聚丙烯(PE)、聚醚醚酮(PEEK)、金屬或其他材料。在一實施例中，過濾器固持器630可由多個層形成。芯體可包括一相對便宜之第一聚合物(例如聚丙烯)，而與流體接觸之任何層可包括不可能與製程流體反應或污染製程流體之一較抗化學腐蝕、純度更高之第二聚合物。根據一實施例，該第二聚合物可包覆模製於該第一聚合物上。
圖20繪示一過濾器卡匣之一實施例，其具有附接於其上之一RFID標籤692及一RFID讀取器693。RFID讀取器693可具有一受限範圍「R」，即，4英寸。若卡匣之長度「L」大於R，則FRID標籤692可放置於卡匣上，使得在卡匣係向後放置於一過濾器隔間中時FRID讀取器693無法讀取FRID標籤692。可實施控制方案，使得若一卡匣未經適當安裝或未完全安裝，則上游組件將不提供流體至過濾系統。實施例亦可包含遍及第一及第二歧管而定位以讀取各種流體性質(諸如壓力或溫度)之感測器。
在以上實例之若干者中，過濾器卡匣具有一大體上呈矩形之輪廓。圖21係一過濾器卡匣之一實施例之一圖形表示，其具有含經修圓後壁及前壁之一主體694，使得該卡 匣之該等側壁呈曲形。該卡匣可包含可配合於一過濾器隔間總成之帶槽軌道中之一引導機構695。圖22係一卡匣之另一實施例之一圖形表示，其具有來自側面之一橢圓形主體696。該卡匣可包含可配合於一過濾器隔間總成之一帶槽軌道中之一引導機構697。圖23係一卡匣之另一實施例，其具有一圓柱形主體698及一引導機構699。以舉例方式提供卡匣形狀之各種實例，且可在一些實施例中使用由對稱主體部分組成之其他卡匣輪廓。此外，該卡匣內之過濾元件可具有任何所要形狀，其包含圍繞一中心芯體而彎曲之一管狀形狀。
根據一實施例，可使用使過濾器及/或歧管埠相對於彼此旋轉之一內傾(tilt-in)/外傾(tilt-out)機構來安裝過濾器卡匣。一內傾/外傾機構提供移除及處置過濾器卡匣之一安全益處。當過濾器被脫離時，過濾器濾筒中之低點可遠離其中將收集任何殘留化學品之一底部入口/排放埠而移位至器件之後端。此最小化自歧管移除過濾器時之潛在液滴風險。為提高安全性，螺紋可佈置於過濾器埠之各者上，使得帽蓋可在移除過濾器時牢固於埠上。在使過濾器脫離之後，使用者可將帽蓋安裝於螺紋埠之各者上以將待安全處置之任何殘留化學品密封於過濾器件內。
圖24係用於接納一過濾器卡匣之一過濾系統之一實施例之一圖形表示，該過濾系統包含一主總成700及一護套710。主總成700提供所需流體連接至佈置於護套710中之一過濾器卡匣。根據一實施例，主總成700可包括在護套 710下方延伸之一基座705及懸掛於護套710上之一支撐臂715。支撐臂715可包含一埠塊，其含有與過濾器卡匣上之對應埠介接之過濾器介面埠。支撐臂715可支撐將流體導引至過濾器卡匣之管道730。基座705可提供連接至流體入口及出口且將流體導引至過濾器/自過濾器導引流體。在一實施例中，基座705包含內部流動通道。在另一實施例中，基座705可提供支撐給管道。
根據一實施例，基座705包含一大體上向上延伸之部分735及一大體上水平延伸之部分740。在此實施例中，基座705界定自一主總成入口埠導向至過濾器入口介面埠750(其與過濾器入口埠130介接)之一過濾器入口流動通道745。基座705亦可界定將一過濾器卡匣之一過濾器出口埠135流體耦合至一主總成出口(經由埠塊720及管道730)之一出口流動通道760。基座705亦可包含類似通風流動通道且歧管總成可包含通風管道。一般而言，管道可為透明或半透明的。
埠塊720可包含過濾器出口介面埠及過濾器通風介面埠。根據一實施例，埠塊720可操作地耦合至支撐臂715，使得埠塊720可沿相對於支撐臂715之多個方向平移。例如，埠塊720可相對於處於一水平位置之支撐臂715而自前部平移至後部(自圖11之觀點，自左邊平移至右邊)及垂直地平移。彈簧或其他偏置構件可用於使埠塊720之位置偏置。
護套710可基於一第一旋轉軸(指示為762)而可旋轉地耦 合至主總成700且可自一第一位置旋轉至一第二位置。在該第一(未配接)位置中，卡匣自前部至後部地向下傾斜，使得任何剩餘流體移動遠離入口埠130且卡匣可自護套710被移除。在該第二(配接)位置中，過濾器卡匣之入口埠130與過濾器入口介面埠750接合。
支撐臂715可圍繞一第二旋轉軸(指示為764)旋轉以自第一側運行至第二側。支撐臂715可自一第一位置旋轉至一第二位置。在該第一位置中，埠塊720之一出口介面埠及通風介面埠完全脫離過濾器卡匣之過濾器出口埠135及過濾器通風埠140。在該第二位置中，該出口介面埠及該通風介面埠與卡匣之過濾器出口埠135及過濾器通風埠140配接。在另一實施例中，全部埠可根據過濾器埠之佈局而位於卡匣之上方或下方。為有助於對準，該通風介面埠及該出口介面埠可實施於分離塊中。可使用彈簧或其他偏置構件來產生(若干)頂部塊內部之接合過濾器埠之所需密封力。彈簧負載可產生流體地密封頂埠與底埠兩者之所需力。撓性管道(例如由PFA或其他適合材料形成之管道730)可用於自(若干)埠塊720導引流體。在另一實施例中，在護套710下方延伸之主總成之部分亦可包含一可旋轉臂。
控制桿725可基於一第三旋轉軸(指示為768)而可旋轉地耦合至基座705以自第一側運行至第二側。控制桿725可包含跨越於兩個引導構件772之間之一端部構件770。根據一實施例，控制桿725設計有兩個引導路徑，一者使過濾器向下傾斜以將過濾器入口埠130接合至入口介面埠750且另 一者使一組配接埠下降，該組配接埠將接合過濾器卡匣之頂部上之過濾器通風埠140及過濾器出口埠135。例如，一引導構件772可包含位於旋轉軸768更遠端處之一外軌道774及位於旋轉軸768更近端處之一內軌道778。歧管之出口埠介面部分及通風埠介面部分之一引導銷(此情況中為埠塊720之支撐臂引導銷776)被接納於外軌道774中。由內軌道778接納護套710上之一引導銷780。外軌道774及內軌道778之幾何結構可經選擇，使得護套710自其第一位置至其第二位置之旋轉快於支撐臂715自其第一位置至其第二位置之旋轉。特定言之，在埠塊720完全接合過濾器出口埠135之前，過濾器入口埠130較佳落位於入口介面埠750中。
根據一實施例，外軌道774可經塑形以具有一大體上呈螺旋形之形狀，其中相對於旋轉中心768之半徑自與支撐臂715之一第一位置對應之一第一端減小至與支撐臂715之一第二位置對應之一第二端。路徑起始處之較大半徑可與旋轉軸768同心或接近同心以延遲支撐臂移動至該第二位置中之時間。此給予過濾器入口埠130時間以在出口介面埠及通風介面埠接合埠135及140之前接合入口介面埠750。軌道778起始處之一銳角(大體上指示為782)確保：在出口介面埠及通風介面埠接合埠135及140之前，過濾器入口埠130移動至埠750中。軌道778可在軌道之第二端處與旋轉軸768大體上同心以最小化護套710之額外移動。
由於可藉由將(若干)埠塊720推向過濾器卡匣而提供密 封力，所以過濾器之引導路徑(例如內軌道778)僅需設計成使過濾器自埠750升高且將過濾器引導至埠750，但未必提供足以產生一完全流體密封之力。根據一實施例，軌道可經組態，使得：透過控制桿725之一第一範圍旋轉(例如45度、60度或其他範圍)，埠塊720停留於遠離過濾器出口埠135之相對恆定之距離處，同時過濾器入口埠130移動以接合埠750；及透過一第二範圍運動，控制桿725不移動護套710，而是使埠塊720相對於護套710移動，使得埠塊720可接合過濾器卡匣上之上埠。
端部構件770可經定位，使得在端部構件770旋轉時，端部構件770在護套到達其第二位置之前將過濾器卡匣完全推入至護套中。此可有助於確保：當過濾器傾斜成適當位置時，過濾器與歧管適當對準。總成700可包含一鎖定機構，使得一過濾器可被鎖定於一完全接合位置中。例如，導軌774及778之幾何結構可經組態以將護套及/或支撐臂715鎖定於其等之第二位置中。在另一實施例中，可包含閂鎖或鎖定機構。
圖25係一過濾系統之一另一實施例之一圖形表示。在圖25之實施例中，支撐臂715係耦合至使支撐臂基於旋轉軸764而偏移之一托架717。另外，圖25繪示：使用將過濾器入口介面埠耦合至主總成入口779之撓性管道777來將流體導向至過濾器入口介面埠。另外，圖25繪示：導軌774可包含一筆直部分790且導軌778亦可包含一筆直部分795。導軌774可進一步包含(相對於旋轉軸768)向內螺旋之一第 二部分793且導軌778亦可包含向內螺旋之一第二部分797。導軌778及導軌774之第二部分793/797之半徑變化可不同。例如，外導軌774可比內導軌778更快速地減小半徑。此有助於確保：在閉合結束時，來自控制桿725之力主要施加至支撐臂715以有助於將過濾器密封至主總成。當過濾器及支撐臂完成相對於彼此之自未配接位置至配接位置之旋轉時，一鎖定機構(諸如一閂鎖791)可將控制桿725鎖定於閉合位置中。
圖26係一護套710之一實施例之一圖形表示。護套710提供經組態以接納過濾器卡匣之一過濾器卡匣固持器。護套710可包括一或多個壁，其等界定具有一前開口之一卡匣接納區800且經塑形以透過大體上線性平移而接納一過濾器卡匣。根據一實施例，該等側壁可與卡匣之側壁完全重疊且頂壁及底壁可與卡匣(經塑形以容納卡匣之埠之切口區除外)部分重疊。護套710可進一步包含對準特徵以確保卡匣被適當對準。例如，護套710可非對稱且與過濾器卡匣之形狀一致。根據一實施例，護套710可界定上軌道810及下軌道815以容納過濾器卡匣之導軌250及255。圖27亦繪示大體上垂直於護套710之長度且平行於相對於主總成700之護套710之旋轉軸而延伸之引導銷780。
在典型之先前技術系統中，一過濾器必須具有足以承受該過濾器之預期操作壓力之壁。即，該過濾器必須具有足夠厚以使撓度保持於一可接受範圍(一般小於10%)內之側壁。無需要求一次性濾筒適應操作壓力，可使用一護套， 其具有足以承受目標應用之壓力要求且防止過濾器殼體壁過度撓曲之尺寸及形狀。由於該護套經設計可防止或最小化過濾器殼體之撓曲或潛在失效，所以此時可大幅減少過濾器濾筒之所需材料及支撐結構。使該護套具有一定強度允許製造過濾器之所需材料被減少，因此減少可消耗性過濾產品之成本。此對於由昂貴PFA構成之過濾器件而言尤其有價值。支撐護套可為一較低成本之材料(諸如PVC或CPVC或塗覆有PVC或CPVC之金屬)，其為一般用於圍封濕式蝕刻或清潔應用中之流體組分之材料。即使需要一PFA或PTFE護套，但其不會是一可消耗性部件且將在各過濾器改變中被重新使用。
因此，由於護套710可提供所需支撐，所以過濾器卡匣可具有相對較薄之側壁。該等側壁及頂壁與底壁可具有將允許該等側壁在預期操作壓力期間撓曲大於一可接受量(即，大於30%)之一厚度。然而，護套710可具有鄰接及支撐卡匣之壁以最小化撓度(例如，小於10%體積變化、小於5%體積變化、小於1%體積變化或更小)之壁。由於過濾器卡匣之側壁可相對較薄，所以一次性部件需要更少材料。過濾器卡匣之端板可具有足以承受預期操作壓力之厚度。在其他實施例中，該等端板亦可較薄且支撐於護套710、控制桿端板770或其他結構上以用於額外支撐。
圖24及圖25之實施例提供具有單一過濾器卡匣之一過濾系統。然而，可在一過濾系統中有益地提供多個過濾器。圖27至圖29繪示一過濾系統900之一實施例，其具有容納 多個過濾器之一主總成905。主總成905可包含與各種過濾器對應之主總成入口埠910、主總成出口埠915及主總成通風埠920。在此實例中，各過濾器可被收容於其自身之護套中且具有對應之支撐臂715及控制桿725，但過濾器可共用一共同基座705。各種主總成埠可經連接以允許根據管道930之並行過濾(參閱圖28)、串接過濾(參閱圖29)或串接與並行之一組合過濾。圖27至圖29之實施例提供以下優點：易於在歧管之入口埠與出口埠之間添加諸如壓力感測器、顆粒計數器及其他儀器之儀器配置以允許藉由將管道930適當連接至儀器配置而進行程序監測。
為有助於操作，一過濾系統可包含各種特徵以有助於程序監測或操作。例如，圖30繪示一過濾系統900之一實施例，其中端部構件770包含使過濾器卡匣之端蓋210曝露之切口。端蓋210可包含條碼、光學符號、RFID或其他標籤以提供與安裝過濾器卡匣相關之資訊給人類或機器人。另外，過濾器濾筒可包含整合感測器。作為另一實例，過濾器濾筒可包含模製至端蓋210中以允許機器人容易地操縱過濾器濾筒之凸耳、掛鈎或其他特徵。
此外，過濾系統900可包含可讀取過濾系統900之過濾器上(例如端蓋210上)之資訊標籤之RFID讀取器(例如，附接至基座705、支撐臂715或其他位置)或其他感測器。RFID讀取器可具有一受限範圍「R」，即，4英寸。若卡匣之長度「L」大於R，則RFID標籤可放置於卡匣上，使得在卡匣沿錯誤定向放置於過濾系統中或放置於錯誤隔間/護套 中時，RFID讀取器無法讀取RFID標籤。可實施控制方案，使得：若一卡匣未經適當安裝或完全未被安裝，則上游組件將無法提供流體至過濾系統。實施例亦可包含遍及歧管而定位之感測器以讀取各種流體性質，諸如壓力或溫度。
圖31A至圖31B係一支撐臂715及埠塊720之一實施例之圖形表示，其中出口介面950及通風介面955之埠係位於由彈簧960偏置之分離塊中。根據一實施例，彈簧960可使流體噴濺或洩漏被避免。雖然埠塊係繪示為具有過濾器出口介面埠及過濾器通風介面埠，但(若干)埠塊亦可包含一過濾器入口介面埠。因此，一傾覆/傾斜機構可用於使其全部埠位於頂部之一過濾器。
在參考圖27至圖29而論述之實施例中，過濾系統包含可透過管道之選路而重組態之可重組態流動路徑。在其他實施例中，可期望具有含可重組態之內部流動路徑之一歧管。圖32係一過濾系統1000之另一實施例之一圖形表示，其包括一歧管1005及一組過濾器1010。歧管1005自上游組件接納流體、導引該流體通過過濾器組1010且將經過濾流體供應至下游組件。歧管1005可包含與上游管道、下游管道及過濾器組1010介接之諸多埠。為與其他系統介接，歧管1005包含一歧管入口埠1015、一歧管出口埠1020及一系列通風埠1025。入口埠1015大體上連接至上游管道且充當過濾系統1000之入口。出口埠1020大體上連接至下游管道且充當過濾系統1000之出口。歧管通風埠1025大體上連接 至經選路以處置自過濾器排出之流體之排放管道或其他管道。為與過濾器組1010介接，歧管1005可進一步包含一系列過濾器入口介面埠1030以提供流體至過濾器，及過濾器出口介面埠1035以自該等過濾器接納流體。另外，若過濾器包含通風口，則歧管1005可包含一或多個通風介面埠1040。
根據一實施例，歧管1005可包括一起工作以提供流體至過濾器之多個歧管，其等繪示為圖32中之一第一歧管1045及一第二歧管1050。第一歧管1045可硬管接入至一工具中且將流體導引至第二歧管1050/自第二歧管1050導引流體。歧管1045及1050可包含適當埠，使得歧管可彼此介接。例如，第一歧管1045可包含一歧管介面出口埠1055、一歧管介面入口埠1060及歧管介面通風入口埠1065，而第二歧管1050可包含對應之歧管介面入口埠1070、歧管介面出口埠1075及歧管介面通風出口埠1080。歧管介面埠可包含適合於產生一密封連接之任何連接器。根據一實施例，歧管介面埠透過一簡單線性運動而密封地接合。
暫時轉至過濾器組1010，各過濾器1085可包含與歧管1005介接之適當埠，諸如與過濾器入口介面埠1030介接之一過濾器入口埠1090、與過濾器出口介面埠1035介接之一過濾器出口埠1095及與通風介面埠1040介接之一或多個入口過濾通風埠1100與出口過濾通風埠1105。該等埠可經由透過一簡單線性作用而密封地接合之一組連接器而以一「快速連接」之方式彼此介接。根據一實施例，可使用無 O形環之接頭及接頭總成(如Gashgaee等人於2009年6月16日發表之名稱為「O-Ring-Less Low Profile Fittings and Fitting Assembolies」之美國專利第7,547,049號中所述，該專利之全文以引用方式併入本文中)或其他連接機構來使過濾器與歧管接合。
返回至歧管1005，歧管1005可經組態，使得流體並行、串接或以上兩者之某一組合地通過過濾器1085。例如，圖33係過濾系統1000之一實施例之一圖形表示，其繪示入口流動通道1110及出口流動通道1115。如圖33中所繪示，歧管1045界定入口流動通道1110之一部分及出口流動通道1115之一部分且歧管1050界定入口流動通道1110之一第二部分及出口流動通道1115之一第二部分。在圖33中，歧管1005經組態以將流體並行地分配至過濾器1085。在此實施例中，入口流動通道1110將入口埠1015連接至各過濾器之過濾器入口介面埠1030且充當各過濾器之入口流動通道。因此，當過濾器1085經連接時，各過濾器入口埠1090係並行地流體耦合至入口埠1015。出口流動通道1115將過濾器出口介面埠1035連接至出口1020且充當各過濾器之過濾器出口流動通道。因此，當過濾器1085經連接時，各過濾器出口埠1095係並行地流體耦合至歧管出口埠1020。
圖34係過濾系統1000之一實施例之一圖形表示，其中歧管1005經組態以將流體分配至串接過濾器1085。在圖34之實施例中，入口流動通道1110將入口埠1015連接至系列中第一過濾器之過濾器入口介面埠1030。過濾器間流動通道 1120將一過濾器之過濾器出口介面埠1035連接至系列中下一過濾器之過濾器入口介面埠1030。在此情況中，各過濾器間流動通道充當一特定過濾器之一出口流動通道及系列中下一過濾器之一入口流動通道。最終，出口流動通道1115將系列中最後過濾器之過濾器出口介面埠1035連接至出口埠1020。過濾系統1000亦可經組態以根據其他方案而分配流體。例如，圖35係一過濾系統1000之一圖形表示，其中歧管經組態以將流體並行地分配至兩組串接過濾器。
除入口、出口及過濾器間流動通道以外，歧管1050亦可視需要包含額外流動通道。例如，圖36係過濾系統1000之一實施例之一圖形表示，其繪示將入口過濾通風埠1100及出口過濾通風埠1105耦合至歧管通風埠1025之通風流動路徑1125。歧管通風埠1025可進一步耦合至排放口。
圖37係具有可互換歧管之一過濾系統之一實施例之一圖形表示。根據一實施例，該過濾系統可包括一主總成1130及一組過濾器隔間總成1150，過濾器隔間總成1150含有經組態以接納過濾器卡匣1160之過濾器卡匣固持器1155。主總成1130提供所需流體連接至佈置於過濾器隔間1150中之一過濾器卡匣。根據一實施例，主總成1130可包括：一歧管，其具有一第一歧管1045及一第二歧管1050；及一過濾器隔間殼體1162，其接納界定過濾器卡匣接納區之可移除過濾器隔間總成1150。一過濾器卡匣可插入穿過過濾器隔間之一開口端且由各自過濾器卡匣固持器1155接納。過濾器卡匣固持器1155透過各自隔間總成而可操作地耦合至主 總成1130，使得過濾器卡匣可自一未配接位置移動至一配接位置。歧管1050可被移除且被具有一不同流動路徑組態之一不同歧管1050(圖中未展示)更換以重組態過濾系統。
根據一實施例，一過濾器隔間總成1150可包含一過濾器隔間門1165。當過濾器隔間門1165處於一敞開位置時，一過濾器卡匣可透過一大體上水平之運動而插入。閉合該過濾器隔間門1165可導致過濾器卡匣相對於歧管之線性平移，使得過濾器卡匣可自一未配接位置移動至一配接位置。
圖38A至圖38B係圖形表示，其等繪示：過濾器卡匣可藉由垂直於歧管1050之表面平移而與第二歧管1050配接(此情況中為自下降位置垂直地平移至一提升位置)，使得各卡匣上之對應過濾器入口埠、出口埠及通風埠與第二歧管1050之對應埠流體連通且密封至該等對應埠。與一些系統不同，卡匣之埠未必樞轉至歧管1050之埠以減少潛在摩擦及變形。
圖39係用於接納一過濾器卡匣之一過濾器隔間總成1150之一實施例之一圖形表示。過濾器隔間總成1150可包含一組側壁1205與1210及一隔間基座1212以界定一過濾器隔間卡匣接納區。過濾器隔間及卡匣之寬度可經選擇，使得卡匣之側壁接觸側壁1205及1210之內表面。如上所述，側壁1205及1210可經組態以在過濾器卡匣係安裝於過濾器隔間中時加固過濾器卡匣之側壁。
過濾器隔間總成1150可包含接納及保持一過濾器卡匣之 一機構。任何適合機構可用於接納過濾器卡匣。根據一實施例，過濾器隔間總成1150包含一卡匣固持器1155。在一實施例中，卡匣固持器可為用於接納過濾器卡匣之一引導構件之一帶槽軌道。帶槽軌道可在至少一端上敞開且沿著頂部。可使用一大體上水平之滑動運動來將卡匣之引導構件插入軌道中。軌道可包含一止動件以防止一卡匣過深地插入至過濾器隔間中。
卡匣固持器1155可耦合至一升降機機構，使得過濾器卡匣可自一初始位置提升至使過濾器與歧管配接之一位置。根據一實施例，該升降機機構可包含一組連桿(其之一實施例在下文中更詳細地加以論述)，其等充當一凸輪，使得：若未施加足以導致該等連桿旋轉之力，則過濾器卡匣保持在該升高位置中。根據一實施例，十字桿件1241及1249可將該等連桿可操作地耦合至卡匣固持器1155。
一過濾器隔間門1165可操作地耦合至升降機機構，使得過濾器隔間門1165之移動導致升降機機構提升或降低過濾器。根據一實施例，過濾器隔間門1165可自一完全敞開位置旋轉至一完全閉合位置。升降機機構在過濾器隔間門1165處於該完全閉合位置時處於其提升位置，且升降機機構在過濾器隔間門1165處於該完全敞開位置時處於其最低位置。過濾器隔間門1165可經定位，使得在過濾器隔間門1165旋轉時，過濾器隔間門1165在升降機機構到達其提升位置之前將過濾器卡匣完全推動至過濾器隔間中。此可有助於確保：當過濾器係升高時，過濾器與歧管適當對準。
圖40係一過濾器隔間總成1150之一實施例之一圖形表示，其中過濾器隔間門1165自一敞開位置過渡至一閉合位置以升高卡匣固持器1155。圖40進一步繪示包含多桿凸輪連桿之一升降機機構之一例示性實施例。根據一實施例，過濾器隔間門1165可包含一主門部分1232及一L形連桿1234。L形連桿1234使一第一端耦合至主門1232且使一第二端耦合至過濾器隔間總成側壁(表示為1238)。在該等端部之間，連桿1234進一步可旋轉地耦合至連桿1236(表示為1237)。第二連桿1236可為一鉤形連桿，其除使一第一端可旋轉地耦合至主門連桿1234以外，亦可旋轉地耦合至(表示為1240)一第二端附近處之一交叉連桿1239。連桿1236經由連桿1236之第一端與第二端之間之一點而進一步可旋轉地耦合至十字桿件1241(表示為1242)。連桿1234與1236之相對旋轉導致十字桿件1241升高及降低。
所繪示實施例之後連桿包含連桿1245及1246。連桿1245可為一鉤形連桿，其使一第一端可旋轉地耦合至連桿1246(表示為1247)、使一第二端可旋轉地耦合至交叉連桿1239(表示為1248)及經由該第一端與該第二端之間之一點而可旋轉地耦合至十字桿件1249(表示為1250)。連桿1246除可旋轉地耦合至連桿1245以外，亦可旋轉地耦合至過濾器隔間總成1150之側壁(表示為1251)。連桿1245與1246之相對旋轉導致十字桿件1249升高及降低。側壁中之狹槽可適應十字桿件1241及1249之垂直運動。如上所論述，十字桿件1241及1249係耦合至過濾器卡匣固持器1155。
根據一實施例，當隔間門1165處於一閉合位置時，各組連桿之各種旋轉軸變為大致上垂直對準(在圖40之實例中，自底部至頂部地略微向後傾斜)。因此，一般而言，升降機機構將停留於提升位置中。需要足夠力來使隔間門1165旋轉以使旋轉軸不對準。連桿充當一凸輪以將隔間門1165之旋轉運動轉化成過濾器卡匣固持器1155之垂直運動。
各過濾器卡匣固持器可耦合至一分離升降機機構，使得過濾器可個別地升高及降低。因此，當僅需要更換一個過濾器時，僅需要降低及移除該過濾器，同時透過其他過濾器而繼續過濾。在其他實施例中，一過濾器隔間總成1150可容納多個過濾器，其中該多個過濾器由一單一升降機機構提升或各過濾器由其自身之升降機機構提升。
圖41係一主總成之一實施例之一部分之一圖形表示，其包括第一歧管1045及過濾器隔間殼體1162。過濾器隔間殼體1162包括一組側壁1260及一後壁1265以形成一前側上敞開之一殼體空腔。側壁1260之端部可向內彎曲以形成導件1264，導件1264由第二歧管1050(圖中未展示)中之互補凹槽接納以將第二歧管1050引導至第一歧管1045。其他實施例可包含將第二歧管1050引導至歧管1045之其他引導機構。一組指狀物1270自後壁1265向內延伸以將殼體空腔分成一歧管接納區及若干過濾器隔間接納區。過濾器隔間殼體1162可由包含聚合物、金屬及複合物之任何適合材料形成。
歧管殼體1162之一實施例可具有一歧管鎖定機構以將歧管1050鎖定於歧管接納區中。一歧管鎖定機構之一實施例可包含一歧管鎖桿1280，其具有與殼體1162之側壁可旋轉地耦合之歧管鎖桿端部構件1285及可橫跨歧管接納區之前開口而延伸之一或多個十字桿件1290。歧管鎖桿1280可自使歧管鎖桿1280不阻止歧管接納區敞開之一「敞開」位置旋轉至使歧管鎖桿1280阻止敞開之一「閉合」位置，藉此防止第二歧管1050變為自第一歧管1045脫開。另外，如圖41中所繪示，歧管鎖桿1280可操作地耦合至一組銷1295，使得歧管鎖桿1280之旋轉導致銷1295升高及降低。銷1295可穿過指狀物1270中之對應孔且銷之端部可被接納於歧管1050之銷接納孔中。一彈簧1297(其中一端接觸對應指狀物1270之下側且另一端接觸一對應銷1295之一肩部)可使銷偏置至一向下位置。如圖42中所展示，歧管鎖桿1280可放置於一閉合位置中，其中銷1295穿過指狀物1270之端部中之銷孔1293且被接納於第二歧管1050之銷接納孔1296中。
圖43係主總成1130之另一實施例之一圖形表示，其具有第二歧管1050、第一歧管1045及殼體1162。主總成1130可進一步包含經安裝以支撐複數個氣動通風閥1301之一支撐件1300。雖然圖43繪示支撐閥之支撐件1300，但支撐件1300亦可支撐感測器，諸如RFID讀取器或其他器件。
圖43進一步繪示：一些實施例可包含一排放互鎖桿1303。排放互鎖桿可具有與過濾器隔間殼體1162之側壁可 旋轉地耦合之第一及第二端部構件1305及延伸於第一與第二端部構件1305之間之一桿型材1310。排放互鎖桿1303可自使桿型材不阻止過濾器隔間接納區敞開之一第一「敞開」位置旋轉至使桿型材1310橫跨過濾器隔間接納區之前開口而延伸之一第二「閉合」位置。根據一實施例，排放互鎖桿1303係可操作地耦合至排放閥1301，使得在排放互鎖桿1303處於閉合/升高位置時排放閥係打開的。在該閉合位置中，排放互鎖桿1303防止過濾器被移除。排放互鎖系統可防止過濾器被移除，除非排放閥係打開的。
參考圖44至圖45而描述安裝過濾系統之一實施例之一程序。在操作中，可安裝主總成1130，其中第一歧管1045硬管接入至一工具。如圖44中所展示，可將過濾器隔間1150添加於殼體1162之過濾器隔間接納區中。根據一實施例，使用一大體上水平之運動，可透過過濾器隔間接納區之前開口而放置過濾器隔間1150。圖44中繪示排放互鎖桿1303以展示：可在排放互鎖桿1303處於敞開位置時安裝過濾器隔間。
過濾器隔間總成1150可自殼體空腔移除以使更換及修理更模組化。在其他實施例中，過濾器隔間總成1150可與殼體1162整合。在其他實施例中，可省略過濾器隔間總成1150且卡匣固持器可直接耦合至殼體。卡匣可獨立地移動或可作為一群組移動。
亦可添加適當之第二歧管1050。如圖45中所展示，第二歧管1050可進入歧管接納區之前開口且藉由由一水平滑動 運動引起之平移而與第一歧管1045配接，直至第一歧管1045與第二歧管1050之對應埠彼此流體連通。根據一實施例，第二歧管1050滑入第一歧管1045中且被緊緊地按壓成與第一歧管1045連接以配接徑向壓縮密封件(例如O形環、彈性特氟隆(spring-backed Teflon)或其他密封件)。歧管鎖桿1280可處於閉合位置以將歧管1050牢固於適當位置中。
第二歧管1050可經選擇以在一單一過濾單元中提供並行、串接或其他過濾。圖46A至圖46C係用於提供串接過濾之一第二歧管1050之一實施例之圖形表示，其等展示以上參考圖32至圖36而論述之特徵之實施例。此外，如圖46C中所繪示，過濾器出口介面埠1035亦可包含一通風開口1041，使得氣體可經由而過濾器出口而排出。圖47A至圖47B係提供並行過濾之一第二歧管1050之一實施例之圖形表示，其等展示以上所論述特徵之實施例。除以上所論述之各種特徵以外，圖46A至圖46C及圖47A至圖47B繪示：第二歧管1050可包含側面凹槽1244。另外，此等圖繪示：第二歧管1050可包含銷接納孔1296以接納固定銷，如上所論述。第二歧管1050可由親油樹脂、全氟樹脂(諸如(但不限於)聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、全氟烷氧基聚合物(PFA))、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚醚醚酮(PEEK)、金屬或其他材料形成。
圖48A及圖48B係一第一歧管1045之一實施例之圖形表示，其等繪示以上所論述之各種特徵。第一歧管1045可由 親油樹脂、全氟樹脂(諸如(但不限於)聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、全氟烷氧基聚合物(PFA))、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚醚醚酮(PEEK)、金屬或其他材料形成。
在一些情況中，可期望在某些隔間中不使用過濾器。例如，製造者可希望在無需過濾之情況下測試歧管密封。作為另一實例，一最終使用者可在安裝系統時無需由過濾系統提供之最大數目之過濾器，但可預期在未來使用該等過濾器。為此，虛設卡匣可放置於過濾器隔間1150之一或多者中。一類型之虛設卡匣使流體選路至適當埠/自適當埠選路流體，但不包含一過濾元件。圖49係一虛設卡匣1340之一實施例之一圖形表示。虛設卡匣1340可包含：一基座1345，其包含與卡匣固持器相容之一引導構件；一本體1350；及入口埠構件636與出口埠構件642。本體1350界定入口埠與出口埠之間之一流動通道1355。本體1350可由親油樹脂、全氟樹脂(諸如(但不限於)聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、全氟烷氧基聚合物(PFA))、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚醚醚酮(PEEK)、金屬或其他材料形成。諸如圖49中所展示，一虛設卡匣可與串接或並行第二歧管1050一起使用。然而，對於並行第二歧管1050，無需連接入口過濾器埠與出口過濾器埠。相應地，本體1350之另一實施例可缺少流動通道1355且可僅為一實心材料塊或 具有插入埠之外殼。
雖然已描述特定實施例，但此等實施例僅具繪示性且非限制本發明。本發明之所繪示實施例之本文描述(其包含【發明摘要】及【發明內容】中之描述)非意欲具窮舉性或使本發明受限於本文所揭示之精確形式(且特定言之，【發明摘要】或【發明內容】內所包含之任何特定實施例、特徵或功能非意欲使本發明之範疇受限於此實施例、特徵或功能)。相反，描述意欲描述繪示性實施例、特徵及功能以使一般技術者理解本發明，且不使本發明受限於任何特定之描述實施例、特徵或功能(其包含【發明摘要】或【發明內容】中所述之任何此類實施例、特徵或功能)。雖然本文僅為繪示之目的而描述本發明之特定實施例或實例，但各種等效修改可在本發明之精神及範疇內，如熟習技術者所認知及瞭解。如所指示，可鑒於本發明之所繪示實施例之先前描述而對本發明作出此等修改且該等修改將被包含於本發明之精神及範疇內。因此，雖然本文已參考本發明之特定實施例而描述本發明，但先前揭示內容中意欲作出廣泛修改、各種改變及取代，且應瞭解，在一些例項中，將在不背離所陳述之本發明之範疇及精神之情況下採用本發明之實施例之一些特徵，且無需對應地使用其他特徵。因此，可作出諸多修改以使適應一特定情形或材料適用於本發明之本質範疇及精神。例如，可藉由化學塗覆、電漿處理、雷射或燈光處理及類似者而使薄膜經表面改質以包含離子交換基團、親水基團、疏水基團及其 他官能團部分。
在整個說明書中，參考「一實施例」或「一特定實施例」或類似術語意謂：結合該實施例而描述之一特定特徵、結構或特性被包含於至少一實施例中且未必存在於全部實施例中。因此，分別出現在整個說明書中之片語「在一實施例中」或「在一特定實施例中」或類似術語未必涉及相同實施例。此外，任何特定實施例之特定特徵、結構或特性可以任何適合方式與一或多個其他實施例組合。應瞭解，本文所述及所繪示之實施例之其他變動及修改可鑒於本文教示且應被視為本發明之精神及範疇之部分。
在本文之描述中，提供諸多特定細節(諸如組件及/或方法之實例)以提供本發明之實施例之一完全理解。然而，熟習相關技術者將認識到，能夠在無需該等特定細節之一或多者之情況下實踐一實施例，或可用其他裝置、系統、總成、方法、組件、材料、部件及/或類似者來實踐該實施例。在其他例項中，未詳細展示或描述熟知之結構、組件、系統、材料或操作以避免使本發明之實施例之態樣不清楚。雖然可藉由使用一特定實施例而繪示本發明，但此未使本發明受限於任何特定實施例且一般技術者將認識到額外實施例可易於理解且為本發明之一部分。
亦應瞭解，圖式/圖中所描繪元件之一或多者亦可以一更分離或整合方式被實施，或甚至被移除或在某些情況中被視為不可操作，如根據一特定應用所使用。另外，若無另外特別說明，則圖式/圖中之任何信號箭頭應僅被視為 具例示性，而非限制。
如本文所使用，術語「包括」、「包含」、「具有」或其等之任何其他變型意欲涵蓋一非排他包含性。例如，包括一系列元件之一程序、產品、物件或裝置未必受限於僅含此等元件，而是可包含此程序、產品、物件或裝置未明確列出或所固有之其他元件。
此外，若無另外指示，則術語「或」(如本文所使用)一般意指「及/或」。例如，一條件A或B滿足以下之任何者：A為真(或存在)且B為假(或不存在)；A為假(或不存在)且B為真(或存在)；及A與B兩者為真(或存在)。如本文所使用(其包含以下請求項)，若請求項內無另外清楚指示(即，「一」明確表示僅涉及單數或複數)，則前面加有「一」(及「該」(此時先前已出現過「一」))之一術語包含此術語之單數形式與複數形式兩者。再者，如本文描述及全部請求項中所使用，若內文無另外清楚指示，則「在...中」之含義包含「在...中」及「在...上」。本發明之範疇應由以下請求項及其合法等效物確定。
100‧‧‧過濾器總成
105‧‧‧過濾器殼體
110‧‧‧過濾器空腔
115‧‧‧上游部分
120‧‧‧下游部分
125‧‧‧過濾元件
127‧‧‧褶皺尖端
129‧‧‧褶皺尖端
130‧‧‧過濾器入口埠
135‧‧‧過濾器出口埠
140‧‧‧過濾器通風埠
150‧‧‧流動物導件
155‧‧‧上游側壁
165‧‧‧第一端
170‧‧‧第二端
175‧‧‧頂部
180‧‧‧底部
185‧‧‧第一側
190‧‧‧第二側
195‧‧‧主外殼
200‧‧‧側蓋
210‧‧‧前端蓋
215‧‧‧後端蓋
220‧‧‧結合縫
225‧‧‧前區段
230‧‧‧後區段
235‧‧‧下游側壁
240‧‧‧前區段
245‧‧‧後區段
250‧‧‧特徵/導軌
255‧‧‧特徵/導軌
260‧‧‧過濾器蓋
270‧‧‧頂壁部分/頂部部分
275‧‧‧底壁部分/底部部分
277‧‧‧邊緣
279‧‧‧邊緣
2801‧‧‧端部肋件
2802‧‧‧端部肋件
2901至290n‧‧‧底部肋件
2951至295n‧‧‧頂部肋件
3001至300n‧‧‧中間肋件
305‧‧‧底部偏移部分
310‧‧‧側壁偏移部分
315‧‧‧頂部偏移部分
320‧‧‧側壁偏移部分
3251至325n‧‧‧流動通道
327‧‧‧接合邊緣/頂部邊緣
329‧‧‧接合邊緣/底部邊緣
335‧‧‧頂壁部分
340‧‧‧底壁部分
350‧‧‧外頂部邊緣
355‧‧‧外底部邊緣
360‧‧‧上構件
365‧‧‧下構件
370‧‧‧前端構件
375‧‧‧後端構件
380‧‧‧中間間隔構件
385‧‧‧支撐構件
400‧‧‧尖端部分
405‧‧‧排放通道
408‧‧‧尖端部分
410‧‧‧通風通道
420‧‧‧下耦合部分
425‧‧‧上耦合部分
430‧‧‧凹槽
435‧‧‧榫舌
440‧‧‧凹槽
445‧‧‧榫舌
455‧‧‧榫舌
460‧‧‧凹槽
465‧‧‧榫舌
470‧‧‧凹槽
490‧‧‧下薄膜瓣
495‧‧‧液壓分佈
497‧‧‧液壓分佈
500‧‧‧移位平行四邊形過濾元件固持區
590‧‧‧灌注材料
600‧‧‧過濾器總成
602‧‧‧過濾器殼體
603‧‧‧過濾器空腔
604‧‧‧上游部分
606‧‧‧下游部分
610‧‧‧過濾元件
612‧‧‧過濾器入口埠
614‧‧‧過濾器出口埠
615‧‧‧過濾器通風埠
616‧‧‧過濾器通風埠
618‧‧‧入口閥
620‧‧‧流動物導件
622‧‧‧上游側壁
624‧‧‧出口閥
626‧‧‧第二流動物導件
628‧‧‧側壁
630‧‧‧過濾器固持器
632‧‧‧主體部分/密封部分
634‧‧‧主體部分/密封部分
635‧‧‧接合縫
636‧‧‧過濾器入口埠構件
637‧‧‧公接頭
638‧‧‧公接頭
639‧‧‧流體截留壁
640‧‧‧基座
641‧‧‧氣體累積區
642‧‧‧過濾器出口埠構件
643‧‧‧公接頭
644‧‧‧壁
645‧‧‧基座
646‧‧‧入口區
648‧‧‧表面
650‧‧‧上表面
652‧‧‧頂壁
654‧‧‧底壁
656‧‧‧端壁
658‧‧‧端壁
660‧‧‧引導構件
661‧‧‧橫向延伸引導凸緣
663‧‧‧橫向延伸引導凸緣
664‧‧‧肋件
665‧‧‧肋件
667‧‧‧肋件
668‧‧‧肋件
670‧‧‧入口槽池
672‧‧‧出口槽池
674‧‧‧表面
675‧‧‧開口
676‧‧‧開口
680‧‧‧端壁/端部部分
682‧‧‧端壁/端部部分
684‧‧‧頂壁/頂部部分
685‧‧‧底壁
686‧‧‧過濾元件固持區
688‧‧‧飛邊
690a‧‧‧開口
690b‧‧‧開口
692‧‧‧RFID標籤
693‧‧‧RFID讀取器
694‧‧‧主體
695‧‧‧引導機構
696‧‧‧橢圓形主體
697‧‧‧引導機構
698‧‧‧圓柱形主體
699‧‧‧引導機構
700‧‧‧主總成
705‧‧‧基座
710‧‧‧護套
715‧‧‧支撐臂
717‧‧‧托架
720‧‧‧埠塊
725‧‧‧控制桿
730‧‧‧管道
735‧‧‧大體上向上之延伸部分
740‧‧‧大體上水平之延伸部分
745‧‧‧過濾器入口流動通道
750‧‧‧過濾器入口介面埠
760‧‧‧出口流動通道
762‧‧‧第一旋轉軸
764‧‧‧第二旋轉軸
768‧‧‧第三旋轉軸
770‧‧‧端部構件
772‧‧‧引導構件
774‧‧‧外軌道/導軌
776‧‧‧支撐臂引導銷
778‧‧‧內軌道/導軌
779‧‧‧主總成入口
780‧‧‧引導銷
782‧‧‧銳角
790‧‧‧筆直部分
791‧‧‧閂鎖
793‧‧‧第二部分
795‧‧‧筆直部分
797‧‧‧第二部分
800‧‧‧卡匣接納區
810‧‧‧上軌道
815‧‧‧下軌道
900‧‧‧過濾系統
905‧‧‧主總成
910‧‧‧主總成入口埠
915‧‧‧主總成出口埠
920‧‧‧主總成通風埠
930‧‧‧管道
950‧‧‧出口介面
955‧‧‧通風介面
960‧‧‧彈簧
1000‧‧‧過濾系統
1005‧‧‧歧管
1010‧‧‧過濾器
1015‧‧‧歧管入口埠
1020‧‧‧歧管出口埠
1025‧‧‧通風埠
1030‧‧‧過濾器入口介面埠
1035‧‧‧過濾器出口介面埠
1040‧‧‧通風介面埠
1041‧‧‧通風開口
1045‧‧‧第一歧管
1050‧‧‧第二歧管
1055‧‧‧歧管介面出口埠
1060‧‧‧歧管介面入口埠
1065‧‧‧歧管介面通風入口埠
1070‧‧‧歧管介面入口埠
1075‧‧‧歧管介面出口埠
1080‧‧‧歧管介面通風出口埠
1085‧‧‧過濾器
1090‧‧‧過濾器入口埠
1095‧‧‧過濾器出口埠
1100‧‧‧入口過濾通風埠
1105‧‧‧出口過濾通風埠
1110‧‧‧入口流動通道
1115‧‧‧出口流動通道
1120‧‧‧過濾器間流動通道
1125‧‧‧通風流動路徑
1130‧‧‧主總成
1150‧‧‧過濾器隔間總成
1155‧‧‧過濾器卡匣固持器
1160‧‧‧過濾器卡匣
1162‧‧‧過濾器隔間殼體
1165‧‧‧過濾器隔間門
1205‧‧‧側壁
1210‧‧‧側壁
1212‧‧‧隔間基座
1232‧‧‧主門部分
1234‧‧‧L形連桿/主門連桿
1236‧‧‧第二連桿
1239‧‧‧交叉連桿
1241‧‧‧十字桿件
1244‧‧‧側面凹槽
1245‧‧‧連桿
1246‧‧‧連桿
1249‧‧‧十字桿件
1260‧‧‧側壁
1264‧‧‧導件
1265‧‧‧後壁
1270‧‧‧指狀物
1280‧‧‧歧管鎖桿
1285‧‧‧歧管鎖桿端部構件
1290‧‧‧十字桿件
1293‧‧‧銷孔
1295‧‧‧銷
1296‧‧‧銷接納孔
1297‧‧‧彈簧
1300‧‧‧支撐件
1301‧‧‧氣動通風閥/排放閥
1303‧‧‧排放互鎖桿
1305‧‧‧端部構件
1310‧‧‧桿型材
1340‧‧‧虛設卡匣
1345‧‧‧基座
1350‧‧‧本體
1355‧‧‧流動通道
圖1係一過濾器總成之一實施例之一圖形表示；圖2A至圖2C係配置為一過濾器卡匣之一過濾器總成之一實施例之圖形表示；圖3係一過濾器總成之一實施例之一分解圖；圖4A至圖4C係一主外殼殼體部分之一實施例之圖形表示； 圖5A至圖5B係一第二殼體部分之一實施例之圖形表示；圖6係一過濾器蓋之一實施例之一圖形表示；圖7係一過濾器卡匣之一實施例之一橫截面之一圖形表示；圖8係將一過濾器蓋耦合至一主外殼之一實施例之一圖形表示；圖9係一過濾器卡匣之一實施例之一視圖之一圖形表示；圖10係一過濾器卡匣之一實施例之液壓分佈之一圖形表示；圖11係一過濾器卡匣之另一實施例之一圖形表示；圖12係具有灌注材料之一過濾器卡匣之一實施例之一圖形表示；圖13係一過濾器總成之另一實施例之一圖形表示；圖14係一過濾器總成之又一實施例之一圖形表示；圖15係一過濾器卡匣之一實施例之一圖形表示；圖16A至圖16C係一過濾器卡匣之一實施例之額外視圖之圖形表示；圖17係一過濾器卡匣之一殼體之一實施例之一圖形表示；圖18係一過濾器殼體之部分之一圖形表示；圖19係一過濾元件固持器之一實施例之一圖形表示；圖20係一過濾器卡匣之另一實施例之一圖形表示； 圖21係一過濾器卡匣之另一實施例之一圖形表示；圖22係一過濾器卡匣之另一實施例之一圖形表示；圖23係一過濾器卡匣之另一實施例之一圖形表示；圖24係用於接納一過濾器卡匣之一過濾系統之一實施例之一圖形表示；圖25係用於接納一過濾器之一總成之另一實施例之一圖形表示；圖26係用於接納一過濾器卡匣之一護套之一實施例之一圖形表示；圖27係容納多個過濾器之一過濾系統之一實施例之一圖形表示；圖28係容納經組態以用於並聯過濾之多個過濾器之一過濾系統之一實施例之一圖形表示；圖29經容納經組態以用於串聯過濾之多個過濾器之一過濾系統之一實施例之一圖形表示；圖30係容納多個過濾器之一過濾系統之另一實施例之一圖形表示；圖31A至圖31B係一埠塊之一實施例之圖形表示；圖32係容納多個過濾器之過濾系統之一實施例之一圖形表示；圖33係容納經組態以用於並聯過濾之多個過濾器之過濾系統之一實施例之一圖形表示；圖34係容納經組態以用於串聯過濾之多個過濾器之過濾系統之一實施例之一圖形表示； 圖35係容納經組態以用於並聯過濾與串聯過濾之一組合之多個過濾器之過濾系統之一實施例之一圖形表示；圖36係繪示通風路徑之過濾系統之一實施例之一圖形表示；圖37係容納多個過濾器之一過濾系統之另一實施例之一圖形表示；圖38A至圖38B係自一未配接位置移動至一配接位置之一卡匣之圖形表示；圖39係一過濾器隔間總成之一實施例之一圖形表示；圖40係一過濾器隔間總成之一實施例之一圖形表示，其中一過濾器卡匣固持器自一第一位置移動至一第二位置；圖41係一主總成之一部分之一實施例之一圖形表示；圖42係其中已安裝一第二歧管之一主總成之一部分之一實施例之一圖形表示；圖43係一主總成之另一實施例之一圖形表示；圖44係將過濾器隔間總成安裝於一殼體中之一實施例之一圖形表示；圖45係安裝一第二歧管之一實施例之一圖形表示；圖46A至圖46C係經組態以用於串聯流之一歧管之一實施例之一圖形表示；圖47A至圖47B係經組態用於以並聯流之一歧管之一實施例之圖形表示。
圖48A至圖48B係一歧管之另一實施例之圖形表示；及圖49係一虛設卡匣之一實施例之一圖形表示。
700‧‧‧主總成
705‧‧‧基座
710‧‧‧護套
715‧‧‧支撐臂
717‧‧‧托架
720‧‧‧埠塊
725‧‧‧控制桿
730‧‧‧管道
740‧‧‧大體上水平之延伸部分
762‧‧‧第一旋轉軸
764‧‧‧第二旋轉軸
768‧‧‧第三旋轉軸
774‧‧‧外軌道/導軌
778‧‧‧內軌道/導軌
779‧‧‧主總成入口
790‧‧‧筆直部分
791‧‧‧閂鎖
793‧‧‧第二部分
795‧‧‧筆直部分
797‧‧‧第二部分

Claims (18)

  1. 一種用於過濾液體之過濾系統，其包括：一非圓柱形之可移除過濾器卡匣，其具有一過濾器入口埠及一過濾器出口埠；一過濾器卡匣固持器，其經組態以接納及保持該過濾器卡匣；及一主總成，其進一步包括經組態以接納該過濾器入口埠之一過濾器入口介面埠及經組態以接納該過濾器出口埠之一過濾器出口介面埠且界定流動路徑以以導引進出該過濾器卡匣之流動；及其中該過濾器卡匣固持器係可移動地耦合至該主總成，使得該過濾器卡匣可相對於該主總成而自一未配接位置移動至一配接位置。
  2. 如請求項1之過濾系統，其進一步包括一組過濾器卡匣接納區側壁以至少部分界定一第一端處敞開以接納該過濾器卡匣之一過濾器卡匣接納區。
  3. 如請求項2之過濾系統，其中該卡匣接納區及該過濾器卡匣帶有鍵槽，使得該過濾器卡匣具有相對於該卡匣接納區之一適當定向。
  4. 如請求項2之過濾系統，其中該卡匣固持器進一步包括一護套以界定該過濾器卡匣接納區。
  5. 如請求項4之過濾系統，其中該護套係可旋轉地耦合至該主總成，使得該過濾器卡匣可自該未配接位置旋轉至該配接位置。
  6. 如請求項5之過濾系統，其中當該過濾器卡匣處於該未配接位置時，該過濾器卡匣向下地傾斜遠離該過濾器入口埠。
  7. 如請求項6之過濾系統，其中該主總成進一步包括：一基座部分，其位於該過濾器卡匣固持器下方，該基座部分耦合至該過濾器入口介面埠；及一支撐臂，其懸掛於該過濾器卡匣固持器上，該支撐臂耦合至該過濾器出口介面埠。
  8. 如請求項7之過濾系統，其中：該主總成進一步包括一引導構件以界定一第一軌道及一第二軌道；該護套包括佈置於該第一軌道中之一護套引導銷；該支撐臂包括佈置於該第二軌道中之一支撐臂引導銷；及該等第一及第二軌道經塑形，使得該引導構件自一第一引導構件位置至一第二引導構件位置之旋轉導致該過濾器入口埠在該過濾器出口介面埠與該過濾器出口埠配接之前與該過濾器入口介面埠配接。
  9. 一種用於過濾液體之過濾系統，其包括：一組非圓柱形之可移除過濾器卡匣，其等具有一過濾器入口埠及一過濾器出口埠；一組過濾器卡匣固持器，其等經組態以將該過濾器卡匣組接納及保持於一組過濾器卡匣接納區中；及一主總成，其進一步包括經組態以接納該等過濾器入 口埠之過濾器入口介面埠及經組態以接納該等過濾器出口埠之過濾器出口介面埠且界定流動路徑以將流動物導引至該等過濾器卡匣及自該等過濾器卡匣導引流動物；及其中各過濾器卡匣固持器係可移動地耦合至該主總成，使得一對應過濾器卡匣可相對於該主總成而自一未配接位置獨立地移動至一配接位置。
  10. 如請求項9之過濾系統，其中該卡匣接納區組及該過濾器卡匣組帶有鍵槽，使得各過濾器卡匣具有相對於一對應卡匣接納區之一適當定向。
  11. 如請求項9之過濾系統，其中各過濾器卡匣固持器進一步包括一護套以界定一對應過濾器卡匣接納區。
  12. 如請求項11之過濾系統，其中各護套係可旋轉地耦合至該主總成，使得該對應過濾器卡匣可自該未配接位置旋轉至該配接位置。
  13. 如請求項11之過濾系統，其中當該對應過濾器卡匣處於該未配接位置時，該對應過濾器卡匣向下地傾斜遠離該過濾器入口埠。
  14. 如請求項11之過濾系統，其中該主總成進一步包括：一基座部分，其位於該過濾器卡匣固持器組下方，該基座部分耦合至該等過濾器入口介面埠；及一組支撐臂，其等懸掛於該過濾器卡匣固持器組上，該支撐臂組耦合至該等過濾器出口介面埠。
  15. 如請求項14之過濾系統，其中：該主總成進一步包括一組引導構件，各引導構件界定 一第一軌道及一第二軌道；各護套包括佈置於一對應引導構件之該第一軌道中之一護套引導銷；各支撐臂包括佈置於一對應引導構件之該第二軌道中之一支撐臂引導銷；及該等第一及第二軌道經塑形，使得該引導構件自一第一引導構件位置至一第二引導構件位置之旋轉導致一對應護套旋轉以便在該對應過濾器卡匣之該等過濾器出口介面埠與一對應過濾器出口埠配接之前使該對應過濾器卡匣之該過濾器入口埠與一對應過濾器入口介面埠配接。
  16. 如請求項9之過濾系統，其中該過濾器卡匣組經串聯連接。
  17. 如請求項9之過濾系統，其中該過濾器卡匣組經並聯連接。
  18. 如請求項9之過濾系統，其中該主總成包括一組可重組態之流動路徑。
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