TW201311540A - 環狀帶移動方向控制裝置及方法、流延設備及溶液製膜法 - Google Patents

環狀帶移動方向控制裝置及方法、流延設備及溶液製膜法 Download PDF

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Abstract

本發明提供一種環狀帶的移動方向控制裝置、環狀帶的移動方向控制方法、流延設備及溶液製膜方法。環狀流延帶以被施加張力之狀態架設於水平輥。水平輥藉由馬達旋轉。流延帶在形成於水平輥周圍之移動路上循環移動。水平輥與水平輥之間設置有對流延帶的Y方向一端部進行冷卻之帶一端調溫單元及對流延帶的Y方向另一端部進行冷卻之帶另一端調溫單元。另外，控制單元藉由偏離方向判斷部感測流延帶偏離移動路之方向。另外，與偏離方向相反側的端部相比，控制單元更佳優先冷卻流延帶中偏離移動路之方向的端部。

Description

環狀帶移動方向控制裝置及方法、流延設備及溶液製膜法
本發明係有關一種環狀帶的移動方向控制裝置、環狀帶的移動方向控制方法、流延設備及溶液製膜方法。
具有透光性之熱塑性膜(以下稱為膜)為輕質且容易成型，因此作為光學膜廣泛使用。其中，利用纖維素醯化物等之纖維素酯類膜除了用作照片感光用膜之外，還用作液晶顯示裝置的光學膜。作為液晶顯示裝置的光學膜，有偏光板保護膜或相位差膜等。
這種膜藉由溶液製膜方法製造。溶液製膜方法為如下方法。朝向已進行溫度調節之移動之支撐體流出包括聚合物和溶劑之聚合物溶液(以下稱為濃液(dope))，在支撐體上形成帶狀流延膜(以下稱為膜形成製程)。濃液利用配設於流延室內之流延模在支撐體上流動。接著，使溶劑從流延膜中蒸發直至能夠傳送流延膜(以下稱為膜乾燥製程)。之後，從支撐體上剝下能夠傳送之流延膜而作為濕潤膜(以下稱為剝離製程)。而且，使溶劑從該濕潤膜中蒸發而作為膜(以下稱為膜乾燥製程)。
作為用於該溶液製膜方法之支撐體，已知有掛繞於複數個輥並循環移動之環狀帶。由於能夠藉由利用該環狀帶來反覆進行膜形成製程、膜乾燥製程及剝離製程，所以結果能夠提高膜的生產效率。
然而，若長時間進行溶液製膜方法，則有時導致環狀 帶偏離預定的移動路。若在環狀帶偏離移動路之狀態下進行溶液製膜方法，則所獲得膜的均勻性受損。尤其導致寬度方向上的厚度、表面狀態、光學特性的均勻性受損。
作為調節環狀帶的移動方向之方法，例如已知有如日本專利公開2008-195463號公報中記載之使捲繞有環狀帶之驅動輥和從動輥中任意其中一方向前後方向或上下方向移變之方法。
但是，利用於溶液製膜方法之環狀帶與用作物品的傳送機器之環狀帶相比為長形。若為了控制這種長形環狀帶的移動路而利用日本專利公開2008-195463號公報中記載之方法，則對輥移變的控制要求較高之精確度。其結果，很難控制環狀帶的移動方向。
另外，利用於溶液製膜方法之環狀帶為不銹鋼製。此時，如日本專利公開2008-195463號公報中記載之發明，若欲使捲繞有環狀帶之輥向任意方向移變，則導致輥與環狀帶之間產生摩擦。摩擦之部份經電鍍層之剝落引起之腐蝕、起因於摩擦之應力引起之相變等，在環狀帶的表面側亦即形成流延膜之帶面上顯示為缺陷。若在具有這種缺陷之帶面上形成流延膜，則導致缺陷的痕跡會殘留於膜的表面。
本發明的目的在於，提供一種使環狀帶的移動方向的控制輕鬆並抑制輥與環狀帶之間的摩擦之環狀帶的移動方向控制裝置、環狀帶的移動方向控制方法、流延設備及溶 液製膜方法。
本發明的環狀帶的移動方向控制裝置中的環狀帶為不銹鋼製。環狀帶捲繞於平行配設之驅動輥與從動輥上，並藉由驅動輥的旋轉向長邊方向移動。環狀帶沿寬度方向在預先設定之移動路上移動。本發明的環狀帶的移動方向控制裝置具備一端帶張力調節部、另一端帶張力調節部及帶張力控制部。一端帶張力調節部調節環狀帶的寬度方向一端部的張力。另一端帶張力調節部調節環狀帶的寬度方向另一端部的張力。帶張力控制部控制一端帶張力調節部或另一端帶張力調節部。帶張力控制部在環狀帶的寬度方向端部的一側偏離移動路時進行控制。帶張力控制部以環狀帶的偏離移動路之方向的端部的張力變得大於偏離方向相反側的端部的張力的方式進行控制。
環狀帶的移動方向控制裝置進一步具備帶一端調溫部、帶另一端調溫部及帶調溫控制部為較佳。帶一端調溫部調節環狀帶中寬度方向一端側的溫度。帶一端調溫部具備於一端帶張力調節部。帶另一端調溫部調節環狀帶中寬度方向另一端側的溫度。帶另一端調溫部具備於另一端帶張力調節部。帶調溫控制部控制帶一端調溫部及帶另一端調溫部。帶調溫控制部以與偏離方向相反側的端部相比更優先冷卻環狀帶中偏離移動路之端部的方式進行控制。
帶一端調溫部向環狀帶的寬度方向一端側供給調溫氣體，帶另一端調溫部向環狀帶的寬度方向另一端側供給調溫氣體為較佳。
帶一端調溫部具有一端帶塗佈機和一端帶蒸發機，帶另一端調溫部具有另一端帶塗佈機和另一端帶蒸發機為較佳。一端帶塗佈機向環狀帶的寬度方向一端側塗佈一部份液體。一端帶蒸發機使塗佈於環狀帶的寬度方向一端側之一部份液體蒸發。另一端帶塗佈機向環狀帶的寬度方向另一端側塗佈另一部份液體。另一端帶蒸發機使塗佈於環狀帶的寬度方向另一端側之另一部份液體蒸發。
環狀帶的移動方向控制裝置具備輥一端調溫部、輥另一端調溫部及輥調溫控制部為較佳。輥一端調溫部調節驅動輥和從動輥中任一輥的寬度方向一端側的溫度。輥一端調溫部具備於一端帶張力調節部。輥另一端調溫部調節驅動輥和從動輥中的任一輥的寬度方向另一端側的溫度。輥另一端調溫部具備於另一端帶張力調節部。輥調溫控制部控制輥一端調溫部或輥另一端調溫部。帶張力控制部以與偏離方向相反側的端部相比更優先冷卻環狀帶中偏離方向的端部的方式進行控制。
輥一端調溫部向輥的寬度方向一端側供給調溫氣體，輥另一端調溫部向輥的寬度方向另一端側供給調溫氣體為較佳。
輥具有一端流路和另一端流路為較佳。一端流路內置於寬度方向一端側，使一端側調溫用介質流通。另一端流路內置於寬度方向另一端側，使另一端側調溫用介質流通。輥一端調溫部向一端流路供給一端側調溫用介質。輥另一端調溫部向另一端流路供給另一端側調溫用介質。
輥一端調溫部具有一端輥塗佈機和一端輥蒸發機，輥另一端調溫部具有另一端輥塗佈機和另一端輥蒸發機為較佳。一端輥塗佈機向輥的寬度方向一端側塗佈一部份液體。一端輥蒸發機使塗佈於輥的寬度方向一端側之一部份液體蒸發。另一端輥塗佈機向輥的寬度方向另一端側塗佈另一部份液體。另一端輥蒸發機使塗佈於輥的寬度方向另一端側之另一部份液體蒸發。
具備判斷環狀帶是否向寬度方向的一端側與另一端側方向偏離之偏離方向判斷部為較佳。
本發明的流延設備具備流延模、不銹鋼製的環狀帶、溶劑蒸發裝置、剝離裝置及環狀帶的移動控制裝置。流延模流出包括聚合物及溶劑之濃液。環狀帶具有支撐流出濃液之支撐面。環狀帶在支撐面上形成由濃液構成之膜。環狀帶捲繞於平行配設之驅動輥和從動輥上，並藉由驅動輥的旋轉向長邊方向移動。環狀帶沿寬度方向在預先設定之移動路上移動。溶劑蒸發裝置使溶劑從膜中蒸發。剝離裝置從環狀帶上剝離膜。環狀帶的移動控制裝置具有一端帶張力調節部、另一端帶張力調節部及帶張力控制部。一端帶張力調節部調節環狀帶的寬度方向一端部的張力。另一端帶張力調節部調節環狀帶的寬度方向另一端部的張力。帶張力控制部控制一端帶張力調節部或另一端帶張力調節部。帶張力控制部在環狀帶的寬度方向端部的一側偏離移動路時進行控制。帶張力控制部以環狀帶的偏離移動路之方向的端部的張力變得大於偏離方向相反側的端部的張力 的方式進行控制。
流延設備進一步具備帶一端調溫部、帶另一端調溫部及帶調溫控制部為較佳。帶一端調溫部調節環狀帶中寬度方向一端側的溫度。帶一端調溫部具備於一端帶張力調節部。帶另一端調溫部調節環狀帶中寬度方向另一端側的溫度。帶另一端調溫部具備於另一端帶張力調節部。帶調溫控制部控制帶一端調溫部及帶另一端調溫部。帶調溫控制部以與偏離方向相反側的端部相比更優先冷卻環狀帶偏離移動路之端部的方式進行控制。
流延設備具備輥一端調溫部、輥另一端調溫部及輥調溫控制部為較佳。輥一端調溫部調節驅動輥和從動輥中任一輥的寬度方向一端側的溫度。輥一端調溫部具備於一端帶張力調節部。輥另一端調溫部調節驅動輥和從動輥中任一輥的寬度方向另一端側的溫度。輥另一端調溫部具備於另一端帶張力調節部。輥調溫控制部控制輥一端調溫部或輥另一端調溫部。帶張力控制部以與偏離方向相反側的端部相比更優先冷卻環狀帶中偏離方向之端部的方式進行控制。
流延設備具備對環狀帶的寬度方向兩端部進行冷卻之兩端部冷卻裝置為較佳。
兩端部冷卻裝置對環狀帶中遠離輥之部份進行冷卻為較佳。
本發明的環狀帶的移動方向控制方法中的環狀帶為不銹鋼製。環狀帶捲繞於平行配設之驅動輥和從動輥，並藉 由驅動輥的旋轉向長邊方向移動。環狀帶沿寬度方向在預先設定之移動路上移動。本發明的環狀帶的移動方向控制方法具備方向特定步驟及帶張力平衡步驟。方向特定步驟對環狀帶偏離移動路之方向進行特定。帶張力平衡步驟控制一端帶張力調節部和另一端帶張力調節部。控制以環狀帶中偏離移動路之方向的端部的張力變得大於偏離方向相反側的端部的張力的方式進行。一端帶張力調節部調節環狀帶的寬度方向一端側的張力。另一端帶張力調節部調節環狀帶的寬度方向另一端側的張力。
環狀帶的移動方向控制方法具有偏離方向判斷製程為較佳。偏離方向判斷製程判斷環狀帶是否向寬度方向的一端側和另一端側的方向偏離。
本發明的溶液製膜方法具備膜形成步驟(A步驟)、膜乾燥步驟(B步驟)、剝離步驟(C步驟)、方向特定步驟(D步驟)及帶張力平衡步驟(E步驟)。A步驟中，藉由朝向環狀帶流出濃液來在環狀帶的帶面形成由濃液構成之膜。濃液包括聚合物及溶劑。環狀帶為不銹鋼製。環狀帶捲繞於平行配設之驅動輥和從動輥上，並藉由驅動輥的旋轉向長邊方向移動。環狀帶沿寬度方向在預先設定之移動路上移動。B步驟中，向帶面上的膜吹送風並使溶劑從膜中蒸發。C步驟中，從環狀帶上剝離經B步驟之膜。D步驟中，對環狀帶偏離移動路之方向進行特定。E步驟中，控制一端帶張力調節部和另一端帶張力調節部。控制以環狀帶中偏離移動路之方向的端部的張力變得大於偏離方向 相反側的端部的張力的方式進行。一端帶張力調節部調節環狀帶的寬度方向一端側的張力。另一端帶張力調節部調節環狀帶的寬度方向另一端側的張力。
溶液製膜方法具備對環狀帶的寬度方向兩端部進行冷卻之兩端部冷卻步驟為較佳。兩端部冷卻步驟與B步驟並行進行。
同時開始兩端部冷卻步驟和B步驟為較佳。
依本發明，能夠輕鬆地進行環狀帶的移動方向的控制。並且，依本發明，能夠抑制輥與環狀帶之間的摩擦。
(溶液製膜設備)
如圖1所示，溶液製膜設備10具有流延裝置15、夾子拉幅機17、乾燥裝置18及捲取裝置19。流延裝置15由濃液12製作濕潤膜13。夾子拉幅機17藉由濕潤膜13的乾燥獲得膜16。乾燥裝置18進行濕潤膜13的乾燥。捲取裝置19將膜16捲取在卷芯上。
(流延裝置)
如圖1及圖2所示，流延裝置15具有殼體23、水平且相互平行地排列於殼體23內之水平輥24、水平輥25。水平輥24具備驅動軸24A和固定於驅動軸24A之不銹鋼製的輥主體24B。水平輥25具備軸25A和固定於軸25A之不銹鋼製的輥主體25B。水平輥24、水平輥25上捲繞環狀的流延帶26。流延帶26藉由連結帶狀片材的兩端而獲得。
在此，水平是指水平輥24、水平輥25相對水平面的交叉角度為0°以上0.01°以下者。並且，平行是指水平輥24、水平輥25的交叉角度為0°以上0.01°以下者。
驅動軸24A與輥驅動用馬達24M(參考圖3)連接。馬達控制部(未圖示)控制輥驅動用馬達24M來以預定的速度旋轉水平輥24。流延帶26隨著水平輥24的旋轉向預定方向循環移動，水平輥25隨著流延帶26的移動而旋轉。以下，將流延帶26的移動方向稱為X方向，將流延帶26的寬度方向稱為Y方向，將垂直方向稱為Z方向。
並且，驅動軸24A在張力外加位置與鬆弛位置之間移動自如。張力外加位置為對掛繞於輥主體24B、輥主體25B之流延帶26外加預定張力之位置。鬆弛位置為掛繞於輥主體24B、輥主體25B之流延帶26鬆弛之位置。軸位移部24AS在未圖示的控制部的控制下能夠使驅動軸24A在張力外加位置與鬆弛位置之間移變。軸位移部24AS維持與軸25A平行的狀態之同時，使驅動軸24A移變為較佳。並且，在驅動軸24A上安裝力量感測器24AL。力量感測器24AL感測驅動軸24A所承受之外力。未圖示之控制部從力量感測器24AL讀取驅動軸24A所承受之外力。接著，未圖示之控制部依據已讀取之外力及內置流延帶26的截面積值將軸位移部24AS控制成施加於流延帶26之張力成為預定張力。這樣，能夠在Y方向上同樣對流延帶26外加張力。
流延帶26的表面(以下稱為流延面)26A(參考圖3) 的移動速度V26A在200m/分鐘以下為較佳。若移動速度V26A超過200m/分鐘，則很難穩定地形成液珠。關於移動速度V26A的下限值，考慮目標膜的生產率即可。移動速度V26A的下限值例如為10m/分鐘以上。
流延帶26為不銹鋼製為較佳，為具有充份的耐腐蝕性和強度之SUS316製更為加。流延帶26的寬度例如為濃液12的流延寬度的1.1倍以上2.0倍以下為較佳。流延帶26的長度例如為20m以上200m以下為較佳。流延帶26的厚度例如為0.5mm以上~2.5mm以下為較佳。另外，流延帶26的厚度不均相對於整體厚度在0.5%以下為較佳。流延面26A進行研磨為較佳，流延面26A的表面粗糙度在0.05μm以下為較佳。
如圖2所示，在殼體23內從X方向上游側朝向下游側依次配設第1密封構件31~第3密封構件33。第1密封構件31~第3密封構件33設置成從殼體23的內壁面突出且突出端靠近流延帶26的流延面26A。殼體23內藉由第1密封構件31~第3密封構件33從X方向上游側朝向下游側分隔成流延室23A、乾燥室23B及剝離室23C。而且，流延室23A的氣密性藉由第1密封構件31~第2密封構件32維持。另外，乾燥室23B的氣密性藉由第2密封構件32~第3密封構件33維持。第1密封構件31~第3密封構件33與流延面26A的間隔例如為1.5mm以上2.0mm以下。
(流延室)
流延室23A內設置流延模40和減壓單元41。流延模40具有流出濃液12之濃液流出口40A，並以濃液流出口40A與流延帶26靠近之方式配設於水平輥24的上方。
流延模40從濃液流出口40A朝向流延帶26流出濃液12。從濃液流出口40A流出並到達流延面26A之前的濃液12形成液珠。到達流延面26A之濃液12在X方向上流延，最終形成帶狀的流延膜43。
減壓單元41係用於對液珠的X方向上游側進行減壓者。減壓單元41具有減壓室41A、減壓扇41B及吸引管41C。減壓室41A配置於比流延模40的濃液流出口40A更靠X方向的上游側。減壓扇41B吸引減壓室41A內的氣體。吸引管41C連接減壓扇41B和減壓室41A。
(乾燥室)
乾燥室23B內從X方向上游側朝向下游側依次設置對流延膜43供給預定的乾燥風之第1乾燥單元51~第2乾燥單元52。第1乾燥單元51配設於架設在水平輥24、水平輥25之流延帶26的上方。第2乾燥單元52配設於架設在水平輥24、水平輥25之流延帶26的下方。
如圖3~圖5所示，第1乾燥單元51具備第1進氣導管51A和第1排氣導管51B。第1進氣導管51A和第1排氣導管51B從X方向上游側朝向下游側依次設置。第1進氣導管51A和第1排氣導管51B分別遠離流延帶26而配設。第1進氣導管51A上設置送出第1乾燥風51DA之第1進氣口51AO。朝向X方向下游側開口之第1進氣口51AO 從流延膜43的一端延設至另一端。第1排氣導管51B上設置對第1乾燥風51DA進行排氣之第1排氣口51BO。朝向X方向上游側開口之第1排氣口51BO從流延膜43的一端延設至另一端。
第2乾燥單元52具備第2排氣導管52A及第2進氣導管52B。第2排氣導管52A及第2進氣導管52B從X方向上游側朝向下游側依次設置。第2排氣導管52A及第2進氣導管52B分別遠離流延帶26而配設。第2排氣導管52A上設置對第2乾燥風52DA進行排氣之第2排氣口52AO。朝向X方向下游側開口之第2排氣口52AO從流延膜43的一端延設至另一端。第2進氣導管52B上設置送出第2乾燥風52DA之第2進氣口52BO。朝向X方向上游側開口之第2進氣口52BO從流延膜43的一端延設至另一端。
第1乾燥單元51~第2乾燥單元52中分別設置第1送風扇~第2送風扇(未圖示)及第1調溫機~第2調溫機(未圖示)。乾燥控制部(未圖示)與第1送風扇~第2送風扇及第1調溫機~第2調溫機連接。乾燥控制部獨立調節有關第1乾燥風51DA及第2乾燥風52DA的溫度或風速。
圖2所示之乾燥室23B中，為了使溶劑從流延膜43中蒸發，對流延膜43供給龐大的熱能。因此，通過乾燥室23B時的流延帶26的溫度處於上昇之趨勢。因此，若在被加熱之流延帶26上流延濃液12，則會引起濃液12的起 泡。因此，如圖6所示，可在膜乾燥製程完成之後或即將完成時，利用朝向裏面26B送出冷卻氣體之膜形成區冷卻機55，對流延帶26中支撐流延膜43之部份55X進行冷卻。膜形成區冷卻機55設置於乾燥室23B的X方向最下游側或剝離室23C內為較佳。
另外，亦可利用具備對裏面26B塗佈溶劑之模具及比模具更靠X方向下游側配設且使塗佈於裏面26B之溶劑蒸發之乾燥部之膜形成區冷卻部來代替膜形成區冷卻機55。
(輥調溫機)
如圖2所示，在水平輥24上安裝輥調溫機57，水平輥25上安裝輥調溫機58。輥調溫機57、輥調溫機58在控制部的控制下，使調節成所希望的溫度之載熱體在設置於輥主體24B、輥主體25B內之流路中循環。能夠藉由該載熱體的循環將輥主體24B、輥主體25B的溫度保持在所希望的溫度。流延帶26的流延面26A，尤其是形成流延膜43之部份的溫度在10℃~40℃的範圍內調節為大致恆定為較佳。
(環狀帶的移動方向控制裝置)
如圖3、圖4所示，乾燥室23B內設置環狀帶的移動方向控制裝置60。環狀帶的移動方向控制裝置60具備作為一端帶張力調節部之帶一端調溫單元61P、作為另一端帶張力調節部之帶另一端調溫單元61Q、偏離感測部65及控制單元67(參考圖8)。另外，圖2中，為了避免圖式變得複雜而省略環狀帶的移動方向控制裝置60。
(帶一端調溫單元)
如圖4及圖5所示，帶一端調溫單元61P分別設置於流延帶26的流延面26A側與裏面26B側。帶一端調溫單元61P向流延帶26中Y方向的一端部26EP吹送調溫氣體來調節一端部26EP的溫度。各個帶一端調溫單元61P具備一端調溫氣體導管61PA、一端調溫氣體供給機61PB及一端調溫氣體吸引機61PC。一端調溫氣體導管61PA分別設置成與一端部26EP的流延面26A及裏面26B對置，並使調溫氣體68流通。一端調溫氣體供給機61PB向一端調溫氣體導管61PA供給調溫氣體68。一端調溫氣體吸引機61PC吸引藉由一端調溫氣體導管61PA的調溫氣體68。在配設於流延面26A側之一端調溫氣體導管61PA內與流延面26A對置之導管面設置開口61PO。並且，配設於裏面26B側之一端調溫氣體導管61PA內與裏面26B對置之導管面設置開口61PO。供給到一端調溫氣體導管61PA之調溫氣體68藉由這些各開口61PO與一端部26EP接觸。
帶一端調溫單元61P和帶另一端調溫單元61Q向Y方向排列為較佳。並且，一端調溫氣體導管61PA及另一端調溫氣體導管61QA配設於第1進氣導管51A的Y方向兩側為較佳。
在此，流延帶26中Y方向的一端部26EP是指流延帶26中除了支撐流延膜43之部份55X(參考圖6)以外之部份的一側的部份。並且，流延帶26中Y方向的另一端部26EQ是指除了支撐流延膜43之部份55X(參考圖6)以 外之部份的另一側的部份。
(帶另一端調溫單元)
帶另一端調溫單元61Q與帶一端調溫單元61P相同地向流延帶26中Y方向的另一端部26EQ吹送調溫氣體68來調節另一端部26EQ的溫度。帶另一端調溫單元61Q分別設置於流延帶26的流延面26A側與裏面26B側。各帶另一端調溫單元61Q具備另一端調溫氣體導管61QA、另一端調溫氣體供給機61QB及另一端調溫氣體吸引機61QC。另一端調溫氣體導管61QA分別設置成與另一端部26EQ的流延面26A及裏面26B對置，並使調溫氣體68流通。另一端調溫氣體供給機61QB向另一端調溫氣體導管61QA供給調溫氣體68。另一端調溫氣體吸引機61QC吸引通過另一端調溫氣體導管61QA之調溫氣體68。在配設於流延面26A側之另一端調溫氣體導管61QA內與流延面26A對置之導管面設置有開口61QO。並且，在配設於裏面26B側之另一端調溫氣體導管61QA內與裏面26B對置之導管面設置有開口61QO。供給到另一端調溫氣體導管61QA之調溫氣體68藉由這些各開口61QO與另一端部26EQ接觸。
開口61PO延設至比流延帶26的一端部26EP更靠Y方向外側。並且，開口61PO延設至比後述之移動路更靠Y方向外側為較佳。同樣道理，開口61QO延設至比流延帶26的另一端部26EQ更靠Y方向外側。另外，開口61QO延設至比後述之移動路26R(參考圖7)更靠Y方向外側 為較佳。
(偏離感測部)
如圖4所示，偏離感測部65設置於乾燥室23B內。如圖4及圖7所示，偏離感測部65具備設置於流延帶26的一端側之一端偏離感測部65P及設置於流延帶26的另一端側之另一端偏離感測部65Q。
(一端偏離感測部)
一端偏離感測部65P具備發光部65PA及受光部65PB。發光部65PA中內置光源並向外部射出來自光源的檢查光。受光部65PB中內置能夠接收檢查光之光感測器，並判斷光感測器是否感測到來自發光部65PA的檢查光。當受光部65PB判斷光感測器感測到了檢查光時，受光部65PB輸出感測信號。發光部65PA及受光部65PB設置成從發光部65PA到受光部65PB的檢查光的光路70PX通過預先設定之流延帶26的移動路26R的Y方向的一端。
(另一端偏離感測部)
另一端偏離感測部65Q與一端偏離感測部65P相同地具備發光部65QA及受光部65QB。發光部65QA中內置光源且向外部射出來自光源的檢查光。受光部65QB中內置能夠接收檢查光之光感測器，並判斷光感測器是否感測到檢查光。當受光部65QB判斷光感測器感測到了檢查光時，受光部65QB輸出感測信號。發光部65QA及受光部65QB設置成從發光部65QA到受光部65QB的檢查光的光路70QX通過預先設定之流延帶26的移動路26R的Y方 向的另一端。
移動路26R為在Y方向上預先設定之流延帶26的基準路徑。移動路26R的寬度(Y方向上的長度)可以與流延帶26的寬度相等，亦可以設為流延帶26的寬度加上預定的游隙寬度。
(控制單元)
如圖8所示，控制單元67控制一端調溫氣體供給機61PB及另一端調溫氣體供給機61QB。控制單元67具備偏離方向判斷部67A及作為帶張力控制部之帶調溫控制部67B。
偏離方向判斷部67A判斷是否從受光部67PB、受光部67QB輸出感測信號。而且，當判斷為已從受光部67PB、受光部67QB兩者輸出感測信號時，偏離方向判斷部67A判斷流延帶26處於移動路26R內。另一方面，當判斷為從受光部67QB輸出感測信號且未從受光部67PB輸出感測信號時，偏離方向判斷部67A判斷流延帶26從移動路26R向一端側偏離。當判斷為從受光部67PB輸出感測信號且未從受光部67QB輸出感測信號時，偏離方向判斷部67A判斷流延帶26從移動路26R向另一端側偏離。
帶調溫控制部67B依據偏離方向判斷部67A之判斷結果，控制一端調溫氣體供給機61PB及另一端調溫氣體供給機61QB。藉由帶調溫控制部67B的控制，分別調節藉由一端調溫氣體供給機61PB供給之調溫氣體68的溫度及藉由另一端調溫氣體供給機61QB供給之調溫氣體68的溫 度。
(剝離室)
返回到圖2，剝離室23C內設置剝離輥86。剝離輥86從流延帶26上剝離已成為能夠剝離狀態之流延膜43來作為濕潤膜13，並從設置於剝離室23C之出口23CO送出濕潤膜13。
亦可將對包含於殼體23內的氣氛之溶劑進行冷凝之冷凝裝置和回收已冷凝之溶劑之回收裝置設置於流延裝置15。藉此能夠將包含於殼體23內的氣氛之溶劑的濃度保持在恆定範圍內。
返回到圖1，流延裝置15與夾子拉幅機17之間的轉送部中排列有複數個支撐濕潤膜13之支撐輥87。支撐輥87藉由未圖示之馬達以軸為中心旋轉。支撐輥87支撐從流延裝置15送出之濕潤膜13並向夾子拉幅機17引導。另外，圖1中示出在轉送部排列2個支撐輥87之情況，但本發明不限於此，可在轉送部排列1個或3個以上支撐輥87。並且，支撐輥87亦可以為自由輥。
夾子拉幅機17具有對濕潤膜13的寬度方向兩側緣部進行把持之複數個夾子，該夾子在拉伸軌道上移動。對被夾子把持之濕潤膜13送出乾燥風，並對濕潤膜13實施朝向寬度方向的拉伸處理及乾燥處理。
夾子拉幅機17與乾燥裝置18之間設置有切邊裝置88。送出至切邊裝置88之膜16的寬度方向的兩端形成有由於夾子而形成之把持痕跡。切邊裝置88切掉具有該把持 痕跡之兩端部份。該被切掉之部份藉由送風依次送入截斷風機(未圖示)及破碎機(未圖示)而被切碎，作為濃液等原料再利用。
乾燥裝置18具備具有膜16的傳送路之殼體、形成膜16的傳送路之複數個輥18A及調節殼體內的氣氛的溫度或濕度之空調機(未圖示)。導入殼體內之膜16一邊捲繞於複數個輥18A，一邊被傳送。殘留之溶劑藉由該氣氛的溫度或濕度的調節從在殼體內傳送之膜16中蒸發。另外，乾燥裝置18與藉由吸附回收從膜16蒸發之溶劑之吸附回收裝置連接。
乾燥裝置18及捲取裝置19之間從上游側依次設置冷卻室89、除電棒(未圖示)、滾花賦予輥90及切邊裝置(未圖示)。冷卻室89對膜16進行冷卻，直至膜16的溫度成為大致室溫。除電棒進行對從冷卻室89送出並帶電之膜16除電之除電處理。滾花賦予輥90對膜16的寬度方向兩端賦予捲取用滾花。切邊裝置將膜16的寬度方向兩端切斷成在切斷後的膜16的寬度方向兩端留有滾花。
捲取裝置19具有壓輥19A和卷芯19B。送入捲取裝置19之膜16邊被壓輥19A按壓，邊捲繞於卷芯19B而呈輥狀。
接著，對本發明的作用進行說明。如圖2及圖3所示，未圖示之馬達控制部經輥驅動用馬達24M旋轉水平輥24。藉此，流延帶26依次在各室23A~室23C之間循環移動。
(膜形成製程)
在流延室23A中進行在流延帶26上形成由濃液12構成之流延膜43之流延製程。流延模40從濃液流出口40A連續流出濃液12。所流出之濃液12從流延模40遍及流延帶26形成液珠，並在流延帶26上流延。這樣，流延帶26上形成由濃液12構成之流延膜43(參考圖9)。
減壓單元41能夠構築液珠的X方向上游側的壓力低於液珠的X方向下游側的壓力之狀態。液珠的X方向上游側及X方向下游側的壓力差△P為10Pa以上2000Pa以下為較佳。
(膜乾燥製程)
在乾燥室23B中，進行對流延膜43吹送預定的乾燥風並使溶劑從流延膜43中蒸發之膜乾燥製程。膜乾燥製程進行至流延膜43成為能夠獨立傳送之狀態。膜乾燥製程中，依次進行第1乾燥製程及第2乾燥製程。
(第1乾燥製程)
第1乾燥製程中，使溶劑從流延膜43中蒸發，直至在流延膜43的表層形成乾燥層43A(參考圖10)。如圖2所示，第1乾燥單元51從第1進氣口51AO送出第1乾燥風51DA。
藉由第1乾燥製程，流延膜43成為具有乾燥層43A和濕潤層43B之膜(參考圖10)。乾燥層43A為生成於流延膜43的表面側且與位於比乾燥層43A更靠流延帶26側之濕潤層43B相比進一步被乾燥之部份。因此，乾燥層43A 的溶劑含量與濕潤層43B相比較低。另外，乾燥層43A的表面平滑地形成。當對具有乾燥層43A之流延膜43進行預定的乾燥製程時，乾燥層43A的表面成為所得到之流延膜43的表面。因此，能夠藉由在剛形成之後的流延膜43上形成乾燥層43A來獲得表面平滑的流延膜43。
在此，溶劑含量為以幹量標準示出流延膜43或各膜13、膜16中所含之溶劑量的值，從對象流延膜或膜採取樣品，將該樣品的重量設為x、乾燥樣品之後的重量設為y時，以{(x-y)/y}×100求出。
第1乾燥製程對溶劑的含量為250質量%以上400質量%以下範圍內之流延膜43進行為較佳，對溶劑的含量為300質量%以上350質量%以下範圍內之流延膜43進行更為佳。第1乾燥風51DA的溫度為30℃以上80℃以下的範圍為較佳。並且，第1乾燥風51DA的風速為5m/秒以上25m/秒以下的範圍為較佳。
(第2乾燥製程)
第2乾燥製程中，利用第2乾燥風52DA使溶劑從流延膜43中蒸發，直至成為能夠獨立傳送之狀態。第2乾燥單元52使第2乾燥風52DA沿流延膜43的膜面從X方向下游側朝向上游側流動。這樣，藉由使第2乾燥風52DA向X方向的反方向流動，與向X方向流動時相比更促進溶劑的蒸發。第2乾燥製程對溶劑含量為20質量%以上150質量%以下範圍內之流延膜43進行為較佳。第2乾燥風52DA的溫度在40℃以上80℃以下的範圍內為較佳。另 外，第2乾燥風52DA的風速在5m/秒以上20m/秒以下的範圍內為較佳。
(剝離製程)
在剝離室23C中進行從流延帶26剝離已成為能夠剝離狀態之流延膜43之剝離製程。剝離輥86從流延帶26剝離已成為能夠剝離狀態之流延膜43來作為濕潤膜13，並從設置於剝離室23C之出口23CO送出濕潤膜13。剝離製程對溶劑含量在20質量%以上80質量%以下的流延膜43進行為較佳。
接著，對移動方向控制裝置60的作用進行說明。移動方向控制裝置60進行移動控制製程。該移動控制製程中進行偏離感測處理、偏離方向判斷處理及帶張力調節處理。
在偏離感測處理中，受光部65PB判斷光感測器是否感測到來自發光部65PA的檢查光。當受光部65PB判斷光感測器感測到檢查光時，受光部65PB輸出感測信號，當光感測器未感測到檢查光時，受光部65PB不輸出感測信號。另外，在偏離感測處理中，受光部65QB判斷光感測器是否感測到來自發光部65QA的檢查光。當受光部65QB判斷光感測器感測到檢查光時，受光部65QB輸出感測信號，當受光部65QB未感測到檢查光時，受光部65QB不輸出感測信號。
偏離方向判斷處理中，偏離方向判斷部67A判斷是否從受光部65PB、受光部65QB輸出檢測信號。
例如，當在捲繞於水平輥24、水平輥25之狀態下循 環移動之流延帶26位於移動路26R內時，從受光部65PB及受光部65QB輸出檢測信號。因此，偏離方向判斷部67A判斷從受光部65PB及受光部65QB輸出檢測信號。而且，偏離方向判斷部67A當判斷從受光部65PB及受光部65QB輸出有檢測信號時，判斷流延帶26位於移動路26R內。之後，偏離方向判斷部67A繼續判斷是否從受光部65PB、受光部65QB輸出檢測信號。
另一方面，如圖11所示，若在捲繞於水平輥24、水平輥25之狀態下循環移動之流延帶26從移動路26R向另一端側偏離，則受光部65QB停止輸出感測信號。偏離方向判斷部67A判斷未從受光部65QB輸出檢測信號。而且，偏離方向判斷部67A當判斷未從受光部65QB輸出檢測信號時，判斷流延帶26從移動路26R向另一端側偏離。之後，偏離方向判斷部67A繼續判斷是否從受光部65PB、受光部65QB輸出檢測信號。如以上，流延帶26偏離移動路26R之方向被特定。
帶張力調節製程中，帶調溫控制部67B依據流延帶26從移動路26R向另一端側偏離之判斷結果，與偏離方向相反側的端部亦即一端部26EP相比更優先冷卻流延帶26中偏離移動路26R的方向的端部亦即另一端部26EQ。
另外，作為與一端部26EP相比更優先冷卻另一端部26EQ之形態，有僅降低藉由另一端調溫氣體供給機61QB供給之調溫氣體68的溫度之方法。另外，代替該方法，還有邊降低藉由兩個調溫氣體供給機61PB、調溫氣體供給機 61QB供給之調溫氣體68的溫度，一邊加大另一端調溫氣體供給機61QB側的調溫氣體68的溫度的下降幅度的方法。
與偏離方向相反側的端部相比更加優先冷卻流延帶26中偏離移動路26R之方向的端部時，使流延帶26中偏離移動路26R之方向的端部的冷卻程度逐漸增大，直至從停止輸出感測信號之受光部重新開始輸出感測信號為較佳。
在向Y方向外加同等張力之狀態的流延帶26中，若比一端部26EP更優先冷卻另一端部26EQ，則另一端部26EQ的應力變得大於一端部26EP的應力。其結果，施加於另一端部26EQ之張力變得大於施加於一端部26EP之張力。其結果，流延帶26向能夠保持施加於一端部26EP及另一端部26EQ之張力的平衡之方向，亦即從另一端部26EQ朝向一端部26EP滑動，最終流延帶26恢復到移動路26R上。
偏離方向判斷部67A判斷流延帶26從移動路26R向一端側偏離之情況亦相同。亦即，帶調溫控制部67B依據流延帶26從移動路26R向另一端側偏離之判斷結果，比另一端部26EQ更優先冷卻一端部26EP。若與另一端部26EQ相比更加優先冷卻一端部26EP，則流延帶26中施加於一端部26EP之張力增大，其結果，施加於一端部26EP之張力變得大於施加於另一端部26EQ之張力。其結果，流延帶26向能夠保持施加於一端部26EP及另一端部 26EQ之張力的平衡之方向，亦即從一端部26EP朝向另一端部26EQ滑動，最終流延帶26恢復到移動路26R。
這樣，根據本發明，對偏離移動路26R之流延帶26控制施加於一端部26EP及另一端部26EQ之張力，藉此能夠使流延帶26恢復到移動路26R。
上述實施形態中，分別在流延帶26的流延面26A側及裏面26B側設置了一端調溫氣體導管61PA，但是亦可一體地形成流延面26A側的一端調溫氣體導管61PA和裏面26B側之一端調溫氣體導管61PA(參考圖12)。但是，由於圖5所示的形態具備退避部，所以在不與偏離移動路26R之流延帶26接觸的點上為較佳。
一端調溫氣體導管61PA在Y方向上移動自如為較佳。尤其可使一端調溫氣體導管61PA以追隨流延帶26的位置之方式向Y方向位移。
設置帶一端調溫單元61P及帶另一端調溫單元61Q之位置在X方向上可以為任意的位置。對以下本發明的其他實施形態進行敘述，但是對與上述實施形態相同的組件等附加同一符號，並省略詳細說明。
上述實施形態中，利用帶一端調溫單元61P作為一端帶張力調節部，並利用帶另一端調溫單元61Q作為另一端帶張力調節部，但本發明並不限定於此。
(第2實施形態)
如圖13所示，亦可利用具備一端塗佈模100P、一端溶劑蒸發機101P及一端溶劑泵102P之帶一端調溫單元98 作為一端帶張力調節部。一端塗佈模100P向一端部26EP塗佈一端用溶劑。一端溶劑蒸發機101P使已被塗佈之一端用溶劑蒸發。一端溶劑泵102P向一端塗佈模100P供給一端用溶劑。同樣道理，亦可利用具備另一端塗佈模100Q、另一端溶劑蒸發機101Q及另一端溶劑泵102Q之帶另一端調溫單元99作為另一端帶張力調節部。另一端塗佈模100Q向另一端部26EQ塗佈另一端用溶劑。另一端溶劑蒸發機101Q使已被塗佈之另一端用溶劑蒸發。另一端溶劑泵102Q向另一端塗佈模100Q供給另一端用溶劑。
一端溶劑泵102P經配管(未圖示)連接於一端塗佈模100P。一端塗佈模100P具有流出一端用溶劑之一端流出口，並配設成一端流出口與一端部26EP的流延面26A對置。一端溶劑蒸發機101P配設於比一端塗佈模100P更靠X方向下游側。一端溶劑蒸發機101P具有送出用於使一端用溶劑乾燥之乾燥氣體之一端進氣口，並配設成一端進氣口與一端部26EP的流延面26A對置。另一端溶劑泵102Q經配管(未圖示)連接於另一端塗佈模100Q。另一端塗佈模100Q具有流出另一端用溶劑之另一端流出口，並配設成另一端流出口與另一端部26EQ的流延面26A對置。另一端溶劑蒸發機101Q配設於比另一端塗佈模100Q更靠X方向下游側。另一端溶劑蒸發機101Q具有送出用於使另一端用溶劑乾燥之乾燥氣體之另一端進氣口，並配設成另一端進氣口與另一端部26EQ的流延面26A對置。
如圖14所示，控制單元67控制一端溶劑泵102P及 另一端溶劑泵102Q，並具備偏離方向判斷部67A及作為帶張力控制部的帶調溫控制部67B。
帶調溫控制部67B根據偏離方向判斷部67A的判斷結果，控制一端溶劑泵102P及另一端溶劑泵102Q。能夠藉由帶調溫控制部67B的控制調節向一端塗佈模100P供給之一端用溶劑的量或向另一端塗佈模100Q供給之另一端用溶劑的量。
一端溶劑蒸發機101P朝向一端部26EP的流延面26A送出乾燥氣體，以便塗佈於流延面26A之一端用溶劑全部蒸發。因此，一端部26EP僅被冷卻與汽化熱相應之量。亦即，能夠將一端部26EP僅冷卻與一端用溶劑的塗佈量相應之量。同樣道理，另一端溶劑蒸發機101Q朝向另一端部26EQ的流延面26A送出乾燥氣體，以便塗佈於流延面26A之另一端用溶劑全部蒸發。因此，另一端部26EQ僅被冷卻與汽化熱相應之量。亦即，能夠將另一端部26EQ僅冷卻與另一端用溶劑的塗佈量相應之量。一端部26EP或另一端部26EQ中各溶劑的塗佈量能夠藉由一端溶劑泵102P或另一端溶劑泵102Q的控制進行調節。因此，能夠藉由各組件100P~組件102P、組件100Q~組件102Q及控制單元67獨立調節一端部26EP的冷卻機另一端部26EQ的冷卻。
另外，設置一端帶張力調節部或另一端帶張力調節部之位置不僅可以是流延面26A側，亦可以僅為裏面26B側，或是流延面26A及裏面26B雙方。
一端用溶劑和另一端用溶劑可以為相同的溶劑，還可以為不同的溶劑。另外，將濃液所含之溶劑用作一端用溶劑或另一端用溶劑為較佳。
(第3實施形態)
例如，如圖15所示，可以利用輥一端調溫單元108作為一端帶張力調節部，並利用輥另一端調溫單元109作為另一端帶張力調節部。輥一端調溫單元108具備一端調溫噴嘴110P及一端調溫氣體供給機111P。一端調溫噴嘴110P向輥主體24B的一端部(以下稱為一端輥部)24BP送出調溫氣體。一端調溫氣體供給機111P向一端調溫噴嘴110P供給調溫氣體。輥另一端調溫單元109具備向輥主體24B的另一端(以下稱為另一端輥部)24BQ送出調溫氣體之另一端調溫噴嘴110Q及向另一端調溫噴嘴110Q供給調溫氣體之另一端調溫氣體供給機111Q。
如圖16所示，控制單元67控制一端調溫氣體供給機111P及另一端調溫氣體供給機111Q，並具備偏離方向判斷部67A及作為帶張力控制部之帶調溫控制部67B。
一端調溫氣體供給機111P在帶調溫控制部67B的控制下製作預定溫度的調溫氣體，並向一端輥部24BP供給該調溫氣體。相同道理，另一端調溫氣體供給機111Q在帶調溫控制部67B的控制下製作預定溫度的調溫氣體，並向另一端輥部24BQ供給該調溫氣體。由於具備藉由與調溫氣體的接觸調節溫度之一端輥部24BP及另一端輥部24BQ之輥主體24B在Y方向的整個區域支撐流延帶26， 所以由輥主體24B支撐之流延帶26的一端部26EP的溫度能夠藉由一端輥部24BP的溫度調節。同樣道理，由輥主體24B支撐之流延帶26的另一端部26EQ的溫度能夠藉由另一端輥部24BQ的溫度調節。因此，能夠藉由各組件110P~組件111P、組件110Q~組件111Q及控制單元67獨立調節一端部26EP的溫度及另一端部26EQ的溫度。
(第4實施形態)
另外，如圖17所示，亦可利用具備一端塗佈模120P、一端溶劑蒸發機121P及一端溶劑泵122P的輥一端調溫單元118。一端塗佈模120P向一端輥部24BP塗佈一端用溶劑。一端溶劑蒸發機121P使已被塗佈之一端用溶劑蒸發。一端溶劑泵122P向一端塗佈模120P供給一端用溶劑。同樣道理，亦可利用具備另一端塗佈模120Q、另一端溶劑蒸發機121Q及另一端溶劑泵122Q之輥另一端調溫單元119。另一端塗佈模120Q向另一端輥部24BQ塗佈另一端用溶劑。另一端溶劑蒸發機121Q使已被塗佈之另一端用溶劑蒸發。另一端溶劑泵122Q向另一端塗佈模120Q供給另一端用溶劑。
一端溶劑泵122P經配管(未圖示)連接於一端塗佈模120P。一端塗佈模120P具有流出一端用溶劑之一端流出口，並配設成一端流出口與一端輥部24BP的流延面26A對置。一端溶劑蒸發機121P配設於比一端塗佈模120P更靠X方向下游側。一端溶劑蒸發機121P具有送出用於使一端用溶劑乾燥之乾燥氣體之一端進氣口，並配設成一端 進氣口與一端輥部24BP對置。另一端溶劑泵122Q經配管(未圖示)連接於另一端塗佈模120Q。另一端塗佈模120Q具有流出另一端用溶劑之另一端流出口，並配設成另一端流出口與另一端輥部24BQ對置。另一端溶劑蒸發機121Q配設於比另一端塗佈模120Q更靠X方向下游側。另一端溶劑蒸發機121Q具有送出用於使另一端用溶劑乾燥之乾燥氣體之另一端進氣口，並配設成另一端進氣口與另一端輥部24BQ對置。
如圖18所示，控制單元67控制一端溶劑泵122P及另一端溶劑泵122Q，並具備偏離方向判斷部67A及作為帶張力控制部之帶調溫控制部67B。
帶調溫控制部67B依據偏離方向判斷部67A的判斷結果，控制一端溶劑泵122P及另一端溶劑泵122Q。能夠藉由帶調溫控制部67B的控制調節向一端塗佈模120P供給之一端用溶劑的量或向另一端塗佈模120Q供給之另一端用溶劑的量。
一端溶劑蒸發機121P朝向一端輥部24BP送出乾燥氣體，以便塗佈於一端輥部24BP之一端用溶劑全部蒸發。因此，一端輥部24BP僅被冷卻與汽化熱相應之量。亦即，能夠將一端輥部24BP僅冷卻與一端用溶劑的塗佈量相應之量。同樣道理，另一端溶劑蒸發機121Q朝向另一端輥部24BQ送出乾燥氣體，以便塗佈於另一端輥部24BQ之另一端用溶劑全部蒸發。因此，另一端輥部24BQ僅被冷卻與汽化熱相應之量。亦即，能夠將另一端輥部24BQ僅 冷卻與另一端用溶劑的塗佈量相應之量。一端輥部24BP或另一端輥部24BQ中各溶劑的塗佈量能夠藉由一端溶劑泵122P或另一端溶劑泵122Q的控制進行調節。因此，能夠藉由各組件120P~組件122P、組件120Q~組件122Q及控制單元67獨立地調節一端輥部24BP的冷卻及另一端輥部24BQ的冷卻。
(第5實施形態)
亦可將設置於輥主體24B內之載熱體的流路設置為如下。如圖19及圖20所示，在輥主體24B中Y方向的一側輥部24BR設置一側內置流路130R，在輥主體24B中Y方向的另一側輥部24BL設置另一側內置流路130L。一側內置流路130R或另一側內置流路130L在輥主體24B的周面附近形成為螺旋狀為較佳。
此時，利用具備一側輥調溫機57R及另一側輥調溫機57L之輥調溫機57。一側輥調溫機57R具有一側調溫部57RA、一側輥調溫部57RB及一側回收部57RC。一側調溫部57RA調節一側內置流路130R用載熱體的溫度。一側輥調溫部57RB向一側內置流路130R供給藉由一側調溫部57RA調節溫度之載熱體。一側回收部57RC回收通過一側內置流路130R之載熱體並送至一側調溫部57RA。另外，另一側輥調溫機57L具有另一側調溫部57LA、另一側輥調溫部57LB及另一側回收部57LC。另一側調溫部57LA調節另一側內置流路130L用載熱體的溫度。另一側輥調溫部57LB向另一側內置流路130L供給藉由另一側調 溫部57LA調節溫度之載熱體。另一側回收部57LC回收通過另一側內置流路130L之載熱體並送至另一側調溫部57LA。
如圖21所示，控制單元67控制一側調溫部57RA及另一側調溫部57LA，並具備偏離方向判斷部67A及作為帶張力控制部的帶調溫控制部67B。
帶調溫控制部67B依據偏離方向判斷部67A的判斷結果，控制一側調溫部57RA及另一側調溫部57LA。能夠藉由帶調溫控制部67B的控制獨立調節供給到一側內置流路130R之載熱體的溫度和供給到另一側內置流路130L之載熱體的溫度。因此，能夠藉由利用具備一側內置流路130R及另一側內置流路130L之輥主體24B和具備一側輥調溫機57R及另一側輥調溫機57L之輥調溫機57，獨立調節一端輥部24BP的溫度及另一端輥部24BQ的溫度。
另外，亦可在輥主體24B中Y方向的一端輥部24BP、另一端輥部24BQ、中央部24BC分別設置載熱體所流通之流路，並將被調節溫度之載熱體分別供給到一端輥部24BP、另一端輥部24BQ及中央部24BC。
上述實施形態中，對具備一側輥調溫機57R及另一側輥調溫機57L之輥調溫機57進行了說明，但本發明不限於此，亦可利用具備一側輥調溫機58R及另一側輥調溫機58L之輥調溫機58(參考圖19)。
另外，亦可利用向冷卻對象噴射乾風之乾風噴射機作為帶一端調溫單元、帶另一端調溫單元、輥一端調溫單元 及輥另一端調溫單元，從而冷卻流延帶26的各端部或輥主體24B。
另外，可藉由帶調溫控制部67B與一端部26EP相比更加優先加熱另一端部26EQ來代替藉由帶調溫控制部67B與另一端部26EQ相比更加優先冷卻一端部26EP之方法。此時，與偏離方向的端部相比更加優先加熱流延帶26中偏離移動路26R之方向的相反側的端部亦即可。
因此，回到圖2，若在殼體23內依次反覆進行膜形成製程、膜乾燥製程及剝離製程，則導致在膜乾燥製程中流延帶26的Y方向兩端部產生捲取。
在膜乾燥製程中，流延帶26的Y方向兩端部捲取之理由可以考慮為如下。膜形成製程中，整個Y方向的流延帶26由調節為預定溫度之輥主體24B支撐。因此，該整個Y方向的流延帶26的溫度大致恆定。膜乾燥製程中，由於支撐流延膜43之流延帶26的Y方向中央部中溶劑從流延膜43中蒸發，所以流延帶26的Y方向中央部的溫度下降。另一方面，由於流延帶26的Y方向兩端部中不產生溶劑的蒸發，所以流延帶26的Y方向兩端部溫度不怎麽發生改變。這樣，膜乾燥製程的流延帶26上產生隨著從Y方向中央部朝向Y方向兩端部變高溫之溫度分佈。因這種Y方向的溫度分佈，導致流延帶26的Y方向兩端部捲取。
因此，為了防止流延帶26的Y方向兩端部的捲取，與膜乾燥製程並行進行對流延帶26的Y方向兩端部進行 冷卻之冷卻製程為較佳，以便膜乾燥製程中流延帶26的溫度在Y方向上變得均勻。作為這種流延帶26的Y方向兩端部的冷卻手段，可利用上述帶一端調溫單元、帶另一端調溫單元、輥一端調溫單元及輥另一端調溫單元中的任一單元。流延帶26的Y方向兩端部的冷卻手段設置於水平輥24、水平輥25之間為較佳。基於流延帶26的Y方向兩端部的冷卻手段的冷卻範圍設為水平輥24、水平輥25之間的部份，亦即均不與水平輥24、水平輥25接觸的部份為較佳。與第1乾燥製程同時開始冷卻製程為較佳。
將流延模40的設置位置設為水平輥24的上方，但本發明不限於此。將第1密封構件31~第2密封構件32設置成靠近捲繞於水平輥25之流延帶26的部份時，可將流延模40的設置位置設為水平輥24的上方。並且，將支撐流延帶26之支撐輥設置於水平輥24、水平輥25之間、並將第1密封構件31~第2密封構件32設置成靠近支撐於支撐輥之流延帶26的部份時，可將流延模40的設置位置設為支撐輥的上方。
在以上任一實施形態中均抑制水平輥24、水平輥25與流延帶26之間的摩擦。
藉由本發明得到之膜16尤其能夠用於相位差膜或偏光板保護膜。
膜16的寬度為600mm以上為較佳，為1400mm以上2500mm以下更為佳。並且，本發明在膜16的寬度大於2500mm時亦有效。並且，膜16的膜厚為20μm以上80μm 以下為較佳。
並且，膜16的面內延遲Re為20nm以上300nm以下為較佳，膜16的厚度方向延遲Rth為-100nm以上300nm以下為較佳。
面內延遲Re的測定方法為如下。關於面內延遲Re，使用了在25℃溫度、60%RH濕度下對樣品膜進行2小時調濕並用自動雙折射儀(KOBRA21DH王子計量設備株式會社)從632.8nm處的垂直方向測定之延遲值。另外Re用下式表示。
Re=| n1-n2 |×d
n1表示慢軸的折射率，n2表示進相軸2的折射率，d表示膜的厚度(膜厚)。
厚度方向延遲Rth的測定方法為如下。根據在25℃溫度、60%RH濕度下對樣品膜進行2小時調濕並用橢圓偏振計(M150日本分光株式會社製)從632.8nm處的垂直方向測定之值和邊使膜面傾斜邊相同地測定之延遲值的外插值，並按照下述公式計算。
Rth={(n1+n2)/2-n3}×d
n3表示厚度方向的折射率。
(聚合物)
上述實施形態中，成為聚合物膜的原料之聚合物並沒有特別限定，例如有纖維素醯化物或環狀聚烯烴等。
(纖維素醯化物)
用於本發明的纖維素醯化物的醯基可以僅為1種，或 者亦可以使用2種以上的醯基。當使用2種以上的醯基時，其中1個為乙醯基為較佳。用羧酸使纖維素中的羥基酯化之比例、亦即醯基的取代度滿足所有下述公式(I)~(III)為較佳。另外，在以下公式(I)~(III)中，A及B表示醯基的取代度，A為乙醯基的取代度，另外B為碳原子數3~22的醯基的取代度。另外，三醋酸纖維素(TAC)的90質量%以上為0.1mm~4mm的顆粒為較佳。
醯基的全取代度A+B為2.20以上2.90以下更為佳，為2.40以上2.88以下尤為佳。並且，碳原子數3~22的醯基的取代度B為0.30以上更為佳，為0.5以上尤為佳。
作為纖維素醯化物的原料之纖維素可以係由棉絨纖維、紙漿中的任一得到者。
作為本發明的纖維素醯化物的碳數2以上的醯基，既可以是脂肪族基亦可以是芳基，沒有特別限定。它們例如為纖維素的烷羰基酯、烯羰基酯或芳香族羰基酯、芳香族烷羰基酯等，可以分別具有進一步被取代之基團。作為它們的優選例子，能夠舉出丙醯基、丁醯基、戊醯基、己醯基、辛醯基、癸醯基、十二烷醯基、十三烷醯基、十四烷醯基、十六烷醯基、十八烷醯基、異丁醯基、叔丁醯基、環己烷基羰基、油醯基、苯甲醯基、萘羰基及肉桂醯基等。其中更優選為丙醯基、丁醯基、十二烷醯基、十八烷醯基、 叔丁醯基、油醯基、苯甲醯基、萘羰基及肉桂醯基等，尤其優選為丙醯基、丁醯基。
(溶劑)
作為製備濃液之溶劑，可以舉出芳香族烴(例如，苯及甲苯等)、鹵代烴(例如，二氯甲烷及氯苯等)、醇(例如，甲醇、乙醇、正丙醇、正丁醇及二甘醇等)、酮(例如，丙酮及甲乙酮等)、酯(例如，醋酸甲酯、醋酸乙酯、醋酸丙酯等)及醚(例如，四氫呋喃及甲基溶纖劑等)等。另外，在本發明中，濃液是指將聚合物溶解或分散於溶劑中而得到之聚合物溶液及分散液。
這些當中，使用碳原子數1~7的鹵代烴為較佳，使用二氯甲烷為最佳。從聚合物的溶解性、流延膜從支撐體的剝離性、膜的機械性強度等及膜的光學特性等物性的觀點考慮，除二氯甲烷之外，還混合一種至數種碳原子數1~5的醇為較佳。醇的含量相對所有溶劑為2質量%~25質量%為較佳，為5質量%~20質量%更為佳。作為醇的具體例子，可以舉出甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇及正丁醇等，但是較佳使用甲醇、乙醇、正丁醇或它們的混合物。
但是，最近以將對環境的影響抑制到最小限度為目的，對不使用二氯甲烷時的溶劑組成亦進行了研究，針對該目的，使用碳原子數為4~12的醚、碳原子數為3~12的酮、碳原子數為3~12的酯、碳原子數為1~12的醇為較佳。有時適當混合這些來使用。例如，可以舉出醋酸甲酯、丙酮、乙醇、正丁醇的混合溶劑。這些醚、酮、酯及 醇可以具有環狀結構。並且，具有2個以上醚、酮、酯及醇的官能團(亦即，-O-、-CO-、-COO-及-OH)中的任意一種的化合物亦能夠用作溶劑。
另外，日本專利公開2005-104148號的[0140]段落到[0195]段落中對纖維素醯化物的詳細內容進行了記載。這些記載亦能夠應用於本發明中。另外，同樣在日本專利公開2005-104148號的[0196]段落到[0516]段落中對溶劑及增塑劑、劣化防止劑、紫外線吸收劑(UV劑)、光學各向異性控制劑、延遲抑制劑、染料、去光劑、剝離劑及剝離促進劑等添加劑上亦進行了詳細記載。
10‧‧‧溶液製膜設備
12‧‧‧濃液
13‧‧‧濕潤膜
15‧‧‧流延裝置
16‧‧‧膜
17‧‧‧夾子拉幅機
18‧‧‧乾燥裝置
18A‧‧‧輥
19‧‧‧捲取裝置
19A‧‧‧壓輥
19B‧‧‧卷芯
23‧‧‧殼體
23A‧‧‧流延室
23B‧‧‧乾燥室
23C‧‧‧剝離室
23CO‧‧‧出口
24、25‧‧‧水平輥
24A‧‧‧驅動軸
24AL‧‧‧力量感測器
24AS‧‧‧軸位移部
24B、25B‧‧‧輥主體
24BP‧‧‧輥主體24B的一端部(一端輥部)
24BQ‧‧‧輥主體24B的另一端(另一端輥部)
24BR‧‧‧輥主體24B中Y方向的一側輥部
24BL‧‧‧輥主體24B中Y方向的另一側輥部
25BR‧‧‧輥主體25B中Y方向的一側輥部
25BL‧‧‧輥主體25B中Y方向的另一側輥部
24M‧‧‧輥驅動用馬達
25A‧‧‧軸
26‧‧‧流延帶
26A‧‧‧流延帶26的表面(流延面)
26B‧‧‧裏面
26EP‧‧‧一端部
26EQ‧‧‧另一端部
26R‧‧‧移動路
31‧‧‧第1密封構件
32‧‧‧第2密封構件
33‧‧‧第3密封構件
40‧‧‧流延模
40A‧‧‧濃液流出口
41‧‧‧減壓單元
41A‧‧‧減壓室
41B‧‧‧減壓扇
41C‧‧‧吸引管
43‧‧‧流延膜
43A‧‧‧乾燥層
43B‧‧‧濕潤層
51‧‧‧第1乾燥單元
51A‧‧‧第1進氣導管
51AO‧‧‧第1進氣口
51B‧‧‧第1排氣導管
51BO‧‧‧第1排氣口
51DA‧‧‧第1乾燥風
52‧‧‧第2乾燥單元
52A‧‧‧第2排氣導管
52AO‧‧‧第2排氣口
52B‧‧‧第2進氣導管
52BO‧‧‧第2進氣口
52DA‧‧‧第2乾燥風
55‧‧‧膜形成區冷卻機
55X‧‧‧部份
57、58‧‧‧輥調溫機
57R、58R‧‧‧一側輥調溫機
57RA‧‧‧一側調溫部
57RB‧‧‧一側輥調溫部
57RC‧‧‧一側回收部
57L、58L‧‧‧另一側輥調溫機
57LA‧‧‧另一側調溫部
57LB‧‧‧另一側輥調溫部
57LC‧‧‧另一側回收部
60‧‧‧移動方向控制裝置
61P‧‧‧帶一端調溫單元
61PA‧‧‧一端調溫氣體導管
61PB‧‧‧一端調溫氣體供給機
61PC‧‧‧一端調溫氣體吸引機
61PO、6QO‧‧‧開口
61Q‧‧‧帶另一端調溫單元
61QA‧‧‧另一端調溫氣體導管
61QB‧‧‧另一端調溫氣體供給機
61QC‧‧‧另一端調溫氣體吸引機
65‧‧‧偏離感測部
65P‧‧‧一端偏離感測部
65PA、65QA‧‧‧發光部
65PB、65QB‧‧‧受光部
65Q‧‧‧另一端偏離感測部
67‧‧‧控制單元
67A‧‧‧帶調溫控制部
67B‧‧‧偏離方向判斷部
68‧‧‧調溫氣體
70PX、70QX‧‧‧光路
86‧‧‧剝離輥
87‧‧‧支撐輥
88‧‧‧切邊裝置
89‧‧‧冷卻室
90‧‧‧滾花賦予輥
98‧‧‧帶一端調溫單元
99‧‧‧帶另一端調溫單元
100P、120P‧‧‧一端塗佈模
100Q、120Q‧‧‧另一端塗佈模
101P、121P‧‧‧一端溶劑蒸發機
101Q、121Q‧‧‧另一端溶劑蒸發機
102P、122P‧‧‧一端溶劑泵
102Q、122Q‧‧‧另一端溶劑泵
108、118‧‧‧輥一端調溫單元
109、119‧‧‧輥另一端調溫單元
110P‧‧‧一端調溫噴嘴
111Q‧‧‧另一端調溫噴嘴
111P‧‧‧一端調溫氣體供給機
111Q‧‧‧另一端調溫氣體供給機
130R‧‧‧一側內置流路
130L‧‧‧另一側內置流路
X、Y、Z‧‧‧方向
圖1係表示溶液製膜設備的概要之說明圖。
圖2係表示流延裝置的概要之側視圖。
圖3係表示配設於流延裝置的殼體內之各組件的概要之立體圖。
圖4係表示第1一端帶張力調節部和第1另一端帶張力調節部的概要之立體圖。
圖5係表示一端調溫氣體導管和另一端調溫氣體導管的概要之截面圖。
圖6係表示膜形成區冷卻機的概要之立體圖。
圖7係表示一端偏離感測部和另一端偏離感測部的概要之說明圖。
圖8係表示第1一端帶張力調節部、第1另一端帶張力調節部、偏離感測部及控制單元的概要之塊圖。
圖9係表示藉由膜形成製程形成之流延膜的概要之截面圖。
圖10係表示具有乾燥層和濕潤層之流延膜的概要之截面圖。
圖11係表示偏離移動路之狀態的流延帶的概要之俯視圖。
圖12係表示一端調溫氣體導管和另一端調溫氣體導管的概要之截面圖。
圖13係表示第2一端帶張力調節部和第2另一端帶張力調節部的概要之立體圖。
圖14係表示第2一端帶張力調節部、第2另一端帶張力調節部、偏離感測部及控制單元的概要之塊圖。
圖15係表示第3一端帶張力調節部和第3另一端帶張力調節部的概要之立體圖。
圖16係表示第3一端帶張力調節部和第3另一端帶張力調節部、偏離感測部及控制單元的概要之塊圖。
圖17係表示第4一端帶張力調節部和第4另一端帶張力調節部的概要之立體圖。
圖18係表示第4一端帶張力調節部和第4另一端帶張力調節部、偏離感測部及控制單元的概要之塊圖。
圖19係表示第5一端帶張力調節部和第5另一端帶張力調節部的概要之立體圖。
圖20係表示第5一端帶張力調節部和第5另一端帶張力調節部的概要之立體圖。
圖21係表示第5一端帶張力調節部、第5另一端帶張力調節部、偏離感測部及控制單元的概要之塊圖。
24A‧‧‧驅動軸
24AL‧‧‧力量感測器
24AS‧‧‧軸位移部
24B‧‧‧輥主體
24M‧‧‧輥驅動用馬達
25A‧‧‧軸
25B‧‧‧輥主體
26‧‧‧流延帶
40‧‧‧流延模
41‧‧‧減壓單元
51‧‧‧第1乾燥單元
51A‧‧‧第1進氣導管
51B‧‧‧第1排氣導管
51BO‧‧‧第1排氣口
55‧‧‧膜形成區冷卻機
60‧‧‧移動方向控制裝置
61P‧‧‧帶一端調溫單元
61Q‧‧‧帶另一端調溫單元
65‧‧‧偏離感測部
65P‧‧‧一端偏離感測部
65PA‧‧‧發光部
65PB‧‧‧受光部
65Q‧‧‧另一端偏離感測部
65QA‧‧‧發光部
65QB‧‧‧受光部
X、Y、Z‧‧‧方向

Claims (20)

  1. 一種環狀帶的移動方向控制裝置，不銹鋼製的前述環狀帶捲繞於平行地配設之驅動輥和從動輥上，並藉由前述驅動輥的旋轉向長邊方向移動，前述環狀帶沿寬度方向在預先設定之移動路上移動，其中，前述環狀帶的移動方向控制裝置具備如下：一端帶張力調節部，其調節前述環狀帶的寬度方向一端部的張力；另一端帶張力調節部，其調節前述環狀帶的寬度方向另一端部的張力；及帶張力控制部，其控制前述一端帶張力調節部或前述另一端帶張力調節部，前述帶張力控制部在前述環狀帶的寬度方向端部的一側偏離前述移動路時進行前述控制，前述帶張力控制部以前述環狀帶的偏離前述移動路之方向之端部的前述張力變得大於前述偏離方向相反側的端部的前述張力的方式進行前述控制。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之環狀帶的移動方向控制裝置，其中，進一步具備如下：帶一端調溫部，其調節前述環狀帶中前述寬度方向一端側的溫度，前述帶一端調溫部具備於前述一端帶張力調節部；帶另一端調溫部，其調節前述環狀帶中前述寬度方向另一端側的溫度，前述帶另一端調溫部具備於前述另一端帶張力調節部；及 帶調溫控制部，其控制前述帶一端調溫部及前述帶另一端調溫部，前述帶調溫控制部以與前述偏離方向相反側的端部相比更優先冷卻前述環狀帶中偏離前述移動路之端部的方式進行前述控制。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之環狀帶的移動方向控制裝置，其中，前述帶一端調溫部向前述環狀帶的前述寬度方向一端側供給調溫氣體，前述帶另一端調溫部向前述環狀帶的前述寬度方向另一端側供給調溫氣體。
  4. 如申請專利範圍第2項或第3項所述之環狀帶的移動方向控制裝置，其中，前述帶一端調溫部具有一端帶塗佈機和一端帶蒸發機，前述帶另一端調溫部具有另一端帶塗佈機和另一端帶蒸發機，前述一端帶塗佈機向前述環狀帶的前述寬度方向一端側塗佈一部份液體，前述一端帶蒸發機使塗佈於前述環狀帶的前述寬度方向一端側之前述一部份液體蒸發，前述另一端帶塗佈機向前述環狀帶的前述寬度方向另一端側塗佈另一部份液體，前述另一端帶蒸發機使塗佈於前述環狀帶的前述寬度方向另一端側的前述另一部份液體蒸發。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之環狀帶的移動方向控制裝置，其中，進一步具備如下：輥一端調溫部，其調節前述驅動輥和前述從動輥中任一輥的前述寬度方向一端側的溫度，前述輥一端調溫部具備於前述一端帶張力調節部； 輥另一端調溫部，其調節前述驅動輥和前述從動輥中任一輥的前述寬度方向另一端側的溫度，前述輥另一端調溫部具備於前述另一端帶張力調節部；及輥調溫控制部，其控制前述輥一端調溫部或前述輥另一端調溫部，前述帶張力控制部以與前述偏離方向相反側的端部相比更優先冷卻前述環狀帶中前述偏離方向的端部的方式進行前述控制。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之環狀帶的移動方向控制裝置，其中，前述輥一端調溫部向前述輥的前述寬度方向一端側供給調溫氣體，前述輥另一端調溫部向前述輥的前述寬度方向另一端側供給調溫氣體。
  7. 如申請專利範圍第5項或第6項所述之環狀帶的移動方向控制裝置，其中，前述輥具有一端流路和另一端流路，前述一端流路內置於前述寬度方向一端側而使一端側調溫用介質流通，前述另一端流路內置於前述寬度方向另一端側而使另一端側調溫用介質流通，前述輥一端調溫部向前述一端流路供給前述一端側調溫用介質，前述輥另一端調溫部向前述另一端流路供給前述另一端側調溫用介質。
  8. 如申請專利範圍第5項或第6項所述之環狀帶的移動方向控制裝置，其中，前述輥一端調溫部具有一端輥塗佈機和一端輥蒸發機，前述輥另一端調溫部具有另一端輥塗佈機和另一端輥 蒸發機，前述一端輥塗佈機向前述輥的前述寬度方向一端側塗佈一部份液體，前述一端輥蒸發機使塗佈於前述輥的前述寬度方向一端側之前述一部份液體蒸發，前述另一端輥塗佈機向前述輥的前述寬度方向另一端側塗佈另一部份液體，前述另一端輥蒸發機使塗佈於前述輥的前述寬度方向另一端側之前述另一部份液體蒸發。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之環狀帶的移動方向控制裝置，其中，前述輥一端調溫部具有一端輥塗佈機和一端輥蒸發機，前述輥另一端調溫部具有另一端輥塗佈機和另一端輥蒸發機，前述一端輥塗佈機向前述輥的前述寬度方向一端側塗佈一部份液體，前述一端輥蒸發機使塗佈於前述輥的前述寬度方向一端側的前述一部份液體蒸發，前述另一端輥塗佈機向前述輥的前述寬度方向另一端側塗佈另一部份液體，前述另一端輥蒸發機使塗佈於前述輥的前述寬度方向另一端側之前述另一部份液體蒸發。
  10. 如申請專利範圍第1項、第2項、第3項、第5項、第6項中任一項所述之環狀帶的移動方向控制裝置，其中，該環狀帶的移動方向控制裝置具備偏離方向判斷部，其判斷前述環狀帶是否向前述寬度方向的一端側和另一端側方向偏離。
  11. 一種流延設備，其具備如下：流延模，其流出包括聚合物及溶劑之濃液； 不銹鋼製的環狀帶，其具有支撐前述流出濃液之支撐面，前述環狀帶在前述支撐面上形成由前述濃液構成之膜，前述環狀帶捲繞於平行配設之驅動輥和從動輥，並藉由前述驅動輥的旋轉向長邊方向移動，前述環狀帶沿寬度方向在預先設定之移動路上移動；溶劑蒸發裝置，其使前述溶劑從前述膜中蒸發；剝離裝置，其從前述環狀帶剝離前述膜；及環狀帶的移動控制裝置，其具有一端帶張力調節部、另一端帶張力調節部及帶張力控制部，前述一端帶張力調節部調節前述環狀帶的寬度方向一端部的張力，前述另一端帶張力調節部調節前述環狀帶的寬度方向另一端部的張力，前述帶張力控制部控制前述一端帶張力調節部或前述另一端帶張力調節部，前述帶張力控制部在前述環狀帶的寬度方向端部的一側偏離前述移動路時進行前述控制，前述帶張力控制部以前述環狀帶的偏離前述移動路之方向的端部的前述張力變得大於前述偏離方向相反側的端部的前述張力的方式進行前述控制。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之流延設備，其中，進一步具備如下：帶一端調溫部，其調節前述環狀帶中前述寬度方向一端側的溫度，前述帶一端調溫部具備於前述一端帶張力調節部； 帶另一端調溫部，其調節前述環狀帶中前述寬度方向另一端側的溫度，前述帶另一端調溫部具備於前述另一端帶張力調節部；及帶調溫控制部，其控制前述帶一端調溫部及前述帶另一端調溫部，前述帶調溫控制部以與前述偏離方向相反側的端部相比更優先冷卻前述環狀帶中偏離前述移動路之端部的方式進行前述控制。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之流延設備，其中，進一步具備如下：輥一端調溫部，其調節前述驅動輥和前述從動輥中任一輥的前述寬度方向一端側的溫度，前述輥一端調溫部具備於前述一端帶張力調節部；輥另一端調溫部，其調節前述驅動輥和前述從動輥中任一輥的前述寬度方向另一端側的溫度，前述輥另一端調溫部具備於前述另一端帶張力調節部；及輥調溫控制部，其控制前述輥一端調溫部或前述輥另一端調溫部，前述帶張力控制部以與前述偏離方向相反側的端部相比更優先冷卻前述環狀帶中前述偏離方向之端部的方式進行前述控制。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之流延設備，其中，該流延設備具備：兩端部冷卻裝置，其對前述環狀帶的寬度方向兩端部進行冷卻。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之流延設備，其中， 前述兩端部冷卻裝置對前述環狀帶中遠離前述輥之部份進行冷卻。
  16. 一種環狀帶的移動方向控制方法，不銹鋼製的前述環狀帶捲繞於平行配設之驅動輥和從動輥，並藉由前述驅動輥的旋轉向長邊方向移動，前述環狀帶沿寬度方向在預先設定之移動路上移動，前述環狀帶的移動方向控制方法具備如下步驟：對前述環狀帶偏離前述移動路之方向進行特定；及控制一端帶張力調節部和另一端帶張力調節部，前述控制以前述環狀帶中偏離前述移動路之方向的端部的張力變得大於前述偏離方向相反側的端部的前述張力的方式進行，前述一端帶張力調節部調節前述環狀帶的寬度方向一端側的前述張力，前述另一端帶張力調節部調節前述環狀帶的寬度方向另一端側的前述張力。
  17. 如申請專利範圍第16項所述之環狀帶的移動方向控制方法，其中，具有偏離方向判斷製程，其判斷前述環狀帶是否向前述寬度方向的一端側和另一端側方向偏離。
  18. 一種溶液製膜方法，其具備如下步驟：(A)朝向環狀帶流出濃液，藉此在前述環狀帶的帶面形成由濃液構成之膜，前述濃液包括聚合物及溶劑，前述環狀帶為不銹鋼製，前述環狀帶捲繞於平行配設之驅動輥和從動輥上，並藉由前述驅動輥的旋轉向長邊方向移動，前述環狀帶沿寬度方向在預先設定之移動路上移動； (B)向前述帶面上的前述膜吹送風並使前述溶劑從前述膜中蒸發；(C)從前述環狀帶剝離經前述B步驟之前述膜；(D)對前述環狀帶偏離前述移動路之方向進行特定；及(E)控制一端帶張力調節部和另一端帶張力調節部，前述控制以前述環狀帶中偏離前述移動路之方向的端部的張力變得大於前述偏離方向相反側的端部的前述張力的方式進行，前述一端帶張力調節部調節前述環狀帶的寬度方向一端側的前述張力，前述另一端帶張力調節部調節前述環狀帶的寬度方向另一端側的前述張力。
  19. 如申請專利範圍第18項所述之溶液製膜方法，其中，具備對前述環狀帶的寬度方向兩端部進行冷卻之兩端部冷卻步驟，前述兩端部冷卻步驟與前述B步驟並行進行。
  20. 如申請專利範圍第19項所述之溶液製膜方法，其中，同時開始前述兩端部冷卻步驟和前述B步驟。
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