TW201234021A - Method for determining suitability of a threshold value, method for specifying a suitable threshold value, inspection system of a part-mounted substrate, method for simulation in a production field and simulation system - Google Patents

Description

201234021 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於以分別實施對經由複數個製程所形 成之最終形態品的最終檢查、與對在最終製程之前的製 程所形成之中間品的中間檢查為前提，判定在對中間品 的檢查所使用之判定基準值是否適當的方法。又，本發 明係有關於求得在對中間品的檢查所使用之判定基準值 之適當值的方法及應用該方法之零件安裝基板的檢查系 統、以及根據判定基準值進行零件安裝基板之生產力的 程度之模擬的電腦系統。 【先前技術】 零件安裝基板一般係利用膏狀焊料印刷製程、零件 安裝製程、及迴焊製程的各製程所產生。在近年來的生 產線，有導入作成按這些各製程配備檢查機，並將各檢 查機的檢查結果收集至資訊處理裝置後，可按各同一對 象比對並加以確認之基板檢查系統的生產線（例如，參照 專利文獻1)。 在以彺的基板檢查系統，各檢查機根據分別設定在 本身裝置的檢查程式對被檢查部位實施測量後，將所取 得之測量值與所登錄之判定基準值比對，藉此，判定良 子不良因此，有在焊料印刷製程或零件安裝製程的 檢查機被判定為不良之卢方早故夕.η响& 民之處在最終之迴焊製程之檢查機的 最、、’、私查被判定為良品的情況，或發生其相反之結果的 情況。 中門檢一的結果與最終檢查的結果不一致的頻率變 .4 - 201234021 高時’實施中間檢查的優點 特意耗費成本的意義。尤其 出不良的基板’或為了查核 最終檢查被判定為良品者在 向變高時’不僅在成本面上 生大的損失。 相對地’中間檢查的結 頻率變高時，因為能以高正 會成為不良者’所以可提高 中間檢查之判定基準值調整 的一致性較佳。 變小，而找不出為了檢查而 ’在去除在中間檢查被檢夠 而使生產線停止的情況，在 _間檢查被判定為不良的傾 ，而且在處理時間上都會產 果與最終檢查的結果一致的 確度判別在中間檢查的階段 生產效率。因此，將使用於 成可儘量提高兩檢查之結果 μ- -vr ..，〜卿、“久寸不又馱j，1己戰利用 根據中間檢查的測量值與中間檢查及最終檢查之各結果 的關係的計算處理，決定適當的判定基準值。 首先，在專利文獻2，_ , 欧 5己載一面在中間檢查分段地變 更對所抽出之特徵量的判定其、.隹 「 士 # 里的到疋基準值（在專利文獻2記栽為 檢查基準」），一面求得根據該判定基準值檢查時之直 達率或過檢測率，而以得在最終檢查之直達率或不良 率，進而，從這些值求得再 „ ± 付丹檢查成本後，將再檢查成本 變成最小時之判定基準值的祐 ^ Λ 值的值作為推薦值（參照專利文 獻2的段洛0067〜〇〇68)。 進而’在專利文獻2，為了羅 ^ ^ μ 士 馬1選擇適合該判定基準值之 再設疋的檢查項目，按在中 ^ 土 八』 間檢查之複數個檢查項目的 母一者，分析藉測量處理 ^ ^ ^ ^ ^ 所衣侍之特徵量的分布後，求 付在最終檢查被判定為良 f之、，且與破判定不良之組的分 201234021 離度，選擇該分離度變成最大者，作為再設定的候選（ 參照專利文獻2的段落0057〜0066等）。 在專利文獻3 ’記載以具有使用共同之判定基準值的 部位且在最終檢查可得到相同之判定結果（良或不良）的 複數片基板為對象，一面變更判定基準值，一面重複執 仃算出在中間檢查的測量處理進行了與最終檢查相異之 判定之基板數的處理，再選擇所算出之基板數表示與所 預設之判定不一致之發生頻率的容許值對應的比例時的 基準值’作為最佳值， [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]專利第3966336號公報 [專利文獻2]專利第4552749號公報 [專利文獻3]特開2008-10666號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之課題] 一-在專利文獻2或專利文獻3所記載之發明因為是將 /牙之測量處理所求得的測量值根據與各檢查結果的關 係來加以公# ~ 斤’所以為了得到可靠度高的結果，除了根 據適當之本丨A «· at 』疋基準值被判定為良好的測量值以外，還需 要^ ^很多個根據該判定基準值被判定為不良的測量值 °是因為貫際的不良未發生那麼多，所以難以收集 個數充分的不良樣本。 據對 係著眼於該問題點，其課題在於作成利用根 間。。之測量值與對從該中間品所形成的最終形態 201234021 品之測量值的相關關係的計算，即使在顯示不良之實際 的測量值少的情況，介 貫丨不 月况亦可高精度判定中間檢查之判定基 準值是否適當。又， 本發明之課題在於’可藉由同樣的 ，針對使用於中間檢查的判定基準值，特定可 確保與最終檢查之結果的-致性的數值。 [解決課題之手段] 本發明之判定其淮& 檢杳經由、4 適當與否的判定方法係根據 盥二志？固製程所形成之最終形態品的最終檢杳、 與檢查在比最終檢杳之、饱置 仏太以 —之則的製程所形成之中間品的中間 ^ ^ 使用於中間檢查之判定基準值是否適 备’並實施包含以下之第!〜第5步驟的處理。 的最分：Γ中間品及從這些中間品所形成 量處理，再按盘同—^^得到檢查對象之特徵量的測 组厶，择此< Γ .物。〇對應的每一者將各測量值加以 '' ° 藉此设疋複數個i装4· , 本所+>ΜΘ ^ 。在第2步驟，使用複數個樣 本所不之測量值的組合，導 終形態品之測量值的相關I:對中間…j…對最 叶算ir步二按各計算對象點實施第1計算處理及第2 理，其中第1計算處理係在對中間品之測量值可分 布的乾圍設定複數個計算對象 出之相關關係，特定”算對:，再根據在第2步驟所導 最^”,β . θ對象點所示的測量值對應之 、；形忍。〇之測1值的分布圖宰. 分右HI安办士 XL 茶，第2叶异處理係根據該 布圖案與在最終檢查所使用 ^ ^ ^ ^ ^ ^ 判疋基準值的關係，求 侍從侍到该計算對象點所示之 蔷炊π沾σ > 1 j里值的中間品所形成之 最、冬形態品在最終檢查被判定 〜馬良好的機率及被判定為 201234021 不良的 此 圍相同 象點的 設定確 在 設定計 判定為 含之計 間檢查 果不一 機率之至少一者。 外，設定計算對象點之範圍亦可盘搞士 、 岡力興樣本之分布範 的範圍，但是亦可設為更寬之範圍。又， βΤ异對 設定間隔亦可在不爻到樣本之宋许士▲ ^ 在度左右的情況下 保以後之處理精度所需的間隔。 第4步驟，根據使用於中間檢查之判定基準值，將 算對象點的範圍分割成被判定為良好之範圍與被 不良之範圍’再按這些各範圍，冑用對該範圍所 算對象點利用第2計算處理所算出的機率，求得中 之結果與最終檢查之結果一致的程度與各檢查結 致的程度。 在第5步驟，根據在第4步驟所求得之各範圍之—致 的程度與不一致的程度’判定使用於中間檢查之判定基 準值是否適當。例如’可從根據判定基準值被判定為^ 好之數值範圍與被判定為不良之數值範圍的分離程度， 判定判定基準值之適當與否。 或’在重視生產力的現場’亦可在第5步驟，算出在 既疋數之中間οα中在中間檢查合格的比例（直達率）後， 藉由所算出之值是否表示使用者所要求之基準以上的值 ，判定判定基準值之適當與否。 依據該方法，在對中間品及最終形態品求得實際獲 得之測量值的相關關係後，不根據這些實測值，求得中 間檢查之結果與最終檢查之結果一致的程度及兩者不一 致的程度。因此，即使實際的測量值’尤其包含表示不 良之測量值的樣本數不充分’亦可高精度地求得各檢查 201234021 結果一致的程度與不一致的程度。因此，關於判定基準 值之適當與否的判定，亦可確保精度。 在上述之方法的一較佳實施形態，在第2步驟，導出 對中間品之測量值與對最終形態品之測量值的迴歸直線 。又’在第3步驟的第1計算處理，對迴歸直線的數學式 應用與計算對象點對應的測量值，而求得最終形態品之 測量值的平均值’而且使用以對該複數個樣本所示的中 間品之測量值的平均值與該計算對象點所示之測量值的 差愈大則值愈小的方式作用的修正函數，來修正迴歸直 線的標準誤差，藉此，算出最終形態品之測量值的^均 在求得對中間品之測量值與對最終形態品之測量值 的迴歸直線的情況，相對前者的各測量值之後者之測量 值的不均，一般可從迴歸直線的標準誤差求得。可是$ 參酌生產現場的實況H對最終形態品之測量值 岣隨著對應之中間品的測量值偏離其平均值而變小。 :上述的實施形態’因為因應於該分布的特性 : 2的標準誤差，所以可高精度地求得與各計: 斜應之最終形態品之測量值的不均。 點 八 該方法之其W的較佳實施形態’在第4步驟’按 m各範圍，算出對該範圍所含的計算對象點利用診 十算處理所算出之機率的平均值，再根據該算出红： 該：中間檢查的結果與最终檢查之結果的各組合，； 定泛 因此’因為對在兩者之檢查都被本丨 尤為良好的組、按兩者之於志 句 兩考之檢查都被判定不良的組、在中 201234021 間檢查被判定為良好且為县& 且在最終檢查被判定不良的組、及 在中間檢查被判定為不良曰+ η ^ 味 民且在最終檢查被判定為良好的 組之各組’箅出發生機率，所 所以可易於進行第5步驟的判 定處理。 其次’在本㈣之判定基準值之適當值的特定方法 ，在執行與上述-樣之^〜第3步驟後，作為第4步驟， 按每次的判定基準值勃；^ u + β +值钒仃以下的處理，該處理係一面變 更使用於中間檢查之判定基準值，一面根據判定基準值 將設定該計算對象點的範圍分割成被判定為良好之範圍 與被判定為不良之範圍’再按這些各範圍，使用對該範 圍所含之計算對象點利用該第2計算處理所算出的機率 ，求付中間檢查之結果與最終檢查之結果—致的程度與 各檢查結果不一致的程度。又，因應於在第4步驟按各判 定基準值求得一致的程度與不一致的程度，根據這些程 度，執行從各判定基準值中選擇適當的值的第5步驟。 依據上述的方法，即使在為了中間檢查所設定之最 初的判定基準值不適當的情況，亦可藉由在藉檢查儲存 某程度之測量值的階段實施該方法，而可特定判定基準 值的適當值’並將判定基準值改寫成該值。又，本方法 亦可在檢查之前，在決定中間檢查所需之判定基準值的 情況下實施。 本發明之零件安裝基板的檢查系統，係包含：最終 檢查用檢查機，係配備於用以生產零件安裝基板之複數 個製程中的迴烊製程；及中間檢查用檢查機，係配備於 迴知製紅之前的至少一個製程。 -10· 201234021 進而’在檢查系統’包含電腦系統，該電腦系統係 具備.記憶手段，係以可特定檢查對象部位之同一性的 狀癌保存各檢查機為了檢查所實施之測量處理的結果及 檢查結果；及判定基準值處理手段，係分析該記憶手段 所保存之關於可應用相同之判定基準值的複數個檢查對 象部位之資訊後’執行對這些檢查對象部位的中間檢查 所使用之判定基準值相關的處理。 在第1檢查系統，在判定基準值特定手段，包含以下 的樣本設定手段、相關關係導出手段、第1分析手段、第 2分析手段、判定手段及輸出手段。 樣本設定手段係藉由按與同一部位對應的每一者將 對該複數個檢查對象部位之中間檢查的測量值與最終檢 查的測量值加以組合，而設定複數個樣本。相關關係導 出手段係使用複數個樣本所示之測量值的組合，導出中 間檢查之測量值與最終檢查之測量值的相關關係。 第1分析手段係按各計算對象點實施第丨計算處理及 第2計算處理，其中第丨計算處理係在中間檢查之測量值 可分布的範圍設定複數個計算對象點，再根據該相關關 係導出手段所導出之相關關係，特定與計算對象點所示 的測量值對應之最終檢查之測量值的分布圖案；第2計算 處理係根據該分布圖案與在最終檢查所使用之判定基準 值的關係，求得得到該計算對象點所示之測量值的檢查 對象部位在最終檢查被判定為良好的機率及被判定為不 良的機率之至少一者。 第2分析手段係根據使用於中間檢查之判定基準值 -11- 201234021 ，將設定該計算對象點的範圍分割成被判定為良好 圍與被判定為不良之範圍，再按這些各範圍，使用 範圍所含之計算對象點利用該第2計算處理所算出 率，求得中間檢查之結果與最終檢查之結果—致的 與各檢查結果不—致的程度。 判定手段係根據在藉第2分析手段所求得之各 之一致的程度與不一致的程度，判定在中間檢查所

之判疋基準值是否適當。輸出手段係輸出判定手段 定結果。 X 依據該系統，關於在零件安裝基板之生產的中 查，可高精度地判定判定基準值之適當與否。 在本發明之第2檢查系統的判定基準值處理手招 含樣本設定手段、相關關係導出手段、第丨分析手段 2分析手段、判定基準值選擇手段及輸出手段。 樣本設定手段、相關關係導出手段及第丨分析手 構成係與第1系統一樣。第2分析手段係—面改變使 中間檢查之判定基準值’一面對按每次的判定基準 行與在第1系統之第2分析手段一樣的處理。判定其 選擇手段係因應於藉第2分析手段按各判定基準值 一致的程度及不一致的程度，根據這些程度，從各 基準值中選擇適當的值’輸出手段係輸出所選擇之 基準值。 依據該構成的檢查系統’可高精度地特定在零 裝基板之生產中適合中間檢查的判定基準值。 在第2檢查系統之一較佳的實施形態，輪出手段 之範 對該 的機 裎度 範圍 使用 的判 間檢 :’包 、第 段的 用於 值執 準值 求得 判定 判定 件安 係在 -12- 201234021 中間檢查用檢查機構成為傳輸藉基準值選擇手段所選擇 之判定基準值的手段。又，在中間檢查用檢查機，設置 為了中間檢查而登錄從輸出手段所傳輸之判定基準值的 手段。 依據上述的實施形態，因應於藉電腦系統的處理選 擇適當的判定基準值，在以後的中間檢查，可使用所選 擇之判定基準值。 本發明亦可應用於一種模擬方法，該方法係使用電 腦實施用以導出在生產線之各檢查結果之模擬計算的方 法，而該生產線係實施檢查經由複數個製程所形成之最 終形態品的最終檢查、與檢查在最終製程之前的製程所 形成之中間品的中間檢查。在該方法，執行與上述之判 定基準值之適當與否的判定方法一樣的第1步驟、第2步 驟及第3步驟。其中，在第3步驟的第2計算，求得從得到 計算對象點所示之測量值的中間品所形成之最終形態品 在最終檢查被判定為良好的機率及被判定為不良的機率 之兩者。 進而，在該模擬方法，執行以下的第4、第5及第6 步驟。 在第4步驟’觉理作為使用於中間檢查之判定基準值 之又疋值的輸人後’根據所輸人之值將設計算對象點 的範圍分割成被本丨$ ^疋為良好之範圍與被判定為不良之範

圍’使用對被判定炎T A 疋為不良之範圍所含之計算對象點利用 該第2計算處理所瞀| 厅舁出的2種機率，求得中間品被判定為 不良之機率，另— 万面’按各種類處理使用對被判定為 -13- 201234021 良好之範圍所含之計算對象點利用第2計算處理所算出 的2種機率，藉此求得從中間檢查合格的中間品所形成之 最終品被判定為良好的機率及被判定為不良的機率。 在第5步驟，使用在第4步驟所算出之各機率，求得 在生產線所產生之既定數的中間品中在中間檢查合格的 比例或不合格的比例、與在中間檢查合格的中間品中在 最終檢查合格的比例或不合格的比例。在第6步驟，顯示 在第5步驟所算出之各比例，作為模擬計算的結果。 法 9 在 使 用 使 用 者 的 值 > 來 實 施 中 間 在 中 間 檢 查 合 格 的 或 從 中 間 檢 查 合 最 後 成 為 良 σ OU 的 比 確 認 否 可 得 到 所 標 的 結 果 5 而 可 定 基 準 值 〇 可 應 用 於 以 包 含 用 在 其 中 的 迴 焊 製 程 程 之 前 的 至 少 — 個 板 生 產 線作 為 對 象 段 係 以 可 特 定 檢 各 檢 查 機 實 施 用 以 得 之 各 測 量 值 5 而 ; 入 手 段 5 係 對 查 對 象部 位 受 理 中 依據該模擬方 檢查的判定基準值 模擬計算求得表示 中間品的發生比例 之最終形態品中之 顯示。使用者藉由 產效率或成本面之 值是否適合作為判 該模擬方法係 板的複數個製程且 查機、並在迴焊製 用檢查機而成的基 統係具備：記憶手 性的狀態保存藉由 徵量的測量處理所 使用之判定基準值 基準值的複數個檢 所輸入之作為中間 檢查的情況，利用 中間品或不合格之 格的中間品所形成 例之資訊，並加以 顯示之資訊符合生 判斷所輸入之設定 以生產零件安裝基 配備最終檢查用檢 製程配備中間檢查 的模擬系統。該系 查對象部位之同— 得到檢查對象之特 且保存最終檢查所 可應用相同之判定 間檢查所使用之判 -14- 201234021 定基準值之設定值的輸入；模擬計算手段，係對應用所 輸入之判定基準值的檢查對象部位分析該記憶手段所保 存之資訊後’執行對這些檢查對象部位的模擬計算；及 顯示手段，係顯示模擬計算的結果。 模擬計算手段係具備：樣本設定手 部位對應的每一者將對計算對象的各檢查對象部位之各 檢查機的測量值加以組合，藉此設定複數個樣本；相關 關係導出手段，係使用複數個樣本所示之測量值的組合 ，導出中間檢查之測量值與最終檢查之測量值的相關關 係；第1分析手段，係按各計算對象點實施第丨計算處理 及第2計算處理，其中第〗計算處理係在中間檢查的測量 處理所付之測量值可分布的範圍設定複數個計算對象點 」再根據相關關係導出手段所導出之相關關係，特定與 计算對象點所示的測量值對應之最終檢查之測量值的分 案’第2什算處理係根據該分布圖案與在記憶手段所 =存之最終檢查用之判定基準值的關係，求得得到該計 一 ：f點所示之測量值的檢查對象部位在最終檢查被判 :二好的機率及被判定為不良的機率；第2分析手段， =，入手段所受理之判定基準值的設定值，將設定 冑點的|a圍分割成被判定為良好之範圍與被判定 圍，Λ使用對被判定不良之範圍所含之計算 檢查被” ϊ 2δ\算處理所算出的2種機率，求得在中間 該被判定a: I ΐ機率’另—方面’按各種類處理對 算處理所复：好之觀圍所含的計算對象點利用該第2計 鼻出的2種機率，藉此求得在中間檢查合格的部 -15- 201234021 位在最終檢查被判定為良好的機率及被判定為不良 率；及第3分析手段，係使用藉第2分析手段所算出 機率’求得在配備該中間檢查用檢查機之製程所導 基板中在中間檢查合格的比例或不合格的比例、與 間檢查合格的基板中在最終檢查合格的比例或不合 比例。 顯示手段係顯示藉第3分析手段所算出之各比令 為模擬計算的結果。 [發明之效果] 依據本發明，即使在無法充分得到表示不良之 值之樣本的情況’亦可高精度地實施判定使用於中 查之判定基準值之適當與否的處理、特定適當之判 準值的處理、及使用作為中間檢查之判定基準值所 的設定值模擬各檢查結果的處理。 【實施方式】 [實施發明之形態] 第1圖係將基板檢查系統一實施型態的構成與 安裝基板之生產線之整體構成對應地顯示之構成圖 在所圖示的生產線，包含焊料印刷製程、零件 製程及迴:fcp製程。在焊料印刷製程，設置對基板上 接端面（land)塗布膏狀焊料的焊料印刷裝置i丨與檢 用該裝置11之處理結果的焊料印刷檢查機丨〇。在零 裝製程，設置將零件安裝於印刷焊料後之基板的貼 或檢查零件之安裝狀態的零件檢查機2〇。在迴焊 ，設置使零件安裝後之基板的膏狀焊料熔化之迴焊 的機 之各 入的 在中 格的 丨J，作 測量 間檢 定基 輸入 零件 〇 安裝 之各 查利 件安 片機 製程 爐31 -16- 201234021 或檢查迴焊後之基板的焊接檢查機30。如圖中之粗箭號 所示，基板依序被送入各裝置，進行處理，藉此，完成 因應於既定規格的零件安裝基板。 檢查機10、20及30係分別經由LAN線路1〇〇相連接。 在LAN線路100，進一步連接有檢查程式管理裝置1〇1 檢查資料管理裝置102。 查機10具有三維測量功能， 於基板之各接端面之膏狀焊 量膏狀焊料之印刷範圍的位 測量值，將該測量值與預先 而判定該測量值的良好、不 影像處理檢測出零件的影像 無零件或有無安裝錯誤。進 轉動偏差後’將這些測量值 比較，而判定該測量值的良 數種顏色光各自從入射角相 彩色相機。在照明裝置之昭 ，產生利用與各照明光對應 之焊接部位之傾斜狀態的影 s亥景;J像測量各零件的各電極 角之潤濕攸昇高度（以下只稱 按各測量值，藉由將該測量 值比較，而判定該測量值的 本實施例之焊料印刷檢 除了使用該功能測量被塗佈 料的高度及體積以外，還測 置或面積。然後，按這些各 所登錄的判定基準值比較， 良。 零件檢查機20利用二維 後’根據其檢測結果判定有 而’測量零件的位置偏差或 與預先所登錄的判定基準值 、不良。 焊接檢查機30具備使複 異之方向照射的照明裝置戋 明下拍攝檢查對象的基板時 之顏色的分布圖案表示基板 像。在焊接檢查機30，使用 之焊料的位置及面積、或圓 為「圓角之高度」）。然後， 值與預先所登錄的判定基準 -17- 201234021 良、不良。 if句圓月 隹本實施例， 利用可從各顏色光之入射角度算出與影像 % τ <顏色對應 的焊料及其傾斜角度，從影像中之顏色的分布特定與焊 料之形狀近似的曲線。然後，將該曲線積分 罚刀，再將所得 之積分值設為圓角之高度。 進而，在任一種檢查機10、2〇及3〇中 00 τ 岣在按零件 的單位或對應於零件的各範圍匯整各測量值 ·* 叩判定結果 並判定良好、不良後’按照基板單位判定良好、不^ 然後，製作包含各判定結果及測量結果的檢杳沾: —、、'口果資訊 後，經由LAN線路輸出至檢查資料管理裝置1〇2。 在檢查程式管理裝置101，按各檢查機1〇、 2 U 及 3 0 ，登錄將檢查程式匯整成各種零件之程式庫眘社 子貝料的資料 庫。檢查程式係根據預先所決定之檢查基準所製作 、 包含用以實施上述之各種測量處理的程式。又 « 基準值 的值亦被定義於檢查程式中。 在檢查機10、20及30，在檢查之前，輪入| _ 别八表不檢查 對象基板之構成的資料（例如CAD資料）後，從檢杳_ 管理裝置101取入適合該輸入資料所示之各霖杜& 》 $ Ί卞的零件 種類資訊的程式庫資料，再實施將各零件之位w & ι貧訊與 20 程式庫資料賦予對應的處理。藉此，對各檢查機丨〇、” 及30設定檢查對象基板之檢查所需的環境。 在檢查資料管理裝置102，保存從各檢查機1〇、之

及30所傳輸的檢查結果資訊。該檢查結果資訊構成為D 按各檢查機1〇、20及30且按基板別及基板上之各愛 ♦件別 -18- 201234021 :::而’關於焊料印刷檢查機或焊接檢 亦可按各零件之電極讀出測量結果或判定結果。 此外’⑮查程式管理裝置1〇1與檢查資料管理裝置 要分開，亦可使-台電腦具有各管理裝置101、 102的功能。相反地’亦可利用複數台電腦構成各管理裝 置101、1〇2。又，亦可為了對各管理裝置101、102的操 作或處理結果的顯示，將終端裝置添加於系統中。 進而，在本實施例的檢查程式管理裝置丨〇丨，設置檢 查迴f製程之前的製程之檢查機1〇、2〇所應用的判定基 準值疋否適當的功能，或在判定基準值不適當的情況， 將其修正成最佳值的功能。這些功能之目的在於提高檢 查機10、20之中間檢查的結果與焊接檢查機3〇之最終檢 查的結果之整合的程度，並按各零件種類，或以所選擇 之特定的零件種類為對象而實施。此外，在中間檢查、 最終檢查之任一檢查中都實施根據複數個檢查項目的檢 查，但是在該中間檢查之判定基準的判定處理係對被認 為在中間檢查與最終檢查之間在測量值具有相關之檢杳 項目的組合實施。 以下’作為具體例’設想選擇焊料印刷檢查機1 〇對 焊料之體積的檢查、與焊接檢查機30對圓角之高度的檢 查，並判定在前者的檢查所使用之判定基準值的適當與 否的情況，說明在檢查程式管理裝置101所實施之處理的 概要。 首先’為了判定在中間檢查之判定基準值的適當與 否，檢查程式管理裝置101從檢查資料管理裝置102取得 -19- 201234021 複數個各檢查機10、30利用對處理對象之零件的測量處 理所知之測量值（焊料的體積與圓角之高度）後，設定將 各測量值按對應於相同零件之同—部位的每一者加以組 合的樣本。 第2圖表示從對導線零件的檢查結果取得測量值之 樣本的方法。在本例，從在焊料印刷後的基板之膏狀焊 料的體積之測量值的集合中，讀出處理對象之導線零件 之與各個電極對應的測量值之全部。關於在迴焊後的基 板之圓角之高度的測量值亦一樣’將處理對象之零件種 類的零件之各電極的測量值全部讀出。然後，如第2圖中 之Samp卜Samp2所示，按與相同零件之同一電極對應的 每-者組合各測量值。若依據本方法，可從對__個零件 的檢查結果設定電極之個數份量的樣本。 适叫，错由對複數 Υ I丨只哪一银的處理 …到相當個數的樣本。其中’在根據電極的位置所 應用之収基準值相異的情況’需要以限定為應 眼之判疋基準值的電極之方式取得樣本。 又，為了提高樣本所示的2種測量值之間之 的精度’較佳為將在著眼中之檢查項目以外的檢查項係 被檢測出不良之部位的測量值將樣本除去。例& -目 圖的例子，若在箭號K1所示之處檢測出 第2 ，在箭狀2所示之處檢測出電極的彎曲不良時：不良 位置之焊料的體積及圓角之高度之測量值的 足些 樣本被排除較佳。 σ係以從 第3圖係表示各樣本之分布狀態的圖形例 -20- 201234021 該圖形係分別在x軸（橫軸）設定膏狀焊料的體積，在 Y軸（縱軸）設定圓角之高度後，繪製各樣本。又，X軸的

XS係在膏狀焊料之體積的檢查所使用之判定基準值，Y 轴的Ys係在圓角之高度的檢查所使用之判定基準值。此 外判疋基準值X S的值係可變更，但是判定基準值γ s的 值係根據實際之圓角之良好的高度固定為特定的值。s. 在此，根據判定基準值Xs、Ys，將各測量值的組合 分類成以下的4組Gl、G2、G3、G4。此外，以下所指= 最終檢查是圓角之高度的檢查’中間檢查是膏狀焊料之 體積的檢查。 G1:在中間檢查被判定不良，但是在最終檢查 定為良好者。 — G2 ·在中間檢查、最終檢查都被判定為良好者。 G3 :在中間檢查、最終檢查都被判定為不良者。 G4 .在中間檢查被判定為良好，但是在最終檢查被 以下’將各組Gi、G2、G3、G4的發生機率分別設為 PI、P2、P3、P4 ° 為了說中間檢查的判定基準值Χ是適當， 設定於中間檢查的結果與最終檢查的結果一致需的要程將度x: 利用組G2的機率P2及組G3的機率p3表示）變成充分大， 且兩者之檢查結果不一致的程度（利用組⑴的機率Η及 組G4的機率Ρ4表示）變成儘量小的位置。 因此，在本實施例，使用這些機率ρ 1〜ρ4，根據以下 第⑴式，求得根據判定基準值\將在中間檢查的測量值 -21- 201234021 x分成良與不良的情況之兩者的分離度s。 s = 1 〇 ·

Pbx Pc Pax Pd. (1) 其中 Pa =. PI P 1 + P 2

Pb = - P2 P 1 + P 2 〇 P 3

Pc = ·- P 3 + P4 PD P4 P 3 + P 4 在第（1)式，PB及PC表示中間檢查的結果與最終檢查 之結果一致的比例，1^及匕表示各檢查結果不一致之樣 本的比例。因此’若依據第（1)式，組G2*G3所含之樣本 的比例愈大，或者組G1或G4所含之樣本的比例愈小，分 離度s的值愈大。因此，可認為該分離度3的值愈大，判 定基準值Xs愈適當。 可是，為了確保判定的精度，需要高精度地求得在 分離度S的計算所使用之機率ρι〜ρ4的值。若依據第3圖的 圖形，可讀取膏狀焊料的體積與圓角之高度係在於前者 之值愈大後者之值也愈高的關係’但是從對在實際之生 產線所產生的基板之測量處理的結果所抽出之樣本一般 良值者多’而要取得充分個數之表示不良的樣本係困難 。因此’根據判定基準值Xs、Ys ’將實際的測量值分類 成組G1〜G4時，即使在組G2可得到個數充分的樣本亦 可忐在其他的組G卜G3、G4無法得到個數足以確保機率 PI、P3 ' P4之精度的樣本。 考慮該問題，在本實施例，作成藉用各樣本所示之 測量值X、Y之相關關係的計算處理，高精度地算出各組 •22- 201234021 G1 ♦機率P1〜P4的全部’而可確保判定判定基準值& 之適當與否的精度。 以下，使用第4圖說明該處理 …在第，所例示的處理中，假設:要量值χ、γ都是正 吊刀布才女各測里值χ、γ算出各樣本的平均值及標準偏 差（步驟1)卩下，將任意的樣本所示之測量值X、Υ的 值設為ΧΚ、ΥΚ’並將、的平均值及標準偏差分別設為χ& 、σχ ’，將YK的平均值及標準偏差分別設為&、〜。 接著Μ吏用各樣本所示之測量值&、Υκ及這些的平 均值Xa Ya，根據以下的第⑺式，求得測量值X、γ之 間的相關係:數γ (步驟S 2 )。 γ = G(xk-Xa)(Yk-Ya} …⑵ 進而，藉由使用相關係數γ、標準偏差〜、Μ、平均 值Xa、Ya，執行第（3)、⑷式，而導出表示X、Υ之關係 的迴歸直線Υ = αΧ+ β(參照第5圖）（步驟s3)。 α = γχ(σΥ/σχ) ...(3) β = Υα-αχχα ,..(4) 、進而’在步驟S4,使用第（5)式，算出該迴歸直線之 迴歸係數的標準誤差e〇t。 〇 = /CekT7(k~2) (5) V&Xk^Xa)2 其中 ek = aXk+0_Yk 以下，根據利用該步驟81〜34所求得之χ、γ的相 -23- 201234021 關係，實施不是以實際的樣本為對象，而是以在χγ平面 所分布之虛擬的測量值為對象的計算。首先，藉由按照 固疋間隔劃分ΧΥ平面的X軸，而設定Ν個計算對象點（步 驟S5)後，一面將計數器ns!移動至Ν，一面執行S6〜S9 的迴路。該迴路係以以下之2種處理為核心：導出與第η 個計算對象點之值Χη對應之測量值γ的分布圖案的處理 (步驟S7);及根據所導出之分布圖案與最終檢查之判定 基準值YS的關係，算出在膏狀焊料的體積為又〇時所形成 之圓角的高度被判定為良好的機率（以下稱為「良品機率 」）OKPn及被判定為不良不良之機率（以下稱為「不良品 機率」）NGPn的處理（步驟S8)。 在此’參照第5圊及第6圖，詳細說明在步驟S7、S8 所實施之計算。 在第5圖，將在步驟S3所導出之迴歸直線與和第2圖 一樣的圖形賦予對應。又，表示與乂軸上之任意3SXni 、Xn2、Xh的各點對應之測量值γ的分布曲線。如這些 分布曲線所示，與Χηι、Χηζ、Xh之各值對應的測量值γ 係以各自所對應之X的值與從迴歸直線所算出之平均值 Yam、Yanr Yah為中心，而分布於包含實際之γ的測量 值之分布範圍的範圍◦但，認為其分布之寬度不是定值 ，而疋Χη愈遠離X之分布中心（平均值愈窄。 在步驟S7 ’鑑於該分布的特性，算出乂=又11時¥的平 均值Yan及分散Vn。 首先，關於平均值Yan ’自迴歸直線算出

Yan = aXn + β 〇 -24- 201234021 。此外，在第 分散1)之任意 ’ ea是在前面 又，分散Vn係根據以下 ⑷式函數Q⑷是在標準正常分布（平均〇出 點z的上側機率(下面之第⑺式亦相同卜又 之步驟S4所算出之迴歸係數α的標準誤差。 V η = 2

Q

(6) 若依據該第（6)式，力γ β τ 在Χη疋平均值χ時分 最大，Xa與Χη的差命大，八_ ^散Vn變成 竑大，分散vn的值愈小。 第6圖係以與第$阁 ,« m 的測量值X科： 圖形為基礎，表示與任意 的利里值Xn對應之測量值丫的分布 曲線的範圍分成舻Μ真〜1 阳且將β亥刀布 辟二 終檢查之判定基準仏判定為良 好的範圍WOK盥剌宗盔τ u _ 為不良的範圍Wng。如該第ό圖所示 ’測量值Υ的分布中护禍主丨a -j疋基準值Ys之範圍wOK的機率 度成為在膏狀焊料的體積為Xn時所形成之圓角被判定 為良好的機率（良品機率）。又’判定基準值Ys以下之範 圍WNG的機率密度成為在膏狀焊料的體積為χη時所形成 之圓角被判定為不良的機率（不良機率）。 因此，在步驟S8，根據以下的第（7)式，求得在膏狀 焊料的體積為χη時所形成之圓角之高度丫的良品機率 OKQn進而根據第（8)式，算出該圓角的不良機率NGQn 〇KQn = q i^~Y s I ' W n NGQn ：：： i-〇KQn 回去參照第4圖，說明步驟S 1 0以下的處理。 -25- 201234021 ▲ ?王邠的β十算對象點實施步驟％〜的迴路，而算出 各§十算對象點之測量值γ的_ 〇 & 里m γ的良品機率〇KQn及不良機 NGQn—時，在步驟SmXs以下之範圍（中間檢查的結果 被判疋為不良之測晉信的 j里值的範圍）所含的Μ個計算對象點為 對象，算出對這些點所算出之良品機率〇咖及不良機率 NGQn的平均值。良品機率QKQn的平均值相當於組^的 機率Η，不良機率NGQn的平均值相當於組G3的機率Μ 〇 進而，在步驟310,關於比xs大之範圍（中間檢查的 結果被判定為良好之測量值的範圍)所含的(N-M)個計算 對象點亦-樣地算出對各點所算出之良品機率οκ如及 不良機率NGQn的平均值。I品機率〇KQn的平均值相當 於組G2的機率P2,不良機率仰_平均值相當於組以 的機率P4。 然後’藉由使用機率”、…”、以執行前面的第 ⑴式’而算出分離度S(步驟S12)，再藉由將所算出之值 與預先所登錄之臨限值比較’而判定判定基準值^是否 適當（步驟S13)。 最後，利用顯示於監視器等的方法輸出該判定結果（ 步驟S1 4)，而結束處理。 若依據上述的處王里，在未得心分之表示相當於不 良之值的樣本數的情況，亦在使用相當個數的樣本高精 度未得各測量值χ、γ的分布圖案及兩者之相關關係的情 況’可從這些樣本’按測量值的各計算對象點以高精度 特定測量值Y的機率分布後，求得良品機率及不良機率。 -26- 201234021 因此’關於未能取得個數充分之樣本的組，亦高精度求 付其發生機率，因為亦可確保分離度s的精度，所以可確 保判定基準值Xs之適當與否之判定的精度。 此外’在第4圖的處理，在步驟s 6〜S 9按各計算對象 點算出良品機率及不良機率，而且在步驟sl〇、S11算出 對根據判定基準值Xs所算出之各範圍及各種機率算出機 率的平均值，但疋未限定如此，亦可止於按各計算對象 點僅算出良品機率及不良機率之一者，並求得其平均值 。例如，在僅算出良品機率的情況，在步驟S丨〇算出機率 P1，而在步驟S11算出機率P2。又，在僅算出不良機率的 情況，在步驟S10算出機率P3，而在步驟S11算出機率以 。因此，在任一情況，都可求得各檢查結果一致的程度 及不一致的程度。 其次，說明在利用第4圖的處理判定對測量值χ之判 定基準值Xs不適當的情况所實施之處理。該處理係例如 因應於確認了對現在之判定基準值&之判定結果的使用 者進行指示修正判定基準值1的操作而實施。 第7圖表不用以特定判定基準值&之最佳值的處理 步驟。 在該處理，使用在第4圖之步驟S6〜S9按各計算對象 點所求得的良品機率及不良機率，特定判定基準值、的 最佳值Xso。 首先，在最初的步驟S2卜將判定基準值心的暫定值 設為XSi ’並設定該XSi之變動範圍。例如，可將在第4圖 之處理中設定計算對象點之範圍作為變動範圍。又，亦 -27- 201234021 可將實際之樣本所示的測量值x之最小值至最大值的範 圍作為變動範圍。或者，亦可使用現在的判定基準值Xs 及定值DX ’將從XS-DX至Xs + DX之範圍設定在變動範圍 〇 接著，將該變動範圍的最小值設定成Xsi，而且對分 離度s之最大值sMAX設定起始值0(步驟S22)。然後，在步 驟S23及步驟S24，算出根據Xs^ Ys及所分類的4個組Gii 、G2i、G3i、G4i的發生機率 Pli ' p2i、p3i、p4i後，使用 各機率PI〜P4算出分離度Si(步驟S25^此外，因為步驟 S23、S24、S25的計算係與第4圖的步驟81〇、Sll、S12 一樣，所以省略詳細說明。 進而’將分離度Si與最大值Smax比較（步驟S26)，若

Si>sMAX’則根據心的值改寫“以（步驟S27)。又，將此時 之Xsi值儲存於變數XS0。 以下，至XSi超過變動範圍的最大值為止，一面將Xy 的值逐次增加定值D(步驟S28、U9)，一面對每次的χ = ，執行步驟S23〜S26,進而’在分離度&超過最大值= 的情況，執行步驟S27。然後，確定根據步驟S23〜S29之 沿路的結束時間點之Xs〇的值，作為判定基準值&的最佳 值（步驟S30)。 在步驟S3卜使用在該Xs〇被設定成心 所算出的機率Pli、P2i ’算出在W檢查的直達率 · OK(從檢查對象的基板完全未檢測出不良的機率）。 具體而言’僅著眼於在基板上設定判定基準值I的部位 ’而在其他的部位當作未發生不良，執行以下的第⑺ -28- 201234021

Xso、分離度SMAX&直達率p 輸出判定基準值又5的最佳值 tPpre.OK的各值後，結束處理 第8圖表示作為利用上述的處理所特定之最佳值χ 、分離度Smax及直達率ρ • οκ之輸出例的顯示畫面。在 該晝面，每隔固定的寬度劃分判定基準值之修正對象之 檢查項目（膏狀焊料的體積）的測量值，並按各範圍以顏 色區分表示由該範圍所含之膏狀焊料的體積所形成之圓 角的良品機率及不良機率的長條圖2〇〇。 長條圖200可根據在第4圖之步驟S6〜S9的計算結果 製作。又 在第8圖未圖示，但是在長條圖2〇〇的橫軸之 與各長條對應的位置，顯示表示具體之測量值的數字。 進而’在長條圖200,設定表示對膏狀焊料的體積之 現在的判定基準值Xs的直線L卜與表示利用第7圖的處理 所特疋之最佳值Xs〇的直線L2。又，在長條圖200的下方 ’以與表示膏狀焊料之體積的橫軸對應的方式顯示表示 根據現在的判定基準值又5檢查時之不良判定及良判定之 範圍的圖形201、與根據最佳值xs〇檢查時之不良判定及 良列定之範圍的圖形202。又，在長條圖200的右邊，設 置顯示各直線LI、L2所示之實際的數值及與這些數值對 應之分離度及直達率之各值的顯示欄2 03。 進而’在晝面的右下，設置用以決定是否變更判定 -29- 201234021 基準值Xs的操作按紐2()4、2G5。使用者根據各圖形扇 、201、202與直線Ll、L2的關係、或顯示搁2〇3所顯示之 數值，檢討是否將現在的判定基準值&變更成最佳 ，而在決定變更的情況點擊按鈕2〇4。利用該點擊操作？ 將保存於檢查程式管理裝置1〇1之判定基準值〜改

直線L2所不的最佳值Xs〇。㉟而’檢查程式管理裝置"I 將更新後的判定基準x s傳輸至焊料印刷檢查機ι 〇，收到 判定基準XS的焊料印刷檢查機1〇，亦實施判定基 改寫處理。 另一方面，在點擊按鈕205的情況，不變更判定基準 值xs，而依然保持現在值。 土 :依據該顯示，因為明確表示膏狀焊料之體積的值與 在最双查之良品機率及不良機率的比例的關係，或根 據=在之判定基準值&的判定結果與根據最佳值Xs〇之 判疋果的差異，所以看到顯示的使用者可易於判斷是 否應變更判定基準值Xs。又，在使用者重視生產力的情 況可將顯示欄203内之直達率的值設為判斷的指標。 其中，使用者之判斷未必需要，亦可在利用第7圖的 處理特定判定基準值的最佳值Xs〇後，根據該最佳值 自動改寫判定基準值Xs。 又，在上述的實施例，判定現在的判定基準值是否 適δ，在判定為不適當的情況，特定判定基準值的最佳 值’但是亦可藉由一連串地實施第4圖之步驟S1〜S9及第7 圖的各步驟，在不判定現在值是否適當的情況下求得判 定基準值的最佳值後，根據該最佳值自動修正判定基準 -30- 201234021 值。又’亦可將此情況的處理作為使用於中間檢查之判 定基準值xs的最佳化處理，向使用者提示，並適當地接 受來自使用者的執行指示，實施最佳化處理。 又，即使在中間檢查開始之前之未設定判定基準值

Xs的階段’在關於測量值X、γ有某程度之實側值的樣本 ，或可得到模擬之測量值的情況，亦可利用第4圖之步驟 si〜S9及第7圖的各步驟，決定中間步驟的判定基準值 。在此情況也同樣，若因應利用以後的檢查儲存了測量 值，適當地實施最佳化處理，可使判定基準值&變成最 佳值。 又，在上述的實施例’作為中間檢查，將焊料之體 積的檢查作為對象，作兔甚 為最〜檢查，將圓角之高度的檢 查作為對象’但是檢杳瑁曰从。A丄 宜項目的組合未限定如此。此外， 在中間檢查的各檢杳項曰由 —項目中’想查核可利用上述的手法 進行判定基準值之適當斑不从、 與否的判定或修正的項目、斑使 用於該處理之最終檢查之 八 pa ^ ^ . 揿置項目的情況，只要針對中 間檢查的檢查項目盥籥 八，a ”被^檢查的檢查項目之任意的袓合 分別根據第（2)式算屮知M ^ ° ^ ^ ^ 相關係數γ後，確認相關係數γ是否 苟過既夂的基準值即可。 又，在上述的皆^； y · 基準值XS是否適去，作：’根據分離度8的指標判定判定 ，亦可使用相對；間：：判定的指標未限定於此。例如 的程度（P2 + P4)之—的、°果與最終檢查之結果一致 例。或者，亦可將在中：：！ 程度(Ρ1+Ρ3)的比 的指標》 '的直達率ppre . ΟΚ作為判定 -31- 201234021 又’第4圖或第7圖所示的處理，未限定為零件安裝 基板。只要是經由複數個製程所生產之產品，並在“ 中間檢查之對象的測量值與成為最終檢查之對象的測量 值之間具有相關關係者，都可利用—樣的方法，判定中 間檢查之判定基進佶& $ a π 準值的適§與否，或特定判定基準 適當值。 α旧 其次，在迴焊製程之前的製程之檢查中檢測出不良 的清兄纟建立攸生產線排除（不實施以後的製程）該被 檢測出不良之方針的生產目 一 生產現％，兩要在中間檢查儘量實 施精度高的檢查。關於此壤3 ^ ^ 關於此课喊，在以下，說明因應使用 者輸入使用於中間檢杏夕坐，〜甘 r间杈查之判疋基準值，從該輸入值算出 表不生產效率之模擬處理的實施例。 第9圖表示關於該模擬處理的處理步驟。本例的處理 係藉由檢查程式管理袭置1〇1與所連接之終端裳置（未圖 示）的協同動作而實施。 第9圖的處理亦以針對特定之零件種類的零件，準備 複數個在中間檢杳及备故&尤β _ 宜及蚨終檢查所得之測量值X、Y之組合 的樣本為前提而實施。此外’在本實施例，為了簡化說 明’在基板上安裝複數個共同應㈣定之判定基準的零 件，若在這些零件夫 發生不良’就當作基板整體為良品 ，來實施模擬。又，Λφ η仏太 电 在中間檢查，膏狀焊料的體積檢查 成為模擬的對象，而在最終檢查，圓角之高度檢查成為 模擬的對象，並當作在其他的檢查未發生不良，來實施 模擬。 在本實施例，亦以在檢查程式管理裝置ι〇ι儲存複數 -32- 201234021 個測量值X、γ之組合的樣本 0 J倮奉為則楗，開始處理。第9圖 之步驟S51〜S59的處理相當於筮 省， 4田於第4圖之步驟S1〜S9。即’ 導出測量值X、γ的相關關俜 .^ '、後在X軸上設定N個計算對 象點’並按各計算斜象赴曾 、目丨县伯v ' 异出利用相當於該點所示之 測量值Xn的焊料所形成之圓 ^ ^ 成之圓角的良品機率OKPri及不良 機率NGPn。 '又理使用於中間檢查之判定基準值Xs之設定 \入7驟S6〇) ’再使用該Xs，實施與第4圖之步驟 S10、S1 1—樣的計算（步 γ s ν β、 S62)。藉此，算出根據 xs及ys所分類之4組Q1、G2 機率P1、P2、P3、P4。 G4(參照請）的發生 上述的機率中’ P1與P3的和相當於在中間檢查中一 個檢查對象部位被判定不_ J疋不良的機率。又，P2相當於從中 間檢查合格之部位的音妝悝 m — $ 们貧狀钚科所形成的圓角在最終檢查 被判疋為良好的機率，ρ4知木认似1 j微手Ρ4相當於從在中間檢查合格之部 位的膏狀焊料所形成的 圓角在喊終檢查被判定為不良的 機率。 在步驟S63,使用機率ρι、ρ3,執行與前面之第（9) 式一樣的計算’而算出在中間檢查的直達率Ppre,。進 而，在步驟S64，當作力由叫仏太a u 乍在中間檢查被檢測出不良的基板已 從生產線排除’藉由使用機率P2、P4，執行以下之第（1〇) 式的汁开，而算出在最終檢查發生不良基板的機率 P post · NG ° PP〇st· ng = (P4x(P2+ p4))SUm 〇〇) 進而，在步驟S65，將上述的直達率Ppre 〇κ及不良基 -33- 201234021 板的機率pp()st. NG顯示於監視器。

示，但是以後，在輸入與上述不：:數值在作第二圖T 田I· A 七邮 取值作為Xs的情況 乂吏：上次之步驟S51〜S59的處理結果 從步驟S61執行處理。 07 As 為了提高該模擬的可靠奸，.__ 的了罪度，亦可按照應用相同之檢 查基：的每一個將基板上的零件分組，並按各組執行上 述的步驟S51〜S64後，求彳+ 之直達率的積及不良基板 的發生率的積，將其等顯示作為最終結果。又，上述， 關於中間檢查求得直達率，關於最終檢查求得不良基板 的發生率即可，但是亦可使所算出之參數的關係相反。 或，亦可在中間檢查、最終檢查兩者都求得直達率。 依據該模擬’使用者在利用本本身所輸入之值作為 中間檢查的判定基準值心來實施檢查的情況，可掌握在 中門檢查δ格而向迴焊製程流入的基板、或最後所產生 之不良基板的比例的程度。而且，若這些數值合乎生產 目‘，則可判斷判定基準值xs為適當。 【圖式簡單說明】 第1圖係將基板檢查系統的構成與零件安裝基板之 生產線之構成對應地顯示之方塊圖。 第2圖係表示取得測量值之樣本的方法的圖。 第3圖係表示測量值之分布之關係的圖形。 第4圖係表不中間檢查用判定基準值的適當與否之 處理之概略步驟的流程圖。 第5圖係舉例表示測量值X與測量值Y之分布圖案之 關係的圖形。 -34 - 201234021 第6圖係將與任意的測量值Xn對應之測量值Y的分 布分成良好判定之範圍與不良判定之範圍而加以顯示的 圖形。 第7圖係表示特定中間檢查用之判定基準值的最佳 值之處理之概略步驟的流程圖。 第8圖係表示顯示判定基準值之最佳值的特定結果 之顯示晝面例的圖。 第9圖係表示因應中間檢查用之判定基準值的輸入 所實施之模擬處理之步驟的流程圖。 【主要元件符號說明】 10、20 中 間 檢 查 用 檢 查 機 11 焊 料 印 刷 裝 置 21 貼 片 機 30 焊 接 檢 查 機 31 迴 焊 爐 100 LAN線 路 101 檢 查 程 式 管 理 裝 置 102 檢 查 資 料 管 理 裝 置 X 中 間 檢 查 的 測 量 值 Υ 最 終檢 查 的 測 量 值 Xs 使 用 於 中 間 檢 查 的 判 定 基 準 值 Ys 使 用 於 最 終檢 查 的 判 定 基 準 值 -35-

Claims (1)

1. 201234021 七、申請專利範圍： 1. 一種判定基準值之適當與否的判定方法係根 經由複數個製程戶斤形成之最終形態品的最終檢 檢查在最終製程之前的製程所形成之中間品的 查的關係’判定使用於中間檢查之判定基準值 虽的方法，其特徵為包含以下的步驟： 第1步驟，係對複數個中間品及從這些中間 成的最終形嘘品分別實施用以得到檢查對象之 的測量處理，再按與同一物品對應的每一者組 量值’藉此設定複數個樣本； 第2步驟，係使用該複數個樣本所示之測量 合，導出對該中間品的測量值與對最終形態品 值的相關關係； 第3步驟，係按各計算對象點實施第丨計算 第2計算處理’其中第1計算處理係在對中間品 值可分布的範圍設定複數個計算對象點，再根 第2步驟所導出之相關關係，特定與計算對象點 測量值對應之最終形態品之測量值的分布圖案 算處理係根據該分布圖案與在最終檢查所使用 基準值的關係，求得從得到該計算對象點所示 值的中間品所形成之最終形態品在最終檢杳被 良好的機率及被判定為不良的機率之至少—& 第4步驟，係根據使用於該中間檢杳 '''*〈判定 ，將設定該計算對象點的範圍分割成被列定為 範圍與被判定為不良之範圍，再按這些久_ 據檢查 杳、盘 * ，、 中間檢 是否適 品所形 特徵量 合各測 值的組 之測量 處理及 之測量 據在該 所示的 :第2計 之判定 之測量 判定為 基準值 良好之 ，使用 •36- 201234021 對該範圍所含之計算對象點利用該第2計算處理所算 出的機率，求得中間檢查之結果與最終檢查之結果一 致的程度與各檢查結果不一致的程度；及 第5步驟，係根據在第4步驟所求得之各範圍之一 致的程度與不一致的程度，判定使用於中間檢查之判 定基準值是否適當。 2. 如申請專利範圍第1項之判定基準值之適當與否的判 定方法，其中 在該第2步驟，導出對該中間品之測量值與對最終 形態品之測量值的迴歸直線； 在該第3步驟的該第1計算處理，對該迴歸直線的 數學式應用與計算對象點對應的測量值，而求得最終 形態品之測量值的平均值，而且使用以對該複數個樣 本所示的中間品之測量值的平均值與該計算對象點所 示之測量值的差愈大則值愈小的方式作用的修正函數 ，來修正該迴歸直線的標準誤差，藉此，算出最終形 態品之測量值的不均。 3. 如申請專利範圍第1項之判定基準值之適當與否的判 定方法，其中在該第4步驟，按所分割之各範圍，算出 對該範圍所含的計算對象點利用該第2計算處理所算 出之機率的平均值，再根據該算出結果，按中間檢查 的結果與最終檢查之結果的各組合，算出該組合的發 生機率。 4. 一種判定基準值之適當值的特定方法，係根據檢查經 由複數個製程所形成之最終形態品的最終檢查、與檢 -37- 201234021 前的製程所形成之中間品的中間檢查 的方法，其特徵為包含以下的步驟： 值 成的㈣複數個中間品及從這些^品所形 的測量刀別貫施用以得到檢查對象之特徵量 ^ ，再按與同一物品對應的每一者組合各_ 里值，藉此設定複數個樣本； 各叫 人第2步驟，係使用該複數個樣本所示之測量值的組 導出對該中間品的測量值與對最終形態品之測吾 值的相關關係； 、 。第3步驟，係按各計算對象點實施第i計算處理及 2計算處理，其中第丨計算處理係在對中間品之測 ί^畜 o|L 一》、__ 刀布的範圍設定複數個計算對象點，再根據在該 第2步騍所導出之相關關係，特定與計算對象點所示 測晉估并_1_ „ 财應之最終形態品之測量值的分布圖案；第2計 算處理係根據該分布圖案與在最終檢查所使用之判定 基準值的關係’求得從得到該計算對象點所示之測量 的中間品所形成之最終形態品在最終檢查被判定為 良好的機率及被判定為不良的機率之至少一者； 第4步驟，係按每次的判定基準值執行以下的處理 ’該處理係一面變更使用於中間檢查之判定基準值， —面根據判定基準值將設定該計算對象點的範圍分割 成被判定為良好之範圍與被判定為不良之範圍，再按 這些各範圍，使用對該範圍所含之計算對象點利用該 第2計算處理所算出的機率，求得中間檢查之結果與最 -38- 201234021 終檢查之結果一致的程度與各檢查結果不一致的程度 ;及 第5步驟，係因應於在第4步驟對各判定基準值求 得一致的程度與不一致的程度，根據這些程度，從各 判定基準值中選擇適當的值。 5 · —種零件安裝基板的檢查系統，係包含：最終檢查用 檢查機’係配備於用以生產零件安裝基板之複數個製 程中的迴焊製程；及中間檢查用檢查機，係配備於迴 焊製裎之前的至少一個製程； 更包含電腦系統，該電腦系統係具備：記憶手段 ’係以可特定檢查對象部位之同一性的狀態保存各檢 查機為了檢查所實施之測量處理的結果及檢查結果； 及判定基準值處理手段，係分析該記憶手段所保存之 關於可應用相同之判定基準值的複數個檢查對象部位 之資訊後’執行對這些檢查對象部位的中間檢查所使 用之判定基準值相關的處理； 該判定基準值處理手段係具備： 樣本設定手段’係藉由按與同一部位對應的每— 者將對該複數個檢查對象部位之中間檢查的測量值與 最終檢查的測量值組合，而設定複數個樣本； 相關關係導出手段，係使用該複數個樣本所示之 測量值的組合，導出中間檢查之測量值與最終檢查之 測量值的相關關係； 第1分析手段，係按各計算對象點實施第丨計算處 理及第2計算處理，其令第1計算處理，係在該中間檢 -39- 201234021 查之測量值可分布的範圍設定複數個計算對象點’ 根據該相關關係導出手段所導出之相關關係’特定與 計算對象點所示的測量值對應之最終檢查之測重值’ 分布圖案；第2計算處理係根據該分布圖案與在最終檢 查所使用之判定基準值的關係，求得得到該計弄射象 點所示之測量值的檢查對象部位在最終檢查被判疋 良好的機率及被判定為不良的機率之至少一者； 第2分析手段，係根據使用於該中間檢查之判定基 準值，將設定該計算對象點的範圍分割成被判定為良 好之範圍與被判定為不良之範圍，再按這些各範圍’ 使用對該範圍所含之計算對象點利用該第2計算處理 所算出的機率，求得中間檢查之結果與最終檢查之結 果一致的程度與各檢查結果不一致的程度； 判定手段，係根據在藉第2分析手段所求得之各範 圍之一致的程度與不一致的程度，判定使用於中間檢 查之判定基準值是否適當；及 6. —種零件安裝基板的檢查系統，係包含：最終檢查用 檢查機，係配備於用以生產零件安裝基板之複數個製 程中的迴焊製程；及中間檢查用檢查機，係配備於迴 焊製程之前的至少一個製程；更包含電腦系統 腦系統係具備：記憶手段，係以可特定檢查對 之同-性的狀態保存各檢查機為了檢查所實施之; 處理的結果及檢查結果；及判定美 '、里 J心巷準值處理手段， 分析該記憶手段所保存之關於可庳 ’、 愿用相冋之判定基準 -40 - 201234021 值的複數個檢查對象部位之資訊後，執行對 二檢查 對象部位的中間檢查所使用之判定基準值相關的声— . 理 9 該判定基準值處理手段係具備： 樣本設定手段，係藉由按與同一部位對應的每— 者將對該複數個檢查對象部位之中間檢查的測量值與 最終檢查的測量值組合，而設定複數個樣本； ^ 相關關係導出手段，係使用該複數個樣本所示之 測量值的組合，導出中間檢查之測量值與最終檢杳 測量值的相關關係； — 第1分析手段，係按各計算對象點實施第1計算處 理及第2計算處理，其中第丨計算處理係在該中間檢杳 之測量值可分布的範圍設定複數個計算對象點，再根 據該相關關係導出手段所導出之相關關係，特定與計 算對象點所示的測量值對應之最終檢查之測量值的分 布圖案；第2計算處理係根據該分布圖案與在最終檢查 所使用之判定基準值的關係，求得得到該計算對象點 所示之測量值的檢查對象部位在最終檢查被判定為良 好的機率及被判定為不良的機率之至少一者； 第2分析手段，係一面改變使用於該中間檢查之判 定基準值，一面按每次的判定基準值執行以下的處理 ’該處理係將根據判定基準值設定該計算對象點的範 圍分割成被判定為良好之範圍與被判定為不良之範圍 ，再按這些各範圍，使用對該範圍所含之計算對象點 利用該第2計算處理所算出的機率，求得中間檢查之結 -41 - 201234021 致的程度與各檢查結果不一致 果與最終檢查之結果— 的程度； 判疋基準值選擇手段，係因應於藉第2分析手段按 各判定基準值求得一致的浐痒s τ ^ α于杈夜 一 的耘度及不一致的程度，根據 这些程度，從各判定其、、隹，士丄 句疋基準值中選擇適當的值；及 輸出手&係輸出利用判定基準值選擇手段所選 擇之判定基準值。 7·如申請專利範圍第6項之零件安裝基板的檢查系統，其 中I輸出手&係在该中間檢查用檢查機構成為傳輸藉 該判定基準值選擇手段所選擇之判定基準值的手段， 在中間檢查用檢查機，設置為了中間檢查而登錄從輸 出手段所傳輸之判定基準值的手段。 8. -種生產現場的模擬方法，係使用電腦實施用以導出 在生產線之各檢查結果之模擬計算的方法，而該生產 線係實施檢查經由複數個製程所形成之最終形態品的 最終檢查、與檢查在最終製程之前的製程所形成之中 間品的中間檢查，該方法的特徵為使電腦實施形態以 下的步驟： 第1步驟，係按與同一物品對應的每一者將藉由實 施用以對複數個中間品及從這些中間品所形成的最終 形態品分別實施用以得到檢查對象之特徵量的測量處 理所得的各測量值加以組合，藉此設定複數個樣本； 第2步驟，係使用該複數個樣本所示之測量值的組 合，導出對該中間品的測量值與對最終形態品之測量 值的相關關係； -42- 201234021 第3步驟，係按各汁算對象點實施第1計算處理及 第2計算處理’其中第1計算處理係在對中間品之測量 值可分布的範圍設定複數個計算對象點，再根據在該 第2步驟所導出之相關關係’特定與計算對象點所示的 測量值對應之最終形態品之測置值的分布圖孝；第2計 算處理係根據該分布圖案與在最終檢查所使用之判定 基準值的關係’求得從得到該計算對象點所示之測量 值的中間品所形成之最終形態品在最終檢查被判定為 良好的機率及被判定為不良的機率； 檢查之 值將設 範圍與 圍所含 機率， 按各種 算對象 求得從 為良好 判定基 定該計 被判定 之計算 求得中 類處理 點利用 中間檢 的機率 第4步驟，係受理作為使用於該中間 準值之設定值的輸入後，根據所輪入之 算對象點的範圍分割成被判定為良好之 為不良之範圍，使用對被判定不良之範 對象點利用該第2計算處理所算出的2種 間品被判定為不良之機率，另一方面， 使用對該被判定為良好之範圍所含之計 該第2計算處理所算出的2種機率，藉此 查合格的中間品所形成之最終品被判定 及被判定為不良的機率； 第5步驟，係使用在第4步驟所算出之各機率，求 得在生產線所產生之既定數的中間品中在中間檢查合 格的比例或不合格的比例、與在中間檢查合格的中間 品中在最終檢查合袼的比例或不合格的比例；及 第6步驟，係顯示在第5步驟所算出之各比例，作 為模擬計算的結果。 -43- 201234021 9. 一種零件安裝基板之生產線用的模擬系統，係以包含 用以生產零件安裝基板的複數個製程主在其中的迴焊 製程配備最終檢查用檢查機、並在迴焊製程之前的至 少一個製程配備中間檢查用檢查機而成的基板生產線 作為對象’執行用以導出在該生產線之各檢查結果的 棋擬汁算並顯示其結果的電腦系統，該模擬系統係具 備： 5己憶手段，係以可特定檢查對象部位之同一性的 狀態保存藉由各檢查機實施用以得到檢查對象之特徵 量的測量處理所得之各測量值，而且保存最終檢查所 使用之判疋基準值；輸入手段’係對可應用相同之判 定基準值的複數個檢查對象部位受理中間檢查所使用 之判定基準值之設定值的輸入；模擬計算手段，係對 應用所輸入之判定基準值的檢查對象部位分析該記憶 手段所保存之資訊後，執行對這些檢查對象部位的模 擬計算；及顯示手段，係顯示模擬計算的結果； 該模擬計算手段係具備： 樣本設定手段，係按與同一部位對應的每一者將 對计算對象的各檢查對象部位之各檢查機的測量值加 以組合，藉此設定複數個樣本； 相關關係導出手段，係使用該複數個樣本所示之 測量值的組合，導出中間檢查之測量值與最終檢查之 測量值的相關關係； 第1分析手段，係按各計算對象點實施第i計算處 理及第2計算處理，其中第1計算處理係在該中間檢查 -44- 201234021 用的測量處理所得之測量值可分布的範圍設定複 S十算對象點，再根據該相關關係導出手段所導出 關關係’特定與計鼻對象點所示的測量值對應之 檢查之測量值的分布圖案；第2計算處理係根據該 圖案與保存於該記憶手段之最終檢查用之判定基 的關係’求得從得到該計算對象點所示之測量值 查對象部位在最終檢查被判定為良好的機率及被 為不良的機率； 第2分析手段，係根據該輸入手段所受理之判 準值的設定值，將設定該計算對象點的範圍分割 判定為良好之範圍與被判定為不良之範圍，並使 被判疋為不良之範圍所含之計算對象點利用該| 算處理所算出的2種機率，求得在中間檢查被判定 良之機率’另一方面，按各種類處理對該被判定 好之fc圍所含的計算對象點利用該第2計算處理 出的2種機率’藉此求得在中間檢查合格的部位在 檢查被判定為良好的機率及被判定為不良的機率 第3分析手段’係使用藉該第2分析手段所算 各機率’求得在配傷該中間檢查用檢查機之製程 入的基板中在中間檢查合格的比例或不合格的比 與在中間檢查合格的基板令在最終檢查合格的比 不合格的比例； 該顯示手段係顯示藉該第3分析手段所算出 比例，作為模擬計算的結果。 數個 之相 最終 分布 準值 的檢 判定 定基 成被 用對 5 2計 為不 為良 所算 最終 ;及 出之 所導 例、 例或 之各 -45-