CN102612314A - 检查系统、模拟方法及系统、恰当值的判定及确定方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供检查系统、模拟方法及系统、恰当值的判定及确定方法，在表示不良的实际的计测值少时，也实施判定中间检查的判定基准值是否恰当的处理及确定判定基准值的恰当值的处理。导出中间检查的对象的计测值和最终检查的对象的计测值的相关关系之后，基于相关关系，针对每个设在轴上的运算对象点，确定对于该点表示的计测值的计测值的分布图案，计算分布中的根据最终检查的判定基准值判定为良好的范围以及判定为不良的范围的概率。分别对根据中间检查的判定基准值判定为计测值不良的范围以及判定为良好的范围，利用针对包含在范围内的运算对象点求出的概率，求出各检查结果的匹配程度以及不匹配程度，基于双方的程度来判定判定基准值是否恰当。

Description

检查系统、模拟方法及系统、恰当值的判定及确定方法

技术领域

本发明涉及以分别实施最终检查和中间检查为前提来判定在检查中间品中使用的判定基准值是否适当的方法，所述最终检查用于检查经由多个工序形成的最终形态品，所述中间检查用于检查在最终的工序之前的工序中形成的中间品。另外，本发明涉及求出在检查中间品中使用的判定基准值的恰当值的方法以及应用该方法的部件安装基板的检查系统、利用判定基准值模拟部件安装基板的生产性成为何种程度的计算机系统。

背景技术

一般而言，通过锡膏的印刷工序、部件安装工序及回流(reflow)工序的各工序生产部件安装基板。近年来的生产作业线具有导入了基板检查系统的生产作业线，该基板检查系统是指，针对每个工序配备检查机，通过将各检查机的检查结果汇集到信息处理装置中，能够对每个同一对象进行对照来进行确认的基板检查系统(例如参照专利文献1)。

在以往的基板检查系统中，各检查机分别基于设定在自身装置中的检查程序来对被检查部位实施计测，并通过将所取得的计测值与登录的判定基准值进行对照来判定良好/不良。因此，存在在锡膏印刷工序或部件安装工序的检查机中判定为不良的部位在由最终的回流工序的检查机进行的最终检查中判定为良好的情况以及产生与其相反的结果的情况。

若中间检查结果和最终检查结果的不匹配的频度高，则实施中间检查的优点就变小，从而找不到为了检查特意花费成本的意义。特别地，在去除在中间检查中检测出不良的基板或者为了检查而停止生产作业线的情况下，若在最终检查中判定为良品的基板在中间检查中被判定为不良的频度变高，则不仅是成本，在处理时间上也产生很大的损失。

与此相对，若中间检查结果和最终检查结果的匹配的频度高，则能够在中间检查的阶段中高精度地判别能够成为不良的产品，因而能够提高生产效率。从而，希望调整在中间检查中使用的判定基准值，使得尽量提高两个检查的结果的匹配性。

关于上述课题，在专利文献2及专利文献3中记载有如下技术，该技术是指，基于中间检查的计测值和中间检查及最终检查的各结果的关系来实施运算处理，由此设定适当的判定基准值的技术。

首先，在专利文献2中记载有如下技术，该技术是指，一边按几个阶段变更对在中间检查中提取的特征量的判定基准值(在专利文献2中记载为“检查基准”)，一边求出根据该判定基准值进行检查时的合格率及不良率，并且，求出最终检查中的合格率及不良率，进而根据这些值求出再检查成本，并将再检查成本最小时的判定基准值的值设定为推荐值的技术(参照专利文献2的第0067～0068段等)。

并且，在专利文献2中记载有如下技术，该技术是指，为了选择适合于上述的判定基准值的再设定的检查项目，针对中间检查中的多个检查项目，分析通过计测处理求出的特征量的分布，由此求出在最终检查中判定为良好的分组和判定为不良的分组的分离度，并选择该分离度成为最大的检查项目作为再设定的候补的技术(参照专利文献2的段落0057～0066等)。

在专利文献3中记载有如下技术，该技术是指，将具有使用共用的判定基准值的部位，且在最终检查中得出了相同的判定结果(良好或不良)的多个基板作为对象，一边变更判定基准值，一边反复执行计算出在中间检查的计测处理中进行了与最终检查不同的判定的基板的个数的处理，并选择在计算出的基板的个数示出了特定的比率时的基准值来作为最佳值的技术，该特定的比率是指，与预先设定的判定不匹配的发生频度的容许值相对应的比率。

专利文献1：日本专利第3966336号公报

专利文献2：日本专利第4552749号公报

专利文献3：日本特开2008-10666号公报

在专利文献2及专利文献3记载的发明中，由于基于各检查结果的关系来分析在实际的计测处理中求出的计测值，因而为了得到高信赖度的结果，需要除了准备根据适当的判定基准值判定为良好的计测值之外，还需要准备相当个数的根据该判定基准值判定为不良的计测值。但是，由于实际上不发生那么多的不良，因而难以收集足够的个数的不良的样本。

发明内容

本发明关注该点将提供如下技术作为课题，该技术是指，通过基于对中间品的计测值和对由该中间品形成的最终形态品的计测值的相关关系的运算，即使在表示不良的实际的计测值少的情况下，也能够高精度地判定中间检查的判定基准值是否适当的技术。另外，本发明将提供如下技术作为课题，该技术是指，通过同样的运算处理，对于在中间检查中使用的判定基准值，确定能够充分地确保与最终检查结果的匹配性的数值。

本发明的判定判定基准值是否恰当的方法，基于最终检查和中间检查的关系来判定在中间检查中使用的判定基准值是否恰当，所述最终检查用于检查经由多个工序形成的最终形态品，所述中间检查用于检查在最终的工序之前的工序中形成的中间品，判定判定基准值是否恰当的该方法实施包括下面的第一～第五步骤的处理。

在第一步骤中，对多个中间品以及由这些中间品形成的最终形态品，分别实施用于得到检查对象特征量的计测处理，并以将与同一物品相对应的计测值分组为同一组的方式组合各计测值，以此设定多个样本。在第二步骤中，利用多个样本所表示的计测值的组合，来导出对中间品的计测值和对最终形态品的计测值的相关关系。

在第三步骤中，在对中间品的计测值能够分布的范围内设定多个运算对象点，并针对每个运算对象点实施第一运算处理和第二运算处理，在所述第一运算处理中，基于在第二步骤中导出的相关关系，来确定与运算对象点所表示的计测值相对应的最终形态品的计测值的分布图案，在所述第二运算处理中，基于该分布图案和在最终检查中使用的判定基准值的关系，来求出特定的最终形态品在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率中的至少一个概率，所述特定的最终形态品是指，由得出了该运算对象点所表示的计测值的中间品形成的最终形态品。

此外，设定运算对象点的范围可以是与样本的分布范围相同的范围，但也能够设定为更大的范围。另外，运算对象点的设定间隔也不取决于样本的密度，可以设定为用于确保之后的处理精度所需的间隔。

在第四步骤中，基于在中间检查中使用的判定基准值，来将设定了运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并针对每个范围，利用针对包含在该范围内的运算对象点通过第二运算处理计算出的概率，求出中间检查结果和最终检查结果的匹配程度以及各检查结果的不匹配程度。

在第五步骤中，基于在第四步骤中求出的各范围的匹配程度以及不匹配程度，来判断在中间检查中使用的判定基准值是否适当。例如，能够根据利用判定基准值判定为良好的数值范围和判定为不良的数值范围的分离的程度，来判定判定基准值是否恰当。

或者，在重视生产性的车间中，在第五步骤中，也可以计算规定个数的中间品在中间检查中合格的比例(合格率)，并根据计算出的值是否表示用户所希望的基准以上的值，来判定判定基准值是否恰当。

根据上述方法，在求出对中间品及最终形态品实际得到的计测值的相关关系之后，以不依据这些实际测定值的方式，求出中间检查结果和最终检查结果的匹配程度以及两者的不匹配程度。因此，即使在包含实际的计测值特别是表示不良的计测值的样本的个数不充分，也能够高精度地求出各检查结果的匹配程度以及不匹配程度。从而，对于判定基准值是否恰当的判定处理，也能够确保精度。

在上述方法的优选的一实施方式中，在第二步骤中，导出对中间品的计测值和对最终形态品的计测值的回归直线。另外，在第三步骤的第一运算处理中，通过在回归直线的公式中应用与运算对象点相对应的计测值来求出最终形态品的计测值的平均值，并且，通过利用特定的修正函数修正回归直线的标准误差，来计算最终形态品的计测值的偏差，所述特定的修正函数是指，以所述多个样本所表示的对中间品的计测值的平均值与所述运算对象点所表示的计测值之差越大就使所述偏差的值越小的方式发挥功能的修正函数。

在求出了对中间品的计测值和对最终形态品的计测值的回归直线时，一般而言，能够根据回归直线的标准误差，来针对每个前者的计测值求出后者的计测值的偏差。但是，若考虑生产车间的实际情况，则能够了解到对最终形态品的计测值的偏差随着相对应的中间品的计测值远离其计测值的平均值而变小。根据上述的实施方式，由于根据该分布的特性来修正回归直线的标准误差，因而能够高精度地求出与各运算对象点相对应的最终形态品的计测值的偏差。

在上述方法的其他的优选的实施方式中，在第四步骤中，针对每个分割的范围，计算针对包含在该范围内的运算对象点通过第二运算处理计算出的概率的平均值，并基于该计算结果，针对每个中间检查结果和最终检查结果的组合，计算该组合的发生概率。从而，由于能够针对每个分组计算出发生概率，因而能够容易地进行第五步骤的判定处理，这些分组是指，在双方的检查中都判定为良好的分组、在双方的检查中都判定为不良的分组、在中间检查中判定为良好但在最终检查中判定为不良的分组、在中间检查在判定为不良但在最终检查中判定为良好的分组。

接着，在本发明的确定判定基准值的恰当值的方法中，在执行了与上述同样的第一～第三步骤之后，作为第四步骤，一边变动在中间检查中使用的判定基准值，一边对每次的判定基准值执行特定处理，在该特定处理中，基于判定基准值，来将设定了所述运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并针对每个范围，利用针对包含在该范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的概率，求出中间检查结果和最终检查结果的匹配程度以及各检查结果的不匹配程度。另外，执行第五步骤，在该第五步骤中，在第四步骤中针对每个判定基准值求出了匹配程度以及不匹配程度时，基于这些程度来从各判定基准值中选择适当的值。

根据上述方法，即使在为了中间检查而设定的当初的判定基准值为不适当的情况下，也能够通过在经过检查存储了某一程度的计测值的阶段实施该方法，来确定判定基准值的适当的值，并将判定基准值改写为该值。另外，也能够在进行检查之前决定用于中间检查的判定基准值的情况下，实施该方法。

本发明的部件安装基板的检查系统，包括最终检查用检查机和中间检查用检查机，所述最终检查用检查机配备在用于生产部件安装基板的多个工序中的回流工序中，所述中间检查用检查机配备在回流工序之前的至少一个工序中。

并且，该检查系统还包括计算机系统，计算机系统具有：存储单元，其以能确定检查对象部位的同一性的状态，保存由各检查机为了检查而实施的计测处理的结果以及检查结果；判定基准值处理单元，其分析针对能应用相同的判定基准值的多个检查对象部位保存在所述存储单元中的信息，来执行对在对这些检查对象部位的中间检查中使用的判定基准值的处理。

在第一检查系统中，判定基准值确定单元包括以下的样本设定单元、相关关系导出单元、第一分析单元、第二分析单元、判定单元及输出单元。

样本设定单元以将与同一部位相对应的中间检查中的计测值和最终检查中的计测值分组为同一组的方式，组合对所述多个检查对象部位的中间检查中的计测值和最终检查中的计测值，以此设定多个样本。相关关系导出单元利用多个样本所表示的计测值的组合，来导出中间检查中的计测值和最终检查中的计测值的相关关系。

第一分析单元在中间检查中的计测值能够分布的范围内设定多个运算对象点，并针对每个运算对象点实施第一运算处理和第二运算处理，在所述第一运算处理中，基于由所述相关关系导出单元导出的相关关系，来确定与运算对象点所表示的计测值相对应的最终检查中的计测值的分布图案，在所述第二运算处理中，基于该分布图案和在最终检查中使用的判定基准值的关系，来求出特定的检查对象部位在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率中的至少一个概率，所述特定的检查对象部位是指，得出了该运算对象点所表示的计测值的检查对象部位。

第二分析单元基于在中间检查中使用的判定基准值，来将设定了所述运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并针对每个范围，利用针对包含在该范围内的运算对象点通过第二运算处理计算出的概率，求出中间检查结果和最终检查结果的匹配程度以及各检查结果的不匹配程度。

判定单元基于由第二分析单元求出的各范围中的匹配程度以及不匹配程度，来判断在中间检查中使用的判定基准值是否适当。输出单元输出判定单元的判定结果。

根据上述的系统，能够针对部件安装基板的生产中的中间检查，高精度地判定判定基准值是否恰当。

本发明的第二检查系统的判定基准值处理单元包括样本设定单元、相关关系导出单元、第一分析单元、第二分析单元、判定基准值选择单元及输出单元。

样本设定单元、相关关系导出单元及第一分析单元的结构与第一系统同样。第二分析单元一边变动用于中间检查的判定基准值，一边对每次的判定基准值执行与第一系统的第二分析单元同样的处理。判定基准值选择单元在由第二分析单元针对每个判定基准值求出了匹配程度以及不匹配程度时，基于这些程度来从各判定基准值中选择适当的值；输出单元输出所选择的判定基准值。

根据上述的结构的检查系统，能够高精度地确定适合于部件安装基板的生产中的中间检查的判定基准值。

在第二检查系统的优选的一实施方式中，输出单元构成为，向中间检查用检查机发送由基准值选择单元选择的判定基准值的单元。另外，在中间检查用检查机上设有为了中间检查而登录从输出单元发送来的判定基准值的单元。

根据上述的实施方式，通过计算机系统的处理选择适当的判定基准值，由此能够在以后的中间检查中使用所选择的判定基准值。

本发明还能够应用在利用计算机实施模拟运算的模拟方法中，该模拟运算用于导出生产作业线上的各检查结果，所述生产作业线实施最终检查和中间检查，所述最终检查用于检查经由多个工序形成的最终形态品，所述中间检查用于检查在最终的工序之前的工序中形成的中间品。在该方法中，执行与之前阐述的判定判定基准值是否恰当的方法同样的第一步骤、第二步骤及第三步骤。其中，在第三步骤的第二运算中，求出特定的最终形态品在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率双方，所述特定的最终形态品是指，由得出了该运算对象点所表示的计测值的中间品形成的最终形态品。

并且，在该模拟方法中，执行以下的第四、第五及第六步骤。

在第四步骤中，接受作为在中间检查中使用的判定基准值的设定值的输入，基于所输入的值来将设定了运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并利用针对包含在判定为不良的范围内的运算对象点通过第二运算处理计算出的两个种类的概率，来求出中间品判定为不良的概率，并且，将针对包含在判定为良好的范围内的运算对象点通过第二运算处理计算出的两个种类的概率，针对每个种类进行处理，由此求出特定的最终品判定为良好的概率以及判定为不良的概率，所述特定的最终品是指，由在中间检查中合格的中间品形成的最终品。

在第五步骤中，利用在第四步骤中计算出的各概率，求出在生产作业线上生产的规定个数的中间品在中间检查中的合格的比例或不合格的比例、在中间检查中合格的中间品在最终检查中的合格的比例或不合格的比例。在第六步骤中，显示在第五步骤中计算出的各比例，以作为模拟运算的结果。

根据上述的模拟方法，利用用户作为中间检查的判定基准值来输入的值实施了中间检查的情况下，能够根据模拟运算来求出并显示表示以下内容的信息，这些内容是：在中间检查中发生何种程度的比例的合格的中间品或不合格的中间品；由在中间检查中合格的中间品形成的最终形态品的何种程度的比例最终成为良品。用户能够通过确认是否得到了显示的信息与生产效率或成本的目标相符合的结果，来判断输入的设定值作为判定基准值是否适当。

上述的模拟方法能够应用于将基板生产作业线作为对象的模拟系统，所述基板生产作业线包括用于生产部件安装基板的多个工序，并在其中的回流工序中配备有最终检查用检查机，在回流工序之前的至少一个工序中配备有中间检查用检查机。该系统具有：存储单元，其以能够确定检查对象部位的同一性的状态，保存由各检查机实施用于得到检查对象特征量的计测处理来得出的各计测值，并且，保存在最终检查中使用的判定基准值；输入单元，其接受针对能够应用相同的判定基准值的多个检查对象部位在中间检查中使用的判定基准值的设定值的输入；模拟运算单元，其分析针对应用了所输入的判定基准值的检查对象部位保存在所述存储单元中的信息，来执行对这些检查对象部位的模拟运算；显示单元，其显示模拟运算的结果。

模拟运算单元具有：样本设定单元，其以将与同一部位相对应的计测值分组为同一组的方式，组合各检查机对运算对象的各检查对象部位的计测值，以此设定多个样本；相关关系导出单元，其利用多个样本所表示的计测值的组合，来导出中间检查中的计测值和最终检查中的计测值的相关关系；第一分析单元，其在通过用于中间检查的计测处理得到的计测值能够分布的范围内设定多个运算对象点，并针对每个运算对象点实施第一运算处理和第二运算处理，在所述第一运算处理中，基于由相关关系导出单元导出的相关关系，来确定与运算对象点所表示的计测值相对应的最终检查的计测值的分布图案，在所述第二运算处理中，基于该分布图案和保存在存储单元中的在最终检查中使用的判定基准值的关系，来求出特定的检查对象部位在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率，所述特定的检查对象部位是指，得出了该运算对象点所表示的计测值的检查对象部位；第二分析单元，其基于由输入单元接受的判定基准值的设定值，来将设定了运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并利用针对包含在判定为不良的范围内的运算对象点通过第二运算处理计算出的两个种类的概率，来求出在中间检查中判定为不良的概率，并且，将针对包含在判定为所述良好的范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的两个种类的概率，针对每个种类进行处理，由此求出在中间检查中合格的部位在最终检查中判断为良好的概率以及判定为不良的概率；第三分析单元，其利用由第二分析单元计算出的各概率，求出导入到配备有所述中间检查用检查机的工序中的基板在中间检查中的合格的比例或不合格的比例、在中间检查中合格的基板在最终检查中的合格的比例或不合格的比例。

显示单元显示由第三分析单元计算出的各比例，以作为模拟运算的结果。

若采用本发明，则即使在不能得到足够的表示不良的计测值的样本的情况下，也能够高精度地实施以下的处理，这些处理是指，判定在中间检查中使用的判定基准值是否恰当的处理、确定适当的判定基准值的处理、利用作为中间检查的判定基准值来输入的设定值来模拟各检查结果的处理。

附图说明

图1是将检查系统的结构与部件安装基板的生产作业线的结构建立对应来表示的框图。

图2是示出了取得计测值的样本的方法的图。

图3是示出了计测值的分布的关系的曲线图。

图4是示出了用于判定用于中间检查的判定基准值是否恰当的处理的概略顺序的流程图。

图5是例示了计测值X和计测值Y的分布图案的关系的曲线图。

图6是将与任意的计测值Xn相对应的计测值Y的分布分为判定为良好的范围和判定为不良的范围而示出的曲线图。

图7是示出了用于确定用于中间检查的判定基准值的最佳值的处理的概略顺序的流程图。

图8是示出了表示判定基准值的最佳值的确定结果的显示画面的一例的图。

图9是示出了根据用于中间检查的判定基准值输入来实施的模拟处理的顺序的流程图。

其中，附图标记说明如下：

10，20中间检查用检查机

30最终检查用检查机

101检查程序管理装置

102检查数据管理装置

X中间检查的计测值

Y最终检查的计测值

Xs用于中间检查的判定基准值

Ys用于最终检查的判定基准值

具体实施方式

图1将基板检查系统的一实施方式的结构与部件安装基板的生产作业线的整体结构建立对应来表示。

图示的生产作业线包括锡膏印刷工序、部件安装工序及回流工序。在锡膏印刷工序中设有锡膏印刷装置11和锡膏印刷检查机10，该锡膏印刷装置11用于在基板上的各焊盘涂敷锡膏，该锡膏印刷检查机10用于检查该装置11的处理结果。在部件安装工序中设有贴片机21及部件检查机20，该贴片机21用于将部件安装在印刷了锡膏之后的基板上，该部件检查机20用于检查部件的安装状态。在回流工序中设有回流炉31及焊接检查机30，该回流炉31用于熔化安装部件之后的基板的锡膏，该焊接检查机30用于检查回流之后的基板。如图中的粗箭头所示，通过将基板依次送入各装置中进行处理，来完成与规定的标准相对应的部件安装基板。

检查机10、20、30分别经由LAN线路100相互连接。在LAN线路100上还连接有检查程序管理装置101及检查数据管理装置102。

本实施例的锡膏印刷检查机10具有三维计测功能，利用该功能除了计测涂敷在基板的各焊盘上的锡膏的高度及体积之外，还计测锡膏的印刷范围的位置及面积。并且，针对每个计测值，对该计测值与预先登录的判定基准值进行比较，由此判定该计测值的良好/不良。

[0046]

部件检查机20通过二维图像处理来检测部件的图像，并基于该检测结果来判定部件的有无以及安装错误的有无等。部件检查机20还计测部件的位置偏离以及旋转偏离，并对这些计测值与预先登录的判定基准值进行比较，由此判定计测值的良好/不良。

焊接检查机30具有照明装置以及彩色照相机，该照明装置分别从入射角为不同的方向照射多个颜色的光。若在照明装置的照明状态下拍摄检查对象基板，则生成由与各照明光相对应的颜色的分布图案表示基板的焊接部位的倾斜状态的图像。在焊接检查机30中，利用该图像计测各部件的每个电极的锡膏的位置、面积及焊脚的润湿高度(下面简称为“焊脚高度”)。并且，针对每个计测值，对该计测值与预先登录的判定基准值进行比较，由此判定该计测值的良好/不良。

此外，就焊脚高度的计测处理来说，在本实施例中，利用根据各颜色光的入射角度来推算与图像中的颜色相对应的锡膏的大致的倾斜角度的处理，根据图像中的颜色的分布来确定近似于锡膏的焊脚的形状的曲线。然后，对该曲线进行积分，将得到的积分值作为焊脚高度。

并且，在任意一个检查机10、20、30中，都以部件为单位或按与部件相对应的范围，归纳每个计测值的判定结果来判定良好/不良之后，判定基板单位的良好/不良。并且，生成包含各判定结果及计测结果的检查结果信息，并将该检查结果信息经由LAN线路100输出至检查数据管理装置102。

在检查程序管理装置101中登录有数据库，该数据库是针对每个检查机10、20、30将检查程序作为每个部件种类的库数据(library data)归纳而成的数据库。基于预先设定的检查基准来生成检查程序，该检查程序中包含用于实施上述的各种计测处理的程序。另外，在检查程序中还定义判定基准值的值。

在检查机10、20、30中，在进行检查之前，输入表示检查对象基板的结构的数据(例如CAD数据)，并从检查程序管理装置101获取与该输入数据中所表示的各部件的部件种类信息适合的库数据，来实施对各部件的位置信息与库数据建立对应关系的处理。由此，对各检查机10、20、30设定用于检查检查对象基板所需的环境。

检查数据管理装置102保存由各检查机10、20、30输出的检查结果信息。能够针对每个检查机10、20、30，并根据基板以及基板上的各个部件来读出该检查结果信息。并且，就锡膏印刷检查机10及焊接检查机30来说，能够针对部件的每个电极读出计测结果及判定结果。

此外，检查程序管理装置101和检查数据管理装置102不需一定分别单独设置，也可以使一个计算机具备各管理装置101、102的功能。与此相反，也能使各管理装置101、102由多个计算机构成。另外，为了对各管理装置101、102进行操作或使它们显示处理结果，也能在系统内追加终端装置。

并且，本实施例的检查程序管理装置101还设有以下的功能：检查在回流工序之前的工序的检查机10、20中应用的判定基准值是否适当的功能；在判定基准值不适当的情况下，将该判定基准值修正为最佳值的功能。这些功能的目的是提高基于检查机10、20的中间检查结果和基于焊接检查机30的最终检查结果的匹配程度，因而将每个部件种类或所选择的特定的部件种类作为对象实施这些功能。此外，中间检查、最终检查中的任意一个检查中都实施对多个检查项目的检查，但上述的中间检查中的判定基准的判定处理对检查项目的组合实施，检查项目的组合是认为在中间检查和最终检查之间计测值具有高的相关性的检查项目的组合。

下面，假设如下情况来作为具体例，对在检查程序管理装置101中实施的处理的概要进行说明，该情况是指，选择了锡膏印刷检查机10对锡膏的体积的检查和焊接检查机30对焊脚高度的检查，并判定在前者的检查中使用的判定基准值是否恰当的情况。

首先，为了判定在中间检查中的判定基准值是否恰当，检查程序管理装置101从检查数据管理装置102取得多个由各检查机10、30对处理对象部件进行计测处理而取得的计测值(锡膏体积和焊脚高度)，并以将与相同部件的同一部位相对应的计测值分组为同一组的方式组合各计测值来设定样本。

图2示出了根据对引线(lead)部件的检查结果来取得计测值的样本的方法。在该例中，从印刷了锡膏之后的基板上的锡膏体积的计测值的集合中，读出全部的与处理对象引线部件的各个电极相对应的计测值。同样地，对于回流之后的基板上的焊脚高度的计测值，也读出全部的处理对象部件种类的部件的每个电极的计测值。并且，如图中的Samp(样本)1、Samp2所示，以将与同一部件的同一电极相对应的计测值分组为同一组的方式组合各计测值。根据该方法，能够根据对一个部件的检查结果设定与电极数相应的个数的样本。

并且，通过对多个同种类的部件实施同样的处理，能够得到相当个数的样本。其中，在因电极的位置的不同而所应用的判定基准值为不同的情况下，取得的样本需要限定于应用了关注的判定基准值的电极。

另外，为了提高样本所表示的两个种类的计测值之间的相关关系的精度，希望从样本中排除特定的计测值，该特定的计测值是指，在除了关注中的检查项目以外的检查项目中检测出不良的部位的计测值。例如，在图2的例子中，若在由箭头K1示出的部位检测到锡膏的润湿不良，在由箭头K2示出的部位检测到电极的弯曲不良，则希望从样本中排除对这些部位的锡膏体积及焊脚高度的计测值的组合。

图3是示出了各样本的分布状态的曲线图的例。

该曲线图是通过在X轴(横轴)上设定锡膏体积，在Y轴(纵轴)上设定焊脚高度，来标明各样本的曲线图。另外，X轴的Xs是在检查锡膏体积中使用的判定基准值，Y轴的Ys是在检查焊脚高度中使用的判定基准值。此外，判定基准值Xs的值能够变更，但判定基准值Ys的值基于实际的焊脚的良好的高度而被固定于特定的值。

在这里，基于判定基准值Xs、Ys，将各计测值的组合分类为下述的四个分组G1、G2、G3、G4。此外，在下面提及的最终检查是焊脚高度的检查，中间检查是锡膏体积的检查。

G1：在中间检查中判定为不良，但在最终检查中判定为良好

G2：在中间检查、最终检查中均判定为良好

G3：在中间检查、最终检查中均判定为不良

G4：在中间检查中判定为良好，但在最终检查中判定为不良

下面，将各分组G1、G2、G3、G4的发生概率分别设定为P1、P2、P3、P4。

为了使中间检查的判定基准值Xs适当，需要将Xs设定在特定的位置上，该特定的位置是指，使中间检查结果和最终检查结果匹配的程度(由分组G2的概率P2及分组G3的概率P3表示)变得足够大，且使双方的检查结果不匹配的程度(由分组G1的概率P1及分组G4的概率P4表示)尽量变少的位置。

在这里，在本实施例中，利用这些概率P1～P4通过下述的公式(1)，求出中间检查中的计测值X由判定基准值Xs划分为良好和不良时的双方的分离度S。

$S=10\·{\log }_{10}\left[\frac{P_B\×P_C}{P_A\×P_D}\right]\·\·\·\left(1\right)$

其中

$P_A=\frac{P1}{P1+P2}$ $P_B=\frac{P2}{P1+P2}$

$P_C=\frac{P3}{P3+P4}$ $P_D=\frac{P4}{P3+P4}$

在式(1)中，P_B及P_C表示中间检查结果和最终检查结果相匹配的样本的比例，P_A及P_D表示各检查结果不匹配的样本的比例。从而，根据公式(1)，包含在分组G2或G3中的样本的比例越大，或包含在组G1或G4中的样本的比例越小，分离度S的值就越高。从而，能够认为该分离度S的值越大，判定基准值Xs就越适当。

但是，为了确保判定的精度，需要高精度地求出在计算分离度S中使用的概率P1～P4的值。根据图3的曲线图，可读出锡膏体积和焊脚高度处于前者的值越大后者的值就越高的关系，但在从对在实际的生产作业线中生产的基板的计测处理的结果提取的样本中，总的来说良好的值的样本多，因而难以取得足够的个数的表示不良的样本。从而，在基于判定基准值Xs、Ys来将实际的计测值分为分组G1～G4时，即使在分组G2中可得到足够的个数的样本，在其他的分组G1、G3、G4中，也得不到用于确保概率P1、P3、P4的精度所需的个数的样本。

考虑该问题，在本实施例中，通过利用了各样本所表示的计测值X、Y的相关关系的运算处理，高精度地计算全部的各分组G1～G4的概率P1～P4，从而能够确保判定判定基准值Xs是否恰当的精度。

下面，利用图4，对该处理的概要进行说明。

在图4中例示的处理中，假定计测值X、Y都是正态分布，来针对每个计测值X、Y，计算各样本的平均值及标准偏差(步骤S1)。下面，将任意的样本所表示的计测值X、Y的值设定为X_k、Y_k，将X_k的平均值及标准偏差分别设定为Xa、σx，将Y_k的平均值及标准偏差分别设定为Ya、σy。

接着，利用各样本所表示的计测值X_k、Y_k及它们的平均值Xa、Ya，来通过以下的公式(2)求出计测值X、Y之间的相关系数γ(步骤S2)。

$\mathrm{\γ}=\frac{\mathrm{\Σ}(X_k-\mathrm{Xa})(Y_k-\mathrm{Ya})}{\sqrt{\mathrm{\Σ}{(X_k-\mathrm{Xa})}^2}\sqrt{\mathrm{\Σ}{(Y_k-\mathrm{Ya})}^2}}\·\·\·\left(2\right)$

进而，利用相关系数γ、标准偏差σx、σy、平均值Xa、Ya，通过执行公式(3)及公式(4)，来导出表示X、Y的关系的回归直线Y＝αX+β(参照图5)(步骤S3)。

α＝γ×(σy/σx)…(3)

β＝Ya-α×Xa…(4)

进而，在步骤S4中，利用公式(5)来计算上述回归直线的回归系数的标准误差e_α。

$e_{\mathrm{\α}}=\frac{\sqrt{\mathrm{\Σ}{e_k}^2/(k-2)}}{\sqrt{\mathrm{\Σ}{(X_k-\mathrm{Xa})}^2}}\·\·\·\left(5\right)$

其中

e_k＝αX_k+β-Y_k

下面，基于通过上述步骤S1～S4求出的X、Y的相关关系，来实施将分布于XY平面的假想的计测值作为对象的运算，而不是对实际的样本实施运算。首先，通过以恒定的间隔分割XY平面的X轴来设定N个运算对象点(步骤S5)，并一边将计数(counter)n从1移动至N为止，一边执行S6～S9的循环。该循环将步骤S7的处理和步骤S8的处理作为核心，该步骤S7的处理是，导出与第n个运算对象点的值Xn相对应的计测值Y的分布图案(putter)的处理，该步骤S8的处理是，基于导出的分布图案和最终检查的判定基准值Ys的关系，来计算锡膏体积为Xn时形成的焊脚高度被判定为良好的概率(下面称为“良品概率”)OKPn以及被判定为不良的概率(下面称为“不良概率”)NGPn的处理。

在这里，参照图5及图6，对在步骤S7、S8中实施的运算进行详细的说明。

在图5中，将与图3相同的曲线图与在步骤S3中导出的回归直线建立了对应关系。另外，表示了分别与X轴上的任意的三点Xn1、Xn2、Xn3相对应的计测值Y的分布曲线。如这些分布曲线所示，与Xn1、Xn2、Xn3的各值相对应的计测值Y，分别以根据相对应的X的值和回归直线来推算出的平均值Yan1、Yan2、Yan3为中心，分布在包含实际的Y的计测值的分布范围的规定的范围内。其中，可认为Xn越远离X的分布的中心(平均值Xa)其分布的宽度变得越窄，而不是恒定的。

在步骤S7中，鉴于上述的分布特性，计算X＝Xn时的Y的平均值Yan及分散Vn。

首先，就平均值Yan而言，根据回归直线导出

Yan＝αXn+β。

另外，通过下面的公式(6)计算分散Vn。此外，在公式(6)中，函数Q[z]是在标准正态分布(平均0、分散1)的任意的点z的上侧概率(下面的公式(7)也同样)。另外，e_α是在前面的步骤S4中计算出的回归系数α的标准误差。

$\mathrm{Vn}={2e}_{\mathrm{\α}}\×Q\left[\frac{|\mathrm{Xa}-\mathrm{Xn}|}{\mathrm{\σx}}\right]\·\·\·\left(6\right)$

根据上述的公式(6)，在Xn为平均值Xa时分散Vn为最大，在Xa和Xn之差越大分散Vn的值就越小。

图6将与图5相同的曲线图作为基础示出了与任意的计测值Xn相对应的计测值Y的分布曲线，并且将该分布曲线的范围划分为根据最终检查的判定基准值Ys判定为良好的范围W_OK和判定为不良的范围W_NG而示出。如该图6所示，计测值Y的分布中的超过判定基准值Ys的范围W_OK的概率密度，为锡膏体积为Xn时形成的焊脚被判定为良好的概率(良品概率)。另外，判定基准值Ys以下的范围W_NG的概率密度，为锡膏体积为Xn时形成的焊脚被判定为不良的概率(不良概率)。

因此，在步骤S8中，通过下面的公式(7)，求出锡膏体积为Xn时形成的焊脚高度Y的良品概率OKQn，进而，通过公式(8)计算该焊脚的不良概率NGQn。

$\mathrm{OKQn}=Q\left[\frac{|\mathrm{Yn}-\mathrm{Ys}|}{\sqrt{\mathrm{Vn}}}\right]\·\·\·\left(7\right)$

NGQn＝1-OKQn         …(8)

返回图4，对步骤S10以下的处理进行说明。

若对全部的运算对象点实施步骤S6～S9的循环，来计算各运算对象点的计测值Y的良品概率OKQn及不良概率NGQn，则在步骤S10中，将包含在Xs以下的范围(中间检查结果被判定为不良的计测值的范围)内的M个运算对象点作为对象，计算针对这些点计算出的良品概率OKQn及不良概率NGQn的平均值。良品概率OKQn的平均值相当于分组G1的概率P1，不良概率NGQn的平均值相当于分组G3的概率P3。

进而，在步骤S10中，同样地，对包含在大于Xs的范围(中间检查结果被判定为良好的计测值的范围)内的(N-M)个的运算对象点，也计算针对各点计算出的良品概率OKQn及不良概率NGQn的平均值。良品概率OKQn的平均值相当于分组G2的概率P2，不良概率NGQn的平均值相当于分组G4的概率P4。

其后，利用概率P1、P2、P3、P4，通过执行前面的公式(1)来计算分离度S(步骤S12)，并通过对计算出的值与预先登录的阈值进行比较，来判定判定基准值Xs是否恰当(步骤S13)。

最后，通过在显示器上显示等方法输出上述的判定结果(步骤S14)，并结束处理。

根据上述的处理，即使在不能得到足够的表示相当于不良的值的样本的个数的情况下，在能利用相当个数的样本高精度地求出各计测值X、Y的分布图案及双方的相关关系的情况下，也能够根据这些样本，针对每个计测值X的运算对象点以高准确度地确定计测值Y的概率分布，由此求出良品概率及不良概率。从而，对于不能够取得足够的个数的样本的分组，也能够高精度地求出其发生概率来确保分离度S的精度，因而能够确保判定判定基准值Xs是否恰当的精度。

此外，在图4的处理中，在步骤S6～S9中针对每个运算对象点计算了良品概率及不良概率，并且，在步骤S10、S11中针对每个由判定基准值Xs分割的范围以及针对每个概率的种类计算了概率的平均值，但并不限定于此，也可以停留于对于各运算对象点仅计算良品概率及不良概率中的一项，并求出其平均值。例如，在仅计算良品概率的情况下，在步骤S10中计算概率P1，在步骤S11中计算概率P2。另外，在仅计算不良概率的情况下，在步骤S10中计算概率P3，在步骤S11中计算概率P4。因此，能够在任意一个情况下，求出各检查结果的匹配程度和不匹配程度。

接着，对在通过图4的处理判定为对计测值X的判定基准值Xs不适当的情况下实施的处理进行说明。例如，在确认了对当前的判定基准值Xs的判定结果的用户，进行了指示修正判定基准值Xs的操作时，实施该处理。

图7示出了用于确定判定基准值Xs的最佳值的处理顺序。

在该处理中，使用在图4的步骤S6～S9中针对每个运算对象点求出的良品概率及不良概率，来确定判定基准值Xs的最佳值Xso。

首先，在最初的步骤S21中，将判定基准值Xs的暂时值设定为Xsi，来设定该Xsi的变动范围。例如，能够将在图4的处理中设定了运算对象点的范围设定为变动范围。另外，也可以将从实际的样本所表示的计测值X的最小值到最大值为止的范围设定为变动范围。或者，也可以利用当前的判定基准值Xs及恒定值DX，将从Xs-DX到Xs+DX为止的范围设定为变动范围。

接着，对Xsi设定上述的变动范围的最小值，并对分离度S的最大值S_MAX设定初始值0(步骤S22)。然后，在步骤S23及步骤S24中，计算根据Xsi及Ys来分类的四个分组G1_i、G2_i、G3_i、G4_i的发生概率P1_i、P2_i、P3_i、P4_i，并利用各概率P1～P4来计算分离度Si(步骤S25)。此外，由于步骤S23、S24、S25的运算与图4的步骤S10、S11、S12同样，因而省略详细的说明。

进而，对分离度Si与最大值S_MAX进行比较(步骤S26)，若Si＞S_MAX，则将最大值S_MAX改写为Si的值(步骤S27)。另外，将该时的Xsi的值存储至变量Xso。

接着，一边逐个恒定值D地增加Xsi的值直至Xsi超过变动范围的最大值为止(步骤S28、S29)，一边针对每次的Xsi，执行步骤S23～S26，并且，在分离度Si超过最大值S_MAX的情况下，执行步骤S27。然后，确定步骤S23～S29的循环结束时间点的Xso的值，以作为判定基准值Xs的最佳值(步骤S30)。

在步骤S31中，利用在对Xsi设定有上述的Xso时的步骤S23中计算出的概率P1_i、P2_i，来计算中间检查中的合格率P_pre/OK(从检查对象基板完全检测不出不良的概率)。具体而言，仅关注于基板上的设定判定基准值Xs的部位，而假设在其他的部位不发生不良，来执行下面的公式(9)。

P_pre/OK＝(1-(P1_i+P3_i))^SUM…(9)

(SUM是基板上的关注中部位的总数)

此后，在步骤S32中，输出判定基准值Xs的最佳值Xso、分离度S_MAX及合格率P_pre/OK的各值，并结束处理。

图8示出了作为通过上述的处理确定的最佳值Xso、分离度S_MAX及合格率P_pre/OK的输出的一例的显示画面。在该画面上显示有条形图200，在该条形图200中，以恒定的宽度分割作为判定基准值修正对象的检查项目(锡膏体积)的计测值，并针对各范围，用颜色区分表示了由包含在该范围内的体积的锡膏形成的焊脚的良品概率及不良概率。

能够基于图4的步骤S6～S9的运算结果来生成条形图200。另外，在图8中未表示，但在与条形图200的横轴的各条形栏相对应的位置显示表示具体的计测值的数字。

并且，在条形图200上设定直线L1和直线L2，该直线L1表示对锡膏体积的当前的判定基准值Xs，该直线L2表示通过图7的处理确定的最佳值Xso的直线L2。另外，在条形图200的下方与表示锡膏体积的横轴相对应地显示曲线图201和曲线图202，该曲线图201表示根据当前的判定基准值Xs进行检查时的不良判定及良好判定的范围，该曲线图202表示根据最佳值Xso进行检查时的不良判定及良好判定的范围。另外，在曲线图200的右侧设有显示栏203，该显示栏203显示各直线L1、L2所表示的实际的数值及与它们相对应的分离度及合格率的各值。

并且，在画面的右下侧设有操作按钮204、205，该操作按钮204、205用于决定是否变更判定基准值Xs。用户基于各曲线图200、201、202与直线L1、L2的关系以及显示在显示栏203上的数值，来研究是否将当前的判定基准值Xs变更为最佳值Xso，并在决定为变更的情况下点击按钮204。通过该点击操作，将保存在检查程序管理装置101中的判定基准值Xs改写为由直线L2表示的最佳值Xso。进而，检查程序管理装置101将更新的判定基准值Xs发送至锡膏印刷检查机10，并在接收了更新的该判定基准值Xs的锡膏印刷检查机10中，也实施判定基准值的改写处理。

另一方面，在点击了按钮205的情况下，按照原样维持当前值，而并不变更判定基准值Xs。

根据上述的显示，明确地表示锡膏体积的值与最终检查的良品概率及不良概率的比例的关系、基于当前的判定基准值Xs的判定结果与基于最佳值Xso的判定结果的不同，因而看到显示内容的用户能够容易地判断是否应当变更判定基准值Xs。另外，在用户重视生产性的情况下，能够将栏203内的合格率的值作为判断的指标。

但是，并非一定需要用户的判断，也可以在通过图7的处理确定了判定基准值的最佳值Xso之后，根据该最佳值Xso来自动改写判定基准值Xs。

另外，在上述的实施例中，判定当前的判定基准值是否恰当，并在判定为不适当的情况下确定了判定基准值的最佳值，但也可以通过一连串地实施图4的步骤S1～S9及图7的各步骤，来不判定当前值是否恰当而求出判定基准值的最佳值之后，根据该最佳值来自动修正判定基准值。另外，也可以通过向用户提示该情况下的处理，以作为在中间检查中使用的判定基准值Xs的最佳化处理，来恰当地接受来自用户的执行指示来实施最佳化处理。

另外，即使是在开始中间检查之前未设定判定基准值Xs的阶段，在如下情况下，也可以在通过图4的步骤S1～S9及图7的各步骤来决定中间工序的判定基准值Xs，该情况是指，计测值X、Y具有某一程度的实测值的样本或者得到了模拟的计测值的情况。此时，如果在之后的检查中积累计测值，并恰当地实施最佳化处理，也能够将判定基准值Xs设定为最佳值。

另外，在上述的实施例中，作为中间检查以锡膏体积的检查为对象，作为最终检查以焊脚高度的检查作为对象，但检查项目的组合并不限定于此。此外，想要对中间检查的各种检查项目中的能够通过上述方法进行判定基准值的是否恰当的判定及修正的项目、在该处理中使用的最终检查的检查项目进行检查的情况下，只要对中间检查的检查项目和最终检查的检查项目的任意的组合，分别通过公式(2)计算相关系数γ，并确认相关系数γ是否超过规定的基准值即可。

另外，在上述的实施例中，根据分离度S这样的指标来判定了判定基准值Xs是否恰当，但判定的指标并不限定于此。例如，也可以使用中间检查结果和最终检查结果的不匹配程度(P1+P3)相对于各检查结果的匹配程度(P2+P4)的比例。或者，也能够将中间检查中的合格率P_pre/OK作为判定的指标。

另外，在图4及图7中表示的处理并不限定于部件安装基板。只要是经由多个工序生产的产品，且在作为中间检查对象的计测值和作为最终检查的对象的计测值之间具有相关关系，就能够通过同样的方法，来判定中间检查的判定基准值是否恰当，或确定判定基准值的恰当值。

接着，在制定有如下的方针的生产车间中，需要在中间检查中尽量实施高精度的检查，该方针是指，在回流工序之前的工序的检查中检测出不良的情况下，从生产作业线上去除检测出不良的该基板(不实施之后的工序)的方针。关于该课题，下面对如下的模拟处理的实施例进行说明，该模拟处理是指，由用户输入了在中间检查中使用的判定基准值时，根据该输入值计算表示生产效率的指标的模拟处理。

图9示出了上述的模拟处理的处理顺序。由检查程序管理装置101和与该装置相连接的终端装置(未图示)协同实施该例的处理。

也以如下的情况为前提实施图9的处理，该情况是指，针对特定的部件种类的部件，准备有多个在中间检查及最终检查中得出的计测值X、Y的组合的样本的情况。此外，在本实施例中，为了便于说明，假设如下情况来实施模拟，该情况是指，在基板上安装有多个共同地应用特定的判定基准的部件，且只要在这些部件中不发生不良，基板整体就为良品。另外，在中间检查中锡膏体积检查成为模拟的对象，在最终检查中焊脚高度检查成为模拟的对象，并假设在其他的检查中不发生不良来实施模拟。

也以如下的情况为前提开始本实施例的处理，该情况是指，在检查程序管理装置101中存储有多个计测值X、Y的组合的样本。图9的S51～S59的处理相当于图4的步骤S1～S9。即，通过导出计测值X、Y的相关关系，并在X轴上设定N个运算对象点，来针对每个运算对象点，计算由相当于该点所表示的计测值Xn的锡膏形成的焊脚的良品概率OKPn及不良概率NGPn。

接着，接受在中间检查中使用的判定基准值Xs的设定值的输入(步骤S60)，并利用该Xs实施与图4的步骤S10、S11同样的运算(步骤S61、S62)。由此，计算根据Xs及Ys分类的四个分组G1、G2、G3、G4(参照图3)的发生概率P1、P2、P3、P4。

上述的概率中的P1与P3之和相当于在中间检查中一个检查对象部位被判定为不良的概率。另外，P2相当于由在中间检查中合格的部位的锡膏形成的焊脚在最终检查中判定为良好的概率，P4相当于由在中间检查中合格的部位的锡膏形成的焊脚在最终检查中判定为不良的概率。

在步骤S63中，通过利用概率P1、P3执行与之前的公式(9)同样的运算，来计算中间检查中的合格率P_pre/OK。进而，在步骤S64中，假设从生产作业线上去除在中间检查中检测出不良的基板(在中间检查中不合格的基板)，来通过利用概率P2、P4执行下面的公式(10)的运算，由此计算在最终工序中发生不良基板的概率P_post/NG。

P_post/NG＝(P4×(P2+P4))^SUM…(10)

进而，在步骤S65中，将上述的合格率P_pre/OK及不良基板的发生率P_post/NG显示在监视器上。此外，在图9中未表示，但在此后作为上述Xs输入了与上述不同的数值的情况下，利用前一次的步骤S51～S59的处理结果及新输入的Xs来从步骤S61执行处理。

为了提高上述的模拟的信赖度，以将应用相同的检查基准的部件分组为同一组的方式对基板上的部件进行分组化，并对每个组执行了上述的步骤S51～S64之后，求出每个组的合格率的积以及不良基板的发生率的积，并显示它们来作为最终结果。另外，在上述中，关于中间检查求出了合格率，关于最终检查则求出了不良基板的发生率，但也可以使计算的参数的关系相反。或者，也可以对中间检查、最终检查双方求出合格率。

根据上述的模拟处理，在用户根据将自己输入的值作为中间检查的判定基准值Xs来实施检查的情况下，能够掌握在中间检查中合格而进入回流工序的基板或最终产生的不良基板的比例是何种程度。并且，只要这些数值与生产目标相符，就能够判断判定基准值Xs为适当。

Claims (9)

1.一种判定判定基准值是否恰当的方法，基于最终检查和中间检查的关系来判定在中间检查中使用的判定基准值是否恰当，所述最终检查用于检查经由多个工序形成的最终形态品，所述中间检查用于检查在最终的工序之前的工序中形成的中间品，其特征在于，

该方法包括：

第一步骤，对多个中间品以及由这些中间品形成的最终形态品，分别实施用于得到检查对象特征量的计测处理，并以将与同一物品相对应的计测值分组为同一组的方式组合各计测值，以此设定多个样本；

第二步骤，利用所述多个样本所表示的计测值的组合，来导出对所述中间品的计测值和对最终形态品的计测值之间的相关关系；

第三步骤，在对中间品的计测值能够分布的范围内设定多个运算对象点，并针对每个运算对象点实施第一运算处理和第二运算处理，在所述第一运算处理中，基于在所述第二步骤中导出的相关关系，来确定与运算对象点所表示的计测值相对应的最终形态品的计测值的分布图案，在所述第二运算处理中，基于该分布图案和在最终检查中使用的判定基准值的关系，来求出特定的最终形态品在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率中的至少一个概率，所述特定的最终形态品是指，由得出了该运算对象点所表示的计测值的中间品形成的最终形态品；

第四步骤，基于在所述中间检查中使用的判定基准值，来将设定了所述运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并针对每个范围，利用针对包含在该范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的概率，求出中间检查结果和最终检查结果的匹配程度以及不匹配程度；

第五步骤，基于在第四步骤中求出的各范围的匹配程度以及不匹配程度，来判断在中间检查中使用的判定基准值是否适当。

2.根据权利要求1记载的判定判定基准值是否恰当的方法，其特征在于，

在所述第二步骤中，导出对所述中间品的计测值和对最终形态品的计测值的回归直线；

在所述第三步骤的所述第一运算处理中，通过在所述回归直线的公式中应用与运算对象点相对应的计测值来求出最终形态品的计测值的平均值，并且，通过利用特定的修正函数修正所述回归直线的标准误差，来计算最终形态品的计测值的偏差，所述特定的修正函数是指，以所述多个样本所表示的对中间品的计测值的平均值与所述运算对象点所表示的计测值之差越大就使所述偏差的值越小的方式发挥功能的修正函数。

3.根据权利要求1记载的判定判定基准值是否恰当的方法，其特征在于，在所述第四步骤中，针对每个分割的范围，计算针对包含在该范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的概率的平均值，并基于计算结果，针对每个中间检查结果和最终检查结果的组合，计算该组合的发生概率。

4.一种确定判定基准值的恰当值的方法，基于最终检查和中间检查的关系来导出在中间检查中使用的判定基准值的恰当值，所述最终检查用于检查经由多个工序形成的最终形态品，所述中间检查用于检查在最终的工序之前的工序中形成的中间品，其特征在于，

该方法包括：

第一步骤，分别对多个中间品以及由这些中间品形成的最终形态品，实施用于得到检查对象特征量的计测处理，并以将与同一物品相对应的计测值分组为同一组的方式组合各计测值，以此设定多个样本；

第二步骤，利用所述多个样本所表示的计测值的组合，来导出对所述中间品的计测值和对最终形态品的计测值的相关关系；

第三步骤，在中间品的计测值能够分布的范围内设定多个运算对象点，并针对每个运算对象点实施第一运算处理和第二运算处理，在所述第一运算处理中，基于在所述第二步骤中导出的相关关系，来确定与运算对象点所表示的计测值相对应的最终形态品的计测值的分布图案，在所述第二运算处理中，基于该分布图案和在最终检查中使用的判定基准值的关系，来求出特定的最终形态品在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率中的至少一个概率，所述特定的最终形态品是指，由得出了该运算对象点所表示的计测值的中间品形成的最终形态品；

第四步骤，一边变动在所述中间检查中使用的判定基准值，一边对每次的判定基准值执行特定处理，在该特定处理中，基于判定基准值，来将设定了所述运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并针对每个范围，利用针对包含在该范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的概率，求出中间检查结果和最终检查结果的匹配程度以及不匹配程度；

第五步骤，在所述第四步骤中针对每个判定基准值求出了匹配程度以及不匹配程度时，基于这些程度来从各判定基准值中选择适当的值。

5.一种部件安装基板的检查系统，包括最终检查用检查机和中间检查用检查机，所述最终检查用检查机配备在用于生产部件安装基板的多个工序中的回流工序中，所述中间检查用检查机配备在回流工序之前的至少一个工序中，其特征在于，

部件安装基板的该检查系统还包括计算机系统，该计算机系统具有：

存储单元，其以能确定检查对象部位的同一性的状态，保存由各检查机为了检查而实施的计测处理的结果以及检查结果，

判定基准值处理单元，其分析针对能应用相同的判定基准值的多个检查对象部位保存在所述存储单元中的信息，来执行与在对这些检查对象部位的中间检查中使用的判定基准值相关的处理；

所述判定基准值处理单元具有：

样本设定单元，其以将与同一部位相对应的中间检查中的计测值和最终检查中的计测值分组为同一组的方式，组合对所述多个检查对象部位的中间检查中的计测值和最终检查中的计测值，以此设定多个样本；

相关关系导出单元，其利用所述多个样本所表示的计测值的组合，来导出中间检查中的计测值和最终检查中的计测值的相关关系；

第一分析单元，其在所述中间检查的计测值能够分布的范围内设定多个运算对象点，并针对每个运算对象点实施第一运算处理和第二运算处理，在所述第一运算处理中，基于由所述相关关系导出单元导出的相关关系，来确定与运算对象点所表示的计测值相对应的最终检查中的计测值的分布图案，在所述第二运算处理中，基于该分布图案和在最终检查中使用的判定基准值的关系，来求出特定的检查对象部位在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率中的至少一个概率，所述特定的检查对象部位是指，得出了该运算对象点所表示的计测值的检查对象部位；

第二分析单元，其基于在所述中间检查中使用的判定基准值，来将设定了所述运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并针对每个范围，利用针对包含在该范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的概率，求出中间检查结果和最终检查结果的匹配程度以及不匹配程度；

判定单元，其基于由第二分析单元求出的各范围中的匹配程度以及不匹配程度，来判断在中间检查使用的判定基准值是否适当；

输出单元，其输出判定单元的判定结果。

6.一种部件安装基板的检查系统，包括最终检查用检查机和中间检查用检查机，所述最终检查用检查机配备在用于生产部件安装基板的多个工序中的回流工序中，所述中间检查用检查机配备在回流工序之前的至少一个工序中，其特征在于，

该检查系统还包括计算机系统，该计算机系统具有：

存储单元，其以能确定检查对象部位的同一性的状态，保存由各检查机为了检查而实施的计测处理的结果以及检查结果，

判定基准值处理单元，其分析针对能应用相同的判定基准值的多个检查对象部位保存在所述存储单元中的信息，来执行与在对这些检查对象部位的中间检查中使用的判定基准值相关的处理；

所述判定基准值处理单元具有：

样本设定单元，其以将与同一部位相对应的中间检查的计测值和最终检查的计测值分组为同一组的方式，组合对各检查对象部位的中间检查中的计测值和最终检查中的计测值，以此设定多个样本；

相关关系导出单元，其利用所述多个样本所表示的计测值的组合，来导出中间检查中的计测值和最终检查中的计测值的相关关系；

第一分析单元，其在所述中间检查的计测值能够分布的范围内设定多个运算对象点，并针对每个运算对象点实施第一运算处理和第二运算处理，在所述第一运算处理中，基于由所述相关关系导出单元导出的相关关系，来确定与运算对象点所表示的计测值相对应的最终检查中的计测值的分布图案，在所述第二运算处理中，基于该分布图案和在最终检查中使用的判定基准值的关系，来求出特定的检查对象部位在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率中的至少一个概率，所述特定的检查对象部位是指，得出了该运算对象点所表示的计测值的检查对象部位；

第二分析单元，其一边变动在所述中间检查中使用的判定基准值，一边对每次的判定基准值执行特定处理，在该特定处理中，基于判定基准值，来将设定了所述运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并针对每个范围，利用针对包含在该范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的概率，求出中间检查结果和最终检查结果的匹配程度以及不匹配程度；

判定基准值选择单元，其在由第二分析单元针对每个判定基准值求出了匹配程度以及不匹配程度时，基于这些程度来从各判定基准值中选择适当的值；

输出单元，其输出由判定基准值选择单元选择的判定基准值。

7.根据权利要求6记载的部件安装基板的检查系统，其特征在于，

所述输出单元构成为，向所述中间检查用检查机发送由所述基准值选择单元选择的判定基准值的单元，在中间检查用检查机上设有为了中间检查而登录从输出单元发送来的判定基准值的单元。

8.一种生产车间的模拟方法，利用计算机实施模拟运算，该模拟运算用于导出生产作业线上的各检查结果，所述生产作业线实施最终检查和中间检查，所述最终检查用于检查经由多个工序形成的最终形态品，所述中间检查用于检查在最终的工序之前的工序中形成的中间品，其特征在于，

使所述计算机执行如下步骤：

第一步骤，通过分别对多个中间品以及由这些中间品形成的最终形态品，实施用于得到检查对象特征量的计测处理来得到各计测值，并以将与同一物品相对应的计测值分为同一组的方式组合所述各计测值，以此设定多个样本；

第二步骤，利用所述多个样本所表示的计测值的组合，来导出对所述中间品的计测值和对最终形态品的计测值的相关关系；

第三步骤，在对中间品的计测值能够分布的范围内设定多个运算对象点，并针对每个运算对象点实施第一运算处理和第二运算处理，在所述第一运算处理中，基于在所述第二步骤中导出的相关关系，来确定与运算对象点所表示的计测值相对应的最终形态品的计测值的分布图案，在所述第二运算处理中，基于该分布图案和在最终检查中使用的判定基准值的关系，来求出特定的最终形态品在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率，所述特定的最终形态品是指，由得出了该运算对象点所表示的计测值的中间品形成的最终形态品；

第四步骤，接受作为在所述中间检查中使用的判定基准值的设定值的输入，由此基于所输入的值来将设定了所述运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并利用针对包含在判定为不良的范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的两个种类的概率，来求出中间品判定为不良的概率，并且，将针对包含在判定为所述良好的范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的两个种类的概率，针对每个种类进行处理，由此求出特定的最终品判定为良好的概率以及判定为不良的概率，所述特定的最终品是指，由在中间检查中合格的中间品形成的最终品；

第五步骤，利用在所述第四步骤中计算出的各概率，求出在生产作业线上生产的规定个数的中间品在中间检查中的合格的比例或不合格的比例、在中间检查中合格的中间品在最终检查中的合格的比例或不合格的比例；

第六步骤，显示在所述第五步骤中计算出的各比例，以作为模拟运算的结果。

9.一种用于部件安装基板的生产作业线的模拟系统，其是计算机系统，将基板生产作业线作为对象，执行用于导出该生产作业线上的各检查结果的模拟运算并显示结果，所述基板生产作业线包括用于生产部件安装基板的多个工序，并在其中的回流工序中配备有最终检查用检查机，在回流工序之前的至少一个工序中配备有中间检查用检查机，其特性在于，

该模拟系统具有：

存储单元，其以能够确定检查对象部位的同一性的状态，保存由各检查机实施用于得到检查对象特征量的计测处理来得出的各计测值，并且，保存在最终检查中使用的判定基准值，

输入单元，其接受针对能够应用相同的判定基准值的多个检查对象部位在中间检查中使用的判定基准值的设定值的输入，

模拟运算单元，其分析针对应用了所输入的判定基准值的检查对象部位保存在所述存储单元中的信息，来执行对这些检查对象部位的模拟运算，

显示单元，其显示模拟运算的结果；

所述模拟运算单元具有：

样本设定单元，其以将与同一部位相对应的计测值分组为同一组的方式，组合各检查机对运算对象的各检查对象部位的计测值，以此设定多个样本，

相关关系导出单元，其利用所述多个样本所表示的计测值的组合，来导出中间检查中的计测值和最终检查中的计测值的相关关系，

第一分析单元，其在通过用于所述中间检查的计测处理得到的计测值能够分布的范围内设定多个运算对象点，并针对每个运算对象点实施第一运算处理和第二运算处理，在所述第一运算处理中，基于由所述相关关系导出单元导出的相关关系，来确定与运算对象点所表示的计测值相对应的最终检查的计测值的分布图案，在所述第二运算处理中，基于该分布图案和保存在所述存储单元中的在最终检查中使用的判定基准值的关系，来求出特定的检查对象部位在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率，所述特定的检查对象部位是指，得出了该运算对象点所表示的计测值的检查对象部位，

第二分析单元，其基于由所述输入单元接受的判定基准值的设定值，来将设定了所述运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并利用针对包含在判定为不良的范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的两个种类的概率，来求出在中间检查中判定为不良的概率，并且，将针对包含在判定为所述良好的范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的两个种类的概率，针对每个种类进行处理，由此求出在中间检查中合格的部位在最终检查中判断为良好的概率以及判定为不良的概率，

第三分析单元，其利用由所述第二分析单元计算出的各概率，求出导入到配备有所述中间检查用检查机的工序中的基板在中间检查中的合格的比例或不合格的比例、在中间检查中合格的基板在最终检查中的合格的比例或不合格的比例；

所述显示单元显示由所述第三分析单元计算出的各比例，以作为模拟运算的结果。

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