CN109408047A - 集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，包括以下功能模块：建立测试任务模型模块，产品信息登记及管理模块，产品测试设备信息模块，测试任务状态监控模块，测试生产管理模块，DiagUid校验及管理模块，MAPEDIT信息管理模块；本发明提供的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统子系统，是集成从测试集成电路产品入库到出库一整套信息登记和信息管理，功能完备、实用简单、过程可控，可通过安全的在线远程进行访问控制。

Description

集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统

技术领域

本发明涉及一种，尤其涉及一种集成电路测试信息化管理系统中的资 源管理系统。

背景技术

当前，我国集成电路产业正面临发展的重要战略机遇期、创新期和攻 坚期，一方面，全球市场格局加快调整，投资规模迅速攀升，市场份额加 速向优势企业集中；另一方面，移动智能终端及芯片呈爆发式增长，互联 网、物联网、大数据等新业态快速发展，集成电路技术演进出现新趋势。

最近几年，大数据一直是个非常热门的话题。当人们津津乐道于互联 网时代海量数据带来如何的机会和价值的时候，而集成电路产业中却忽略 了随时可见的芯片大数据的价值，如集成电路测试数据。当前，集成电路 测试每天生成各种数据超过300G的大数据，每月测试2亿多颗芯片，每 颗芯片测试参数平均约6000项，每颗芯片测试功能矢量平均约10,000,000 条，测试数据还在持续增长中，若构建在线分布式数据部署、集中化信息 处理等在线交互信息处理平台，研发集成电路测试海量数据(每天超过 300G的数据)在线分析处理与离线深度挖掘技术，对集成电路每一环节的 测试结果进行监督和分析,甚至通过一些数据的变化趋势预测问题的所在, 在良率问题爆发出来以前就采取必要的措施,从而减少甚至避免产品质量 的事故,降低芯片生产运营的成本，为国内外集成电路相关企业提供专业、 安全的在线交互信息系统服务，这也是未来集成电路产业发展中海量测试 数据所体现的价值。

国内集成电路产业测试信息化还面临着如下挑战和需求：

(1)物理服务集群系统需求

集成电路产业中随时可见芯片大数据的价值，如PCM工艺数据、验证 数据、晶圆测试数据、QA数据等集成电路数据信息，几乎所有芯片在进入 市场前，都需要经过很多环节严格的测试，而每个环节的都会产生海量信 息数据。因此，国内集成电路企业急需一个具有智能、高效及形成一个庞 大的数据网的物理服务集群系统，兼顾安全预警服务支撑系统、全面安全 保障支撑系统、高效运维管理支撑系统等功能，为上层应用提供高度集成 的数据接口，实现相应虚拟化，为平台上的用户提供应用服务，形成一个 完整的生态圈，为集成电路产业用户提供整套安全可控、智能监控、安全 预警、动态监控的集成电路基础构架平台和服务。

(2)在线信息交互服务系统的需求

集成电路产业链包括集成电路设计、制造、封装、测试以及支撑辅助 上述三个环节的设备和材料等环节，但是每个环节由于自身规模、技术等 限制，不可能负担高额的信息系统成本，所以未来对于在线交互服务这种 成本较低创新服务的需求会出现爆发，布局互联网集成电路数据中心的创 新服务及解决方案，满足集成电路产业链各环节企业按需自助服务的在线 交互信息服务模式将会成为集成电路设计、制造、封装测试等生态系统良性互动发展的支柱。

(3)海量数据挖掘和分析需求

集成电路产业中，一颗芯片在进入市场前都要经过测试验证，通常会 有几十甚至上百项的测试项目，除了测试只返回Pass/Fail外,其它项目 结果都包含了具体的测试数据,且反映了芯片至少某一方面的功能特性， 如果是量产的芯片,少则一年出货近百万,多则每个月都到几千万颗，可以 看到这些测试结果将是一个多大的数据宝库，如果这些数据能够被充分地 加以统计和分析，对于芯片整体的特性，以及设计、工艺、封装等方面的 问题是非常有价值的。未来，若建立一套体系和流程，对每一批芯片每一 环节的测试结果进行监督和分析，甚至能够通过一些数据的变化趋势预测 问题的所在，在良率问题爆发出来以前就采取必要的措施,从而减少甚至 避免产品质量的事故,降低芯片生产运营的成本，这也是未来集成电路产 业发展中海量测试数据所体现的价值。

现有技术中，集成电路测试环境都是在千级、百级、十级等洁净车间， 生产操作人员需要监管多台设备，如果出现测试异常、报警等，测试机台 暂停，等待操作人员去处理，而且不一定能快速定位到问题所在，机台间 的距离、异常情况、人员、异常发现及时性等都会影响处理效率，那如果 多台测试机台同时出现异常，就会出现无法同时、快速的处理，设备只能 停止工作，造成机时浪费、产能低等。

综上所述，本发明提供了一种集成电路测试信息化管理系统中的资源 管理系统系统，通过信息化管理平台，对客户、测试产品名称、测试DEVICE、 测试程序、测试探针卡名称等信息进行自动登记和管理。

发明内容

本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种集成电路 测试信息化管理系统中的资源管理系统，通过信息化管理平台，对客户、 测试产品名称、测试DEVICE、测试程序、测试探针卡名称等信息进行自动 登记和管理，为实现上述功能，采用的技术方案为：

包括以下功能模块：

建立测试任务模型模块，对集成电路测试流程进行管理和实时更新状 态；

产品信息登记及管理模块，对集成电路测试的产品信息进行登记及管 理；

产品测试设备信息模块，对不同类别的设备信息进行管理；

测试任务状态监控模块，对任务状态进行管理；

测试生产管理模块，对生产测试信息进行管理；

DiagUid校验及管理模块，对产品测试UID与服务器中的UID信息进 行校验，并实时记录测试版本号、校验结果；

MAPEDIT信息管理模块，对集成电路测试产品的信息进行修改、添加、 删除管理。

下面对每个模块的具体技术方案及功能进行详细阐述：

1)建立测试任务模型

建立包括但不限于“test(测试)”、“quality(质量)”、“baking(烘 干)”、“ink(打点)”以及设备、配件、测试探针卡、位置关键流程模型， 并可以灵活配置和更改，起关键技术点在于在产品进入测试之前，生成唯 一可溯源性联动ID，ID将成产品唯一贯穿整个测试流程的信息，包括但 不限于消耗物料、流程，收集的参数化的数据、入出、中转的日期、时间、 地点；

自动获取测试流程，是通过建立测试流程模型，对包括但不限于在线 高低温测试、打点、墨水烘干、质量检验、老化任务状态信息进行管理， 根据“产品名称”调用设置文件，对需要加工的流程也实现调用。

2)测试产品信息登记

测试信息根据测试产品信息及测试要求，预先登记和入库，测试信息 在需要调用产品列表时随时使用，需要注意的是，产品名称是唯一不能重 复的，包括但不限于测试产品名称、测试DEVICE、测试程序及测试探针卡 名称，测试产品信息登记为全程无纸化提供基础数据，实现无纸化信息自 动获取、跟踪及监控。

3)产品测试设备信息管理

测试设备信息共分“prober”、“tester”、“pe”三类，任何测试设备 均可成为另外设备的附属，即在“归属于ID”中填写附属设备的ID，然 后，在设备列表的PE版列表中体现出来。

4)测试任务状态监控

根据“产品名称”调用设置文件，需要加工测试的流程也会调用，默 认的任务书产品数量为来料登记数量，系统支持临时更改、添加、删除， 并可在系统中进行自动修改和更新；同时支持测试任务及测试程序的更 新，为保证产业化测试的安全性，系统添加了安全机制、测试任务标号唯 一性，即一个测试任务书标号只能且唯一的测试程序、测试流程及测试设 备信息。

5)测试生产管理

对产品当前测试流程状态进行管理，包括但不限于流程卡号、任务书 号、来料时间和状态运行时间，从而实现测试生产的管理。

6)DiagUid校验及管理

在集成电路测试过程中，对所测试产品的UID与服务器中的UID信息 进行校验，并实时记录测试版本号、校验结果，验证测试流程的正确性， 校验信息包含但不限于测试Bin合计数、每个site差异比对、每个site 误测管芯数、每个site测试管芯数、总测试管芯数，在整改集成电路测 试过程中实现多维度进行校验和验证，保证每次测试的唯一性。

8)MAPEDIT信息管理及在线自动校验验证

MAPEDIT信息管理包括但不限于对产品每颗测试die坐标(X.Y)、PASS、 FAIL超过百项信息进行管理，包含但不限于LOT ID、Part Type、Job Name、 Tester Type、SetupTime、Start Time、Operator Name、Sublot ID、 Test Code、Job Rev、Executive Type、Exec Version、Test Temp、Flow ID超过百项的信息，同时进行在线自动校验验证。

系统校验正确后，根据测试要求调度、智能分配、决策，开始测试， 整合集聚测试数据信息，实时监控测试数据，并上传服务器，完成信息化 管理。

另外，集成电路晶圆(wafer)测试过程中由于一些不可控原因，如 实际测试范围与事先设定的范围不同，操作人员的信息输入与实际有差 异、设备参数异常等，导致最终的量产测试结果与实际不符。为了避免此 类事情发生，须TestSystemPLUS在数据上传至数据中心前做一个全面的 校验验证，在进行验证前，系统会自动获取测试产品信息，进行相应的规 则设置及配置，过程是将客户要求的测试范围通过Basic Map导入系统中、 检查测试项目通过BDF软件模块导入系统，使用的测试探针卡信息通过 ProberCard Release导入系统中，最终进行信息校验验证。

本发明相对于现有技术具有如下有益效果：

资源管理系统子系统是集成从测试集成电路产品入库到出库一整套 信息登记和信息管理，功能完备、实用简单、过程可控，可通过安全的在 线远程进行访问控制，是一套模块管理、可视化、完善的、标准化的集成 电路测试服务信息管理系统软件，其功能包括测试流程、产品登记、测试 程序调用、DEVICE调用、探针卡管理、测试设备、来料登记、下达测试任 务、测试流程卡管理、生产进程跟踪、进度查询、产品登记、DiagUid、 自动更新、MAPEDIT、Map数据统计、密码修改、测试Map偏移检查等整套 集成电路测试信息的登记和管理，方便测试监控、查询、分析及追溯。

附图说明

图1为集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统的框架示意 图。

图2为建立测试任务模型的示意图。

图3为自动获取测试流程的示意图。

图4为测试产品信息登记的示意图。

图5为产品测试设备信息管理的示意图。

图6为测试任务状态监控的示意图。

图7为测试任务状态监控的示意图。

图8为测试项目及site信息校验的示意图。

图9为测试范围通过率校验的示意图。

图10为测试探针卡信息校验的示意图。

具体实施方式

本发明提供的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，用于 通过信息化管理平台对客户、测试产品名称、测试DEVICE、测试程序、测 试探针卡名称等进行自动登记和管理；

本发明提供的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统系统， 具有如下功能：对集成电路测试流程如常规测试、熔丝产品、墨水烘干、 老化栏的显示等进行管理和实时更新状态；研发产品信息登记及管理，对 集成电路测试的产品名称、测试DEVICE、测试程序及测试探针卡名称等产 品信息自动获取及管理；研发测试设备信息管理及资源分配，实现 “prober”、“tester”、“pe”等超过200台套设备(机器)不同类别的信 息进行自动获取、资源分配及执行计划管理；研发测试全过程任务管控应 用模块，包括在线高低温测试、打点、墨水烘干、质量检验等任务状态管 控，同时包括类无人车间测试信息、测试数据上传、测试MAP图生成、测 试二次查询等生产测试信息管控；DiagUid校验及管控，对产品测试UID 与服务器中的UID信息进行校验，并实时记录测试版本号、校验结果； MAPEDIT信息管控，对集成电路测试产品的DIE坐标、PASS、FAIL等信息 进行修改、添加、删除管理。

本发明提供的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，由以 下功能模块组成：

下面对每个模块的具体技术方案及功能进行详细阐述：

(1)建立测试任务模型

建立“test(测试)”、“quality(质量)”、“baking(烘干)”、“ink (打点)”以及设备、配件、测试探针卡、位置等关键流程模型，并可灵 活配置和更改，其主要特征在于在产品进入测试之前，生成唯一可溯源性 联动ID，ID将成产品唯一贯穿整个测试流程的信息，包括消耗物料、流 程、收集的参数化的数据(如OD、PC、Prg等)、入出、中转的日期、时 间、地点等。

(2)自动获取测试流程

建立测试流程模型，对在线高低温测试、打点、墨水烘干、质量检验、 老化等任务状态进行管理，根据“产品名称”调用设置文件，需加工的流 程也会调用。

(3)测试产品信息登记

根据测试产品信息及测试要求，预先登记和入库，信息在任何需要调 用产品列表的时候都可使用，需要注意的是产品名称是唯一不能重复的， 包括测试产品名称、测试DEVICE、测试程序及测试探针卡名称等，其创新 在于为全程无纸化提供基础数据，无纸化信息自动获取、跟踪及监控。

(4)产品测试设备信息管理

测试设备信息共分“prober”、“tester”、“pe”三类，任何测试设备 都可成为另外设备的附属，即在“归属于ID”中填写附属设备的ID，然 后在设备列表的PE版列表中体现出来。

(5)测试任务状态监控

根据“产品名称”调用设置文件，需要加工测试的流程也被调用，默 认的任务书产品数量为来料登记数量，系统支持临时更改、添加、删除， 这些信息可在系统中进行自动修改和更新。

同时支持测试任务及测试程序的更新，另外，为了保证产业化测试的 安全性，系统添加了安全机制，测试任务标号唯一性，即一个测试任务书 标号只能且唯一的测试程序、测试流程及测试设备信息等。

(6)测试生产管理

即对产品当前测试流程状态进行管理，包括流程卡号、任务书号、来 料时间和状态运行时间等，实现测试生产的管理。

(7)DiagUid校验及管理

本模块在整改集成电路测试过程中应用，具有安全性、唯一性及可追 溯性，系统对所测试产品的UID与服务器中的UID信息进行校验，并实时 记录测试版本号、校验结果，验证测试流程的正确性。主要校验信息包含 测试bin合计数、每个site差异比对、每个site误测管芯数、每个site 测试管芯数、总测试管芯数等，通过多维度进行校验和验证，保证每次测 试的唯一性。

测试算法如下：

判断UID是否要求

DiagUid校验包含的信息

(8)MAPEDIT信息管理及在线自动校验验证

MAPEDIT信息管理主要是对产品每颗测试die坐标(X.Y)、PASS、FAIL 等超过百项信息进行管理，包含了LOT ID、Part Type、Job Name、Tester Type、Setup Time、StartTime、Operator Name、Sublot ID、Test Code、 Job Rev、Executive Type、Exec Version、Test Temp、Flow ID等超过 百项的信息。同时进行在线自动校验验证。

另外，集成电路晶圆(wafer)测试过程中由于一些不可控原因，如 实际测试范围与事先设定的范围不同，操作人员的信息输入与实际有差 异、设备参数异常等一些原因，导致最终的量产测试结果与实际不符。为 了避免此类事情发生，须TestSystemPLUS在数据上传至数据中心前做一 个全面的校验验证，在进行验证前，系统会自动获取测试产品信息，进行 相应的规则设置及配置，过程是将客户要求的测试范围通过Basic Map导 入系统中、检查测试项目通过BDF软件模块导入系统，使用的测试探针卡 信息通过ProberCardRelease导入系统中，最终进行信息校验验证。

系统校验正确后，根据测试要求调度，智能分配，决策，开始测试， 整合集聚测试数据信息，实时监控测试数据，并上传服务器，完成信息化 管理。

Claims (8)

1.一种集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，其特征在于：

包括以下功能模块：

建立测试任务模型模块，对集成电路测试流程进行管理和实时更新状态；

产品信息登记及管理模块，对集成电路测试的产品信息进行登记及管理；

产品测试设备信息模块，对不同类别的设备信息进行管理；

测试任务状态监控模块，对任务状态进行管理；

测试生产管理模块，对生产测试信息进行管理；

DiagUid校验及管理模块，对产品测试UID与服务器中的UID信息进行校验，并实时记录测试版本号、校验结果；

MAPEDIT信息管理模块，对集成电路测试产品的信息进行修改、添加、删除管理。

2.如权利要求1所述的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，其特征在于：

1)建立测试任务模型

建立包括但不限于“test(测试)”、“quality(质量)”、“baking(烘干)”、“ink(打点)”以及设备、配件、测试探针卡、位置关键流程模型，并可以灵活配置和更改，起关键技术点在于在产品进入测试之前，生成唯一可溯源性联动ID，ID将成产品唯一贯穿整个测试流程的信息，包括但不限于消耗物料、流程，收集的参数化的数据、入出、中转的日期、时间、地点；

自动获取测试流程，是通过建立测试流程模型，对包括但不限于在线高低温测试、打点、墨水烘干、质量检验、老化任务状态信息进行管理，根据“产品名称”调用设置文件，对需要加工的流程也实现调用。

3.如权利要求2所述的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，其特征在于：

2)测试产品信息登记

测试信息根据测试产品信息及测试要求，预先登记和入库，测试信息在需要调用产品列表时随时使用，需要注意的是，产品名称是唯一不能重复的，包括但不限于测试产品名称、测试DEVICE、测试程序及测试探针卡名称，测试产品信息登记为全程无纸化提供基础数据，实现无纸化信息自动获取、跟踪及监控。

4.如权利要求3所述的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，其特征在于：

3)产品测试设备信息管理

测试设备信息共分“prober”、“tester”、“pe”三类，任何测试设备均可成为另外设备的附属，即在“归属于ID”中填写附属设备的ID，然后，在设备列表的PE版列表中体现出来。

5.如权利要求4所述的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，其特征在于：

4)测试任务状态监控

根据“产品名称”调用设置文件，需要加工测试的流程也会调用，默认的任务书产品数量为来料登记数量，系统支持临时更改、添加、删除，并可在系统中进行自动修改和更新；同时支持测试任务及测试程序的更新，为保证产业化测试的安全性，系统添加了安全机制、测试任务标号唯一性，即一个测试任务书标号只能且唯一的测试程序、测试流程及测试设备信息。

6.如权利要求5所述的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，其特征在于：

5)测试生产管理

对产品当前测试流程状态进行管理，包括但不限于流程卡号、任务书号、来料时间和状态运行时间，从而实现测试生产的管理。

7.如权利要求6所述的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，其特征在于：

6)DiagUid校验及管理

在集成电路测试过程中，对所测试产品的UID与服务器中的UID信息进行校验，并实时记录测试版本号、校验结果，验证测试流程的正确性，校验信息包含但不限于测试bin合计数、每个site差异比对、每个site误测管芯数、每个site测试管芯数、总测试管芯数，本模块在整改集成电路测试过程中实现多维度进行校验和验证，保证每次测试的唯一性。

8.如权利要求7所述的集成电路测试信息化管理系统中的资源管理系统，其特征在于：

7)MAPEDIT信息管理及在线自动校验验证

MAPEDIT信息管理包括但不限于对产品每颗测试die坐标(X.Y)、PASS、FAIL超过百项信息进行管理，包含但不限于LOT ID、Part Type、Job Name、Tester Type、Setup Time、StartTime、Operator Name、Sublot ID、Test Code、Job Rev、Executive Type、Exec Version、Test Temp、Flow ID超过百项的信息，同时进行在线自动校验验证。

系统校验正确后，根据测试要求调度、智能分配、决策，开始测试，整合集聚测试数据信息，实时监控测试数据，并上传服务器，完成信息化管理。