TW201231366A - Transfer device, processing system, control method of transfer device, and computer-readable storage medium - Google Patents

Description

201231366 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種搬送裝置、處理系統、搬送裝置 之控制方法以及電腦可讀取式記憶媒體。 【先前技術】 CVD裝置等將玻璃基板加以高溫處理之裝置之情 況，有時玻璃基板會因為熱等而破裂。於玻璃基板之搬 出搬入之際’係於腔室内保持玻璃基板端而將玻璃基板 上舉，而使得搬送裝置之選取器（pick)進入被上舉後之 玻璃基板下方。一旦玻璃基板破裂，由於僅有玻璃基板 之單側被上舉，故破裂的玻璃基板會阻塞選取器之進入 路徑。因此，選取器之前端會碰撞玻璃基板，破裂之玻 璃基板會細細地粉碎，破片會散佈於腔室内。為了將破 裂之玻璃基板或是破片從腔室内取出，使得裝置復原， 會花費魔大時間。其間製造線會停止。 是以’例如專利文獻1所記載般，將可檢測選取器 (機械臂）前端是否接觸到障礙物之感應器裝設於搬送裝 置。 、义 於專利文獻1中，將内部密封有流體之膨張收縮自 如之中空體襞設於選取器之前端。一旦中空體接觸到障 礙物則中空體會被壓潰，密封於内部之流體壓力會上 升。藉由壓力感應器來檢測此壓力上升，來檢測選取器 之前端已接觸到障礙物。 習知技術文獻 3 S. 201231366 專利文獻1日本特開2003 —60004號公報 【發明内容】 專利文獻1係採用以壓力感應器來檢測出密封於 中空體内部之流體壓力上升之方式。因此，會發生搬^ 裝置於減壓環境下搬送玻璃基板之情況下，中空體不$ 發生變形而難以檢測接觸到障礙物之情事。 本發明係鑑於上述情事所得者，在於提供一種印 使於減壓環境下亦能檢測到和障礙物接觸之搬送^ 置、具備此搬送裝置之處理系統、可抑制障礙物破壞^ 搬送裝置之控制方法、以及電腦可讀取式記憶媒體^餘 存有可於搬送裝置實行該控制方法之程式）。 本發明之第1樣態之搬送裝置，係對搬送體進行搬 送者；其特徵在於係具備有：支撐構件，係可前進後退， 用以支撐該搬送體；以及感應器，係檢測當該支擇構件 前進之時，該支撐構件之前端是否接觸到障礙物；其 中，該感應器包含有：第1導電性環，係在該支撐構件 之前端處於接地狀悲下所&又置之具可挽性者；第2導電 性環，係於該第1導電性環之内側和該第1導電性環相隔 離設置者；以及檢測器，係檢測當該第1導電性環接觸 到該障礙物而變形從而接觸到該第2導電性環之時，該 第1導電性環與該第2導電性環已成為短路。 乂 本發明之第2樣態之處理系統係具備有：共通搬送 室；處理室’係連接於該共通搬送室，對被處理體施以 處理；以及’搬送裝置’係配置於該共通搬送室，用以 4 201231366 搬送該被處理體；其特徵在於該搬送裝置係使用第^策 態之搬送裝置。 ’ 本發明之第3樣態之搬送襞置之控制方法，係對搬 送體進行搬送者，該搬送裝置係具備有：支撐構件，係 可前進後退’用以支撐搬送體；以及感應器，係檢測當 該支撐構件前進之時，該支撐構件之前端是否接觸到障 礙物；其特徵在於包含有下述步驟：使得該支揮構件朝 既定位置以第1速度來前進之步驟；在設定於該既定位 置之前、確認有無該障礙物的確認區間，以比該第1速 度為慢之第2速度來使得該支撐構件朝該既定位置前進 之步驟；以及於通過該確認區間之後，以比該第2速度 為快之第3速度來使得該支撐構件朝該既定位置前進之 本發明之第4樣態之電腦可讀取式記憶媒體，係 儲存有在電腦上動作而對搬送搬送體之搬送裝置進行 控制之控制程式；其特徵在於該控·式於實行時係控 制該搬送裝置以進行第3樣態之控制方法。 檢測出和障礙物接觸之搬送裂置 理系統、可抑制障礙物之破壞之 依據本發明，可提供一種即使於減壓環境下亦能

【實施方式】 針對本發明之實施形態來 以下，參照所附圖式，

S 5 201231366 說明。於此說明中，針對所參照之所有圖式的相同部分 係賦予相同參照符號。 (第1實施形態） 圖1係顯示本發明之第1實施形態之具備搬送裝置 之處理系統之一例之水平截面圖，圖2A以及圖2B係沿 圖1中之II—II線之截面圖。圖1、圖2A以及圖2B所示之 處理系統在搬送體方面係使用於太陽電池模組、j?PD之 製造上所使用之玻璃基板，而對此玻璃基板施以成膜。 如圖1所示般，處理系統1構成上包括有加载互鎖 室2、處理室3a與3b、以及共通搬送室4。加載互鎖室2 係在大氣側與減壓側之間進行壓力轉換。處理室3&與313 係對搬送體G(例如玻璃基板)施以加熱、成膜等熱處理。 於本例中，加載互鎖室2、處理室3a與3b、以及共 通搬送室4為真空裝置，分別具備有氣密構成之容器本 體21、31a、31b以及41，可於既定之減壓狀態下放置搬 送體G。於容器本體21、31a、31b以及41係經由排氣口 而連接著真空泵等排氣機構，以將内部調整為減壓狀 態。圖2A以及圖2B中係顯示了設置於處理室3a之排氣 口 32a與於排氣口 32a所連接之真空泵5a、以及設置於共 通搬送室4之排氣口 42與於排氣口 42所連接之真空泵 5b °再者，於容器本體21、31a、31b以及41設有開口部 23a、23b、33a、33b、43a、43b、以及43c。搬送體G係 經由該等開口部而被搬出搬入。 加載互鎖室2之容器本體21係經由開口部23a以及 6 201231366 閘閥室6a來連通於處理系統1外部亦即大氣側。於開闊 室6a收容有用以開閉開口部23a之閘閥GV。此外，間闕 GV之一例係顯示於圖2A。此外，容器本體21係經由開 口部23b、閘閥室6b、以及開口部43a而連通於容器本體 41。閘閥室6b係收容有用以開閉開口部23b之閘閥GV。 處理室3a之容器本體31a係經由開口部33a、收容有 用以開閉此開口部33a之閘閥GV的閘閥室6c、以及開口 部43b而連通於容器本體41。同樣地，處理室孙之容器 本體31b係經由開口部33b、收容有用以開閉此開口部 33b之閘閥GV的閘閥室6d、以及開口部43c而連通於容 器本體41。 共通搬送室4之容器本體41之平面形狀在本例中 為矩形狀。於矩形狀四邊當中的三邊設有開口部43a、 43b、43c。於共通搬送室4之内部設置有本發明之第1實 施形態之搬送裝置7。搬送裝置7係將搬送體G從加载互 鎖室2往處理室3&或是3b搬送、從處理室3a或是北往處 理至3b或疋3a搬送、從處理室3a或是3b往加載互鎖室2 搬送。因此，搬送裝置7係構成為除了有使得搬送體〇 升降之升降動作以及使得搬送體G企旋轉之旋轉動作外， 尚可朝加载互鎖室2、處理室3a與3b之内部進行進出、 退避動作。 此種處理系統1之各部之控制以及搬送裝置7之控 制係藉由控制部1〇〇來進行。控制部1〇〇具有由例如微處 理器（電腦)所構成之程序控制器1〇1。於控制器1〇1係連 201231366 接有· 4呆作者為管理處理系統1而進行指令輸入操作等 之鍵盤、將處理系統1之運轉狀況可視化顯示之顯示器 等所構成之使用者介面102。 於程序控制器101連接著記憶部1〇3。記憶部1〇3係 儲存有：控制程式，係以程序控制器1〇1之控制來實現 於處理系統1所實行之各種處理；以及配方，用以因應 於處理條件來對處理系統丨之各部實行處理。配方係儲 存於例如記憶部103中之記憶媒體。記憶媒體可為石更 碟、半導體記憶体，亦可為CD-ROM、DVD、快閃記憶 體等可攜物《此外，亦可從其他裝置經由例如專用線^ 來適宜傳送配方。配方可視必要而依據來自使用者介面 1〇2之指示等而從記憶部1〇3讀取，而依據所讀取出之配 方來由程序控制器101實行處理，藉此，處理系統〖以及 搬送裴置7可基於程序控制器101之控制來實施所希望 之處理與控制。 搬送裝置7退避於共通搬送室4内之狀態係顯示於 圖2A，搬送裝置7進出於處理室3a内之狀態係顯示於 2B。 如圖2A以及圖2B所示般，搬送裝置7之構成上包括 有：選取器單元72 ’具備有支撐搬送體G之支撐構件的 選取器71 ;使得選取器單元72滑動之滑動單元乃；以及 驅動滑動單元73之驅動單元74。 於滑動單元73裝設有滑動基座73a，選取器單元72 係裝設於滑動基座73a。滑動基座73a係藉由滑動基座驅 201231366 動部73b而於滑動單元73之長邊方向前後滑動。 藉此’選取器單元72可前進後退，相對於加載互 鎖至2、處理室3a與3b之内部做進出、退避。例如，如 圖2B所示般，一旦滑動基座73a滑動，則裝設於滑動基 座73a之選取器單元72係例如經由開口部43b以及33a而 進出於處理室3a内。此外，滑動單元73係藉由驅動單元 74而進行升降以及旋轉。藉此，滑動單元73例如在共通 搬送室4内受到升降以及旋轉。 _本例之處理系統1係構成為可一次將複數片搬送 體G在尚度方向上做水平載置，而對複數搬送體g進行 處理。例如，於處理室3a使得具備有一對下部電極34盥 ^部電極35之段以複數段來配置。於本例中係配置著2 段之下部電極34與上部電極…可藉録各

=電極之間所產生之電漿來同時叫搬送；: 的方=構Γ送裝置嫌輯W搬送體G 哎％斋早兀72係具備有二 71，可一次搬送二片搬送體〇。二段選取哭 ^态 端係裝設有感應器8，可檢測於選取器71::別前 否有障礙物。 進出則方是 係顯示感應器8之分解圖 如圖3Α以及圖3Β所示般，感應器8係 丁丹有·設置於 201231366 選取器71前端的第1導電性環81、以及設置於第〖導電性 % 81内側之苐2導電性環82。第1導電性環81以及第2導 電性環82係使用例如彈簧鋼而皆被職予可撓性。彈簧鋼 之例可舉出不鏽鋼、磷藍銅等。 第1導電性環81以及第2導電性環82裝設於選取器 71前端之一例如下所示。 首先，將具有凸部之基座83以螺固方式固定於選 取器71剷端。其次，將第1導電性環81側面之一部份以 基座83之凸部與絕緣構件84來挾持。絕緣構件84係將第 1導電性環81與第2導電性環82保持在彼此絕緣之狀態 且分離之狀態之保持構件。於第2導電性環82之上部設 有朝第2導電性環82外側延伸之電氣接觸端子85。將此 電氣接觸端子85載放於絕緣構件84上面，並使得第2導 電性環82側面抵接於絕緣構件84。其次，使用絕緣性螺 絲86將第2導電性環82、絕緣構件84、以及第丨導電性環 81固疋於基座83。此處，若基座83係以導電性材料所構 成由於選取益71成為接地狀態，故僅需將第1導電性 環81裝設於基座83即可使得第丨導電性環“接地，此為 優點所在。其次，使得檢測端子87抵接於電氣接觸端子 8 5二檢測端子8 7之另一端係連接於檢測第丨導電性環$ 1 與第2導電性環82是否出現短路之檢測器。其次，使用 導電性螺細將制端子87以及電氣制端子85 於絕緣構件84之上面。 如此般，可將第1導電性環81以及第2導電性環82 201231366 裝設於選取器71之前端。 此外，於本實施形態，電氣接觸端子85雖呈現從 第2導電性環82上部向外側之構造，但亦可從下部向外 側，此外，檢測端子87只要可連接未必要為朝外側延伸 之構造。 其次’說明具體的檢測例。 、圖4A〜圖4C係顯示障礙物接觸於感應器8之狀態的 俯視圖。 首先’如圖4A所示般，一旦選取器71之進出前方 出現障礙物89 ’則伴隨選取器71之前進，第巧電性環 81會接觸到障礙物89。以導電性環81具有可挽性。因 =’ -旦躺於障礙物89，料伴隨縣㈣之前進而 ^潰。於是，如圖犯所示般，第1導電性獅會和第2 =性核82接觸，呈接地狀態之第j導電性環^與第2 2性環82會短路。可藉由檢測器檢測此短路，而檢測 出選取器71之前端接觸到障礙物。 =外’如本例般，若第2導電性環82亦由具可挽性 2電性㈣所構成，騎便於短路、短路檢測、選取 2°導蕾之停止之間選取器71持續前進，如圖4C所示般，第 電性環82會被壓潰，而可抑制障礙物89之 為優點所扃。 此外，若舉出第1導電性環81之尺寸、材質之— =^為直徑55mm、板厚咖峨之不鏽鋼。此外 舉出第2導電性環82之尺寸、材質之1,則為直徑 201231366 36mm、板厚〇 〇5mm之不鏽鋼。 如此般，使得第1導電性環81以及第2導電性環82 之雙方的板厚度皆薄至〇.〇5mm程度，則可賦予復原 性。因此，即便第1導電性環81接觸於障礙物而變形、 第2導電性環82接觸到第1導電性環81而變形，由於可分 別復原，而可再度使用。 此外，第i導電性環81與第2導電性環82之隔離距 離依據上述尺寸例會成為約l〇mm。若使得第1導電性環 81與第2導電性環82隔離至此種程度，則於選取器71之 則進後退時、旋轉時，即便第1導電性環81以及第2導電 性環82出現振動情況，也可抑制彼此接觸。 圖5 A以及圖5 B係顯示感應器8之等效電路之一例 的等效電路圖。 如圖5A所示般，於一實施形態具有4個選取器71。 因此，於本等效電路例，感應器8具有4個第1導電性環 81以及4個第2導電性環82。4個第1導電性環81分別接 地°此外，4個第2導電性環82分別連接於檢測器9之— 端。檢測器9係例如具備有電阻Γ與檢測電路91。電阻^ 之一纪係連接於電源Vsource，另一端係分別連接於4個 第2導電性環82。檢測電路91之輸入係連接於電阻『與斗 個第2導電性環82之相互連接點92，輸出係連接於程 控制器101。 ' 檢測電路91係自電源vsource經由電阻!*而流通有 檢測用電流I。如圖5A所示般，在第丨導電性環81與第之 12 201231366 環82未短路之«下糕丨值.定。因此，相 互連接點92之電位成為一定值。 此外，若舉出電源Vsource之電位之一例則為24V 程度:若舉出電流!之—例則為15mA程度。為 第1導電性環81只要有一個接觸到第2導電性環 ^如目5B所示般’相互連接點92會經由相互接觸之 電性環81與第2導電性環㈣往接地點GND短 。因此’電流1會從電源Vsource朝接地點GND流動， 相互+連接點％之電位會發生變化，財财電位會降 f藉由檢測電路91來檢測此電位之降低，可檢測選取 器71之前端接觸到障礙物。於檢測電路91可使用電壓 十電机计、比較電阻r兩端電位差之比較器等可檢測 相互連接點92之電料低之n材。-旦檢測到相互連接 點92,電位降低，檢測電路91會將表示“接朗障礙物” 之訊號Sii£5fL至程序控制器1〇1。若程序控制器丨⑴接收 到表示“接觸到障礙物，，之訊號s，則程序控制器1〇1會對 搬送裝置7輸出停止選取器71前進之指令。搬送裝置7 接收到此和令會停止選取器71之前進。之後，搬送裝置 ^使得選取器71後退。之後，停止處理系統卜成為可進 行障礙物去除作業之狀態，或是當處理室為複數之情況 則進行暫時停止使用有障礙物之處理室之處置。 此外，第1導電性環81以及第2導電性環82雙方皆 為機械性接點。因此，當第丨導電性環81接觸於第2導電 性環82之際，有可能會發生抖動（chattering)。一旦發生 13 201231366 抖動，相互連接點92之電位會不斷降低與上升，一邊晃 動而逐漸收斂於接地電位。在發生抖動之過程中，檢測 電路91會不斷發出上述訊號s。 為了抑制此種情事，例如當觀測到電位降低持續 及於軟體之翻周期(㈣畴周期)之魏次的情況， 只要判斷為選取器71之前端“接觸到障礙物，，即可。控制 周期之一例為2〇ms。例如，當2〇1118之控制周期持續2次 Μ上觀測到電位降低之情況，檢測電路91係將上述訊號 送Λ至程序控制器1 〇 1。或是亦可當程序控制器1 〇 1持 續接收到2次以上之控制周期為20ms之S訊號之情況，程 序控制器101乃判斷選取||71之前端“接觸到障礙物”。 此外，依據此種判斷方式，可避免將前進後退時 之振動、旋轉時之離心力所致第1導電性環81與第2導電 ^環82之瞬間接觸判斷為“接觸到障礙物'因此，感應 器8關於“障礙物接觸”之判斷精度可提高，可抑制錯誤 檢測’此為優點所在。 如此般，第1實施形態之搬送裝置，感應器8具有 在選取器71前端以接地狀態設置之具可撓性之第1導電 性環81、以及設置於第丨導電性環8丨内側之第2導電性環 82。再者，感應器8亦具備有檢測器9，當處於接地狀態 之第1導電性環81因接觸於障礙物89而變形從而接觸於 第2導電性環82之時，可檢測第1導電性環81與第2導雷 性環82發生短路。 依據此種第1實施形態之搬送裝置’即使於減壓環 201231366 境下，亦可檢測出選取器71之前端接觸於障礙物，此為 優點所在。 (第2實施形態） 第2實施形態係關於可抑制障礙物之破壞的搬送 裝置之控制方法。 第2實施形態之搬送裝置之控制方法以作為上述 第1實施形態之搬送裝置之控制方法來適用為佳。 但是，第2實施形態之搬送裝置之控制方法非僅適 用於上述第1實施形態之搬送裝置，只要是具備有支撐 構件（選取器）(可前進後退、用以支撐搬送體者）以及感 應器（當此支撐構件前進時，檢測支撐構件之前端是否 接觸到障礙物）之搬送裝置皆可適用。 第2實施形態之搬送裝置之控制方法係以例如處 理室是否具有搬送體G來改變選取器71之前進速度。亦 即，以處理室是否具有搬送體G來改變滑動單元73對選 取器單元72之滑動控制。圖6係顯示本發明之第2實施形 態之搬送裝置之控制方法之一例的時間圖。圖6之縱軸 係表示選取器71之滑動速度，橫軸係表示時間。 (當處理室無搬送體之時） 例如，當處理室不具搬送體G之時，可認為選取器 71之前進前方“無障礙物”。因此，如圖6之上段波形所 示般，可使得選取器71在從共通搬送室内到處理室内之 既定位置（例如處理室内之搬送體G收授位置之全區間） 以最高速度Vmax來前進。 15 201231366 (當處理室具有搬送體之時） 例如，當處理室具有搬送體G之時，可視為選取器 71之前進前方“可能有障礙物存在，^因此，在本例中， 如圖6之下段波形所示般，並不使得選取器71從共通搬 送室到處理室内之搬送體G收授位置之全區間以^高速 度Vmax來前進。於本例中，在推斷為“應該有障礙物” 之區間（以下於本說明書中稱為確認區間ii)，選取器71 之前進速度係以限制在未達最高速度之限制速度〇lmt 為上限’來限制速度使之前進。 更詳細而言如圖6所示般，於初期位置例如從共通 搬送室内到確認區間ϋ之區間i並不對選取器71進^速 度限制而使其前進。於區間丨由於未進行速度限制，故 有時候選取器71會成為最南速度^/^狀β但是，當區間i 短之情況，如圖6所示一例般，有時在到達最高速度 Vmax之前會進入減速。 選取器71在進入確認區間i i之前會被減迷至限制 速度Vlmt。確認區間ϋ係對選取器71進行速度限制來以 限制速度Vlmt前進。若選取器71之前端接觸到障礙物， 速度會從限制速度Vlmt降到零，使得選取器71停止。此 時，直到選取器71停止之時間，由於速度受限，故相較 於速度未受限之情況能以較短達成。 在選取器71通過確認區間ϋ後’解除速度限制，使 得選取器71前進至處理室内之搬送體G收授位置（區間 in)。於區間iii，由於無速度限制，故如圖6所示一例， 201231366 有時選取器71會成為最高速度Vmax。但是，當區間iii 短之情況，有時於到達最高速度Vmax之前會進入減速。 圖7係顯示區間i、確認區間ii、區間iii之具體一例。 如圖7所示般，於處理室3a之收授位置具有搬送體 G，再者，搬送體G在收授位置受到上舉，顯示出等待 選取器71進出之狀態。 區間i係從選取器71退避於共通搬送室4之狀態到 確認區間ii之七為止之區間。 確認區間ii係配置於收授位置之搬送體G在共通搬 送室4側之前端前後之區間。將確認區間ii定為搬送體G 在共通搬送室4側之前端前後之理由乃因假想破裂之搬 送體G成為障礙物之故。 區間iii係從破認區間ii之末端到收授位置之區間。 該等區間i、確認區間ii、區間iii之分別長度當然可 依照搬送體G之尺寸、共通搬送室4與處理室3a之尺寸來 適宜改變。 其中，關於確認區間ii，從推定為“應該存在有障 礙物，，之場所例如配置於收授位置之搬送體G距離共通 搬送室4侧前端為90〜100mm之位置到從該前端往處理 室3a内侧達50〜60mm之位置以長度計為約140〜160mm 為佳。障礙物之一例為破裂之搬送體G。 依據此種第2實施形態’於推定為“應該存在有障礙 物”之確認區間i i，選取器71之前進速度係以限制在未滿 攻高逮度之限制速度Vlmt為上限。因此，即便選取器71

S 17 201231366 之别端接觸到障礙物，由於限制在限制速度vlmt，故具 有可抑制障礙物進一步之破壞的優點。 再者’即便感應器8判斷為‘‘接觸到障礙物，，之情 况，由於選取器71之前進速度限制在限制速度vlmt，而 可使得選取器71短時間内停止。 此外，以處理室不具搬送體G之時與具有搬送體G 之時來改變滑動單元73對選取器單元72之滑動控制，當 處理至不具搬送體G之時，則不限制選取器71之速度。 如此般，當處理室不具搬送體0之時，藉由不限制選取 器71之速度’可抑制搬送裝置7對搬送體G之搬入時間的 增加，可將處理系統1所致處理時間之增加壓到最低限 度，此為優點所在。 以上，依照實施形態說明了本發明，惟本發明不 受限於上述實施形態，可做各種變形。 例如，於上述第2實施形態係顯示了從共通搬送室 4到處理至3a來使得選取器71進出之例，惟亦可適用於 從共通搬送室4到加載互鎖室2來使得選取器71進出之 情況。 此外，於圖1等係顯示了搬送體G於感應器8上重疊 之狀態，此乃由於感應器8為了檢測選取器71之前端接 觸到破裂之搬送體G之故。因此，當選取器71並未支撐 搬送體G之狀態下，搬送體〇可重疊於感應器8上或當然 亦可不重疊。 此外，本發明可在不脫離其要旨之範圍内做各種 18 201231366 變形。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示本發明之第1實施形態之具備搬送裝置 之處理系統之一例的水平截面圖。 圖2A係沿圖1中之II — II線之截面圖（搬送裝置退避 之狀態）。 圖2B係沿圖1中之II - II線之截面圖（搬送裝置進出 之狀態）。 圖3A係顯示感應器之一例之立體圖。 圖3B係感應器之分解圖。 圖4A係顯示障礙物接觸於感應器之狀態之俯視 圖。 ：· 1- 圖4B係顯示障礙物接觸於感應器之狀態之俯視 圖。 圖4C係顯示障礙物接觸於感應器之狀態之俯視 圖。 圖5 A係顯示感應器之等效電路之一例之等效電路 圖。 圖5B係顯示感應器之等效電路之一例之等效電路 圖。 圖6係顯示本發明之第2實施形態之搬送裝置控制 方法之一例之時間圖。 圖7係顯示區間i、確認區間ii、區間iii之一例之截 面圖。 19 201231366 【主要元件符號說明】 8 感應器 9 檢測器 71 選取器（支撐構件) 81 第1導電性環 82 第2導電性環 89 障礙物

Claims (1)

1. 201231366 七、申請專利範圍：

   一種搬送裝置’係對搬送體進行搬送者 於係具備有： ;其特徵在 支撐構件，係可前進後退，用，、；+ ^ 祕 ^ ^ 交疋用从支撐該搬送 體，以及感應器，係檢測當該支撐構件前進之時， 該支撐構件之前端是否接觸到障礙物； 守 其中，該感應器包含有： 第1導電性環’係在該支撐構件之前端處於接 地狀態下所設置之具可撓性者； 第2導電性環，係於該第i導電性環之内側和該 第1導電性環相隔離設置者；以及 檢測器，係檢測當該第1導電性環接觸到該障 礙物而變形從而接觸到該第2導電性環之時，該第i 導電性環與該第2導電性環已成為短路。 2·如申請專利範圍第1項之搬送裝置，其中該第2導電 性環具可撓性。 3.如申請專利範圍第1或2項之搬送裝置，其中於該第 2導電性環之上料有朝外側延伸之電氣接觸端 子；且進一步具有： 基座，係裝設於該支撐構件之前端且具有凸 部； 絕緣性保持構件，係將該第丨導電性環與該第2 導電性環以相互絕狀狀態且分離之狀態來加以 保持；以及 21 201231366 檢測端子，其一端連接於該檢測器； 此外該第1導電性環與該第2導電性環係於下 述狀態下裝設於該支撐構件之前端：將該第1導電 性環之側面之一部份以該基座之凸部與該絕緣性 保持構件來挾持、將該電氣接觸端子載置於該絕緣 性保持構件之上面，且將該第2導電性環之側面抵 接於絕緣性保持構件； 該檢測端子之另一端係抵接於該電氣接觸端 子。 4. 如申請專利範圍第3項之搬送裝置，其中該支撐構 件呈接地狀態，該基座具導電性。 5. 如申請專利範圍第3項之搬送裝置，其中該檢測器 係檢測該檢測端子之一端的電位變化，來檢測該第 1導電性環與該第2導電性環是否已成為短路。 6. 一種處理系統，係具備有：共通搬送室；處理室， 係連接於該共通搬送室，對被處理體施以處理；以 及，搬送裝置，係配置於該共通搬送室，用以搬送 該被處理體；其特徵在於該搬送裝置係使用如申請 專利範圍第1至5項中任一項之搬送裝置。 7. 如申請專利範圍第6項之處理系統，其中該處理室 以及該搬送室係以内部可成為減壓狀態之氣密容 器所構成。 8. 如申請專利範圍第6或7項之處理系統，其中該處理 室係對該被處理體施以熱處理。 22 201231366 9. 一種搬送裝置之和制方、>，兮w 搬送體之搬送，=支二搬送裝置係用以進行 用以支撐搬# ΐ ·Λ件，係可前進後退， 件前進之時，兮支二構=盗’係檢測當該支撐構 物；其特徵切否接觸到障礙 之步Ϊ得該切構件朝既定位置以第1速度來前進 於該既定位置之前、確認有無該障礙物 的確"區間，以比該第1速度為慢之第2速度來使得 該支撐構件朝該既定位置前進之步驟；以及來使件 於通過該確認區間之後，以比該 之第3速度來使得該支撐構件朝該既g “二 步驟。 10·如申請專利範圍第9項之搬送裝置之控制方法，其 中該感應n係使用如中請專利範圍第⑴項中ς 一項之感應器。 、 11· -種電腦可讀取式域媒體，係儲存有在電腦上動 作而對搬送搬㈣之料裝置進行㈣之控制程 式；其特徵在於雜制程式於實行時係控制該搬送 裝置以進行如申請專利範圍第9項之控制方法。 S 23