TW201201265A - Manufacturing apparatus of semiconductor device - Google Patents

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TW201201265A
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TW
Taiwan
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coating
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hand
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TW100114161A
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Chinese (zh)
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Satoru Hara
Shingo Tamai
Akihiro Shigeyama
Michio Ogawa
Hitoshi Aoyagi
Hiroyuki Tanaka
Original Assignee
Shibaura Mechatronics Corp
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0448—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

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