JP2014185358A - レーザを用いる焼結体膜形成方法及び焼結体膜形成装置 - Google Patents
レーザを用いる焼結体膜形成方法及び焼結体膜形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014185358A JP2014185358A JP2013059848A JP2013059848A JP2014185358A JP 2014185358 A JP2014185358 A JP 2014185358A JP 2013059848 A JP2013059848 A JP 2013059848A JP 2013059848 A JP2013059848 A JP 2013059848A JP 2014185358 A JP2014185358 A JP 2014185358A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- laser
- metal nanoparticle
- nanoparticle dispersion
- sintered body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Abstract
【解決手段】金属ナノ粒子を分散させた金属ナノ粒子分散液を、塗布装置2を介して基板1上に塗布し、この金属ナノ粒子分散液の塗布領域にレーザ光照射装置5によりレーザ光を照射して基板上に金属焼結体膜を形成する方法及び装置であって、金属ナノ粒子分散液の塗布を、分散液の濡れ性が変化しないように加温装置により基板を一定の温度に維持しながら行ない、且つレーザ光照射により金属ナノ粒子を焼結する場合には、大気中においてレーザ光照射部位に不活性ガスを吹き付けながら行なうように構成する。
【選択図】図4
Description
(塗布工程)
塗布工程では、塗布装置として、例えばインクジェット装置(図1により後述する)またはニードル式ディスペンサ(図7により後述する)を用いて、金属基板または絶縁基板に金属ナノ粒子分散液を塗布する。
(予備加熱工程)
予備加熱工程は、金属ナノ粒子分散液に含有される溶剤を蒸散除去することが目的である。予備加熱温度は、30℃から主たる溶剤の沸点以下の温度である。例えば、上記規定温度範囲内を条件として、基板を、ホットプレート等の加熱装置により100℃近傍までの温度で60秒〜10分程度加熱する。これらの温度、時間は、適宜任意に設定すればよい。
(レーザ光照射工程)
レーザ焼結に用いるレーザ光照射装置の種類は限定するものではなく、一例をあげれば、YAGレーザやファイバーレーザなどが使用され、波長800〜1100nm、出力は5〜200Wの範囲である。好ましくは、レーザ出力20〜200W、ビームスポット径10〜500μmである。ビームスポット径は微小であるため、位置ずれした場合、金属ナノ粒子分散液を塗布した領域にレーザ光が照射できない恐れがある。そのような事態をなくすため、レーザ光照射工程においても、塗布工程と同様に基板ひいてはレーザ光照射位置の正確な位置決めが必要である。塗布装置と同様にガイドピン方式、カメラアライメント方式を使用して、レーザ焼結装置の正確な位置に基板をセットする。
(全体構成)
基板導入―基板への金属ナノ粒子分散液塗布工程−レーザ焼結工程−基板搬出の一連の流れを効率良く、且つ微細な焼結膜形成を精度良くするために、次のような構成を提案する。焼結体膜を形成すべき基板の受入れステージから払出しステージに該基板を搬送するための搬送装置を設け、受入れステージから払出しステージの間の基板搬送ラインに、塗布工程(塗布装置)、予備加熱工程(加熱装置)、及びレーザ光照射工程(レーザ光照射装置)が行われるそれぞれのステージと基板の位置調整を行うプリアライメント工程(プリアライメント)のステージとを設け、基板を所定のシーケンスに沿ってこれらの工程のステージ間に搬送装置を介して行き来させる。各工程間を、手動搬送または搬送装置による自動搬送を実施することで、高精度高密着金属ナノ粒子焼結体膜の製造ラインが実現される。
(その他)
厚生労働省から「ナノマテリアルに対するばく露防止等のための予防的対応について」( 基発第0331013号 平成21年3月31日付)の通達が出されている。金属ナノ粒子分散液にレーザ光照射すると、溶剤が蒸散するが、一部の金属ナノ粒子も飛散してしまう恐れがある。これに対応して、レーザ焼結部にHEPAフィルタ(High Efficiency Particulate Air Filter)などのエアーフィルタを用いた排気フードを取り付けることでばく露防止措置を施すことも可能である。
(実施例1)
図1は本発明のレーザ焼結法を実施するための装置の一実施例に係る概略構成図である。
(実施例2)
実施例2は、実施例1で採用した基板1の位置決め方式をガイドピン方式からカメラアライメント方式に変えたものであり、その他は、実施例1の構成と同様である。
(実施例3)
実施例3は、実施例1で実行される図5のようなレーザの定点照射方式から図3のようにレーザ光走査方式(ガルバノ方式)に変えたものである。ガルバノ方式自体は、公知であるので、説明を省略する。
(実施例4)
実施例4は、金属ナノ粒子分散液塗布装置として、実施例1のインクジェット装置からニードル式ディスペンサ装置に変えたものである。図7に示すように、ニードル式ディスペンサは、金属ナノ粒子分散液をインク溜め22に保持し、インク溜めの中をニードル21が貫通し、ニードル21が基板1に押し付けられることにより、ニードル21の先端に付いた金属ナノ粒子分散液が基板1に転写(符号23で示す)される。
(実施例5)
本実施例では、基板1が樹脂製の場合である。樹脂基板の代表であるガラスエポキシ基板のガラス転移温度は120℃〜160℃である。一方金属ナノ粒子分散液の焼結温度は、溶剤の沸点250℃以下の温度が必要である。したがって、金属ナノ粒子分散液を塗布していない樹脂基板に焼結と同等のレーザ光照射をすると基板を損傷させてしまう可能性がある。本実施例ではかような事態が生じないように、レーザ光照射工程では、金属ナノ粒子分散液が塗布しているところは、レーザ光照射を行い、金属ナノ粒子分散液が塗布していない部分については一旦レーザ光照射を停止する。そして基板1をXY軸ステージにより移動させたのち、金属ナノ粒子分散液を塗布した部分がレーザ焦点位置に来た時、再度レーザ光照射を開始する。その他の構成は、実施例1〜4と同様である。
(実施例6)
金属ナノ粒子分散液は、使用時には室温、保管時には、0〜10℃により低温保管して性能を保証する必要がある。
(実施例7)
図10に実施例1〜6の焼結体膜形成装置で実行されるレーザ光照射工程のその他の例を示す。本実施例では、基板1に広範囲に金属ナノ粒子分散液を塗布した場合の焼結方法である。広範囲の焼結は、金属ナノ粒子分散液の塗布範囲P全部にレーザ光照射することはなく、例えば、1〜10mmの一定間隔で繰返しレーザ光照射Sを行うことにより、レーザ光照射周辺部分についても基板の熱伝導で焼結温度となり、金属ナノ粒子焼結体膜が形成される。例として、銅基板で1mm角の範囲に金ナノ粒子分散液を塗布した場合、塗布範囲中心線に沿ってスポット直径200μmのビーム照射で塗布範囲全体を焼結することができる。さらに塗布範囲が広範囲になる場合は、繰返しビーム照射することにより広い面積での焼結体膜の成膜が可能である。
(実施例8)
図11に示す実施例では、焼結体膜形成装置100の構成が図1及び図4に示すものと一部異なる。異なる点は、図1及び図4に示すような専用の予備加熱装置(ホットプレート3)を設けず、レーザ光照射装置5の基板搭載ステージ5´に基板1を加熱する加熱装置3を設ける。この加熱装置3が、レーザ光照射前に前記基板を予備加熱する手段と、レーザ光照射中に基板1をアシスト加熱する手段として兼用するように構成されている。
(実施例9)
実施例1〜9のレーザ光照射工程は、予備加熱された金属ナノ粒子分散液にレーザ光照射することで、残った溶剤を蒸散させながら金属ナノ粒子を焼結させる。溶剤を蒸散させとともに一部の金属ナノ粒子も飛散させることになり、人体防護も必要となる。
Claims (17)
- 金属ナノ粒子を分散させた金属ナノ粒子分散液を、塗布装置を介して基板上に塗布する塗布工程と、この金属ナノ粒子分散液の塗布領域にレーザ光を照射して基板上に金属焼結体膜を形成するレーザ光照射工程と、を有し、
前記塗布工程は、前記金属ナノ粒子分散液の濡れ性が変化しないように加温装置により前記基板を一定の温度に維持しながら行なわれ、
前記レーザ光照射工程は、大気中でレーザ光照射部位に不活性ガスを吹き付けながら行なわれることを特徴とするレーザを用いた焼結体膜形成方法。 - 前記塗布工程後に、前記基板上の前記金属ナノ粒子分散液を、30℃から前記金属ナノ粒子分散液の沸点以下の温度で予備加熱して前記溶媒を蒸発除去する予備加熱工程を有し、前記レーザ光照射工程では、予備加熱された前記金属ナノ粒子分散液の塗布領域にレーザ光を照射して基板上に前記金属焼結体膜を形成する請求項1記載のレーザを用いた焼結体膜形成方法。
- 前記レーザ光照射工程では、前記基板をレーザ光照射工程用のステージに設けた加熱装置により、30℃から前記金属ナノ粒子分散液の沸点以下の温度で加熱しながら、基板上の前記金属ナノ粒子分散液の塗布領域に前記レーザ光を照射して前記金属焼結体膜を形成する請求項1又は2記載のレーザを用いた焼結体膜形成方法。
- 前記レーザ光照射工程用に用いる基板搭載ステージに基板を加熱する加熱装置が設けられ、この加熱装置を、塗布工程後に前記基板を予備加熱する予備加熱工程の加熱手段と、前記レーザ光照射光工程時に基板をアシスト加熱する加熱手段として兼用する請求項1記載のレーザを用いた焼結体膜形成方法。
- 前記塗布工程及び予備加熱工程は、交互に繰り返し複数回行われるようにしてレーザ光照射工程前の前記金属ナノ粒子分散液の膜厚を所定の厚みに設定する請求項2又は4記載のレーザを用いた焼結体膜形成方法。
- 前記焼結体膜を形成すべき基板の受入れステージから払出しステージに該基板を搬送するための搬送装置を設け、前記受入れステージから前記払出しステージの間の基板搬送ラインに、前記塗布工程、前記予備加熱工程、及び前記レーザ光照射工程が行われるそれぞれのステージと前記基板の位置調整を行うプリアライメント工程のステージとを設け、前記基板を所定のシーケンスに沿ってこれらの工程のステージ間に前記搬送装置を介して行き来させて前記各工程が行われる請求項2、4又は5記載のレーザを用いた焼結体膜形成方法。
- 前記塗布装置としてインクジェット装置或いはニードル式ディスペンサが用いられ、前記塗布工程では、電子データで保持されたパターンに従い基板上に前記金属ナノ粒子分散液が塗布され、同様に前記レーザ光照射工程は、前記電子データで保持されたパターンに従い行われる請求項1ないし6のいずれか1項記載のレーザを用いた焼結体膜形成方法。
- 前記基板上に塗布される前記金属ナノ粒子分散液の塗布領域が前記レーザビームを走査する必要があるほど広範囲である場合、前記レーザ光照射工程では、前記塗布領域の全てに前記レーザ光を照射せず、1〜10mmの一定間隔をあけてレーザ光照射を走査することで前記金属焼結体膜を形成する請求項1ないし7のいずれか1項記載のレーザを用いた焼結体膜形成方法。
- 金属ナノ粒子を分散させた金属ナノ粒子分散液を基板上に塗布する塗布装置と、この金属ナノ粒子分散液の塗布領域にレーザ光を照射して基板上に金属焼結体膜を形成するレーザ光照射装置と、を有し、
前記塗布装置における基板搭載ステージには、前記金属ナノ粒子分散液の濡れ性が変化しないように前記基板を一定の温度に維持する加温装置が設けられ、
前記レーザ光照射装置には、レーザ光照射部位に不活性ガスを吹き付ける不活性ガス供給機構が備わっていることを特徴とするレーザを用いた焼結体膜形成装置。 - 前記基板上に塗布された前記金属ナノ粒子分散液を、30℃から前記金属ナノ粒子分散液の沸点以下の温度で予備加熱して前記溶媒を蒸発除去する加熱装置を有し、前記レーザ光照射装置は、予備加熱後の前記金属ナノ粒子分散液の塗布領域に前記レーザ光を照射するように構成されている請求項9記載のレーザを用いた焼結体膜形成装置。
- 前記レーザ光照射装置の基板搭載用ステージには、前記基板を加熱する加熱装置が設けられ、この加熱装置により前記基板を30℃から前記金属ナノ粒子分散液の沸点以下の規定温度で加熱しながら、前記レーザ光照射装置が基板上の前記金属ナノ粒子分散液の塗布領域に前記レーザ光を照射するように構成されている請求項9又は10記載のレーザを用いた焼結体膜形成装置。
- 前記レーザ光照射工程用に用いる基板搭載ステージに前記基板を加熱する加熱装置が設けられ、この加熱装置が、レーザ光照射前に前記基板を予備加熱する手段と、レーザ光照射中に前記基板をアシスト加熱する手段として兼用するように構成されている請求項9記載のレーザを用いた焼結体膜形成装置。
- 前記焼結体膜を形成すべき基板の受入れステージから払出しステージに該基板を搬送するための搬送装置を備え、
前記受入れステージから前記払出しステージの間の基板搬送ラインに、前記塗布装置、前記加熱装置及び前記レーザ光照射装置の各ステージと前記基板の位置調整を行うプリアライメント用のステージとが設けられ、前記基板を所定のシーケンスに沿ってこれらのステージ間に前記搬送装置を介して行き来させる構成の請求項10、11又は12記載のレーザを用いた焼結体膜形成装置。 - 前記金属ナノ粒子分散液の供給源となる金属ナノ粒子分散液貯蔵ボトルを備え、このボトルは、液冷却装置を備える請求項9〜13のいずれか1項記載のレーザを用いた焼結体膜形成装置。
- 前記ボトルから前記塗布装置に前記金属ナノ粒子分散液を供給する液供給配管を備え、この配管の途中には三方弁が設けられ、この三方弁を制御して、金属焼結体膜の形成作業時には前記ボトルから前記塗布装置に金属ナノ粒子分散液が供給され、金属焼結体膜の形成作業終了後には、溶剤ボトルに貯蔵された溶剤のみを前記塗布装置のヘッド及び配管に供給して配管及びヘッドに残留したインクを除去するよう構成した請求項14記載のレーザを用いた焼結体膜形成装置。
- 前記レーザ光照射時の金属ナノ粒子の飛散を、エアーフィルタを介して防止する排気装置又は機内循環による空調設備を備えた請求項9ないし15のいずれか1項記載のレーザを用いた焼結体膜形成装置。
- 前記金属ナノ粒子分散液塗布装置,加熱装置,レーザ装置の各ステージをエリア分けして複数基板をセット出来るようにし、複数同時に塗布,乾燥または焼結を行うよう構成した請求項9ないし16のいずれか1項記載のレーザを用いた焼結体膜形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013059848A JP2014185358A (ja) | 2013-03-22 | 2013-03-22 | レーザを用いる焼結体膜形成方法及び焼結体膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013059848A JP2014185358A (ja) | 2013-03-22 | 2013-03-22 | レーザを用いる焼結体膜形成方法及び焼結体膜形成装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014185358A true JP2014185358A (ja) | 2014-10-02 |
Family
ID=51833203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013059848A Pending JP2014185358A (ja) | 2013-03-22 | 2013-03-22 | レーザを用いる焼結体膜形成方法及び焼結体膜形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014185358A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016072010A1 (ja) * | 2014-11-07 | 2016-05-12 | 富士機械製造株式会社 | 配線形成方法および回路基板 |
JP2017002364A (ja) * | 2015-06-11 | 2017-01-05 | 古河電気工業株式会社 | 表面被覆金属微粒子の分散溶液、ならびにこの分散溶液の塗布および焼結する工程を含む、焼結導電体および導電接続部材の製造方法 |
JPWO2016075793A1 (ja) * | 2014-11-13 | 2017-04-27 | エス・オー・シー株式会社 | チップヒューズの製造方法及びチップヒューズ |
WO2019054458A1 (ja) * | 2017-09-15 | 2019-03-21 | Ntn株式会社 | 液体材料塗布方法、液体材料塗布機構および液体材料塗布装置 |
KR20190048344A (ko) * | 2017-10-31 | 2019-05-09 | 금오공과대학교 산학협력단 | 고분해능의 대면적 미세 패턴 제조 방법 및 그 방법으로 제조된 평판 디스플레이 |
JP2019201140A (ja) * | 2018-05-17 | 2019-11-21 | スタンレー電気株式会社 | 多層回路基板、および、その製造方法 |
KR20190132324A (ko) * | 2017-10-31 | 2019-11-27 | 금오공과대학교 산학협력단 | 고분해능의 대면적 미세 패턴 제조 방법 및 그 방법으로 제조된 평판 디스플레이 |
CN113395837A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-09-14 | 广东工业大学 | 一种纳米金属线路及结构的湿法激光成形方法 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61204380A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-10 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 表面被覆金属層の作成方法 |
JP2002270505A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザアニール装置及び方法 |
JP2004241701A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-08-26 | Seiko Epson Corp | 機能液保管方法、配線パターン形成方法、導電膜配線、電気光学装置及び電子機器 |
JP2006026602A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Harima Chem Inc | 金属微粒子焼結体型の薄膜導電体層の形成方法、該方法を応用した金属配線ならびに金属薄膜の形成方法 |
JP2006100381A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Seiko Epson Corp | 導電膜の形成方法及び電子機器 |
JP2007040862A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 異物検査装置および異物検査方法 |
JP2008135599A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Seiko Epson Corp | パターン形成方法及び回路基板 |
WO2009072603A1 (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-11 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | パターン描画方法および装置 |
JP2009291684A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Fujifilm Corp | 機能性膜パターン形成方法 |
JP2010171308A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Panasonic Corp | 配線形成方法 |
JP2011127851A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Takenaka Komuten Co Ltd | 微粒子の飛散防止機能を備えた、排気路のフィルタ交換のためのシステム |
JP2011152504A (ja) * | 2010-01-26 | 2011-08-11 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置の洗浄方法 |
JP2011252202A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Hitachi Cable Ltd | ナノ粒子焼結膜の成膜方法 |
-
2013
- 2013-03-22 JP JP2013059848A patent/JP2014185358A/ja active Pending
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61204380A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-10 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 表面被覆金属層の作成方法 |
JP2002270505A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザアニール装置及び方法 |
JP2004241701A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-08-26 | Seiko Epson Corp | 機能液保管方法、配線パターン形成方法、導電膜配線、電気光学装置及び電子機器 |
JP2006026602A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Harima Chem Inc | 金属微粒子焼結体型の薄膜導電体層の形成方法、該方法を応用した金属配線ならびに金属薄膜の形成方法 |
JP2006100381A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Seiko Epson Corp | 導電膜の形成方法及び電子機器 |
JP2007040862A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 異物検査装置および異物検査方法 |
JP2008135599A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Seiko Epson Corp | パターン形成方法及び回路基板 |
WO2009072603A1 (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-11 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | パターン描画方法および装置 |
JP2009291684A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Fujifilm Corp | 機能性膜パターン形成方法 |
JP2010171308A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Panasonic Corp | 配線形成方法 |
JP2011127851A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Takenaka Komuten Co Ltd | 微粒子の飛散防止機能を備えた、排気路のフィルタ交換のためのシステム |
JP2011152504A (ja) * | 2010-01-26 | 2011-08-11 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置の洗浄方法 |
JP2011252202A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Hitachi Cable Ltd | ナノ粒子焼結膜の成膜方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016072010A1 (ja) * | 2014-11-07 | 2016-05-12 | 富士機械製造株式会社 | 配線形成方法および回路基板 |
JPWO2016072010A1 (ja) * | 2014-11-07 | 2017-08-17 | 富士機械製造株式会社 | 配線形成方法および回路基板 |
US10212823B2 (en) | 2014-11-07 | 2019-02-19 | Fuji Corporation | Wiring forming method and circuit board |
JPWO2016075793A1 (ja) * | 2014-11-13 | 2017-04-27 | エス・オー・シー株式会社 | チップヒューズの製造方法及びチップヒューズ |
JP2017002364A (ja) * | 2015-06-11 | 2017-01-05 | 古河電気工業株式会社 | 表面被覆金属微粒子の分散溶液、ならびにこの分散溶液の塗布および焼結する工程を含む、焼結導電体および導電接続部材の製造方法 |
WO2019054458A1 (ja) * | 2017-09-15 | 2019-03-21 | Ntn株式会社 | 液体材料塗布方法、液体材料塗布機構および液体材料塗布装置 |
KR20190048344A (ko) * | 2017-10-31 | 2019-05-09 | 금오공과대학교 산학협력단 | 고분해능의 대면적 미세 패턴 제조 방법 및 그 방법으로 제조된 평판 디스플레이 |
KR20190132324A (ko) * | 2017-10-31 | 2019-11-27 | 금오공과대학교 산학협력단 | 고분해능의 대면적 미세 패턴 제조 방법 및 그 방법으로 제조된 평판 디스플레이 |
KR102089581B1 (ko) * | 2017-10-31 | 2020-03-16 | 금오공과대학교 산학협력단 | 고분해능의 대면적 미세 패턴 제조 방법 및 그 방법으로 제조된 평판 디스플레이 |
KR102253704B1 (ko) | 2017-10-31 | 2021-05-18 | 금오공과대학교 산학협력단 | 고분해능의 대면적 미세 패턴 제조 방법 및 그 방법으로 제조된 평판 디스플레이 |
JP2019201140A (ja) * | 2018-05-17 | 2019-11-21 | スタンレー電気株式会社 | 多層回路基板、および、その製造方法 |
US11355684B2 (en) | 2018-05-17 | 2022-06-07 | Stanley Electric Co., Ltd. | Multilayer circuit substrate and manufacturing method thereof |
JP7137354B2 (ja) | 2018-05-17 | 2022-09-14 | スタンレー電気株式会社 | 多層回路基板、および、その製造方法 |
CN113395837A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-09-14 | 广东工业大学 | 一种纳米金属线路及结构的湿法激光成形方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2014185358A (ja) | レーザを用いる焼結体膜形成方法及び焼結体膜形成装置 | |
EP2917931B1 (en) | Method for bonding bare chip dies | |
US20090011143A1 (en) | Pattern forming apparatus and pattern forming method | |
JP6726215B2 (ja) | フラッシュランプおよびマスクを使用して複数のチップをはんだ付けするための装置および方法 | |
JP2014170973A (ja) | パターンの製造方法 | |
KR20140001118A (ko) | 본딩장치 | |
JP2012096286A (ja) | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び絶縁膜形成装置 | |
JP2004119430A (ja) | 接合装置および方法 | |
KR20060096422A (ko) | 감열성 중규모 증착을 위한 레이저 공정 | |
US6797926B2 (en) | Apparatus and method for bonding electronic component, circuit board, and electronic component mounting apparatus | |
JP2009000636A (ja) | パターン形成装置およびパターン形成方法、それを用いて作製されたデバイスおよび該デバイスを有する電子機器 | |
CN115835936A (zh) | 用于封装制造的激光烧蚀系统 | |
TW201201265A (en) | Manufacturing apparatus of semiconductor device | |
JP6043323B2 (ja) | 金属被膜形成品の製造システム及び金属被膜形成品の製造方法 | |
KR102228432B1 (ko) | 레이저 리플로우 장치의 레이저 가압 헤드 모듈 | |
KR101204307B1 (ko) | 레이저를 이용한 미세 구리배선 제작방법 및 레이저를 이용한 미세 구리배선 제조장치 및 그 제작방법으로 제조된 미세 구리배선 | |
KR102376989B1 (ko) | 선형 이송 방식의 레이저 리플로우 장치 | |
JP4370151B2 (ja) | 配線補修方法および配線補修装置 | |
KR20200129437A (ko) | 레이저 리플로우 장치의 레이저 리플로우 방법 | |
KR102377003B1 (ko) | 선형 이송 방식의 레이저 리플로우 방법 | |
KR20200129435A (ko) | 레이저 리플로우 장치의 본딩대상물 이송 모듈 | |
KR100391225B1 (ko) | 반도체 기판의 표면처리 장치 및 방법 | |
US20230413449A1 (en) | Method for fabricating electronic circuit and metal ion solution | |
KR20180108935A (ko) | 미세 배선 형성 방법 | |
CN214291265U (zh) | 一种回流焊接装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150825 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151026 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160405 |