201131160 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於檢測出液晶顯示面板或電漿顯示器等之 顯示面板中之缺陷畫素之位址的缺陷畫素位址檢測方法以 及檢測裝置。 【先前技術】 在液晶顯示面板等之顯示面板中，通常在晶胞工程之 最終檢査，實際使面板點燈，執行調查有無缺陷畫素之點 燈檢查。點燈檢查雖然係藉由從外部對連接有成爲檢查對 象之顯示面板之畫素的訊號線供給訊號而執行，但是該訊 號之供給方式大致分爲全面接觸（Full Contact)方式和 短路片（shorting bar)方式的兩種。 全面接觸方式爲以1對1對應於X、Y之各訊號線之電 極，且該X、Y各訊號線係對應主動矩陣基板之方式，使 檢查探針接觸而點燈顯示面板之方式，因可以使各個畫素 個別點燈，故原則上可特定缺陷畫素之位址。但是，爲了 以全面接觸方式實際特定缺陷畫素之位址，必須以訊號產 生器執行檢查對象面板之點燈控制，並算出位址，但是具 備位址算出功能之訊號產生器，一般而言價格高，故有爲 了以全面接觸方式檢測出缺陷畫素之位址，裝置之價格變 高之缺點。 另外，短路片方式因係連接多數訊號線之電極並予以 共同化，一次對多數畫素供給訊號一起點燈之方式，故即 -5- 201131160 使發現缺陷畫素，要特定其缺陷畫素之位址，通常非常困 難。 爲了解決短路片方式中之上述缺點，在例如專利文獻 1中，提案有根據與成爲檢查對象之液晶面板對向配置之 被稱爲調制器的面板，和與其調制器具有一定位置關係， 使用捕捉調制器之表面以當作一張畫像之CCD攝影機，根 據以CCD攝影機攝影之畫像和液晶面板之畫素位址之對應 關係，檢測出缺陷畫素之位址的裝置。但是，在該裝置中 ，需要感度佳之CCD攝影機或顯示面板尺寸之調制器，有 無法便宜構成檢查裝置之缺點。 [先行技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本特開平9-500 1 3號公報 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 本發明之課題係爲了解決上述以往點燈檢査裝置具有 之缺點而硏究出，提供不需要價格高之訊號產生器和調制 器等之裝置，可以藉由便宜手段精度高檢測出缺陷畫素之 位址的缺陷畫素位址檢測方法和缺陷畫素位址檢測裝置。 [用以解決課題之手段] 本發明者爲了解決上述課題，精心硏究之結果，找出 -6- 201131160 使用可以攝影成爲檢查對象之顯示面板之一部分的可移動 攝影裝置，使其攝影裝置移動而攝影被發現之缺陷畫素， 從在攝影到之畫像上特定缺陷畫素之位置之時之該攝影裝 置之移動距離，和成爲檢查對象之顯示面板中之與畫素尺 寸以及其配列形態有關之資訊，求出缺陷畫素之位址，完 成本發明。 即是，本發明係藉由提供缺陷畫素位址檢測方法來解 決上述課題，其係用以檢測出由多數畫素所構成之顯示面 板中之缺陷畫素之位址的方法，包含以下之工程的缺陷畫 素位址檢測方法， (a)將成爲檢查對象之顯示面板設置在檢查部，予 以點燈之工程； (b )檢查點燈後之顯示面板中有無缺陷畫素之工程 » (c) 當發現缺陷畫素時，使上述攝影裝置移動而攝 影缺陷畫素，在被攝影到之畫像上特定缺陷畫素之位置的 工程；和 (d) 根據被特定之缺陷畫素之畫像上之位置和從上 述攝影裝置之原點朝X、Y軸方向移動之移動距離’以及 與該顯示面板中之畫素尺寸和其配列形態有關之資訊’求 出被特定之缺陷畫素之顯示面板中之位址的工程。 再者，本發明係藉由提供缺陷畫素位址檢測裝置來解 決上述課題，該缺陷畫素位址檢測裝置係具備：至少具有 設置台和探針單元，可以點燈成爲檢查對象之顯示面板的 201131160 檢查部：對被設置在檢查部之顯示面板，可在χ' 向移動之攝影裝置；測量上述攝影裝置之X、Y軸 移動距離的測量裝置；顯示以上述攝影裝置攝影之 顯示裝置；記憶與成爲檢查對象之上述顯示面板中 之尺寸和其配列形態有關之資訊之記憶裝置；和被 制成當在顯示在上述顯示裝置之畫像上，缺陷畫素 被特定時，則根據在其缺陷畫素之該畫像上之位置 之上述攝影裝置之X、Y軸方向之移動距離，以及 於上述記憶裝置之與上述顯示面板中之畫素尺寸和 形態有關之資訊，求出上述顯示面板中之缺陷畫素 的位址運算裝置。 在本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝 使用可移動之攝影裝置，設置補正成爲該攝影裝置 軸之X、Y軸，和成爲檢查對象之顯示面板中之X、 偏移的校正工程或校正裝置爲佳。成爲攝影裝置之 的X、Y軸，和成爲爲檢查對象之顯示面板中之X、 偏移，係例如可以藉由可移動之攝影裝置攝影設置 面板之兩邊的合適3處的對準標記，藉由讀取該些 記之X-Y座標而求出。如此之校正工程或校正裝置 變更成爲檢查對象之顯示面板之品種之時被執行爲 由設置校正工程或校正裝置，僅補正每品種不同之 置之X、Y移動軸對顯示面板中之X、Y軸之變形， 確檢測出缺陷畫素位址。 再者，在本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及 Y軸方 方向之 畫像的 之畫素 程式控 之位置 和此時 被記憶 其配列 之位址 置中， 之移動 Y軸之 移動軸 Y軸之 在顯不 對準標 係以在 佳。藉 攝影裝 可更正 檢測裝 -8- 201131160 置中，以設置面板傾斜補正工程或面板傾斜補正裝置爲佳 。成爲檢查對象之顯示面板雖然於每次重新被裝載於檢查 部時對準於所期待之檢查位置，但是因每顯示面板可能產 生些許偏移，故尤其於發現缺陷畫素時，藉由面板傾斜補 正工程或面板傾斜補正裝置，補正該顯示面板之傾斜爲佳 。面板傾斜補正工程或面板傾斜補正裝置係藉由例如以可 移動之攝影裝置攝影被設置在顯示面板之一邊的至少兩處 對準標記，讀取其X、γ座標，求出在先前校正工程或校 正裝置中所求出之對應的兩處對準標記之X-Y座標之差， 根據該差，在校正工程中所取得之X軸及/或Y軸座標軸之 偏移量而執行。 並且，在本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝 置中，以設置顏色確認工程或顏色確認裝置爲佳。於彩色 顯示之時，通常顯示面板因係規則配列R G B三色之畫素而 被構成，故攝影裝置若爲彩色攝影裝置時，可以藉由觀看 以攝影裝置所攝影之缺陷畫素周圍之畫素的顏色，容易判 別在畫像上所特定之缺陷畫素之顏色爲RGB中之哪一個。 因此，確認缺陷畫素之被判別的顏色，是否與對應於所求 出之缺陷畫素之位址之顯示面板中之畫素之顏色一致，於 一致之時，將其位址當作欲求出之缺陷畫素之位址而予以 採用，於不一致之時，選擇最接近於其位址，與該被判別 之顏色相同顏色之畫素之位址而將其當作欲求出之缺陷畫 素之位址而採用，依此可以更提高缺陷畫素位址之檢測精 度。 201131160 並且，在本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝 置之較佳態樣中，設置移位補正工程或移位補正裝置。移 位補正工程或移位補正裝置係當發現缺陷畫素之時，使上 述攝影裝置移動而攝影與缺陷畫素相同之X軸及/或Y軸座 標上之顯示面板之畫素矩陣之邊部附近，求出該邊部附近 之畫素對上述攝影裝置之X軸及/或Y軸原點移位至哪個方 向移位多少，將此利用於檢測出缺陷畫素位址。如此一來 ，於設置有移位補正工程或移位補正裝置之時，即使在上 述顏色確認工程或顏色確認裝置中無法充分特定缺陷畫素 之位址之時，亦可更正確求出缺陷畫素位址。 再者，在本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝 置之較佳態樣中，設置位址補正工程或位址補正裝置。位 址補正工程或位址補正裝置係記憶針對先前之缺陷畫素所 執行之依據顏色確認工程或顏色確認裝置的畫素位址之補 正値，或依據移位補正工程或移位補正裝置之畫素位址之 補正値，根據該補正値，補正在相同顯示面板中後續求出 缺陷畫素之位址。該位址補正工程或位址補正裝置係於以 攝影裝置所攝影之畫像上之缺陷畫素之位置，和實際上之 顯示面板上之缺陷畫素之位置之偏移方向及偏移量，在相 同顯示面板中不管顯示面板上之缺陷畫素之位置，視爲幾 乎相同之時爲有效。於具備有該位址補正工程或位址補正 裝置之時，則取得當一次藉由顏色確認工程或移位補正工 程求出位址之補正値時，針對之後被檢測出之缺陷畫素， 則不需要執行顏色確認工程或移位補正工程之優點。 -10- 201131160 本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及 用於全面接觸方式及短路片方式中之任一 對象之顯示面板也不限定於液晶顯示面板 素構成之顯示面板，亦可將任何類型之顯 。例如，電漿顯示面板、EL顯示面板、使 板、FED面板等也可以設爲本發明之缺陷 法以及檢測裝置對象。 [發明效果] 本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及 用可移動之攝影裝置，由其攝影裝置之移 檢查對象之顯示面板中之與畫素尺寸以及 之資訊，求出缺陷畫素之位址，故有裝置 製造，並且可以求出缺陷畫素之正確位址 藉由校正工程或裝置、面板傾斜補正工程 認工程或裝置、或移位補正工程或裝置， 測出缺陷畫素位址之優點。 【實施方式】 以下，使用圖面詳細說明本發明，但 限定於圖示者。 第1圖爲本發明之缺陷畫素位址檢測 視圖。在第1圖中，1爲缺陷畫素位址檢'1 查部，3爲裝載部，4爲成爲檢體對象之顯 檢測裝置亦可適 點燈方式，成爲 ，若爲由多數畫 示面板設爲對象 用LED之顯示面 畫素位址檢測方 檢測裝置，因使 動距離，和成爲 其配列形態有關 簡單，並可便宜 的優點。再者， 或裝置、顏色確 有可精度更高檢 是本發明當然不 裝置之一例的前 丨裝置，2爲其檢 示面板。在本例 -11 - 201131160 中，雖然針對顯示面板4爲液晶面板之情形予以說明’但 是本發明成爲對象之顯示面板4並不限定於液晶面板之情 形係如同上述般。5 a、5 b各爲資料側探針單元及閘極側探 針單元，6a、6b各爲資料側探針區及資料側探針區。如圖 示般，在資料側探針單元5 a及閘極側探針單元5 b之各個’ 各安裝有多數資料側探針區6&及閘極側探針區6b。7a、7b 、7c爲對準用攝影機，8爲螢幕畫面，9爲控制裝置，控制 裝置9具備有在無圖示之各種記憶裝置、運算處理裝置、 在與外部之間，執行訊號或資料之輸入輸出之介面，以及 輸入輸出裝置。 10爲可移動之攝影裝置。就以攝影裝置10而言，可以 使用例如CCD攝影機。以攝影裝置10攝影之畫像係被顯示 在例如螢幕畫面8。11爲用以使攝影裝置10移動之把手， 12爲沿著X軸可移動支撐攝影裝置10之X軸引導機構，13 、13爲與X軸引導機構12同時沿著Y軸可移動支撐攝影裝 置10之Y軸引導機構。X軸引導機構12及Y軸引導機構13、 1 3或攝影裝置1 0，設置有至少以// m單位測量攝影裝置1 0 之X軸方向及Y軸方向之移動距離的直線比例尺，例如當 利用把手11檢查員將攝影裝置10在X、Y軸方向移動時， 則測暈其X軸方向及Y軸方向之移動距離，在螢幕畫面8上 也顯示攝影裝置10之攝影畫像。 沿著攝影裝置1〇之X軸引導機構12及Y軸引導機構13 、13之移動，亦可以在攝影裝置1〇或X、γ軸引導機構12 、13設置驅動機構，以自走方式來執行。以驅動機構而言 -12- 201131160 ，可以使用脈衝馬達，此時藉由計數驅動脈衝馬達之脈衝 數，可以測量攝影裝置10之移動距離。並且，於以自走方 式使攝影裝置10移動之時*經螢幕畫面8、控制裝置9所具 備之無圖示之輸入裝置，檢査員當然可以適當指示其移動 方向以及移動距離。 ’ 第2圖爲僅取出第1圖之重樣部位而予以表示之圖示， 爲了方便，將資料側探針單元5a和閘極側探針單元5b表示 在自顯示面板4些微離開之位置上。如第2圖所示般，在顯 示面板4之上邊和左邊之各偶角，設置有合計3個之對準標 記14a ' 14b、14c。邊以對準用攝影機7a、7b、7c攝影該 對準標記14a、14b、14c，邊執行對準。 再者，如第2圖所示般’攝影裝置1 〇係可以藉由沿著 X軸引導機構12及Y軸引導機構13、13，朝圖中箭頭所表 示之方向移動，並也可朝顯示面板4上之任何位置移動， 攝影顯示面板4之表面。攝影裝置1〇之移動路徑因被設定 在較資料側及閘極側之各探針區6 a、6 b，或對準用攝影機 7a、7b、7c離開顯示面板4之位置，故探針區6a、6b或對 準用攝影機7a、7b、7c不會妨礙攝影裝置丨〇在X、γ軸方 向之移動。 並且，如後述般’在本發明之缺陷畫素位址檢測裝置 中，因必須以攝影裝置1〇設影對準標記14a、14b、14c， 故對準用攝影機7a、7b、7c可移動被安裝在資料側探針單 元5 a或閘極側探針單元5 b ’於以攝影裝置丨〇攝影對準標記 1 4a、1 4b或1 4c之時’則可以移動至不會妨礙其攝影之位 -13- 201131160 置。再者，依據狀況不同，即使以攝影裝置ι〇代替對準用 攝影機7a、7b、7c中之任一者或兩個以上亦可。 第3圖爲本發明之缺陷畫素位址檢測方法之程序的流 程圖。以下，根據第1圖所示之缺陷畫素位址檢測裝置及 第3圖所示之流程圖，說明本發明之缺陷畫素位址檢測方 法。 (裝載新品種面板） 首先，裝載部3係從無圖示之搬運裝置，以例如機械 手取入成爲檢査對象之顯示面板4，設置在可在XYZ 0方 向之設置台，搬運至檢查部2。依此，裝載部3係將顯示面 板4裝載在檢查部2。第3圖之流程圖中之「新品種面板裝 載」，係切換成爲檢查對象之顯示面板4之品種，表示將 新品種之顯示面板4裝載於檢查部2之工程。 (對準） 當新品種之顯示面板4被搬運至檢查部2時，接著執行 對準工程。該對準工程係以檢查部2中之資料側及閘極側 之探針區6a、6b之所有探針，確實接觸於顯示面板4之所 有電極之方式，進行兩者之定位的工程，與以往所進行之 對準無任何改變之處。即是，當被設置在設置台之顯示面 板4裝載於檢查部2之時，載置設置台之ΧΥΖ0驅動台被驅 動，以資料側及閘極側之探針區6a、6b之所有探針和顯示 面板4之全電極確實接觸之方式，使顯示面板4移動，而將 -14- 201131160 顯示面板4對準於檢查部2中之特定檢查位置。該對準通常 係藉由對準用攝影機Ma、14b或14c ’攝影對準標記7a、 7b、7c中之至少兩個對準標記，以該些中之至少兩個對準 標記來到對準用攝影機14a、14b或14c之視野內之標準位 置之方式，藉由使設置台移動而進行。並且’此時，即使 使用無圖示之顯微鏡，確認資料側及閘極側之探針區6 a ' 6b之所有探針，是否確實與顯示面板4之所有電極接觸亦 可。 (校正） 當對準工程結束時，則如第3圖之流程圖所示般’進 行校正工程。該校正工程係觀看攝影裝置10之X、Y移動 軸，和顯示面板4之3個對準標記l4a、14b、14c所形成之X 、丫軸之偏移的工程，切換檢查對象面板之品種，於新品 種之顯示面板4被裝載於檢查部2之時所執行之工程。校正 工程不僅限於檢查對象面板之品種切換之時，即使於相同 品種面板之檢查中因應所需在適當時序進行亦可。再者， 於可以預測在攝影裝置1 〇之X、Y移動軸，和以顯示面板4 之3個對準標記Ma、Mb、14<:所形成之X、Y軸之間無偏 移之時，或於已取得針對該品種之面板之校正資料之時， 即使不執行校正工程亦可" 校正係藉由可移動之攝影裝置1〇攝影3個對準標記14a 、14b、14e而進行。即是，首先，將攝影裝置10之視野內 之基準點，對準位於在顯示面板4設置有3個之對準標記 -15- 201131160 14a、14b、14c之兩邊之交點的對準標記14a之基準位置。 就以攝影裝置〗〇之基準點而言，可例如將其視野之中心點 設爲基準點’視野內之中心點可以藉由改變亮度或顏色之 點或正交之十字線之交點等來表示。再者，就以對準標記 14a之基準位置而言，於例如對準標記14a爲十字形之圖形 時，則可以將其中心點或十字形圖形之重心位置設爲基準 位置》該定位係藉由依據控制裝置9內所具備之運算處理 裝置的畫像處理和圖案配合而自動性執行。 當攝影裝置10之視野內之基準點與對準標記14a之基 準位置一致時，控制裝置9係將此時之攝影裝置1〇之位置 ，即是來自X軸直線比例尺及Y軸直線比例尺或馬達之脈 衝數量所表示之攝影裝置10之任意點的X軸及Y軸方向之 移動距離，當作攝影裝置10之原點之X、Y座標而記憶於 記憶裝置。並且，攝影裝置10之原點之X、Y座標即使爲 來自攝影裝置10之任意點的X、Y軸方向之移動距離亦可 ，但攝影裝置10之視野內之基準點與對準標記14a之基準 位置一致之時，則以將藉由X軸線性比例尺及Y軸線性比 例尺或馬達之脈衝數所表示之攝影裝置10之X軸、Y軸方 向之移動距離，皆設置成「O(jum)」，並將攝影裝置 1〇之原點之X、Y座標設爲（0、0)爲佳。 此時，若將對準標記14a之基準位置當作顯示面板4之 原點而予以選擇時，則如上述般，使攝影裝置1 〇之視野內 之基準點與對準標記14a之基準位置一致，將此時之攝影 裝置10之位置設爲原點，依此使攝影裝置10之原點與顯示 -16- 201131160 面板4之原點一致。 並且，使攝影裝置10之原點與顯示面板4之原點一致 之作業，亦可與校正工程分別進行。例如，於將構成顯示 面板4之畫素矩陣之最左上方之畫素之左上角當作顯示面 板4之原點而予以選擇之時，於對準結束之後，或是如後 述般，當在對準後之點燈檢查中發現缺陷畫素之時，則使 攝影裝置1 〇移動，使其視野內之基準點與當作顯示面板4 之原點而選擇之畫素矩陣之最左上之畫素之左上角一致， 藉由將其位置設爲攝影裝置10之原點而予以設定，可以使 攝影裝置10之原點與顯示面板4之原點一致。如此一來， 因藉由使攝影裝置1 0之原點與顯示面板4之原點一致’使 顯示面板4中之特定位置和攝影裝置10之位置對應，故攝 影裝置10之位置，即是攝影裝置10之X、Y座標則與顯示 面板4之X、Y座標對應。 如上述般，使攝影裝置1 〇之視野內之基準點與對準標 記1 4a之基準位置一致，記憶有此時之攝影裝置1 0之X、Y 座標（xl、yl )之後，又使攝影裝置10移動，此次使其視 野內之基準點與位於顯示面板4之上邊右角之對準標記14b 之基準位置一致，讀取自此時之攝影裝置10之原點的移動 距離，即是X、Y座標（X2、y2 )。 藉由X軸引導機構12被引導之攝影裝置10之X軸，於 以藉由對準標記14a及14b所構成之顯示面板4之X軸一致之 時，應成爲yi = y2，但是假設成爲yl # y2之時，攝影裝置 1〇之X軸和顯示面板4之X軸則偏移，其偏移量則成爲對準 -17- 201131160 標記14a和14b之距離，即是對（x2-xl )成爲（y2-yl )。 控制裝置9係與對準標記1 4b之座標（x2、y2 )，同時當作 X軸之偏移量，將該兩個値（x2-xl)及（y2-yl)適當記 憶於適當的記憶裝置。控制裝置9係從（x2-xl )及（y2-yl)之値，算出攝影裝置10之X軸和對準標記14&及14b所 構成之顯示面板4之X軸之間之角度，即使將其角度當作X 軸之偏移量而記憶於記憶裝置亦可。 同樣，接著使攝影裝置10之基準點與位於顯示面板4 之左邊下角的對準標記14c之基準位置一致，讀取自此時 之攝影裝置10之原點的移動距離，即是X、Y座標（x3、 y3)。藉由Y軸引導機構13、13被引導之攝影裝置1〇之Y 軸，於以藉由對準標記14a及14c所構成之顯示面板4之Y軸 -致之時，應成爲xl=x3，但是假設成爲xl夫x3之時，攝 影裝置10之Y軸和顯示面板4之Y軸則偏移，其偏移量則成 爲對準標記14a和14c之距離，即是對（y3-yl )成爲（x3-xl )，控制裝置9與對準標記14c之座標（x3、y3 ) ’同時 當作Y軸之偏移量，將該兩個値（y3-yi )及（x3-xl )記 憶於適當之記憶裝置。與X軸之情形相同’控制裝置9係 從（y3-yl)及（x3-xl)之値，算出攝影裝置10之Y軸和 對準標記14a及l4c所構成之顯示面板4之Y軸之間之角度’ 即使將其角度當作Y軸之偏移量而記憶於記憶裝置亦可。 並且，在以上之說明中，校正工程雖然係藉由以可移 動之攝影裝置10攝影3個對準標記14a、14b、14c而執行’ 但是即使於顯示面板4存在取代對準標記14a、14b、14〇之 -18- 201131160 記號時，以可移動之攝影裝置ι〇攝影該些記號，取得該些 記號之X、Y座標，求出顯示面板4之X、Y座標軸和攝影裝 置10之X、Y移動軸之偏移量亦可。 (點燈檢查）及（有無缺陷） 如上述般，當結束對準工程及校正工程時，接著控制 裝置9係經資料側探針區6a及閘極側探針區6b而對顯示面 板4之電極供給訊號，並使顯示面板4點燈。在點燈狀態下 ，藉由作業員以目視檢查有無缺陷。並且，檢查有無缺陷 畫素，並非藉由作業員的目視檢查，即使藉由機械的自動 檢查亦可。例如，可以藉由以CCD攝影機等攝影顯示面板 4之顯示面，並將其畫像施予畫像處理，依此自動性檢查 有無缺陷畫素。 (面板傾斜補正） 當在點燈檢查中發現缺陷畫素時，其顯示面板4爲於 校正工程後新執行對準工程之顯示面板之時，則執行面板 傾斜補正工程。即是，於校正工程之後執行之對準工程， 與上述對準工程相同，藉由對準用攝影機Ma、14b或14c ，攝影對準標記7a、7b、7c中之至少兩個對準標記，以該 些中之至少兩個對準標記來到對準用攝影機1 4a、1 4b或 14c之視野內之標準位置之方式，藉由使設置台移動而進 行，但是藉由該新的對準工程而設置在檢查位置之顯示面 板4之位置，因有與執行校正工程之時之顯示面板4之位置 -19- 201131160 些微偏移之可能性，故爲了補正該偏移所執行的工程爲面 板傾斜補正工程。並且，於每對準不會有顯示面板4之位 置偏移之虞時，即使不執行面板傾斜補正工程亦可。 面板傾斜補正工程係藉由利用攝影裝置1 0，攝影至少 兩處之對準標記而執行。即是，首先，使攝影裝置10移動 而攝影對準標記14a，並讀取對準標記14a之基準位置之X 、Y座標（XI’、yl’），接著，攝影對準標記14b，讀取對 準標記Mb之X、Y座標（x2’、y2’）。若在初次之對準和 以後之對準中，顯示面板4之位置變化之時，應成爲xl ’ = xl、yl’=yl ’ 同時 x2’=x2、y2’=y2。但是，於該些 4 個 等式中之任一式不成立時，則在顯示面板4之位置具有偏 移，因顯示面板4比初次之對準時傾斜，故控制裝置9將表 示原點之偏移量之（xl’-xl)及（yl’-yl)之値，和表示 來自初次對準之傾斜量之（乂2’41’）及{(丫2’-丫2)-( y 1 ’-yl )}當作面板傾斜補正量而記憶於記億裝置。並且 ，控制裝置9係由表示原點之偏移量之（xl’-xl )及（yi’_ yl )之値’和（X2’-Xl’）及{ ( y2’-y2) - ( yl’-yl ) }之値 算出，將初次之對準和此次之對準中之顯示面板4之X軸 之偏移角度當作面板傾斜補正量而予以記憶亦可。 並且，即使針對顯示面板4之Y軸之傾斜，藉由利用 攝影裝置10設影對準標記14c而求出亦可，但是顯示面板4 之傾斜因可以合理性推測不論在X軸和Y軸都相同，故即 使針對Y軸亦可以利用X軸之傾斜量或偏移之角度。因此 ’在面板傾斜補正工程中，藉由攝影裝置10攝影位於顯示 -20- 201131160 面板4之相同邊上之至少兩處的對準標記14a及14b或14a及 1 4 c則足夠。 並且，在上述例中，至少兩處之對準標記之攝影和基 準位置座標之讀取，雖然任一者皆使用可移動之攝影裝置 1 〇而執行，但是針對兩處之對準標記之雙方或1處，即使 使用對準用攝影機7a、7b或7c執行其攝影和基準位置座標 之讀取亦可。於使用對準用攝影機7a、7b或7c攝影至少兩 處之對準標記之雙方或一方之時，因不需要使攝影裝置10 移動至其位置，故取得可以節省移動所需之時間之優點。 再者，在以上之說明中，面板傾斜補正工程係藉由利 用可移動之攝影裝置10或對準用攝影機7a、7b、7 c攝影至 少兩處之對準標記Ma、l4b或14c而進行，但是於顯示面 板4存在取代對準標記1 4 a、1 4b、1 4 c之記號，校正工程藉 由根據該些記號之X、Y座標，求出顯示面板4之X、Y座標 和攝影裝置1 〇之X、Y移動軸之偏移量而執行之時，即使 在面板傾斜補正工程中，使用與在校正工程中所使用者相 同之記號中之至少兩處的記號來取代對準標記14a、14b或 1 4 c亦可。 (朝缺陷畫素移動攝影裝置）
當結束面板傾斜補正時’使攝影裝置1 0移動至發現之 缺陷畫素之位置’而攝影包含缺陷畫素之顯示面板4之表 面區域。攝影裝置10之移動係檢查員握住攝影裝置10之把 手1 1而以手動執行。攝影裝置10爲攝影裝置10或X軸及Y -21 - 201131160 軸引導機構12、13所具備之驅動機構而被驅動之自走式之 攝影裝置之時，即使藉由從適當之輸入裝置經控制裝置9 ，指定移動方向或移動距離，而使攝影裝置10移動亦可。 被攝影之畫像被顯示在螢幕畫面8。在第4圖模式性表示螢 幕畫面之一例。 在第4圖中，8爲螢幕畫面，在螢幕畫面8顯示藉由攝 影裝置10所攝影之畫像15。C、C、C…爲畫素。本例之時 ，顯示面板4爲彩色顯示面板，因攝影此之攝影裝置10也 爲彩色攝影裝置，故顯示面板4係以各表示R (紅）、G( 綠）或B (藍）之顏色的畫素縱橫規則一致排列之畫素矩 陣之畫像15而被顯示（在圖中，藉由在各畫素中央表示「 R」、「G」或「B」，表示各畫素之顏色）。Lx、Ly爲顯 示在攝影畫像之視野的縱橫之中心線，中心線Lx及Ly之 交點S爲攝影視野之中心，爲攝影裝置10之基準點。 基準點S之X、Y座標，即是自原點之X軸方向及Y軸 方向之移動距離，係以「基準位置」顯示在畫像1 5之右側 。於圖示之例之時，基準點S之X座標成爲「3 3 1.52 8mm」 ，丫座標成爲「210.227 mm」。在「基準位置」之上部， 各以角度表示以「校正」所取得之偏移量，和以面板傾斜 補正所取得之面板傾斜補正量。於圖示之例之時，以校正 工程所求出之X軸之偏移量爲「0.500度」，Y軸之偏移量 爲「負0.200度」，面板傾斜補正量爲「0.040度」。「基 準位置」所表示之基準點之X、Y座標爲X、Y軸之偏移量 之補IE及考慮面板傾斜補正量而被補正之値，但是即使表 -22- 201131160 示補正前之値亦可。 並且，根據以校正工程所求出之X軸及γ軸之偏移量 補正基準點S之X、Y座標之方法並非特別者。例如，可以 藉由使用旋轉行列或變形行列而執行座標變換之已知的數 學手法，補正基準點S之X、Y座標。 即使針對面板傾斜補正量也相同，於以角度表示面板 傾斜補正量之時’則單純對在校正工程所取得之X軸及Y 軸之偏移量之角度加算或減算其角度，若與上述相同，求 出基準點S之被補正之X、Y座標即可。無論哪一種，根據 在校正工程中求出之偏移量及面板傾斜補正量而補正基準 點s之X、Y座標，係純粹數學性之問題，該項技藝者顯然 可慮各種方法。上述之方法只不過爲其一例，本發明並非 限定於上述補正之方法。 (特定缺陷畫素） 在第4圖中，在基準點s之右下畫有陰影線之畫素Cn 表示缺陷畫素之一例。當檢查員判斷畫素Cn爲缺陷畫素時 ，則在螢幕畫面8上特定該畫素Cn。特定係可以藉由在螢 幕畫面8上以手指等接觸畫素Cn之位置，或使滑鼠之指示 器移動至畫素Cn之處，藉由在其位置點選而執行。當特定 畫素Cn時’控制裝置9算出該畫素Cn之X、Y座標。該算出 係如下般被執行。 第5圖爲第4圖之部分放大圖，僅放大表示畫像15中之 缺陷畫素Cn之週邊。控制裝置9係畫像處理畫像丨5，辨識 -23- 201131160 缺陷畫素Cn之各邊之邊緣部份’根據其畫像15上之位置’ 算出來自基準點s之各邊之距離Δχΐ、Ax2、Ayl、Ay2 。控制裝置9接著係對第4圖之「基準位置」所表示之基準 點S之X、Y座標加算或減算所算出之値’求出在x軸方向 及Y軸方向持有寬度之缺陷畫素位置’以「畫素位置」顯 示在螢幕畫面8上之本例中’缺陷畫素Cn於X軸方向中係 在「331.538 mm」至「331.558 mm」之範圍，於Y軸方向中 係在「210.248mm」至「210.288mm」之範圍。 並且，藉由校正之偏移量的補正及面板傾斜補正量之 補正，即使如上述般針對基準點S之X、Y座標執行亦可’ 即使於對基準點s之X、Y座標加算或減算從基準點s至缺 陷畫素Cn之各邊的距離之後執行亦可。 (缺陷畫素之顏色判別） 缺陷畫素Cn因不知何麼原因不被驅動’故在畫像15上 僅觀看到黑色，其原本之顯示顏色不明。但是，顯示面板 4中之畫素矩陣因通常係根據其顯示色RGB規則一致被配 列，故從周圍之畫素之顯示色可以知道缺陷畫素Cn之原來 顯示色。 例如，在第5圖之例中，從畫素矩陣之橫方向之行從 左向右，係以R— G— B— R…之順序被配列，縱方向之列 係以從上朝下以R — R —· R…、G — G —· G…之方式，並列任 —者皆爲相同顏色。因此，當該配列之規則性適用於缺陷 畫素Cn時，可知缺陷畫素Cn之原本顯示色爲「G」。如此 -24- 201131160 之判別通常係藉由依據控制裝置9將畫像1 5予以訊號處理 而自動性被執行，但是即使藉由檢查員目視畫像1 5來判別 亦可。被判別之缺陷畫素Cn之顯示色係在第4圖之螢幕畫 面8上，被顯示於「畫素位置」之下之「顯示色」的欄位 上。 並且，如此之缺陷畫素Cn之原來之顯示色之判別，如 同後述般，係爲了更正確檢測缺陷畫素位址而執行，有被 執行之一方當然爲佳，但是也不一定要執行。 (位址算出） 接著，根據如上述般所求出之缺陷畫素Cn之位置，算 出缺陷畫素Cn之顯示面板4上之位址。該算出係如下般被 執行。 第6圖爲模式性表示針對顯示面板4，使構成畫素矩陣 之多數畫素之配列形態對應於實物而予以表示之配列地圖 之一例的圖示。圖中，16爲配列地圖，17爲畫素矩陣，付 符號C之各長方形表示畫素。該配列地圖丨6係針對該顯示 面板4 ’可以根據事先所知之針對各畫素之尺寸和其配列 形態之資訊’即是各畫素之縱橫之尺寸和顯示色、畫素矩 陣之行數、列數、各行、各列之畫素之數量、各畫素之配 置間隔等而作成。如此之資訊係於每次新品種之顯示面板 成爲檢查對象之時，從適當之輸入裝置被輸入至控制裝置 9 °或者’即使於事先知道該些資訊和顯示面板之品種之 對應關係之時，以裝載部3或檢查部2自動性讀取被記在顯 -25- 201131160 示面板之識別號碼等，自控制裝置9內之記憶裝置讀出， 或經適當之通訊手段而自外部之記億裝置讀取亦可。 在本例中，配列地圖1 6係以位於畫素矩陣1 7之最左上 之畫素之左上角Gp爲原點而作成，原點Gp之X、Y座標如 圖示般，爲（〇、〇)。並且，當然攝影裝置10之原點與顯 示面板4中之該原點Gp—致。缺陷畫素之位址係藉由先求 出之畫像15上之缺陷畫素Cn之存在位置適用於該配列地圖 1 6而求出。該適用係如下述般被執行。即是，畫像1 5所攝 影到之缺陷畫素Cn係X軸座標因在「331.538 — 331.558mm 」之範圍，Y軸座標係在「210.248 — 2 10.288mm」之範圍 ，故控制裝置9係以各對構成顯示面板4之畫素之橫軸之大 小及縱軸之大小摻入配置間隔之數値，除以缺陷畫素Cn之 X座標及Y座標，求出其商，依此可以在配列地圖16上， 求出位於對應於該些X、Y座標之位置的畫素之位址。即 是，缺陷畫素Cn之X、Y座標之範圍在配列地圖16上橫跨 多數畫素之時，控制裝置9將與缺陷畫素Cn之X、Y座標之 範圍重疊之面積最大判斷成缺陷畫素，將其位址當作缺陷 畫素位址而予以輸出。 控制裝置9係被程式控制成以上述般之方法算出缺陷 畫素位址，控制裝置9與該些程式成爲一體，當然形成缺 陷畫素之位址運算裝置。並且，與缺陷畫素Cn之X、Y座 標之範圍最大，並且於存在相等之多數畫素之時，僅由配 列地圖1 6無法最終決定缺陷畫素之位址，後述之顏色確認 工程或移位補正工程則有效。 -26- 201131160 能夠成爲原點Gp並不限定於位於畫素矩陣1 7之最左 上之畫素的左上角。即使爲位於畫素矩陣17之最左下之畫 素的左下角亦可，於被設置在表示面板4之左上角的對準 標記1 4a之基準位置和畫素矩陣之位置關係爲明確之時， 即使爲對準標記14a之基準位置亦可。若與畫素矩陣17之 位置關係明確，攝影裝置10之原點與顯示面板4之被選擇 之原點一致時，將任一點設爲原點Gp則爲自由。 所求出之缺陷畫素Cn之位置（α、万）係在第4圖所 示之螢幕畫面8中，以「畫素位址」被顯示，當檢查員按 下「確認」按鈕時，缺陷畫素Cn之位址資訊則被記憶於控 制裝置9之記億裝置，或被發送至位於網路上之主電腦， 檢測出缺陷畫素位址。 並且，以上缺陷爲點缺陷，針對缺陷畫素爲獨立之一 個畫素之時予以說明，但於缺陷爲線缺陷或面缺陷，鄰接 之多數畫素爲缺陷畫素之時，也與上述相同，可以求出缺 陷畫素位址。即是，於檢査員在畫像1 5上發現由鄰接之多 數缺陷畫素所構成之缺陷之時，依序在畫像1 5上特定其各 個缺陷畫素。當特定多數缺陷畫素時，設置在控制裝置9 之位址運算裝置求出藉由其鄰接之多數缺陷畫素而形成之 缺陷區域之各頂點之X、Y座標，藉由該些X、Y座標適用 於上述配列地圖1 6，或由該些X、Y座標計算，算出多數 缺陷畫素位址，並且判別缺陷之種類。針對所取得之缺陷 畫素之位址及缺陷種類之資訊，係被記憶於控制裝置9內 之記憶裝置，或被發送至位於網路之主電腦，缺陷畫素位 -27- 201131160 址與缺陷之種類皆被檢測出。並且，即使缺陷之種類之判 別係由檢查員執行亦可。 (顏色確認） 如同上述般，根據藉由攝影裝置10所攝影之缺陷畫素 Cn之X、Y座標，可求出缺陷畫素位址，當將缺陷畫素之 顯示色放入至判斷材料時，缺陷畫素位址之檢測成爲更正 確，故爲較理想。 當將顏色確認工程設爲「ON」，使控制裝置9執行顔 色確認工程時，控制裝置9則比較先在畫像1 5上根據周圍 之畫素之顯示色而判別出之缺陷畫素Cn之顯示色「G」， 和求出之畫素之顯示色「G」。所求出之畫素C( 之顯示色爲「G」係可以由針對該顯示面板4之畫素 之配列形態之資訊而得知。缺陷畫素Cn之顯示色和畫素C (α β )之顯示色因皆爲「G」一致，故控制裝置9則將畫 素之位址（α、冷）判斷成缺陷畫素位址。並且 ，畫素（：（《.3>之顯示色因在螢幕畫面8上以「位址色」 顯示，故檢查員可以在螢幕畫面8上確認缺陷畫素Cn之顯 示色，和被顯示之「位址色」一致，不一致。 第7圖爲例示缺陷畫素Cn和配列地圖1 6之其他位置關 係之圖示。例如，當缺陷畫素Cn之X、Y座標適用於配列 地圖16時，則如第7圖上段所示般，於缺陷畫素Cim之位置 適用於兩個畫素，即是C(a3.〃n和之雙方時 ，控制裝置9係作爲缺陷畫素之位址候補，舉出（α 3、沒 -28- 201131160 1 )和（α 4、yS 1 )之兩個位址，僅由配列地圖1 6或座標 計算’無法最終決定缺陷之位址。此時，顏色確認成爲有 效。 即是，當將顏色確認工程設爲「ON」，使控制裝置9 執行顏色確認工程時，控制裝置9則比較首先爲第1號後補 之（α 3、々1 )之顯示色，和根據畫像1 5而判別之缺陷畫 素（:〜的顯示色（G)。畫素的顯示色爲「R」 ’因與缺陷畫素（:〜之顯示色「G」不一致，故控制裝置9 判斷位址（α 3、3 1 )非缺陷畫素Cn,之位址，從位址後 補除外’並且找尋最接近位址（α3、/31)，且顯示色與 缺陷畫素（:〜之「G」相同之畫素，將其畫素之 位址（α 4、/3 1 )設爲缺陷畫素之位址。 接著，控制裝置9將第2號後補之（α 4、0 1 )之顯示 色與缺陷畫素Cni之顯不色「G」做比較。畫素C(a4. 之顯示色爲「G」，因與缺陷畫素Cn,之顯示色「G」一致 ，故控制裝置9係將位址（α 4、/3 1)設爲缺陷畫素Cn,之 位址。 如此一來，針對兩個候補所執行之顏色確認工程之結 果，因取得作爲缺陷畫素位址之皆爲相同的位址（α 4、 β 1 )，故控制裝置9係將其位址（α 4、0 1 )當作缺陷畫 素位址，輸出至螢幕畫面8上。 同樣’如第7圖中段所不般’於缺陷畫素C η 2之位置與 畫素C(a2.〃2)幾乎重疊之時，若不是顏色確認工程，控 制裝置9則有可能將畫素画素C ( α 2 . , 2 )之位址（α 2、冷 -29 - 201131160 2 )判斷成缺陷畫素之位址。但是，當即使於此時執行顏 色確認工程時，控制裝置9比較畫素C ( α 2 . 〃 2 )之顯示色 「Β」，和缺陷畫素Cn2之顯示色「G」，因兩顏色不一致 ，故控制裝置9係判斷位址（α 2、P 2 )並非缺陷畫素Cm 之位址。同時，控制裝置9找出最接近位址（α2、点2) ，並且顯示色與缺陷畫素Cn2之「G」相同之畫素 ，將其位址（αΐ、02)設爲缺陷畫素之位址。如此一 來，藉由經過顏色確認工程，可以成爲更正確缺陷畫素位 址之檢測。 接著，如第7圖之下段所示般，缺陷畫素Cn3之位置橫 跨畫素 C(a4./S2)、C(a4,iS3)、C(ci5_i82> ' 及 C(a5.e3 )之4個畫素之時，控制裝置9首先選擇缺陷畫素Cn3之X、 Y座標之範圍重疊之面積最大之畫素。其結果，如果画素 C( α4. ί3)及C( a5. 之兩個畫素與缺陷畫素Cn3重疊之 面積最大，並且剩下相同畫素之時，首先，如第7圖之上 段所示之例中說明般，將顏色確認工程設爲「ON」，使 控制裝置9執行顏色確認工程，依此可以將與缺陷畫素Cn3 顯示色相同之「G」的畫素（：（β4.θ3)之位址（α4、/33 )設爲缺陷畫素之正確位址。 控制裝置9係被程式控制成以上述般之方法執行顔色 確認，控制裝置9與其程式成爲一體，形成顏色確認裝置 。並且，上述般之顏色確認工程，雖然係藉由形成顏色確 認裝置之控制裝置而自動性執行，但即使檢查員比較缺陷 畫素之顯示色和所求出之位址之畫素之顯示色而執行亦可 -30- 201131160 。即是，被顯示在螢幕畫面8上之「顯示色」之欄位上之 缺陷畫素之顯示色，同樣被顯示在螢幕畫面8上之「位址 顏色」之欄位上之顯示色，於兩顏色一致之時，檢查員按 下螢幕畫面8中之「變更」按鈕，以位於其上方之箭頭案 將畫素位址變更成上下左右中之任一方向，使顯示於「顯 示色」之欄位的顏色，和顯示於「位址色」之欄位的顏色 一致，在兩色一致之狀態下，按下「確認」按鈕，可以將 該變更位址設爲缺陷畫素之位址。 然而，於顯示色不一致之時，將最接近於所求出之位 址，且顯示色與缺陷畫素相同之畫素之位址設爲缺陷畫素 之位址，係因以經上述校正工程或面板傾斜補正工程，假 設存在根據來自攝影裝置10之原點之移動距離而所求出之 缺陷畫素之X、Y座標，和顯示面板4之配列地圖1 6中之X 、Y座標之偏移時，也僅於最低限爲前提之故。但是，雖 然如此之前提通常正確成立，於希望檢測出更正確位址之 時，則可以執行以下所示之移位補正工程。 (移位補正） 當發現缺陷畫素Cn時，使攝影裝置1〇移動而攝影缺畫 素Cn相同之X軸及/或γ軸座標上中顯示面板4之畫素矩陣 17之邊部附近’調查該邊部附近之畫素對攝影裝置1〇之乂 軸及/或Y軸原點，朝哪個方向移位多少，將所求出之移位 方向及/或移位量摻入於求出缺陷畫素C η之位址係移位補 正工程’例如在以下般之情形被執行。 -31 - 201131160 第8圖爲例示缺陷畫素C η和配列地圖1 6之其他位置關 係之圖示。例如，當缺陷畫素Cn4之X、Υ座標適用於配列 地圖16時，則如第8圖所示般，於與畫素C(ai3，〃12)重疊 之時，若在畫像15上被判別之缺陷畫素Cn4之顯示色爲「R 」時，畫素c(al3.〃12)之顯示色因也爲「R」’故即使經 過顏色確認工程，缺陷畫素Cn4之位址則判斷成（α 1 3、 冷12)。但是，此時，若期待更正確時，則可以執行上述 之移位補正工程。 即是，當將缺陷畫素Cn4之中心之X軸座標假設爲「 0.2 7 4mm」時，則使攝影裝置10移動，攝影與缺陷畫素 Cn4相同之X軸座標「0.274mm」上中之顯示面板4之畫素 矩陣17之邊部附近。於第9圖表示該攝影之狀態。 如第9圖所示般，攝影裝置10之基準點S之X、Y座標 爲（ 0.274mm，0.000mm)，在基準點S與缺陷畫素Cn4相 同之X軸座標上，攝影裝置10移動至成爲攝影裝置10之Y 軸原點之位置，攝影顯示面板4之畫素矩陣17之上邊附近 。被顯示於畫像15中之Lx線與攝影裝置10之Y軸原點（即 是，Y座標爲「〇」之線）一致。並且，此時，攝影裝置 10之原點係如上述般，與顯示面板4之畫素矩陣17中之最 左上畫素之左上角Gp—致。 當在該狀態下觀看第9圖時，可知顯示面板4之畫素矩 陣17之上邊，係在X座標「0.2 74mm」中，以大約0.7 5畫 素長（畫素之縱向長度）左右，偏移至攝影裝置10之Y軸 原點更上方。控制裝置9係解析畫像1 5，求出位於X座標 -32- 201131160 「0.274mm」之位置的畫素之上邊的邊緣部之 位置，求出攝影裝置1 0對Y軸原點之移位之方向，並且測 量其移位之大小。控制裝置9係將該所求出之移位之方向 及移位之大小反映於缺陷畫素Cn4之位址計算，並再計算 缺陷畫素Cn4之X、Y座標。於本例之時，被再計算之缺陷 畫素Cn4之X、Y座標由於在較第8圖所示之位置上方移動 大約0.75畫素長（畫素之縱向長度）左右之位置，故其大 部分與畫素C ( α 13 . , 重疊，控制裝置9將當初作爲（α 13、万12)之缺陷畫素Cn4之位址變更成（Ctl3、沒11) 〇 再者，如第8圖所示般，例如當缺陷畫素Cn5之X、Y 座標適用於配列地圖1 6時，雖然與画素C ( α ! 2 . β , 3 )大部 分重疊，但是畫素顯示色「Β」，與在畫像 1 5上判別之缺陷畫素Cn5之顯示色與「G」不一致之時， 若藉由上述顏色確認工程時，缺陷畫素Cn5之位址則判斷 與畫素C(al2.il3)最接近，顯示色與缺陷衋素Cn5相同之 「G」之畫素C ( α , , . 〃，3)。即使於此時，若期待更確認時 ，則可以執行上述之移位補正工程。 即是，當將缺陷畫素Cn5之中心之Υ軸座標假設爲「 1.3 7 0mm」時，則使攝影裝置10移動，攝影與缺陷畫素 Cn5相同之Y軸座標「1.3704mm」上中之顯示面板4之畫素 矩陣1 7之邊部附近。於第1 0圖表示該攝影之狀態。 如第10圖所示般，攝影裝置10之基準點S之X、Y座標 爲（ 0.000mm，1.370mm)，在基準點S與缺陷畫素Cn5相 -33- 201131160 同之γ軸座標上’攝影裝置10移動至成爲攝影裝置10之x 軸原點之位置，攝影顯示面板4之畫素矩陣17之左邊附近 。被顯示於畫像15中之Ly線與攝影裝置1〇之χ軸原點（即 是，X座標爲「〇」之線）一致。 當在該狀態下觀看第1〇圖時，可知顯示面板4之畫素 矩陣17之左邊，係在Y座標「1.37〇mm」中’以大約1.5畫 素寬（畫素之橫向長度）左右’偏移至攝影裝置10之X軸 原點更右方。控制裝置9係解析畫像1 5 ’求出位於Y座標 「1.3 70mm」之位置的畫素之左邊的邊緣部之 位置，求出攝影裝置1 〇對X軸原點之移位之方向’並且測 量其移位之大小。控制裝置9係將該所求出之移位之方向 及移位之大小反映於缺陷畫素Cn5之位址計算，並再計算 缺陷畫素Cn5之X、Y座標。於本例之時，被再計算之缺陷 畫素Cn5之X、Y座標由於在較第8圖所示之位置右方移動 大約1.5畫素寬（畫素之橫向長度）左右之位置，故橫跨 畫素C(e丨3.〃丨3)和畫素C(q4.H3)之雙方。當在該再記 算之位置關係再次執行顏色確認時，顯示色一致，且最接 近之畫素成爲畫素c( α M. 〃 13)，控制裝置9係將當初作爲 (α 1 1、/S 13 )之缺陷畫素之Cn5之位址變更成（α 14、 /5 13)。 藉由執行如此移位補正工程，檢測缺陷畫素位址，係 成爲精度更高者β控制裝置9係被程式控制成以上述般之 方法執行移位補正工程，控制裝置9與其程式成爲一體， 形成移位補正裝置。 -34- 201131160 並且，於顯示面板4上多數存在缺陷畫素之時，若重 複從上述（攝影裝移動至缺陷畫素）至（移位補正）爲止 之工程即可。此時’即使根據先前檢測出之缺陷畫素之位 址値，補正針對後續之缺陷畫素而所算出之位址値亦可。 例如，針對先前所檢測出之缺陷畫素C η，在（位址値算出 )工程中’取得位址値（α η、0 m )時候，執行（顏色 確認）及/或（移位補正）之結果，缺陷畫素Cnm之位址 値被變更成（αη+x、/3m+y)之時，使該變更値（+ x 、+ y )記憶於例如控制裝置9，將針對後續缺陷畫素Cn， 所算出之位址値（αρ、沒q)自動性變更成αρ+χ、 + y )，即使將其變更之位址設爲欲求出的缺陷畫素之位 址亦可。 (面板卸載） 從上述（攝影裝置移動至缺陷畫素）至（算出位址値 )爲止之工程’僅重複發現缺陷畫素之數量，並且又因應 所需執行（顏色確認）工程和（移位補正）工程，針對所 有被發現之缺陷畫象，當檢測出其位址時，顯示面板4則 藉由裝載部3從檢查部2被卸載。 (裝載下一個面板）（對準） 接著’下一個檢查對象面板藉由裝載部3被裝載至檢 查部2 ’執行對準。該對準例如與上述對準工程相同，藉 由對準用攝影機l4a、Mb或14c，攝影對準標記7a、7b、 -35- 201131160 7c中之至少兩個對準標記，以該些中之至少兩個對準標記 來到對準用攝影機14a、14b或14c之視野內之標準位置之 方式使設置台移動而進行。當結束對準時，接著，執行（ 點燈檢查（目視）以後之工程。 並且，在（點燈檢查（目視）中，無發現缺陷畫素之 顯示面板4，係如同第3圖之流程圖中右側所示般，藉由裝 載部3從檢查部2被卸載。接著，新的顯示面板4藉由裝載 部3被裝載於檢查部2，執行上述第2次以後之對準，當結 束此時，執行（點燈檢査（目視）以後之工程。 [產業上之利用可行性] 如上述說明般，若藉由本發明之缺陷畫素檢測方法及 檢測裝置時，使用簡單之裝置可檢測出精度高之缺陷i素 之位址。因此，以液晶顯示面板爲首，在各種顯示面板之 製造的產業領域中，具有相當大產業上之利用可行性。 【圖式簡單說明】 第1圖爲本發明之缺陷畫素位址檢測裝置之一例的前 視圖。 第2圖爲表示第1圖之重要部位的圖式。 第3圖爲表示本發明之缺陷畫素位址檢測方法之一例 之程序的流程圖。 第4圖爲螢幕畫面之一例的圖式。 第5圖爲第4圖之部分放大圖》 -36- 201131160 第6圖爲模式性表示使顯示面板中構成畫素矩陣之多 數畫素之配列形態對應於實物而予以表示之配列地圖的圖 示。 第7圖爲例示缺陷畫素和配列地圖之其他位置關係之 圖示。 第8圖爲例示缺陷畫素和配列地圖之又一其他位置關 係之圖示。 第9圖爲表示以攝影裝置攝影Y軸原點附近之畫素矩 陣之狀態圖。 第10圖爲表示以攝影裝置攝影X軸原點附近之畫素矩 陣之狀態圖。 【主要元件符號說明】 1 :缺陷畫素檢測裝置 2 :檢查部 3 :裝載部 4 :顯示面板 5 a、5b :資料側、閘極側探針單元 6a、0b :資料側、閘極側探針區 7a、7b、7c ··對準用攝影機 8 :螢幕畫面 9 :控制裝置 1 〇 :攝影裝置 1 1 :把手 -37- 201131160 12 : X軸引導機構 13 : Y軸引導機構 1 4a、14b、14c :對準標記 1 5 :畫像 1 6 :配列地圖 17 :畫素矩陣 c :畫素 S :基準點
Gp :顯示面板原點 -38