201103631 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在平面面板的製造過程中，用來在基板 上進行糊劑的塗布或液晶的滴入之糊劑塗布裝置及塗布方 法。 【先前技術】 作爲習知之糊劑塗布裝置，是在架台上設置可保持基 板（供描繪糊劑圖案）之基板保持機構，又在架台上設置 兩個頭支承機構（將複數個塗布頭部設置成可沿γ軸方向 移動），將頭支承機構其中的一方固定住，讓另一方能在 架台上沿X軸方向移動；藉由使塗布頭部沿Y軸方向移 動且使頭支承機構沿X軸方向移動，並利用塗布頭部在基 板上塗布糊劑，以在基板上描繪既定的糊劑圖案（例如參 照專利文獻1 )。 〔專利文獻1〕日本特許第3793727號公報 【發明內容】 在LCD (液晶顯示裝置）等的平面面板的領域，用來 形成面板之玻璃基板的尺寸急速地大型化，伴隨著此，用 來製作該平面面板之糊劑塗布裝置也變得大型化，藉由驅 動載台（裝載玻璃基板）並讓塗布頭部的噴嘴上下移動以 描繪糊劑圖案的方式，要謀求省空間化變得困難起來。 於是，上述專利文獻1所記載的糊劑塗布裝置，是可 -5- 201103631 沿χ軸方向移動，且頭支承機構是採用橫跨基板之框架（ 閘門式框架）構造，讓該框架的一方可沿X軸方向移動， 且在該框架的橫樑上將複數個塗布頭部設置成可沿γ軸方 向移動，一.邊改變塗布頭部和基板的相對位置關係一邊從 塗布頭部的噴嘴將糊劑塗布在基板上，藉此在基板上描繪 糊劑圖案，藉由採用這種方式來謀求裝置的小型化。 然而，隨著玻璃基板的大型化之進展，若採用該方式 之糊劑塗布裝置變得大型化，會超出用來搬送該糊劑塗布 裝置之搬運車輛的寬度界限，而面臨輸送困難的狀況。 本發明之目的是爲了提供一種糊劑塗布裝置及塗布方 法，在輸送裝置時，可將裝置小型化，以讓裝置的輸送能 順利地進行。 本發明之其他目的是爲了提供一種糊劑塗布裝置及塗 布方法，即使是在運轉時，在實施防塵對策的狀態下，不 須降低塗布精度即可縮小設置空間。 爲了達成上述目的，本發明之糊劑塗布裝置，是在架 台上設置框架，在框架上可移動地設置從其噴嘴吐出口吐 出糊劑之塗布頭，相對於設置在架台上之基板載置載台上 所載置的基板，使框架移動，並從噴嘴吐出口朝基板上吐 出糊劑；其特徵在於：在架台上之基板載置載台的外側設 置框架的移動機構，並設有：在移動機構將框架安裝成可 拆裝之框架安裝手段。 此外，本發明之糊劑塗布裝置，是在架台上設置框架 ’在框架上可移動地設置從其噴嘴吐出口吐出糊劑之塗布 -6- 201103631 頭’相對於設置在架台上之基板載置載台上所載置的基板 ’使框架移動，並從噴嘴吐出口朝基板上吐出糊劑；其特 徵在於：在架台上之比基板載置載台更下側設置框架的移 動機構’並設有：在移動機構將框架安裝成可拆裝之框架 安裝手段。 再者，本發明之糊劑塗布裝置，其特徵在於：框架安 裝手段是設置在比基板載置載台更低的位置。 爲了達成上述目的，本發明之糊劑塗布方法，是在架 台上設置框架，在框架上可移動地設置從其噴嘴吐出口吐 出糊劑之塗布頭，相對於設置在架台上之基板載置載台上 所載置的基板，使框架移動，並從噴嘴吐出口朝基板上吐 出糊劑；其特徵在於：在架台上之基板載置載台的外側設 置框架的移動機構而使框架移動，在移動機構可將框架從 移動機構卸下，或將框架安裝於移動機構。 此外’本發明之糊劑塗布方法，是在架台上設置框架 ’在框架上可移動地設置從其噴嘴吐出口吐出糊劑之塗布 頭’相對於設置在架台上之基板載置載台上所載置的基板 ’使框架移動，並從噴嘴吐出口朝基板上吐出糊劑；其特 徵在於：在架台上之比基板載置載台更下側設置框架的移 動機構而使框架移動，在移動機構可將框架從移動機構卸 下’或將框架安裝於移動機構。 再者’本發明之糊劑塗布方法，其特徵在於：框架的 移動機構是設置在比基板載置載台更低的位置。 依據本發明’可處理大型的基板，且在輸送時，藉由 201103631 簡單的分解作業就能小型化成不超出搬運車輛的寬度界限 的程度，而能毫無阻礙地進行輸送。 此外，在設置裝置時，不致降低裝置組裝時所要求的 裝置各部位的精度，在輸送裝置時，可減少裝置之分解、 組裝、調整等的作業，而容易將裝置搬送至交貨對象，而 使交貨變容易。 再者，由於支承框架並讓其移動的移動機構，是設置 在比基板更下方，該移動機構之滑動所產生的塵埃等不致 影響基板。 因此，依據本發明，可確保裝置搬送的順利、安全性 ，且在運轉時可進行高品質的糊劑塗布和液晶滴入。 【實施方式】 本發明的構造是具備橫樑所構成的閘門式框架（框架 )，在該橫樑具備塗布頭的y軸方向移動機構（用來直接 傳動導引設有噴嘴之一個或複數個塗布頭部）。 隨著玻璃基板之逐年大型化而造成之糊劑塗布裝置的 大型化，要將經過組裝、調整後的裝置經由陸運而從製造 廠商運送至安裝對象等時，受到道路和搬運車輛的車寬等 的限制，而面臨到阻礙。再者，由於大多數的構造是讓框 架在玻璃基板的上側移動，隨著該移動而在框架之支承部 的滑動所產生之塵埃會落至玻璃基板的表面，而導致製品 (塗布糊劑或滴入液晶後的玻璃基板）之品質劣化。 於是，本發明的構造，可利用框架的支承部和其移動 -8- 201103631 機構之連接部來分割框架和架台，藉此，在進行糊劑塗布 裝置之陸運時，是將框架從架台分離後進行輸送，而在安 裝對象處再將框架和架台組合，如此可簡化組裝作業而成 爲可使用的狀態。 此外’架台上之與框架的移動有關之滑動部，是在架 台的邊部配置在比載台（用來載置玻璃基板）更下側，如 此可在抑制裝置的設置面積增加的狀態，於降流式（down flow type)的空調環境下，讓框架的滑動部所產生之塵埃 不容易落到製品之玻璃基板上。 以下根據圖式來說明本發明的實施形態。 第1圖係將本發明之糊劑塗布裝置及方法的第丨實施 形態從大致X軸方向觀察的立體圖：其中，1爲架台，la 、lb爲架台側面，2a、2b爲框架（閘門式框架），3a、 3b爲橫樑’ 4a、4b爲橫樑側支承構件，5a、5b爲架台側 支承構件，6a、6b爲X軸方向移動機構，7爲磁鐵板，8 爲基板保持機構，9爲頭設置面，10爲塗布頭部，11爲包 含線性軌道之Y軸方向移動機構，12爲Z軸伺服馬達， 13爲Z軸移動載台支承托架，14爲Z軸移動載台。 在第1圖，爲了避免圖式變得煩雜，僅對在圖上所出 現的部分賦予符號，除此以外的部分則省略符號。此外， 該第1實施形態，雖是關於在基板面上描繪糊劑圖案（密 封材圖案）之糊劑塗布裝置及方法，但當然也能適用於在 基板上滴入液晶之滴入裝置^ 第1圖中，是在架台1上設置基板保持機構8，搬運 -9 - 201103631 過來的未圖示的玻璃基板被裝載於該基板保持機構8。該 基板保持機構8可讓所裝載的基板沿X、Y軸方向移動、 轉動（0軸方向的移動），藉此對基板的位置、姿勢進行 微調。 在架台1上之基板保持機構8的兩側之下側，沿著X 軸方向且沿著架台1的兩側之邊部設有X軸方向移動機構 6a、6b。該等X軸方向移動機構6a、6b，在此例如是形 成線性馬達，其磁鐵板7沿X軸方向設置。在該等X軸 方向移動機構6a、6b上載置支承兩個框架2a、2b，能藉 由該等X軸方向移動機構6a、6b沿X軸方向移動。相對 於所使用之最大尺寸的基板，爲了使架台1之Y軸方向的 寬度（以下稱橫寬）儘量縮小而謀求小型化，分別設置在 該橫寬方向的對置邊之磁鐵板7，是設置成靠近架台1之 X軸方向的側面（亦即架台側面）1 a、1 b。 在此說明圖中的前側的框架2b，該框架2b係具備： 長邊沿著Y軸方向（與X軸方向垂直）之橫樑3b、以及 設置在該橫樑3b的兩端部而用來支承該橫樑3b之腳狀的 兩個橫樑側支承構件4a、4b ;該等橫樑側支承構件4a、 4b安裝於：可移動地設置在X軸方向移動機構6a、6b上 之架台側支承構件（滑動件）5a、5b。 框架2b的橫樑3b比架台1的Y軸方向的寬度更長， 因此，橫樑3b的兩端部是從架台1之平行於X軸的兩側 的側面（亦即架台側面1 a、1 b )突出，因此，設置在該橫 樑3b之兩端部的下面之橫樑側支承構件4a、4b，也分別 -10- 201103631 從架台1之兩側的架台側面la、lb突出。如此，框架2b 是形成：橫樑3b利用橫樑側支承構件4a、4b和架台側支 承構件5a、5b來抱住基板保持機構8的形狀。 另一側的框架2a也是，具有與框架2b的構造相同的 構造。 在框架2a、2b之橫樑3a、3b之互相對置的頭設置面 9’分別設置複數個塗布頭部10。在第1圖，由於對面側 的框架2a之頭設置面9是朝向正面側，以下是針對該框 架2a的頭設置面9作說明。 在框架2a的頭設置面9，沿該面的長邊方向（亦即Y 軸方向）設置Y軸方向移動機構11，在該Y軸方向移動 機構11安裝複數個塗布頭部1〇(在此，僅對一個塗布頭 部賦予符號）。在該等塗布頭部10分別設置Y軸方向 移動機構1 1之線性馬達，藉由該線性馬達，使該等塗布 頭部10沿著Y軸方向移動機構11在Y軸方向移動。在 以下的說明，關於X軸方向移動機構也是，當作Y軸方 向移動機構1 1來作說明。 在各塗布頭部1 〇的基台上，在其背面側（頭設置面9 側），如上述般設有Y軸方向移動機構1 1的線性馬達， 在其表面側設置：具有Z軸伺服馬達12之Z軸移動載台 支承托架13，且設有：藉由該Z軸伺服馬達12使塗布頭 部10上下移動之Z軸移動載台14。在該Z軸移動載台14 ，如後述般安裝：設有糊劑收納筒（注射器）、噴嘴之噴 嘴支承具，距離計，具備照明光源之鏡筒和影像辨識攝影 -11 - 201103631 機等。 以上的構造，關於前側的框架2b之頭設置面也是同 樣的。而且，依據此構造，藉由Y軸方向移動機構11使 各塗布頭部10在載置於基板保持機構8的基板上沿Y軸 方向移動，又藉由X軸方向移動機構6a、6b使框架2a、 2b沿X軸方向移動，藉此將各塗布頭部10同樣地朝X軸 方向驅動，以在基板上同時描繪複數個同一形狀的糊劑圖 案。 第2圖係將第1圖的塗布頭部10的一具體例的主要 部放大的立體圖，15代表糊劑收納筒，16代表噴嘴支承 具，17代表噴嘴，18代表距離計，19代表基板。 圖中，設有糊劑收納筒15、噴嘴17之噴嘴支承具16 及距離計18，是設置在Z軸移動載台14(第1圖）。 距離計1 8，是利用非接觸式的三角測距法來測定：從 噴嘴17的前端部至基板保持機構8(第1圖）上所裝載的 基板19的表面（上面）之距離。亦即，在距離計18的框 體內設置發光元件，從該發光元件射出的雷射光被基板1 9 上的測定點S反射後，按照同樣是設置在框體內的受光元 件之接收位置來進行測定。此外，基板1 9上的雷射光的 測定點S和噴嘴17的正下方位置，在基板19上雖偏離些 微的距離AX及ΔΥ，但在這種些微距離程度的偏離下基板 1 9表面的凹凸差是在可忽視的範圍內，因此距離計1 8之 測定結果與從噴嘴1 7前端部至基板1 9表面（上面）的距 離之間幾乎沒有差異存在。如此，根據該距離計1 8的測 -12- 201103631 定結果來控制z軸移動載台14’能對應於基板19表面的 凹凸（起伏）而使從噴嘴17前端部至基板19表面（上面 )的距離（間隔）維持一定。 如此般，藉由使從噴嘴17前端部至基板19表面（上 面）的距離（間隔）維持—定，且將從噴嘴丨7吐出之單 位時間的糊劑量維持定量’能使塗布描繪在基板19上之 糊劑圖案的寬度、厚度成爲一定。 雖未圖示出，具備可照明的光源之鏡筒和影像辨識攝 影機，除了作爲各塗布噴嘴17的平行調整用及間隔調整 用以外，爲了進行基板19的對準和糊劑圖案之形狀認識 等，是設置成與基板對置。 k 返回第1圖，在本實施形態，係具備用來控制以上各 部的控制部。亦即，在架台1的內部設有主控制部，以控 制：進行各機構的驅動之線性馬達、讓載台移動的伺服馬 達。而且，在該主控制部，透過纜線連接著副控制部。副 控制部是用來控制：驅動Z軸移動載台14之Z軸伺服馬 達12。 第3圖係顯示主控制部的構造和其控制的一具體例之 方塊圖，20a爲主控制部，20aa爲微電腦，20ab爲馬達控 制器，20ac爲影像處理裝置，2〇ad爲外部介面，20ae爲 資料通訊匯流排，2Ob爲副控制部，2 1爲USB (通用串列 匯流排）記憶體，22爲硬碟，23爲馬達，24爲鍵盤，25 爲調節器’ 26爲閥單元，27a爲塗布頭部移動用γ軸線性 馬達用驅動器，27b爲框架移動用X軸線性馬達用驅動器 -13- 201103631 ’ 27c爲載台旋轉用0軸馬達用驅動器，28爲影像辨識攝 影機，29爲通訊纜線。 圖中’在主控制部20a內設有：微電腦20aa、馬達控 制器20ab、影像處理裝置20ac、外部介面20ad，且微電 腦20aa和馬達控制器20ab和影像處理裝置20ac和外部 介面20 ad是透過資訊通訊匯流排20 ae互相連接。在此， 虽!J控制部2 0 b是透過通訊續線2 9連接於該外部介面2 0 a d 。再者，馬達控制器20ab是控制：用來驅動γ軸方向移 動機構11之塗布頭部移動用Υ軸線性馬達用驅動器（以 下簡稱Υ軸驅動器）27a、用來驅動X軸方向移動機構6a 、6b之框架移動用X軸線性馬達用驅動器（以下簡稱X 軸驅動器）2 7b、將裝載有基板之基板保持機構8 (第1圖 )沿0軸方向驅動之載台旋轉用0軸馬達用驅動器（以下 簡稱0軸驅動器）27c。又影像處理裝置20ac是用來處理 影像辨識攝影機2 8所獲得的影像訊號。且外部介面20ad ，是用來與副控制部20b、調節器25和閥單元26 (用來 控制塗布頭部1 〇的糊劑塗布動作）進行通訊》 此外，在主控制部20a連接著：USB記憶體21、外部 儲存裝置之硬碟22、監視器23、鍵盤24等。從鍵盤24 輸入的資料等，是顯示於監視器23，且儲存保管於硬碟 22 ' USB記憶體21等的記憶媒體。 微電腦20aa雖未圖示出，係具備：主運算部、儲存 處理程式（進行後述塗布描繪）之ROM、儲存主運算部的 處理結果和來自外部介面20ad和馬達控制器20ab的輸入 -14- 201103631 資料之RAM、與外部介面20ad和馬達控制器20ab進行資 料交換之輸出入部等。 藉由Y軸驅動器27a驅動之各塗布頭部10的Y軸方 向移動機構11(線性馬達）、藉由X軸驅動器2 7b驅動 之框架2a、2b的X軸方向移動機構6a、6b (線性馬達） ，是設有可檢測出各塗布頭部10、框架2a、2b的位置之 線性標度，將其檢測結果分別供應給Y軸驅動器27a、X 軸驅動器2 7b，以進行塗布頭部10之Y軸方向、X軸方 向的位置控制。又同樣地，藉由0軸驅動器27c驅動之基 板保持機構8(第1圖），也在內部設有可檢測出該基板 的旋轉量之編碼器，將其檢測結果供應給0軸驅動器27c 以進行基板方向的控制。 第4圖係第3圖的副控制部2 Ob的一具體例之方塊圖 ，20ba爲微電腦，20bb爲馬達控制器，20bc爲外部介面 ，20bd爲資料通訊匯流排，27d爲Z軸馬達用驅動器，與 前述圖式對應的部分是賦予相同符號而省略重複說明。 圖中，在副控制部20b內設有：微電腦20ba、馬達控 制器20bb、外部介面20bc (用來輸入距離計18所獲得的 高度資料，與主控制部20a之間進行訊號的傳送）；其等 是透過資訊通訊匯流排20bd互相連接。微電腦20ba雖未 圖示出，係具備：主運算部、儲存處理程式（後述塗布描 繪時控制從基板1 9表面起算之噴嘴1 7 (第2圖）的高度 )之ROM、儲存主運算部的處理結果和來自外部介面 2〇bc及馬達控制器20bb的輸入資料之RAM、與外部介面 -15- 201103631 20bc和馬達控制器20bb進行資料交換之輸出 由馬達控制器20bb控制之Z軸馬達用驅動器 置在每一個塗布頭部10而用來驅動其Z軸伺月丨 在該等Z軸伺服馬達12內設有編碼器（可檢 量）’將其檢測結果送回Z軸馬達驅動器27d 1 7的高度位置控制。· 在主控制部20a和副控制部20b之聯合控 達（線性馬達、Z軸伺服馬達、0軸伺服馬達 鍵盤24 (第3圖）輸入而儲存於微電腦20aa的 料來進行移動旋轉，藉此使被基板保持機構8 I 保持的基板19(第2圖）沿X軸方向移動任 透過讓噴嘴17(第2圖）上下移動的Z軸移重 藉由設置於橫樑2a、2b之塗布頭部10的Y軸 構11，使所支承的噴嘴17沿Y軸方向移動任 其移動中，以糊劑收納筒1 5所設定的氣壓繼; 噴嘴17前端部的吐出口將糊劑吐出，以在基板 期望的糊劑圖案。 在噴嘴17沿Y軸方向水平移動中，距離言1 嘴1 7與基板1 9表面之間的間隔，藉由Z軸I 的上下移動來控制噴嘴1 7以始終維持一定的間 第5圖係第1圖所示的實施形態之全體動 〇 圖中，若將第1圖所示的糊劑塗布裝置接 驟S100)，首先實施裝置的初期設定（步驟 入部等。藉 27d ，是設 1馬達12 ’ 測出其旋轉 以進行噴嘴 制下，各馬 )是根據從 I RAM之資 〔第1圖） 意距離，且 办載台14， 方向移動機 意距離，在 續加壓而從 19上描繪 • 1 8測定噴 备動載台1 4 隔。 作的流程圖 通電源（步 S101)。在 -16- 201103631 該初期設定步驟，在第1圖，是藉由驅動Y軸方向移動機 構11、X軸方向移動機構6a、6b之線性馬達、Ζ軸移動 載台14,而使基板保持機構8沿Y軸方向移動而定位於 既定的基準位置，又將噴嘴17(第2圖）的位置設定在既 定的原點位置（使其糊劑吐出口位於開始塗布糊劑的位置 ，亦即糊劑塗布開始點），再者，進行'糊劑圖案資料、基 板位置資料、糊劑吐出結束位置資料的設定。 該資料的輸入是利用鍵盤24 (第3圖）來進行，所輸 入的資料，如上述般儲存在微電腦20aa (第3圖）內的 RAM。 若該初期設定步驟（步驟S101)結束，接著將基板 19裝載保持於基板保持機構8(第1圖）（步驟S1 02) 〇 接著進行基板預備定位處理（步驟S1 03)。在該處 理，是將裝載於基板保持機構8之基板19的定位用標記 藉由影像辨識攝影機來攝影，根據其影像訊號經由影像處 理求出定位用標記的重心位置而檢測出基板19之0軸方 向的傾斜，對應於此驅動Y軸驅動器27a、X軸驅動器 27b、0軸驅動器27c (第3圖）以將塗布頭部10沿X、Y 軸方向移動並校正0軸方向的傾斜。經由以上動作結束基 板預備定位處理（步驟S103)。 接下來進行糊劑圖案描繪處理（步驟S104)。在該 處理，首先讓噴嘴17的糊劑吐出口移動至基板19的塗布 開始位置，以將噴嘴位置精密地定位。接著，讓Z軸驅動 -17- 201103631 器27d (第4圖）動作而將各噴嘴17的高度設定成糊劑圖 案描繪高度。根據噴嘴之初期移動距離的資料’讓各噴嘴 17下降初期移動距離分量。接下來的動作’是藉由各距離 計1 8測定基板1 9的表面高度，確認噴嘴1 7前端是否設 定成糊劑圖案描繪高度，當尙未設定成描繪高度的情況’ 讓噴嘴17下降微小距離，並反覆進行上述基板19的表面 測定和噴嘴1 7的微小距離下降動作，以將噴嘴1 7前端設 定成糊劑圖案的塗布描繪高度。 若以上處理結束後，接著根據儲存於微電腦20aa (第 3圖）的RAM之糊劑圖案資料和0軸方向的傾斜校正來驅 動Y軸方向移動機構11和X軸方向移動機構6a、6b的線 性馬達，藉此在噴嘴1 7之糊劑吐出口與基板1 9對置的狀 態下，對應於糊劑圖案資料而相對於基板19使噴嘴17分 別沿X、Y軸方向移動，且以各糊劑收納筒1 5 (第2圖） 所設定的壓力將氣體加壓而從噴嘴1 7之糊劑吐出口開始 吐出糊劑。藉此開始對基板19進行糊劑圖案的塗布。 而且，在此同時，如先前所說明般，副控制部20b的 微電腦20ba從距離計18取得噴嘴17之糊劑吐出口與基 板19·表面之間的間隔之實測資料，以測定基板19表面的 起伏，對應於此測定値來驅動Z軸伺服馬達1 2，藉此使 從基板19表面起算之噴嘴17的設定高度維持一定。如此 ，能以期望的塗布量來塗布糊劑圖案。 如以上所述般進行糊劑圖案的描繪，並判斷噴嘴1 7 的糊劑吐出口是否位於基板19上的根據上述糊劑圖案資 -18- 201103631 料所決定的描繪圖案的終端，若非終端的話’再度返回基 板的表面起伏的測定處理，以下反覆進行上述的塗布描繪 ，繼續進行到所形成的糊劑圖案到達其描繪圖案的終端爲 止。 而且，若到達該描繪圖案終端，驅動Z軸伺服馬達 12而使噴嘴17上昇，並結束該糊劑圖案描繪步驟（步驟 S104 )。 接著，前往基板排出處置（步驟S105)，從第1圖 所示的基板保持機構8將基板19的固定予以解除並排出 裝置外。 接著，判定以上全部的步驟是否對於作爲對象之所有 基板19都已實施（步驟S106)，要在複數片基板上形成 相同的糊劑圖案的情況，是從基板裝載處理（步驟S102 )反覆進行，若對所有的基板都完成一連串的處理，作業 即全部結束（步驟S107)。返回第1圖，設置在框架2a 、2b的頭設置面9上之Y軸方向移動機構11，是超出複 數個塗布頭部10在基板上描繪糊劑圖案所必要的範圍， 而沿著Y軸方向延伸。如此，塗布頭部1 〇可移動至離開 基板上的位置。在如此般離開基板的場所，可進行各塗布 頭部1 〇的維修、安裝、卸下等的作業。 因此，各框架2a、2b的橫樑3a、3b，是比架台1的 橫寬更長’其等的兩端部從架台1的架台側面la、lb突 出。此外’爲了更穩定地支承該較長的橫樑2a、2b，是在 橫樑2a、2b的前端部設置橫樑側支承構件4a、41)，且分 -19- 201103631 別安裝在架台側支承構件5 a、5b。如此，橫樑側支承構件 4a、4b也會從架台1的架台側面la、lb突出。 例如，隨著液晶面板的大型化，爲了提高面板的製造 效率而使用可同時描繪複數個糊劑圖案之基板之糊劑塗布 裝置，隨著描繪糊劑圖案用之基板的大面積化，該裝置也 變得大型化，其架台也會大型化，若架台過於大型化，其 橫寬變得過大，例如要運送糊劑塗布裝置時，會造成無法 裝載於搬運車輛等的問題。因此，必須對架台1的橫寬設 限制。 然而，即使如此般對架台1的橫寬設限制而使架台1 能裝載於搬運車輛，亦即爲了能使用大面積的基板，而讓 架台1的橫寬成爲可使用該基板之到達極.限的橫寬，但如 第1圖所示，框架2a、2b之橫樑3a、3b兩側的前端部、 橫樑側支承構件4a、4b會從架台1之架台側面1 a、1 b突 出而超出架台1的橫寬之限制値，因此仍會發生相同的問 題。 在本實施形態，爲了解決該問題，架台側支承構件5a 、5b和橫樑側支承構件4a、4b是藉由緊固螺栓來結合， 藉由卸下該緊固螺栓，能使架台側支承構件5a、5b和橫 樑側支承構件4a、4b分離，以將框架2b從架台1卸下。 另一方的框架2a也具有同樣的構造。 第6圖係將第丨圖所示的糊劑塗布裝置的框架2b 從架台1卸下狀態之一具體例的立體圖；7a、7b爲直接傳 動導件，30a、30b爲滑動件，31a、31b爲l字形金屬構 -20- 201103631 件，與第ί圖對應的部分是賦予同一符號而省略重複的說 明。 圖中’ X軸方向移動機構6a係具備：設置成互相平 行之磁鐵板7和直接傳動導件7a，以及配置在磁鐵板7和 直接傳動導件7a上而能沿著磁鐵板7和直接傳動導件7a 移動之滑動件30a。藉由磁鐵板7和設置在滑動件30a之 未圖示的零件來形成線性馬達。此外，X軸方向移動機構 6b係具備：設置成互相平行之磁鐵板7和直接傳動導件 7b，以及配置在磁鐵板7和直接傳動導件7b上而能沿著 磁鐵板7和直接傳動導件7b移動之滑動件30b。藉由磁鐵 板7和設置在滑動件30b之未圖示的零件來形成線性馬達 。該等滑動件30a、30b，是相當於第1圖的架台側支承構 件5a、5b，其上面形成平坦面。 另一方面，在設置於框架2b之橫樑側支承構件4a、 4b的前端部，一體地設有L字形金屬構件31a、31b。該 等L字形金屬構件31a、31b的下面形成平坦面。藉由將 該等L字形金屬構件31a、31b的下面固定在該滑動件30a 、3 0b的上面，如第1圖所示，使框架2b安裝在架台側支 承構件5a、5b上，亦即成爲安裝在架台1上的狀態，而 成爲可用於對基板進行糊劑圖案塗布的狀態。此外，如第 6圖所示，藉由將L字形金屬構件31a、31b的下面和滑 動件30a、3 0b的上面之固定予以解除，可將框架2b抬起 而從架台1卸下。 又如上述般，由於框架2b之橫樑3b的兩端部、橫樑 -21 - 201103631 側支承構件4a、4b是從架台1的架台側面ia、ib突出， 橫樑側支承構件4a、4b的兩端面形成互相對置的垂直面 ，而在該垂直的端面安裝L字形金屬構件31a、31b之垂 直的安裝面。因此，藉由將該等L字形金屬構件31a、 31b從橫樑側支承構件4a、4b的前端部配置成在水平方向 互相對置，即使橫樑側支承構件4 a、4 b從架台1的架台 側面1 a、1 b突出，仍能使L字形金屬構件3 1 a之平坦的 下面與架台1上的滑動件30a(設置在磁鐵板7和直接傳 動導件7a上）之平坦的上面對置，同時能使L字形金屬 構件31b之平坦的下面與架台1上的滑動件30b(設置在 磁鐵板7和直接傳動導件7b上）之平坦的上面對置。藉 此，如上述般，可將框架2b相對於滑動件30a、30b進行 安裝、卸下。 如此般，滑動件30a、30b的上面部是構成框架2b的 緊固部。 另一方的框架2a也是具有相同的構造。 如以上所述般，在本具體例，框架2a、2b可從架台1 分離，在分解前的狀態，將該糊劑塗布裝置從上面觀察的 情況，若將框架2a、2b的長度（裝置之短邊的尺寸）設 定爲A，現在大型的母玻璃基板尺寸超過約2(m)見方 ，將包圍基板的框架設置成一體之裝置的寬度A超過3.5 (m)，而有擴大到4 ( m )左右的情況。因此，在利用一 般道路來搬送裝置時，會發生在搬運車輛內部無法收納該 裝置的問題。作爲其對策，通常的情況，是考慮從架台1 -22- 201103631 將包含基板保持機構8的裝置予以分割的構造，在此情況 ，若進行基板保持機構8的卸下、組裝，每次都會造成裝 置的組裝精度降低，且進一步會導致塗布位置精度劣化。 然而，本具體例的構造是只有框架2a、2b能分解， 因此，就裝置而言，可縮窄至架台1的橫寬尺寸B。又就 框架2a、2b而言，是縮窄至更小的短邊寬度C即可，因 此分解後的裝置之最大尺寸爲B，即使是採用超大型母玻 璃基板，仍能將寬度抑制在超過3 ( m ) —些的程度。結 果，利用一般道路之裝置搬送可毫無問題的解決》 第7圖係將第6圖的「甲部」，亦即框架2b和架台1 的連接機構放大的立體圖，是顯示框架2b從架台1分離 的狀態，7b爲導軌，30b!爲載置面，31b!爲抵接面， 31b2爲上面，32、33爲螺栓孔，34a、34b爲肋部，35爲 緊固螺栓。又與先前的圖式對應的部分是賦予同一符號而 省略重複說明。 圖中，設置在架台1 (第6圖）側之架台側支承構件 5b ’是由滑動件30b構成，該滑動件30b係具備：與磁鐵 板7 —起構成X軸方向移動機構6b之線性馬達，可沿著 磁鐵板7和與其平行設置的導軌7b移動。而且，該滑動 件30b之平坦的上面是成爲載置面30b!。滑動件30b被設 置成不突出架台1的架台側面lb。 另一方面，框架2b之橫樑側支承構件4b的前端部之 L字形金屬構件3 1 b，其垂直部分與橫樑側支承構件4b — 體化’其水平部分成爲與滑動件30b之載置面3〇bi結合 -23- 201103631 的部分。因此，該L字形金屬構件31b的下面成爲與滑動 件3 0b之載置面3 0b,抵接之抵接面31b,，在其上面31 b2 設置用來補強該L字形金屬構件31b的肋部34a，在該肋 部3 4a的兩側分別設置複數個（在此爲3個）貫穿抵接面 311m之螺栓孔32。相對於此，在滑動件30b的載置面 301m上也是，在與L字形金屬構件31b的各螺栓孔32對 應的位置設有螺栓孔3 3 (在內部刻設螺紋）。又在橫樑側 支承·構件4b也是，設有用來補強之肋部34b。 於是，藉由將L字形金屬構件31b載置在滑動件30b 的載置面301m上，且相對於滑動件30b進行L字形金屬 構件31b的位置調整，可使L字形金屬構件31b的螺栓孔 32與滑動件30b上之對應螺栓孔33 —致，在此狀態下從 螺栓孔32分別將緊固螺栓35插入，即可將L字形金屬構 件3 1 b固定於滑動件3 Ob，而將框架2b的橫樑側支承構件 4b安裝於架台側支承構件5b。 前述構造，關於框架2b的橫樑側支承構件4a及架台 側支承構件5 a也是同樣的，藉由分別安裝該等橫樑側支 承構件4a、4b及架台側支承構件5a、5b，以將框架2b可 移動地安裝在架台1上。此外，以上的說明，關於另一方 的框架2a也是同樣的，而同樣地能將框架2a可移動地安 裝在架台1上。 於是，如第1圖所示，當框架2a、2b是安裝在架台1 上的狀態時，藉由將緊固螺栓3 5從橫樑側支承構件4 a、 及架台側支承構件5 a、5b卸下，即可如第7圖所示般 -24- 201103631 將L字形金屬構件311)從滑動件3〇b分離，如此可將框架 2a ' 2b從架台1卸下。 第8圖係從第6圖所示的狀態變成第1圖所示的狀態 的作業流程之一具體例的流程圖。以下雖是舉框架2b爲 例作說明’但關於框架2a也是同樣的。 圖中’首先’將藉由抬起用治具抬起後的框架2b放 到架台1的緊固部，亦即滑動件3 0b的上方（步驟S 200 )。接著，讓框架2b下降，而使橫樑側支承構件4b的前 端部之L字形金屬構件311)的抵接面31bl抵接於滑動件 3 0b的載置面3 0b :，而成爲L字形金屬構件31b載置在該 載置面3 01^的狀態（步驟S201)。接著，讓L字形金屬 構件31b的螺栓孔32與滑動件3 0b的載置面3 0b t上的螺 栓孔33 —致後將緊固螺栓35從螺栓孔32進行插入螺合 ’藉此將L字形金屬構件3 1 b固定於滑動件3 Ob。如此， 將框架2b固定在架台1之架台側支承機構5b，而將框架 2b安裝於架台1 (步驟S202)。 然後’將抬起用治具從框架2b卸下（步驟S203 )， 進行框架2b和架台1的連接部之配線及配管的連接（步 驟S204)，完成一連串的組裝作業。 第9圖係從第1圖所示的狀態變成第6圖所示的狀態 的作業流程之一具體例的流程圖。以下雖是舉框架2b爲 例作說明，但關於框架2 a也是同樣的。 圖中’首先，將框架2b和架台1的連接部之配線及 配管的連接解除（步驟S300)，將抬起用治具安裝於框 -25- 201103631 架2b (步驟S301)。然後，如第7圖所說明，將緊固螺 栓3 5從L字形金屬構件31 b及滑動件3 Ob卸下（步驟 S3〇2 )，藉由抬起用治具將框架2b抬起（步驟S3〇3 )， 移動至其他場所（步驟S304)。藉此使框架2b從架台1 分離。 如以上所述般，利用較簡單的作業就能將框架2a、2b 安裝於架台1，且能從架台1卸下。 第10圖係將第1圖所不的糊劑塗布裝置的框架2a、 2b從架台1卸下的狀態之其他具體例的立體圖，與第6圖 對應的部分是賦予同一符號而省略重複說明。 第6圖及第7圖所示的具體例，框架2 b的橫樑側支 承構件4a、4b和架台側支承構件5a、5b是利用水平面來 連接’在本具體例，如第10圖所示般是利用垂直面來連 接。 第10圖中，橫樑側支承構件4a、4b的前端面是成爲 垂直面，架台側支承構件5a、5b (滑動件30a、30b )之 抵接面也是成爲垂直面。讓橫樑側支承構件4a、4b的前 端面抵接於滑動件30a、30b的抵接面，並藉由緊固螺栓 將該等緊固，以將框架2b安裝在架台1上。 第11圖係將第10圖中的框架2b和架台1的連接機 構放大之立體圖，是顯示框架2b從架台1分離的狀態， 31b3爲頂面，36、37爲抵接面，38爲突出面，39爲螺栓 孔’與第7圖對應的部分是賦予同一符號而省略重複說明 -26- 201103631 圖中，架台側支承構件5b，是在第7圖所示的滑動件 30b上一體地裝載第7圖所示的L字形金屬構件31b而構 成’該L字形金屬構件31b的垂直部的外面成爲抵接面 36。該抵接面36’是以不突出架台丨的側面lb的方式， 靠近該側面1 b而配置。 另一方面’橫樑側支承構件4b的前端是形成平坦的 垂直面’該垂直面成爲抵接面37，在該抵接面的上邊設置 段部而形成突出部38。而且，在該抵接面37，設置複數 個貫穿其相反側的面之螺栓孔39。 讓橫樑側支承構件4b的抵接面3 7抵接於架台側支承 構件5 b側的L字形金屬構件3 1 b的抵接面3 6，藉由將橫 樑側支承構件4b安裝於架台側支承構件5b，在該狀態下 ，橫樑側支承構件4b的前端之抵接面37和突出部38之 間的段部會抵接在架台側支承構件5 b側的L字形金屬構 件31b的頂面31b3，而使突出部38載置在該頂面31b3上 ，如此，相對於L字形金屬構件31b的抵接面36，進行 橫樑側支承構件4b的抵接面37之上下方向的定位。 此外，在L字形金屬構件31b的抵接面36，雖未圖 示出，但設有與橫樑側支承構件4b的抵接面37上的螺栓 孔39分別對應的螺栓孔，且在該等螺栓孔內刻設螺紋。 於是，在L字形金屬構件3 1 b的抵接面3 6上，如上 述般讓橫樑側支承構件4b的抵接面3 7抵接，進行橫樑側 支承構件4b的抵接面37之位置調整以使抵接面37上的 螺栓孔39分別與L字形金屬構件31b的抵接面36上所設 I： -27- 201103631 置的螺栓孔一致後’從橫樑側支承構件4 b側通過抵接面 37的螺栓孔39將緊固螺栓插入l字形金屬構件31b的抵 接面3 6上的螺栓孔，並進一步進行螺合，即可使橫樑側 支承構件4b的抵接面37固定在L字形金屬構件31b的抵 接面30，亦即固定在架台側支承構件5b。而且，同樣地 ’使橫樑側支承構件4 a也固定在架台側支承構件5 a，藉 此將框架2b可移動地安裝於架台i。 依據此構造，藉由將用來固定橫樑側支承構件4a和 架台側支承構件5a之緊固螺栓卸下，可簡單地將框架2b 從架台1卸下。 以上雖是針對框架2b的說明，但關於另一方的框架 2a也是同樣的。 在本具體例也能獲得與第6圖、第7圖所示的具體例 同樣的效果。 第12圖係將本發明的糊劑塗布裝置及方法之第2實 施形態從大致X軸方向觀察的立體圖，40a、40b爲X軸 方向移動機構設置面，與第1圖對應的部分是賦予同一符 號而省略重複的說明。 又在第12圖也是與第1圖同樣的，爲了避免圖式變 得煩雜，僅對在圖上所出現的部分賦予符號，除此以外的 部分則省略符號。此外，該第2實施形態，雖是關於在基 板面上描繪糊劑圖案（密封材圖案）之糊劑塗布裝置及方 法，但當然也能適用於在基板上滴入液晶之滴入裝置。 在第1 2圖，在架台1的左右側面1 a、1 b側設置：相 -28- 201103631 對於該等側面la、lb凹陷段差D之平坦的垂直面（X軸 方向移動機構設定面40a、4 0b)，在該等X軸方向移動 機構設定面40a、40b設置X軸方向的X軸方向移動機構 6a、6b。在此，將段差D設定成：使X軸方向移動機構 6a、6b的架台側支承構件5a、5b (其中，架台側支承構 件5b未圖示）不致從側面la、lb突出的程度。 架台側支承構件5a，例如是與第7圖所示的滑動件 3 0b同樣的，其抵接面成爲垂直面》此外，框架2b的橫樑 側支承構件4a的前端面（抵接面）也是成爲垂直面，藉 由在架台側支承構件5a的抵接面讓橫樑側支承構件4a的 抵接面抵接，並利用緊固螺栓來鎖緊，能使框架2b的橫 樑側支承構件4a固定於架台側支承構件5a，而將框架2b 設置於架台1。此外，藉由將該緊固螺栓卸下，能使框架 2b從架台1分離，而將糊劑塗布裝置分離成框架2b和架 台1 〇 以上的說明’關於另一方的架台2a也是同樣的。 此外，將框架2a、2b安裝於架台1的作業，是與第8 圖所不的作業相同，將框架2a、2b從架台1卸下的作業 ’是與第9圖所示的作業相同。此外，第2實施形態之基 板的糊劑塗布動作’也是與第5圖所示的第1實施形態相 同。 如以上所說明’依據第2實施形態，可將框架2a、2b 從架台1卸下’也能安裝在架台1上，因此可獲得與前述 第1實施形態同樣的效果，再者，由於將X軸方向移動機 201103631 構6a、6b (用來讓框架2a、2b移動）設置在架台1的側 面la、lb’比起第1圖所示的第1實施形態，在架台1的 上面爲了設置X軸方向移動機構6a、6b的空間變得不需 要’因此架台1的橫寬B2(第12圖）變得比第1實施形 態之架台1的橫寬B1更窄，而使裝置更加小型化。 【圖式簡單說明】 第1圖係本發明的糊劑塗布裝置及方法之第i實施形 態之立體圖。 第2圖係第1圖的塗布頭部之一具體例之立體圖。 第3圖係第1圖所示的第1實施形態之主控制系統的 —具體例之方塊圖。 第4圖係第1圖所示的第1實施形態之副控制系統的 —具體例之方塊圖。 第5圖係第1圖所示的第1實施形態之全體動作的一 具體例之流程圖。 第6圖係將第1圖所示的糊劑塗布裝置的框架從架台 卸下的狀態之一具體例之立體圖》 第7圖係將第6圖的「甲部」，亦即框架和架台的連 接機構放大之立體圖。 第8圖係從第6圖所示的狀態變成第1圖所示的狀態 的作業流程之一具體例的流程圖。 第9圖係從第1圖所示的狀態變成第6圖所示的狀態 的作業流程之一具體例的流程圖。 -30- 201103631 第10圖係將第1圖所示的糊劑塗布裝置的框架從架 台卸下的狀態之其他具體例之立體圖。 第11圖係將第10圖的框架和架台的連接機構放大之 立體圖。 第12圖係將本發明的糊劑塗布裝置及方法之第2實 施形態從大致X軸方向觀察的立體圖。 【主要元件符號說明】 1 :架台 1 a、1 b :架台側面 、2b :框架（閘門式框架） 3a、3b :橫樑 4a、4b :橫樑側支承構件 5a、5b :架台側支承構件 6a、6b : X軸方向移動機構 7 :磁鐵板 7a、7b :導軌 8 :基板保持機構 9 :頭設置面 1 〇 :塗布頭部 1 1 : Y軸方向移動機構 1 2 : Z軸伺服馬達 13: Z軸移動載台支承托架 : Z軸移動載台 -31 - i'i 201103631 3 0a、3 0b :滑動件 31a、31b: L字形金屬構件 30bi :載置面 3 lb!:抵接面 3 1 b2 :上面 3 1 b 3 :頂面 3 2、3 3 :螺栓孔 34a、34b ：肋部 35 :緊固螺栓 36、37 :抵接面 38 :突出部 3 9 :螺栓孔 40a、40b: X軸方向移動機構設置面 -32-