JP2023069325A - 組み付け方法および装置、真空処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】対象物の下面に対する部品の組み付けの際に作業者の負担や製造に係るコストを低減でき、組み付けの精度を高めることができる技術を提供する。【解決手段】組み付け装置（アシスト装置１００）は、部品２０２を搭載する部品受け機構５００と、部品受け機構５００を保持し移動可能であるハンド機構３００とを備える。部品受け機構５００は、第１軸の周りの第１の傾きを調整する機構であり、ハンド機構３００は、第２軸の周りの第２の傾きを調整する機構である。組み付け方法は、部品受け機構５００に搭載された部品２０２の第１の傾きを調整する第１のステップと、ハンド機構３００に保持された部品受け機構５００の部品２０２の第２の傾きを調整する第２のステップとを有する。第１の傾きと第２の傾きとの調整により、対象物（試料室２０１）の下面に対する部品２０２の傾きが調整される。【選択図】図１

Description

本発明は、対象物に対する部品の組み付けを行う技術に関する。

半導体製造装置、半導体検査計測装置、電子顕微鏡、表面分析装置、微細加工装置、質量分析装置などの製品は、真空試料室（真空チャンバなどとも呼ばれる）を備える。真空試料室は、真空ポンプを用いて内部の排気が行われて内部が真空に保たれる試料室である。真空試料室内では、一般に、試料の加工、検査、計測、分析、観察、測定、搬送など（処理と総称する）が行われる。このような真空処理装置に搭載される真空ポンプは、各種があり、例えば高真空を実現するために多用されるターボ分子ポンプがある。例えば走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を備えるシステムは、真空試料室内に配置される半導体ウェハ等の試料の寸法を計測する機能などを有する。

従来、上記製品の組み立て・製造の際には、対象物である真空試料室のような重量物の下面（言い換えると底面）に対し、真空ポンプなどの部品の組み付けを行う工程がある。従来の組み付け方法では、このような組み付け工程において、主に作業者による手作業で、重量物である試料室の下面に対する部品の組み付けが行われている。部品も相応の重量を有し、作業者が部品を手に持って作業することは困難な場合がある。

重量物の下面に対する部品の組み付けを補助・支援するための一般的な技術例としては、重量物を持ち上げて下側から支持する機構や、ロボットアームのハンドによって部品を保持して移動させる機構などが挙げられる。

上記組み付けに係わる先行技術例としては、特開昭５９－１７５９８５号公報（特許文献１）が挙げられる。特許文献１には、ロボットハンドを操作する、ウォーム減速機構よりなる駆動機構が記載されており、モータでウォーム軸を回転させて、ウォーム軸のウォームに対し噛み合うウォーム車を回転させることで、ウォーム車の軸として接続された、物体を把持する爪を備えたロボットハンドを回転させる機構が記載されている。

特開２０００－２８２１１０号公報（特許文献２）には、露光装置に関して、チャックの裏面を支持する各点の高さを容易に調整して、チャックの平坦度を向上させる旨、基板を保持するチャックの裏面を複数の点で支持するチャック支持台に、チャックの裏面を支持する点の高さを調整する複数の高さ調整機構を設ける旨が記載されている。

特開昭５９－１７５９８５号公報 特開２０００－２８２１１０号公報

特許文献１のような技術によれば、第１方向のウォーム軸の回転に対し、所定の減速比で回転速度を減速させて、ウォーム車の第２方向の軸のロボットハンドを回転させ、ロボットハンドの爪に把持された物体をその軸の周りに回転させる。例えば対象物に対し物体を取り付ける際に、ロボットハンドを回転させる操作により、その物体の配置状態（特に回転に応じた姿勢）を微調整可能である。

特許文献２のような技術によれば、チャック等の対象物の平坦度（例えば主面が水平に配置される度合い）を向上できる。

従来の組み付け方法は、作業者の負担や製造に係るコストが大きく、組み付け工程に非常に時間を要していた。重量物の下面に対し部品を組み付ける際に、作業者が部品を持って作業する場合、特に部品の重量が大きい場合には、作業者の負担が大きい。また、組み付け工程では、対象物の下面に対する部品の組み付けの高さ位置および傾きの精度が重要である。例えば、下面に対し部品を平行に組み付ける必要がある。作業者が部品を持って作業する場合、組み付けの際に傾きのズレなどが生じる場合がある。

本発明の目的は、上記組み付けの技術に関して、対象物の下面に対する部品の組み付けの際に作業者の負担や製造に係るコストを低減でき、組み付けの精度を高めることができる技術を提供することである。

本開示のうち代表的な実施の形態は以下に示す構成を有する。実施の形態の組み付け方法は、組み付け装置を用いて、作業台の上に設置された対象物の下面に部品を組み付ける作業をアシストする組み付け方法であって、前記組み付け装置は、前記部品を搭載する部品受け機構と、前記部品受け機構を保持し移動可能であるハンド機構と、を備え、前記部品受け機構は、第１軸の周りの第１の傾きを調整する機構であり、前記ハンド機構は、前記第１軸とは異なる方向の第２軸の周りの第２の傾きを調整する機構であり、前記組み付け方法は、前記部品受け機構の前記第１の傾きを調整することで、前記部品受け機構に搭載された前記部品の前記第１の傾きを調整する第１のステップと、前記ハンド機構の前記第２の傾きを調整することで、前記ハンド機構に保持された前記部品受け機構の前記部品の前記第２の傾きを調整する第２のステップと、を有し、前記第１の傾きと前記第２の傾きとの調整により、前記対象物の下面に対する前記部品の傾きを調整する。

本開示のうち代表的な実施の形態によれば、組み付けの技術に関して、対象物の下面に対する部品の組み付けの際に作業者の負担や製造に係るコストを低減でき、組み付けの精度を高めることができる。上記した以外の課題、構成および効果等については、［発明を実施するための形態］において示される。

実施の形態１の組み立て装置を含む、全体像の構成を示す。 実施の形態１で、試料室や部品の構成例を示す。 実施の形態１で、本体装置、ロボットアーム、フォーク等の構成例を示す。 実施の形態１で、ハンド機構のフォークに部品受け機構を搭載した状態を示す。 実施の形態１の組み付け方法のフローを示す。 実施の形態１で、ハンド機構の構成例として、第２回転軸の方向から見た模式図を示す。 実施の形態１で、ハンド機構の構成例として、第１回転軸の方向から見た模式図を示す。 実施の形態１で、部品受け機構の構成例として、上から見た模式図を示す。 実施の形態１で、部品受け機構の構成例として、第３回転軸の方向から見た模式図を示す。 実施の形態１で、部品受け機構を用いた第１の傾きの調整例の模式図を示す。 実施の形態１で、ハンド機構を用いた第２の傾きの調整例の模式図を示す。 実施の形態１の変形例の組み立て装置の構成例を示す。 実施の形態１の変形例の組み立て装置における部品受け機構およびセンサ（光測長器）の構成例を示す。 実施の形態１の変形例の組み立て装置における部品受け機構およびセンサ（ひずみゲージ）の構成例を示す。 実施の形態２の組み立て装置の構成を示す。 実施の形態２の組み立て装置を用いた、試料室の下面への組み付けの例を示す。 実施の形態２で、作業台に対する組み立て装置の配置例を示す。 実施の形態２で、作業台の構成例を示す。 実施の形態２で、作業エリアの構成例を示す。 実施の形態２の組み付け方法のフローを示す。 実施の形態２で、水平方向の位置調整の例を示す。 実施の形態２で、接触検知などの説明図を示す。 実施の形態２の変形例の組み付け装置の構成を示す。

以下、図面を参照しながら本開示の実施の形態を詳細に説明する。図面において、同一部には原則として同一符号を付し、繰り返しの説明を省略する。図面において、構成要素の表現は、発明の理解を容易にするために、実際の位置、大きさ、形状、および範囲等を表していない場合がある。

説明上、プログラムによる処理について説明する場合に、プログラムや機能や処理部等を主体として説明する場合があるが、それらについてのハードウェアとしての主体は、プロセッサ、あるいはそのプロセッサ等で構成されるコントローラ、装置、計算機、システム等である。計算機は、プロセッサによって、適宜にメモリや通信インタフェース等の資源を用いながら、メモリ上に読み出されたプログラムに従った処理を実行する。これにより、所定の機能や処理部等が実現される。プロセッサは、例えばＣＰＵやＧＰＵ等の半導体デバイス等で構成される。プロセッサは、所定の演算が可能な装置や回路で構成される。処理は、ソフトウェアプログラム処理に限らず、専用回路でも実装可能である。専用回路は、ＦＰＧＡ、ＡＳＩＣ、ＣＰＬＤ等が適用可能である。

プログラムは、対象計算機に予めデータとしてインストールされていてもよいし、プログラムソースから対象計算機にデータとして配布されてもよい。プログラムソースは、通信網上のプログラム配布サーバでもよいし、非一過性のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体（例えばメモリカード）でもよい。プログラムは、複数のモジュールから構成されてもよい。コンピュータシステムは、複数台の装置によって構成されてもよい。コンピュータシステムは、クラウドコンピューティングシステムやＩｏＴシステム等で構成されてもよい。各種のデータや情報は、例えばテーブルやリスト等の構造で構成されるが、これに限定されない。識別情報、識別子、ＩＤ、名、番号等の表現は互いに置換可能である。

また、以下の実施の形態では、電子顕微鏡を応用した半導体検査装置を一例として説明するが、その他の真空処理装置や、複数の真空処理装置ネットワークで接続されたシステム、複数の真空処理装置を組み合わせた複合装置へも、本開示は適用が可能である。

＜実施の形態１＞
図１以降を用いて、本開示の実施の形態１の組み付け方法および装置について説明する。

［概要］
実施の形態１の組み付け方法は、対象物（例えば真空試料室）の下面に対し部品（例えば真空ポンプ）を組み付ける工程の際に、作業者が組み付け装置を用いて組み付けを行う作業をアシストする方法である。実施の形態１の組み付け装置は、言い換えると、組み付け調整装置、組み付け搬送装置などである。実施の形態１の組み付け装置は、第１機構としてハンド機構と、ハンド機構のフォークに保持される第２機構として部品受け機構とを有する。部品受け機構は、上板の上に部品を保持する。部品受け機構は、ハンド機構のフォークに対し直接的または間接的に支持・固定される。ハンド機構は、移動可能であり、部品を搭載した部品受け機構は、対象物の下面の下側に配置される。

第１機構と第２機構は、２種類・２段階の傾き調整機構として機能する。部品受け機構は、第１軸の周りの傾きを調整することで、部品の第１の傾きを調整する。ハンド機構は、第２軸の周りの傾きを調整することで、部品受け機構の上の部品の第２の傾きを調整する。第１の傾きの第１軸と第２の傾きの第２軸とは異なり、例えば９０度の関係を有する。

部品受け機構は、作業者の操作に基づいて、シャフト回転軸の周りに下板に対し上板を回転させて上板の傾きを変化させることで、部品の第１の傾きを調整する。第１の傾きは、水平面に対する第１の方向に延在する第１軸（シャフト回転軸と対応した回転軸）の周りの角度による傾きである。部品受け機構は、傾き調整の操作用に下板に設けられた複数の高さ調整部品として、高さ調整ねじを有してもよい。

ハンド機構は、作業者の操作に基づいて、ハンド回転軸を回転させて、ハンド回転軸に接続されたフォークの傾きを変化させることで、フォーク上に保持された部品受け機構の第２の傾きを調整する。第２の傾きは、水平面に対する第２の方向（第１の方向とは異なる方向）に延在する第２軸（ハンド回転軸と対応した回転軸）の周りの角度による傾きである。ハンド機構は、操作用のハンドルと、ハンドルに接続されたウォームホイールと、ウォームホイールに嵌合したウォームギヤとを有してもよい。

実施の形態１は、製品の例として、電子顕微鏡を応用した半導体検査装置を対象とする。半導体検査装置の概念は、試料である半導体ウェハ上に形成されたパターンの寸法を計測する装置、パターンの欠陥有無を検査する装置、パターンが形成されていないベアウェハの欠陥有無を検査する装置、これらの装置を複数組み合わせた複合装置などを含む。実施の形態１は、その製品に備える真空試料室を対象物とする。実施の形態１は、その対象物として重量物である試料室の下面に対する真空ポンプなどの部品の組み付けの工程を対象とする。実施の形態１は、その組み付け工程における作業者による組み立て・製造をアシストする組み付け装置（図１のアシスト装置１００）、およびその組み付け装置を用いた組み付け工程を含む組み付け方法を示す。

実施の形態１の組み付け装置および方法は、対象物の下面に対する部品の組み付け面の高さ位置および傾きを調整するための機構およびステップを有する。具体的には、実施の形態１の組み付け装置および方法は、パワフルアーム（図３のロボットアーム１１１）の先端のハンド機構３００のフォーク４００によって、部品２０２を搭載した部品受け機構５００を保持し、部品２０２を搭載した部品受け機構５００を試料室２０１の下面２０３の下側に移動させる。また、その際に、部品受け機構５００のシャフト回転軸およびハンド機構３００のハンド回転軸を用いて、部品２０２の傾きを２軸で調整する機構およびステップを有する。また、この組み付け装置および方法は、ハンド機構３００のフォーク４００の上に保持される部品受け機構５００に搭載された部品２０２について、試料室２０１の下面２０３（組み付け対象面）に対する部品２０２の上面（組み付け面）が例えば平行（設計上の所定の傾き度合いの設計値）となるように、部品２０２の傾き（第１の傾きおよび第２の傾き）を調整する機構およびステップを有する。

実施の形態１の組み付け装置（図１のアシスト機構１００）は、図３の本体装置１１０およびロボットアーム１１１と、ハンド機構３００と、部品受け機構５００とを備える。実施の形態１の組み付け方法は、部品受け機構５００を用いて第１の傾きを調整する第１のステップと、ハンド機構３００を用いて第２の傾きを調整する第２のステップとを有する。実施の形態１は、それらの２種類の機構およびステップによる、試料室２０１の下面に対する部品２０２の傾きの調整が可能である。

［組み付け装置（１）］
図１は、実施の形態１の組み付け装置を含む、作業時の全体像を模式図で示す。図１は、作業台１０１上に設置された対象物である試料室２０１と、部品２０２（例えば真空ポンプ）が配置された部品準備台車１０２と、実施の形態１の組み付け装置であるアシスト装置１００とを有する。図１では、アシスト装置１００は、後述の図３の本体装置１１０などを除いた、先端のハンド機構３００および部品受け機構５００の部分のみを図示している。ユーザである作業者は、製品の組み立て・製造の際、特に組み付け工程の際、これらを用いて、試料室２０１の破線で示す下面２０３に対する部品２０２の組み付けの作業を行う。なお、説明上、空間の座標系として図示の（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を用いる場合がある。Ｚ軸は鉛直方向に対応し、Ｘ軸およびＹ軸は、直交する２つの水平方向に対応する。

作業台１０１は、対象物である試料室２０１を上側に載置して支持する支持機構、試料室置台である。作業台１０１上の試料室２０１の下面２０３の下側には、作業のためのスペースが確保される。矢印で示す作業Ａは、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の組み付けの作業を示す。作業台１０１は、例えば、四角形の上面において４つの角の支えの上に試料室２０１の下面２０３の４つの角が搭載される。

作業台１０１は、試料室２０１の重量を支持する十分な剛性などを有する。本例では、作業台１０１は、直方体のフレームとして、合計１２本のフレームを有する。作業台１０１上に試料室２０１が設置された状態で、下面２０３は、作業台１０１の上面の領域内に収まる。作業台１０１の高さは、作業のしやすさのために、例えば１ｍ以上といった十分な高さが確保される。アシスト装置１００の高さは、作業台１０１の作業スペースの高さに合わせて設計される。すなわち、少なくとも部品２０２を搭載した部品受け機構５００の部分が、作業台１０１の作業スペース内に収まるように、アシスト装置１００の高さ等の寸法が設計される。逆に言えば、アシスト装置１００の必要な寸法に合わせて、作業台１０１の寸法が設計される。

部品準備台車１０２は、例えばフレーム、１段以上の面板、車輪などで構成される。部品準備台車１０２の面板上には部品２０２が設置される。部品準備台車１０２は、少なくとも水平面での一方向に移動可能である。部品準備台車１０２の車輪には、全方向移動型車輪を採用してもよい。ユーザは、部品準備台車１０２を所望の位置（例えば作業台１０１の隣）に動かして配置できる。ユーザは、部品準備台車１０２上の部品２０２を、アシスト装置１００の部品受け機構５００上に設置することができる。

アシスト装置１００は、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の組み付けの作業をアシストするための装置である。図１のアシスト装置１００は、大別して、ハンド機構３００と部品受け機構５００との２つの機構を有する。

ハンド機構３００は、ユーザによるハンドル３０１の回転の操作に応じて、部品受け機構５００を、第２回転軸Ｊ２の周りに傾き調整できる機構である。ハンドル３０１の回転に応じて、第１回転軸Ｊ１（図１ではＹ方向に延在）周りのウォームホイール３０２の回転が発生する。その回転に対し、ウォームギヤ３０３を通じて、第２回転軸Ｊ２（図１ではＸ方向に延在）周りのハンド回転軸の回転が発生する。その回転に応じて、部品受け機構５００の傾きが変化する。

部品受け機構５００は、ユーザによる後述の高さ調整ねじ５０４（図９）の操作に応じて、第３回転軸Ｊ３を有するシャフト回転軸の周りに、下板５０３に対する上板５０２の傾きを調整できる機構である。上板５０２の上面には部品２０２が載置・固定されている。部品受け機構５００は、対象の全ての部品２０２に共通に使用できるように、対象全部品の寸法や質量を考慮して設計されている。

アシスト装置１００は、これらの２つの機構を用いて、部品２０２の配置の傾きとして、水平面（Ｘ－Ｙ面）に対する２つの軸に対応した２つの傾き（第１の傾きおよび第２の傾き）を調整できる。この傾き調整を利用して、ユーザは、試料室２０１の下面２０３に対し部品２０２の上面を例えば平行に組み付けることが容易かつ高精度に可能となる。

［試料室と部品］
図２の（Ａ）は、試料室２０１の下面２０３に対して組み付けられる部品２０２の例を示す。部品２０２として、本例では、真空ポンプ２０２Ａ、ヒートシンク（言い換えると冷却部品）２０２Ｂを有する。他にも製品に応じて部品２０２がある。他の部品の例は、試料室２０１内に試料を搬送するための機構であるリフトベースなどが挙げられる。下面２０３には、１つ以上（本例では１つ）の真空ポンプ２０２Ａが組み付けられる。製品によっては、下面２０３に複数の真空ポンプ２０２Ａが組み付けられてもよい。試料室２０１内の底面上には例えば試料台であるステージ機構を有する。

なお、重量物である試料室２０１は、所定の重量以上を有する物であり、作業者が持って作業することは困難である。試料室２０１は、重量が例えば約１トンである。また、部品２０２も相応の重量を有し、人が持って作業することが容易ではない場合がある。

図２の（Ｂ）は、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の組み付けの際の理想的な組み付けの状態の例を横から見たＸ－Ｚ面で示す。理想では、下面２０３は水平面に配置されている。理想では、その下面２０３に対し、部品２０２の上面が、平行に配置される。すなわち、部品２０２の上面も水平面に配置されている。組み付けの方向（矢印で示す）は理想では鉛直方向である。下面２０３に対する部品２０２の固定は、例えばねじ締め２０５による。

図２の（Ｃ）は、実際の組み付けの際の課題を示す。（Ｃ）の状態では、試料室２０１の下面２０３は水平面には配置されておらず、水平面に対し少し傾きを持って配置されている。作業時に作業台１０１等が設置される空間の床は水平であるとは限らず、微小な傾きや凹凸などがある可能性がある。そのため、作業台１０１上の試料室２０１の下面２０３は水平面に配置できるとは限らない。また、組み付けの際に、部品２０２の上面が、試料室２０１の下面２０３に対し、非平行となって、相対的な傾きがズレとして生じている。

実施の形態１の組み付け方法および装置は、上記のような組み付け時に、部品２０２を支持して位置を調整するとともに、試料室２０１の下面２０３に対し部品２０２の上面が例えば平行となるように、傾きを調整できる機構を有する。（Ｃ）のように下面２０３が非水平配置であったとしても、また、部品受け機構５００上に搭載される部品２０２の上面が非水平配置であったとしても、実施の形態１の組み付け方法および装置によれば、図１のような機構を用いて２軸で傾きを調整できる。言い換えると、下面２０３に対する部品２０２の上面の相対的な傾きを調整できる。これにより、下面２０３に対し部品２０２を例えば平行となるように調整して組み付けることができる。

［組み付け装置（２）］
図３は、図１のアシスト装置１００の詳細として、本体装置１１０を含めた構成例を示す。アシスト装置１００は、本体装置１１０に対し、ロボットアーム１１１を介して、図１のハンド機構３００が接続されている。本体装置１１０は、車輪などを有し、水平方向の少なくとも一方向に移動可能である。本体装置１１０の車輪は、全方向移動型車輪を採用してもよい。本体装置１１０は、ユーザの操作によって移動や静止が可能である。本体装置１１０は、パワフルアームであるロボットアーム１１１を駆動する機構などを備えている。ロボットアーム１１１の駆動は、例えばエアシリンダ方式である。本体装置１１０は、作業者による操作に基づいて、ロボットアーム１１１を駆動して移動や停止させる。ロボットアーム１１１は、多関節を有し、先端（特にスカラー軸の先端）にハンド機構３００が接続されている。ロボットアーム１１１は、本体装置１１０に対するハンド機構３００の位置を、例えば３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の方向で所定の位置範囲内で変更可能な機構である。ロボットアーム１１１の動作により、空間内でのハンド機構３００（少なくとも、ハンド機構３００から張り出した部品受け機構５００）の位置を、例えば図１の作業台１０１の作業スペース内に配置できる。

図３のロボットアーム１１１の先端のハンド機構３００にはフォーク４００が設けられている。フォーク４００は、部品受け機構５００を搭載する機構である。作業者の操作に基づいて、フォーク４００の上に、部品受け機構５００が、取り付けおよび取り外し可能である。ハンド機構３００は、安全性確保のために、必要時に部品受け機構５００を拘束してフォーク４００に搭載できる構造を有する。詳しくは、ハンド機構３００に設けられた拘束機構３０７に、部品受け機構５００の一部を固定可能な構造を有する。例えば拘束機構３０７に部品受け機構５００の突起５０９（図８）が挿入されて固定される。これにより、フォーク４００上に部品受け機構５００が固定される。これにより、フォーク４００から部品受け機構５００が落ちることが防止される。

フォーク４００は、言い換えると、ハンド先端部、部品受け機構保持部である。なお、フォーク４００は、本例では二股形状であるが、これに限定されない。フォーク４００は、変形例としては、部品受け機構５００を横から把持できる機構などとしてもよい。

図３では、ハンド機構３００のウォームホイール３０２やウォームギヤ３０３（後述の図６等）はベース筐体内に収納されており見えない。ハンド機構３００のウォームギヤ３０３のハンド回転軸３０４（後述の図６等）に対しフォーク４００が固定されている。これにより、フォーク４００は、第２回転軸Ｊ２周りに回転する。フォーク４００は、第２回転軸Ｊ２の周りに所定の回転角度範囲（例えば±１５度）内で回転する。すなわち、この回転によりフォーク４００の傾きが変化する。なお、変形例としては、フォーク４００と部品受け機構５００とが一体化された構成としてもよい。

図４は、ハンド機構３００のフォーク４００上に部品受け機構５００および部品２０２が搭載・固定された状態を示す。また、図４は、作業時に、作業台１０１上の試料室２０１に対する、フォーク４００上の部品受け機構５００および部品２０２の配置関係の例を示す。ハンド機構３００の移動により、試料室２０１の下側の作業スペース４０１内に、少なくともフォーク４００上の部品受け機構５００を配置可能である。作業台１０１の作業スペース４０１が十分に大きい場合には、作業スペース４０１内にハンド機構３００なども配置可能である。

部品受け機構５００の回転軸である第３回転軸Ｊ３（対応するシャフト回転軸５０１）は、主に、部品２０２などの重量によるフォーク４００の撓みによる傾きの角度を調整できるように、高さ調整ねじ５０４による１軸の傾き調整機構として構成されている（後述の図１０）。ハンド機構３００の回転軸（第１回転軸Ｊ１および第２回転軸Ｊ２）は、主に、作業時の床面の傾きによるハンド機構３００の傾きを調整できるように、２軸のウォーム機構（ウォームホイール３０２およびウォームギヤ３０３）による１軸の傾き調整機構として構成されている。部品受け機構５００の第３回転軸Ｊ３（本例ではＹ方向）と、ハンド機構３００の第２回転軸Ｊ２（本例ではＸ方向）とは、９０度で交差する関係を有する。これにより、アシスト装置１００は、水平面に対する部品２０２の傾きを、２軸（第３回転軸Ｊ３および第２回転軸Ｊ２）で独立に調整できる。

また、ハンド機構３００は、調整作業のしやすさを高めるために、ウォーム機構（ウォームホイール３０２およびウォームギヤ３０３）およびハンドル３０１を設けている。第１回転軸Ｊ１に対応したハンドル３０１は、部品受け機構５００の第３回転軸Ｊ３に対応したシャフト回転軸５０１と同じ向きで配置されている。ユーザが作業台１０１の試料室２０１の下面２０３の下側の作業スペース４０１内、またはその外側の近傍で、部品受け機構５００上の部品２０２の傾き調整を行う。その際に、ユーザが例えば図示のＹ方向で手前側から図示のハンド機構３００および部品受け機構５００を見ながら、ハンドル３０１や高さ調整ねじ５０４（図９）を操作することが可能である。これにより、ユーザがあまり移動しなくても、２軸の傾き調整が容易に可能である。

［組み付け方法および作業フロー］
図５は、図１の実施の形態１の組み付け装置（アシスト装置１００）を用いて行われる実施の形態１の組み付け方法に対応した作業のフローを示す。実施の形態１の組み付け装置は、様々な利用の仕方が可能であるが、図５では、利用の一例に対応したフローを示す。このフローでは、部品２０２の２軸（例えばＸ軸とＹ軸）での傾きの状態を調整するにあたり、先にステップＳ５で、図１等の部品受け機構５００を用いて部品２０２の一方の軸（例えば図４での第３回転軸Ｊ３に対応したＹ軸）での傾きを調整し、後にステップＳ６で、図１等のハンド機構３００を用いて部品２０２の他方の軸（例えば図４での第２回転軸Ｊ２に対応したＸ軸）での傾きを調整するものである。これらの２軸の傾きの調整により、図２の（Ｂ）に近い状態として、試料室２０１の下面２０３に対し部品２０２の上面がほぼ平行となる状態とされる。

ステップＳ１で、ユーザは、図１の作業台１０１上に試料室２０１を設置する。なお、作業台１０１上に重量物である試料室２０１を設置する際の技術的手段は限定されず、例えばクレーンなどを適用できる。

ステップＳ２で、ユーザは、図１の部品準備台車１０２上に部品２０２を準備する。なお、作業は複数人の作業者で分担されてもよい。

ステップＳ３で、ユーザは、部品準備台車１０２上の部品２０２を、アシスト装置１００の部品受け機構５００上に配置・固定する。なお、この際には、様々な方法が適用できる。例えば、ユーザがアシスト装置１００または部品準備台車１０２を操作することで、ハンド機構３００の先端のフォーク４００上に搭載された部品受け機構５００を部品準備台車１０２の近くに配置し、部品準備台車１０２上から部品受け機構５００上に部品２０２を最短距離で移動させてもよい。あるいは、ユーザが部品受け機構５００のみを部品準備台車１０２上またはその近くに配置し、部品準備台車１０２上から部品受け機構５００上に部品２０２を配置・固定する。そして、その後、ユーザが、その部品２０２が搭載された部品受け機構５００を、ハンド機構３００のフォーク４００上に搭載してもよい。

ステップＳ４で、ユーザは、アシスト装置１００（図３の本体装置１１０）を作業台１０１の近くに移動させ、ロボットアーム１１１の動作により、試料室２０１の下面２０３の下側に対し、フォーク４００上の部品受け機構５００上の部品２０２が所望の位置となるように配置する。この配置は、３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の空間内での部品２０２の位置調整（水平方向および垂直方向の位置調整を含む）に相当する。

ステップＳ５で、ユーザは、部品受け機構５００を操作して、部品２０２の第１の傾きの状態を調整する。この第１の傾きは、図４での第３回転軸Ｊ３（対応するＹ軸）周りの角度に対応した傾きである。具体例では、部品受け機構５００の上板５０２が概略的に水平配置になるように調整される（後述の図１０等）。

ステップＳ６で、ユーザは、ハンド機構３００を操作して、部品受け機構５００（およびその上の部品２０２）の第２の傾きの状態を調整する。ユーザは、ハンドル３０１を回転操作し、これにより、第１回転軸Ｊ１周りにウォームホイール３０２が回転する。そのウォームホイール３０２に嵌合したウォームギヤ３０３が第２回転軸Ｊ２周りに所定の減速比で回転する。そして、ウォームホイール３０２のハンド回転軸３０４（図６）に接続されているフォーク４００、およびそのフォーク４００上の部品受け機構５００が、第２回転軸Ｊ２周りに回転する。この第２の傾きは、図４での第２回転軸Ｊ２（対応するＸ軸）周りの角度に対応した傾きである。

なお、図１や図４の例では、第２回転軸Ｊ２がＸ軸、第３回転軸Ｊ３がＹ軸に配置されているが、勿論これに限らず、アシスト装置１００等の配置に応じて、空間内において、概略的に水平面内での任意の直交する２軸を設定できる。

上記ステップＳ６までで、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の配置の状態、特に傾き状態が調整された。その後、ステップＳ７では、ユーザは、試料室２０１の下面２０３に対し部品２０２の上面をねじ締め等によって固定する。また、ステップＳ４、Ｓ５、およびＳ６は、必要に応じて繰り返すことができ、ユーザは、アシスト装置１００を操作して、下面２０３に対する部品２０２の相対的な位置および傾きの状態を微調整できる。

ステップＳ７で下面２０３への部品２０２の組み付けが終了した後、アシスト装置１００や各機構の位置が元に戻される。上記フローは、組み付ける部品２０２毎に同様の繰り返しで行われる。

上記フローの例に限らずに可能である。他のフローでは、ユーザは、ステップＳ３の後、まずステップＳ５を行って第１の傾きを調整し、その後にステップＳ４で部品受け機構５００を試料室２０１の下面２０３の下側に移動させてもよい。他のフローでは、ユーザは、先にステップＳ６のハンド機構３００を用いた傾き調整を行い、その後にステップＳ５の部品受け機構５００を用いた傾き調整を行ってもよい。

アシスト装置１００は、上記フローのように、ハンド機構３００と部品受け機構５００とを用いた、２種類・２段階の傾き調整をアシストできる。

［ハンド機構］
図６および図７は、ハンド機構３００の詳細構成例を示す。図６は、ハンド機構３００を第２回転軸Ｊ２に対応した方向（図６ではＸ方向）から見た構成を示す。図７は、図６のハンド機構３００を第１回転軸Ｊ１に対応した方向（図７ではＹ方向）から見た構成を示す。ハンド機構３００は、ウォームギヤ３０３およびウォームホイール３０２によるウォーム機構を用いて構成された、ロボットアーム１１１のハンド部分である。ハンド機構３００は、作業者によるハンドル３０１の回転操作により、容易かつ高精度にフォーク４００の傾きを調整することができる機構である。

ハンド機構３００は、ベース筐体３１０、ハンドル３０１、ハンドル３０１に接続された第１回転軸Ｊ１に対応したウォームホイール３０２、ウォームホイール３０２に嵌合したウォームギヤ３０３、ウォームギヤ３０３に接続された第２回転軸Ｊ２（図１）に対応したハンド回転軸３０４等を有する。ハンド機構３００は、ベース筐体３１０内に、ウォーム機構として、ウォームホイール３０２およびウォームギヤ３０３を備える。なお、図１等ではベース筐体３１０等を省略してウォーム機構を露出した概念図として示している。ハンド機構３００のウォームギヤ３０３およびハンド回転軸３０４に対し、フォーク４００が固定されている。

ハンドル３０１は、第１回転軸Ｊ１を有するウォームホイール３０２をユーザの手動で回転させる操作のための回転ハンドルである。ウォームホイール３０２の一方端にハンドル３０１が設けられている。ハンドル３０１の回転操作に応じてウォームホイール３０２が第１回転軸Ｊ１周りに回転すると、ウォームホイール３０２に嵌合したウォームギヤ３０３が、所定の減速比で、第１回転軸Ｊ１に対し交差する第２回転軸Ｊ２周りに回転する。これに伴い、ウォームギヤ３０３の中心の第２回転軸Ｊ２（例えばＸ方向に延在）を有するハンド回転軸３０４が回転する。これにより、フォーク４００が第２回転軸Ｊ２周りに回転して傾きが変化する。

ウォームホイール３０２には図示しない回転止めも設けられている。回転止めがユーザにより操作されて所定の状態となった場合、ハンドル３０１による第１回転軸Ｊ１周りの回転ができない状態となる。言い換えると、その状態では、フォーク４００のある傾き調整状態が変更されないように維持できる。

ウォームホイール３０２の上にウォームギヤ３０３が配置されている。ウォームギヤ３０３の中心からＸ方向で前に少し出たハンド回転軸３０４に対し、断面Ｌ字形状の補強部品３０６を介して、上にフォーク４００が固定されている。

ハンド機構３００は、ハンドル３０１の回転操作に対し、ウォーム機構によって構成された所定の減速比で、ハンド回転軸（第２回転軸Ｊ２）を回転させる。言い換えると、第１回転軸Ｊ１のウォームホイール３０２に対し第２回転軸Ｊ２のウォームギヤ３０３が所定の減速比で回転する。これにより、ハンド回転軸３０４上のフォーク４００上に搭載される部品受け機構５００の傾きが調整される。所定の減速比とすることで、ユーザが細かい傾き調整をしやすい。

第２回転軸Ｊ２の周りのフォーク４００の回転は、所定の回転角度範囲内で制限されて行われる。この回転に伴い、フォーク４００は、図６の破線で示すように、第２回転軸Ｊ２に対し、角度θのような角度で傾きが変化する。これにより、フォーク４００上の部品受け機構５００および部品２０２が、第２回転軸Ｊ２の周りに回転して傾きが変化する。

［部品受け機構］
図８および図９は、部品受け機構５００の詳細構成例を示す。図８は、部品受け機構５００を上から見たＸ－Ｙ面図を示す。図９は、部品受け機構５００を第３回転軸Ｊ３に対応した横から見たＸ－Ｚ面図を示す。図９では下板５０３に対し上板５０２が傾き（角度φ）を有する状態を示す。部品受け機構５００は、第３回転軸Ｊ３に対応したシャフト回転軸５０１と、シャフト回転軸５０１に接続された上板５０２および下板５０３（図９）と、下板５０３および下板ベース５０７に設けられた高さ調整ねじ５０４（図９）等とを有する。下板５０３の下側には下板ベース５０７が固定されており、下板ベース５０７の一辺（図８では左辺）には突起５０９が設けられている。

上板５０２および下板５０３は、上から見て概略的に四角形であり、一辺（図８ではＸ方向で左辺）に対し、シャフト回転軸５０１が接続されている。シャフト回転軸５０１は第３回転軸Ｊ３を有し、図８ではＹ方向に沿って延在している。上板５０２のＺ方向で下側には図９の下板５０３が配置されている。破線の円で示す、ねじ位置５０５は、下板５０３における複数の高さ調整ねじ５０４の配置位置を示している。本例では、高さ調整ねじ位置５０５は、下板５０３の四角形の領域において、上辺付近に６個、下辺付近に６個、合計１２個が設けられている。

上板５０２の上面には、部品受けガイド５０６も設けられている。部品受けガイド５０６は、部品２０２（例えば真空ポンプ）を配置する位置や領域を表しており、例えば部品２０２の下部の外形（本例では円）に沿って部品２０２の下部を収容できるようにＺ方向の上側に立ったリング状の凸部分を有する。部品受けガイド５０６は、これに限らず凹形状などでもよい。

突起５０９は、Ｚ方向の下方に出る部分を含み、図３のハンド機構３００の拘束機構３０７に突起５０９を挿入して回すことで固定できる機構である。

下板ベース５０７は、部品受け機構５００を任意の面上に設置する際にその面上に接地する。下板ベース５０７は、複数の高さ調整ねじ５０４が配置された部分では、高さ調整ねじ５０４が露出する空間を有する。ユーザは、下板５０３の下側の下板ベース５０７の空間で、手動操作（なおドライバーなどの器具を用いてもよい）によって高さ調整ねじ５０４のねじ頭を回すことができる。この操作は、一般的なねじ締め操作である。この操作により、高さ調整ねじ５０４は、高さ方向であるＺ方向の上下に回転して移動する。ユーザは、複数の高さ調整ねじ５０４のうち、任意の高さ調整ねじ５０４を選択して操作できる。高さ調整ねじ５０４が上に移動すると、図９のように、高さ調整ねじ５０４のねじ先端が上板５０２を押し上げる。これにより、上板５０２がシャフト回転軸５０１の第３回転軸Ｊ３の周りに回転し、下板５０３に対する上板５０２の傾きの状態が変化する。下板５０３に対して上板５０２が形成する角度φが、第３回転軸Ｊ３周りの傾きに相当する。

本例では、複数の高さ調整ねじ５０４は、同一の設計のものが適用されており、高さ調整ねじ５０４がねじ締め操作によって１回転した場合の高さ移動量は同じである。高さ調整ねじ５０４のねじ先端によって上板５０２を持ち上げるために必要な力は、シャフト回転軸５０１の位置に対して距離が異なる高さ調整ねじ５０４の位置（図９ではＸ方向での位置）に応じて異なる。

本例では、複数の高さ調整ねじ５０４は、図８でのＸ方向に並んだ６個を１列として、Ｙ方向に２列で配置されている。複数の高さ調整ねじ５０４により、上板５０２を支持するための負荷が分散できる。複数の高さ調整ねじ５０４の配置の位置や数は、図示の例に限定されず、各種可能である。変形例では、Ｘ方向で１箇所としてもよいし、Ｙ方向で１箇所としてもよい。

図示のように、ユーザが高さ調整ねじ５０４の高さを調整することで、第３回転軸Ｊ３の周りの角度φが変化し、部品受け機構５００の上板５０２の傾きの状態を調整できる。上板５０２に対し、部品２０２の上面が平行となるように搭載されている。よって、部品受け機構５００の上板５０２の傾きの調整によって、部品２０２の傾き（第１の傾き）の状態を調整できる。部品受け機構５００における上板５０２の傾きの角度φは、例えば０度～１０度程度の範囲内で変化できるように設計されている。これにより、部品２０２の第１の傾きを微調整可能である。

部品受け機構５００の第１の傾きの調整機能は、ハンド機構３００の第２の傾きの調整機能とは独立した機能である。ユーザは、部品受け機構５００での第１軸（第３回転軸Ｊ３）での第１の傾きの調整と、ハンド機構３００での第２軸（第２回転軸Ｊ２）での第２の傾きの調整とをそれぞれ行うことができる。ハンド機構３００でのハンド回転軸３０４およびフォーク４００の傾きの調整の軸（第２回転軸Ｊ２）と、部品受け機構５００での上板５０２の傾きの調整の軸（第３回転軸Ｊ３）とは、異なる２つの方向、例えば９０度で交差する２つの方向（図４ではＸ，Ｙ方向）とすることができる。ハンド機構３００のフォーク４００上に対する部品受け機構５００の搭載の仕方に対応して、上記９０度で交差する２つの方向が、傾きの調整の２軸として設定される。これらの２軸での傾き調整により、水平面および試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の傾きの調整が可能である。

部品受け機構５００は、変形例としては、高さ調整ねじ５０４の代わりに、ユーザの操作に応じて高さ方向に移動する物（高さ調整部品）を用いてもよい。また、部品受け機構５００は、変形例として、高さ調整ねじ５０４等の高さ調整部品を自動的に駆動する機構を設けてもよい。例えば、下板ベース５０７に高さ調整ねじ５０４を駆動するアクチュエータが追加で設けられる。ユーザによる例えばボタン操作に応じて、アクチュエータが高さ調整ねじ５０４を上下に移動させる。

実施の形態１では、部品受け機構５００は、組み付け対象となる複数の種類の部品２０２を搭載できるように共通化された構造を有する。例えば、上板５０２には、複数の種類の部品２０２を保持できるように、共通化された部品受けガイド５０６が設けられている。部品受けガイド５０６は、各種の部品２０２の寸法や形状に応じた凹凸や、着脱可能な取り付け部品や、スライド機構等を有してもよい。部品受け機構５００は、変形例としては、部品２０２ごとに、異なる部品受けガイド５０６等を有する、複数の部品受け機構５００として用意されてもよい。

［第１の傾きの調整］
図１０は、図５のステップＳ５の部品受け機構５００を用いた傾き調整、すなわち、第３回転軸Ｊ３周りの第１の傾き（角度φ）の調整についての説明図を示す。以下では調整作業例を示す。

まず、図１０の（Ａ）は、図４のようにフォーク４００上に部品受け機構５００が搭載された状態を横から見たＸ－Ｚ面での模式図を示す。図示のように、ハンド機構３００から水平方向（図１０ではＸ方向）に張り出したフォーク４００の上に、部品２０２が搭載された部品受け機構５００が搭載される。（Ａ）では、部品２０２の重量が比較的大きい場合に、部品２０２および部品受け機構５００の重量によって、フォーク４００の先端側がＺ方向の下側に撓んだ様子を誇張して図示している。重量が大きいほど撓みが大きくなり、部品受け機構５００および部品２０２が水平方向（図１０ではＸ方向）に対し下側に傾く。この場合、上板５０２および部品２０２の配置状態は、非水平配置となっており、望ましくない。

そこで、図１０の（Ｂ）は、（Ａ）のような場合に対応させて、部品受け機構５００によって部品２０２の第１の傾きを調整した例を示す。（Ａ）のような傾きを調整できるように、部品受け機構５００の回転軸である第３回転軸Ｊ３は、ハンド機構３００およびフォーク４００の第２回転軸Ｊ２に対し異なる方向として特に９０度の方向の軸として設計されている。（Ｂ）では、高さ調整ねじ５０４の操作によって、下板５０３に対する上板５０２の傾きの状態が調整されている。シャフト回転軸５０１周りの傾きの角度が角度φである。調整後、上板５０２および部品２０２の上面は、概略的に水平配置となっている。

上記のような第１の傾きの調整は、対象の部品２０２が同じであれば、再現性がある。同じ部品受け機構５００に同じ重量の部品２０２を搭載した場合、フォーク４００の撓みは殆ど同じとなる。よって、ある種類の部品２０２について、１回、部品受け機構５００による第１の傾きの調整をしておけば、同じ種類の他の複数の部品２０２の組み付けの際に、第１の傾きの再調整を行う必要は無い。すなわち、同じ種類の他の複数の部品２０２の組み付けの際には、上記のような第１の傾きの調整後の状態の同じ部品受け機構５００を用いることができ、ステップＳ５を省略または簡略化することができる。これにより、組み付け作業が効率化できる。

［第２の傾きの調整］
次に、図１１は、図５のステップＳ６のハンド機構３００を用いた傾き調整として、第２回転軸Ｊ２周りの第２の傾き（角度θ）の調整についての説明図を示す。図１１の（Ａ）は、図４のような、ハンド機構３００のフォーク４００上の部品受け機構５００等を、第２回転軸Ｊ２に対応したＸ方向から見たＹ－Ｚ面の模式図を示す。（Ａ）では、図１０のような第１の傾きの調整済みの部品受け機構５００がフォーク４００上に搭載されている。Ｙ－Ｚ面でみると、第２回転軸Ｊ２周りの第２の傾きの角度θが未調整であり、上板５０２および部品２０２の上面は非水平配置となっている。

そこで、（Ｂ）は、ハンド機構３００によって、部品２０２の第２の傾き（角度θ）を調整した例を示す。試料室２０１の下面２０３が、図示のように微小な傾きで非水平配置であるとする。ユーザによるハンドル３０１の操作に基づいた、第２回転軸Ｊ２周りの回転により、角度θが変更され、上板５０２の傾きの状態が調整されている。調整後、上板５０２および部品２０２の上面は、試料室２０１の下面２０３の傾きの状態に合わせて、平行にされている。上記のように、部品受け機構５００とハンド機構３００を用いた２段階の傾き調整によって、試料室２０１の下面２０３に対し部品２０２を例えば平行な状態にすることが容易にできる。

［効果等］
実施の形態１の組み付け装置および方法によれば、対象物である試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の組み付けの際に、作業者の負担や製造に係るコストを低減でき、組み付けの精度を高めることができる。実施の形態１によれば、試料室２０１の組み付け作業が容易になり、生産性が向上する。実施の形態１によれば、ロボットアーム１１１（図３）による位置調整機能と、ハンド機構３００および部品受け機構５００による２種類・２段階の傾き調整機能とを用いて、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の高さ位置および傾きの調整が高精度で効率的に実現できる。

実施の形態１では、特に、ハンド機構３００の第２回転軸Ｊ２を第１方向とし、部品受け機構５００の第３回転軸Ｊ３を第２方向とした場合に、第１方向に対し第２方向を垂直（９０度）の関係とした。これにより、部品２０２の傾きとして、水平面を基準として、第１方向と第２方向との２軸での傾きを調整可能である。また、これにより、作業台１０１上の試料室２０１の下側の限られた作業スペースおける作業者の調整作業をしやすくすることができる。

従来の組み付け方法では、部品の組み付け後、デジタル水準器を用いて、部品の傾きの状態を計測・評価する。その結果、試料室の下面と部品の上面との間に生じている傾きが大きい場合、不良となる。従来では、作業時に作業台や試料室などが設置されている床の状態や、部品の荷重などを原因として、試料室の下面と部品の上面とに隙間や相対的な傾きが発生し、固定用のねじが噛んでしまう等の弊害が生じる可能性があった。

それに対し、実施の形態１の組み付け方法等では、ハンド機構３００および部品受け機構５００による２種類・２段階の傾き調整機能を設け、この機能により、水平面または試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の上面の傾きを２軸で微調整可能とした。これにより、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の組み付け工程を、作業者の負担を少なく容易に実現でき、かつ、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の上面の傾きが設計値（例えば平行で隙間が無い状態）になるように高精度に組み付けを実現できる。

実施の形態１では、図５のように２段階の傾き調整（ステップＳ５，Ｓ６）を行う場合を説明した。対象の製品が荷電粒子ビーム装置などである場合、部品２０２である真空ポンプも相応の重量を有する。傾き調整の精度に支配的な因子として、部品２０２である真空ポンプの重量がある。複数の製品を製造するための複数の組み付け工程の作業を考える。傾き調整作業例として、１回目の組み付け工程では、前述のように、主に、部品受け機構５００（ステップＳ５）によって、部品２０２の第１の傾き（角度φ）が調整される。また、ハンド機構３００（ステップＳ６）によって部品２０２の第２の傾き（角度θ）が調整される。

同じ部品２０２に関する、２回目以降の組み付け工程では、部品２０２の重量による影響はほぼ同じと考えられる。言い換えると、前述のように、フォーク４００上における、部品２０２が搭載された部品受け機構５００の傾きの状態には、再現性がある。そのため、２回目以降では、部品受け機構５００（ステップＳ５）による高さ調整ねじ５０４の調整状態は、１回目と同じに維持したまま適用できる。すなわち、２回目以降では、ステップＳ５の作業については省力化できる。２回目以降では、主にハンド機構３００（ステップＳ６）によって部品２０２の第２の傾きの方を調整すればよい。これにより、調整作業が低減でき、効率的な製造が可能である。

ハンド機構３００の第２回転軸Ｊ２に対応する第１方向と、部品受け機構５００の第３回転軸Ｊ３に対応する第２方向との関係は、９０度に限定しなくてもよい。変形例では、ハンド機構３００のフォーク４００上に、ユーザが任意に選択・設定した方向で、部品受け機構５００を搭載できる構成とする。これにより、第１方向と第２方向との関係を、９０度以外の角度に設定可能である。そして、その第１方向と第２方向との２軸での傾き調整が可能である。

［変形例（１－１）］
実施の形態１に係わる変形例として以下も可能である。変形例の組み付け方法としては、図５のようなフローで部品２０２を組み付ける途中または組み付け後において、センサ、例えばデジタル水準器を用いて、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の傾きの状態を、検出、計測、評価、検査等してもよい。デジタル水準器は、例えば水平面における直交する２軸であるＸ軸（第１軸）およびＹ軸（第２軸）のそれぞれの傾きの角度を計測できる機器である。例えば、ハンド機構３００（特にフォーク４００）、部品受け機構５００、または部品２０２に、デジタル水準器が設置されてもよい。あるいは、それらと、試料室２０１の下面２０３との両方に、デジタル水準器が設置されてもよい。上記評価等の結果において、部品２０２の絶対的な傾き、または下面２０３に対する相対的な傾きが、例えば閾値以上となる場合には、不適と判定して、再調整を行うようにする。

［変形例（１－２）］
図１２は、実施の形態１の変形例のアシスト装置１００を示す。この変形例は、図３のロボットアーム１１１やフォーク４００を省略した形態に相当し、ハンド機構３００が本体装置１１０に相当する。この変形例では、ハンド機構３００と部品受け機構５００との間に、接続機構として、アーム１５１が設けられている。言い換えると、前述のハンド回転軸３０４は、第２回転軸Ｊ２の方向に長さが延長されている。アーム１５１は、前述のウォームギヤ３０３またはハンド回転軸３０４（第２回転軸Ｊ２）に対し接続されており、所定の一方向として図示の例ではＸ方向で伸縮可能な機構である。アーム１５１を動かすことで、ハンド機構３００に対する部品受け機構５００の位置を平行移動できる。これにより、図示の例では、ハンド機構３００からＸ方向に延ばした部品受け機構５００上の部品２０２が、試料室２０１の下面２０３の下側の所望の位置に配置されている。

さらに、図１２の変形例では、ハンド機構３００に対する部品受け機構５００の高さ位置を変更できる接続機構を追加で設けてもよい。その接続機構は、例えば、モータなどを用いて、部品受け機構５００を高さ方向に平行移動できるリフト機構でもよい。例えば、図１２のハンド機構３００に、アーム１５１などを含む全体を高さ方向に移動させるリフト機構を設けてもよい。あるいは、アーム１５１の先端に、そのリフト機構を設けてもよい。この場合、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の高さ位置を所望の高さ位置に調整できる。

［変形例（１－３）］
実施の形態１の変形例のアシスト装置１００として、追加で、センサとして、試料室２０１の下面２０３と部品受け機構５００の部品２０２の上面との距離を検出するためのセンサを設けてもよい。変形例は、このセンサを用いて、部品２０２の高さ位置および傾きの調整に係わる状態検出とフィードバック制御を可能とする。このセンサは、ハンド機構３００（特にフォーク４００）、部品受け機構５００または部品２０２の所定の箇所に１つ以上が設置される。

図１３は、この変形例におけるセンサの設置例を示す。本例では、部品受け機構５００の上板５０２の４角付近の４点に、センサ１３０１（４個を識別のため＃１～＃４で図示）が設置されている。各センサ１３０１は、上板５０２の平面に対し垂直な方向を検出軸として、試料室２０１の下面２０３との距離１３０２を検出する。なお、この距離１３０２から部品２０２の高さ寸法を減算すれば、下面２０３と部品２０２の上面との距離に相当する。

センサ１３０１は、例えば、光学式センサである光測長器（言い換えると測距センサ））を適用できる。光測長器は、例えばレーザー光を発するデバイスである。レーザー光が物に当たって戻ってくるまでの時間から、距離を計算可能である。

この変形例の場合、センサ１３０１は、有線または無線で、アシスト装置１００の制御装置と接続される。制御装置は、例えば図３の本体装置１１０に搭載されている。図３では破線枠で示す制御装置１２０を有する。制御装置１２０は、各センサ１３０１から信号を取得し、その信号に基づいて、各センサ１３０１の位置での距離１３０２を取得または計算する。

制御装置１２０は、例えば得られた４点（＃１～＃４）の距離１３０２に基づいて、試料室２０１の下面２０３に対するセンサ１３０１設置面（すなわち上板５０２の平面）の相対的な傾き（言い換えると、傾き度合い）を計算してもよい。通常、上板５０２の平面に対し部品２０２の上面が平行となるように搭載される。その場合、上記計算された相対的な傾きは、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の上面の傾きに相当する。例えば４点での距離１３０２が同じである場合、試料室２０１の下面２０３に対して部品２０２の上面がほぼ平行である。

制御装置１２０は、上記計算された相対的な傾きまたは傾き度合いをユーザに対し出力してもよい。出力は、例えば表示器の画面での表示であり、音声出力でもよい。ユーザは、その相対的な傾きを認識できる。ユーザは、その相対的な傾きが示しているズレを無くすように、適宜に傾きの再調整を行うことができる。これにより、組み付けをより高精度に実現できる。他に、上記相対的な傾きの出力は、傾きの値が所定の閾値以上である場合にアラートの出力としてもよい。

他の変形例では、センサ１３０１として、カメラを適用してもよい。カメラを適用する場合、カメラの画像に基づいて、距離１３０２が計算される。距離１３０２が検出または計算しやすいように、試料室２０１の下面２０３の所定の位置にマークを設けてもよい。

［変形例（１－４）］
さらに、変形例として、部品受け機構５００には、高さ調整ねじ５０４またはそれに代わる技術的手段（高さ調整部品）を、ユーザの手動ではなく、自動的に駆動できる機構を設けてもよい。例えば、前述のように、図９の下板ベース５０７に、高さ調整ねじ５０４を自動的にねじ締めするためのドライバーおよびアクチュエータが設けられる。

そして、変形例では、制御装置１２０は、上記センサ１３０１等による相対的な傾きの値に基づいて、自動的に、部品受け機構５００の高さ調整ねじ５０４を駆動し、傾きの状態を調整する。制御装置１２０は、例えば、試料室２０１の下面２０３に対し部品２０２の上面（対応するセンサ１３０１設置面として上板５０２の上面）が平行となるように、高さ調整ねじ５０４を駆動する。より詳しくは、制御装置１２０は、選択された各高さ調整ねじ５０４について、傾き調整のための高さ移動量を算出し、各高さ調整ねじ５０４の高さ移動量での駆動のためのアクチュエータの制御量を算出し、アクチュエータを制御すればよい。

制御装置は、所定のタイミングごとに、上記のようなセンサ１３０１を用いた距離および傾きの状態のモニタと、アクチュエータを用いた傾き調整とを、フィードバック制御として繰り返し実行してもよい。上記のような変形例によれば、部品受け機構５００による傾き調整を自動化でき、ユーザの作業を省力化できる。

［変形例（１－５）］
他の変形例としては、別の種類のセンサとして、ひずみゲージを適用してもよい。図１４は、この変形例における部品受け機構５００等を示す。図１３と同様の部品受け機構５００の上板５０２の上面において、例えば４角付近に、図１３のセンサ１３０１の代わりに、ひずみゲージ１４０１が設置されている。ひずみゲージ１４０１の設置箇所は、上面の中央の部品２０２の近傍としてもよい。図１４では、部品２０２の上面が試料室２０１の下面２０３に接触した時の状態を模式で示している。接触の際の相対的な傾きの状態に応じて、４点のひずみゲージ１４０１のひずみ検出量がある。試料室２０１の下面２０３の組み付け面に対応した接触の領域２０４に対する部品２０２の上面の傾き（相対的な傾き）が大きい場合、４点のひずみゲージ１４０１のひずみ検出量が異なる。例えば領域２０４の点ｐ１（点ｐ１～ｐ４は円周上の対角関係の４点）が先に接触するような場合、点ｐ１に対し最も近い位置関係にある番号＃１のひずみゲージ１４０１のひずみ検出量が最も大きい値となる。

組み付け作業の際に、上板５０２上の部品２０２の上面が、試料室２０１の下面２０３に接触した場合、上板５０２のひずみゲージ１４０１に力が伝わり、ひずみゲージ１４０１によるひずみ検出として反映される。制御装置１２０は、各ひずみゲージ１４０１のひずみ検出値に基づいて、試料室２０１の下面２０３に対する、ひずみゲージ１４０１設置面（対応する部品２０２の上面）の相対的な傾きまたは傾き度合いを計算する。制御装置１２０は、その相対的な傾きの値に基づいて、ユーザへの出力やフィードバック制御を同様に行ってもよい。

また、この変形例では、作業時の接触検知が容易に可能である。制御装置１２０は、各ひずみゲージ１４０１のひずみ検出値に基づいて、部品受け機構５００上の部品２０２の上面が、試料室２０１の下面２０３に接触したかどうか、あるいは、接触時の接触度合い（圧力など）を判定する。制御装置１２０は、判定結果を、ユーザへ出力してもよい。制御装置１２０は、接触を検知した場合、下面２０３に対し部品２０２が強く押されないように、ハンド機構３００などを停止させる制御を行ってもよい。この変形例では、安価なひずみゲージを利用できるため、安価に機能を実現できる。

＜実施の形態２＞
図１５以降を用いて、実施の形態２の組み付け装置および方法について説明する。実施の形態２等の構成は、実施の形態１と共通または類似する構成部分も有し、以下では、実施の形態２等における実施の形態１とは異なる構成部分について主に説明する。実施の形態２の組み付け装置である図１５等に示すアシスト装置６００は、実施の形態１に対し、異なる構成点としては、前述のロボットアーム１１１ではなく自走装置６０１を有する点、前述のハンド機構３００および部品受け機構５００の代わりに高さ・傾斜調整機構６２０を有する点などがある。

［組み付け装置］
図１５は、実施の形態２の組み付け装置の構成を示す。実施の形態１は、ユーザの手動で傾き調整を行う方式である。それに対し、実施の形態２は、アシスト装置１００を設定・制御することで、ほぼ自動的に高さ位置および傾き調整を行う方式である。実施の形態２は、アシスト装置６００を用いて、試料室２０１が設置された作業台１０１まで部品２０２を搬送する作業、言い換えると試料室２０１の下面の組み付け対象面に対応した位置まで部品２０２をＸ，Ｙ方向で位置付ける作業を自動化する。また、実施の形態２は、作業台１０１およびアシスト装置６００を用いて、試料室２０１の下面の下側で部品２０２の高さ位置を調整する作業を自動化する。また、実施の形態２は、アシスト装置６００を用いて、試料室２０１の下面に対する部品２０２の傾きを調整する作業を自動化する。また、実施の形態２は、アシスト装置６００を用いて、試料室２０１の下面に部品２０２をねじ締め等で固定する作業を自動化する。自動化とは、ユーザの手動作業を最低限とすることである。

アシスト装置６００は、自走装置６０１、高さ・傾斜調整機構６２０、センサ６０９などを備える。高さ・傾斜調整機構６２０は、上下調整機構６０２と、傾斜調整機構６０３と、上下移動ねじ６０４とを有して構成されている。

自走装置６０１は、車輪等を備え、設置面を構成する２つの方向（図１５ではＸ，Ｙ方向）を含め、自動走行制御された方向に移動可能である。自走装置６０１は、モータ等の駆動機構や、制御装置６１０や、バッテリーを内蔵している。制御装置６１０は、自走装置６０１の自動走行を制御する。自走装置６０１は、アンテナ６１１を含む無線通信装置も備えている。制御装置６１０は、無線通信装置を用いて外部機器（後述の図１９のコンピュータ１９５）と無線通信が可能である。外部機器は、ユーザが携帯して操作する操作器（言い換えるとリモートコントローラ）などとしてもよい。制御装置６１０は、ケーブル６１２などの配線を通じて、アンテナ６１１を含む無線通信装置、カメラ６０８、上下移動ねじ６０４、およびセンサ６０９とそれぞれ接続されている。なお、変形例では、制御装置６１０とそれらの各部との通信インタフェースを有線ではなく無線としてもよい。

上下調整機構６０２は、自走装置６０１の上に設けられている。上下調整機構６０２は、上面における４角の付近の４箇所に、４個の上下移動ねじ６０４（言い換えると高さ調整ねじ）を備えている。４個の上下移動ねじ６０４のそれぞれの下部は、上下調整機構６０２の上部に収容されており、４個の上下移動ねじ６０４のそれぞれの上部は、傾斜調整機構６０３の下部に収容されている。上から見た平面視で、４つの角（対応するねじ位置６０５など）を、識別のため番号＃１～＃４でも示す。上下調整機構６０２は、上下移動ねじ６０４を駆動する機構を内蔵している。駆動により、上下移動ねじ６０４は、回転して高さ方向（Ｚ方向）に上下に移動する。

傾斜調整機構６０３は、４個の上下移動ねじ６０４の上に搭載されている。傾斜調整機構６０３は、上下移動ねじ６０４の駆動に基づいて、下側から持ち上げられることで、水平面（図１５ではＸ－Ｙ面）を基準とした傾きが調整される。この傾きは、実施の形態１での第１の傾きと第２の傾きを含んでいる。

上下移動ねじ６０４は、上下調整機構６０２と傾斜調整機構６０３との間に、平面内において複数の上下移動ねじとして設けられている。実施の形態１での高さ調整ねじ５０４が手動操作する物であるのに対し、上下移動ねじ６０４は、制御装置６１０からの駆動制御に基づいて上下調整機構６０２によって駆動されて自動で上下に移動する物である。本例では、傾斜調整機構６０３の上面の四角形でみた場合に、４角の付近の４箇所、破線で示すねじ位置６０５に、４個の上下移動ねじ６０４が配置されている。上下移動ねじ６０４は、駆動に基づいて、それぞれ独立に、高さ方向（Ｚ方向）の上下の移動量（対応する高さ）が制御できる。それぞれの上下移動ねじ６０４をどの量で上下に移動させるかに応じて、傾斜調整機構６０３の傾きの状態が決まる。

上下移動ねじ６０４は、制御装置６１０からの制御に基づいて、上下調整機構６０２に内蔵された駆動機構により駆動される。これにより、上下移動ねじ６０４が回転しながら選択された上または下の方向に制御された移動量で移動する。それに伴い、傾斜調整機構６０３のその上下移動ねじ６０４に対応した箇所が上または下に移動する。これにより、傾斜調整機構６０３の４角の４点がそれぞれ上下に高さが調整できるので、傾斜調整機構６０３の上面の傾斜状態を調整できる。この傾斜状態は、Ｘ方向やＹ方向に限らず、Ｘ－Ｙ面内での所望の方向を軸とした任意の傾斜として調整できる。この傾斜状態は、上下移動ねじ６０４の設計に応じて、所定の角度範囲内で変更できる。なお、上下移動ねじ６０４の配置の数や位置などは、本例に限定されない。

制御装置６１０は、ある箇所の上下移動ねじ６０４を移動させて高さを変える場合、それに伴い、他の箇所の上下移動ねじ６０４の高さも変えるように、４点の上下移動ねじ６０４の移動量を制御する。言い換えると、制御装置６１０は、傾斜調整機構６０３の上面を所望の傾斜の状態に変える場合、そのために必要なすべての上下移動ねじ６０４のそれぞれの移動量を制御する。

傾斜調整機構６０３は、上面に部品２０２が搭載される。傾斜調整機構６０３は、上面に、ドライバー駆動部６０６および位置決めピン６０７が設けられている。位置決めピン６０７は、部品２０２の搭載の際の位置決めに使用される。ドライバー駆動部６０６は、部品２０２を図２の（Ｂ）のように試料室２０１の下面２０３に対しねじ締め２０５をする際に、ねじを締めるためのドライバー（図１６の脱着可能ドライバー６４１）を取り付けて駆動する部分である。本例では部品２０２の上面のフランジの円周上の６箇所にねじ穴があることに対応して、上面の６箇所にドライバー駆動部６０６を有する。

また、傾斜調整機構６０３の上面において、例えば４角の付近の４箇所には、センサ６０９が設けられている。センサ６０９は、本例では、レーザー光を用いる光測長器である。センサ６０９は、破線矢印で示す検出軸が、傾斜調整機構６０３の上面に垂直な方向を向いている。センサ６０９は、後述の傾き調整（特に状態のモニタおよびフィードバック制御）に使用される。

また、自走装置６０１の所定の箇所には、カメラ６０８が設けられている。カメラ６０８は、光軸が上方向（図示のＺ方向）を向いており、上方向を撮影する。本例では、カメラ６０８は、自走装置６０１の上面の１つの角の付近に配置されている。カメラ６０８は、後述の自走装置６０１および組み付け位置の位置制御のために使用される。

［組み付け作業］
図１６は、実施の形態２でのアシスト装置６００を用いた、作業台１０１（非図示）上の試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の組み付け作業についての説明図を示す。図１６では、試料室２０１の下面２０３が、水平面に対し傾斜がある場合を、誇張して図示している。傾斜調整機構６０３の上面には概略的に円柱形状の部品２０２が搭載されている。

試料室２０１の下面２０３の所定の箇所（本例では１つの角の付近）には、カメラ６０８の位置に合わせて、予め、位置合わせ用のマーク２４３が設けられている。作業時、自走装置６０１が作業台１０１上の試料室２０１の下側の作業スペース内に移動して位置付けられる。その際、制御装置６１０は、カメラ６０８の画像として検出されるマーク２４３の位置を目安に、自走装置６０１の停止位置を制御する。これにより、図１６の例のように、試料室２０１の下面２０３の下側に、アシスト装置６００が位置付けられる。詳細は図２１で後述する。

ユーザは、制御装置６１０を操作することで、高さ・傾斜調整機構６２０の４個の上下移動ねじ６０４のそれぞれの高さを変更する。これにより、傾斜調整機構６０３の上面の傾斜の状態が調整される。ユーザは、この傾斜の調整により、部品２０２の上面が試料室２０１の下面２０３に対し例えば平行となるようにする。

図１６の例では、傾斜調整機構６０３、部品２０２、および下面２０３の傾斜の状態として、例えばＸ方向に沿った方向（第１水平方向）１６０１に対する角度αでの傾きと、Ｙ方向に沿った方向（第２水平方向）１６０２に対する角度βでの傾きとを有する。上下移動ねじ６０４により、これらの２軸の角度が調整可能である。

［傾斜調整］
図１７は、高さ・傾斜調整調整６２０、特に上下移動ねじ６０４と傾斜調整機構６０３を用いた傾斜の調整についての説明図として、Ｘ－Ｙ面での模式図を示す。傾斜の調整に関して所望の方向の軸を設定する際には、下記のような方法が可能である。

図１７の（Ａ）は、第１の方法の場合を示す。図１７の（Ａ）は、作業台１０１の四角形のフレーム内に、アシスト装置６００（特に傾斜調整機構６０３）が配置されている。第１の方法では、作業台１０１に対する自走装置６０１の向きを含めた配置状態を調整することで、所望の傾斜の方向を設定できる。本例では、自走装置６０１および傾斜調整機構６０３の上面は、一点鎖線で示す方向１７０１がＸ方向に対しやや角度を持った状態で配置されている。この場合、方向１７０１に対応する第１軸と、それに直交する方向１７０２に対応する第２軸とを基準として用いて、上下移動ねじ６０４（ねじ位置６０５）の高さを簡易的に制御すれば、２軸での傾きの調整が可能である。４個の上下移動ねじ６０４の簡易的な制御の例としては、第１軸の周りの傾きのみを調整する場合に、例えば番号＃１および＃２の２個の上下移動ねじ６０４の高さを同じ第１高さとし、番号＃３および＃４の２個の上下移動ねじ６０４の高さを第１高さとは異なる同じ第２高さとするように制御すればよい。

図１７の（Ｂ）は、第２の方法の場合を示す。第２の方法では、作業台１０１に対する自走装置６０１の配置状態を最初の位置付けとして一定とした上で、さらに、４個の上下調整ねじ６０４のそれぞれの上下移動量（それに対応する高さ）を調整することによって、所望の傾斜の方向を設定できる。本例では、自走装置６０１および傾斜調整機構６０３は、作業台１０１上の試料室２０１に合わせて、第１軸の方向１７０１がＸ方向に沿って配置されており、第２軸の方向１７０２がＹ方向に沿って配置されている。まず、自走装置６０１の向きや静止位置によって、図示のように方向１７０１および方向１７０２が設定される。さらに、アシスト装置６００は、高さ・傾斜調整機構６２０の４個の上下移動ねじ６０４のそれぞれの高さを独立に調整することで、方向１７０１（Ｘ方向）および方向１７０２（Ｙ方向）とは異なる所望の方向、例えば方向１７０３を設定する。アシスト装置６００は、その方向１７０３を軸として、傾斜調整機構６０３の傾斜の状態を調整可能である。上記所望の方向の設定は、制御装置６１０による計算で処理される。

［作業台］
図１８は、実施の形態２での作業ピットにおける作業台１０１（言い換えると試料室置台）およびアシスト装置６００の斜視図を示す。実施の形態２での作業台１０１は、アシスト装置６００を上下移動（言い換えると昇降）させる機構として、設置面に近い位置に、昇降台１２４，１２５を備える。昇降台１２４は、作業台１０１の作業スペース１８０１内で、設置面に近い位置に配置された、第２の昇降台である。昇降台１２５は、作業台１０１の作業スペース１８０１の外側で、昇降台１２４に隣接して配置された、第１の昇降台である。アシスト装置６００は、設置面上において自走装置６０１および上下調整機構６０２の高さが一定である。このアシスト装置６００は、自走装置６０１による移動に基づいて、図１８の昇降台１２５および昇降台１２４の上に乗ることができる。図１８の状態では、昇降台１２４および昇降台１２５は、設置面から第１高さまで上昇した状態である。第１高さは、設置面近くのフレーム１８０２の高さ以上の高さである。

なお、図１８の例では、作業台１０１は、重量物である試料室２０１を支持するための強度を確保するために、図示の長方体の１２辺のすべてにフレームを有し、設置面の近くにもフレーム１８０２を有する。そのため、図１８の例では、設置面の近くに設けられたフレーム１８０２を跨いでアシスト装置６００を移動可能なように、昇降台１２４および昇降台１２５が設けられている。これに限らず、作業台１０１やアシスト装置６００の実装によっては、設置面の近くに設けられたフレーム１８０２を省略した形態としてもよいし、作業スペース１８０１内の１つの昇降台にまとめた形態としてもよい。第１の昇降台１２５の代わりにスロープを設けた形態なども可能である。昇降台１２４は、図１８中に示す第１高さよりも高い、制御された所望の高さに上昇可能な機構としてもよい。この場合、その昇降台は、高さ調整機構と言い換えることもでき、その昇降台の高さ調整を用いて、部品２０２の高さ位置の調整が可能である。

［組み付け作業エリア］
図１９は、組み付け作業を含む作業が行われる組み立て作業エリアの全体配置図を示す。図１９は、上から見た概略的に水平面としてＸ－Ｙ面での模式図を示す。本例の組み立て作業エリアは、作業ピット１９１ａ，１９１ｂ，１９１ｃといった３箇所の作業ピットを有し、各作業ピットに作業台１０１が設置されている。各作業台１０１に試料室２０１が設置されている。本例では、１台のアシスト装置６００が、３箇所の作業ピットを並列に順次に使用することで、３台の製品の組み立て作業を効率的に行う場合を示している。

例えば、作業ピット１９１ａは、試料室２０１ａの下面への部品２０２ａの組み付け作業が完了した状態である。昇降台１２４ａ，１２５ａは、設置面近くの高さにある状態である。作業ピット１９１ｂは、アシスト装置６００を用いて、試料室２０１ｂの下面への部品２０２ｂの組み付け作業が実施中の状態である。昇降台１２４ｂ，１２５ｂは、設置面から上に第１高さの状態にある。作業ピット１９１ｃは、試料室２０１ｃの下面への部品の組み付け作業が実施されていない状態、言い換えると作業待ち状態である。昇降台１２４ｃ，１２５ｃは、設置面近くの高さにある状態である。なお、作業待ち状態の作業台１０１は、昇降台１２４，１２５を第１高さに上昇させた状態で待機させてもよい。

初期ピット１９２は、作業台１０１から離れた初期の作業ピットであり、充電装置１９４やコンピュータ１９５などが設置されている。矢印で示す搬送経路１９３は、初期ピット１９２から３箇所の作業ピットへのアシスト装置６００および部品２０２の搬送経路の例を示す。初期ピット１９２に配置されたアシスト装置６００は、充電装置１９４と電気的接続され、充電装置１９４からバッテリーに充電が可能である。コンピュータ１９５は、アンテナ１９６を含む無線通信装置を備える。コンピュータ１９５は、無線通信装置を通じて、アシスト装置６００や各作業ピット（特に昇降台１２４，１２５）と通信し、適宜にデータ・情報を授受する。

コンピュータ１９５は、プロセッサ、メモリ、通信インタフェース、入力デバイスや出力デバイス（ディスプレイやスピーカ等）を備えたシステムである。ユーザは、コンピュータ１９５を操作し、作業に係わる指示や設定を行うことや、画面で作業の状態の確認などができる。ユーザの指示や設定に基づいて、コンピュータ１９５からアシスト装置６００に制御信号などを送信することで、アシスト装置６００を操作・制御することができる。コンピュータ１９５から作業台１０１の昇降台１２４，１２５に信号を送信することで、昇降台１２４，１２５を上昇や下降させることができる。また、コンピュータ１９５は、アシスト装置６００から、無線通信で、カメラ６０８の信号やセンサ６０９の信号を受信することで、アシスト装置６００の状態を把握することもできる。

なお、変形例では、作業台１０１または昇降台１２４，１２５は、センサを備え、センサにより、アシスト装置６００の近接や接触を検知し、その検知に基づいて、昇降台１２４，１２５の上昇や下降を自動的に制御してもよい。

［組み付け作業フロー］
図２０は、実施の形態２におけるアシスト装置６００を用いた組み付け方法および作業のフローを示す。このフローは、ステップＳ２１～Ｓ３２を有する。はじめに、ステップＳ２１で、ユーザは、作業ピットの作業台１０１上に試料室２０１を設置する。アシスト装置６００の初期位置は、図１９の初期ピット１９２とされる。アシスト装置６００が初期ピット１９２にある時には、充電装置１９４と電気的接続され、アシスト装置６００に備えるバッテリーが自動的に充電される。

ステップＳ２２で、ユーザは、初期位置のアシスト装置６００の特に傾斜調整機構６０３の上面に部品２０２を搭載する。この際、ユーザは、部品２０２の下面を位置決めピン６０７に突き当てるようにして位置決めしながら、部品２０２を傾斜調整機構３０５の上面に搭載する。また、ユーザは、ドライバー駆動部６０６に、脱着可能ドライバー６４１（図１６）を取り付ける。また、ユーザは、脱着可能ドライバー６４１の先端に、ねじ６４２を取り付ける。

ステップＳ２３で、ユーザによる指示入力に基づいて、アシスト装置６００は、指定された作業ピット（例えば作業ピット１９１ｂ）における第１の昇降台である昇降台１２５まで、指定された搬送経路１９３上を自走し、昇降台１２５の上に乗って、その上の位置で一旦停止する。

ステップＳ２４で、第１の昇降台１２５および第２の昇降台１２４が第１高さまで上昇することで、第１の昇降台１２５および第２の昇降台１２４と、作業台１０１のフレーム１８０２とが、ほぼ同じ高さになる。

ステップＳ２５で、アシスト装置６００は、自走装置６０１により、奥側の第２の昇降台１２４上まで自走する。この際、アシスト装置６００のカメラ６０８は、試料室２０１の下面２０３に備えるマーク２４３を撮影する。制御装置６１０は、カメラ６０８の画像を画像認識処理することで、マーク２４３を検出する。制御装置６１０は、Ｘ－Ｙ面において、カメラ６０８の位置とマーク２４３の位置との関係から、アシスト装置６００と試料室２０１の下面２０３との相対的な位置関係を把握する。そして、制御装置６１０は、カメラ６０８の位置とマーク２４３の位置との位置合わせに基づいて、アシスト装置６００を、第２の昇降台１２４上の予め決められた位置に正確に停止させる。予め決められた位置は、試料室２０１の下面２０３における部品２０２の組み付けの位置に対応付けられた位置である。

図２１には、上記位置関係およびＸ，Ｙ方向での組み付けの位置調整について示す。（Ａ）は、自走装置６０１が移動中の状態を示し、（Ｂ）は、自走装置６０１が停止し位置調整された状態を示す。作業台１０１上の破線の四角は、試料室２０１の下面２０３を示す。図２１では、作業台１０１とアシスト装置６００とがＸ，Ｙ方向に沿って配置されている場合を示す。アシスト装置６００は、上から見える、自走装置６０１のカメラ６０８と、傾斜調整機構６０３とを示す。傾斜調整機構６０３の上面の中央に部品２０２が搭載されている。下面２０３における部品２０２を組み付ける領域を、破線の円で示し、位置Ｐ１（ｘ１，ｙ１）は、その領域の中心位置である。

下面２０３における組み付けの領域の位置Ｐ１と、アシスト装置６００の上面における部品２０２の搭載位置と、カメラ６０８の位置との位置関係に基づいて、計算された位置に、マーク２４３が設置されている。言い換えると、組み付けの領域とマーク２４３との位置関係は、部品２０２とカメラ６０８との位置関係と同じである。なお、本例のように、Ｘ，Ｙ方向で組み付けの領域に対しアシスト装置６００の位置を高精度に位置調整することには限定されず、組み付けの領域に対しある程度の範囲内でおおまかに位置調整することとしてもよい。そして、その後にユーザが手動操作でアシスト装置６００の位置をＸ，Ｙ方向に細かく位置調整してもよい。

ステップＳ２６で、アシスト装置６００は、４個のすべての上下移動ねじ６０４を同じ上下移動量で同時に回転させることで、上下調整機構６０２に対し傾斜調整機構６０３を上昇させる。これにより、傾斜調整機構６０３上の部品２０２は、試料室２０１の下面２０３に近付く。アシスト装置６００は、例えば、部品２０２の上面の一箇所が下面２０３に接触するかまたは非接触で十分に近付いた状態で、上下移動ねじ６０４による上移動を停止させる。

ステップＳ２７では、アシスト装置６００は、センサ６０９を用いて傾斜状態を検出しながら、上下移動ねじ６０４のそれぞれの高さ（対応する上下移動量）を制御することで、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の上面の傾斜の状態を調整する。

ここで、作業ピット（図１９）に作業台１０１および試料室２０１が設置される際には、作業台１０１および試料室２０１が水平に設置されるように設置調整が行われるが、前述のように、設置面が水平面であるとは限らないこと等から、厳密に水平配置とすることは難しい。また、作業台１０１の上面に対する試料室２０１の設置にも誤差が生じ得る。そのため、作業台１０１上の試料室２０１の下面２０３は、図２の（Ｃ）のように、水平配置ではない可能性がある。例えば、試料室２０１の下面２０３は、図１６のように、第１水平方向１６０１に対し、角度αで傾きを有し、第２水平方向１６０２に対し角度βで傾きを有する。すなわち、下面２０３は、水平面に対し、角度αおよび角度βによる傾斜を有する。さらに、図１８のアシスト装置６００が乗せられる第２の昇降台１２４も、水平面であるとは限らない。

以上のことから、部品２０２の上面と試料室２０１の下面２０３は、作業の初期では、平行な状態とは限らず、多くの場合、相対的な傾きとしてズレを含んだ、非平行な状態である場合が多い。相対的な傾きとは、部品２０２の上面の傾きと試料室２０１の下面２０３の傾きとの差である。

そこで、実施の形態２では、ステップＳ２７で、アシスト装置６００は、図１６のように、傾斜調整機構６０３の４角付近に備えるセンサ６０９により、センサ６０９と試料室２０１の下面２０３との距離（例えば距離１６０３）を測定する。センサ６０９の検出軸は、傾斜調整機構６０３の上面に対し垂直な方向を有する。制御装置６１０は、４個のセンサ６０９の検出信号に基づいて、４箇所の距離を演算する。制御装置６１０は、４箇所の距離に基づいて、試料室２０１の下面２０３と傾斜調整機構６０３の上面との平行度（言い換えると、相対的な傾き等のパラメータ値）を算出する。傾斜調整機構６０３の上面と部品２０２の上面とは平行であるとみなされる。よって、その場合、この平行度は、部品２０２の上面と試料室２０１の下面２０３との平行度である。

もし、試料室２０１の下面２０３と傾斜調整機構６０３の上面とが平行な状態である場合、アシスト装置６００は、４本の上下移動ねじ６０４を、同じ回転速度で同じ上下移動量として回転させる。これにより、試料室２０１の下面２０３と傾斜調整機構６０３の上面とが平行を保った状態で、部品２０２の上面が試料室２０１の下面２０３に近付き、それらが平行に接触する。

もし、試料室２０１の下面２０３と傾斜調整機構６０３の上面とが平行でない状態の場合には、アシスト装置６００は、４本の上下移動ねじ６０４をそれぞれ独立して異なる上下移動量となるように回転させる。これにより、試料室２０１の下面２０３と傾斜調整機構６０３の上面との平行度を、初期よりも平行に近づくように調整することができる。

調整中、アシスト装置６００は、適宜のタイミングで、再度、センサ６０９により、試料室２０１の下面２０３とセンサ６０９との距離を測定する。制御装置６１０は、再度、平行度を算出する。そして、制御装置６１０は、その平行度に基づいて、上下移動ねじ６０４の高さを制御することで、傾斜調整機構６０３の傾斜状態を再調整する。これにより、試料室２０１の下面２０３と傾斜調整機構６０３上の部品２０２の上面が平行に近づくようにする。アシスト装置６００は、上記のようなセンサ６０９および上下移動ねじ６０４を用いたモニタとフィードバック制御を必要に応じて繰り返すことで、最終的に、試料室２０１の下面２０３と部品２０２の上面とが平行になるようにする。

なお、本例では、設計値として、試料室２０１の下面２０３と部品２０２の上面とが平行（言い換えると、平行度が十分に高い状態）になるようにしたが、これに限定されない。試料室２０１の下面２０３や部品２０２の構造によっては、非平行で固定する場合もあり得る。

なお、上記ステップＳ２７中の調整の制御に関して、上下移動ねじ６０４の回転による上下移動および停止は、制御装置６１０により駆動制御される。また、この調整に伴い、部品２０２の上面が試料室２０１の下面２０３へ近接または接触する際に、近接または接触の検知や、接触停止の制御が、センサ６０９を用いて実現可能である。この制御は、例えば以下のような方式で実現可能である。

アシスト装置６００は、例えば接触検知をする場合、センサ６０９により検出される距離の値が、所定の距離の値になった場合および時に、接触状態であると判定する。例えば、図１６で、部品２０２の上面が試料室２０１の下面２０３にちょうど接触しているとする。センサ６０９から下面２０３までの距離１６０３は、部品２０２の高さ寸法と対応している。よって、接触検知用の所定の距離の値は、その高さ寸法に基づいて、予め設定可能である。同様に、近接検知をする場合、接触検知用の所定の距離よりも長い距離を用いて、近接状態の判定が可能である。また、接触停止の制御を行う場合、制御装置６１０は、上記接触検知によって接触状態を検知した直後に、上下移動ねじ６０４の移動を停止させる。

図２２は、上記接触検知などについての説明図として、設置面２００１上の作業台１０１、試料室２０１、作業スペース２００２内のアシスト装置６００などのＸ－Ｚ面の模式図を示す。昇降台１２４の上にアシスト装置６００が乗った状態である。本例では、試料台２０１の下面２０３が水平配置ではない場合を誇張して示している。下面２０３は、例えばＸ方向（第１水平方向）に対し角度αで傾きを有する。アシスト装置６００は、センサ６０９で検出した距離２２０１に基づいて、傾斜調整機構６０３の傾斜の状態を、下面２０３の傾斜の状態に合わせて、なるべく平行となるように調整する。すなわち、本例では、ステップＳ２７で、上下移動ねじ６０４の制御により、傾斜調整機構６０３の面がＸ方向に対し角度αでの傾きを有する状態に調整されている。

前述の図１７の（Ｂ）を用いて、より詳しく説明すると、初期の時点では、番号＃１～＃４で示す４個の上下移動ねじ６０４の高さが同じである。次に第１時点では、図２２の角度αに合わせる調整のために、Ｙ方向に対応する方向１７０２を軸として、Ｘ方向で左側の＃１および＃４の２個の上下移動ねじ６０４が、ある高さＨ１（上移動量）とされ、右側の＃３および＃４の２個の上下移動ねじ６０４が、高さＨ１よりも高い高さＨ２（上移動量）とされる。この調整後、平行度が十分に高い平行状態になった場合、傾斜調整を終了できる。

また、この調整後、まだ非平行な状態である場合、さらなる傾斜調整が行われる。例えば、図１６のようなＹ方向（方向１６０２）に対する角度βでの傾きがズレとして残っている場合、次の第２時点では、その角度βに合わせる調整のために、Ｘ方向に対応する方向１７０１を軸として、Ｙ方向で下側の＃１および＃２の２個の上下移動ねじ６０４の高さに対し、Ｙ方向で上側の＃４およびＥ３の２個の上下移動ねじ６０４の高さをより高くするように調整される。上記例は、２個の上下移動ねじ６０４を組として高さ（上下移動量）を変更する場合であるが、これに限らず、４個の上下移動ねじ６０４のそれぞれの高さを異ならせることで、より詳細な調整が可能であり、前述のようにＸ－Ｙ面内での所望の回転軸による傾斜調整が可能である。

ステップＳ２７の途中または後に、アシスト装置６００は、上下移動ねじ６０４を上に移動させる際に、センサ６０９を用いて、部品２０２の上面が試料室２０１の下面２０３に接触もしくは近接する状態を検知する。図２２の例では、まだ部品２０２の上面２２０２は下面２０３に接触していない。部品２０２の高さ寸法２２０３に基づいて、接触検知や近接検知の所定の距離が設定される。例えば近接検知の場合、高さ寸法２２０３に、近接の間隔を表す距離２２０４を加算した距離を、近接検知の判定用の所定の距離として設定できる。

なお、図２０のフローでは、アシスト装置６００は、先にステップＳ２６である程度の高さまで傾斜調整機構６０３を上昇させ、その後にステップＳ２７で傾斜を調整している。これに限らず、変形例のフローでは、アシスト装置６００は、先にステップＳ２６で傾斜調整機構６０３の傾斜状態を調整し、その後にステップＳ２７で傾斜調整機構６０３を全体的に上昇させるようにしてもよい。そして、その上昇の際に、近接検知または接触検知を適用してもよい。

次に、ステップＳ２８では、上記傾斜調整後の状態（例えば試料室２０１の下面２０３と部品２０２の上面とが平行な状態）で、アシスト装置６００は、図１６の傾斜調整機構６０３の脱着可能ドライバー６４１を駆動して回転させる。これにより、試料室２０１の下面２０３（特に組み付け位置）に対し、部品２０２の上面（特に図１６の例ではリング状のフランジ）を、ねじ６４２の締結によって固定する。傾斜調整機構６０３のドライバー駆動部６０６は、それぞれの脱着可能ドライバー６４１を回転させて上下に駆動する。脱着可能ドライバー６４１の回転により、脱着可能ドライバー６４１の先端に取り付けられているねじ６４２が回転して上に移動し、フランジおよび下面２０３のねじ穴を通じて試料室２０１内に入っていく。これにより、部品２０２は下面２０３に固定される。

ステップＳ２９では、上記固定後、アシスト装置６００は、４本の上下移動ねじ６０４を、前述の回転方向と反対方向に回転させることで、傾斜調整機構６０３を全体的に下降させる。

ステップＳ３０では、アシスト装置６００は、自走装置６０１により、第２の昇降台１２４上の位置から第１の昇降台１２５上の位置まで自走する。

ステップＳ３１では、コンピュータ１９５からの指示に基づいて、第２の昇降台１２４および第１の昇降台１２５は、第１高さから設置面に近い高さまで下降する。

ステップＳ３２では、アシスト装置６００は、第１の昇降台１２５上の位置から、搬送経路１９３を通じて、初期ピット１９２の位置まで自走して戻る。初期ピット１９２のアシスト装置６００は、充電装置１９４に接続されて充電される。作業者は、傾斜調整機構６０３上の脱着可能ドライバー６４１をドライバー駆動部６０６から取り外す。

以上のような動作は、作業ピットおよび製品ごとに同様に行われる。なお、１回の組み付け作業後、傾斜調整機構６０３の傾斜状態は、調整済みの傾斜状態に維持することもできるし、リセットして初期状態に戻すこともできる。

［効果等（２）］
以上のように、実施の形態２によれば、実施の形態１と共通の効果として、試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の組み付けの際に作業者の負担や製造に係るコストを低減でき、組み付けの精度を高めることができる。実施の形態２によれば、作業者の手動での作業を最小限として、より効率的な製造が可能である。

比較例の組み付け方法として、部品をジャッキで持ち上げながら、試料室の下面と部品の上面との位置合わせおよび傾き調整の作業を行う場合、試料室の下側に潜り込んだ作業者が、目視でその作業を行い、続いて、固定のためにねじ締めを行う。このような方式では、作業者の作業性が非常に悪い。

それに対し、実施の形態２の組み立て方法および装置（アシスト装置６００）では、作業者は、アシスト装置６００（特に傾斜調整機構６０３）に部品２０２とねじ６４２と脱着可能ドライバー６４１を取り付ける準備作業さえ行えば、あとは、コンピュータ１９５、作業台１０１、およびアシスト装置６００による殆ど自動化された作業として実現できる。アシスト装置６００が部品２０２を作業ピットの作業台１０１まで搬送する搬送作業と、アシスト装置６００が試料室２０１の下面２０３に対する部品２０２の高さ位置および傾斜の状態を調整する作業と、アシスト装置６００が試料室２０１の下面２０３へ部品２０２をねじ６４２によって固定する作業と、を含む各作業が殆ど自動で行われる。これにより、組み付け作業を非常に高効率化することができる。

実施の形態２でのアシスト装置６００は、言い換えると、無人搬送車（ＡＧＶ）として実装される。このようなＡＧＶ型のアシスト装置６００を採用する利点として、作業の自動化により、作業者による作業を極力低減できる。作業者が重い部品２０２などを持って行う作業を無くすことができる。または、アシスト装置６００が作業者の代わりに部品２０２を支持するので、作業者の負担を軽減できる。また、作業者ごとの特性に依存せずに、組み付け作業の均一化が可能である。また、作業者による埃の発生とその影響を防止でき、クリーンルーム内での無人作業を可能とする。実施の形態１でも、実施の形態２と同様に、組み付け作業における高さ位置および傾き調整の部分を、アシスト装置によってアシストできるので、作業者の負担を軽減できるとともに、従来よりも高精度の組み付けが可能である。

なお、実施の形態２で説明した例（図１５等）では、部品２０２（真空ポンプ）を傾斜調整機構６０３に搭載する際に、位置決めピン６０７によって位置決めを行い、ドライバー駆動部６０６に脱着可能ドライバー６４１が取り付けられる。前述のステップＳ２８では、アシスト装置６００が自動的に脱着可能ドライバー６４１を駆動してねじ締めを行うものとした。これに限らず、傾斜調整機構６０３には、実施の形態１と同様の部品受けガイド５０６（図８）が形成されていてもよい。また、傾斜調整機構６０３に各種の部品２０２を搭載可能なように共通化する場合、傾斜調整機構６０３の上面に、各種の部品を搭載するための共通化された部品受けガイドなどが設けられ、搭載する部品２０２に応じて選択使用されてもよい。ステップＳ２８では、ユーザが手動で下面２０３に対し部品２０２をねじ締めする作業を行うものとしてもよい。この場合、傾斜調整機構６０３にはドライバー駆動部６０６の実装が不要となる。

また、変形例では、傾斜調整機構６０３は、実施の形態１での部品受け機構５００と同様に、アシスト装置６００（特に上下調整機構６０２）から脱着できる構造としてもよい。あるいは、上下調整機構６０２より上の部分（高さ・傾斜調整機構６２０）が自走装置６０１から脱着できる構造としてもよい。そして、その傾斜調整機構６０３を、実施の形態２の例での部品２０２（真空ポンプ）とは異なる形状の部品２０２に対応した傾斜調整機構６０３と交換できるようにしてもよい。異なる形状の部品２０２は、外径寸法が異なる丸型あるいは四角型などの組付部品であり、例えば、外形寸法が異なる他の種類の丸型の真空ポンプや、四角型の冷却部品などが挙げられる。

［変形例（２－１）］
図２３は、実施の形態２の変形例のアシスト装置６００の構成を示し、横から見たＸ－Ｚ面での模式図を示す。図２３では、設置面２００１上に設置された作業台１０１の上面に試料室２０１が設置されている。作業台１０１上の試料室２０１の下面２０３の下側の作業スペース２００２に、アシスト装置６００が配置されている。変形例のアシスト装置６００は、自走装置６０１と上下調整機構６０２との間に、追加でリフト機構２３００を備える。このリフト機構２３００は、自走装置６０１に対し、上下調整機構６０２等を持ち上げて上下に移動させる。リフト機構２３００は、上下調整機構６０２等を、上から見た平面視で中央部を下から持ち上げて上下に平行移動させる。また、変形例では、作業台１０１に、図１８の昇降台１２４，１２５を備えず、設置面２００１の近くのフレーム１８０２も備えない。アシスト装置６００は、自走装置６０１により、設置面２００１上を走行し、作業台１０１の外部から内部の作業スペース１８０１まで移動し静止できる。

設置面２００１および試料室２０１の下面２０３は、概略的に水平面であるが、厳密に水平配置であるとは限らない。本例では、作業台１０１上の試料室２０１の下面２０３が、第１水平方向（Ｘ方向）で角度αでの非水平配置となっている場合を誇張して示している。アシスト装置６００は、まず自走装置６０１の例えばＸ方向の水平移動によって、作業台１０１の試料室２０１の下面２０３の下側の作業スペース２００２内に配置される。傾斜調整機構６０３の上面には、部品２０２が固定されている。

次に、アシスト装置６００は、リフト機構２３００を用いた上下調整機構６０２の上移動によって、上下調整機構６０２より上に搭載されている各部（傾斜調整機構６０３や部品２０２）のＺ方向での高さ位置を概略的に調整する。すなわち、部品２０２の上面が試料室２０１の下面２０３に接触しない範囲で、傾斜調整がしやすい程度の高さ位置まで、傾斜調整機構６０３が上に持ち上げられる。

次に、アシスト装置６００は、上下移動ねじ６０４の制御により、傾斜調整機構６０３の傾斜状態を調整する。本例では、上下調整機構６０２の上面が、Ｘ方向（第１水平方向）に沿って概略的に水平配置であり、その上面に対し、図示のＹ方向（第２水平方向）を回転軸として、傾斜調整機構６０３の上面が、角度αで傾きを有する状態に調整されている。これに対応して、部品２０２の上面（組み付け面）も、上下調整機構６０２の上面に対し、角度αで傾きを有する状態である。このように、高さ・傾斜調整調整６２０を用いて、試料室２０１の下面２０３（組み付け対象面）に対し部品２０２の上面が例えば平行になるように、Ｘ－Ｙ面内での所望の方向での傾斜が調整される。

その後、アシスト装置６００は、さらに、高さ・傾斜調整調整６２０を用いて、部品２０２の高さ位置を調整し、部品２０２を下面２０３に近接または接触させてもよいし、あるいは、リフト機構２３００を用いて、上に平行移動させることで、部品２０２を下面２０３に近接または接触させてもよい。

［変形例（２－２）］
前述のセンサ６０９は、光測長器に限らず、他の技術的手段として、カメラなども適用可能である。例えば、傾斜調整機構６０３の上面に２つ以上のカメラが設けられ、ステレオカメラとして用いられる。試料室２０１の下面２０３には、所定の位置にマークが設けられる。各カメラは、そのマークを含む領域を撮影する。制御装置６１０は、２つ以上のカメラで撮影した画像を解析することで、試料室２０１の下面２０３との距離や、平行度などを計算する。

前述の接触検知は、センサ６０９ではなく、他の技術的手段を用いてもよい。例えば、アシスト装置６００は、上下調整機構６０２に備える上下移動ねじ６０４を駆動するためのモータの負荷の値が所定の閾値以上となった場合に、接触状態と判定してもよい。

前述のステップＳ２７では、センサ６０９で検出した距離に基づいて、自動的に傾斜状態を調整するものとしたが、これに限定されない。アシスト装置６００は、センサ６０９で検出した距離や、制御装置６１０が計算した平行度を、ユーザに対し出力してもよい。出力は、アシスト装置６００に備える出力デバイスを用いてもよいし、コンピュータ１９５の出力デバイスを用いてもよい。ユーザは、出力された距離または平行度を認識できる。そして、ユーザは、その認識に基づいて、アシスト装置６００に対する手動操作で、傾斜調整機構６０３の傾斜状態を調整するようにしてもよい。その場合、上下調整機構６０２に、それぞれの上下移動ねじ６０４を操作するためのボタンなどが設けられてもよい。

また、実施の形態２では、自走装置６０１に設けたカメラ６０８を用いた、水平方向（Ｘ，Ｙ）での位置調整機能を有する場合を説明した。これに限らず、傾斜調整機構６０３に、前述のセンサ６０９のみならず、水平方向（Ｘ，Ｙ）における位置調整機能のためのセンサを設けてもよい。このセンサは例えばカメラが適用できる。また、距離測定用のセンサ６０９と、その位置調整用のセンサとを統合してもよい。位置調整用のセンサは、試料室２０１の下面２０３の所定の位置にあるマーク、あるいは組み付け対象領域を検出する。制御装置６１０は、そのセンサの検出に基づいて、水平方向（Ｘ，Ｙ）での、下面２０３の組み付け対象領域に対する部品２０２の配置位置を自動的に調整する（図２１と同様）。あるいは、アシスト装置６００は、位置調整用のセンサの検出値をユーザに対し出力し、ユーザが手動操作でアシスト装置６００の水平方向の位置を微調整してもよい。

以上、本開示の実施の形態を具体的に説明したが、前述の実施の形態に限定されず、要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。実施の形態の組み付け方法および装置は、製品として前述の半導体検査装置に限らず、他の製品にも同様に適用可能である。各実施の形態は、必須構成要素を除き、構成要素の追加・削除・置換などが可能である。特に限定しない場合、各構成要素は、単数でも複数でもよい。各実施の形態を組み合わせた形態も可能である。

１００…アシスト装置（組み付け装置）、１０１…作業台、１０２…部品準備台車、２０１…試料室、２０２…部品、２０３…下面、３００…ハンド機構、５００…部品受け機構。

Claims (16)

1. 組み付け装置を用いて、作業台の上に設置された対象物の下面に部品を組み付ける作業をアシストする組み付け方法であって、
   前記組み付け装置は、
   前記部品を搭載する部品受け機構と、
   前記部品受け機構を保持し移動可能であるハンド機構と、
   を備え、
   前記部品受け機構は、第１軸の周りの第１の傾きを調整する機構であり、
   前記ハンド機構は、前記第１軸とは異なる方向の第２軸の周りの第２の傾きを調整する機構であり、
   前記組み付け方法は、
   前記部品受け機構の前記第１の傾きを調整することで、前記部品受け機構に搭載された前記部品の前記第１の傾きを調整する第１のステップと、
   前記ハンド機構の前記第２の傾きを調整することで、前記ハンド機構に保持された前記部品受け機構の前記部品の前記第２の傾きを調整する第２のステップと、
   を有し、
   前記第１の傾きと前記第２の傾きとの調整により、前記対象物の下面に対する前記部品の傾きを調整する、
   組み付け方法。
2. 請求項１記載の組み付け方法において、
   前記部品受け機構は、
   前記第１軸に対応するシャフト回転軸と、
   前記シャフト回転軸に接続された、前記部品を搭載する上板、および下板と、
   前記下板の平面に設けられた、高さが調整できる高さ調整部品と、
   を有し、
   前記第１のステップは、前記高さ調整部品の操作によって、前記下板に対し前記上板を前記シャフト回転軸の周りに回転させて、前記第１の傾きを調整するステップである、
   組み付け方法。
3. 請求項１記載の組み付け方法において、
   前記ハンド機構は、
   回転操作できるハンドルと、
   前記ハンドルに接続された、第１回転軸を有するウォームホイールと、
   前記ウォームホイールに嵌合され、所定の減速比で回転する第２回転軸を有するウォームギヤと、
   前記ウォームギヤに接続されたハンド回転軸と、
   前記ハンド回転軸に接続された、前記部品受け機構を搭載するフォークと、
   を有し、
   前記第２のステップは、前記ハンドルの操作によって前記第２回転軸に対応する前記第２の傾きを調整するステップである、
   組み付け方法。
4. 請求項１記載の組み付け方法において、
   前記組み付け装置は、前記ハンド機構が先端に設けられたロボットアームを備え、
   前記組み付け方法は、前記ロボットアームを駆動することで前記ハンド機構の位置を調整するステップを有する、
   組み付け方法。
   
5. 請求項１記載の組み付け方法において、
   前記組み付け装置は、前記ハンド機構の上面または前記部品受け機構の上面に設けられ、前記対象物の下面との距離を検出するセンサと、
   前記距離に基づいて、前記対象物の下面に対する前記部品の傾きの状態を計算する制御装置と、
   を備え、
   前記組み付け方法は、
   前記センサで検出した距離に基づいて前記制御装置が前記傾きの状態を計算するステップを有する、
   組み付け方法。
6. 請求項１記載の組み付け方法において、
   前記組み付け装置は、前記部品受け機構の上面に設けられ、前記対象物の下面と前記部品との接触に係わるひずみ量を検出するひずみゲージと、
   前記ひずみ量に基づいて、前記対象物の下面に対する前記部品の接触の状態を計算する制御装置と、
   を備え、
   前記組み付け方法は、
   前記ひずみゲージで検出したひずみ量に基づいて前記制御装置が前記接触の状態を計算するステップを有する、
   組み付け方法。
7. 組み付け装置を用いて、作業台の上に設置された対象物の下面に部品を組み付ける作業をアシストする組み付け方法であって、
   前記組み付け装置は、
   前記部品を搭載する傾斜調整機構と、
   前記傾斜調整機構を上に乗せて支持する上下移動部品として複数の上下移動部品と、
   前記上下移動部品を上下に移動させる上下調整機構と、
   を備え、
   前記組み付け方法は、
   前記複数の上下移動部品のそれぞれの上下移動部品の移動量を制御することで、水平面を基準として任意の軸で前記傾斜調整機構の傾斜の状態を調整するステップを有し、
   前記傾斜調整機構の傾斜の状態を調整することで、前記対象物の下面に対する前記部品の傾きを調整する、
   組み付け方法。
8. 請求項７記載の組み付け方法において、
   前記組み付け装置は、前記上下調整機構、前記上下移動部品および前記傾斜調整機構を搭載した自走装置を備え、
   前記組み付け方法は、前記部品を搭載した前記組み付け装置が前記自走装置によって前記作業台の前記対象物の下面の下側まで自動走行するステップを有する、
   組み付け方法。
9. 請求項８記載の組み付け方法において、
   前記作業台は、昇降台を備え、
   前記組み付け方法は、前記昇降台の上に前記自走装置が乗り、前記自走装置が乗った前記昇降台を上昇させることで、前記部品の高さ位置を調整するステップを有する、
   組み付け方法。
10. 請求項７記載の組み付け方法において、
    前記傾斜調整機構は、前記部品のねじ締めのためのドライバーが取り付けられるドライバー駆動部を有し、
    前記組み付け方法は、前記対象物の下面に対する前記部品の傾きが調整された後に、前記傾斜調整機構の前記ドライバー駆動部による前記ドライバーの駆動によって、前記対象物の下面に対する前記部品のねじ締めを行うステップを有する、
    組み付け方法。
11. 請求項７記載の組み付け方法において、
    前記組み付け装置は、前記傾斜調整機構の上面に設けられ、前記対象物の下面との距離を検出するセンサと、
    前記距離に基づいて、前記対象物の下面に対する前記部品の傾きの状態を計算する制御装置と、
    を備え、
    前記組み付け方法は、前記センサで検出した距離に基づいて前記制御装置が前記傾きの状態を計算するステップを有する、
    組み付け方法。
12. 請求項１１記載の組み付け方法において、
    前記組み付け方法は、前記制御装置が、計算された前記傾きの状態に基づいて、前記複数の上下移動部品のそれぞれの上下移動部品の移動量を制御することで、前記傾斜調整機構の傾斜の状態を、設計値に近付くように再調整するステップを有する、
    組み付け方法。
13. 請求項１または７に記載の組み付け方法において、
    前記対象物は、真空試料室であり、
    前記部品は、真空ポンプである、
    組み付け方法。
14. 作業台の上に設置された対象物の下面に部品を組み付ける作業をアシストする組み付け装置であって、
    前記部品を搭載する部品受け機構と、
    前記部品受け機構を保持し移動可能であるハンド機構と、
    を備え、
    前記部品受け機構は、第１軸の周りの第１の傾きを調整する機構であり、
    前記ハンド機構は、前記第１軸とは異なる方向の第２軸の周りの第２の傾きを調整する機構であり、
    前記部品受け機構に搭載された前記部品の前記第１の傾きを調整し、前記ハンド機構に保持された前記部品受け機構の前記部品の前記第２の傾きを調整し、前記第１の傾きと前記第２の傾きとの調整により、前記対象物の下面に対する前記部品の傾きを調整する、
    組み付け装置。
15. 作業台の上に設置された対象物の下面に部品を組み付ける作業をアシストする組み付け装置であって、
    前記部品を搭載する傾斜調整機構と、
    前記傾斜調整機構を上に乗せて支持する上下移動部品として複数の上下移動部品と、
    前記上下移動部品を上下に移動させる上下調整機構と、
    を備え、
    前記複数の上下移動部品のそれぞれの上下移動部品の移動量を制御することで、水平面を基準として任意の軸で前記傾斜調整機構の傾斜の状態を調整し、前記傾斜調整機構の傾斜の状態を調整することで、前記対象物の下面に対する前記部品の傾きを調整する、
    組み付け装置。
16. 請求項１記載の組み付け方法を用いて組み付けられた真空処理装置。

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