TW201014157A - Piezoelectric vibrating pieces and piezoelectric devices comprising same - Google Patents

Description

201014157 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明涉及使用由水晶構成的壓電基板來製造 具有支撐臂的音叉型壓電振動元件的技術。 【先前技術】

以往，在手錶或家電、各種資訊/通信機器或 〇九機器等的民生/產業用電子機器上，作為其電路 : = 乏使用㈣器或即時時鐘模件等的 :曰置。其中，振盡器將壓電振子、壓電振動片 雷提罢封裝在同—包裝件内。尤其，最近這些壓 電裝置隨著搭載這些的電子機器的小型化、 化’要求進一步的小型化、薄型化长 c水曰曰阻抗）值，且南品質、穩定性優良的 壓=置。壓電裝置為了保持低CIm，開發出了例 如八有振動臂音叉型振動片，而且為 :片了縮·基部長度’且具有支撐臂的音又型壓電:: 很錁專利文獻 円8晰— 寸開2〇〇5-1〇2138)，如 圖8所不，音叉型壓電振動片 ，臂16,在基部12的下部形成短邊部 紐邊部11沿著振動臂16的長 文 及支架部15。由此，減少包=二成支撐臂14 匕衷件外部的溫度變化或 3 201014157 波及，改善了 _臂16的振動滲漏對外部的 。j Li 值。 縮，針對進—步小型化的需求，若要進一步 地二力:現有的支撐臂是不能充分 動二::::::::言，音又型壓電振 所產生的異形部隨著二產生異形部。由這種姓刻 的特性的影響會〜 ’對音叉型壓電振動片 振# θ σ。蝕刻的異形部使音叉型壓電 振動片產生歪曲，且坍，丨认口丄 ^ 動臂的“ 相偏I會使左右振 動臂的根部等的小型化，伟^朴由現者對振 ^u a 使蝕刻樂劑不容易流動， 還由水晶的各向異性使加工變得困難。 【發明内容】 本發明的目的在於接供糸·^ Α 杈仏為了使音叉型壓電振動 步小型化而縮短了基部的長度，並設置減少 ^動臂的振動滲漏波及外部的影響的振動臂及支撐 :’另外做成考慮了由蝕刻引起的各向異性的外 形’即使在蝕刻後也對稱的音又型壓電振動片。 Α第1觀點的壓電振動片，具有：至少一對從基 相-端侧向規定方向延伸的振動臂；在振動臂的 201014157 兩個外側，在前端具有接合部的同^ :向：定方向延伸的一對支撐 電振動片從支撐臂根部至接合部=臂並且’麼 面和支撐臂-方的側面相對於臂動方的側 的中心線是線對稱。 動#和支撐臂之間 由於振動臂一方的侧面和支撐 對於中心線為線對稱，因此支撐 1面相 能夠保持平衡m 士於振動臂而 震動滲漏。 4 CI值的增加或減少 第2觀點的壓電振動片，具有形 臂之間的振動臂根部，且從基部的另二端侧^動 臂根部的距離和到振動臂根部的距離相等。撐 根據這種構成，银刻液在振動臂和 均勻地流動’從而可以進行保持平衡的蚀刻間 第3觀點的壓電振動片，具有：至少一對從美 部的-端側向規定方向延伸的振動臂；在振動臂二 兩個外側’在所端具有接合部的同時從基板的1 側向規定方向延伸的一對支撐臂。並且，從基部的 一端侧至所述接合部，一對支撐臂的寬度變窄。 根據這種構成，從振動臂產生的振動滲漏不容 易通過基部到達接合部上，還可以減小振動滲漏。 5 201014157 第4觀點的壓電振動片， 撐臂的至少一方的側面從規定 3觀點中通過支 一對支撐臂的寬度變窄。义向傾斜而延伸，使 就一對支撐臂的寬度而古， 至少-方的側面向規定方向傾。斜地二過變支窄撐臂的 第5觀點的壓電振動片，在 具有形成在一對振動臂一方 或第4觀點中 =部，並且從支撐臂根部至二方SI支 臂”;：：支：臂一方的側面相對於振動臂和支撐 瘁之間的t心線是線對稱。 《 1又切 若振動臂一方的側面和支撐 於振動臂和支樓臂之間的中心二相對 變得均衡，刻後的振動背:: 第6觀點的壓電振動片，在 ^在：振動臂之間_臂根部，：且 離相等撐臂根部的距離和到振動臂根部的距 使振動臂根部和支撐臂根部的形狀近似，可以 變得均衡’且靖的振動臂和支 201014157 或第6觀點二支:::部’在第2 振動臂根部和支擇臂根部為同 蝕刻液的流動變得〜狀，可以使 臂的平衡優良 衡’絲刻後的振動臂和支撐 側Θ:的壓電振動片的振動臂的寬度從-端 側向規疋方向變窄成為第丨寬度 從立而 寬度還寬的第2寬度延伸至前端。 斤述第1 種振料的構成，可錢 動的同時得到穩定的振動頻率。 “易振 第觀點的壓電振動片的振動臂的寬产從 側向規定方向變窄成為第 '度從-端 前端。 覓度之後逐漸變寬至 =這種振動臂的構成，可以使振 動的同時得到穩定的振動頻率。 约振 觀點的壓電振動片，具有··第！觀點至第 = ㈣任意—項所述的壓電振動片；覆蓋該麼電 、的m接有支撐臂且支撐所述壓電振 片的底部。 通過使用第1至g 9觀點中的任意的壓電振動 ，成為小型化且能夠得到穩定的振動的壓電裝置。 201014157 本發明的音叉型水晶振動片即使做成小型化也 可以抑制ci值的增加，另外可以降低振動滲漏。另 外可以回應使用了其音叉型水晶振動片的壓電裝 置的小型化的期望。 【實施方式】 本發月的曰又型水晶振動片是例如在Μ 768hz 下使信號產生振盪的振動片，並且是Y方向的長产 約為i.45mm，x方向的長度約為〇5mm，z方向ς 厚度約為G.lmm的㈣雜。在形成該音叉曰 ，動片的外形的工程的㈣中產生微小的尺寸的偏 立又=是微型形狀因此這種微小的尺寸的偏差對 曰振動片的影響比較大。以下的實施例表 狀。、增加較小的小型音叉型水晶振動片的形 〈實施例1 > 1音叉型水晶振動片 100具有第1振動臂 是圖1A的A剖 圖1A是本實施例的第 1()〇 〇第1音又型水晶振動片 41，還具有支撐臂22a。圖 視圖。 人尘水晶振動片1〇〇在基部23上星右 型的第」振動臂4丨’且基部23的長度二 ' 随對第1振動臂41的長度約為 201014157 弟1振動臂從基部23大致 延伸，且在第"辰動臂41的：向Y方向 24。例如’ i根第】振動臂 >成有槽部 槽部24,且第！振動臂 表面上形成有2個 個槽部24。即，一對第'"面側也同樣形成有2 槽部24。如圖1B所示 上形成有4個 形狀，具有降低第】音又二曰4的剖面大致形成Η 的效果。在此，雖秋在^:動片1〇〇的〇值 也具有同樣效果。另;：二=者多個槽部24 施例2、實施例3及 、y成在以下的實 及霄苑例4也是同樣的。 第」=臂41的根部在χ方向上 ^成。廷樣可以使第 見見度 部的應力轉移到第丨縮頸將集中到根 ::㈣動滲漏。從基部:二^ 從根部逐漸變窄，仰 派動’ 41 ! A1 第1鈿頌部46逐漸變窄，且在第 n 鈿頸部47上急劇變寬，以振動臂不 彼此衝突的寬度形成錘形形狀。 振動’不 部二第第丨二動臂41的較寬的根部到第1縮頸 集中在根部的應力=是以2階段變窄，因此通過 W 向第1振動臂41的前端方向轉移 9 201014157 來減夕朝向基部23的振動滲漏。另外可以通過調 整鍾形的寬度HW及錘形的長度hl，以及作為從基 部到錘形的長度的基部錘形的長度KH，可以-邊抑 制、值的增加一邊防止2次高頻波的振盪，從而 可以振盈出穩定的基本波。 ^ 1音又型水晶振動片1〇〇的基部23在兩端部 η ^臂支撐臂仏的根部以較寬的寬度 ^川苜:臂22a的第1振動臂41侧的侧面向x方 =:，切臂22a的寬度（χ方向）從根部逐 …乍並形成第3縮頸部48 寬度從第3縮頸部48逐漸變窄丄二:，的 前端附近形成第4縮頸部49。支撐臂22:: 2: 頸部49急劇變甯诉形Λ 縮 形成有與後述的包料Ρκ=^。在錘形形狀部上 接合的接合部 變窄，由，tf-且亡π < 代乐）难4 4 48逐漸 由此具有緩和振動滲漏的功能。 第1音又型水晶振動片1〇〇的基部m 大致以板狀形成。為了縮短第！音 二 二的整體長度’最好儘量縮短基尺:振動片 的振動以振動渗漏形二; 在本貫崎通過在第！音又型水晶插動二 201014157 =撐f 22a來減少第i振動臂41 外部變化的影響。再有，第1音又型水曰漏或 和包裝件的接合部25設置在遠離基心：撐二二0 =部上，由此減少振動滲漏或外部變化所帶“ :二再有將第1音叉型水晶振動片1。。的外形做 所示的構造’由此可以抑熟刻的異形部所 影響’並可以形成左右均句且保持了平衡的 弟1音又型水晶振動片100。

々圖1A所不，第！音叉型水晶振動片⑽ 部：3是以相同的基部長度W向寬度方向延伸，： 且疋從其已延伸的基部23延伸出支撐臂22&的形 狀。另外，作為第i音又型水晶振動# 1〇〇的第】 振動臂41和帛1振動臂41之間的距離的第2寬度 W2與作為第1振動臂的寬度的第1寬度W1相:同， =外作為f 1振動臂41 #支撐I仏的距離的第3 見度W3也與第1寬度W1相同。即，第1音叉型 曰振動片1〇〇的第j寬度wi，第2寬度，第 I度W3 ’第4見度W4設計成相同的寬度。 技^第1寬度Wl、第2寬度W2、第3寬度W3、 第4見度W4 ^計成相同的寬度，可以使敍刻液在 蝕刻工序中的流動相同，從而形成保持左右平衡的 第1音又型水晶振動片1〇〇。 201014157 劈二=Μ和一對第1振動臂41所形成的振動 “的形狀為直線的u字形狀。另外，由基部 3和第！振動臂41及支撐臂仏所形成的2個支撐 纽部26的形狀也是相同的直線的U字形狀。另 外，由於第1音又型水晶振動片1〇〇的基部23設計 成以相同的基部長度LK肖寬度方向延伸因此以 相同長度形成振動臂根部27的最深部的第】基部的 參 長度K1和2個支撐臂根部26的最深部的 的長度K2。 1 ,將振動臂根部27和支撐臂根部26做成相同的 =狀’且將第！基部的長度K1和第2基部的長度 j故成㈣長度。由此，使因水晶的各向異性而引 起的#刻的異形部成相同形狀，從而成為整體 的形狀。即’第1音又型水晶振動片100通過使上 述各個寬度、各個根部形狀及各個I部的長度一 參 致’使其成為即使經過姓刻也可以保持左右平ς的 構造。 、 支撐臂22a的長度比第1振動臂41 #長产短， 二第41的前端與電極同時形成“覆 Ί振動臂41前端的金屬覆膜起到錠子的作用 使其容易振動。另外，通過穩定地振 膜值上升。另外，第1振動臂41前端的金屬覆 膜疋為了更容易對作為壓電裝置而搭載的帛 12 201014157 型水晶振動片100進行頻 1音又型水晶振動片i 〇 〇的外料二成的。這些第 眾所周知的Μ技術㈣<二^24可以通過 成外形及槽部24的方法的概略。下，表示由敍刻形 (外形的形成） 多個Γί，由圓形或方形的水晶晶片同時形成 ❿ =二型水晶振動片10。的外形。第： i水日日振動片100的外 曰又 掩膜，例如將氣酸溶液作為的耐韻膜等的 水晶晶片進行第】立又形t 對從掩膜露出的 刻。作為耐㈣:可以;==:。。的她 的金屬覆膜。這祕刻:為：地蒸鑛了金 的漠度或種類、溫度等而變化Γ现著氟酸溶液 (槽部的形成） 其次，由槽形成用抗韻劑使夾 側的壁部留下，在不形成 槽424的兩 臈，在與外形蝕刻相同的二下 '分使用耐蝕 臂4】的矣直而、刻條件下，對第J振動 择丄 分別進行濕刻而形成槽部24。 槽心的深度相對於厚度，以3〇%至例形成。 在此’上述外形蝕刻及槽蝕刻 也可以使用乾刻。這種情況，例如在水晶晶 音又型水晶振動片100的外形後，每次通過 201014157 配置金屬掩膜而覆蓋相當於槽部24的區域。在這種 狀態，例^可以將水晶鏡片收放在未圖示的容器 内，以規疋的真空度供給蝕刻氣體形成蝕刻等離 子體而進行乾刻。gp，在真空容器（未圖示）上例 如連接有氟利昂氣缸和氧氣氣缸’再有，在真空容 器上設置有排氣管，使得成為規定的真空度。 真空谷器内被真空排氣成規定的真空度，輸送 氟利昂氣體和氧氣’在填充至其混合氣體成規定的 氣壓為止的狀態下’若印加直流電壓，則產生等離« 子之後3有被離子化的粒子的混合氣體撞到從 金屬掩膜露出的壓電材料上。由這種衝擊被物理地 削去而飛散，由此進行蝕刻。 (電極的形成） 如圖1A所示，電極由基部電極31和激勵電極 K形成，如圖1B所示，激勵電極％還形成在第！ 振動臂41的側面。設置在支撐臂22a上的接合部25 〇 搭载在導電性钻接劑EG上。基部電極31和激勵電 極32是例如以川膜為質地且形成了 -膜的2層構 造。 電極的形成是由蒸鍍或噴鍍等全面覆蓋作為電 極的金屬，其次使用露出了不形成電極的部位的抗 蝕劑，利用光刻法形成電極。之後，利用喷鍍或蒸 錢在第1振動臂41㈣端部形成錘式電極（金屬覆 14 201014157 膜）錘式電極利用在頻率調整上。由於在以下的實 施例中與實施例〗相同地對電極進行配線，因此省 略電極的圖。 (壓電裝置的形成）

圖2A表不壓電裝置50的概略平面圖，圖2B 表示圖2A的概略剖視圖。壓電裝置5〇是在具有命

間的包襄件PKG内放入第丨音叉型水晶振動Z 100，並在真空容器内保持真空狀態且利用封裝材料 54接合蓋體53和包裝件PKG。蓋體53由硼矽玻璃 等形成，由此即使構築了壓電裝置之後也可以進 頻率的調整。

包裝件PKG是例如由陶瓷形成的陶瓷包裝件， 將多張陶究薄板層疊形成箱體形狀後進行燒結。在 包裝件PKG的底部形成外部電極51而成為可以進 仃表面安裝（SMD : Surface M〇um Devi。。的類型。 第1音叉型水晶振動片1〇〇通過支撐臂22a红 接口部25與壓電裝置5G的包震件PKG進行結合' 例如’接合部25搭載在塗布於包裝件ρκ(}的二 部電極29上的導電性枯接劑EG上，臨時固化導; 性點接劑阳。其次，第1音又型水晶振動片100^ 過在固化爐内真正地固化導電性枯接齊！ ε〇來 接合部25和包裝件PKG的接合部電極29， ^ 件外部的外部電極51進行電賴。 4裝 201014157 之後，對壓電裝置50進行頻率的調整。即、 過向第1音叉型水晶振動片100的第】振動臂“通 前端照射鐳射，使錘的金屬覆膜的一部分蒸發、的 華且削減品質’由此調整振動頻率。另外，、= 置50通過進行驅動特性等的檢查而完成。 第1音叉型水晶振動片1〇〇通過改變第^ 臂“及支撐臂22a的形狀，可以製造α 姆動 更少並具有緩和衝擊功能的壓電裝置5〇。以下 施例2、實施例3及實施例4表示c r值的择:實 且振動滲漏較少的同時且右浐 θ車乂夕、 们…於辟/ 和衝擊功能的振動臂 形狀及支撐臂形狀的具體例子。 牙 <實施例2> 的同時且有^和㈣^的增加較少且縣渗漏較少 挪的第2音叉型水^動的第2振動臂42及支撐臂 第2立交剂卜 日日振動片U0。由於本實施例的 臂22U晶振動片U〇的第2振動臂42及支撐 = 成::與相同，因此省略 沒有圖示電極。 ’為了使圖更加清晰，因此 如圖3所示，從基 臂42的根部在乂。的一端延伸的第2振動 從基部23延伸的第^上以較寬的寬度形成。另外’ 變窄而形成第in 臂42的寬度從根部逐漸 成第1縮頌部46,且以一定的寬度向”由 201014157 方向延伸而形成第5寬度W5。第2 長度為第2振動臂42的長度的 ：有 2心由此減少α值。支撐臂22b 6=部 以較寬的寬度形成。另外，寬度從 =支撐臂-的内側面，平行於第 的侧面而筆直地向γ軸方向延伸。 搌動“2

支撐臂22b的外側的寬度從基部 44逐漸變窄且向γ 的另知$ 45。抒伸形成第5縮頸部 使Γ支二的I度在第5縮頸部45急劇增大， 使付支撐# 22b的前端成錘形形狀。就第2音 水晶振動片110而言，》2振動臂42以—定的寬度 二=Γ伸’且振動臂22b的内側也沿著直： 向γ軸方向延伸。僅使支撐臂22b的外側的寬度變 窄，而形成向Y軸方向延伸的形狀。支撐臂22b的寬 度從基4 23的另—端部44逐漸變窄，使在第2振 動臂42所產生的振動到達基部23，另外具有緩和 傳遞到支撐臂22b上的振動滲漏的功能。 本實施例也與實施例1相同地作為壓電裝置 50’可以將第2音又型水晶振動# 11〇封裝在包裝 件PKG内。另外，可以在封裝後進行頻率的調整。 圖4八是放大了實施例1的第1音叉型水晶振動 >；100的支撐臂根部26的圖，圖4B是放大了實施 201014157 例2的第2音叉型水晶振動片UG的支撐臂根部％ 的圖。 在圖4A中’從基部23向Y方向延伸的第1振 動臂41的支撐臂仏側的側面sw從基部23#γ 方向延伸的支射22a的第1振動臂41側的側面 SF相對於從支撑臂根部26向γ方向延伸的中心線 CL為左右線對稱。即’從支樓臂根部％至接合部 h的支撐臂22a的侧面SF與第1振動臂41的側面 相對於中心線CL為線對稱。在圖4β中，從基部23 © 向Y方向延伸的第2振動臂42的支撐臂22b側的側 面SF和從基部23向γ方向延伸的支撐臂2儿的第 2振動臂42侧的側面SF也相對於從支撐臂根部％ 向Y方向延伸的中心線CL為線對稱。 這樣，隨著支撐臂22a及支撐臂22b從支撐臂 根部26延伸至接合部25，即使支撐臂22&及支撐臂 22b的寬度變窄’振動臂和支撐臂所面對的側面Sf Q 也相對於中心線CL為線對稱。 水晶自身具有蝕刻各向異性，且對於圖4a及圖 4B所不的機械軸X、電氣軸γ、光學轴2而產生。 即’對於在其X— γ平面内的蝕刻速率，在正X方 向的相對於Χ軸的正12〇度的方向及負12〇度的方 向的平面内餘刻的進行會變快。相對於此，在負χ 方向的相對於正χ軸的3〇度方向及負3〇度的方向 18 201014157 的平面内蝕刻的進行會變 γ速方率，度方向及負：度 向上會變慢。軸的正〗20度方向及負⑶度方 通過這樣的蝕刻各向異性， 或第2音又型水晶振動片: =臂，上:成以-形_ = 22“_二從 =二動：41的支標臂 臂22a的第}振動辟土。向方向延伸的支撐 1振動臂41 : 的側面s”，能夠使第 平衡二 夠形成保持了平衡的Hi刻液的流動相同，並能 第2音又型水晶振動片m曰又型水晶振動片1〇0或 支撐广中’通過使第1振動臂41側的 窄。在圖:Β中'面:頃二，支撐臂&的寬度逐漸變 側的支撐臂22b ^ 於弟2振動臂42的相反 漸變窄I 支撐臂挪咖 撐臂相邱％ f牙# &及支撐臂22b的寬度從支 擇臂二度變Γ合：2?漸變窄。通過這樣使支 滲漏不容易到達接合:上2。2"或22b產生的振動 19 201014157 在此’振動臂和支撐臂的對向的側面SF相對於 中心線CL為線對稱，在以下說明的實施例3及實 施例4也相同。 <實施例3> 圖5表示具有降低了 CI值的第3振動臂43的 第3曰叉型水晶振動片120。由於本實施例的第3 音叉型水晶振動片120的構成部分除了第3振動臂 43之外也與實施例1相同，因此省略其說明。另外， 為了使圖更加清晰，因此沒有圖示電極。 縮頸部46， 第3振動臂 如圖5所示，與實施例丨相同地從基部23延伸 的第3振動臂43的寬度從根部逐漸變窄而形成第^ 並朝向第2縮頸部47且寬度逐漸變窄。 :3振動臂43從第2縮頸部47至第3振動臂43的 前端，以振動臂彼此不衝突的寬度逐漸變寬。 在本實施例中，由於從第3振動臂43

1 Κ穂疋的基本波。 20 201014157 本實施例也與實施例1相同地作為壓電裝置$ 〇 可以將第3音叉φι 士 a j 1尺日日振動片120封裝在包裝件 另外，可以在封裝後進行頻率的調整。 <實施例4> "表不具有第1振動臂41及支撐臂22c的第 ，曰又型水晶振動片13〇。由於本實施例的第4音叉

^日日振動片130的構成部分除了支樓臂22c之外 :圖相同，因此省略其說明。另外，為了 使圖更加〉月晰，因此沒有圖示電極。 某邻H又型水晶振動片130的第1振動臂41從 ί=3大致平行地延伸，並形成第！縮頸部46及 ' 支撐#22c具有與支撐臂22a及支 相同的形狀。支撐臂22c的寬度從第3縮 :員：：逐漸變窄’並在支撐臂22的前端附近形成 弟縮頸部49。再有，支樓臂22c從基部23 一 端部44逐漸變窄’並形成第5縮頸部& 22c在第4縮頸部49及第5縮頸部45 : 錘形形狀。支撐臂22c通過從繁、欠見而成 π W Γ 縮頸部48及基部 :力:部44逐漸變窄而具有緩和振動渗漏的 本實施例也與實施例1相同地作為壓電 可以將第4音又型水晶振動# 130封裝在^裝件 咖内4外，可以在封裝後進行頻率的調整。、 201014157 圖7A、圖7B、圖7C以及圖7D表示音叉型水 晶振動片的變形例。雖然在實施例1、實施例2、實 施例3以及實施例4中振動臂根部26和支撐臂根部 27的形狀為直線的υ字型形狀，但是也可以做成如 圖7A、圖7B、圖7C以及圖7D所示的平滑的U字 型形狀。另外，雖然在實施例1、實施例2、實施例 3以及實施例4中是由2個第1接合部25固定在包 裝件上’但是如圖7A、圖7B、圖7C以及圖7D所 示’也可以增加2個第2接合部28。通過設置第2 Φ 接合部28來增加支撐各支撐臂的剛性，並且不容易 使各振動臂的振動滲漏傳遞到包裝件PKG上，另外 由溫度變化等引起的從包裝件外部的應力變化不容 易傳遞到各振動臂上。在此，在圖7a、圖7B、圖 7C以及圖7D中沒有圖示電極。 在產業利用上’雖然詳細說明了本發明的最優 實施例，但本領域技術人員可以在本發明的技術範❹ 圍内對上述各實施例進行各式各樣的變化、變形。 例如，本發明的壓電振動片可以使用水晶以外的鈮 酸鋰晶體（LiNb〇3)等的各式各樣的壓電單晶體材 料0 【圖式簡單說明】 圖1A是第1音叉型壓電振動片ι〇〇的平面圖。 22 201014157 圖1B是圖1A所示的音叉型壓電振動片1〇〇的 A—A剖視圖。 圖2A是壓電裝置50的平面圖。 圖2B是圖2A所示的壓電裝置50的概略剖視 圖。 圖3是第2音叉型壓電振動片11〇的平面圖。 圖4A是放大了第1音叉型水晶振動片ι〇〇的支 • 撐臂根部26的圖。 圖4B是放大了第2音又型水晶振動片丨1()的支 撐臂根部26的圖。 圖5是第3音叉型壓電振動片12〇的平面圖。 圖6是第4音叉型壓電振動片13〇的平面圖。 圖7A是表示第1音叉型壓電振動片1〇〇的變形 例的平面圖。 圖7B是表示第2音叉型壓電振動片11〇的變形 ® 例的平面圖。 圖7C是表示第3音叉型壓電振動片12〇的變形 例的平面圖。 圖7D是表示第4音又型壓電振動片13〇的變形 例的平面圖。 圖8疋現有的具有支撐臂的音叉型壓電振動片 10的平面圖。 【主要元件符號說明】 22a ' 22b、22c—支撐臂 23 201014157 23— 基部 24— 槽部 25、28—接合部 26一振動臂根部 27—支撐臂根部 29—接合部電極 31— 基部電極 32— 激勵電極 41 一第1振動臂 42— 第2振動臂 43— 第3振動臂 44一另一端部 45— 第5縮頸部 46— 第1縮頸部 47— 第2縮頸部 48— 第3縮頸部 49一第4縮頸部 50—壓電裝置 53—蓋體 54一封裝材料 100—第1音叉型水晶振動片 110一第2音叉型水晶振動片 120—第3音叉型水晶振動片 130—第4音叉型水晶振動片 24 $ 201014157 EG —導電性粘接劑 HW—錘寬 HL—錘長 K1 一第1基部的長度 K2—第2基部的長度 KH—基部錘長 LK一基部的長度 SL—第2振動臂42的長度 • W1 —第1寬度 W2—第2寬度 W3—第3寬度 W4—第4寬度 W5—第5寬度 W6—第3振動臂43的寬度 W7—第2縮頸部47的寬度 ^ PKG—包裝件 25

Claims (1)

1. 201014157 七、申請專利範圍： i、—種壓電振動片，其特徵在於，具有： 至少-對從基部的-端侧向規定方向延伸的振動 在所述振動臂的兩個外側，在前端具有接合部的 時攸所述基板的所述一端侧向所述規定方向 對支撐臂；以及， 的― 形成在所述一對振動臂一方和所述支撐臂 間的支撐臂根部， 一方之

   並且，從所述支撐臂根部至所述接合部，所述振動 臂-方的側面和料支撐臂__方的側面相對於所述振 動臂和所述支撐臂之間的中心線是線對稱。 2如申明專利範圍第1項所述的壓電振動片，其 特徵在於， 具有形成在所述一對振動臂之間的振動臂根部，

   從所述基部的另一端側到所述支撐臂根部的距離 和到所述振動臂根部的距離相等。 3、一種壓電振動片，其特徵在於，具有： 至少一對從基部的一端側向規定方向延伸的振動 臂；以及， 在所述振動臂的兩個外侧，在前端具有接合部的同 時從所述基板的所述一端側向所述規定方向延伸的一 對支撐臂， 並且，彳火所述基部的一端側至所述接合部，所述一 26 201014157 對支撐臂的寬度變窄。 項所述的壓電振動片 其 4、如申請專利範圍第 特徵在於， 向倾^過所述支料的至少—方的側面從所述規定方 向4貝斜而延伸，使所述_對支稽f的寬度變窄。 5、如申請專利範圍第3啖 其特徵在於， ^項収的壓電振動片，

   =有形成在所述-對振㈣—方和料支撐臂一 方之間的支撐臂根部， 臂-所述支撐臂㈣至料接合部，所述振動 ^ 方的侧面和所述支掠臂一士 AA V 1 動臂和所述支撐臂之間的中心線是線：對於所㈣ 特徵^：，中請專利範圍第5項所述的壓電振動片，其 具有形成在所述-對振動臂之間的振動臂根部， 距離f且’從所述基部的另—端側到所述支撐臂根部的 離和到所述振動臂根部的距離相等。 項所述的壓電振動片 7、如申請專利範圍第2或6 其特徵在於， 所述支撐臂根部與所述振動臂根部為相同形狀。 8、如申請專利範圍第卜2、3、4、6項的任意一 項所述的壓電振動片，其特徵在於， ^ 、所述振動臂的寬度從所述一端側向規定方向變窄 成為第1寬度，並以比所述第！寬度還寬的第2寬度延 27 201014157 伸至前端。 9、 如申請專利範圍第5項所述的壓電振動片，其 特徵在於， 所述振動臂的寬度從所述一端侧向規定方向變窄 成為第1寬度，並以比所述第1寬度還寬的第2寬度延 伸至前端。 10、 如申請專利範圍第7項所述的壓電振動片v矣 特徵在於， 所述振動臂的寬度從所述一端側向規定方向變窄 成為第1寬度，並以比所述第丨寬度還寬的第2寬度延 伸至前端。 11、 如申請專利範圍第1、2、3、4、6項的任意一 項所述的壓電振動片，其特徵在於， 所述振動臂的寬度從所述一端側向規定方向變窄 為第1兔度’之後逐漸變寬至前端。 _ 12、 如申請專利範圍第5項所述的壓電振動片，其 特徵在於， 所述振動臂的寬度從所述一端側向規定方向變窄 、為第1寬度，之後逐漸變寬至前端。 13、 如申請專利範圍第7項所述的壓電振動片，並 符徵在於， 八 成所述振動臂的寬度從所述一端側向規定方向變窄 為第1寬度，之後逐漸變寬至前端。 28 201014157 Μ、一種壓電裝置，其特徵在於，具有·· 如申請專利範圍第1項至專利範圍第13項的任咅 一項所述的壓電振動片； 〜 覆蓋該壓電振動片的蓋部；以及， 連接有所述支撐臂且支撐所述壓電振動片的底部。

   29