201013825 ·> 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種藉由向基板下面喷出氣體使基板上 浮’而進行搬送之非接觸式的基板搬送裝置以及基板定位 方法及裝置。 【先前技術】 已知對於液晶面板或半導體之製造上所使用之基板的下 面喷射壓縮氣體，從而使基板上浮，在非接觸狀態下搬送 ® 基板之裝置。專利文獻1係提出一種裝置，其設置氣體喷 出機構使基板上浮，且於相對基板行進進方向成平行之基 板搬送線的兩側設置作為基板搬送機構之搬送滾筒，藉由 夾持基板而進行搬送。 另’專利文獻2係提出一面使基板上浮一面使之傾斜， 而利用在傾斜之基板的下側設置之單側基板搬送機構進行 搬送之裝置。 • 專利文獻1:日本特開2003-292153號公報 專利文獻2:日本特開2002-308422號公報 【發明内容】 - [發明所欲解決之問題] . 但’專利文獻1記載之裝置’必須以搬送滾筒夾持兩 側’一面吸收基板尺寸誤差與撓曲一面進行搬送。因此， 為使兩側之搬送滾筒緊貼於基板邊緣，彈普等賦能機構係 為必要，可列舉構造上變得複雜之問題點。 另，專利文獻2記載之裝置，為使作用於基板之重力中 141578.doc 201013825 朝傾斜方向之成分大小位於用以將基板朝下側搬送滚筒賦 能之適當的力之大小之範圍内’其傾斜角度受到限制。因 此’在此傾斜角度與在上游步驟或下游步驟之裝置中的基 ^姿勢不整合之情況，存在無法與此等裝置直接組合之問 題0 本發明係鑑於上述問題而完成者，其目的係提供一種基 板處理裝置，其不使用複雜之構造即可一面進行朝搬送機 構之基板的賦能與定位，-面使基板上浮而搬送，且連上 游步驟或下游步驟之裝置中的基板姿勢也易於整合。 另，本發明之第2目的係提供—種在搬送基㈣時不 ^用複雜之構造即能對基板進行定位之基板定位方法及裝 [解決問題之技術手段] 為解決則述問題，枯猫*古安^， 欠 J-a技術方案1之發明係一種基板搬送裝 ，其特徵在於：其係用以搬送基板者，具備：上浮力賦 予機構’係藉由將在與特定的基準面垂直之第1方向、及 與前述基準面平行且與前述第1方向垂直之第2方向之兩個 方向具有速度成分而噴出之壓縮氣體，對配置在前述基準 面亡之基板從前述基準面側賦予，而一面使前述基板上浮 在别述基準面上，—面將前述基板朝前述第2方向賦能. 及搬送機構’係沿前述基準面之前述第2方向側所規定的 =致水平之基準線設置，一面與前述基板之特定的邊緣抵 面藉由對於前述邊緣賦予朝與前述基準線平行之基 板搬送方向之搬送力’而將前述基板朝前述基板搬送方向 14I578.doc 201013825 搬送。 另’技術方案2之發明係技術方案1之發明之基板搬送裝 置’其中前述基準面係大致水平。 另’技術方案3之發明係技術方案1或技術方案2之發明 之基板搬送裝置’其中前述上浮力賦予機構具有複數之第 1氣體喷出孔’其等向前述第1方向與前述第2方向之合成 ‘ 方向喷出前述壓縮氣體。 φ 另，技術方案4之發明係技術方案3之發明之基板搬送裝 置’其中前述上浮力賦予機構具有複數之第2氣體喷出 孔，其等向前述第1方向噴出前述壓縮氣體。 另，技術方案5之發明係技術方案4之發明之基板搬送裝 置’其中前述複數之第1氣體噴出孔沿著前述第2方向排 列’前述複數之第2氣體喷出孔沿著前述第2方向排列，前 述第1氣體喷出孔之之排列與前述第2氣體喷出孔之排列沿 著前述基板搬送方向交互設置。 φ 另’技術方案6之發明係技術方案4之發明之基基板搬送 裝置’其中前述複數之第丨氣體噴出孔沿著前述基板搬送 方向排列’前述複數之第2氣體喷出孔沿著前述基板搬送 方向排列，前述第1氣體喷出孔之排列與前述第2氣體喷出 * 孔之排列沿著前述第2方向交互設置。 另’技術方案7之發明係技術方案4之發明之基板搬送裝 置’其中前述複數之第1氣體噴出孔及前述複數之第2氣體 噴出孔在與前述基準面平行之面内交錯狀配置。 另’技術方案8之發明係技術方案3之發明之基板搬送裝 141578.doc 201013825 置，其中前述複數之第1氣體喷出孔係形成於内部具有被 供給前述壓縮氣體之腔室之特定的搬送台之一個台面上， 前述台面規定前述基準面。 另，技術方案9之發明係技術方案3之發明之基板搬送裝 置，其中前述複數之第1氣體噴出孔係分別形成於内部具 有被供給刖述壓縮氣體之前述腔室之複數之長型搬送台之 台面上，各自之長度方向與前述第2方向平行配置之前述 複數之長型搬送台沿前述基板搬送方向排列，形成台面排 列，前述台面排列規定前述基準面。 另，技術方案10之發明係技術方案3之發明之基板搬送 裝置，其中前述複數之第1氣體噴出孔係分別形成於内部 具有被供給前述壓縮氣體之前述腔室之複數之長型搬送台 之台面上，各自之長度方向與基板搬送方向平行配置之前 述複數之長型搬送台沿前述第2方向排列，形成台面排 列，前述台面排列規定前述基準面。 另’技術方案11之發明係技術方案1至技術方案中任 一項之發明之基板搬送裝置，其中前述搬送機構具備一面 以前述第1方向作為各自之旋轉軸方向，一面沿著前述笑 準線排列並旋轉驅動之複數之滚筒。 另，技術方案12之發明係技術方案丨至技術方案1〇中任 一項之發明之基板搬送裝置’其中前述搬送機構具備沿著 前述基準線延伸並旋轉驅動之無端帶。 另，技術方案13之發明係一種基板定位方法，其特徵在 於：其係用以定位基板者’具備：藉由將在與特定的基準 141578.doc 201013825 面垂直之弟1方向、芬也 及與則述基準面平行且與前述第 二兩個方向具有速度成分而噴出之壓= 、 則述基準面上之基板從前述基準面側賦予， 而一面使前述基板上浮在 鉬纟前34基準面上，—面將前述基板 第#向賦能之步驟；及使沿前述基準面之前述第2 方向側所規疋之大致水平之基準線設置之定位構件，與前 述基板之特疋的邊緣抵接，限制前述基板的位置之步驟。 另，技術方案14之發明係一種基板定位裝置，其特徵在 ;其係用以定位基板者，具備：上浮力賦予機構，係藉 由將在與特疋的基準面垂直之第j方向、及與前述基準面 平行且與前述P方向垂直之第2方向之兩個方向具有速度 成分而喷出之1縮氣體’對配置在前述基準面上之基板從 前述基準面側賦予，而一面使前述基板上浮在前述基準面 上’-面將前述基板朝前述第2方向賦能；及定位構件， 係沿前述基準面之前述第2方向側所規定之大致水平之基 準線設置，與前述基板之特定的邊緣抵接，限制前述基板 之位置。 [發明之效果] 根據技術方案1至技術方案12之發明，不僅將壓縮氣體 利用於基板上浮力，亦利用於基板朝搬送機構之賦能。如 此，由於不需要從兩侧夾持基板之機構中所必要之彈簧等 賦能機構，故基板搬送裝置之構造將變得簡易。另，根據 壓縮氣體之喷出條件（傾斜角度及氣體噴出壓力）可決定基 板朝搬送機構之賦能力。因此，基板姿勢不易因賦能力側 I41578.doc 201013825 之條件而受到限制，與上游步驟或下游步驟之裝置中之基 板姿勢亦易於整合。 另，根據技術方案2之發明，由於能使基板保持大致水 平姿勢之狀態下進行搬送，因此可與保持大致水平姿勢進 行處理之上游步驟或下游步驟中之裝置類直接連接。 另，根據技術方案4之發明，由於朝向與特定的基準面 垂直之第1方向亦喷出壓縮氣體，因此與只向第丨方向及第 2方向之合成方向噴出出壓縮氣體之情況相較，基板之上 浮力增強。 另，根據技術方案8之發明，在規定基準面之一台基板 搬送台面上設置第1氣體喷出孔，該一台基板搬送台係呈 對向於基板全面之形態。因此，與配置複數基板搬送台之 形態比較，無須使台面一致的調整作業。另，亦可簡化基 板搬送台本身之構造。再者，因基板搬送台間無間隙，故 在搬送基板時，可在不會發生基板掉入基板搬送台間之間 隙中、或是卡住之情形下，順利地進行基板搬送。 另，根據技術方案9之發明，基板搬送台其長度方向與 第2方向平行，且沿著基板搬送方向配置複數之基板搬送 口。因此，藉由對基板搬送台進行增減，可較易調節對於 下個步驟之基板之搬送距離。 另，根據技術方案10之發明，基板搬送台其長度方向與 基板搬送方向平行’且沿著第2方向配置複數之基板搬送 台。此情形下，複數之基板搬送台中，不會產生延伸於第 2方向之間隙，因此基板不會掉入基板搬送台間之間隙中 141578.doc 201013825 或被卡住，可順利地進行基板搬送。 另，根據技術方案13及技術方案14之發明，一面藉由壓 縮氣體使基板上浮，一面使基板朝向定位構件賦能。基板 上浮且用於定位之賦能力，可藉由壓縮氣體之噴出力中朝 向定位構件之成分充分供給。因此，不使用彈簧等賦能裝 置也能定位基板。 【實施方式】 以下對本發明之實施形態基於附圖進行說明。 <1.第1實施形態> <1.1·基板搬送裝置之構成> 圖1係顯示本發明之實施形態之基板搬送裝置1之本體概 略之立體圖。此圖1中，為使圖示及說明方便，定義z轴方 向表示垂直方向，XY平面表示水平面。但，此等係為掌 握位置關係而方便定義，並非限定於以下說明之各方向。 以下各圖亦相同。圖2係將基板搬送裝置1之本體概略立體 圖由XZ面切斷之剖面圖。 圖1所示之基板搬送裝置1，可由（ + γ)方向（上游側）向 (-Y)方向（下游側），使矩形基板25保持上浮在基板搬送台 30上之狀態下進行搬送。基板25例如係平板顯示器用（更 具體係液晶顯示裝置用）之矩形玻璃基板。基板25之搬送 係沿著距離平行排列之複數基板搬送台30上側台面稍上方 的空間所規定之搬送路徑進行。基板25在大致水平姿勢狀 態下從上游步驟進入基板搬送裝置1，大致呈水平姿勢向 下游步驟搬送。此基板搬送台30外觀之形狀大致為長方 H1578.doc 201013825 體’其長度方向為與基板搬送方向（(·γ)方向）正交之方向 ((+χ)方向）’且為使各個台面之高度一致，複數配置在設 置台5上。此實施形態中，該基板搬送台3〇之上側台面排 列所規定之水平面（與ΧΥ面平行之面）成為基準面Rs。基 準面RS係基板搬送中成為基板25之姿勢基準之假想面。 如圖2所示，基板搬送台30内部因成空洞結構而形成腔 室52，於一台基板搬送台30備有一個腔室52。該腔室^與 基板搬送台30下面所設置之空氣供給孔51連通。空氣供給 孔51經由配管與外部設有之壓縮機或如工廠的壓縮空氣供 給設備般的壓縮空氣供給源53連接。從壓縮空氣供給源53 經由空氣供給孔51供給壓縮空氣至腔室52。於該基板搬送 台30上侧台面上分散設置有空氣喷出孔5〇。各個空氣噴出 孔50與各個基板搬送台30之腔室52連通。基板搬送台儿除 該連通路以外為氣密結構。由壓縮空氣供給源53朝基板搬 送台30之腔室52供給之壓縮空氣，一面大致維持其原壓 力，一面由各個空氣喷出孔50向基板25下面呈大致面狀地 喷出。 規定與基準面RS正交之方向為第1方向，同時與此第 向正交，且與基準面rs平行之方向規定為第2方向。圖 示之實施形態中，（+Z)方向為第1方向，與其正交之（+χ) 方向為第2方向。空氣噴出孔50係開孔在第i方向（(+ζ)方 向）與第2方向（(+χ)方向）之間的方向上之斜孔。因此，由 空氣喷出孔50往此斜方向噴出壓縮空氣。其噴出方向為第 1方向（(+Ζ)方向）與第2方向（(+Χ)方向）各自持有限成分之 141578.doc -10· 201013825 。成方向。以下稱「斜方向」時，即指如此之方向((+z)方 向與(+X)方向之間的方向）。另，將朝向「斜方向」之空 氣喷出孔50作為第1空氣噴出孔50a。 作為基板25之搬送機構，沿著基板搬送線第2方向（(+χ) 方向）側所規定的基準線RL(參照圖1}配置有一行複數之搬 送滾筒35。此搬送滚筒35與基板搬送台3〇鄰接設置。搬送 滾筒35在與上浮之基板25((+χ)方向）側之一個邊緣25e(彖 # 照圖2)。以下稱為「基準邊」）能相接之高度上，且在與基 板搬送台30互不干涉之位置上設置。搬送滾筒”上，貫穿 a曼置與第1方向（ + Z)方向平行延伸之旋轉轴37。旋轉軸37 貫穿連接於基板搬送台30之設置台5上所安裝之軸承（轉動 轴承）39。另旋轉軸37，於該軸承39之下部貫通連接於搬 送滾筒齒輪38。 另一方面，作為驅動源之馬達136，與基板25之前進方 向（(-Y)方向）平行地，經由聯接器14〇連結有驅動軸m。 φ 於該驅動轴137分別嵌合有驅動軸齒輪138,俾與搬送滾筒 齒輪38嚙合。為輔助驅動轴137之旋轉運動，在兩端之驅 動轴齒輪13 8之外側安裝轴承（驅動轴承）139。 • <1.2.基板搬送裝置之動作> ' 就基板搬送裝置1之動作進行說明 由如壓縮機般之壓縮空氣供給源53所供給之壓縮空氣， 係由空氣供給孔51供給至基板搬送台30内部所設之腔室 52。壓縮空氣充滿於腔室52内，進而從基板搬送台3〇上側 台面所設置之複數之第1空氣喷出孔50a向外部喷出。此第 141578.doc 201013825 1空氣喷出孔50a係朝向與基準面汉8垂直之第丨方向（(+幻方 向）、及與基準面RS平行且與第丨方向垂直之第2方向（(+χ) 方向）之合成方向。藉由接受喷出之壓縮空氣，基板25受 到朝向第1方向（(+Ζ)方向）與第2方向（(+χ)方向）各自之方 向移動的力。gP，移動至基板搬送台3〇之上侧台面上之基 板25，由下方全面受到該壓縮空氣之壓力。由此，基板25 在基板搬送台30上非接觸地上浮之同時，向第2方向（(+χ) 方向）側所規定之基準線RL賦能。 圖2之XZ面剖面圖顯示自基準面RS受到壓縮空氣之壓 力，基板25上浮，基板25向搬送滾筒35賦能之情況。於基 準線RL作為基板搬送機構而設置有複數之搬送滾筒”。被 賦能之基板25之基準邊25E與搬送滚筒35抵接。因此，該 基板搬送裝置1中由壓縮空氣之傾斜噴出裝置與搬送滾筒 35之組合構成之部份，在將搬送滾筒35作為定位構件來看 時，亦作為藉由搬送滾筒35之位置限制基板25之基準邊 25E之第2方向（(+X)方向）的位置之基板定位裝置而發揮機 能。 圖3係顯示基板25與搬送滾筒35抵接之情況之頂視圖。 藉由圖1之驅動源之馬達136的驅動賦予動力，驅動轴137 旋轉。與此配合，嵌合於驅動轴137之驅動轴齒輪旋 轉，故於嚙合之搬送滾筒齒輪38亦給與動力。伴隨於此， 複數之搬送滾筒35也同時旋轉。基準邊25E抵接於搬送滾 筒35之基板25，於保持抵接之狀態下，藉由受到複數之搬 送滾筒35之旋轉力而向（_γ)方向搬送。如此僅藉由在基準 141578.doc 12 201013825 線RL所設置之搬送滾筒3 5之驅動，便能使上浮之基板25除 基準邊25E外以非接觸地搬送。 為使讓基板25上浮且搬送滚筒3 5用以搬送基板25所必要 之力，比複數之搬送滾筒35之表面與基板25之基準邊25E 之摩擦力大（即避免打滑），實驗性地決定由第1空氣喷出孔 5〇a所喷出之壓縮空氣的壓力與第1空氣喷出孔5〇a之傾斜 角度等。再者，因使基板25上浮，故向基板25(+χ)方向所 必要之賦能力比較小即可。 再者’關於基板搬送台30’亦可以使其長度方向係與基 板搬送方向（（·Υ)方向）平行之方向（(_Υ)方向），且各個台面 之高度一致之方式’沿著第2方向複數配置。此時之基板 搬送台30之ΧΖ面剖面圖如圖4所示。如此之基板搬送台3〇 沿著第2方向（(+Χ)方向）複數配置，而形成台面排列。於基 板搬送台30之上側台面’第1空氣喷出孔5〇a朝向第i方向 ((+Z)方向）與第2方向（(+X)方向）之合成方向設置。 φ 另’不僅以複數之基板搬送台30的上側台面之排列規定 基準面之情形，如圖5所示立體圖，一台基板搬送台3〇之 上側台面對向基板25全面之一連續之形態亦可。與已述之 基板搬送台30相同’在基板搬送台30之上側台面上設置朝 •向第1方向（(+Z)方向）與第2方向（(+X)方向）之合成方向的 第1空氣喷出孔50a。 <1.3.本實施形態之效果> 本實施形態中之基板搬送裝置1，可以—個機構實現基 板25之上浮與使基板25向搬送滾筒35賦能之兩方作用。據 141578.doc -13· 201013825 此，不需要於兩側設置基板搬送機構之機構所必要的彈簧 等賦能機構’因只要在單側設置基板搬送機構即可，故構 造上變得簡易’易於進行處理。 另’與不設賦能機構而用於進行搬送之方法、即使基板 25傾斜藉由重力向單側設置之基板搬送機構賦能之方法相 比較’本實施形態無需使基板25傾斜。因此，與以大致水 平狀態處理基板25之上游側裝置或下游侧裝置連接時，無 需用以使基板2 5回復大致水平狀態之特別裝置，裝置選擇 上之限制也少。 另，即使進行處理之基板25的大小有更改時，只要在基 板搬送台30之寬度方向（X軸方向）之長度範圍内，則無需 進行裝置類之特別調整，可順利對應。 再者，因使基板25上浮後進行搬送，故基板25之背面不 會留下搬送痕跡。另因並非由兩側夾持基板25之構造，故 亦不會發生基板25之撓曲，再者由於利用分散施加於基板 25王面之賦旎力，因此亦很難發生因撓曲而使基板μ變形 和破損等問題。即，不易產生基板25在品質上之問題。 <2.第2實施形態> 第1實施形態中，空氣噴出孔5〇僅使用朝向第i方向 ((+Z)方向）與第2方向（(+χ)方向）之合成方向之一種，但不 限於此。即，即使利用向斜方向喷出壓縮空氣之第i空氣 喷出孔5〇a與向垂直於基板25下面之方向喷出壓縮空氣之 空氣噴出孔50(第2空氣喷出孔5〇b)之组合，亦能實現本發 明。 141578.doc 201013825 作為此種組合之主要樣態，如圖6進行分類並模式地顯 示： ()關於第1空乳噴出孔50a(圖6中白圓圈）與第2空氣 喷出孔50b(圖6中黑圓圈）之排列有3種，且 (b)關於基板搬送台之排列構成有3種 此等組合合計共9種。 以下就此等組合依序進行說明，首先歸納用語之定義。 (1) 「斜方向」…第i方向（(+z)方向）與第2方向（(+幻方 向）之合成方向； (2) 「垂直方向」…與基板25下面垂直之方向（第1方 向）； (3) 「（空氣噴出孔）之縱向排列」…第j空氣噴出孔5〇a與 第2空氣噴出孔50b分別於第2方向（(+χ)方向）上直線排列， 此等直線排列係交互配置於基板搬送方向（(_γ)方向）之條 紋狀排列； (4) (空軋喷出孔）之橫向排列」…第1空氣喷出孔5〇&與 第2空亂嘴出孔50b分別於基板搬送方向（（_γ)方向）上直線 排列’此等直線排列係交互配置於第2方向（(+χ)方向）之條 紋狀排列； (5) 「（空氣噴出孔）之交錯排列」…第1空氣噴出孔5(^係 交錯排列’第2空氣噴出孔50b亦填埋於其等之間地進行交 錯排列，則基板搬送方向（(-Y)方向）與第2方向（(+X)方向） 上皆係第1空氣喷出孔50a及第2空氣喷出孔50b成交互之2 方向交互排列； 141578.doc -15- 201013825 (6) 「縱分割台」…係長型之複數之基板搬送台30之平行 排列’各個基板搬送台30之長度方向與第2方向（(+X)方向） 呈平行之搬送台形式； (7) 「橫分割台」…係長型之複數之基板搬送台30之平行 排列’各個基板搬送台30之長度方向與基板搬送方向（(-γ) 方向）呈平行之搬送台形式； (8) 「單一台」…在縱橫擴展之台面上，設置第1空氣噴 出孔50a與第2空氣喷出孔50b之2維排列之搬送台形式； 各用语按以上所述使用。 與第1實施形態不同’藉由組合使用朝向斜方向之第1空 氣噴出孔50a與朝向垂直方向之第2空氣喷出孔5〇1?之2種空 氣噴出孔50’比起第1實施形態能加強基板25之上浮力。 <2.1.第1具體例（橫向排列+縱分割台）〉 圖7係第1具體例之基板搬送裝置ία中與圖2對應之χζ面 之剖面圖。此基板搬送裝置1A，除圖7所示之部分以外， 與第1實施形態之基板搬送裝置丨具有相同的構成。此種情 況在後述之其他實施形態及變形例中也相同。 如圖8所示，基板搬送裝置〗八中，第！空氣喷出孔5〇a與 第2空氣喷出孔5〇b以橫向排列設置在基板搬送台3〇之上側 台面，就基板搬送台30來說，係為構成縱分割台而配置基 板搬送台30(基板搬送台30A)之形態。 <2.2.第2具體例（縱向排列+縱分割台）> 第2具體例如圖9之頂視圖所示，第i空氣噴出孔5〇a與第 2空氣喷出孔50b以縱向排列設置在基板搬送台3〇之上侧台 141578.doc •16- 201013825 面’基板搬送台3 0則構成縱分割台。即，將圖1 〇之χζ面 剖面圖所示只配置第1空氣喷出孔5〇a之基板搬送台30Α， 與圖11之XZ面剖面圖所示只配置第2空氣喷出孔50b之基板 搬送台30A，如圖12所示形成交互配置之基板搬送台之形 態。 藉由使用縱向排列，於搬送基板時，可增大向第2方向 ‘ （(+X)方向）職能之力。 另，如此藉由使在每一台之基板搬送台30A設置之空氣 噴出孔50為一種類’可配合欲調整上浮力之情形或欲調整 賦能力之情形等各種情形進行微調整。由此目的，本實施 形態之裝置’宜使來自壓縮空氣供給源5 3之壓縮空氣供給 路成為2個系統，分別設置獨立之壓力控制閥。 <2·2·第3具體例（交錯排列+縱分割台）> 第3具體例如圖13所示，係在配置複數基板搬送台3〇α之 縱分割台之台面排列上，第1空氣喷出孔50a與第2空氣噴 φ 出孔5此交錯排列之形態。具體而言，係在交錯排列之第1 空氣噴出孔50a之各孔間配置第2空氣噴出孔50b之形態， 無論沿第2方向（(+X)方向）或沿基板搬送方向（（_γ)方向） 看’第1空氣噴出孔50a與第2空氣噴出孔50b都呈交互配 * 置。 如第1至第3具體例，以縱分割台來配置基板搬送台 3 0A，藉由進行基板搬送台30A之增減，可較容易調節朝 下個步驟之基板搬送台25之搬送距離。 <2.4·第4具體例（橫向排列+橫分割台）> 141578.doc 201013825 第1至第3具體例係在構成縱分割台之基板搬送台3〇a之 上側台面配置有第1空氣噴出孔50a與第2空氣噴出孔5〇b之 形態，但並不限定於此。 第4具體例如圖14之頂視圖所示，基板搬送台3〇為構成 橫分割台而配置’就空氣噴出孔50則以橫向排列進行配 置。構成橫分割台之基板搬送台3〇為基板搬送台3〇B。如 此基板搬送台30B沿著第2方向（(+χ)方向）進行複數配置， 因而形成台面排列〇 如此藉由使在每一台之基板搬送台3〇Β上所設置之空氣 碜 喷出孔50為一種類，與第2具體例相同，可對應欲調整上 浮力之情形或欲調整賦能力之情形等各種情形進行微調 整。再者，由此目的，本具體例之裝置，宜使來自壓縮空 氣供給源53之壓縮空氣供給路成為2個系統，分別設置獨 立之壓力控制閥。 <2.5 ·第5具體例（縱向排列+橫分割台）> 第5具體例如圖15所示，係在由複數之基板搬送台3〇β構 成之橫分割台之台面上縱向排列第1空氣噴出孔50a與第2眷 空氣噴出孔50b之形態。同第2具體例，藉由使用縱向排 列，在基板前進時可增大朝第2方向方向）賦能之力。 . <2·6·第6具體例（交錯排列+橫分割台）> . 第6具體例如圖16所示，係在由複數之基板搬送台3〇8構 成之橫分割台之台面上交錯排列第1空氣喷出孔50a與第2 空乳噴出孔50b之形態。 如第4至第6具體例，將基板搬送台30配置成橫分割台， 141578.doc •18- 201013825 因此不會形成在使用縱分割台時，與第2方向（(+γ)方向）平 行形成之基板搬送台30間之間隙。因此，在搬送基板25時 可降低基板25落入此間隙、或卡住之可能性，能更順利地 進行基板25之搬送。 <2.7.第7具體例（橫向排列+單一台）>
第7具體例如圖17所示，係第J空氣喷出孔5〇&與第2空氣 喷出孔50b為橫向排列之配置，基板搬送台3〇為單—台（基 板搬送台30C)之形態。關於空氣喷出孔5〇與已述實施形態 相同，設置在基板搬送台3〇C之上側台面上。 <2.8.第8具體例（縱向排列+單一台）> 第8具體例如圖18所示，第1空氣喷出孔50a與第2空氣噴 出孔50b係縱向排列之配置，基板搬送台3〇係單一台之形 態。 <2 · 9.第9具體例（交錯排列+單一台）> 第9具體例如圖19所示，係在單一台之基板搬送台3〇c的 側口面交錯排列第1空氣喷出孔5〇a與第2空氣喷出孔働 之形態。 與複數之基板搬送台3〇之台面排列與基板25全面相對之 第1至第6具體例不同，第7至第9具體例中成一連續的“ 基板搬送台30C之台面與基板25全面相對。如此，由於藉 由使用-體型之基板搬送台3GC，可不於設置台^複數配 置基板搬送台30’所以使基板搬送台％台面—致 :就變得無必要。因此與已述之複數配置基板搬送台30之 月形比較’基板搬送台3GC可簡化其構造。另，因無基板 141578.doc •19· 201013825 搬送台30間之間隙，故能消除搬送基板25時基板25掉落、 或卡住在基板搬送台3〇間之間隙之可能性，能順利地搬送 基板。 <3.變形例> 在第4具體例t就橫向排列+橫分割台之形態進行了描 述，但並不限於如此在每一台基板搬送台3 〇B之上側台面 使用一種空氣喷出孔之情形。如圖2〇之基板搬送台3〇B之 xz面剖面圖所示，也可在一台基板搬送台3〇B之上側台面 形成一行以上的空氣喷出孔5〇之排列。藉由如此之基板搬 送台30B沿著第2方向複數配置，而形成台面排列。關於其 他具體例也可以相同形態實施。 另，在第4具體例中也可有如圖21所示之形態。圖以所 不之形態中，在一方之基板搬送台3〇]8所設之第2空氣噴出 孔50b之數量較在另一方之基板搬送台3〇B所設之第1空氣 喷出孔50a之數量更多。為對應此情況，設有第2空氣噴出 孔50b之基板搬送台30B之X方向的寬度比設有第i空氣喷 出孔50a之基板搬送台30B更大。另，為使第1空氣噴出孔 5〇a與第2空氣喷出孔50b之空氣喷出孔5〇之孔長大致相 同’設有第2空氣喷出孔50b之基板搬送台3〇B係擴大構成 台面（頂面）的板材厚度。為使被供給壓縮空氣之腔室52之 高度雙方大致相同，設有第2空氣喷出孔50b之基板搬送台 30B之底面較之設有第1空氣喷出孔50a的基板搬送台3〇b之 底面稍低。可以如此形態實施。 第2實施形態中’就使用第1空氣喷出孔5〇a與第2空氣喷 141578.doc •20- 201013825 出孔50b之兩種之情形的空氣噴出孔5〇之排列、與根據基 板搬送台30之配置之組合形態進行敘述。除此之外，在第 2實細形態所示之各種組合之排列中，亦可實施在第2空氣 喷出孔5〇b之形成位置形成第1空氣噴出孔50a，使整體成 為僅第1空氣噴出孔50a之排列，或省略第2空氣噴出孔50b 之排列。 再者’於上述實施形態中，作為在基準線RL上設置之 基板搬送機構，係設置複數之搬送滚筒35，但基板搬送機 構並不限於此。例如圖22所示，也可為使用無端搬送帶 180之搬送機構。
使用該無端搬送帶18〇之搬送機構係沿著基準線RL配置 有分別在（+Z)方向上具有旋轉轴之驅動滾筒181與從動滾 筒182。在此驅動滾筒ι81與從動滾筒182上捲繞有無端搬 送帶180，無端搬送帶18〇沿著基準線rl延伸。藉由驅動源 之馬達之驅動力，驅動滾筒181旋轉，從而使無端搬送帶 180旋轉。基板25藉由自空氣喷出孔5〇所喷出之壓縮空氣 之上浮力上浮，同時藉由壓縮空氣之賦能力使基準邊25E 往無端搬送帶180賦能並與之抵接，從而基板25向（-Y)方 向搬送。 雖s兑壓縮氣體典型上為壓縮空氣，但在厭氧化製程之基 板搬送中也可對惰性氣體之氮氣等進行壓縮後使用。藉由 自基板搬送台30表面喷出壓縮氣體，可將基板25與台面間 所形成之空氣層利用於基板25之上浮，但也可自與基板搬 送台30不同之喷出機構噴出壓縮氣體。 141578.doc -21 · 201013825 另，上述各實施形態中基板25係水平姿勢，但本發明也 適用於使基板25以傾斜姿勢進行搬送之裝置。此時，將基 板25往搬送機構側賦能之賦能力，為向斜方向喷出之壓縮 氣體之成分與向基板25作用之重力的成分之兩個成分之合 計。藉此，由於壓縮氣體起協助作用，因而無論基板25為 任意傾斜角（例如接近水平姿勢之傾斜姿勢），即使藉由重 力之賦能力成分不足，與搬送機構之摩擦也不會不充足。 即，藉由利用重力與壓縮氣體之力之兩者，基板25之傾斜 角限制變少，易於取得與搬送裝置之上游側及下游側裝置參 之基板25之姿勢整合。基板搬送裝置〗之上游側及下游側 之裝置之基板25的姿勢若為水平姿勢，則如上述之各實施 形態，藉由使基板搬送裝置！之基板25姿勢亦成為水平姿 勢’則成為使重力成分實質上為〇之構成。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示第1實施形態之基板搬送裝置丨之本體概略之 立體圖。 圖2係第1實施形態之基板搬送裝置1之χζ面剖面圖。 _ 圖3係顯示基板25其特定的邊緣與搬送滾筒35抵接之處 之頂視圖。 . 圖4係使其長度方向與基板搬送方向平行設置之情形之 . 基板搬送台30之XZ面剖面圖。 圖5係顯示對向基板25全面之一體型基板搬送台3〇之立 體圖。 圖6係顯示基板搬送台30之配置與空氣噴出孔5〇之排列 141578.doc •22- 201013825 的組合之圖。 圖7係第1具體例之基板搬送裝置ία之χζ面剖面圖。 圖8係顯示第1具體例之空氣喷出孔5〇之橫向排列與縱分 割台之頂視圖。 圖9係顯示第2具體例之空氣喷出孔5〇之縱向排列與縱分 割台之頂視圖。 圖10係顯示第2具體例之只設置第1空氣喷出孔50a之基 板搬送台30A之XZ面剖面圖。
W 圖11係顯示第2具體例之只設置第2空氣噴出孔5〇b之基 板搬送台30A之XZ面剖面圖。 圖12係顯示第2具體例之基板搬送台3〇a與空氣喷出孔5〇 之配置之立體圖。 圖13係顯示第3具體例之空氣喷出孔5〇之交錯排列與縱 分割台之頂視圖。 圖14係顯示第4具體例之空氣噴出孔5〇之橫向排列與橫 • 分割台之頂視圖。 圖15係顯示第5具體例之空氣噴出孔50之縱向排列與橫 分割台之頂視圖。 圖16係顯示第6具體例之空氣噴出孔50之交錯排列與橫 分割台之頂視圖。 圖17係顯示第7具體例之空氣噴出孔50之橫向排列與單 一台之頂視圖。 圖1 8係顯示第8具體例之空氣噴出孔50之縱向排列與單 一台之頂視圖。 141578.doc -23- 201013825 圖19係顯示第9具體例之空氣噴出孔50之交錯排列與單 一台之頂視圖。 圖20係顯示變形例之基板搬送台3〇b之χζ面剖面圖。 圖21係顯示變形例之基板搬送台3〇b之排列之χζ面剖面 圖。 圖22係顯示變形例之備有基板搬送機構之基板搬送裝置 1之頂視圖。 【主要元件符號說明】 1、1A 基板搬送裝置 5 設置台 25 基板 25E 30、30A~30C 35 37 基板的基準邊 基板搬送台 搬送滾筒 旋轉轴 38 39 50 50a 50b 51 搬送滾筒齒輪 轴承（轉動軸承） 空氣噴出孔 第1空氣喷出孔 第2空氣噴出孔 空氣供給孔 52 腔室 53 136 壓縮空氣供給源 馬達 141578.doc -24- 201013825 137 驅動軸 138 驅動軸齒輪 139 軸承（驅動軸承） 140 聯接器 180 無端搬送帶 181 驅動滚筒 182 從動滾筒 RS 基準面 RL 基準線 ❹ 141578.doc - 25 ·