CN111439589A - 一种无接触物料自传送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种无接触物料自传送装置,包括气浮传送线,气浮传送线包括若干气浮传送轨道,上述若干气浮传送轨道的上方设有悬浮物料,气浮传送线的两侧设有输送限位侧轨,气浮传送轨道上设有气浮网孔板,气浮网孔板上密布喷气孔,喷气孔包括沿物料传送方向布置的多个喷气方向倾斜的传送喷气孔,气浮传送轨道内的高压气体从喷气孔向上喷出浮起悬浮物料,传送喷气孔沿传送方向的推力驱动悬浮物料沿设定的传送方向运动。本发明采用无接触的物料自传送方案,具有物料无污染、损坏传输的特点。

Description

一种无接触物料自传送装置
技术领域
本发明涉及一种物料自传送装置,特别涉及一种无接触物料自传送装置,属于物料传输领域。
背景技术
光伏硅片是一种非常薄的半导体元件,在制造过程中,对被加工的光伏硅片的洁净程度要求越来越高,但是现有传输半导体晶片的方式通常是采用夹具或吸力固定物料,通过皮带机带动辊轮输送,这种传输方式存在以下问题:⑴传送机构与物料有直接接触,增加了物料被污染的概率;⑵物料在吸住和卸下及传输过程中容易造成损坏。
发明内容
本发明无接触物料自传送装置公开了新的方案,采用无接触的物料自传送方案,解决了现有方案采用接触传输方案存在的物料污染以及损坏的问题。
本发明无接触物料自传送装置包括气浮传送线,气浮传送线包括若干气浮传送轨道,上述若干气浮传送轨道的上方设有悬浮物料,气浮传送线的两侧设有输送限位侧轨,气浮传送轨道上设有气浮网孔板,气浮网孔板上密布喷气孔,喷气孔包括沿物料传送方向布置的多个喷气方向倾斜的传送喷气孔,气浮传送轨道内的高压气体从喷气孔向上喷出浮起悬浮物料,传送喷气孔沿传送方向的推力驱动悬浮物料沿设定的传送方向运动。
进一步,本方案的输送限位侧轨包括“工”型导轨架,“工”型导轨架上设有沿传送方向等距布置的导轮,悬浮物料是平面片状物料,平放在气浮传送线上的悬浮物料的两侧与导轮滑动限位连接。
更进一步,本方案的气浮传送线包括相互平行的气浮传送轨道A、气浮传送轨道B,悬浮物料是平面四方形片状物料,气浮传送轨道A设在悬浮物料沿传送方向左侧端的下方,气浮传送轨道B设在悬浮物料沿传送方向右侧端的下方。
进一步,本方案的气浮传送轨道内设有起浮气道、传送气道,起浮气道上设有起浮网孔板,起浮网孔板上密布喷气方向竖直的起浮喷气孔,传送气道上设有传送网孔板,传送网孔板上密布喷气方向倾斜的传送喷气孔。
更进一步,本方案的无接触物料自传送装置还包括气传自控系统,气传自控系统包括轨道气压电控阀、物料悬浮高度探测器、中央控制单元,轨道气压电控阀包括起浮气道气压电控阀、传送气道气压电控阀,物料悬浮高度探测器包括设在输送限位侧轨上的摄像头,中央控制单元通过控制起浮气道气压电控阀的启闭程度控制物料的起浮状态,中央控制单元通过控制传送气道气压电控阀的启闭程度控制物料的传送状态,中央控制单元根据摄像头上传的实时监视视频判断物料的悬浮状态,中央控制单元根据物料的悬浮状态控制起浮气道气压电控阀、传送气道气压电控阀调节物料的运动状态。
本发明无接触物料自传送装置采用无接触的物料自传送方案,具有物料无污染、损坏传输的特点。
附图说明
图1是无接触物料自传送装置实施例的示意图。
图2是无接触物料自传送装置的原理图之一。
图3是无接触物料自传送装置的原理图之二。
其中,1是悬浮物料(物料),2是输送限位侧轨(限位滚轮),3是气浮传送轨道(多孔制气浮板),4是传送喷气孔。
上述标号后的部件或装置名称与括号内的名称指代相同的部件或装置,是同一部件或装置的不同名称。
具体实施方式
本发明无接触物料自传送装置包括气浮传送线,气浮传送线包括若干气浮传送轨道,上述若干气浮传送轨道的上方设有悬浮物料,气浮传送线的两侧设有输送限位侧轨,气浮传送轨道上设有气浮网孔板,气浮网孔板上密布喷气孔,喷气孔包括沿物料传送方向布置的多个喷气方向倾斜的传送喷气孔,气浮传送轨道内的高压气体从喷气孔向上喷出浮起悬浮物料,传送喷气孔沿传送方向的推力驱动悬浮物料沿设定的传送方向运动。上述方案采用无接触的物料自传送方案,物料在气流由下而上的冲力作用下悬浮在空中,物料在气流在传送方向上的推力作用下实现沿轨道传送,物料传输的全程基本不与外部结构接触,避免了污染和损坏,提高了输送效率和可靠性,降低了损失。
为了避免悬浮物料偏离气浮传送线,本方案在气浮传送线两侧设置了输送限位侧轨,为了避免物料与输送限位侧轨产生过量的摩擦,影响传输,本方案采用了滚动摩擦的方式,输送限位侧轨包括“工”型导轨架,“工”型导轨架上设有沿传送方向等距布置的导轮,悬浮物料是平面片状物料,平放在气浮传送线上的悬浮物料的两侧与导轮滑动限位连接。基于以上方案,为了保证物料传输平稳,本方案公开了具体的方案,即气浮传送线包括相互平行的气浮传送轨道A、气浮传送轨道B,悬浮物料是平面四方形片状物料,气浮传送轨道A设在悬浮物料沿传送方向左侧端的下方,气浮传送轨道B设在悬浮物料沿传送方向右侧端的下方。
为了能准确控制物料的起浮和移动,本方案的气浮传送轨道内设有起浮气道、传送气道,起浮气道上设有起浮网孔板,起浮网孔板上密布喷气方向竖直的起浮喷气孔,传送气道上设有传送网孔板,传送网孔板上密布喷气方向倾斜的传送喷气孔。起浮喷气孔与传送喷气孔配合控制物料的起浮与移动。基于以上方案,为了实现自动控制物料的传输,本方案的无接触物料自传送装置还包括气传自控系统,气传自控系统包括轨道气压电控阀、物料悬浮高度探测器、中央控制单元,轨道气压电控阀包括起浮气道气压电控阀、传送气道气压电控阀,物料悬浮高度探测器包括设在输送限位侧轨上的摄像头,中央控制单元通过控制起浮气道气压电控阀的启闭程度控制物料的起浮状态,中央控制单元通过控制传送气道气压电控阀的启闭程度控制物料的传送状态,中央控制单元根据摄像头上传的实时监视视频判断物料的悬浮状态,中央控制单元根据物料的悬浮状态控制起浮气道气压电控阀、传送气道气压电控阀调节物料的运动状态。
本方案公开了一种物料悬浮传送方法,依靠多孔制气浮板(气浮传送轨道) 上固定方向孔,在通入压缩空气的情况下,使物料自由悬浮在多孔制气浮板上方,并实现物料的传送,保证物料不受污染并提高物料传输的可靠性。如图2、3所示,本方案包括物料1、限位滚轮2、多孔制气浮板3,物料1在物料传输过程中悬浮在多孔制气浮板3上,限位滚轮2位于物料1两侧,用于限制物料1的运动范围,物料1可以是如图2所示的两条,也可以是一条或者多条,限位滚轮2 也可以根据实际情况选择安装。整个物料传输过程中,物料1一直悬浮在多孔制气浮板3上方,限位滚轮2限制了物料1在水平向内的运动范围,整个过程保证了物料1只和限位滚轮2接触,不会受到其他任何碰撞,提高了安全性能。给多孔制气浮板3通入压缩空气,在多孔制气浮板3出气面(顶面)和物料1之间形成气膜,从而实现物料1悬浮在多孔制气浮板3上方。由于多孔制气浮板3中的部分孔具有固定的倾斜方向,该倾斜方向的压缩空气会产生水平向的力,牵引物料 1沿传送方向运动。采用以上结构,不但机械结构简单,同时降低了物料在传输过程中的污染,提高物料传输过程中的可靠性,降低了因物料损坏带来的额外成本,实现了物料的自主传送。
本方案无接触物料自传送装置并不限于具体实施方式中公开的内容,实施例中出现的技术方案可以基于本领域技术人员的理解而延伸,本领域技术人员根据本方案结合公知常识作出的简单替换方案也属于本方案的范围。

Claims (5)

1.一种无接触物料自传送装置,其特征是包括气浮传送线,所述气浮传送线包括若干气浮传送轨道,所述若干气浮传送轨道的上方设有悬浮物料,所述气浮传送线的两侧设有输送限位侧轨,所述气浮传送轨道上设有气浮网孔板,所述气浮网孔板上密布喷气孔,所述喷气孔包括沿物料传送方向布置的多个喷气方向倾斜的传送喷气孔,所述气浮传送轨道内的高压气体从所述喷气孔向上喷出浮起所述悬浮物料,所述传送喷气孔沿传送方向的推力驱动所述悬浮物料沿设定的传送方向运动。
2.根据权利要求1所述的无接触物料自传送装置,其特征在于,所述输送限位侧轨包括“工”型导轨架,所述“工”型导轨架上设有沿传送方向等距布置的导轮,所述悬浮物料是平面片状物料,平放在所述气浮传送线上的所述悬浮物料的两侧与所述导轮滑动限位连接。
3.根据权利要求2所述的无接触物料自传送装置,其特征在于,所述气浮传送线包括相互平行的气浮传送轨道A、气浮传送轨道B,所述悬浮物料是平面四方形片状物料,所述气浮传送轨道A设在所述悬浮物料沿传送方向左侧端的下方,所述气浮传送轨道B设在所述悬浮物料沿传送方向右侧端的下方。
4.根据权利要求1所述的无接触物料自传送装置,其特征在于,所述气浮传送轨道内设有起浮气道、传送气道,所述起浮气道上设有起浮网孔板,所述起浮网孔板上密布喷气方向竖直的起浮喷气孔,所述传送气道上设有传送网孔板,所述传送网孔板上密布喷气方向倾斜的传送喷气孔。
5.根据权利要求4所述的无接触物料自传送装置,其特征在于,所述无接触物料自传送装置还包括气传自控系统,所述气传自控系统包括轨道气压电控阀、物料悬浮高度探测器、中央控制单元,所述轨道气压电控阀包括起浮气道气压电控阀、传送气道气压电控阀,所述物料悬浮高度探测器包括设在所述输送限位侧轨上的摄像头,所述中央控制单元通过控制所述起浮气道气压电控阀的启闭程度控制物料的起浮状态,所述中央控制单元通过控制所述传送气道气压电控阀的启闭程度控制物料的传送状态,所述中央控制单元根据所述摄像头上传的实时监视视频判断物料的悬浮状态,所述中央控制单元根据物料的悬浮状态控制所述起浮气道气压电控阀、传送气道气压电控阀调节物料的运动状态。
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