CN111439590A - 一种物料悬浮循环传送装置 - Google Patents

一种物料悬浮循环传送装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111439590A
CN111439590A CN201910041616.6A CN201910041616A CN111439590A CN 111439590 A CN111439590 A CN 111439590A CN 201910041616 A CN201910041616 A CN 201910041616A CN 111439590 A CN111439590 A CN 111439590A
Authority
CN
China
Prior art keywords
air
suspension
conveying
circulating
floating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910041616.6A
Other languages
English (en)
Inventor
李生强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Longwei microelectronics equipment (Longquan) Co.,Ltd.
Original Assignee
Shanghai Shawin Electrical And Mechanical Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Shawin Electrical And Mechanical Technology Co ltd filed Critical Shanghai Shawin Electrical And Mechanical Technology Co ltd
Priority to CN201910041616.6A priority Critical patent/CN111439590A/zh
Publication of CN111439590A publication Critical patent/CN111439590A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • B65G51/035—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs for suspended articles, e.g. bottles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)

Abstract

本发明涉及一种物料悬浮循环传送装置，包括气浮传送线，气浮传送线包括循环驱动带、若干气浮传送轨道，循环驱动带上沿传送方向设有多个物料推块，循环驱动带、若干气浮传送轨道的上方设有悬浮物料，气浮传送轨道上设有气浮网孔板，气浮网孔板上密布喷气孔，气浮传送轨道内的高压气体从喷气孔向上喷出浮起悬浮物料，循环驱动带上的物料推块推动悬浮物料沿设定的传送方向运动。本发明采用无接触的物料传送方案，具有物料无污染、损坏传输的特点。

Description

一种物料悬浮循环传送装置
技术领域
本发明涉及一种物料悬浮循环传送装置，特别涉及一种改进的物料传送装置，属于物料传输领域。
背景技术
光伏硅片是一种非常薄的半导体元件，在制造过程中，对被加工的光伏硅片的洁净程度要求越来越高，但是现有传输半导体晶片的方式通常是采用夹具或吸力固定物料，通过皮带机带动辊轮输送，这种传输方式存在以下问题：⑴传送机构与物料有直接接触，增加了物料被污染的概率；⑵物料在吸住和卸下及传输过程中容易造成损坏。
发明内容
本发明物料悬浮循环传送装置公开了新的方案，采用无接触的物料传送方案，解决了现有方案采用接触传输方案存在的物料污染以及损坏的问题。
本发明物料悬浮循环传送装置包括气浮传送线，气浮传送线包括循环驱动带、若干气浮传送轨道，循环驱动带上沿传送方向设有多个物料推块，循环驱动带、若干气浮传送轨道的上方设有悬浮物料，气浮传送轨道上设有气浮网孔板，气浮网孔板上密布喷气孔，气浮传送轨道内的高压气体从喷气孔向上喷出浮起悬浮物料，循环驱动带上的物料推块推动悬浮物料沿设定的传送方向运动。
进一步，本方案的气浮传送线的两侧设有输送限位侧轨，输送限位侧轨包括“工”型导轨架，“工”型导轨架上设有沿传送方向等距布置的导轮，悬浮物料是平面片状物料，平放在气浮传送线上的悬浮物料的两侧与导轮滑动限位连接。
更进一步，本方案的气浮传送线包括相互平行的气浮传送轨道A、气浮传送轨道B，悬浮物料是平面四方形片状物料，气浮传送轨道A设在悬浮物料沿传送方向左侧端的下方，气浮传送轨道B设在悬浮物料沿传送方向右侧端的下方，循环驱动带设在气浮传送轨道A与气浮传送轨道B间。
进一步，本方案的循环驱动带包括设在气浮传送线一端的滚轮A、设在气浮传送线另一端的滚轮B，滚轮A与滚轮B间设有循环传送带，循环传送带上沿传送方向等距设有多个物料推块，相邻的物料推块间形成物料悬浮空间，物料悬浮空间内设有悬浮的物料。
进一步，本方案的物料悬浮循环传送装置还包括气传自控系统，气传自控系统包括轨道气压电控阀、物料悬浮高度探测器、循环驱动带控制模块、中央控制单元，物料悬浮高度探测器包括摄像头，中央控制单元通过控制轨道气压电控阀的启闭程度控制物料的起浮状态，中央控制单元通过循环驱动带控制模块控制物料推块推动悬浮物料的移动状态，中央控制单元根据摄像头上传的实时监视视频判断物料的悬浮状态，中央控制单元根据物料的悬浮状态控制轨道气压电控阀、循环驱动带控制模块调节物料的运动状态。
本发明物料悬浮循环传送装置采用无接触的物料传送方案，具有物料无污染、损坏传输的特点。
附图说明
图1是物料悬浮循环传送装置实施例的示意图。
图2是物料悬浮循环传送装置的原理图之一。
图3是物料悬浮循环传送装置的原理图之二。
其中，1是滚轮，2是循环传送带(皮带)，3是物料推块(挡块)，4是悬浮物料(物料)，5是气浮传送轨道(多孔制气浮板)，6是导轮(限位滚轮)。
上述标号后的部件或装置名称与括号内的名称指代相同的部件或装置，是同一部件或装置的不同名称。
具体实施方式
本发明物料悬浮循环传送装置包括气浮传送线，气浮传送线包括循环驱动带、若干气浮传送轨道，循环驱动带上沿传送方向设有多个物料推块，循环驱动带、若干气浮传送轨道的上方设有悬浮物料，气浮传送轨道上设有气浮网孔板，气浮网孔板上密布喷气孔，气浮传送轨道内的高压气体从喷气孔向上喷出浮起悬浮物料，循环驱动带上的物料推块推动悬浮物料沿设定的传送方向运动。上述方案采用无接触的物料传送方案，物料在气流由下而上的冲力作用下悬浮在空中，物料在循环滚动的传送带上的推块的作用下实现沿轨道传送，物料传输的全程基本不与外部结构接触，避免了污染和损坏，提高了输送效率和可靠性，降低了损失。
为了避免悬浮物料偏离气浮传送线，本方案在气浮传送线两侧设置了输送限位侧轨，为了避免物料与输送限位侧轨产生过量的摩擦，影响传输，本方案采用了滚动摩擦的方式，如图1所示，气浮传送线的两侧设有输送限位侧轨，输送限位侧轨包括“工”型导轨架，“工”型导轨架上设有沿传送方向等距布置的导轮，悬浮物料是平面片状物料，平放在气浮传送线上的悬浮物料的两侧与导轮滑动限位连接。基于以上方案，为了保证物料传输平稳，本方案公开了具体的方案，即气浮传送线包括相互平行的气浮传送轨道A、气浮传送轨道B，悬浮物料是平面四方形片状物料，气浮传送轨道A设在悬浮物料沿传送方向左侧端的下方，气浮传送轨道B设在悬浮物料沿传送方向右侧端的下方，循环驱动带设在气浮传送轨道A与气浮传送轨道B间。
为了实现循环驱动带的功能，保证物料平稳持续传输，本方案的循环驱动带包括设在气浮传送线一端的滚轮A、设在气浮传送线另一端的滚轮B，滚轮A与滚轮B间设有循环传送带，循环传送带上沿传送方向等距设有多个物料推块，相邻的物料推块间形成物料悬浮空间，物料悬浮空间内设有悬浮的物料。
为了实现自动控制物料的传输，本方案的物料悬浮循环传送装置还包括气传自控系统，气传自控系统包括轨道气压电控阀、物料悬浮高度探测器、循环驱动带控制模块、中央控制单元，物料悬浮高度探测器包括摄像头，中央控制单元通过控制轨道气压电控阀的启闭程度控制物料的起浮状态，中央控制单元通过循环驱动带控制模块控制物料推块推动悬浮物料的移动状态，中央控制单元根据摄像头上传的实时监视视频判断物料的悬浮状态，中央控制单元根据物料的悬浮状态控制轨道气压电控阀、循环驱动带控制模块调节物料的运动状态。
本方案公开了一种悬浮物料传送方法，物料在浮起状态下，使皮带带动挡块，在挡块的作用下，实现物料的循环传送，保证物料不受污染并提高物料传输的可靠性。
如图1、2、3所示，物料悬浮循环传送装置包括滚轮1、皮带2、挡块3、物料4、多孔制气浮板5、限位滚轮6。挡块3安装在皮带2上，根据实际工位需要的大小，选择皮带的长度，物料4在物料传输过程中悬浮在多孔制气浮板5上，挡块3推动物料4运动。滚轮1、皮带2、挡块3可以是一套，也可以是多套。限位滚轮6可以根据实际情况选择安装。整个物料传输过程中，物料4一直悬浮在多孔制气浮板5上方，挡块3对物料4施加作用力，使物料4跟沿固定方向运动，整个过程保证了物料4只和挡块3接触，不会受到其他任何碰撞，安全性能更好。给多孔制气浮板5通入压缩空气，在多孔制气浮板5出气面(顶面)形成气膜，从而实现物料4悬浮在多孔制气浮板5上方。挡块3带动物料4从上料工位运动到指定工位。当挡块3运动出工位时，上料机构(图中未画出)自动落料，下一个挡块3同样带动物料4运动，从而实现物料的循环传送。本方案采用以上结构，不但机械结构简单，同时降低了物料污染问题，提高物料传输过程中的可靠性，降低了物料损坏成本，实现了物料的循环传送。
本方案物料悬浮循环传送装置并不限于具体实施方式中公开的内容，实施例中出现的技术方案可以基于本领域技术人员的理解而延伸，本领域技术人员根据本方案结合公知常识作出的简单替换方案也属于本方案的范围。

Claims (5)

1.一种物料悬浮循环传送装置，其特征是包括气浮传送线，所述气浮传送线包括循环驱动带、若干气浮传送轨道，所述循环驱动带上沿传送方向设有多个物料推块，所述循环驱动带、若干气浮传送轨道的上方设有悬浮物料，所述气浮传送轨道上设有气浮网孔板，所述气浮网孔板上密布喷气孔，所述气浮传送轨道内的高压气体从所述喷气孔向上喷出浮起所述悬浮物料，所述循环驱动带上的物料推块推动所述悬浮物料沿设定的传送方向运动。
2.根据权利要求1所述的物料悬浮循环传送装置，其特征在于，所述气浮传送线的两侧设有输送限位侧轨，所述输送限位侧轨包括“工”型导轨架，所述“工”型导轨架上设有沿传送方向等距布置的导轮，所述悬浮物料是平面片状物料，平放在所述气浮传送线上的所述悬浮物料的两侧与所述导轮滑动限位连接。
3.根据权利要求2所述的物料悬浮循环传送装置，其特征在于，所述气浮传送线包括相互平行的气浮传送轨道A、气浮传送轨道B，所述悬浮物料是平面四方形片状物料，所述气浮传送轨道A设在所述悬浮物料沿传送方向左侧端的下方，所述气浮传送轨道B设在所述悬浮物料沿传送方向右侧端的下方，所述循环驱动带设在所述气浮传送轨道A与所述气浮传送轨道B间。
4.根据权利要求1所述的物料悬浮循环传送装置，其特征在于，所述循环驱动带包括设在所述气浮传送线一端的滚轮A、设在所述气浮传送线另一端的滚轮B，所述滚轮A与滚轮B间设有循环传送带，所述循环传送带上沿传送方向等距设有多个物料推块，相邻的物料推块间形成物料悬浮空间，所述物料悬浮空间内设有悬浮的物料。
5.根据权利要求1所述的物料悬浮循环传送装置，其特征在于，所述物料悬浮循环传送装置还包括气传自控系统，所述气传自控系统包括轨道气压电控阀、物料悬浮高度探测器、循环驱动带控制模块、中央控制单元，所述物料悬浮高度探测器包括摄像头，所述中央控制单元通过控制所述轨道气压电控阀的启闭程度控制物料的起浮状态，所述中央控制单元通过所述循环驱动带控制模块控制物料推块推动所述悬浮物料的移动状态，所述中央控制单元根据所述摄像头上传的实时监视视频判断物料的悬浮状态，所述中央控制单元根据物料的悬浮状态控制所述轨道气压电控阀、循环驱动带控制模块调节物料的运动状态。
CN201910041616.6A 2019-01-16 2019-01-16 一种物料悬浮循环传送装置 Pending CN111439590A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910041616.6A CN111439590A (zh) 2019-01-16 2019-01-16 一种物料悬浮循环传送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910041616.6A CN111439590A (zh) 2019-01-16 2019-01-16 一种物料悬浮循环传送装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111439590A true CN111439590A (zh) 2020-07-24

Family

ID=71626777

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910041616.6A Pending CN111439590A (zh) 2019-01-16 2019-01-16 一种物料悬浮循环传送装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111439590A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114249032A (zh) * 2020-09-23 2022-03-29 吴永顺 一种气浮托盘系统
CN114476681A (zh) * 2022-03-09 2022-05-13 河北泰晶新材料科技有限公司 一种物料输送系统、物料输送方法及存储介质

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3945505A (en) * 1974-07-08 1976-03-23 Motorola, Inc. Indexing apparatus
JPH06156723A (ja) * 1992-11-18 1994-06-03 Sony Corp マガジン搬送機構
CN101020539A (zh) * 2007-03-23 2007-08-22 苏州安泰空气技术有限公司 悬浮传输装置
CN101165870A (zh) * 2006-10-17 2008-04-23 霍尔穆勒机械制造有限公司 用于处理扁平、易碎基体的装置
CN104364891A (zh) * 2012-06-21 2015-02-18 川崎重工业株式会社 基板搬运系统

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3945505A (en) * 1974-07-08 1976-03-23 Motorola, Inc. Indexing apparatus
JPH06156723A (ja) * 1992-11-18 1994-06-03 Sony Corp マガジン搬送機構
CN101165870A (zh) * 2006-10-17 2008-04-23 霍尔穆勒机械制造有限公司 用于处理扁平、易碎基体的装置
CN101020539A (zh) * 2007-03-23 2007-08-22 苏州安泰空气技术有限公司 悬浮传输装置
CN104364891A (zh) * 2012-06-21 2015-02-18 川崎重工业株式会社 基板搬运系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
王文博: "《服装预加工机械使用维修技术》 》", 30 September 2013, 金盾出版社 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114249032A (zh) * 2020-09-23 2022-03-29 吴永顺 一种气浮托盘系统
CN114476681A (zh) * 2022-03-09 2022-05-13 河北泰晶新材料科技有限公司 一种物料输送系统、物料输送方法及存储介质

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107093651B (zh) 太阳能硅片二合一自动上下料设备
CN104364891B (zh) 基板搬运系统
CN111439590A (zh) 一种物料悬浮循环传送装置
CN212668243U (zh) 板材封边生产线用上料输送装置
CN108502543B (zh) 一种基板传输装置及方法
CN107570492A (zh) 表面清洁设备
CN217086544U (zh) 一种平板元件的输送上料装置及晶圆环贴装装置
GB2092117A (en) Apparatus for transferring battery plates from one location to another
CN113092988B (zh) 一种pcba板用自动化检测台
CN220316196U (zh) 输送装置以及电池生产线
CN111439589A (zh) 一种无接触物料自传送装置
CN209804695U (zh) 电池片划片装置
CN219286433U (zh) 一种电池片分片设备
CN215094309U (zh) 一种用于封边机的全自动上下料设备
CN216511427U (zh) 玻璃下片系统、钢化玻璃生产线
CN211443917U (zh) 一种接料机构以及显示器件生产线
CN111439588A (zh) 一种无接触的物料传送装置
CN212494746U (zh) 一种自动上料的冲压模架
CN213595774U (zh) 一种提升机构
CN221139923U (zh) 一种晶圆输送与储存装置
CN216710760U (zh) 一种顶升输送装置
CN220222409U (zh) 料盘输送装置
CN203553196U (zh) 一种太阳能离子注入机硅片缓存装置
CN218579014U (zh) 一种电池上料排序装置
CN219340610U (zh) 一种硅片收料装置及硅片分选机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20210409

Address after: 323700 203, 88 Guangyuan street, Jianchi street, Longquan City, Lishui City, Zhejiang Province

Applicant after: Longwei microelectronics equipment (Longquan) Co.,Ltd.

Address before: 201500 block D, room 1316, building 4, No.4, nanheng street, Zhujing Town, Jinshan District, Shanghai

Applicant before: SHANGHAI SHAWIN ELECTRICAL AND MECHANICAL TECHNOLOGY Co.,Ltd.

RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20200724