CN219340610U - 一种硅片收料装置及硅片分选机 - Google Patents

Abstract

本申请提出了一种硅片收料装置，包括主输送单元、下料单元和料盒，其中，下料单元包括分片单元、第一输送单元和第二输送单元，分片单元设置在主输送单元的上方，被配置为拾取主输送单元上的硅片并将硅片移送至第一输送单元或第二输送单元；第一输送单元和第二输送单元的结构相同，均具有至少两个释放工位，每个释放工位下方均设置有对应的料盒；第一输送单元位于分片单元的第一分片端，被配置为接收由分片单元的第一分片端移送的硅片并在释放工位将硅片释放至对应的料盒中；第二输送单元位于分片单元的第二分片端，被配置为接收由分片单元的第二分片端移送的硅片并在释放工位将硅片释放至对应的料盒中，本申请能够大幅提高收片效率。

Description

一种硅片收料装置及硅片分选机

技术领域

本申请属于硅片分选领域，具体地说，涉及一种硅片收料装置及硅片分选机。

背景技术

硅片在分选出料的时候，会采用顶升机构将硅片顶升至脱离主输送线，硅片被顶升机构转移至辅助输送线上，进而被收进料盒中，这种方式，辅助输送线只能对接一个收片位置，当该收片位置的料盒收满时，必须移出料盒，以将料盒内的硅片取出，在移出复位料盒的过程中，该收片位置将不能再进行收片，会影响整个收料装置的收片效率。

发明内容

针对当前硅片收料装置收片效率低的问题，本申请提出了一种硅片收料装置及硅片分选机。

第一方面，本申请提出了一种硅片收料装置，包括主输送单元、下料单元和料盒，其中，

下料单元包括分片单元、第一输送单元和第二输送单元，分片单元设置在主输送单元的上方，被配置为拾取主输送单元上的硅片并将硅片移送至第一输送单元或第二输送单元；

第一输送单元和第二输送单元的结构相同，均具有至少两个释放工位，每个释放工位下方均设置有对应的料盒；

第一输送单元位于分片单元的第一分片端，被配置为接收由分片单元的第一分片端移送的硅片并在释放工位将硅片释放至对应的料盒中；第二输送单元位于分片单元的第二分片端，被配置为接收由分片单元的第二分片端移送的硅片并在释放工位将硅片释放至对应的料盒中。

通过在第一输送单元和第二输送单元上均设至少两个释放工位，不论是第一输送单元还是第二输送单元均能够对应至少两个收片位置，这样在其中一个收片位置(即释放工位)的料盒收满硅片需要移出以取出料盒内的硅片时，另一个收片位置可以继续进行收片，不会影响第一输送单元或者第二输送单元的收片进程，从而能够大幅提高收片效率。

可选的，分片单元包括输送组件和第一吸附组件，输送组件包括至少两组第一输送带和第一驱动部，每组第一输送带间隔设置且共同形成有输送硅片的第一输送面，第一输送带的输送方向与主输送单元的输送方向垂直，第一驱动部驱动每组第一输送带同步运转；

相邻两组第一输送带之间设置有第一吸附组件，第一吸附组件的吸附面高于第一输送面，第一吸附组件包括第一吸附部和第二吸附部，第一吸附部靠近分片单元的第一分片端设置，第二吸附部靠近分片单元的第二分片端设置。

将分片单元设置在主输送单元的上方，分片单元通过设置第一吸附组件，并使第一吸附组件的吸附面高于第一输送面，在硅片沿主输送单元输送至分片单元的正下方时，第一吸附组件利用负压将主输送单元上的硅片向上吸附并使硅片压靠在第一输送面上，由第一输送面对硅片进行分片输送，能够减少现有技术方案中因顶升机构顶升高出主输送单元而影响主输送单元的持续输送，从而提高硅片收料装置的收片效率。

可选的，分片单元还包括第一感应装置和第二感应装置，第一感应装置设置在第一分片端，用于检测第一输送带向第一分片端输送的硅片；第二感应装置设置在第二分片端，用于检测第一输送带向第二分片端输送的硅片。

通过在分片单元的第一分片端和第二分片端设置第一感应装置和第二感应装置，更够及时对输送到第一分片端和第二分片端的硅片进行监测。

可选的，硅片收料装置还包括风刀单元，风刀单元设置在主输送单元的下方，被配置为朝向分片单元吹气，将位于主输送单元上的硅片吹起并压靠至分片单元上。

通过在主输送单元的下方设置风刀单元，利用风刀单元将主输送单元上的硅片向上吹起，使硅片脱离主输送单元，并将硅片吹靠到分片单元上，同样可以减少现有技术方案中因顶升机构顶升高出主输送单元而影响主输送单元的持续输送，从而提高硅片收料装置的收片效率。

可选的，硅片收料装置还包括过渡单元，分片单元的第一分片端与第一输送单元的过渡段、分片单元的第二分片端与第二输送单元的过渡段均设置有过渡单元，过渡单元位于过渡段的下方并被配置为承托由分片单元向第一输送单元或第二输送单元移送的硅片。

通过在两部分过渡段设置过渡单元，能够保证硅片能稳定地由分片单元移送到第一输送单元和第二输送单元，进而提升硅片由分片单元移送至第一输送单元和第二输送单元的移送效率以及硅片收料装置的收片效率。

可选的，过渡单元包括第二输送带和第二驱动部，第二驱动部驱动第二输送带运转，以承托由分片单元向第一输送单元或第二输送单元移送的硅片；和/或，

过渡单元包括吹拂组件，吹拂组件设置在过渡段的下方，被配置为朝向过渡段吹气，以承托由分片单元向第一输送单元或第二输送单元移送的硅片。

采用第二驱动部与第二输送带，在硅片由分片单元向第一输送单元或第二输送单元移送的移送路径上，对硅片进行承接，结构简单，过渡效果可靠；

通过在过渡段的下方设置吹拂组件，在硅片经过过渡段时，通过吹拂组件向上吹吹气，对硅片进行承接，对硅片下表面无需产生摩擦即可实现承接。

可选的，过渡单元包括若干个导向辊，若干个导向辊沿第一输送单元的输送方向或者第二输送单元的输送方向依次设置。

通过设置导向棍，对过渡段的硅片进行承接，无需采用其它驱动机构，成本低，结构简单。

可选的，第一输送单元包括至少两组第三输送带、第三驱动部和第二吸附组件，第三驱动部驱动第三输送带转动，每组第三输送带间隔设置且共同形成有输送硅片的第二输送面，第三输送带的输送方向与主输送单元的输送方向垂直，第三驱动部驱动每组第三输送带同步运转；

相邻两组第三输送带之间设置有第二吸附组件，第二吸附组件的吸附面高于第二输送面，第二吸附组件包括若干个第三吸附部，每个释放工位至少包括一个第三吸附部。

第一输送单元采用第三输送带、第三驱动部和第二吸附组件的配合方式，能够实现硅片在第一输送单元上的连续输送，以实现第一输送单元能够设置至少两个释放工位，进而提高硅片收料装置的收片效率。

可选的，硅片收料装置还包括若干个辅助轮，辅助轮沿主输送单元的输送方向间隔架设在主输送单元的下方，用于承托主输送单元。

通过在主输送单元的下方设置辅助轮，对主输送单元进行承托，以防止主输送单元下垂。

第二方面，本申请提出了一种硅片分选机，包括硅片上料装置、硅片检测装置和如前述任意一项的硅片收料装置，硅片上料装置用于向硅片检测装置提供待检测硅片，硅片检测装置用于对待检测硅片进行检测，硅片收料装置用于对检测后的硅片进行收取。

本申请的硅片分选机，通过采用本申请中的硅片收料装置，能够提高硅片分选机的整体生产效率。

附图说明

图1为硅片收料装置的一种实施方式立体示意图；

图2为硅片收料装置的一种实施方式主视图；

图3A为分片单元在第一视角下的一种实施方式的立体示意图；

图3B为分片单元在第二视角下的一种实施方式的立体示意图；

图3C为的一种实施方式分片单元的一种实施方式的剖视图；

图4为第一输送单元的一种实施方式的立体示意图；

图5为分片单元、第一输送单元及过渡单元的一种实施方式的主视图；

图6为过渡单元的一种实施方式的立体示意图；

图7为主输送单元的一种实施方式的俯视图；

图中：主输送单元100、下料单元200、料盒300、分片单元210、第一输送带211、第一吸附部212、第二吸附部213、第一感应装置214、第二感应装置215、第一输送单元220、第三输送带221、第三吸附部222、第三驱动部223、第二输送单元230、第一释放工位240、第二释放工位250、风刀单元400、过渡单元500、第二输送带510、第二驱动部520、辅助轮600。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。

下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

针对当前硅片收料装置收片效率低的问题，本申请提出了一种硅片收料装置及硅片分选机。

如图1、2所示，本申请提出了一种硅片收料装置，包括主输送单元100、下料单元200和料盒300，其中，

下料单元200包括分片单元210、第一输送单元220和第二输送单元230，分片单元210设置在主输送单元100的上方，被配置为拾取主输送单元上的硅片并将硅片移送至第一输送单元220或第二输送单元230；

第一输送单元220和第二输送单元230的结构相同，均具有至少两个释放工位，每个释放工位下方均设置有对应的料盒300；

第一输送单元220位于分片单元210的第一分片端，被配置为接收由分片单元210的第一分片端移送的硅片并在释放工位将硅片释放至对应的料盒300中；第二输送单元230位于分片单元210的第二分片端，被配置为接收由分片单元210的第二分片端移送的硅片并在释放工位将硅片释放至对应的料盒300中。

通过在第一输送单元220和第二输送单元230上均设至少两个释放工位，不论是第一输送单元220还是第二输送单元230均能够对应至少两个收片位置，这样在其中一个收片位置(即释放工位)的料盒300收满硅片需要移出以取出料盒300内的硅片时，另一个收片位置可以继续进行收片，不会影响第一输送单元220或者第二输送单元230的收片进程，从而能够大幅提高收片效率。

如图2所示，第一输送单元220和第二输送单元230均具有两个释放工位，分别为第一释放工位240、第二释放工位250，每个释放工位下方均设置有对应的料盒300。当硅片从第二释放工位250释放的时候，并不会影响第一输送单元220从分片单元210继续接收其它硅片输送到第一释放工位240或者第二释放工位250进行释放，能够进一步提升硅片收料装置的收片效率。

可选的，分片单元210包括输送组件和第一吸附组件，输送组件包括至少两组第一输送带211和第一驱动部，每组第一输送带211间隔设置且共同形成有输送硅片的第一输送面，第一输送带211的输送方向与主输送单元100的输送方向垂直，第一驱动部驱动每组第一输送带211同步运转；

相邻两组第一输送带211之间设置有第一吸附组件，第一吸附组件的吸附面高于第一输送面，第一吸附组件包括第一吸附部212和第二吸附部213，第一吸附部212靠近分片单元210的第一分片端设置，第二吸附部213靠近分片单元210的第二分片端设置。

将分片单元210设置在主输送单元100的上方，分片单元210通过设置第一吸附组件，并使第一吸附组件的吸附面高于第一输送面，在硅片沿主输送单元100输送至分片单元210的正下方时，第一吸附组件利用负压将主输送单元100上的硅片向上吸附并使硅片压靠在第一输送面上，由第一输送面对硅片进行分片输送，能够减少现有技术方案中因顶升机构顶升高出主输送单元100而影响主输送单元100的持续输送，从而提高硅片收料装置的收片效率。

如图3A-3C所示，输送组件包括三组第一输送带211，每组第一输送带211间隔设置且三组第一输送带211之间共同形成有输送硅片的第一输送面；相邻的两组第一输送带211之间设置有第一吸附组件，第一吸附组件的吸附面高于第一输送面，第一吸附组件包括第一吸附部212和第二吸附部213，第一吸附部212靠近分片单元210的第一分片端设置，第二吸附部213靠近分片单元210的第二分片端设置。

采用三组第一输送带211，能够增加硅片与第一输送面之间的接触面积，提升分片单元210的输送稳定性，此外，也便于第一吸附组件在三组第一输送带211之间的安装。

为了及时对输送到第一分片端和第二分片端的硅片进行监测，作为本申请的一种可选实施方式，如图3B所示，分片单元210还包括第一感应装置214和第二感应装置215，第一感应装置214设置在第一分片端，用于检测第一输送带211向第一分片端输送的硅片；第二感应装置215设置在第二分片端，用于检测第一输送带211向第二分片端输送的硅片。

当第一感应装置214检测到向第一分片端输送的硅片时，控制位于第二分片端的第二吸附部213破真空，以防止硅片向第一分片端输送时，第二吸附部213对硅片进行吸附，干扰硅片向第一分片端输送的效率；当第一感应装置214检测到向第二分片端输送的硅片时，控制位于第一分片端的第一吸附部212破真空，以防止硅片向第二分片端输送时，第一吸附部212对硅片进行吸附，干扰硅片向第二分片端输送的效率。

可选的，硅片收料装置还包括风刀单元400，风刀单元400设置在主输送单元100的下方，被配置为朝向分片单元210吹气，将位于主输送单元100上的硅片吹起并压靠至分片单元210上。

通过在主输送单元100的下方设置风刀单元400，利用风刀单元400将主输送单元100上的硅片向上吹起，使硅片脱离主输送单元100，并将硅片吹靠到分片单元210上，同样可以减少现有技术方案中因顶升机构顶升高出主输送单元100而影响主输送单元100的持续输送，从而提高硅片收料装置的收片效率。

可选的，如图2和图5所示，硅片收料装置还包括过渡单元500，分片单元210的第一分片端与第一输送单元220的过渡段、分片单元210的第二分片端与第二输送单元230的过渡段均设置有过渡单元500，过渡单元500位于过渡段的下方并被配置为承托由分片单元210向第一输送单元220或第二输送单元230移送的硅片。

通过在两部分过渡段设置过渡单元500，能够保证硅片能稳定地由分片单元210移送到第一输送单元220和第二输送单元230，进而提升硅片由分片单元210移送至第一输送单元220和第二输送单元230的移送效率以及硅片收料装置的收片效率。

可选的，如图6所示，过渡单元500包括第二输送带510和第二驱动部520，第二驱动部520驱动第二输送带510运转，以承托由分片单元210向第一输送单元220或第二输送单元230移送的硅片；和/或，

过渡单元500包括吹拂组件，吹拂组件设置在过渡段的下方，被配置为朝向过渡段吹气，以承托由分片单元210向第一输送单元220或第二输送单元230移送的硅片。

采用第二驱动部520与第二输送带510，在硅片由分片单元210向第一输送单元220或第二输送单元230移送的移送路径上，对硅片进行承接，结构简单，过渡效果可靠；

通过在过渡段的下方设置吹拂组件，在硅片经过过渡段时，通过吹拂组件向上吹吹气，对硅片进行承接，对硅片下表面无需产生摩擦即可实现承接。

可选的，过渡单元500包括若干个导向辊，若干个导向辊沿第一输送单元220的输送方向或者第二输送单元230的输送方向依次设置。

通过设置导向棍，对过渡段的硅片进行承接，无需采用其它驱动机构，成本低，结构简单。

可选的，如图4所示，第一输送单元220包括至少两组第三输送带221、第三驱动部223和第二吸附组件，第三驱动部223驱动第三输送带221转动，每组第三输送带221间隔设置且共同形成有输送硅片的第二输送面，第三输送带221的输送方向与主输送单元100的输送方向垂直，第三驱动部223驱动每组第三输送带221同步运转；

相邻两组第三输送带221之间设置有第二吸附组件，第二吸附组件的吸附面高于第二输送面，第二吸附组件包括若干个第三吸附部222，每个释放工位至少包括一个第三吸附部222。

第一输送单元220采用第三输送带221、第三驱动部223和第二吸附组件的配合方式，能够实现硅片在第一输送单元220上的连续输送，以实现第一输送单元220能够设置至少两个释放工位，进而提高硅片收料装置的收片效率。

可选的，如图7所示，硅片收料装置还包括若干个辅助轮600。沿主输送单元100的输送方向间隔架设在主输送单元100的下方，用于承托主输送单元100。

通过在主输送单元100的下方设置辅助轮600，对主输送单元100进行承托，特别是当主输送单元100的长度较长时，以防止主输送单元100下垂。

第二方面，本申请提出了一种硅片分选机，包括硅片上料装置、硅片检测装置和如前述任意一项的硅片收料装置，硅片上料装置用于向硅片检测装置提供待检测硅片，硅片检测装置用于对待检测硅片进行检测，硅片收料装置用于对检测后的硅片进行收取。

本申请的硅片分选机，通过采用本申请中的硅片收料装置，能够提高硅片分选机的整体生产效率。

以上示意性地对本申请创造及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本申请创造的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本专利的保护范围。

Claims (10)

1.一种硅片收料装置，其特征在于，所述硅片收料装置包括主输送单元、下料单元和料盒，其中，

所述下料单元包括分片单元、第一输送单元和第二输送单元，所述分片单元设置在所述主输送单元的上方，被配置为拾取所述主输送单元上的硅片并将所述硅片移送至所述第一输送单元或所述第二输送单元；

所述第一输送单元和所述第二输送单元的结构相同，均具有至少两个释放工位，每个所述释放工位下方均设置有对应的料盒；

所述第一输送单元位于所述分片单元的第一分片端，被配置为接收由所述分片单元的第一分片端移送的硅片并在所述释放工位将所述硅片释放至对应的料盒中；所述第二输送单元位于所述分片单元的第二分片端，被配置为接收由所述分片单元的第二分片端移送的硅片并在所述释放工位将所述硅片释放至对应的料盒中。

2.如权利要求1所述的硅片收料装置，其特征在于，所述分片单元包括输送组件和第一吸附组件，所述输送组件包括至少两组第一输送带和第一驱动部，每组所述第一输送带间隔设置且共同形成有输送硅片的第一输送面，所述第一输送带的输送方向与所述主输送单元的输送方向垂直，所述第一驱动部驱动每组所述第一输送带同步运转；

相邻两组第一输送带之间设置有第一吸附组件，所述第一吸附组件的吸附面高于所述第一输送面，所述第一吸附组件包括第一吸附部和第二吸附部，所述第一吸附部靠近所述分片单元的第一分片端设置，所述第二吸附部靠近所述分片单元的第二分片端设置。

3.如权利要求2所述的硅片收料装置，其特征在于，所述分片单元还包括第一感应装置和第二感应装置，所述第一感应装置设置在所述第一分片端，用于检测所述第一输送带向所述第一分片端输送的硅片；所述第二感应装置设置在所述第二分片端，用于检测所述第一输送带向所述第二分片端输送的硅片。

4.如权利要求1或2所述的硅片收料装置，其特征在于，所述硅片收料装置还包括风刀单元，所述风刀单元设置在所述主输送单元的下方，被配置为朝向所述分片单元吹气，将位于主输送单元上的硅片吹起并压靠至所述分片单元上。

5.如权利要求1所述的硅片收料装置，其特征在于，所述硅片收料装置还包括过渡单元，所述分片单元的第一分片端与所述第一输送单元的过渡段、所述分片单元的第二分片端与所述第二输送单元的过渡段均设置有所述过渡单元，所述过渡单元位于所述过渡段的下方并被配置为承托由所述分片单元向所述第一输送单元或所述第二输送单元移送的硅片。

6.如权利要求5所述的硅片收料装置，其特征在于，所述过渡单元包括第二输送带和第二驱动部，所述第二驱动部驱动所述第二输送带运转，以承托由所述分片单元向所述第一输送单元或所述第二输送单元移送的硅片；和/或，

所述过渡单元包括吹拂组件，所述吹拂组件设置在所述过渡段的下方，被配置为朝向所述过渡段吹气，以承托由所述分片单元向所述第一输送单元或所述第二输送单元移送的硅片。

7.如权利要求5所述的硅片收料装置，其特征在于，所述过渡单元包括若干个导向辊，若干个所述导向辊沿所述第一输送单元的输送方向或者所述第二输送单元的输送方向依次设置。

8.如权利要求1所述的硅片收料装置，其特征在于，所述第一输送单元包括至少两组第三输送带、第三驱动部和第二吸附组件，所述第三驱动部驱动所述第三输送带转动，每组所述第三输送带间隔设置且共同形成有输送硅片的第二输送面，所述第三输送带的输送方向与所述主输送单元的输送方向垂直，所述第三驱动部驱动每组所述第三输送带同步运转；

相邻两组第三输送带之间设置有第二吸附组件，所述第二吸附组件的吸附面高于所述第二输送面，所述第二吸附组件包括若干个第三吸附部，每个所述释放工位至少包括一个所述第三吸附部。

9.如权利要求1所述的硅片收料装置，其特征在于，所述硅片收料装置还包括若干个辅助轮，所述辅助轮沿所述主输送单元的输送方向间隔架设在所述主输送单元的下方，用于承托所述主输送单元。

10.一种硅片分选机，其特征在于，所述硅片分选机包括硅片上料装置、硅片检测装置和如权利要求1-9任意一项所述的硅片收料装置，所述硅片上料装置用于向所述硅片检测装置提供待检测硅片，所述硅片检测装置用于对待检测硅片进行检测，所述硅片收料装置用于对检测后的硅片进行收取。

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