CN114248213A - 载台及检测装置 - Google Patents

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CN114248213A
CN114248213A CN202111463367.3A CN202111463367A CN114248213A CN 114248213 A CN114248213 A CN 114248213A CN 202111463367 A CN202111463367 A CN 202111463367A CN 114248213 A CN114248213 A CN 114248213A
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China
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curved
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curved surface
air
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CN202111463367.3A
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邓强贤
郑红
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Guangzhou Guoxian Technology Co Ltd
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Guangzhou Guoxian Technology Co Ltd
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    • B25B11/00Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders

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Abstract

本申请涉及一种载台及检测装置,用于曲面盖板,曲面盖板包括平直区和位于平直区至少一侧且与平直区相邻的弯曲区,载台包括:载台本体;以及多个吹气口,设于载台本体的表面上,吹气口包括第一吹气口和第二吹气口;其中,第一吹气口流出的气流作用于平直区,第二吹气口流出的气流作用于弯曲区,以使曲面盖板相对载台本体悬浮于载台本体上方。上述的载台,利用气流将曲面盖板悬浮支承起来以便对其进行检测,使得在对曲面盖板进行检测的过程中,曲面盖板不与载台本体相接触,因此,不会对曲面盖板的表面造成损伤或污染。

Description

载台及检测装置
技术领域
本申请涉及显示装置检测技术领域,特别是涉及一种载台及检测装置。
背景技术
随着技术的发展,具有曲面屏的显示装置得到越来越广泛的应用。在显示装置的生产组装过程中,通常需要对其中的曲面盖板等部件进行外观检测。但是,在检测过程中会对曲面盖板的表面造成损伤或污染。
发明内容
基于此,有必要针对检测过程中会对曲面盖板的表面造成损伤或污染的问题,提供一种载台及检测装置。
根据本申请的一个方面,提供一种载台,用于曲面盖板,曲面盖板包括平直区和位于平直区至少一侧且与平直区相邻的弯曲区,载台包括:载台本体;以及多个吹气口,设于载台本体的表面上,吹气口包括第一吹气口和第二吹气口;其中,第一吹气口流出的气流作用于平直区,第二吹气口流出的气流作用于弯曲区,以使曲面盖板相对载台本体悬浮于载台本体上方。
上述的载台,通过在载台本体的表面上设置多个吹气口,第一吹气口流出的气流能够作用于曲面盖板的平直区,对平直区进行悬浮支承,第二吹气口流出的气流能够作用于曲面盖板的弯曲区,对弯曲区进行悬浮支承,如此,利用气流将曲面盖板悬浮支承起来以便对其进行检测,使得在对曲面盖板进行检测的过程中,曲面盖板不与载台本体相接触,因此,不会对曲面盖板的表面造成损伤或污染。
在其中一个实施例中,载台本体包括对应于平直区的第一平面,第一吹气口和第二吹气口均设于第一平面上,第一吹气口的延伸方向垂直于第一平面,第二吹气口的延伸方向与第一平面交叉但不垂直。这样的设计使得载台本体的结构较简单,便于第一吹气口和第二吹气口的设置,同时使第一吹气口流出的气流能够很好地支撑曲面盖板的平直区,第二吹气口流出的气流能够很好地支撑曲面盖板的弯曲区。
在其中一个实施例中,载台本体包括对应于平直区的平直部和对应于弯曲区的弯曲部;第一吹气口设于平直部,第二吹气口设于弯曲部。通过在载台本体上设置对应于曲面盖板的平直区的平直部,和对应于曲面盖板的弯曲区的弯曲部,使载台本体能够适应于曲面盖板,并将第一吹气口设于平直部,将第二吹气口设于弯曲部,能够针对性地支承曲面盖板的平直区和弯曲区,使用效果更佳。
优选地,第一吹气口流出的气流保持与平直区相垂直,第二吹气口流出的气流保持与弯曲区相垂直。这样的设计使得从吹气口流出的气流对曲面盖板施加的悬浮力与曲面盖板上对应的区域相垂直,完全用于对曲面盖板进行悬浮支承,支承效果更佳。
在其中一个实施例中,多个第一吹气口在平直部呈阵列排布;多个第二吹气口在弯曲部呈阵列排布。这样的设计使得载台本体上不同位置处的吹气口均在各自对应的区域内阵列排布,不仅便于载台本体的加工成型,也使得载台本体通过从吹气口流出的气流对曲面盖板施加的悬浮力更佳均匀和稳定,使曲面盖板对载台本体保持相对稳定。
在其中一个实施例中,弯曲部包括位于平直部沿第一方向相对两侧的第一曲面部;位于平直部相对两侧的两个第一曲面部的弯曲方向相对设置。通过将弯曲部设置为包括位于平直部沿第一方向相对两侧的第一曲面部,使得载台本体能够适应于具有两个相对的曲面区的双曲型曲面盖板,从两个第一曲面部的第二吹气口流出的气流能够对双曲型曲面盖板的两个相对的曲面区进行悬浮支承。
在其中一个实施例中,弯曲部还包括位于平直部沿第二方向相对两侧的第二曲面部;位于平直部相对两侧的两个第二曲面部的弯曲方向相对设置;其中,第一方向与第二方向交叉。通过将弯曲部设置为还包括位于平直部沿第二方向相对两侧的第二曲面部,使得载台本体能够适应于具有四个曲面区的四曲型曲面盖板,从两个第一曲面部和两个第二曲面部的第二吹气口流出的气流能够对四曲型曲面盖板的四个曲面区进行悬浮支承。
在其中一个实施例中,第一吹气口的数量,大于第二吹气口的数量。这样的设计使得第一吹气口流出的气流道数相对更多、更密集,对曲面盖板的支承效果好,而第二吹气口流出的气流道数相对更少、更稀疏,有利于曲面盖板保持平衡。
优选地,第一吹气口流出的气流流量,大于第二吹气口流出的气流流量。这样的设计使得第一吹气口流出的气流对曲面盖板的支承力相对更大,对曲面盖板的支承效果好,而第二吹气口流出的气流对曲面盖板的支承力相对更小,有利于曲面盖板保持平衡。
在其中一个实施例中,载台还包括至少部分地围绕载台本体设置的缓冲件;缓冲件具有相对载台本体的外表面凸出设置的承托面。这样的设计使得在对曲面盖板的检测完毕,载台不再支承曲面盖板时,缓冲件的凸出于载台本体的外表面设置的承托面能够承托下落的曲面盖板,避免曲面盖板与载台本体产生碰撞,对曲面盖板和载台本体均起到保护作用。
在其中一个实施例中,载台还包括底座,底座包括支承面和多个与支承面相连的侧壁面,载台本体设于支承面上,其中至少一个侧壁面上设有与吹气口连通的进气口。通过设置底座,使得载台本体能够设于底座的支承面上,并可以在底座的侧壁面上设置与吹气口连通的进气口,便于从吹气口流出的气流对曲面盖板进行悬浮支承。
根据本申请的另一个方面,提供一种检测装置,包括:如上述的载台。
附图说明
通过阅读对下文优选实施方式的详细描述,各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的,而并不认为是对本申请的限制。而且在全部附图中,用相同的附图标号表示相同的部件。在附图中:
图1为本申请一个实施例提供的载台在使用时的结构示意图;
图2为本申请一个实施例提供的载台本体的结构示意图;
图3为图2中A-A处的剖视图;
图4为本申请另一个实施例提供的载台本体的结构示意图。
具体实施方式中的附图标号如下:
载台10;
载台本体100,第一平面110,平直部120,弯曲部130,第一曲面部131,第二曲面部132;
吹气口200,第一吹气口210,第二吹气口220;
缓冲件300,承托面310;
底座400,支承面410,侧壁面420,进气口500;
曲面盖板20,平直区21,弯曲区22;
第一方向a,第二方向b。
具体实施方式
为了便于理解本申请,下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳的实施例。但是,本申请可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容的理解更加透彻全面。
应当理解,尽管本文可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件,并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。这些术语仅用于将一个元件和另一个元件区分开。例如,在不脱离本申请的范围的情况下,第一元件可以被称为第二元件,并且类似地,第二元件可以被称为第一元件。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同,而不排除其他元件或者物件。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
在本文中提及“实施例”意味着,结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例,也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是,本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
在本申请实施例的描述中,术语“多个”指的是两个以上(包括两个),同理,“多组”指的是两组以上(包括两组)。
在本申请实施例的描述中,技术术语“中心”“纵向”“横向”“长度”“宽度”“厚度”“上”“下”“前”“后”“左”“右”“竖直”“水平”“顶”“底”“内”“外”“顺时针”“逆时针”“轴向”“径向”“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请实施例的限制。
在本申请实施例的描述中,除非另有明确的规定和限定,技术术语“相连”“连接”“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;也可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。
在显示装置的生产组装过程中,通常需要对其中的曲面盖板等部件进行外观检测,相关技术中,通常是将曲面盖板放置在平台、载台等治具上,通过治具承托曲面盖板的一侧表面,以便对曲面盖板进行检测。在此过程中,由于曲面盖板与治具直接接触,曲面盖板可能会与治具发生碰撞而出现损伤,同时,治具表面的污染物可能会附着到曲面盖板上,影响曲面盖板的检测结果。另一方面,曲面盖板与治具接触的表面会由于被遮挡而无法得到检测,因此,检测过程中还需要对曲面盖板进行翻转,将其被遮挡的表面露出以进行进一步检测,翻转时又进一步增加了曲面盖板发生碰撞而出现损伤的风险。
为了解决上述问题,本申请实施例提供一种载台及检测装置,在载台本体的表面上设置多个吹气口,第一吹气口流出的气流能够作用于曲面盖板的平直区,对平直区进行悬浮支承,第二吹气口流出的气流能够作用于曲面盖板的弯曲区,对弯曲区进行悬浮支承,如此,利用气流将曲面盖板悬浮支承起来以便对其进行检测,使得在对曲面盖板进行检测的过程中,曲面盖板不与载台本体相接触,因此,不会对曲面盖板的表面造成损伤或污染。
本申请实施例公开的载台用于显示装置中曲面盖板的检测。具体的,显示装置包括显示面板及曲面盖板,曲面盖板用于保护显示面板免受外部冲击,同时能够获得产品正面和侧边面显示,实现了曲面显示。具体地,显示面板通过贴合胶层贴合于曲面盖板的内侧,例如,一些实施方式中,贴合胶层可以为OCA(Optically Clear Adhesive)光学胶层。曲面盖板需覆盖显示面板的正面,并具有较佳的透光性,例如,一些实施方式中,曲面盖板可包括蓝宝石玻璃、大猩猩玻璃中的至少一种,另一些实施方式中,曲面盖板还可以包括聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚萘二甲酸醇酯、聚降冰片烯之一。
曲面盖板包括平直区及位于平直区至少一侧且与平直区平滑过渡的弯曲区。应当理解的是,弯曲区位于曲面盖板的一侧是指,产品具有正面显示区域和侧面显示区域,而弯曲区位于曲面盖板的一侧,可以形成产品的侧面显示区域的界定轮廓。也就是说,将显示面板贴合在曲面盖板的弯曲区,通过透光的弯曲区能够实现产品的侧面显示。具体地到实施例中,平直区位于曲面盖板的中间位置,是曲面盖板上较平直的区域,弯曲区位于曲面盖板横向和/或纵向的两侧,是平直区横向两侧和/或纵向两侧具有弯曲或者向回弯折形成的区域。较佳地,位于平直区两侧的弯曲区对称设置。
可以理解,曲面盖板也可以为异形曲面盖板,其中,异形曲面盖板是指曲面设计趋于向曲面盖板内弯曲。例如,一些实施例中,曲面盖板的弯曲区的弯曲角度为180度。当然,在其他一些实施例中,弯曲区的弯曲角度可以为90度-180度之间或者甚至大于180度。
需要说明的是,平直区与弯曲区之间不限定明确的界限。弯曲区也可包括部分平直的区域。
图1示出了本申请一实施例中的载台在使用时的结构示意图;图2示出了本申请一实施例中的载台本体的结构示意图;图3示出了图2中A-A处的剖视图。
请参阅图1至图3,本申请公开的至少一实施例中的载台10,包括载台本体100以及多个吹气口200。
多个吹气口200设置在载台本体100的表面上,吹气口200包括第一吹气口210和第二吹气口220,其中,第一吹气口210流出的气流作用于曲面盖板20的平直区21,第二吹气口220流出的气流作用于曲面盖板20的弯曲区22,以使曲面盖板20相对载台本体100悬浮于载台本体100上方。也就是说利用从吹气口200流出的气流对曲面盖板20施加一个支承力,以将曲面盖板20悬浮支承起来。第一吹气口210和第二吹气口220均可以有多个,并且,第一吹气口210与第二吹气口220的数量可以相等,也可以不等。
示例性地,在一些实施例中,载台本体100表面上对应于曲面盖板20的平直区21的区域内的第一吹气口210流出的气流流向垂直于载台本体100的表面,以支承曲面盖板20的平直区21,同时,载台本体100表面上对应于曲面盖板20的弯曲区22的区域内的第二吹气口220流出的气流流向相对于载台本体100的表面倾斜而不垂直,即气流流向与载台本体100的表面之间的夹角不为90度,以支承曲面盖板20的弯曲区22。
需要说明的是,载台本体100在对曲面盖板20进行悬浮支承时,载台本体100的外表面与曲面盖板20的内表面并不直接接触,因此,载台本体100的外表面的尺寸并不一定与曲面盖板20的尺寸大小相等。例如,在一些实施方式中,载台本体100的外表面的尺寸可以大于曲面盖板20的内表面的尺寸,在另一些实施方式中,载台本体100的外表面的尺寸也可以等于或小于曲面盖板20的内表面的尺寸,在此不作限定。
吹气口200可以向外吹出气流以对曲面盖板20施加支承力,例如,在一些实施例中,可以将压缩机(图中未示出)的出气口与吹气口200连接,压缩机通过吹气口200向外吹出压缩气体以形成气流,该压缩气体可以是压缩空气(Compressed air)等。吹气口200的开口大小、数量等可以根据载台本体100的外表面的尺寸作出适应性调整,在此不作限定。
采用上述的载台10,通过在载台本体100的表面上设置多个吹气口200,第一吹气口210流出的气流能够作用于曲面盖板20的平直区21,对平直区21进行悬浮支承,第二吹气口220流出的气流能够作用于曲面盖板20的弯曲区22,对弯曲区22进行悬浮支承,如此,利用气流将曲面盖板20悬浮支承起来以便对其进行检测,使得在对曲面盖板20进行检测的过程中,曲面盖板20不与载台本体100相接触,因此,不会对曲面盖板20的表面造成损伤或污染。并且,曲面盖板20的各个表面均暴露在外而不被阻挡,检测过程中也无需对曲面盖板20进行翻转,进一步降低了曲面盖板20发生碰撞而出现损伤的风险。
在一些实施例中,可选地,载台本体100包括对应于平直区21的第一平面110,第一吹气口210和第二吹气口220均设于第一平面110上,第一吹气口210的延伸方向垂直于第一平面110,第二吹气口220的延伸方向与第一平面110交叉但不垂直。
第一平面为载台本体100上与曲面盖板20的平直区21相对的表面,第一吹气口210和第二吹气口220均设置在第一平面110上,其中,第一吹气口210的延伸方向垂直于第一平面110,则第一吹气口210流出的气流顺着第一吹气口210的延伸方向流动后就会与曲面盖板20的平直区21接触,对平直区21进行悬浮支承。而第二吹气口220的延伸方向与第一平面110交叉但不垂直,即第二吹气口220的延伸方向与第一平面110之间的夹角可以是锐角或钝角,但不为直角,则第二吹气口220流出的气流顺着第二吹气口220的延伸方向流动后就会与曲面盖板20的弯曲区22接触,对弯曲区22进行悬浮支承。
这样的设计使得载台本体100的结构较简单,便于第一吹气口210和第二吹气口220的设置,同时使第一吹气口210流出的气流能够很好地支撑曲面盖板20的平直区21,第二吹气口220流出的气流能够很好地支撑曲面盖板20的弯曲区22。
图4为本申请另一个实施例提供的载台本体的结构示意图。
请结合图1并参阅图4,在一些实施例中,可选地,载台本体100包括对应于平直区21的平直部120和对应于弯曲区22的弯曲部130,第一吹气口210设于平直部120,第二吹气口220设于弯曲部130。
如图4所示,载台本体100的外表面与曲面盖板20的内表面的形状相匹配,载台本体100包括对应于平直区21的平直部120,平直部120与平直区21的形状相匹配,载台本体100还包括对应于弯曲区22的弯曲部130,弯曲部130与弯曲区22的形状相匹配。
当曲面盖板20中的弯曲区22位于平直区21的一侧时,载台本体100中的弯曲部112位于平直部111的同一侧,使载台本体100能够适应于曲面盖板20,设于平直部120的第一吹气口210流出的气流与曲面盖板20的平直区21接触,设于弯曲部130的第二吹气口220流出的气流与曲面盖板20的弯曲区22接触,能够针对性地分别支承曲面盖板20的平直区21和弯曲区22,使用效果更佳。
在一些实施例中,可选地,第一吹气口210流出的气流保持与平直区21相垂直,第二吹气口220流出的气流保持与弯曲区22相垂直。
可以理解,第一吹气口210流出的气流均作用于曲面盖板20的平直区21,并且该气流的流动方向垂直于曲面盖板20上与该气流接触的区域,同时,第二吹气口220流出的气流均作用于曲面盖板20的弯曲区22,并且该气流的流动方向垂直于曲面盖板20上与该气流接触的区域。
这样的设计使得从吹气口200流出的气流对曲面盖板20施加的悬浮力与曲面盖板20的内表面对应的区域相垂直,完全用于对曲面盖板20进行悬浮支承,支承效果更佳。
请参阅图4,在一些实施例中,可选地,多个第一吹气口210在平直部120呈阵列排布;多个第二吹气口220在弯曲部130呈阵列排布。
多个第一吹气口210在平直部120呈阵列排布,即平直部120上的多个第一吹气口210在一个或多个方向上依相同的间距间隔布置。多个第二吹气口220在弯曲部130呈阵列排布,即弯曲部130上的多个第二吹气口220在一个或多个方向上依相同的间距间隔布置。例如,如图4所示,多个第一吹气口210在两个相对垂直的方向上依相同的间距间隔布置,即多个第一吹气口210在平直部120呈矩形阵列排布。同样的,弯多个第二吹气口220在两个相对垂直的方向上依相同的间距间隔布置,即多个第二吹气口220在弯曲部130呈矩形阵列排布。
这样的设计使得载台本体100上不同位置处的吹气口200均在各自对应的区域内阵列排布,不仅便于载台本体100的加工成型,也使得载台本体100通过从吹气口200流出的气流对曲面盖板20施加的悬浮力更佳均匀和稳定,使曲面盖板20对载台本体100保持相对稳定。
在一些实施例中,可选地,弯曲部130包括位于平直部120沿第一方向a相对两侧的第一曲面部131;位于平直部120相对两侧的两个第一曲面部131的弯曲方向相对设置。
也就是说,其中一个第一曲面部131位于平直部120的第一方向a上的一侧,另一个第一曲面部131位于平直部120的第一方向a上的另一侧,即两个第一曲面部131沿第一方向a关于平直部120相对设置,并且,两个第一曲面部131的弯曲方向也相对设置。例如,如图2所示,两个第一曲面部131均朝向靠近平直部120的方向弯曲。
通过将弯曲部130设置为包括位于平直部120沿第一方向a相对两侧的第一曲面部131,使得载台本体100能够适应于具有两个相对的曲面区的双曲型曲面盖板20,从载台本体100的两个第一曲面部131的第二吹气口220流出的气流能够对双曲型曲面盖板20的两个相对的曲面区进行悬浮支承。
在一些实施例中,可选地,弯曲部130还包括位于平直部120沿第二方向b相对两侧的第二曲面部132;位于平直部120相对两侧的两个第二曲面部132的弯曲方向相对设置;其中,第一方向a与第二方向b交叉。
也就是说,其中一个第二曲面部132位于平直部120的第二方向b上的一侧,另一个第二曲面部132位于平直部120的第二方向b上的另一侧,即两个第二曲面部132沿第二方向b关于平直部120相对设置,并且,两个第二曲面部132的弯曲方向也相对设置。例如,如图4所示,两个第二曲面部132均朝向靠近平直部120的方向弯曲。第一方向a与第二方向b交叉,它们之间的夹角角度可以是锐角,也可以是直角,还可以是钝角。具体到如图2所示的实施例中,第一方向a与第二方向b之间的夹角角度是直角,即第一方向a与第二方向b互相垂直。
通过将弯曲部130设置为还包括位于平直部120沿第二方向b相对两侧的第二曲面部132,使得载台本体100能够适应于具有四个曲面区的四曲型曲面盖板20,从载台本体100的两个第一曲面部131和两个第二曲面部132的第二吹气口220流出的气流能够对四曲型曲面盖板20的四个曲面区进行悬浮支承。
在一些实施例中,可选地,第一吹气口210的数量大于第二吹气口220的数量。
如图2所示,由于平直部120的面积大小大于弯曲部130的面积大小,因此,可以将位于平直部120的第一吹气口210的数量设置为大于位于第一曲面部131的第二吹气口220的数量,使第一吹气口210和第二吹气口220都能够保持相对均匀的布置。
这样的设计使得第一吹气口210流出的气流道数相对更多、更密集,对曲面盖板20的支承效果好,而从第二吹气口220流出的气流道数相对更少、更稀疏,有利于曲面盖板20保持平衡。
在一些实施例中,可选地,第一吹气口210流出的气流流量大于第二吹气口220流出的气流流量。
流量是指单位时间内流经封闭管道或明渠有效截面的流体量,又称瞬时流量。当流体量以体积表示时称为体积流量;当流体量以质量表示时称为质量流量。流量的常用单位是立方米每秒。在一些实施方式中,可以是单独每个第一吹气口210流出的气流流量等于单独每个第二吹气口220流出的气流流量,但由于位于第一吹气口210的数量大于第二吹气口220的数量,因此,多个第一吹气口210流出的气流总流量大于多个第二吹气口220流出的气体流总量。在另一些实施方式中,也可以是单独每个第一吹气口210流出的气流流量大于单独每个第二吹气口220流出的气流流量,多个第一吹气口210流出的气流总流量也大于多个第二吹气口220流出的气体流总量。
这样的设计使得第一吹气口210流出的气流对曲面盖板20的支承力相对更大,对曲面盖板20的支承效果好,而第二吹气口220流出的气流对曲面盖板20的支承力相对更小,有利于曲面盖板20保持平衡。
在一些实施例中,可选地,载台10还包括环绕载台本体100设置的缓冲件300,缓冲件300具有相对载台本体100凸出设置的承托面310。
缓冲件300可以采用软性材料如橡胶、泡棉等制作,以具有一定的阻尼,缓冲件300的承托面310相对载台本体100凸出设置,即缓冲件300的承托面310高出载台10的外表面120一部分,当曲面盖板20下落时,其首先与缓冲件300的承托面310相接触,因此,软性的缓冲件300可以承托下落的曲面盖板20,避免曲面盖板20与载台本体100产生碰撞。
这样的设计使得在对曲面盖板20的检测完毕,载台10不再支承曲面盖板20时,缓冲件300的凸出于载台本体100设置的承托面310能够承托下落的曲面盖板20,避免曲面盖板20与载台本体100产生碰撞,对曲面盖板20和载台本体100均起到保护作用。
如图1所示,在一些实施例中,可选地,载台10还包括底座400,底座400包括支承面410和多个与支承面410相连的侧壁面420,载台本体100设于支承面410上,其中至少一个侧壁面420上设有与吹气口200连通的进气口500。
底座400的形状、尺寸等可以适应于载台本体100和缓冲件300来设置,使得载台本体100和缓冲件300均能够设置在底座400的支承面410上。
通过设置底座400,使得载台本体100能够设于底座400的支承面410上,并可以在底座400的侧壁面420上设置与吹气口200连通的进气口500,便于从吹气口200流出的气流对曲面盖板20进行悬浮支承。
基于同样的发明构思,本申请实施例还提供一种检测装置,该检测装置包括如上述的载台10。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本申请的保护范围。因此,本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种载台,用于曲面盖板,所述曲面盖板包括平直区和位于所述平直区至少一侧且与所述平直区相邻的弯曲区,其特征在于,所述载台包括:
载台本体;以及
多个吹气口,设于所述载台本体的表面上,所述吹气口包括第一吹气口和第二吹气口;
其中,所述第一吹气口流出的气流作用于所述平直区,所述第二吹气口流出的气流作用于所述弯曲区,以使所述曲面盖板相对所述载台本体悬浮于所述载台本体上方。
2.根据权利要求1所述的载台,其特征在于,所述载台本体包括对应于所述平直区的第一平面,所述第一吹气口和所述第二吹气口均设于所述第一平面上,所述第一吹气口的延伸方向垂直于所述第一平面,所述第二吹气口的延伸方向与所述第一平面交叉但不垂直。
3.根据权利要求1所述的载台,其特征在于,所述载台本体包括对应于所述平直区的平直部和对应于所述弯曲区的弯曲部,所述第一吹气口设于所述平直部,所述第二吹气口设于所述弯曲部;
优选地,所述第一吹气口流出的气流保持与所述平直区相垂直,所述第二吹气口流出的气流保持与所述弯曲区相垂直。
4.根据权利要求3所述的载台,其特征在于,多个所述第一吹气口在所述平直部呈阵列排布;
多个所述第二吹气口在所述弯曲部呈阵列排布。
5.根据权利要求3或4所述的载台,其特征在于,所述弯曲部包括位于所述平直部沿第一方向相对两侧的第一曲面部;
位于所述平直部相对两侧的两个所述第一曲面部的弯曲方向相对设置。
6.根据权利要求5所述的载台,其特征在于,所述弯曲部还包括位于所述平直部沿第二方向相对两侧的第二曲面部;
位于所述平直部相对两侧的两个所述第二曲面部的弯曲方向相对设置;
其中,所述第一方向与所述第二方向交叉。
7.根据权利要求1至4任一项所述的载台,其特征在于,所述第一吹气口的数量,大于所述第二吹气口的数量;
优选地,所述第一吹气口流出的气流流量,大于所述第二吹气口流出的气流流量。
8.根据权利要求1至4任一项所述的载台,其特征在于,所述载台还包括至少部分地围绕所述载台本体设置的缓冲件;
所述缓冲件具有相对所述载台本体的外表面凸出设置的承托面。
9.根据权利要求1至4任一项所述的载台,其特征在于,所述载台还包括底座,所述底座包括支承面和多个与所述支承面相连的侧壁面;
所述载台本体设于所述支承面上,其中至少一个所述侧壁面上设有与所述吹气口连通的进气口。
10.一种检测装置,其特征在于,包括:
如权利要求1至9任一项所述的载台。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200716465A (en) * 2005-10-26 2007-05-01 Ind Tech Res Inst Substrate transportation apparatus
JP2010073883A (ja) * 2008-09-18 2010-04-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置ならびに基板位置決め方法および装置
KR20110059121A (ko) * 2009-11-27 2011-06-02 세메스 주식회사 기판 이송 유닛과, 이를 이용한 기판 이송 방법
CN109773696A (zh) * 2019-03-26 2019-05-21 Tcl王牌电器(惠州)有限公司 定位装置
CN112447571A (zh) * 2019-08-30 2021-03-05 长鑫存储技术有限公司 晶圆承载装置及采用该晶圆承载装置的晶圆清洗装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200716465A (en) * 2005-10-26 2007-05-01 Ind Tech Res Inst Substrate transportation apparatus
JP2010073883A (ja) * 2008-09-18 2010-04-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置ならびに基板位置決め方法および装置
KR20110059121A (ko) * 2009-11-27 2011-06-02 세메스 주식회사 기판 이송 유닛과, 이를 이용한 기판 이송 방법
CN109773696A (zh) * 2019-03-26 2019-05-21 Tcl王牌电器(惠州)有限公司 定位装置
CN112447571A (zh) * 2019-08-30 2021-03-05 长鑫存储技术有限公司 晶圆承载装置及采用该晶圆承载装置的晶圆清洗装置

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