JP5059393B2 - エアシャワー装置 - Google Patents
エアシャワー装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5059393B2 JP5059393B2 JP2006336113A JP2006336113A JP5059393B2 JP 5059393 B2 JP5059393 B2 JP 5059393B2 JP 2006336113 A JP2006336113 A JP 2006336113A JP 2006336113 A JP2006336113 A JP 2006336113A JP 5059393 B2 JP5059393 B2 JP 5059393B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- flow path
- air flow
- nozzle
- flowing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/02—Ducting arrangements
- F24F13/06—Outlets for directing or distributing air into rooms or spaces, e.g. ceiling air diffuser
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Air-Flow Control Members (AREA)
Description
本発明の目的は、使い勝手が良く、除塵効率の高いエアシャワー装置を提供することにある。
図1〜図4は、本発明の実施例としてのエアシャワー装置の説明図である。図1は、本発明の実施例としてのエアシャワー装置の構成例図、図2は、図1のエアシャワー装置に用いるノズルの構成例図、図3は、図2のノズルにおける空気流動路の説明図、図4は、図1のエアシャワー装置におけるノズル配置の説明図である。
以下、図面で用いる構成要素の符号や座標軸は全図について共通のものを用いるとする。
図1では、ノズル16として、エアシャワー室13に対して左側(−Y軸方向)に配置されたノズル16a〜16jだけを示したが、エアシャワー室13の右側(Y軸方向)にもノズルが配置されているものとする。
図2において、161は、内部に空気流動路が形成された第1の構体、162は、該第1の構体161を回動可能に支持する第2の構体、1611a、1611bは、フィルタ12a、12b側からの圧縮された空気をエアシャワー室13側に導く第1の空気流動路、1612a、1612bは、該第1の空気流動路の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路、1611aiは、第1の空気流動路1611aの空気流入口、1611boは、第1の空気流動路1611bの空気吹き出し口、Eiは流入空気、Eoは吹き出し空気である。第1の構体161内において、第2の空気流動路1612は、コアンダ効果により第1の空気流動路1611a、1611b内における空気の流れの方向を時間的に変化させる。すなわち、第1の空気流動路1611aに流入した空気の一部が第2の空気流動路1612a、1612bを流れることにより、該第2の空気流動路1612a、1612bが該第1の空気流動路1611aと交わる領域間に圧力差を生じ、該圧力差によって、該第1の空気流動路1611a、1611b内を流れる空気の流動方向が時間的に変化し、該第1の空気流動路1611a、1611b内で気流振動が発生する。
図3において、Q1、Q2はそれぞれ、第2の空気流動路1612aが第1の空気流動路1611aと交わる領域、Q3、Q4はそれぞれ、第2の空気流動路1612bが第1の空気流動路1611aと交わる領域である。かかる構成において、空気の流動時、コアンダ効果が発生する。
図4において、16a'、16h'は、図1のエアシャワー室13の右側(Y軸方向)に配され、ノズル16a、16hとは−X軸方向にそれぞれ所定距離x1、x2ずらして配されたノズル、30は、例えばクリーンルーム内で作業するために清浄化される対象としての人物(作業者)である。ノズル16a'、16h'はそれぞれ、ノズル16a、16hと同様、第1の構体内に、上記図2、図3で説明した構成の第1、第2の空気流動路を備え、かつ、第1の構体は、第2の構体により回動可能に支持されているものとする。また、図4では図示されていないが、エアシャワー室13の右側(Y軸方向)にはさらに、ノズル16b'〜16g'、16i'、16j'がそれぞれ、ノズル16b〜16g、16i、16jに対し、−X軸方向に所定距離ずらしては配されている。この他、エアシャワー室13の左側のノズルと右側のノズルは、Z軸方向に互いにずれた位置に配されるようにしてもよい。
図5において、161'はノズルの第1の構体、1611a'、1611b'は、フィルタ側からの圧縮された空気をエアシャワー室側に導く第1の空気流動路、1612'は、該第1の空気流動路の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路、1611ai'は、第1の空気流動路1611a'の空気流入口、1611bo'は、第1の空気流動路1611b'の空気吹き出し口、Ei'は流入空気、Eo'は吹き出し空気である。第1の構体161'内において、第2の空気流動路1612'は、コアンダ効果により第1の空気流動路1611a'、1611b'内における空気の流れの方向を変化させる。すなわち、第1の空気流動路1611a'に流入した空気の一部が第2の空気流動路1612'を流れることで、該第2の空気流動路1612'が該第1の空気流動路1611a'と交わる2つの部分間に圧力差を生じ、該圧力差により、該第1の空気流動路1611a'、1611b'内を流れる空気の流動方向が時間的に変化し、該第1の空気流動路1611a'、1611b'内で気流振動が発生する。この結果、流動方向が時間的に変化した吹き出し空気Eo'が、空気吹き出し口1611bo'から吹き出される。ノズルの第1の構体161'は、第1の空気流動路1611a'、1611b'内を流れる空気の流動方向が変化するXY平面内で、第2の構体(図示なし)に対しθ1の角度範囲で回動する。
図6において、16''はノズル,161''はノズル16''の第1の構体、162''はノズル16''の第2の構体、1611''は、フィルタ側からの圧縮された空気をエアシャワー室側に導く第1の空気流動路、1612''は、該第1の空気流動路1611''の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路、1611i''は、第1の空気流動路1611''の空気流入口、1611o''は、第1の空気流動路1611''の空気吹き出し口、Ei''は流入空気、Eo''は吹き出し空気である。第1の構体161''内において、第1の空気流動路1611''内を流れる空気は、第2の空気流動路1612''によって流動方向XY平面内で変化し、気流振動を発生する。第1の構体161''は、第1の空気流動路1611''内を流れる空気の流動方向が変化するXY平面に直角なYZ平面内で、第2の構体162''に対しθ2の角度範囲で回動する。
図7において、161Aはノズルの第1の構体、1611Aは、フィルタ側から流入された空気を導く第1の空気流動路、1611B1、1611B2、1611B3はそれぞれ、第1の空気流動路1611Aから分岐した複数の流動路(第1の空気流動路)、1612Pは、第1の空気流動路1611Aの側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路、1611Aiは空気流入口、1611Bo1、1611Bo2、1611Bo3はそれぞれ、第1の空気流動路1611B1、1611B2、1611B3の空気吹き出し口、Eiは流入空気、EAは、第1の空気流動路1611Aにおける流動空気、EBo1、EBo2、EBo3はそれぞれ、空気吹き出し口1611Bo1、1611Bo2、1611Bo3からの吹き出し空気である。
図8において、161A'はノズルの第1の構体、1611A'は、フィルタ側から流入された空気を導く第1の空気流動路、1611B1'、1611B2'、1611B3'はそれぞれ、第1の空気流動路1611A'から分岐した複数の流動路(第1の空気流動路)、1612P1'、1612P2'、1612P3'は、第1の空気流動路1611B1'、1611B2'、1611B3'の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路、1611Ai'は空気流入口、1611Bo1'、1611Bo2'、1611Bo3'はそれぞれ、第1の空気流動路1611B1'、1611B2'、1611B3'の空気吹き出し口、Eiは流入空気、EBo1'、EBo2'、EBo3'はそれぞれ、空気吹き出し口1611Bo1'、1611Bo2'、1611Bo3'からの吹き出し空気である。
11…送風機、
12a、12b…フィルタ、
13…エアシャワー室、
14a、14b…ドア、
15…筐体、
16、16a〜16g、16a'、16h'、16''…ノズル、
161、161'、161''、161A…第1の構体、
162、162''…第2の構体、
1611a、1611b、1611a'、1611b'、1611''、1611A、1611B1、1611B2、1611B3…第1の空気流動路、
1612a、1612b、1612'、1612''、1612P…第2の空気流動路、
1611ai、1611ai'、1611i''、1611Ai…空気流入口、
1611bo、1611bo'、1611o''、1611Bo1、1611Bo2、1611Bo3…空気吹き出し口。
Claims (2)
- エアシャワー室内に空気を吹き出して清浄化する対象体に当て塵埃を除去するエアシャワー装置であって、
空気を圧縮して送風する送風機と、
上記送風機からの空気を濾過するフィルタと、
上記フィルタ側からの空気を上記エアシャワー室内に吹き出すノズルと、
を備え、
上記ノズルが、
内部に、1つの空気流動路が途中から複数の流動路に分岐した構成を有し上記フィルタ側からの空気を上記エアシャワー室側に導く第1の空気流動路と、該第1の空気流動路内の該複数の分岐流動路それぞれの側壁間に連通した第2の空気流動路とが設けられた第1の構体を有し、該第1の構体内において、該第1の空気流動路の該分岐流動路を流れる空気の一部が該第2の空気流動路に流れることにより、該第2の空気流動路と該分岐流動路とが交わる領域間に圧力差を生じ、該圧力差により、上記複数の分岐流動路のそれぞれにおいて、空気の流動方向が時間的に変化する構成とされている
ことを特徴とするエアシャワー装置。 - 上記ノズルは、上記第1の構体が、上記第1の空気流動路を流れる空気の流動方向が変化する平面内または該平面に直角な平面内で回動可能なように第2の構体によって支持された構成である請求項1に記載のエアシャワー装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006336113A JP5059393B2 (ja) | 2006-12-13 | 2006-12-13 | エアシャワー装置 |
US11/830,001 US20080146141A1 (en) | 2006-12-13 | 2007-07-30 | Air shower apparatus |
TW096128843A TW200825341A (en) | 2006-12-13 | 2007-08-06 | Air shower apparatus |
CN2007101465078A CN101206071B (zh) | 2006-12-13 | 2007-08-17 | 空气喷淋装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006336113A JP5059393B2 (ja) | 2006-12-13 | 2006-12-13 | エアシャワー装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008145088A JP2008145088A (ja) | 2008-06-26 |
JP5059393B2 true JP5059393B2 (ja) | 2012-10-24 |
Family
ID=39527912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006336113A Active JP5059393B2 (ja) | 2006-12-13 | 2006-12-13 | エアシャワー装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080146141A1 (ja) |
JP (1) | JP5059393B2 (ja) |
CN (1) | CN101206071B (ja) |
TW (1) | TW200825341A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102113435B1 (ko) * | 2019-11-18 | 2020-05-20 | 주식회사 다산피앤지 | 하이브리드 클린룸 시스템 및 그 제작 방법 |
EP4376033A1 (en) * | 2022-11-22 | 2024-05-29 | Hitachi Energy Ltd | Cooling arrangement and method for cooling at least one oil-to-air external heat exchanger |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3148691A (en) * | 1962-06-07 | 1964-09-15 | Ibm | Fluid controlled device |
US3832939A (en) * | 1971-06-28 | 1974-09-03 | Nissan Motor | Defroster |
US3741481A (en) * | 1971-07-19 | 1973-06-26 | Bowles Fluidics Corp | Shower spray |
US4231519A (en) * | 1979-03-09 | 1980-11-04 | Peter Bauer | Fluidic oscillator with resonant inertance and dynamic compliance circuit |
CH646507A5 (de) * | 1980-03-13 | 1984-11-30 | Elcar Zuerich Ag | Raumluft-ionisator. |
JPH0358645U (ja) * | 1989-10-14 | 1991-06-07 | ||
US4967645A (en) * | 1989-11-27 | 1990-11-06 | Micron Technology, Inc. | Air shower with directed air flow |
US5259815A (en) * | 1990-08-03 | 1993-11-09 | Bowles Fluidics Corporation | Air outlet with aperiodic oscillation |
US5596818A (en) * | 1994-10-17 | 1997-01-28 | Pdq Manufacturing, Inc. | Motor vehicle dryer |
JPH08145450A (ja) * | 1994-11-22 | 1996-06-07 | Ebara Corp | 流体吹き出し口構造 |
JP2929174B2 (ja) * | 1996-08-12 | 1999-08-03 | 日本エアーテック株式会社 | パルスエアージェット生成装置 |
US5816908A (en) * | 1997-06-30 | 1998-10-06 | Chu Kuo Air-Con Engineering Co., Ltd. | Air shower for a clean room system |
US7111800B2 (en) * | 2002-11-12 | 2006-09-26 | Bowles Fluidics Corporation | Fluid spray apparatus |
JP3971991B2 (ja) * | 2002-12-03 | 2007-09-05 | 株式会社日立産機システム | エアシャワ装置 |
JP4178064B2 (ja) * | 2003-03-19 | 2008-11-12 | 株式会社日立産機システム | 純流体素子 |
US7195555B2 (en) * | 2004-02-05 | 2007-03-27 | Collins & Aikman Products Co. | Air duct outlets having return air passageways that facilitate oscillating air flow |
-
2006
- 2006-12-13 JP JP2006336113A patent/JP5059393B2/ja active Active
-
2007
- 2007-07-30 US US11/830,001 patent/US20080146141A1/en not_active Abandoned
- 2007-08-06 TW TW096128843A patent/TW200825341A/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-08-17 CN CN2007101465078A patent/CN101206071B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200825341A (en) | 2008-06-16 |
CN101206071B (zh) | 2011-06-15 |
CN101206071A (zh) | 2008-06-25 |
US20080146141A1 (en) | 2008-06-19 |
TWI341917B (ja) | 2011-05-11 |
JP2008145088A (ja) | 2008-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW571061B (en) | Air showering device | |
TWI682816B (zh) | 氣流吐出單元以及流體設備 | |
KR102153150B1 (ko) | 국소 공기 청정화 장치 | |
JP5127292B2 (ja) | 局所空気清浄化装置 | |
JP5059393B2 (ja) | エアシャワー装置 | |
JP5095511B2 (ja) | エアシャワー装置 | |
CA2842895C (en) | Local air cleaning apparatus | |
CA2841243C (en) | Local air cleaning apparatus | |
KR20110013190A (ko) | 제진 장치 및 제진 시스템 | |
WO2013051311A1 (ja) | 清浄空気吹出装置 | |
JP2536188B2 (ja) | 空気清浄装置 | |
JP2018176041A (ja) | ホコリ回収機 | |
WO2014077255A1 (ja) | 誘導気流発生装置 | |
JP2019200016A (ja) | エアシャワー装置 | |
CN114405931B (zh) | 气浴装置 | |
JP2002106943A (ja) | 局所空間清浄化ノズルおよび局所空間清浄化ユニット | |
JP4825038B2 (ja) | 空気清浄機及びこれを用いたクリーンルーム | |
JPH11108407A (ja) | エアーシャワー装置 | |
JPH11197429A (ja) | フィルタユニットおよび清浄領域形成方法 | |
JP2007187441A (ja) | エアシャワ装置 | |
JPH0413613B2 (ja) | ||
TWI609158B (zh) | 局部空氣清淨化裝置 | |
JP3484979B2 (ja) | クリーンルームのフィルタユニット | |
JP2021058876A (ja) | 産業用機器及びサイクロン式排気装置 | |
WO2013058005A1 (ja) | 局所空気清浄化装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110614 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110801 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120316 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120724 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120802 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150810 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5059393 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |