JP2008145088A - エアシャワー装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】
使い勝手が良く、除塵効率の高いエアシャワー装置を提供する。
【解決手段】
空気吹き出し用のノズルを、フィルタ側からの空気をエアシャワー室側に導く第1の空気流動路と、該第1の空気流動路の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路とを設けた第1の構体と、該第1の構体を回動可能に支持する第2の構体とを備えて成り、第1の空気流動路に吸込んだ空気の一部を第2の空気流動路に流し、該第2の空気流動路が該第1の空気流動路と交わる領域間に圧力差を生じさせ、該圧力差の時間的変化により、第1の空気流動路を流れる空気の流動方向を時間的に変化させる構成とする。
【選択図】 図2

Description

本発明は、エアシャワー室内に空気を吹き出し、人体、衣類または製品などの清浄化する対象体に当て、該対象体に付着した塵埃を除去するエアシャワー装置に係り、特に、空気吹き出し用のノズルの構成に関する。
従来、エアシャワー装置は、例えばクリーンルームの出入口に設置され、作業者や製品が通過する際に、清浄化された空気をノズルから高速で吹き出させ、作業者の体や衣類や製品などに当てることで、これらに付着している塵埃を吹き飛ばして除去している。本発明に関連する技術であって、特許文献に記載されたものとしては、例えば、特開2004−183964号公報(特許文献1)に記載されたものがある。該特開2004−183964号公報には、エアシャワー装置において、広範囲かつ高効率の除塵を行えるようにするために、コアンダ効果を利用するノズルを用いた構成が記載されている。コアンダ効果を利用したノズルでは、ノズルの空気吹き出し部における空気の流動方向が時間的に変化する。
特開2004−183964号公報
特開2004−183964号公報記載のエアシャワー装置では、コアンダ効果により、ノズルの空気吹き出し部における空気の流動方向が変化するため、変化しない方式のものに比べ、除塵効率が高くかつ空気の吹き出し範囲も広い。しかしながら、ノズルの空気吹き出し部が固定されているため、該空気の吹き出し範囲をさらに増大させることは難しいと考えられる。該空気の吹き出し範囲のさらなる増大化は、例えばノズルの増設により可能となるが、この場合には製造コストの増大につながる。
本発明の課題点は、上記従来技術の状況に鑑み、コアンダ効果を利用するノズルを用いたエアシャワー装置において、各ノズルの空気吹き出し範囲をさらに増大できるようにすることである。
本発明の目的は、使い勝手が良く、除塵効率の高いエアシャワー装置を提供することにある。
上記課題点を解決するために、本発明では、エアシャワー装置として、空気吹き出し用のノズルを、フィルタ側からの空気をエアシャワー室側に導く第1の空気流動路と、該第1の空気流動路の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路とを設けた第1の構体と、該第1の構体を回動可能に支持する第2の構体とを備えて成り、第1の空気流動路に吸込んだ空気の一部を第2の空気流動路に流し、該第2の空気流動路が該第1の空気流動路と交わる領域間に圧力差を生じさせ、該圧力差の時間的変化により、第1の空気流動路を流れる空気の流動方向を時間的に変化させる構成とする。
本発明によれば、エアシャワー装置において、ノズルの空気吹き出し範囲をさらに増大させることができ、除塵効率の向上、使い勝手性の改善を図ることが可能となる。
以下、本発明の実施例につき、図面を用いて説明する。
図1〜図4は、本発明の実施例としてのエアシャワー装置の説明図である。図1は、本発明の実施例としてのエアシャワー装置の構成例図、図2は、図1のエアシャワー装置に用いるノズルの構成例図、図3は、図2のノズルにおける空気流動路の説明図、図4は、図1のエアシャワー装置におけるノズル配置の説明図である。
以下、図面で用いる構成要素の符号や座標軸は全図について共通のものを用いるとする。
図1において、1は、エアシャワー室内に空気を吹き出し、人体や衣類や製品など清浄化する対象体に当て、付着している塵埃を除去するエアシャワー装置、11は、空気を圧縮して送風する送風機、12a、12bは、送風機11からの空気を濾過するフィルタ、13はエアシャワー室、14a、14bはドア、15は筐体、16、16a〜16gはそれぞれ、フィルタ12a、12b側からの空気を上記エアシャワー室13内に吹き出すノズルである。
上記ノズル16は、各ノズル16a、16b、16c、…、16gが、その内部に空気流動路が形成された第1の構体と、該構体を回動可能に支持する第2の構体とを備えて成る。第1の構体は、空気流動路として、フィルタ12a、12b側からの圧縮された空気をエアシャワー室13側に導く第1の空気流動路と、該第1の空気流動路の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路とが設けられた構成を有する。
図1では、ノズル16として、エアシャワー室13に対して左側(−Y軸方向)に配置されたノズル16a〜16gだけを示したが、エアシャワー室13の右側(Y軸方向)にもノズルが配置されているものとする。
図2は、ノズル16のうちの1つのノズル16aの構成例図である。
図2において、161は、内部に空気流動路が形成された第1の構体、162は、該第1の構体161を回動可能に支持する第2の構体、1611a、1611bは、フィルタ12a、12b側からの圧縮された空気をエアシャワー室13側に導く第1の空気流動路、1612a、1612bは、該第1の空気流動路の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路、1611aiは、第1の空気流動路1611aの空気流入口、1611boは、第1の空気流動路1611bの空気吹き出し口、Eiは流入空気、Eoは吹き出し空気である。第1の構体161内において、第2の空気流動路1612は、コアンダ効果により第1の空気流動路1611a、1611b内における空気の流れの方向を時間的に変化させる。すなわち、第1の空気流動路1611aに流入した空気の一部が第2の空気流動路1612a、1612bを流れることにより、該第2の空気流動路1612a、1612bが該第1の空気流動路1611aと交わる領域間に圧力差を生じ、該圧力差によって、該第1の空気流動路1611a、1611b内を流れる空気の流動方向が時間的に変化し、該第1の空気流動路1611a、1611b内で気流振動が発生する。
第1の構体161はその表面に凸状曲面すなわち凸状球面を有し、第2の構体162はその表面に凹状曲面すなわち凹状球面を有する。第1の構体161は、その凸状球面が第2の構体162の凹状球面によって直接的にまたは間接的に支持され、該第2の構体162に対し3次元的に回動可能な構成であり、少なくとも、第1の空気流動路1611a、1611bを流れる空気の流動方向が変化するXY平面内及び該XY平面に直角なYZ平面内で回動可能な構成である。他のノズル16b〜16gも該ノズル16aと同様の構成を有するとする。
図3は、図2のノズル16aにおける第1の構体161内の空気流動路の説明図である。(a)は、図2の構成のA−A'断面図、(b)は、図2の構成のB−B'断面図である。
図3において、Q、Qはそれぞれ、第2の空気流動路1612aが第1の空気流動路1611aと交わる領域、Q、Qはそれぞれ、第2の空気流動路1612bが第1の空気流動路1611aと交わる領域である。かかる構成において、空気の流動時、コアンダ効果が発生する。
フィルタ12a、12b側からの圧縮された空気が、ノズル16aの第1の構体161内において、空気流入口1611aiから第1の空気流動路1611aに流入されると、該空気はその一部が第2の空気流動路1612a、1612bに流入するとともに、領域Q、Q、Q、Qのそれぞれに渦を発生し、領域Q、Q間及びQ、Q間に圧力差を生ずる。該圧力差は、該第1の空気流動路1611a、1611b内を流れる空気の流動方向を時間的に変化させる。例えば、ある時点で領域Qの圧力が領域Qの圧力よりも低く、領域Qの圧力が領域Qの圧力よりも低い場合には、第1の空気流動路1611a内の空気の流れは領域Q、Q側に引き寄せられる。かかる流動状態では空気は、時間経過とともに、領域Q、Qで圧力が次第に増大し、領域Q、Qでの圧力が次第に減少する。領域Q、Qでの圧力の増大及び領域Q、Qでの圧力の減少に伴い、第1の空気流動路1611a内の空気の流れは、領域Q、Q側から次第に離間し、やがてある時点で、領域Qの圧力が領域Qの圧力よりも低く、領域Qの圧力が領域Qの圧力よりも低くなった場合には、第1の空気流動路1611a内の空気の流れは領域Q、Q側に引き寄せられる。このように、第2の空気流動路1612a、1612bが、第1の空気流動路1611a内の空気の流れを、領域Q、Q側に引き寄せたり、領域Q、Q側に引き寄せたりして、気流をXY平面内で振動させる(コアンダ効果)。第1の空気流動路1611b内の空気の流れも、第1の空気流動路1611a内の空気の流れに従ってその方向(流動方向)が変化し、振動状態となる。
図4は、図1のエアシャワー装置1におけるノズル配置例を示す図である。
図4において、16a'、16h'は、図1のエアシャワー室13の右側(Y軸方向)に配され、ノズル16a、16hとは−X軸方向にそれぞれ所定距離x、xずらして配されたノズル、30は、例えばクリーンルーム内で作業するために清浄化される対象としての人物(作業者)である。ノズル16a'、16h'はそれぞれ、ノズル16a、16hと同様、第1の構体内に、上記図2、図3で説明した構成の第1、第2の空気流動路を備え、かつ、第1の構体は、第2の構体により回動可能に支持されているものとする。また、図4では図示されていないが、エアシャワー室13の右側(Y軸方向)にはさらに、ノズル16b'〜16g'、16i'、16j'がそれぞれ、ノズル16b〜16g、16i、16jに対し、−X軸方向に所定距離ずらしては配されている。この他、エアシャワー室13の左側のノズルと右側のノズルは、Z軸方向に互いにずれた位置に配されるようにしてもよい。
上記図1〜図4で説明した構成のエアシャワー装置1によれば、ノズル16a〜16j、16a'〜16j'がそれぞれ、第1の構体161が、第2の空気流動路1612により、第1の空気流動路1611a、1611b内を流れる空気の流動方向を時間的に変化させ、し、該第1の空気流動路1611a、1611b内で気流振動を起こさせることにより、フィルタ12a、12b側からの空気をエアシャワー室13内の広範囲の領域に吹き出させることができる上、該第1の構体161を第2の構体162に対し3次元的に回動させることで、上記流動方向が変化した空気の吹き出される方向をノズル毎に変えることができるとともに、該吹き出される空気のエアシャワー室13内での到達領域をさらに広範囲化することができる。この結果、人物30の体や衣服などに付着した塵埃等を効果的に吹き飛ばして取り除くことができる。また、ノズル数の減少も可能となり、この点からの低コスト化を図ることができる。
図5は、ノズルの他の構成例を示す図である。本例は、ノズルの第1の構体が、第1の空気流動路を流れる空気の流動方向が変化する平面内で、第2の構体に対し回動可能な構成の場合である。
図5において、161'はノズルの第1の構体、1611a'、1611b'は、フィルタ側からの圧縮された空気をエアシャワー室側に導く第1の空気流動路、1612'は、該第1の空気流動路の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路、1611ai'は、第1の空気流動路1611a'の空気流入口、1611bo'は、第1の空気流動路1611b'の空気吹き出し口、Ei'は流入空気、Eo'は吹き出し空気である。第1の構体161'内において、第2の空気流動路1612'は、コアンダ効果により第1の空気流動路1611a'、1611b'内における空気の流れの方向を変化させる。すなわち、第1の空気流動路1611a'に流入した空気の一部が第2の空気流動路1612'を流れることで、該第2の空気流動路1612'が該第1の空気流動路1611a'と交わる2つの部分間に圧力差を生じ、該圧力差により、該第1の空気流動路1611a'、1611b'内を流れる空気の流動方向が時間的に変化し、該第1の空気流動路1611a'、1611b'内で気流振動が発生する。この結果、流動方向が時間的に変化した吹き出し空気Eo'が、空気吹き出し口1611bo'から吹き出される。ノズルの第1の構体161'は、第1の空気流動路1611a'、1611b'内を流れる空気の流動方向が変化するXY平面内で、第2の構体(図示なし)に対しθの角度範囲で回動する。
ノズルの第1の構体として上記図5の第1の構体161'を用いたエアシャワー装置の場合も、第1の空気流動路1611a'、1611b'を流れる空気の流動方向が変化する平面内で空気吹き出し口から吹き出される空気のエアシャワー室内での到達領域をさらに広範囲化することができる。エアシャワー室内での該到達領域を各ノズル毎に変えることも可能である。この結果、人体や衣服や製品など清浄化対象体に付着している塵埃等を効果的に吹き飛ばすことができる。
図6は、ノズルの他の構成例を示す図である。本例は、ノズルの第1の構体が、第1の空気流動路を流れる空気の流動方向が変化する平面に直角な平面内で、第2の構体に対し回動可能とした構成の場合である。
図6において、16''はノズル,161''はノズル16''の第1の構体、162''はノズル16''の第2の構体、1611''は、フィルタ側からの圧縮された空気をエアシャワー室側に導く第1の空気流動路、1612''は、該第1の空気流動路1611''の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路、1611i''は、第1の空気流動路1611''の空気流入口、1611o''は、第1の空気流動路1611''の空気吹き出し口、Ei''は流入空気、Eo''は吹き出し空気である。第1の構体161''内において、第1の空気流動路1611''内を流れる空気は、第2の空気流動路1612''によって流動方向XY平面内で変化し、気流振動を発生する。第1の構体161''は、第1の空気流動路1611''内を流れる空気の流動方向が変化するXY平面に直角なYZ平面内で、第2の構体162''に対しθの角度範囲で回動する。
ノズルとして上記図6のノズル16''を用いたエアシャワー装置の場合も、第1の空気流動路1611''を流れる空気の流動方向が変化する平面に直角な平面内で空気吹き出し口から吹き出される空気のエアシャワー室内での到達領域をさらに広範囲化することができる。エアシャワー室内での該到達領域を各ノズル毎に変えることも可能である。この結果、清浄化する対象体に付着している塵埃等を効果的に吹き飛ばすことができる。
図7は、ノズルの第1の構体内における空気流動路の他の構成例を示す図である。本例は、ノズルの第1の構体内において、第1の空気流動路が複数の流動路に分岐した構成の場合である。(a)、(b)、(c)は、第1の空気流動路内を流れる空気の流動方向がXY平面内で時間的に変化する状態を示す。
図7において、161はノズルの第1の構体、1611は、フィルタ側から流入された空気を導く第1の空気流動路、1611B1、1611B2、1611B3はそれぞれ、第1の空気流動路1611から分岐した複数の流動路(第1の空気流動路)、1612は、第1の空気流動路1611の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路、1611Aiは空気流入口、1611Bo1、1611Bo2、1611Bo3はそれぞれ、第1の空気流動路1611B1、1611B2、1611B3の空気吹き出し口、Eiは流入空気、Eは、第1の空気流動路1611における流動空気、EBo1、EBo2、EBo3はそれぞれ、空気吹き出し口1611Bo1、1611Bo2、1611Bo3からの吹き出し空気である。
図7において、第1の構体161内において、第2の空気流動路1612は、コアンダ効果により第1の空気流動路1611内における空気の流れの方向を少なくともXY平面内で変化させる。すなわち、第1の空気流動路1611に流入した空気の一部が第2の空気流動路1612内を流れることにより、該第2の空気流動路1612が該第1の空気流動路1611と交わるQ'部、Q'部それぞれの圧力状態を変化させる。(a)は、Q'部、Q'部間に圧力差を生じた場合すなわちQ'部の圧力がQ'部の圧力よりも低くなった場合の第1の構体161内の空気の流動状態を示す。この場合、該圧力差により、該第1の空気流動路1611内を流れる空気の流れがX軸方向に引き寄せられ、流動空気Eの状態となる。この結果、分岐した空気流動路である第1の空気流動路1611B1、1611B2、1611B3に対しては、第1の空気流動路1611B1への空気流入量が最も多く、次に第1の空気流動路1611B2への空気流入量が多く、第1の空気流動路1611B3への空気流入量は最も少なくなる。第1の空気流動路1611B1からは流量が最も多い吹き出し空気EBo1が吹き出され、第1の空気流動路1611B2からは流量が次に多い吹き出し空気EBo2が吹き出され、第1の空気流動路1611B3からは流量が最も少ない吹き出し空気EBo3が吹き出される。
その後、時間経過とともに第2の空気流動路1612内を流れる空気の状態が変化し、Q'部、Q'部間の圧力差が減少する。該圧力差が減少するにつれ、第1の空気流動路1611内を流れる空気の流れが−X軸方向に引き戻される。(b)は、Q'部、Q'部間の圧力差がほぼゼロとなった場合の第1の構体161内の空気の流動状態を示す。このときの(b)に示す。(b)の状態においては、分岐した第1の空気流動路1611B2への空気流入量が最も多く、第1の空気流動路1611B1、1611B3への空気流入量はほぼ等しくなる。第1の空気流動路1611B2からは流量が最も多い吹き出し空気EBo2が吹き出され、第1の空気流動路1611B1、1611B3からは流量がほぼ等しい吹き出し空気EBo1、EBo3が吹き出される。
さらに、その後、時間経過とともに第2の空気流動路1612内を流れる空気の状態がさらに変化し、Q'部、Q'部間の圧力差が増大しQ'部の圧力がQ'部の圧力よりも高くなるすなわちQ'部の圧力がQ'部の圧力よりも低くなる。Q'部の圧力がQ'部の圧力よりも低くなることで、第1の空気流動路1611内を流れる空気の流れがさらに−X軸方向に引き戻され、(c)の流動状態となる。(c)の状態では、第1の空気流動路1611B3からは流量が最も多い吹き出し空気EBo1が吹き出され、第1の空気流動路1611B2からは流量が次に多い吹き出し空気EBo2が吹き出され、第1の空気流動路1611B1からは流量が最も少ない吹き出し空気EBo3が吹き出される。
上記のように、図7のノズルの第1の構体161の第1の空気流動路1611、1611B1、1611B2、1611B3内の空気の流動状態は、時間の経過とともに(a)、(b)、(c)の順に変化する。第1の構体161は、第1の空気流動路を流れる空気の流動方向が変化する平面内または該平面に直角な平面内で回動可能なように、第2の構体(図示なし)によって支持されているものとする。
図7の第1の構体161をノズルに用いた構成のエアシャワー装置の場合も、第1の空気流動路1611、1611B1、1611B2、1611B3を流れる空気の流動方向が変化するXY平面内で、空気吹き出し口から吹き出される空気のエアシャワー室内での到達領域をさらに広範囲化することができる。また、エアシャワー室内での該到達領域を各ノズル毎に変えることも可能である。この結果、清浄化する対象体に付着している塵埃等を効果的に吹き飛ばすことができる。
図8は、ノズルの第1の構体内における空気流動路のさらに他の構成例を示す図である。本例は、ノズルの第1の構体内において、第1の空気流動路が複数の流動路に分岐し、該分岐した複数の流動路に対して第2の空気流動路を設けた場合である。
図8において、161'はノズルの第1の構体、1611'は、フィルタ側から流入された空気を導く第1の空気流動路、1611B1'、1611B2'、1611B3'はそれぞれ、第1の空気流動路1611'から分岐した複数の流動路(第1の空気流動路)、1612P1'、1612P2'、1612P3'は、第1の空気流動路1611B1'、1611B2'、1611B3'の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路、1611Ai'は空気流入口、1611Bo1'、1611Bo2'、1611Bo3'はそれぞれ、第1の空気流動路1611B1'、1611B2'、1611B3'の空気吹き出し口、Eiは流入空気、EBo1'、EBo2'、EBo3'はそれぞれ、空気吹き出し口1611Bo1'、1611Bo2'、1611Bo3'からの吹き出し空気である。
図8において、第1の構体161'内において、第2の空気流動路1612P1'、1612P2'、1612P3'は、コアンダ効果により第1の空気流動路1611B1'、1611B2'、1611B3'内における空気の流れの方向を少なくともXY平面内で変化させる。すなわち、第1の空気流動路1611B1'、1611B2'、1611B3'に流入した空気の一部が第2の空気流動路1612P1'、1612P2'、1612P3'内を流れることにより、該第2の空気流動路1612P1'、1612P2'、1612P3'がそれぞれ、該第1の空気流動路1611B1'、1611B2'、1611B3'と交わる領域の圧力状態を変化させる。該圧力状態の変化により、第1の空気流動路1611B1'、1611B2'、1611B3'のそれぞれにおいて、流れる空気の流動方向がXY平面内で変化する。
上記のように、図8のノズルの第1の構体161'の第1の空気流動路1611B1'、1611B2'、1611B3'のそれぞれにおいて、空気の流動状態は、時間の経過とともに変化する。第1の構体161'は、第1の空気流動路を流れる空気の流動方向が変化する平面内で回動可能なように、第2の構体(図示なし)によって支持されているものとする。
図8の第1の構体161'をノズルに用いた構成のエアシャワー装置の場合も、第1の空気流動路1611B1'、1611B2'、1611B3'を流れる空気の流動方向が変化するXY平面内で空気吹き出し口から吹き出される空気のエアシャワー室内での到達領域をさらに広範囲化することができる。また、エアシャワー室内での該到達領域を各ノズル毎に変えることも可能である。この結果、清浄化する対象体に付着している塵埃等を効果的に吹き飛ばすことができる。
図9は、エアシャワー装置における他のノズル配置例を示す図である。2個のノズル16a、16a'を、エアシャワー室の入り口側に近い位置と出口側に近い位置とに配し、所定の除塵効果を得るようにすることも可能である。
本発明の実施例としてのエアシャワー装置の構成例図である。 図1のエアシャワー装置に用いるノズルの構成例図である。 図2のノズルにおける空気流動路の説明図である。 図1のエアシャワー装置におけるノズル配置例を示す図である。 エアシャワー装置におけるノズルの他の構成例図である。 ノズルのさらに他の構成例図である。 ノズルの第1の構体内における空気流動路の他の構成例を示す図である。 ノズルの第1の構体内における空気流動路のさらに他の構成例を示す図である。 エアシャワー装置における他のノズル配置例を示す図である。
符号の説明
1…エアシャワー装置、
11…送風機、
12a、12b…フィルタ、
13…エアシャワー室、
14a、14b…ドア、
15…筐体、
16、16a〜16g、16a'、16h'、16''…ノズル、
161、161'、161''、161…第1の構体、
162、162''…第2の構体、
1611a、1611b、1611a'、1611b'、1611''、1611、1611B1、1611B2、1611B3…第1の空気流動路、
1612a、1612b、1612'、1612''、1612…第2の空気流動路、
1611ai、1611ai'、1611i''、1611Ai…空気流入口、
1611bo、1611bo'、1611o''、1611Bo1、1611Bo2、1611Bo3…空気吹き出し口。

Claims (5)

  1. エアシャワー室内に空気を吹き出して清浄化する対象体に当て塵埃を除去するエアシャワー装置であって、
    空気を圧縮して送風する送風機と、
    上記送風機からの空気を濾過するフィルタと、
    上記フィルタ側からの空気を上記エアシャワー室内に吹き出すノズルと、
    を備え、
    上記ノズルが、
    内部に、上記フィルタ側からの空気を上記エアシャワー室側に導く第1の空気流動路と、該第1の空気流動路の側壁の互いに対向する位置に連通した第2の空気流動路とが設けられた第1の構体と、
    上記第1の構体を回動可能に支持する第2の構体と、
    を備え、上記第1の構体内において、上記第1の空気流動路に吸込まれた空気の一部が上記第2の空気流動路を流れることにより、該第2の空気流動路と該第1の空気流動路とが交わる領域間に圧力差を生じ、該圧力差により、該第1の空気流動路を流れる空気の流動方向が時間的に変化する構成とされていることを特徴とするエアシャワー装置。
  2. 上記ノズルは、上記第1の構体の上記第1の空気流動路が複数の流動路に分岐した構成である請求項1に記載のエアシャワー装置。
  3. 上記ノズルは、上記第1の構体がその表面に凸状曲面を有し、上記第2の構体がその表面に凹状曲面を有し、該第1の構体は、該凸状曲面が該第2の構体の該凹状曲面側に支持された状態で該第2の構体に対し3次元的に回動可能な構成である請求項1または請求項2に記載のエアシャワー装置。
  4. 上記ノズルは、上記第1の構体がその表面に凸状曲面を有し、上記第2の構体がその表面に凹状曲面を有し、該凸状曲面が該凹状曲面側に支持され、該第1の構体は該第2の構体に対し、上記第1の空気流動路を流れる空気の流動方向が変化する平面内または該平面に直角な平面内で回動可能な構成である請求項1または請求項2に記載のエアシャワー装置。
  5. 上記ノズルは、上記エアシャワー室を形成する内壁のうち対向する内壁のそれぞれの面内にあって、互いに対向位置からずれた位置に設けられる請求項1または請求項2に記載のエアシャワー装置。
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