JP3484979B2 - クリーンルームのフィルタユニット - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルームのフ
ィルタユニットに係り、特に精密機械工場等の高い清浄
度と低コストが要求されるクリーンルームのフィルタユ
ニットに関する。 【０００２】 【従来の技術】クリーンルームの天井面には、敷設され
た格子状の天井フレームに複数のフィルタユニットが設
置され、このフィルタユニットによりクリーンルーム内
に層流状態の清浄エアが供給される。フィルタユニット
は、必ずしも天井全面に設置されるわけではなく、要求
される清浄度と換気回数との関係により間引きして配置
されることがある。例えば、清浄度クラスが１０００よ
り低いレベルのクリーンルームでは、フィルタユニット
を間引きして設置していた。即ち、フィルタユニット
は、高い清浄度が要求される領域の真上に配置し、フィ
ルタユニットを間引きした天井フレームの空間部分に
は、閉塞板を設置していた。そして、クリーンルーム内
に流出する塵埃の対象粒径や許容個数を満足する範囲内
で、換気回数を上げることにより清浄度を向上させてい
た。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来設
備のようにフィルタユニットを間引きして設置すると、
フィルタユニットの下方において層流状態のエア領域が
形成される一方で、閉塞板の下方において大きな渦流が
発生するという欠点がある。その結果、この領域の塵埃
がクリーンルーム外に流出せずに滞留し、クリーンルー
ムの清浄度が低下するという問題が発生していた。 【０００４】また、閉塞板の下方で大きな渦流が発生す
ると、この領域の塵埃が、フィルタユニットの下方、即
ち、層流状態のエア領域に流入してしまうので、高清浄
度領域が形成されにくいという欠点があった。本発明は
このような事情に鑑みて成されたもので、コストを増大
させずに、要求される清浄度を満足することのできるク
リーンルームのフィルタユニットを提供することを目的
とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、フィルタを有するユニット本体をクリーン
ルームの天井面に設け、前記フィルタにエアを通過させ
て、前記クリーンルーム内に清浄エアを層流状態で吹き
出すクリーンルームのフィルタユニットにおいて、前記
ユニット本体から架設されたダクトによって前記ユニッ
ト本体内の清浄エアが誘導されて供給されるとともに、
前記ユニット本体から離れた位置で、前記ユニット本体
を囲むように配置されたスリット状のエア噴出口と、前
記ユニット本体と前記ダクトとの連結部に設けられ、前
記ダクトの下端から前記ユニット本体の内側上方に向け
て傾斜するように形成され、前記ユニット本体内の清浄
エアの一部を前記ダクト内に分配するガイド板と、を備
え、前記ユニット本体内の清浄エアの一部を、前記ユニ
ット本体から層流状態で吹き出されるエア領域の外側
に、前記エア噴出口から噴出し、前記ユニット本体から
層流状態で吹き出されるエア領域の外側の渦流の発生を
抑止することを特徴とする。 【０００６】本発明によれば、ユニット本体から層流状
態で吹き出されるエア領域の外側に、噴出部材の噴出口
から清浄エアを噴出するようにしたので、この領域に大
きな渦流が発生するのを抑止することができる。これに
より、この領域の塵埃がクリーンルーム内に滞留しにく
くなるので、クリーンルームの清浄度を向上させること
ができる。しかも、本発明は、前記噴出口からユニット
本体内の清浄エアを噴出するので、フィルタを増設する
必要がない。これにより、コストを増大することなく、
クリーンルームの清浄度を向上させることができる。従
って、本発明は、天井面にフィルタユニットを間引きし
て設置したクリーンルームにおいて特に有効であり、従
来の換気回数やコスト等の条件を殆ど変えることなく、
クリーンルームの清浄度を向上させることができる。 【０００７】また、前記噴出口をスリット状に形成し、
ユニット本体の吹出開口を囲むように配置すると、層流
状態のエア領域を囲むようなエアカーテンが形成され
る。これにより、前記エア領域の外側の塵埃が、前記エ
ア領域に流入するのを防止することができる。即ち、ユ
ニット本体の下方に高清浄度領域を形成することができ
る。 【０００８】 【発明の実施の形態】以下添付図面に従って、本発明に
係るクリーンルームのフィルタユニットの好ましい実施
の形態について詳説する。図１は、本発明のクリーンル
ームのフィルタユニット１２を天井面に設置したクリー
ンルーム１０の縦断面図である。また、図２は、フィル
タユニット１２の下面図である。 【０００９】図１に示すように、クリーンルーム１０
は、天井面にフィルタユニット１２が設けられ、このフ
ィルタユニット１２によって塵埃が捕集されて、クリー
ンルーム１０内に清浄エアが供給される。この清浄エア
は、クリーンルーム１０内の塵埃と共に、側壁下部に設
けられた吸込口１３からクリーンルーム１０外に排気さ
れ、図示しない循環路を介して天井裏空間に戻る。天井
裏空間に戻ったエアは、フィルタユニット１２によって
再び浄化され、クリーンルーム１０内に供給される。
尚、図１では、フィルタユニット１２を天井面に設置
し、吸込口１３を側壁下部に配置したがこれに限定する
ものではない。例えば、吸込口１３の代わりに床面にグ
レーチング床を配置して、このグレーチング床からエア
を排気してもよい。 【００１０】フィルタユニット１２は、主として、ケー
シング（ユニット本体）１８、ＨＥＰＡフィルタ２０及
びパンチングメタル２２で構成される。図１に示したク
リーンルーム１０は、中央にベルトコンベア等の作業台
１４が設けられており、この領域において特に高い清浄
度が要求される。ケーシング１８は、この領域の天井面
に設置され、矩形状に形成される。また、ケーシング１
８は、天井裏空間側とクリーンルーム１０側の両方に開
口しており、天井裏空間側の開口には、ファン等の図示
しない送気手段が設けられ、天井裏空間のエアをケーシ
ング１８の内部に送気することができる。ケーシング１
８の内部には、ＨＥＰＡフィルタ２０が水平に設けら
れ、ケーシング１８内を通過するエアの塵埃を捕集する
ことができる。一方、ケーシング１８のクリーンルーム
１０側の開口には、クリーンルーム１０内に送気される
エアに適切な圧力損失を与えるような、例えば、開口率
３０％のパンチングメタル２２が設けられる。これによ
り、常に適切な風量の清浄エアをパンチングメタル２２
の孔（吹出開口）からクリーンルーム１０内に吹き出す
ことができる。 【００１１】また、クリーンルーム１０の天井面には、
図２に示すように、フィルタユニット１２を囲むように
ダクト（噴出部材）３０が設けられる。ダクト３０は、
ケーシング１８の側板に平行な４つのダクトを連結した
枠状に形成される。ダクト３０とフィルタユニット１２
の間には、複数のダクト３２、３２…が架設され、ＨＥ
ＰＡフィルタ２０の下側のケーシング１８内とダクト３
０内とを連通している。また、ダクト３２とケーシング
１８との連結部には、ガイド板３４が設けられる。ガイ
ド板３４は、図１に示したように、ダクト３２下端から
ケーシング１８の内側上方に向けて傾斜するように設け
られる。これにより、ケーシング１８内の清浄エアの一
部を、スムーズにダクト３２内に誘導してダクト３０に
送気することができる。尚、ガイド板３４は、上述した
形状に限定するものではなく、フィルタユニット１２内
の清浄エアをダクト３２内にスムーズに誘導できるのな
らば何でもよい。 【００１２】ダクト３０の下面には、図２に示したよう
に、４つの噴出口２８、２８…が設けられる。この噴出
口２８、２８…は、それぞれ、パンチングメタル２２の
縁に平行なスリット状に形成される。これにより、噴出
口２８から吹き出されるエアは、フィルタユニット１２
の下方領域を囲むようなエアカーテンを形成するので、
この領域に塵埃が流入するのを防止することができる。
尚、噴出口２８は、従来渦流を発生していた領域の中央
付近、即ち、ケーシング１８とクリーンルーム１０の側
壁の中央付近に配置することが好ましい。 【００１３】次に、上記の如く構成されたクリーンルー
ムのフィルタユニット１２の作用について説明する。上
述したクリーンルーム１０では、清浄エアがパンチング
メタル２２の孔と噴出口２８からクリーンルーム１０内
に吹き出される。即ち、天井裏空間のエアは、図示しな
い送気手段によってフィルタユニット１２のケーシング
１８内に送気され、ＨＥＰＡフィルタ２０で塵埃が捕集
される。そして、塵埃が捕集された清浄エアの大部分
は、パンチングメタル２２の孔からクリーンルーム１０
内に層流状態で吹き出される。これにより、パンチング
メタル２２の下方に、高清浄度領域を形成することがで
きる。 【００１４】また、ケーシング１８内の清浄エアの一部
は、パンチングメタル２２によって圧力損失を受けると
共に、ガイド板３４によってスムーズにダクト３２内に
誘導されるので、ダクト３２及びダクト３０を介して噴
出口２８からクリーンルーム１０内に勢い良く噴出され
る。これにより、層流状態のエア領域外側に大きな渦流
が発生するのを防止することができる。従って、この領
域の塵埃がクリーンルーム１０内に留まりにくくなるの
で、クリーンルーム１０の清浄度を向上させることがで
きる。また、噴出口２８は、ケーシング１８を囲むよう
なスリット状に形成されているので、噴出したエアによ
って層流状態のエア領域を囲むようなエアカーテンが形
成される。これにより、前記エア領域に塵埃が流入する
のを防止することができ、フィルタユニット１２の下方
に高清浄度領域を形成することができる。 【００１５】このように、本実施の形態のクリーンルー
ムのフィルタユニット１２は、パンチングメタル２２が
設置された天井面の周囲に噴出口２８を設け、この噴出
口２８からフィルタユニット１２内の清浄エアを噴出す
るので、層流状態のエア領域の外側に従来発生していた
渦流の発生を抑止することができる。これにより、クリ
ーンルーム１０の清浄度を向上させることができる。ま
た、ケーシング１８内の清浄エアを噴出口２８から噴出
するので、ＨＥＰＡフィルタ２０の個数を抑えることが
でき、コストを増大させることなく、クリーンルーム１
０の清浄度を向上させることができる。更に、噴出口２
８から吹き出されたエアがエアカーテンを形成するの
で、ケーシング１８下方の高清浄度領域に塵埃が流入す
るのを防止することができ、特定の領域に高清浄度が要
求された場合にも対応することができる。 【００１６】尚、上述した実施の形態では、ダクト３０
に設けた噴出口２８をスリット状に形成したが、これに
限定するものではなく、渦流の発生を防止できるもので
あれば何でもよい。また、上述した実施の形態では、ダ
クト３０を枠状に形成したが、これに限定するものでは
なく、例えば、箱状の４本のダクトを設けて、それぞれ
をケーシング１８に連結してもよい。従って、噴出口２
８の配置も上述した実施の形態に限定するものではな
い。例えば、ダクト３０及び噴出口２８をクリーンルー
ム１０の入口近辺の天井面に設けてもよい。これによ
り、クリーンルーム１０内に出入りする際の塵埃の流入
を防止することができる。 【００１７】また、フィルタユニット１２は、複数台、
設置しても良く、その場合、どのように配置してもよ
い。更に、上述した実施の形態では、分配手段としてパ
ンチングメタル２２とガイド板３４の両方を設置した
が、いずれか一方であってもよい。 【００１８】 【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るクリ
ーンルームのフィルタユニットは、ユニット本体の外側
の天井面に噴出口を設け、この噴出口からクリーンルー
ム内にユニット本体内の清浄エアを噴出するので、従来
発生していた渦流の発生を抑止することができる。これ
により、コストを増大させることなく、クリーンルーム
の清浄度を向上させることができる。 【００１９】また、噴出口をユニット本体を囲むような
スリット状に形成すると、ユニット本体下方の高清浄度
領域に塵埃が流入するのを防止できるので、特定の領域
に高い清浄度が要求される場合にも対応することができ
る。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明に係るクリーンルームのフィルタユニッ
トを用いたクリーンルームの縦断面図 【図２】本発明に係るクリーンルームのフィルタユニッ
トの下面図 【符号の説明】 １０…クリーンルーム １２…フィルタユニット ２０…ＨＥＰＡフィルタ ２２…パンチングメタル ２８…噴出口 ３０…ダクト（噴出部材） ３２…ダクト ３４…ガイド板

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】フィルタを有するユニット本体をクリーン
   ルームの天井面に設け、前記フィルタにエアを通過させ
   て、前記クリーンルーム内に清浄エアを層流状態で吹き
   出すクリーンルームのフィルタユニットにおいて、前記ユニット本体から架設されたダクトによって前記ユ
   ニット本体内の清浄エアが誘導されて供給されるととも
   に、前記ユニット本体から離れた位置で、前記ユニット
   本体を囲むように配置されたスリット状のエア噴出口
   と、 前記ユニット本体と前記ダクトとの連結部に設けられ、
   前記ダクトの下端から前記ユニット本体の内側上方に向
   けて傾斜するように形成され、 前記ユニット本体内の清
   浄エアの一部を前記ダクト内に分配するガイド板と、を
   備え、 前記ユニット本体内の清浄エアの一部を、前記ユニット
   本体から層流状態で吹き出されるエア領域の外側に、前
   記エア噴出口から噴出し、前記ユニット本体から層流状
   態で吹き出されるエア領域の外側の渦流の発生を抑止す
   ることを特徴とするクリーンルームのフィルタユニッ
   ト。