TW200945356A - Carrier board transfer system for handler that supports testing of electronic devices and method for transferring carrier board in chamber of handler - Google Patents

Description

200945356 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於支援電子裝置測試之處置器，且特別是 * 關於傳送載板的技術。 【先前技術】 用於支援測試器測試電子裝置的處置器有很多種，例 ® 如支援封裝狀態之半導體裝置測試的處置器、支援模組 隨機存取記憶體（RAM)測試的處置器等。 處置器一般依預設循環路徑傳遞載板（包含測試托 盤）’其上裝載複數個電子裝置，藉以測試載板上的電子 裝置。預設循環路徑上有測試位置，載板上的電子裝置 在此電性連接測試器，然後進行測試。 電子裝置在人為預置測試條件不經同化（assimilated) 參及測試。故處置器依測試條件施加應力至電子裝置，接 著電性連接電子裝置和測試器。為此，處置器包括腔室， 用以依測試條件施加應力至電子裝置及隔絕外部空氣 •熱，如此電子裝置可在維持施予電子裝置之應力的環境 -中測試。 處置器可包括複數個腔室。例如，具施加溫度應力至 電子裝置功能的處置器包括均熱室（s〇ak chamber)、測試 室和除熱室（de-soak chamber)。在載板傳送到測試位置 前，均熱至預先加熱/預先冷卻電子裝置。測試室維持電 4 200945356 子裝置於均熱室預先加熱/預先冷卻的溫度及進行測 試。除熱室使移自測試室之載板上的電子裝置溫度恢復 成接近室溫。均熱室亦稱為預熱室、加熱室、結霜室、 預熱器等。除熱室亦稱為恢復室、冷卻室、除霜室、除 * 霜器等。多份文件已刊載此技術。 當處置器包括腔室時，腔室内部變成載板循環路徑的 一部分《故處置器需要傳送載板通過腔室内部的方法， ^ 並設置適用此方法的傳送系統。

傳送腔室内部之載板的方法和載板傳送系統等相關技 術揭露於韓國專利號10-0277539、名稱為「模組1C處置 器室（CHAMBER OF MODULE IC HANDLER)」，此稱為” 習知技術1” ；韓國專利號10-0313007、名稱為「處置器 冷卻室中的測試托盤傳送設備（TEST TRAY TRANSFER APPARATUS IN HANDLER COOLING CHAMBER)」，此 稱為”習知技術2” ；韓國專利號10-0771475、名稱為「側 φ 入塢型測試處置器和傳送其測試托盤的設備（SIDE DOCKING-TYPE TEST HANDLER AND APPARATUS FOR TRANSFERRING TEST TRAY FOR THE SAME)」， 此稱為”習知技術3” ；和韓國專利號10-0771475、名稱 為「用於半導體裝置之測試處置器的測試托盤傳送設備 (TEST TRAY TRANSFER APPARATUS OF TEST HANDLER FOR SEMICONDUCTOR DEVICES)」，此稱為” 習知技術4”。 習知技術1是關於在腔室内逐步傳送載板的方法和系 5 200945356 7在習知技術】中’载板稱為 述之逐步傳送载板的方法乃_ :知技術1所 方法。在此，，，逐步，，是 、至部之載板的 間有傳送停止時間週期：送知作 子桊罟斤止時間週期與裝載電 =裝置到載㈣__、料龍 2 間週期'和自载板卸载電子裝置的時 巧戰罨子裝置的時間週期無關。 習知技術1所述之枯供仏 e 鲁 ^傳送載板時有傳送停止時間 週期，以致延遲此段時間後 、 週期需很短的情況下，習知 ψη 许心杜抆佾1無法加快載板傳送速 又和整體循環速度。循環時 ^ viL 叮]您朋窩很鈕的情況是指測 又 或條件所需的電子装置應在短時間内抵達腔室内部 因測試時間週期很短，故應快速循環傳送載板。 特別地’習知技術Μ缺點為’儘管二载板（前一載板 2下-載板）間沒有载板且前一載板與下—載板間尚有 空間放置載板，但仍無法傳送及放置下一載板靠近前一 載板，造成載·板傳送速度和整體循環速度增加有限。 在習知技術2中，傳送系統操作接收較低的新載板， 同時傳送前-載板（習知技術2稱之為托盤），然後相繼 傳送新的較低載板（即下一載板）且放置靠近前一栽板。 然此傳送系統於各傳送操作間仍有傳送停止時間週期， 此亦會造成習知技術1的問題。 習知技術3和4試圖解決習知技術〗和2的問題，即 消除傳送停止時間週期。 在習知技術3中’由於環狀轨道單元將載板（習知技術 6 200945356 3稱之為測試托盤）傳送到傳送終點且無傳送停止時間週 期’故此系統可加快載板傳送速度和整體循環速度。 然習知技術3的系統仍有缺點，即當現位於環狀軌道 * 單元最低側的拾起放置單元，拾起循環路徑上的前一栽 • 板’且垂直姿態改變設備無法運作時，若托盤放置設備 提供接著前一載板於循環路徑上傳送的下一載板至現位 於環狀軌道早元最高側的拾起放置單元，則不可能收集 ® 傳送方向上相鄰的前一載板和下一載板。故習知技術3 的系統對載板傳送速度和整體循環速度的增加有限。在 此，收集傳送方向上相鄰的前一載板和下一載板是指前 一載板留在其目前位置，而下一載板事先傳送到靠近前 一載板的位置。 在習知技術4中，系統配置使載板（習知技術4稱之為 測試托盤）因傳送棒旋轉而移動，並且依據控制词服馬達 _ 的方法產生或不產生傳送停止時間週期。 然習知技術4的系統仍有習知技術3的問題。 【發明内容】 為解決上述問題，本發明提出進行逐步傳送操作的載 板傳送系統和方法，同時依條件消除傳送停止時間週 期，並收集腔室内相隔且在載板傳送方向上彼此接近的 栽板。 根據本發明一實施例，本發明冑出傳送在紐電子裝 200945356 置測試之處置器中之载板的系統，包含：一傳送設備， 用以選擇性傳送位於傳送起始位置的載板到至少一或多 個中間傳送位置和傳送最終位置之一；以及至少一或多 個支樓設備’用以支承或鬆開位於該至少一或多個中間 傳送位置的载板。 較佳地，系統更包含一引導設備，用以引導傳送到傳 送起始位置的載板及支承或鬆開位於傳送起始位置的载 板。 較佳地，系統更包含一維持設備，用以粍住位於傳送 最終位置的載板。 較佳地，系統更包含：一支撐板，固定於系統，用以 支撐載板的邊緣部分β支撐設備包含：一支撐構件，用 以支承或鬆開載板的另一邊緣部分；以及一搬動器，用 以沿著往返載板的方向移動支撐構件。 則支撐設備為 較佳地，若系統設有複數個支撐設備，則 個別且獨立地操作。

較佳地，傳送設備包含：至少二或多個拾起單元 以拾起或鬆開載板；以及一傳送單&，用以 一或多個中間傳送位置和傳送最終位置之

8 200945356 成其一端耦接驅動源，另—端包括 端，該至少-或多個拾起端突 ：-或多個拾起 或轉角。 果支撐裁板的邊緣部份 較佳地，傳送單元包括：一螺桿 傳送方向之相對較長的長沿著載板 範圍内順向或逆向轉動螺桿；以以在-定角度 螺絲古斗、* t 聯結板。聯結板以 方式連接螺桿，且相應螺桿之 方向拉嗜必& 得動/〇著載板的傳送 万向在複移動。X，該至少二或吁疋 結板。 飞多個拾起單元係連接聯 根據本發明另一實施例， 裝置測今赞仏出傳送在支援電子 裝置^之處置器室内之載板的 送位於傳详#包含：選擇性傳 置和傳送最終位置之前—㈣y個中間傳送位 少一2-個位於傳送起始位置的載板則會傳送到該至 或夕個中間傳送位置。 於該2▲沿著垂直載板之裝載表面的方向傳送載板， 取表面上裝載有電子裝置1 袋2本”又—實施例’本發明提出支推在支援電子 部，用1:<處置器中之載板的設備，包含：—第一支樓 用以支M支承或鬆開載板的一邊緣部分；一第二支撐部， 部包含承或鬆開栽板的另一邊緣部分。在此，第二支撐 匕’〜支榜構件’用以支撐載板的另一邊緣部分. =及—搬動器’用以沿著往返載板的方向移動支樓構

牛。搬動1¾ 4 A

La : —轉轴，其具有一沿著载板傳送方向 200945356 之相對較長的長度；一轉動構件，其一端固定於轉轴， 且另一端係可旋轉地耦接支撐構件，其中該另一端相應 轉轴之轉動相對該一端旋轉；以及一驅動源，用以在一 定角度範圍内順向或逆向轉動轉轴而往復運動。 較佳地’搬動器更包含一輔助單元，用以協助支撐構 件相應轉軸之轉動而平衡地移動。 【實施方式】 以下將配合參照所附圖式詳細說明用於支援電子裝置 測試之處置器的載板傳送系統（簡稱傳送系統）和傳送在 支援電子裝置測試之處置器室内之載板的方法（簡稱傳 送方法）實施例。同樣的元件將不再贅述，以免渾淆本發 明之主題。 <實施例1> 第1圖繪示腔室CH，在此載板CB順著箭頭指示之傳 送流程Fw於傳送截面傳送’且保持水平狀態。 參照第1圖，載板CB進入腔室CH之前侧壁卜的上 部及座落於傳送起始位置s。根據本發明之系統開始自 傳送起始位置S傳送載板CB。即，傳送系統開始從傳送 起始位置s傳送載板CB、降低載板CB以通過第一中門 位置Mi和第二中間位置Μ"及將載板停放在傳送最終 位置E，在此終止傳送載板CB。載板CB從傳送最終位 置E經由腔室CH之右側壁Ri的下部輸出到外面。 200945356 為順著第1圖傳送流程Fw傳送載板CB，腔室CH之 前側壁Fr的上部設有入口，其右側壁Ri的下部設有出 口。入口係設置成由門（未繪示）打開或關閉。載板CB從 „ 入口進入並由出口離開。 • 出口係§又置成由門打開或關閉。然若另一腔室恰設在 腔室CH旁，則腔室CH之出口最好不設置門。 載板CB係由其他非為部份本發明傳送系統的傳送設 ❹ 備輸入入口及輸出出口。這些傳送設備乃廣為人知，故 本申請案不另行說明。 第2圖為載板傳送系統2〇〇〇的透視圖，用以傳送第1 圖腔室CH内的載板CB。 如第2圖所示’根據本發明一實施例之傳送系統2〇〇〇 女裝在腔室CH的内部和外部。其包括引導設備21〇〇、 傳送設備2200、第一支撐設備23〇〇、第二支撐設備2400 和維持設備2500。 鑤 引導設借？inn

引導設備2100從腔室ch外部引導載板CB至腔室CH * 的傳送起始位置s’接著在傳送起始位置S處，或自該 ' 位置支承或鬆開載板CB。為此，如第3圖所示，引導設 備21〇〇係建構成包括引導及支撐載板cb左側的第一導 杆部2110和引導及支撐載板€]Β右側的第二導杆部 2120。第一和第二導杆部211〇、212〇設於引導設備2100 的對側（左側和右侧）。 第一導杆部2110包括第一導杆21U和第一間隔調節 11 200945356 器 2112。 第一導杆2m引導現進入的載板⑶左側及支擇位於 傳送起始位置s的載板CB左側，以防載板掉落。第一 ' 導杆°卩2110具有朝左邊方向伸出的聯結端2111a。 • 帛一間隔調節器2112能讓第一導杆2111支承或鬆開 載板CB的左側。第一間隔調節器2ii2係建構成包括間 隔調節軸2112a、間隔調節構件2U2b、驅動源2心和 ❹ 輔助單元2II2d。 間隔調節轴2112a在沿著載板CB之傳送方向具有較長 的長度’即上下方向。驅動源2112。在一定角度範圍内 順向或逆向轉動間隔調節軸2U2a，且驅動源2112。的上 端設於腔室CH的上側壁τ〇。 / =調節構件2112b係建構成其左端固^或整合於間 隔調即轴2112a的下端，其右端可旋轉地叙接聯結端 2UU。當驅動源2112c操作使間隔調節轴2n2a順向或 $向轉動時’間隔調節構件2丨丨2b的右端亦相對間隔調 節構件2112b的左端順向或逆向轉動一定角度。 - 驅動源2112。設於腔室CH的上側壁τ〇外面。驅動源 -在定角度範圍内順向或逆向轉動間隔調節輛 2U2a。在本發明之一實施例中，驅動源川&採用馬達， 然應理解本發明不限於此實施例。例如，驅動源可採用 汽虹。 辅助單7G 2ll2d協助第-導杆2111以相應間隔調節輪 2112a之轉動而平衡地移動。輔助單元2ιιμ係建構成包 12 200945356 括輔助軸2112d-l和輔助構件21 i2d-2。 辅助轴2112d-l係設置成平行間隔調節軸2n2a並與 之相隔一段距離，且其上端可選轉地耦接腔室CH的上 側壁To。 . 輔助構件2112d_2對應間隔調節構件2112b，並建構成 其左端固定於輔助轴之下端，右端則可旋轉地 耦接第一導杆2111的聯結端2111a» φ 第二導杆部2120包括第二導杆2121和第二間隔調節 器 2122 。 第一導杆2121引導現進入的載板cb右側，且在進入 後支撐位於傳送起始位置S的載板CB右側，以防載板 掉落。 第一間隔調節器2122能讓第二導杆2121支承或鬆開 載板CB的右側。第二間隔調節器2122包括一對汽缸 2122a、2122b，其設置彼此相隔一段距離。 β 該對汽缸2122a、2l22b係建構成其圓筒主艟2ma_卜 2122b-l設於腔室CH的右侧壁外面，且其圓筒棒 2122a-2、2122b-2延伸穿過腔室CH的右侧壁Ri而耦接 第二導杆2121。在本發明之一實施例中，雖然第二導杆 部2120的構造比第一導杆部211〇簡單，但應理解二者 可具相同構造’此視腔室CH右側壁的使用狀態、載板 CB的傳送方式、腔室CH右邊所安裝的其他設備構造等 而定。 以下將描述引導設備2100的操作。 13 200945356 第4及5圖為第3圖引導設備21〇〇的操作狀態上視圖。 如第4圖所示，當第一和第二導杆2iu、2i2i的間距 1縮減（即窄）時，載板CB由第一和第二導杆2^、Hu . 引導’然後放到傳送起始位置。 . 接著，如第5圖所示，當載板CB由下述傳送設備22〇〇 支撐時，驅動源2112c操作以順向（參見箭頭方向）轉動間 隔調節軸2112a，使傳送設備2200降低載板CB，而該對 ❿ 汽缸2122a、2!22b操作以拉回圓筒棒2122a_2、2122b_2, 使第一和第二導杆2111、2121的間距旬變寬而解除對 載板CB的支撐。 此外’傳送設備2200自傳送起始位置s降低載板cb， >飞缸2122a、212：2b和驅動源2112c反向操作以引導及支 撐在載板CB之後的載板CB，接著縮短第一和第二導杆 21 U、2121的間距，使第5圖的狀態變成第4圖的狀態。 2.係送設備2200 ® 傳送設備2200將載板CB自傳送起始位置降至傳送最 終位置。為此，如第6圖所示，傳送設備2200包括一對 設於前側的拾起單元2211、2212、一對設於後側的拾起 單元2213、2214、和傳送單元2220。 四拾起單元2211、2212、2213、2214分別對應地包括 拾起轴 2211a、2212a、2213a、2214a 和驅動源 2211b、 2212b、2213b、2214b。傳送單元 2220 包括螺桿 2221、 馬達2222和聯結板2223。 拾起軸2211a、2212a、2213a、22 14a於垂直方向上具 14 200945356 有相對較長的長度，並且延伸穿過腔室CH的上側壁 T〇其下端分別對應地具有拾起端22 11 a-1、22 12a-1、 2213a-l、2214a-卜其突出形成以支撐載板cB的邊緣部 分或轉角。 —驅動源22llb、2212b、2213b、以丨仆設置耦接位於腔 至CH上侧的聯結板2223。驅動源在一定角度範圍内順 向或逆向轉動與之相連的拾起軸22na、2212a、22Ua、 Ο

2214a。在本發明之一實施例中儘管驅動源^、 2212b、2213b、2214b採用馬達，然應理解其也可採用 汽缸。當拾起轴2211a、2212a、2213a、2214a依驅動源 2211b、2212b、2213b、2214b操作，順向或逆向轉動時， 拾起端亦相應拾

起轴之轉動順向或逆向旋轉，使拾起端得以支承或鬆開 載板CB。 A 雖然根據本發明一實施例之傳送設備22〇〇包括兩對 拾起單元，即四個拾起單元，其各具拾起端，但應理解， 若拾起端有相當長度來托住载板CB的邊緣部分，則傳 送設備2200可只配設一對拾起單元於其前側和後側。又 應理解’若拾起端有相當寬的面積來托住載板CB，則傳 送設備2200可只配設一對拾起單元於其左側和右側。 螺桿2221沿著載板CB之傳送方向具有一相對較長的 長度，且其下端可可旋轉地耦接腔室〇11的上侧壁丁〇, 上端轉接馬達2222並相應馬達2222之轉動旋轉。 馬達2222固定於處置器的上框架Hp，並順向或逆向 15 200945356 轉動螺桿222 1。較佳地，馬達 以精確控制轉動量。 2222採用伺服馬達

聯結板2223的前側和後側端部連接拾起單元2211、 2212、2213、2214 的驅動源 2211b、2212b、2213b、2214b， 且其中〜具有螺孔2223a供螺桿2221插入。

當馬達2222順向或逆向轉動時，螺桿2221亦隨之旋 轉，造成聯結板2223上升或下降。故兩對拾起單元 2211、2212、2213、2214也隨著聯結板2223上升或下 降。 以下將詳述傳送設備22〇〇的操作和傳送妹cb的方 法。 如第7圖所示，當引導設備21〇〇支撐傳送起始位置s 的载板CB時，傳送單元2220抬高拾起單元2211、2212、 2213、2214。隨後，拾起單元 2211、2212、22i3、2214 抬高及拾起傳送起始位置s的載板CB，接著引導設備 2100操作放開載板CB。 然後，當傳送單元2220反向操作降低拾起單元2211、 2212、2213、2214時’如第8-10圖所示，拾起單元讓載 板CB選擇性降至第一中間傳送位置Μι、第二中間傳送 位置M2和傳送最終位置e之一。 例如，：¾載板CB於第二中間傳送位置Μ〗和傳送最終 位置E前傳遞，則依第8圖進行傳送，此稱為實施例i。 若載板CB僅於傳送最終位置E前傳遞，則依第9圖進 行傳送，此稱為實施例2。若於第一和第二中間傳送位 200945356 置Ms和傳送最終位置E前皆無載板傳遞，則依 第10圖進行傳送，此稱為實施例3。 如第6圖所示’由於傳送單元222〇依據下一載板cb . 傳送前之前一載板CB的位置，將下一載板CB降低一定 . 同度因此在第一中間傳送位置厘！或第一和第二中間傳 送位置Ml、M2處不需要傳送停止時間週期，如同實施 例2 3所述。即，傳送單元222〇可將某一傳送起始位 〇 4的載板⑶傳送到某—傳送最終位置，而不需停止。 此外，當載板CB位於腔室CH内且彼此相隔時，第6 f傳送單元2220將前一載板叫呆持在目前位置及沿著 則一載板CB之傳送方向傳送下一載板CB，如同實施例 —2所述。疋以傳送單元222〇可沿著傳送方向收集腔 室CH内相隔的載板cb。 另外，右載板CB位於第一和第二中間傳送位置M丨、 %和傳送最終位f E，則餘CB、經由出口（參見第i圖） ❿從傳送最終位置E輸出到外面，第6圖傳送單元· 接著將第二中間傳送位置⑷的載板CB傳送到傳送最終 .位置E’及將第一中間傳送位置吣的載板cb傳送到第 二_間傳送位置M2。 ~支撐錄傷 23ftn、2400 如第」1圖所示，第—支撐設備2綱支承或鬆開位於 第一中間傳送位置Ml的· CB，第二支撐設備鳩 =支承或鬆開位於第二中間傳送位置％的載板cb。第 和第一支撐設備2300、2400個別操作達成本發明之目 17 200945356 的m和第：支#設備23⑽、繼的構造和操作 相同，故以下僅說明第一支撐設備2300。 參照第12圖’第一支撐設備23〇〇支承或鬆開第一中 間傳送位置的載板CB。為此，第一支撐設備23〇〇 包括支承餘CB前緣部㈣第—支撑部咖和支承載 板CB後緣部分的第二支撐部232〇，在此第一和第二支

撐部231〇、2320設於第—支律設備23⑽的對侧（前側和 後側）。 第一支撐部2310包括第一支撐構件23n和第一搬動 器 2312 。 第一支撐構件2311支撐位於第一中間傳送位置叫的 載板CB前緣部分，以防载板掉落。 第-搬動器2312能讓第—支撲構件2311支承或鬆開 載板CB的前緣部分。其包括設置相隔一段距離的一組 汽缸 23 12a、23 12b。 汽缸2312a、2312b係建構成其圓筒主 鳩-1設於腔室CH的前側…面，其二 2312a-2、2312b-2分別延伸穿過腔室（^的前側壁以並 耦接第一支撐構件2311。 第二支撐部2320包括第二支撐構件2321和第二搬 器 2322 〇 第二支撐構件2321支撐位於第一中間傳送位置Μ〗的 載板CB後緣部分，以防載板掉^。其包括 的聯結端232U。 Μ 18 200945356 第二搬動器2322能讓第二支撐構件2321支承或科開 載板CB的後緣部分。第二搬動器2322包括轉軸 轉動構件2322b、驅動源2322c和輔助單元2322d 轉轴2322a沿著載板CB之傳送方向的長度較長，其 上端由驅動源2322c在一定角度範圍内順向或逆向轉 動，且驅動源2322c設於腔室CH的上側壁τ〇。 轉動構件2322b的後端固定或整合於轉轴2322&的下 端’其前端可旋轉地耦接第二支撐構件2321的聯結端 2321a。當驅動源2322c操作使轉軸2322a順向或逆向轉 動時’其前端亦當作轉轴相對後端在一定角度内順向或 逆向轉動。 驅動源2322c設於腔室CH的上側壁τ〇外面，並在一 疋角度範圍内順向或逆向轉動轉轴2322a。

輔助單元2322d協助第一支撐構件2321以相應轉轴 2322a之轉動而平衡地移動。輔助單元2322d的構造和 操作與引導設備2100的輔助單元2112d相同，故不再贅 述其特徵結構。 由於第一和第二支撐設備23 00、2400的操作實質上與 上述引導設備2100相同，故不再贅述。 k維持設備2500 維持設備2500支撐傳送最終位置E的載板CB。如第 2囷所示’其包括托住載板CB前緣部分的第一維持部 25 1 〇和托住載板CB後緣部分的第二維持部2520。 維持設備2500可形成用來托住載板CB。雖然本發明 19 200945356 包括設置維持設備2500, 使其突出來托住載板CB，而 維持設備2 5 0 0亦可個別製備 但也可修改部分腔室 不利用維持設備 ，故根據本發明 系統2000的必要元件。 CH底面， 25〇〇 〇 因 此非傳送 5·維修相關的特微結竭說明 若腔室CH内發生擁塞的情形，則需將載板cb自腔室 CH内強迫送出。

發生擁塞時’可從腔室CH之前側壁&上的入口強迫 移出引導設備2100所支撐的载板CB。在此例子中腔 室CH最好設有門來打開其整個左側壁Le，如第2圖所 示》若另一腔室鄰接腔室CH右側，則第一和第二支撐 設備2300、2400與維持設備25〇〇所支撐的載板cb應 經由腔室CH的左側壁Le離開。 此構造代表第一間隔調節器2112的驅動源2112c不能 設在腔室CH的左側壁Le，如第3圖所示。故不像第二 間隔調知器2122，第一間隔調節器2112的驅動源2112c 設於腔室CH的上側壁To。 雖然腔室CH設有門來打開其整個左側壁Le，但若其 他設備的零件無法經由該門替換及維修，此可能造成則 難題。故腔室CH較佳設有門來打開其整個後側壁Re(參 見第2圖）。 故如第12圖所示，不像第一搬動器2312，第二搬動 器2322的驅動源2322c設於腔室CH的上侧壁To。 L送入載板相關的牿徵結搛說明 20 200945356 第13圖為第6圖中兩對拾起單元2211/2212、 2213/2214的上視圖。參照第13圖’後側拾起單元221 3、 2214的拾起端2213a-l、2214a-l支撐載板CB的後緣部 分。前側拾起單元221卜2212的拾起端221 la-卜2212a-1 沿著對角線方向支撐載板CB的前緣部分》 此構造可避免由入口輸入並進入腔室的載板CB妨礙 拾起轴2211a、2212a ’還可避免維修時由左侧壁Le移開 的載板CB妨礙拾起軸2212a。如此，在右前側的拾起軸 2211a可支撐在右方而非在對角線上的載板cB。 <實施例1的應用實例> 在實施例1中’一拾起軸（即2211a ; 2212a ; 2213a ; 2214a)分別對應地只有一拾起端（即221 la-1 ; 2212a-l ; 2213a-l ; 2214a-l)。然如第14圖所示，實施例1可修改 成一拾起轴（即 2211a-0 ; 2212a_0 ; 2213a-0 ; 2214a-0)分 別對應地設有二拾起端（即221 la-01、221 la-02 ; 2212a-01 、 2212a-02 ; 2213a-01 、 2213a-02 ; 2214a-01 、 2214a-〇2) 〇 第14圖應用實例具有以下優點。如第15圖所示，傳 送最終位置E之載板CB輸出到腔室CH外面，接著二載 板CB分別從第一和第二中間傳送位置Μι、m2傳送到第 一中間傳送位置M2和傳送最終位置E。為此，將可理解 拾起轴（即 2211a-0 ; 2212a-0 ; 2213a-0 ; 2214a-0)宜分 別對應地設有二拾起端（即2211&_〇1、2211a-〇2 ; 2212a-〇l 、 2212a-02 ; 2213a-〇l 、 2213a-02 ; 2214a-〇l 、 21 200945356 2214a-02)，藉以同時傳送二載板CB。應理解本發明之 各拾起轴亦可配設三拾起端。 雖然實施例1乃將四載板CB置於腔室CH，但應理解 - 腔室CH内當可放置五或更多個載板CB。在此例子中， , 將可理解每一拾起軸宜各自設有三或更多個拾起端。 <實施例2> 第16圖繪示腔室CH，在此載板順著箭頭指示之 m 傳送流程Fw於傳送截面傳送且保持垂直狀態，此不同 於實施例1。 參照第16圖，載板CB以垂直方向進入腔室CH之上 侧壁To的正面，然後座落於傳送起始位置s。隨後，載 板CB從傳送起始位置8經由第一和第二中間傳送位置 Μι、M2傳送到傳送最終位置E，即從腔室CH之前側到 後側，接著從傳送最終位置E經由腔室CH之右側壁Ri 的背部輸出到腔室CH外面。 ® 為順著第16圖傳送流程Fw傳送載板CB，腔室 上側壁To的正面設有入口，其右側壁Ri的背部設有出 ’口。入口設置由門（未繪示）打開或關閉。 第”圖為載板傳送系統3〇〇〇的透視圖，用以傳送第 b圖腔室CH内的載板cB。 如第Π圖所^根據本發明—實施例之傳送系統麵 包括傳送設備31〇〇、第一支揮設備3200、第二支樓設備 33〇〇、支撐板3400和維持設備35〇1 送設備3100 22 200945356 傳送設備3 100將傳送起始位置S的載板CB傳送到後 側的傳送最終位置E ^為此，如第18圖所示，傳送設備 3100包括一對設於上侧的拾起單元311〇、312〇、一對設 ， 於下側的拾起單元3130、3140、和傳送單元315〇。 . 四拾起單元3110、3120、3130、3140分別對應地包括 拾起袖 3111、3121、3131、3141 和驅動源 3112、3122、 3132、3142。傳送單元3150包括螺桿3151、馬達3152 〇 和聯結板3153。 拾起轴3111、3121、3131、3141於前後方向上具有相 對較長的長度’並且延伸穿過腔室CH的前側壁Fr。其 後端分別對應地具有拾起端3llla、3121a、3131a、 3141a，其突出構成符號”c”，以支撐載板cB的邊緣部 分或轉角。 驅動源3112、3122、3132、3142設置麵接位於腔室 CH前侧的聯結板3 153。驅動源在一定角度範圍内順向 ® 或逆向轉動拾起轴3111、3121、3131、3141。 螺桿3151沿著載板CB之傳送方向（即前後方向）的長 • 度較長，且其後端可旋轉地耦接腔室CH的前側壁Fr， 則端輕接馬達3152及相應馬達3152之轉動旋轉。 馬達3152固定地設置以順向或逆向轉動螺桿315;[。 聯結板3 1 53的上側和下側端部連接拾起單元3丨丨〇、 3120、3130、3140 的驅動源 3112、3122、3132、3142, 且其中心具有螺孔3153a供螺桿3151插入。 實施例1與2的構造和操作方法相似，除了實施例2 23 200945356 的傳送設備3 100是以垂直狀態傳送載板CB，實施例i 的傳送設備2200是以水平狀態傳送載板CB，故以下將 不再贅述傳送設備3100的操作。 L·支撐栽借3200、3300和*擋妬won 第一支撑設備3200支承或鬆開位於第一中間傳送位 ' 置Μι的載板CB下緣部分。第二支撐設備330(?支承或 鬆開位於第二中間傳送位置M2的載板CB下緣部分。支 撐板3400支撐位於第一和第二中間傳送位置Ml、m2的 ^ 冑板CB上緣部分。 因第一和第二支撐設備3200、3300的構造和操作相 仿’故以下僅說明第一支撐設備3200。 參照第19圖’第一支撐設備3200包括支標構件3210 和搬動器3220。 支撐構件3210支撐位於第一中間傳送位置的載板 CB下緣部分，以防載板掉落。

φ 搬動器3220能讓支撑構件3210支承或鬆開載板CB 的下緣部分。搬動器3220包括設置相隔一段距離的一組 汽缸 3221、3222。 η*缸3221、3222的圓筒主體3221a、3222 a設於腔室 CH的下側壁Bo外面，其圓筒棒3221b、3 222b分別延伸 穿過腔室CH的下側壁Bo而耦接支撐構件32 10。 支推板3400固定地設於第一和第二支撐設備.32〇〇、 3300的上方及對面。支撐板34〇〇亦設有分別對應第一 和第二中間傳送位置Μ!、M2的支樓槽3410、3420。支 24 200945356 撐槽3410、3420分別容納載板CB的上緣部分。 實施例2的第一與第二支撐設備3 200、3300和支撐板 3400相當於實施例1的第一和第二支撐設備2300、 2400，但二者的構造不同。 _

為了支撐第一和第二中間傳送位置的載板 CB，實施例2之第一與第二支撐設備3200、3300和支 撐板3400的構造也可與實施例1相同。然實施例1與2 的構造差異在於所傳送之載板CB的姿態。 一般而言，若載板CB於腔室CH内是以垂直狀態傳 送’則傳送系統的上側一般設有姿態改變設備（未繪 示）’姿態改變設備改變載板CB的姿態後，接著將載板 CB降至傳送起始位置s。 在以垂直狀態傳送腔室CH内之載板CB的傳送系統 中，右載板CB的上緣部分是藉由驅動源之驅動力所支 承或鬆開，則供驅動源安裝的空間和供上升/下降元件 (支撐元件）升降的空間不夠用來安装姿態改變設備。故 在此例子中’需要複雜的設計，否則無法提供安裝姿態 改變設備的空間。 為解決此問題，實施例2的傳送系統3000利用固定設 置的支撐板3400支撐載板CB的上緣部分。 1^_維持設備3500 又访1寻送最終位置E的載板 难符設備3500 ，-一其u RV秋低〇 «0乐 ^圖所示’其包括第一維 乍狩〇P 351 〇、上升/下降單元3520 和第二維持部3530。 25 200945356

置E的載板CB 第一維持部3510托住位於傳送最終位 下緣部分。

上升/下降單元3520抬高或 免妨礙傳送至傳送最終位置E 缸 3521 、 3522 〇 降低第一維持部 3510 ，以 的栽板CB。其包括一組汽 第一維持部3530 上緣部分。

托住位於傳送最終位置E的載板CB

應理解本實施例可採用移動軌道來抬起傳送最終位置 E的載板CB達一定高度，而不利用維持設備。由於維持 設備测可自傳送系統分離，因此其非本發明的必要元 件。 4.傳送系鐃油场作及俾镁卞卞 參照第20®，在載板CB降低至傳送起始位置8前， 傳送單元3150先行操作使拾起軸3111、312131313141 的拾起端3111a、3121a、3131a、3141a引導及支撐待置 於傳送起始位置S的載板CB。 如第20圖所示，當載板（：3以垂直狀態下降及進入腔 室CH時，其下緣部分和上端部的左右兩側皆由拾起軸 3111、3121、3131、3141 的拾起端 3111a、3121a'3131a、 3141a適當支撐’如第21圖所示。因實施例2的傳送系 統3000乃操作利用拾起端3iua、312la、3131a、3141a 降低載板CB至傳送起始位置s、或引導及支撐傳送起始 位置S的載板CB ’故其不需配設實施例1的引導設備 2100»然實施例2的傳送系統3〇〇〇另可包括此引導設備 26 200945356 來加快載板CB的傳送速度。例如，傳送系統3〇〇〇可依 據是否以上下方向或前後方向傳送載板CB、或依據載板 CB之傳送速度，選擇性增設引導設備31〇〇。 如實施例1所述，傳送單元3150操作以選擇性傳送載 板CB至第-中間傳送位置Μι、第：中間傳送位置⑷ 和傳送最終位置E之一。以下將說明逐步傳送載板 的方法，藉以清楚了解根據本發明之傳送系統3〇〇〇的

作。 、 例如，若處於第21圖狀態之傳送單元315〇操作傳送 載板CB至第-中間傳送位置⑷（如第22圖所示），則第 一支揮設冑320•第23圖所示）操作支撐及抬起載板 CB’使載板CB的上緣部分插進支撐槽34iq中。即如第 23圖所示，載板CB的下緣部分由第一支轉設備32〇〇的

支撐構件3210支撐，巷A 載板CB的上緣部分由支撐板34〇〇 支撐。 如上所述，從傳送起始位置S傳送載板CB至第一中 間傳送位置Ml的方法’同樣可應用到從第一中間傳送位 置Μι傳送載板CB至第-由„油2 叫也 第—中間傳送位置M2的情況，及 從第二中間傳送位£M2傳送至傳送最終位置E的情 ^本方法也可應用到從傳送起始位置S連續傳送載板 CB至第二中間傳送 置M2或傳送最終位置E、或從第 一中間傳送位置| 7 得送最終位置E的情況，且不需要 傅送停止時間。 在本發明之一實施例中，傳送載板CB的同時，傳送 27 200945356 系統可上升或下降移動，即垂直載板CB之傳送方向往 復運動。 <附加說明> -般來說’載板CB是於處置器的均熱室或除熱室内 逐步傳送。此原因之—是為確保有充足的相週期讓裝 載至載板上的電子裝置在人為預置腔室環境中同化。 因此，均熱室或除熱室應包括複數個載板，並進行逐 步傳送操作。 為提高處理量，應增加用以將電子裝置裝載至載板上 的表面及縮小處置器尺寸。然、裝載表面增加及處置器尺 寸縮小將無法達到傳送均熱室或除熱室内所容納的複數 個載板，又保持對準且平行裝載表面的狀態。 故系統是以垂直電子裝置之裝載表面的方向傳送均熱 室或除熱室内的載板。 是以本發明可應用到在腔室内部傳送載板的技術。根 據本發明，可沿著垂直電子裝置之裝載表面的方向 載板。 如前所述，根據本發明之系統可依條件產生或不產生 傳送停止時間週期，並可收集腔室内相隔且載板循環方 向上相鄰的載板，故其具有下列功效： 第一，其可加快載板傳送速度和整體循環速度。 第二’其可控制載板傳送速度’進而依測試條件快速 或緩慢地傳送載板。 雖然本發明已以一些實施例揭露如上’然應理解任何 28 200945356 熟習此技藝者，在不脫離本發明及其均箸& 哥物之精神和範 圍内’當可作各種之更動與潤飾，因此 令發明之保護範 圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 * 【圖式簡單說明】 本發明之特徵和優點在配合參閱說明書與所附圖式 後，將變得更清楚易懂，其中： ❹ 第1圖為腔室的透視圖，其應用根據本發明第一實施 例之載板傳送方法； 第2圖為根據本發明第一實施例之載板傳送系統的透 視圖； 第3圖為引導設備的主要部分透視圖，其用於第2圖 載板傳送系統； 第4及5圖繪示第3圖引導設備的操作狀態； 第6圖為傳送設備的主要部分透視圖，其用於第2圖 參 載板傳送系統； 第7-10圖緣示第6圖傳送設備的操作狀態； * 第11圖為第一和第二支撐設備的主要部分透視圖，其 . 用於第2圖載板傳送系統； 第12圖為第11圖第一支撐設備的主要部分透視圖； 第13圖為根據本發明一實施例，載板傳送系統之維修 特徵結構的示意圖； 第14圖為第6圖傳送設備之應用實例的示意圖； 29 200945356 第15圖繪示第14圖傳送設備的操作狀態 明第二實施 第16圖為腔室的透視圖’其應用根據本發 例之載板傳送方法； 第17 透視圖； 圖為根據本發明第 實施例之載板傳送系統的 第18圖為傳送設備的主要部分透視圖 圖載板傳送系統； 其用於第 17

第19圖為除了第17圖载板傳送系統以外的部 圖；以及 第20_23圖繪示第17圖載板傳送系統的操作。 【主要元件符號說明】 2100引導設備 2111、2121 導杆 2112 、 2122 調節器 2112b 調節構件 21 !2d 辅助單元 2112d-2 輔助構件 2122a-l、2122b-l 主體 2000 系統 2110、2120 導杆部 2111a 端 ® 2112a 轴 2112c 驅動源 . 2112d-l 輔助軸 1 2122a、2122b 汽缸 2122a_2、2122b-2 棒 2200 傳送設備 2211、2212、2213、2214 拾起單元 2211a、2212a、2213a、2214a、2211a-0、22l2a-〇、 2213a-0 ' 2214a-0 軸 30 200945356 2211a-l ' 2212a-l ， 2213a-l ' 2214a-l ' 221ia-〇l 2211a-02、2212a-〇l、2212a-02、2213a-01、2213a_〇2、 2214a_01 、 2214a-〇2 端

2211b、2212b、2213b、2214b 驅動源 2220 傳送單元 2221 螺桿 2222 馬達 2223 聯結板 2223a 螺孔 2300、2400 支撐設備 2310、2320 支撐部 2311、2321 支撐構件 2312、2322 搬動器 2312a ' 2312b 汽缸 2312a-l、2312b-l 主體 2312a_2 、 2312b-2 棒 2321a 端 2322a 轴 2322b 轉動構件 2322c 驅動源 2322d 輔助單元 2500 維持設備 2510' 2520 維持部 3100 傳送設備 3000 系統 3110' 3120' 3130' 3140 拾起單元 3111 、 3121 、 3131 、 3141 軸 3111a、3121a、3131a、3141a 端 3112 、 3122 、 3132 、 3142 驅動源 3150 傳送單元 3151 螺桿 3152 馬達 3153 聯結板 3153a 螺孔 3200、3300 支撐設備 3210 支撐構件 3220 搬動器 3221、3222 汽缸 3221a > 3222a 主體 31 200945356 3221b、3222b 棒 3400 支撐板 3410 ' 3420 支撐槽 3500 維持設備 3510 ' 3520 維持部 3520 上升/下降單元 3521 ' 3522 汽缸 Bo、 Fr、Le、 Ri、Re、To 側壁 CB 載板 CH 腔室 di、丨 d 2 間距 E ' Μι 、M2、S 位置

Fw 傳送流程 HP 框架

32

Claims (1)

1. 200945356 七、申請專利範圍： r 一種傳送在支援電子裝置測試之處置器中之載板的 系統’該系統包含： 一傳送設備’用以選擇性傳送一位於一傳送起始位置 的栽板到至少—或多個中fs1傳送位置和—傳送最終位置 之—；以及 ，丨、：少-或多個支樓設備’用以支承或鬆開該位於該至 夕一或多個中間傳送位置的載板。 申請專利範圍第1項所述之系統，更包含： 、導《X備肖以引導該傳送到該傳送起始位置的載 ，遂支承或鬆開該位於該傳送起始位置的載板。 3. 一如申請專利範圍第i項所述之系統，更包含··

   一維持設備，用以托住―值於該傳送最終位置的載板 ’一如申請專利範圍第1項所述之系统，更包含： 部分==定於該系統’用以支撐該載板的-邊緣 其中該支撐設備包含： 一支撐構件， 分；以及 —搬動器，用 撐構件。 用以支承或鬆開該載板的另一邊緣部 以著往返該載板的一方向移動該支 33 200945356 5 ·如申請專利範圍第1項所 有複數個支撐設備的情況下 立地操作。 述之系统，其中在該系統設 ，該些支撐設備為個別且獨 其中該傳送設備 6.如申請專利範圍第1項所述之系統 包含： ❹ 至少二或多個拾起單元 及 用以拾起或鬆開該載板；以 -傳送單儿1以沿著-載板的傳送方向傳送該至少 二或多個拾起單元’以使該由該至少二或多個拾起單元 所拾起的載板，選擇性傳送到該至少_或多個 位置和該傳送最終位置之一。

   7.如申請專利範圍第6項所述之系統 包含： 其中該拾起單元 向之相對較長 一拾起轴，其具有一沿著該載板傳送方 的長度；以及 一驅動源，用以在一定角 拾起軸； 度範圍内順向或逆 向轉動該 其中該拾起軸係建構成使其一端輕接該驅動源， 一端包括至少一或多個拾起端，該至少一 八 突屮氺起端 犬出來支撐該载板的邊緣部份或轉角。 34 200945356 ❹ 8.如申請專利範B第6項所述之系統，其中該傳送單 包含： 一螺桿，其具有— 長度； 一馬達’用以在一 桿；以及一聯結板，其中： 該聯結板以-螺旋方式連接該螺桿，並相應該螺桿 轉動沿著該載板傳送方向往復運動；以及 該至少三或多個拾起單元係連接該聯結板。 元 沿著該載板傳送方向之相對較長 的 定角度範圍内順向或逆向轉動該螺 之 9· -種傳送在支援電子裝置測試之處置器室内之載板 的方法’該方法包含： 選擇性傳送一位於一傳送起私办甚以I 、得运起始位置的載板到至少一或 參 個中間傳送位置和一傳送最終位置之一； 其中若前-個載板位於該傳送最終位置，則下一個位 於該傳送起始位置的載板會僂 w傲T得送到該至少一或多個中間 傳送位置。 1〇.如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該載板是 :著-垂直該載板之一襄載表面的方向傳送，於該裝載 表面上裝載有電子裝置。 U. -種支撐在支援電子裝置測試之處置器中之載板的 35 200945356 設備，該設備包含： 第支樓°卩，用以支承或鬆開一載板的一邊緣部 分；以及 • —第二支#部，用以支承或鬆開該載板的另-邊緣部 分’其中該第二支撐部包含： 支撐構件，用以支撐該載板的該另一邊緣部分； 以及 〇 一搬動器，用以沿著往返該載板的方向移動該支撐 構件，其中該搬動器包含： 一轉軸，其具有一沿著該載板傳送方向之相對較 長的長度； 一轉動構件’其一端固定於該轉轴，且另一端係 可旋轉地耦接該支撐構件’其中該另一端相應該轉軸之 轉動相對該一端旋轉；以及 一驅動源，用以在一定角度範圍内順向或逆向轉 φ 動該轉軸而往復運動。 . 12.如申請專利範圍第11項所述之設備’其中該搬動器 更包含： 一辅助單元’用以協助該支撐構件相應該轉軸之轉動 而平衡地移動。 36