JP2001116464A - 縦型熱処理装置 - Google Patents

縦型熱処理装置

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JP2001116464A
JP2001116464A JP29642899A JP29642899A JP2001116464A JP 2001116464 A JP2001116464 A JP 2001116464A JP 29642899 A JP29642899 A JP 29642899A JP 29642899 A JP29642899 A JP 29642899A JP 2001116464 A JP2001116464 A JP 2001116464A
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 炉内が粉塵にて汚染されにくく、クリーンな
環境で被熱処理物を熱処理できる縦型熱処理装置を提供
する。 【解決手段】 被熱処理物を鉛直方向に搬送しながら、
前記被熱処理物を熱処理するよう構成された縦型熱処理
装置であって、炉内において前記被熱処理物が、第1〜
第(N+1)の搬送アーム12の作用により、第1の上
昇側固定棚8から第Nの上昇側固定棚8に向かって、第
1〜第(N−1)の上昇側固定棚8の中のあるものから
1段上のものへ順に載せ換えられることにより上昇し
て、受渡用固定棚10に至り、更にこの受渡用固定棚1
0を経て、第Nの下降側固定棚9から第1の下降側固定
棚9に向かって、第2〜第Nの下降側固定棚9の中のあ
るものから1段下のものへ順に載せ換えられることによ
り下降するよう構成されてなる縦型熱処理装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、電子部品
や機械部品などの熱処理に使用される装置、特に縦型の
熱処理装置に関するものである。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】これまで、電子部品や
機械部品などの被熱処理物の熱処理装置としては、同被
熱処理物をコンベアによって水平方向に搬送しながら加
熱するもの、すなわち横型熱処理装置が用いられてき
た。しかし、近年、スペース節減や消費エネルギー低減
の要請から、この横型熱処理装置に代わって、縦型の熱
処理装置が開発(例えば特公平7−49150号や特開
平11−121910号)された。
【0003】この縦型の熱処理装置は、被熱処理物を炉
内にて鉛直方向(上下方向)に搬送しながら加熱するよ
う構成されている。なお、炉内に多数設けた固定棚に被
熱処理物を載置したままの状態で、熱処理が行われるよ
うにした装置もある。しかしこの方式では、炉内温度に
バラツキがあると、その影響を直接受ける。このため被
熱処理物を搬送しながら加熱できるタイプの縦型熱処理
装置が主流となっている。
【0004】さて、従来の縦型熱処理装置には次のよう
な問題があった。すなわち、従来の縦型熱処理装置にお
いては、被熱処理物が、無端ベルトによって(正確に
は、この無端ベルトに取り付けられた棚に載置されて)
炉内を上下に搬送されるようになっている。ところが、
周知のように、この無端ベルトは、数多くの耐熱素材製
の部材(例えばリンクプレートやピンなど)から構成さ
れており、したがって摺動部が無数に存在する。このた
め、無端ベルトが循環動すると、その無数の摺動部から
は、全体として無視し得ない量の粉塵が発生し、その結
果、炉内が汚染される。つまり、被熱処理物の熱処理を
クリーンな環境で行えなくなる。
【0005】したがって、本発明が解決しようとする課
題は、炉内が粉塵にて汚染されにくく、クリーンな環境
で被熱処理物を熱処理できる縦型熱処理装置を提供する
ことである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この課題は、被熱処理物
を鉛直方向に搬送しながら、前記被熱処理物を熱処理す
るよう構成された縦型熱処理装置であって、炉と、この
炉内が所定温度となるよう前記炉内を加熱するための加
熱手段と、鉛直方向に沿って所定間隔で前記炉内に設け
られた、前記被熱処理物が載置される第1〜第Nの上昇
側固定棚と、この第1〜第Nの上昇側固定棚と対向する
よう、鉛直方向に沿って前記所定間隔で前記炉内に設け
られた、前記被熱処理物が載置される第1〜第Nの下降
側固定棚と、最も上方に位置する前記第Nの上昇側固定
棚と最も上方に位置する前記第Nの下降側固定棚とで挟
まれる領域に隣接し、かつ、前記第Nの上昇側固定棚お
よび前記第Nの下降側固定棚とほぼ等しい高さに位置す
るよう前記炉内に設けられた、前記被熱処理物が載置さ
れる受渡用固定棚と、前記炉内における前記第Nの上昇
側固定棚と前記第Nの下降側固定棚とで挟まれる領域内
に、鉛直方向に沿って上下動可能、かつ、回動可能であ
るよう設けられた軸体と、この軸体の軸方向に沿って前
記所定間隔で前記軸体に固定された、前記被熱処理物を
保持する第1〜第(N+1)の搬送アームと、前記軸体
を上下動および回動させる駆動手段とを具備し、前記炉
内において前記被熱処理物が、前記第1〜第(N+1)
の搬送アームの作用により、前記第1の上昇側固定棚か
ら前記第Nの上昇側固定棚に向かって、前記第1〜第
(N−1)の上昇側固定棚の中のあるものから1段上の
ものへ順に載せ換えられることにより上昇して、前記受
渡用固定棚に至り、更にこの受渡用固定棚を経て、前記
第Nの下降側固定棚から前記第1の下降側固定棚に向か
って、第2〜第Nの下降側固定棚の中のあるものから1
段下のものへ順に載せ換えられることにより下降するよ
う構成されてなることを特徴とする縦型熱処理装置によ
って解決される。
【0007】すなわち本発明では、上述したごとく、第
1〜第Nの上昇側固定棚、第1〜第Nの下降側固定棚、
受渡用固定棚、そして第1〜第(N+1)の搬送アーム
を用いることで、被熱処理物を鉛直方向(上下方向)に
段階的に搬送しながら、それを熱処理するようにした。
ところで、こうした構造の縦型熱処理装置は、従来装置
における無端ベルトのような摺動部を数多く有する構成
要素を持たない。強いて挙げれば、摺動部は、上記第1
〜第(N+1)の搬送アームが固定され、炉内を上下動
および回動する軸体と、その支持部との接触箇所(1箇
所あるいは2箇所)のみである。しかも軸体は、高速で
上下動や回動することはない。このため摺動によって炉
内に発生する粉塵の量は、全く無視できる程度に抑えら
れる(実質上ゼロと見なせる)。ゆえに、本発明の縦型
熱処理装置は、炉内が粉塵で汚染されにくく、被熱処理
物の熱処理をクリーンな環境で行うことができる。
【0008】なお本発明では、縦型熱処理装置に、熱処
理される被熱処理物を炉内に搬入するための被熱処理物
搬入手段と、熱処理済みの被熱処理物を上記炉内から搬
出するための被熱処理物搬出手段とを更に具備させ、第
1の搬送アームが、上記被熱処理物搬入手段から熱処理
される被熱処理物を受け取り、同じく第1の搬送アーム
が、上記被熱処理物搬出手段へ熱処理済みの被熱処理物
を渡すよう構成することができる。
【0009】また本発明では、第1〜第Nの上昇側固定
棚、第1〜第Nの下降側固定棚、受渡用固定棚および第
1〜第(N+1)の搬送アームをいずれも、基部と、こ
の基部の両端から延在させた、被熱処理物が載置される
互いに平行な二つの爪部とを備えたコ字形のものとする
ことができる。そして、この場合、上記第1〜第(N+
1)の搬送アームにおける爪部平行幅は、上記第1〜第
Nの上昇側固定棚、上記第1〜第Nの下降側固定棚およ
び上記受渡用固定棚における、いずれの爪部平行幅より
も小さく設定され、更に、上記第1〜第(N+1)の搬
送アームにおける爪部が、上記第1〜第Nの上昇側固定
棚、上記第1〜第Nの下降側固定棚および上記受渡用固
定棚における、いずれの爪部間領域をも通過できるよう
(被熱処理物の受け渡しのために爪部同士がオーバーラ
ップできるよう)構成される。
【0010】更に本発明の縦型熱処理装置は、長尺な板
状の被熱処理物の熱処理に好適である。特に上述したご
とく、各種固定棚や搬送アームをコ字形のものとする場
合、それらの爪部平行幅、特に前者の爪部平行幅は、被
熱処理物の長手方向寸法よりも小さくなるよう設定され
る。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図1〜図16を用い、本発
明の一実施形態を具体的に説明する。なお、図1は本実
施形態に係る縦型熱処理装置の正面図、図2は同縦型熱
処理装置の側面図、図3および図4も同縦型熱処理装置
の要部正面図および要部平面図、図5〜図16は炉内に
おける被熱処理物の搬送手順を示す工程図である。特
に、図5(a)〜図16(a)は縦型熱処理装置の要部
を上方から見た状態を示し、図5(b)〜図16(b)
は縦型熱処理装置の要部を正面から見た状態を示す。
【0012】本実施形態に係る縦型熱処理装置(以下、
単に本装置と言う)は、例えば電子部品などの被熱処理
物を、鉛直方向に(下から上へ、そして再び下へ)搬送
しながら熱処理するよう構成されたものである。なお、
本装置が、ここで熱処理の対象とする被熱処理物は、長
尺(例えば長さが幅の5〜7倍程度)な板状のものであ
る。しかし、言うまでもなく、被熱処理物はこうした形
態のものに限定されるわけではない。
【0013】さて本装置は、図1や図2から判るよう
に、主要構成要素として、炉1と、この炉1の内部を所
定温度(数百〜千数百℃)となるよう加熱するための加
熱手段2とを具備する(本実施形態では加熱手段2とし
て電気式ヒータを使用した)。このうち炉1は、正面側
に被熱処理物を出し入れするための扉1aが設けられて
いる。また炉1は、被熱処理物が納められる熱処理空間
Sを有する。上記扉1aは、この熱処理空間Sと重なる
位置に設置されている。
【0014】炉1の内部には、更に、上下2段に積重さ
れたフィルタ3a,3b、全面にスリットが形成された
鉛直隔壁4、そして、この鉛直隔壁4とフィルタ3a,
3bとの間に跨がる水平隔壁5が設けられている。換言
すれば、上記熱処理空間Sはこれらフィルタ3a,3
b、鉛直隔壁4、そして水平隔壁5などから形成されて
いる。
【0015】また本装置は、モータ6によって駆動され
るファン7を具備する。より詳しくは、鉛直隔壁4を挟
んで熱処理空間Sと向き合う空間(熱風誘導空間)の上
方には、ファン7が配置されている。更に言えば、加熱
手段2については、水平隔壁5を挟んでフィルタ(特に
その上端面)3aと向き合う空間(熱風誘導空間)内に
設けられている。したがって、加熱手段2によって得ら
れる高温のガスは、ファン7の作用により、フィルタ3
a,3bを経て熱処理空間S内に入り、被熱処理物を加
熱する。その後、流動する高温のガスすなわち熱風は、
鉛直隔壁4のスリットから熱処理空間Sの外に排出さ
れ、更にファン7によって加熱手段2が存在する側に圧
送される。そして、加熱手段2によって再び加熱された
後、フィルタ3a,3bを経て熱処理空間S内に送り込
まれる。つまり本装置では、炉1の内部にて熱風を循環
させることで、被熱処理物を搬送しながら熱処理するよ
うになっている。ちなみに、図2では、熱風の循環経路
を矢印にて示している。
【0016】さて本装置は、上記構成要素に加えて、図
3や図4からも判るように、第1〜第29の上昇側固定
棚8、第1〜第29の下降側固定棚9、受渡用固定棚1
0、軸体11に固定された第1〜第30の搬送アーム1
2、そして熱処理空間Sの下方にあって、軸体11を上
下動および回動させる駆動手段13を備える。言い換え
れば、熱処理空間S内に設けられ、被熱処理物(図3,
4中、Wで示す)を鉛直方向に搬送する役割を果たす本
装置の要部すなわち搬送部Aは、これらの要素から構成
されている。なお、上記固定棚8,9や搬送アーム12
の数は任意(但し、基本的に、搬送アーム12の数は固
定棚8,9の数よりも一つ多くなる)であり、本実施形
態の数に限定されるものではない。
【0017】上記構成要素のうち第1〜第29の上昇側
固定棚8は、その上に被熱処理物Wが載置されるもの
で、支柱14を用いて炉1内すなわち熱処理空間S内
に、鉛直方向に沿って所定間隔(例えば上昇側固定棚8
自身の厚さの数倍程度)で設けられている。この第1〜
第29の上昇側固定棚8は、基部8aと、この基部8a
の両端から延在させた、被熱処理物Wが載置される互い
に平行な二つの爪部8b,8cとを備えたコ字形のもの
である。但し、基部8aを省略し、支柱14に直接爪部
8b,8cを設けてもよい。この場合には、支柱14が
第1〜第29の上昇側固定棚8の一部を兼ね、また、水
平断面については、やはりコ字形となる。なお、図4
〔図5(a)〜図16(a)についても同じ〕では、便
宜上、支柱14を省略してある。
【0018】一方、第1〜第29の下降側固定棚9も、
その上に被熱処理物Wが載置されるものである。そし
て、それぞれが上記第1〜第29の上昇側固定棚8の同
じ番号のものと対向するよう、支柱15を用いて熱処理
空間S内に、鉛直方向に沿って所定間隔(上昇側固定棚
8側と同じ間隔)で設けられている。なお、この第1〜
第29の下降側固定棚9も、基部9aと、この基部9a
の両端から延在させた、被熱処理物Wが載置される互い
に平行な二つの爪部9b,9cとを備えたコ字形のもの
である。但し、上昇側固定棚8と同様、基部9aを省略
し、支柱15に直接、爪部9b,9cを設けてもよい。
この場合にも、支柱15が第1〜第29の下降側固定棚
9の一部を兼ね、また、水平断面についてはコ字形とな
る。なお、図4〔図5(a)〜図16(a)についても
同じ〕では、便宜上、支柱15を省略してある。
【0019】更に受渡用固定棚10も、その上に被熱処
理物Wが載置されるものである。この受渡用固定棚10
は、最も上方に位置する第29の上昇側固定棚8と、同
じく最も上方に位置する第29の下降側固定棚9とで挟
まれる矩形領域に隣接するよう設けられている。特に本
実施形態では、この受渡用固定棚10を、それが熱処理
空間S内において、第29の上昇側固定棚8および第2
9の下降側固定棚9と等しい高さに存在するよう設けて
いる。なお、受渡用固定棚10は、熱処理空間S内に水
平に架設した梁16を用いて配置されている。ちなみ
に、この受渡用固定棚10についても、基部10aと、
この基部10aの両端から延在させた、被熱処理物Wが
載置される互いに平行な二つの爪部10b,10cとを
備えたコ字形のものである。但し、上昇側固定棚8や下
降側固定棚9と同様、基部10aを省略し、梁16に直
接、爪部10b,10cを設けてもよい。なお、図4
〔図5(a)〜図16(a)についても同じ〕では、便
宜上、梁16を省略してある。
【0020】上記第1〜第30の搬送アーム12は、被
熱処理物Wの固定棚8,9,10間の載せ換えを行う際
に、それを一時的に保持する役割を果たす。つまり、こ
の第1〜第30の搬送アーム12によって、被熱処理物
Wの載せ換えが行われることになる。なお、第1〜第3
0の搬送アーム12についても、基部12aと、この基
部12aの両端から延在させた、被熱処理物Wが載置さ
れる互いに平行な二つの爪部12b,12cとを備えた
コ字形のものである。
【0021】また、上述したように、第1〜第30の搬
送アーム12は、軸体11に、その軸方向に沿って所定
間隔(上昇側固定棚8や下降側固定棚9と同じ間隔)で
固定されている。更に詳しくは、軸体11は、第1〜第
30の搬送アーム12の基部12aを貫通している。そ
して、この軸体11には、第1〜第30の搬送アーム1
2の全てが同じ向きで固定されている。
【0022】ちなみに、第1〜第30の搬送アーム12
における爪部12b,12cの平行幅(図4中B1
は、第1〜第29の上昇側固定棚8における爪部8b,
8cの平行幅(図4中B2 )、第1〜第29の下降側固
定棚9における爪部9b,9cの平行幅(図4中
3 )、および受渡用固定棚10における爪部10b,
10cの平行幅(図4中B4 )のいずれよりも十分に小
さい(特に平行幅B1 は、平行幅B2 、平行幅B3 およ
び平行幅B4 のそれぞれから爪部の幅を差し引いた内幅
より小さい)。この結果、第1〜第30の搬送アーム1
2における爪部12b,12cは、同搬送アーム12
が、第1〜第29の上昇側固定棚8、第1〜第29の下
降側固定棚9および受渡用固定棚10と正対した状態で
あれば、それらいずれの爪部間領域をも通過できるよう
になっている。すなわち、第1〜第30の搬送アーム1
2の爪部12b,12cは、上下動する際、他の爪部に
干渉されないよう構成されている。そして、この結果、
第1〜第30の搬送アーム12と、各固定棚8,9,1
0との間で、被熱処理物Wの受け渡しができるようにな
っている。
【0023】念のために付け加えると、第1〜第29の
上昇側固定棚8は受渡用固定棚10と直交するよう、ま
た、第1〜第29の下降側固定棚9も受渡用固定棚10
と直交するよう設けられている。したがって、第1〜第
29の上昇側固定棚8と第1〜第29の下降側固定棚9
とは、上述したように互いに対向している。なお、ここ
までの説明から自明ではあるが、上記軸体11は、炉1
内すなわち熱処理空間S内における、第1〜第29の上
昇側固定棚8と第1〜第29の下降側固定棚9とで挟ま
れる領域内に存在する。そして、炉1に対して、上端側
および下端側の計2箇所で支持されており、鉛直方向に
沿って上下動可能、かつ、回動可能となっている。な
お、軸体11の下端部には、上述した駆動手段13が接
続されるが、この駆動手段13は、軸体11を上下動お
よび回動させることができるものであれば、いかなる構
造となっていてもよい。但し実際には、ボールネジ機構
を利用したものなどが用いられる。
【0024】後に詳述するが、上記構成の縦型熱処理装
置における被熱処理物Wの搬送(熱処理中の搬送)は、
概して言うと、次のようにして行われる。すなわち、ま
ず、炉1内において被熱処理物Wは、第1〜第30の搬
送アーム12の作用により、第1の上昇側固定棚8から
第29の上昇側固定棚8に向かって(下から上に向かっ
て)、この第1〜第28の上昇側固定棚8の中のあるも
のから1段上のものへ順に載せ換えられることにより上
昇する。そして、被熱処理物Wは受渡用固定棚10に到
達する。次に、この受渡用固定棚10を経た被熱処理物
Wは、第29の下降側固定棚9から第1の下降側固定棚
9に向かって(上から下に向かって)、第2〜第29の
下降側固定棚9の中のあるものから1段下のものへ順に
載せ換えられることにより下降する。つまり、第1の上
昇側固定棚8に載置された状態から搬送が開始される被
熱処理物Wは、受渡用固定棚10を経由して、最終的に
第1の下降側固定棚9に到達する。そして、これによ
り、熱処理空間S内における被熱処理物Wの鉛直方向の
搬送(熱処理)が完了となる。
【0025】本装置は、上述した構成要件、すなわち炉
1や加熱手段2、そして搬送部Aに加えて、更に被熱処
理物搬入手段と被熱処理物搬出手段とを具備する。この
うち被熱処理物搬入手段については、上記固定棚8,
9,10と同形状つまりコ字形のローダアーム17を有
する。このローダアーム17は、図示していない駆動手
段に接続されており、図3,4中、矢印で示すごとく、
水平方向に沿って変位できるようになっている。更に言
えば、ローダアーム17は、第1の上昇側固定棚8の下
方であって、かつ、それよりも手前側に存在している。
したがって、第1の搬送アーム12の爪部12b,12
cは、このローダアーム17の爪部17a,17bの間
を通過することができる。ちなみに、図3や図4では、
第1の搬送アーム12の爪部12b,12cとローダア
ーム17の爪部17a,17bとがオーバーラップする
ときのローダアーム17の位置を、一点鎖線で示してい
る。
【0026】また、被熱処理物搬出手段についても、上
記固定棚8,9,10と同形状つまりコ字形のアンロー
ダアーム18を有する。このアンローダアーム18も、
図示していない駆動手段に接続されており、図3,4
中、矢印で示すごとく、水平方向に沿って変位できるよ
うになっている。更に、アンローダアーム18は、第1
の下降側固定棚9の下方であって、かつ、それよりも手
前側に存在している。したがって、第1の搬送アーム1
2の爪部12b,12cは、このアンローダアーム18
の爪部18a,18bの間をも通過することができる。
ちなみに、図3や図4において、第1の搬送アーム12
の爪部12b,12cとアンローダアーム18の爪部1
8a,18bとがオーバーラップするときのアンローダ
アーム18の位置も、ローダアーム17と同様、一点鎖
線で示すものとなる。つまり、ローダアーム17とアン
ローダアーム18とは、同じ位置まで交互に変位するこ
とができる。
【0027】なお、上記ローダアーム17を備える被熱
処理物搬入手段は、熱処理される被熱処理物Wを炉1内
に搬入する役割を果たし、他方、上記アンローダアーム
18を備える被熱処理物搬出手段は、熱処理済みの被熱
処理物Wを炉1内から搬出する役割を果たす。すなわ
ち、ローダアーム17は被熱処理物Wの供給の際には、
この被熱処理物Wを載置して、炉1内に進入する。そし
て、被熱処理物Wを第1の搬送アーム12に渡した後、
炉1内から退避するようになっている。一方、アンロー
ダアーム18は被熱処理物Wの排出の際には、何も載置
されていない状態のままで炉1内に進入する。そして、
被熱処理物Wを第1の搬送アーム12から受け取った
後、炉1内から退避するようになっている。つまり、第
1の搬送アーム12は、被熱処理物搬入手段から熱処理
される被熱処理物Wを受け取り、更に被熱処理物搬出手
段へ熱処理済みの被熱処理物Wを渡すよう構成されてい
る。
【0028】続いて、炉1内における被熱処理物Wの搬
送(熱処理)手順について、すなわち被熱処理物Wが、
加熱された炉1内をどのようにして搬送されるかについ
て、図5〜図16を用いて詳しく説明する。なお、ここ
では、全ての固定棚に被熱処理物Wが既に載置されてい
る状態からその搬送手順を説明する。また、図4につい
ても言えることであるが、被熱処理物Wの向きを明確に
示すため、図5〜図16では、被熱処理物Wの端部に符
号F(Front)と符号R(Rear)とを付してあ
る(この符号F,Rが実際に被熱処理物Wに記されてい
るわけではない)。更に言えば、図5(b)〜図16
(b)では、便宜上、図3と同様、上昇側および下降側
固定棚8,9のうち説明に必要なもの、すなわち上端側
および下端側に位置するものしか示していない。これは
搬送アーム12についても同じである。一方、図5
(a)〜図16(a)では、上昇側固定棚8、下降側固
定棚9および搬送アーム12について、最も上方に存在
するものを示している。すなわち、同図に示されるの
は、第29の上昇側固定棚8、第29の下降側固定棚
9、そして第30の搬送アーム12である。したがっ
て、一部の図には、被熱処理物Wが搬送アーム12の上
に載っていないように見えるものもある。しかし実際に
は、被熱処理物Wは、図示する第30の搬送アーム12
の下方に存在するものの上に載った状態となっている。
【0029】さて、被熱処理物Wの搬送にあたっては、
炉1内に新しい被熱処理物W(未熱処理)が搬入され
る。この作業は、ローダアーム17を用いて行われる。
すなわち図5(a)および(b)に示すごとく、全ての
搬送アーム12を下限位置まで下降させ、この状態で、
新しい被熱処理物Wが載置されたローダアーム17を、
最も下方に位置する第1の搬送アーム12の上方まで変
位させる。なお、同図では、最終位置つまり被熱処理物
Wの受け渡し位置まで変位させたローダアーム17を一
点鎖線にて示している。
【0030】次に、図6(a)および(b)に示すごと
く、搬送アーム12を1段分、すなわち搬送アーム12
同士の間隔に等しい高さだけ上昇させる。そして、これ
により新しい被熱処理物Wを、ローダアーム17から最
も下方に位置する第1の搬送アーム12の上に移す。こ
うして第1の搬送アーム12が新しい被熱処理物Wを受
け取ったならば、続いて、図7(a)に示すごとく、ま
ず搬送アーム12を時計回りに90°回動させる。そし
て更に、図7(b)に示すごとく、搬送アーム12を1
段分上昇させる。これによって、それまで上昇側固定棚
8の上に載置されていた被熱処理物Wは、全て搬送アー
ム12により持ち上げられ、同搬送アーム12に保持さ
れた状態となる。
【0031】この状態を得たならば、次に、図8(a)
に示すごとく、まず搬送アーム12を時計回りに更に9
0°回動させる。そして、図8(b)に示すごとく、搬
送アーム12を1段分下降させる。これによって、それ
まで最も上方に位置する第30の搬送アーム12に保持
されていた被熱処理物Wは、受渡用固定棚10に載置さ
れた状態となる。このようにして被熱処理物Wの一つ
が、上昇側固定棚8から受渡用固定棚10に載せ換えら
れる。
【0032】続いて、図9(a)に示すごとく、まず搬
送アーム12を時計回りに更に180°回動させる。そ
して、図9(b)に示すごとく、搬送アーム12を2段
分上昇させる。次いで、図10(a)に示すごとく、ま
ず搬送アーム12を時計回りに更に90°回動させる。
そして、図10(b)に示すごとく、搬送アーム12を
1段分下降させる。これによって、それまで搬送アーム
12に保持されていた被熱処理物Wは、全て上昇側固定
棚8に載置された状態となる。被熱処理物Wは、このよ
うにして、上昇側固定棚8を下から上に向かって1段ず
つ順に載せ換えられることで上昇していく。
【0033】さて、上記のごとく上昇側固定棚8側で被
熱処理物Wの載せ換えが完了した後は、図11(a)に
示すごとく、まず搬送アーム12を反時計回りに180
°回動させる。そして更に、図11(b)に示すごと
く、搬送アーム12を1段分上昇させる。これによっ
て、それまで下降側固定棚9の上に載置されていた被熱
処理物Wは、全て搬送アーム12により持ち上げられ、
同搬送アーム12に保持された状態となる。
【0034】続いて、図12(a)に示すごとく、まず
搬送アーム12を時計回りに90°回動させる。そし
て、図12(b)に示すごとく、搬送アーム12を2段
分下降させる。次いで、図13(a)に示すごとく、ま
ず搬送アーム12を反時計回りに180°回動させる。
そして更に、図13(b)に示すごとく、搬送アーム1
2を1段分上昇させる。これによって、それまで受渡用
固定棚10に載置されていた被熱処理物Wは、最も上方
に位置する第30の搬送アーム12に保持された状態と
なる。
【0035】以後は、図14(a)に示すごとく、まず
搬送アーム12を時計回りに90°回動させる。そして
更に、図14(b)に示すごとく、搬送アーム12を1
段分下降させる。これによって、それまで搬送アーム1
2に保持されていた被熱処理物Wは、下降側固定棚9に
載置された状態となる。被熱処理物Wは、このようにし
て受渡用固定棚10から下降側固定棚9に載せ換えられ
る。そして、下降側固定棚9を上から下に向かって1段
ずつ順に載せ換えられることで下降していく。
【0036】さて上記手順にて、熱処理が完了した被熱
処理物Wを、最も下方に位置する第1の搬送アーム12
の上に取り出したならば、次に、図15(a)および
(b)に示すごとく、搬送アーム12を時計回りに90
°回動させる。そして更に、アンローダアーム18を変
位させ、それを最も下方に位置する第1の搬送アーム1
2の下に待機させる。次いで、図16(a)および
(b)に示すごとく、搬送アーム12を1段分下降させ
る。これによって、それまで第1の搬送アーム12に保
持されていた熱処理済みの被熱処理物Wは、アンローダ
アーム18に渡される。なお、図16(a)および
(b)では、被熱処理物Wの受け渡し位置にあるアンロ
ーダアーム18を一点鎖線にて示している。
【0037】このようにして、アンローダアーム18が
熱処理済みの被熱処理物Wを受け取った後は、同アンロ
ーダアーム18を逆方向に変位させることで、熱処理済
みの被熱処理物Wを炉1の外に搬出する。そして、これ
によって、被熱処理物Wの搬送手順の説明を開始した初
期状態に戻る。したがって、以後は、上記操作を順に繰
り返し行えばよい。
【0038】さて、上述したように本実施形態では、第
1〜第29の上昇側固定棚8、第1〜第29の下降側固
定棚9、受渡用固定棚10、そして第1〜第30の搬送
アーム12を用いることで、被熱処理物Wを鉛直方向
(上下方向)に段階的に搬送しながら、それを熱処理す
るようにした。ところで、こうした構造の縦型熱処理装
置は、従来装置における無端ベルトのような摺動部を数
多く有する構成要素を持たない。強いて挙げれば、摺動
部は、上記第1〜第30の搬送アーム12が固定され、
炉1内を上下動および回動する軸体11と、その支持部
との接触箇所(1箇所あるいは2箇所)のみである。し
かも、軸体11は炉1内にて高速で上下動や回動するこ
とはない。このため、摺動によって炉1内に発生する粉
塵の量は、全く無視できる程度に抑えられ、実質上ゼロ
と見なせる。ゆえに、本実施形態の縦型熱処理装置は、
炉1内が粉塵で汚染されにくく、被熱処理物Wの熱処理
をクリーンな環境で行うことができる。また被熱処理物
Wは、炉1内で、鉛直方向への搬送に加えて旋回もさせ
られる。よって、炉内温度のバラツキの影響を更に受け
にくい。
【0039】なお、使途によっては、上記縦型熱処理装
置が2台併用されることもある。すなわち、2台の縦型
熱処理装置が隣接状態で設置されて用いられることもあ
る。この場合には、例えば、一方で高温熱処理が行わ
れ、続いて、他方で低温熱処理が行われることになる。
【0040】
【発明の効果】本発明によれば、炉内が粉塵にて汚染さ
れにくく、クリーンな環境で被熱処理物を熱処理でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態に係る縦型熱処理装置の正面図
【図2】本実施形態に係る縦型熱処理装置の側面図
【図3】本実施形態に係る縦型熱処理装置の要部正面図
【図4】本実施形態に係る縦型熱処理装置の要部平面図
【図5】(a)および(b)は炉内における被熱処理物
の搬送手順を示す工程図
【図6】(a)および(b)は炉内における被熱処理物
の搬送手順を示す工程図
【図7】(a)および(b)は炉内における被熱処理物
の搬送手順を示す工程図
【図8】(a)および(b)は炉内における被熱処理物
の搬送手順を示す工程図
【図9】(a)および(b)は炉内における被熱処理物
の搬送手順を示す工程図
【図10】(a)および(b)は炉内における被熱処理
物の搬送手順を示す工程図
【図11】(a)および(b)は炉内における被熱処理
物の搬送手順を示す工程図
【図12】(a)および(b)は炉内における被熱処理
物の搬送手順を示す工程図
【図13】(a)および(b)は炉内における被熱処理
物の搬送手順を示す工程図
【図14】(a)および(b)は炉内における被熱処理
物の搬送手順を示す工程図
【図15】(a)および(b)は炉内における被熱処理
物の搬送手順を示す工程図
【図16】(a)および(b)は炉内における被熱処理
物の搬送手順を示す工程図
【符号の説明】
A 搬送部 S 熱処理空間 W 被熱処理物 1 炉 2 加熱手段 3a,3b フィルタ 4 鉛直隔壁 5 水平隔壁 6 モータ 7 ファン 8 第1〜第29(第N)の上昇側固定
棚 8a 上昇側固定棚の基部 8b,8c 上昇側固定棚の爪部 9 第1〜第29(第N)の下降側固定
棚 9a 下降側固定棚の基部 9b,9c 下降側固定棚の爪部 10 受渡用固定棚 10a 受渡用固定棚の基部 10b,10c 受渡用固定棚の爪部 11 軸体 12 第1〜第30〔第(N+1)〕の
搬送アーム 12a 搬送アームの基部 12b,12c 搬送アームの爪部 13 駆動手段 14,15 支柱 16 梁 17 被熱処理物搬入手段のローダアー
ム 17a,17b ローダアームの爪部 18 被熱処理物搬出手段のアンローダ
アーム 18a,18b アンローダアームの爪部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被熱処理物を鉛直方向に搬送しながら、
    前記被熱処理物を熱処理するよう構成された縦型熱処理
    装置であって、 炉と、 この炉内が所定温度となるよう前記炉内を加熱するため
    の加熱手段と、 鉛直方向に沿って所定間隔で前記炉内に設けられた、前
    記被熱処理物が載置される第1〜第Nの上昇側固定棚
    と、 この第1〜第Nの上昇側固定棚と対向するよう、鉛直方
    向に沿って前記所定間隔で前記炉内に設けられた、前記
    被熱処理物が載置される第1〜第Nの下降側固定棚と、 最も上方に位置する前記第Nの上昇側固定棚と最も上方
    に位置する前記第Nの下降側固定棚とで挟まれる領域に
    隣接し、かつ、前記第Nの上昇側固定棚および前記第N
    の下降側固定棚とほぼ等しい高さに位置するよう前記炉
    内に設けられた、前記被熱処理物が載置される受渡用固
    定棚と、 前記炉内における前記第Nの上昇側固定棚と前記第Nの
    下降側固定棚とで挟まれる領域内に、鉛直方向に沿って
    上下動可能、かつ、回動可能であるよう設けられた軸体
    と、 この軸体の軸方向に沿って前記所定間隔で前記軸体に固
    定された、前記被熱処理物を保持する第1〜第(N+
    1)の搬送アームと、 前記軸体を上下動および回動させる駆動手段とを具備
    し、 前記炉内において前記被熱処理物が、前記第1〜第(N
    +1)の搬送アームの作用により、前記第1の上昇側固
    定棚から前記第Nの上昇側固定棚に向かって、前記第1
    〜第(N−1)の上昇側固定棚の中のあるものから1段
    上のものへ順に載せ換えられることにより上昇して、前
    記受渡用固定棚に至り、更にこの受渡用固定棚を経て、
    前記第Nの下降側固定棚から前記第1の下降側固定棚に
    向かって、第2〜第Nの下降側固定棚の中のあるものか
    ら1段下のものへ順に載せ換えられることにより下降す
    るよう構成されてなることを特徴とする縦型熱処理装
    置。
  2. 【請求項2】 熱処理される被熱処理物を炉内に搬入す
    るための被熱処理物搬入手段と、 熱処理済みの被熱処理物を前記炉内から搬出するための
    被熱処理物搬出手段とを更に具備し、 第1の搬送アームが、前記被熱処理物搬入手段から熱処
    理される被熱処理物を受け取り、前記被熱処理物搬出手
    段へ熱処理済みの被熱処理物を渡すよう構成されてなる
    ことを特徴とする請求項1に記載の縦型熱処理装置。
  3. 【請求項3】 第1〜第Nの上昇側固定棚、第1〜第N
    の下降側固定棚、受渡用固定棚および第1〜第(N+
    1)の搬送アームはいずれも、基部と、この基部の両端
    から延在させた、被熱処理物が載置される互いに平行な
    二つの爪部とを備えたコ字形のものであって、 かつ、前記第1〜第(N+1)の搬送アームにおける爪
    部平行幅は、前記第1〜第Nの上昇側固定棚、前記第1
    〜第Nの下降側固定棚および前記受渡用固定棚におけ
    る、いずれの爪部平行幅よりも小さく、 更に、前記第1〜第(N+1)の搬送アームにおける爪
    部が、前記第1〜第Nの上昇側固定棚、前記第1〜第N
    の下降側固定棚および前記受渡用固定棚における、いず
    れの爪部間領域をも通過できるよう構成されてなること
    を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の縦型熱処理
    装置。
  4. 【請求項4】 被熱処理物は、長尺な板状のものである
    ことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載
    の縦型熱処理装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005535128A (ja) * 2002-08-02 2005-11-17 ウェーハマスターズ・インコーポレイテッド バッチ炉
JP2005535126A (ja) * 2002-08-02 2005-11-17 ウェーハマスターズ・インコーポレイテッド ウエハバッチ処理システム及び方法
WO2007090900A1 (de) * 2006-02-10 2007-08-16 Centrotherm Photovoltaics Ag Vorrichtung zur behandlung von dünnen scheibenförmigen objekten im durchlaufverfahren in einem vertikalreaktor
JP2011208842A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Finesinter Co Ltd 連続式焼結炉
JP2016083719A (ja) * 2014-10-24 2016-05-19 株式会社ジェイテクト 搬送装置
JP7343675B1 (ja) 2022-10-14 2023-09-12 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 縦型加熱炉

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