TW200904246A - Substrate bearing a discontinuous electrode, organic light-emitting device incorporating it, and their manufacture - Google Patents
Substrate bearing a discontinuous electrode, organic light-emitting device incorporating it, and their manufacture Download PDFInfo
- Publication number
- TW200904246A TW200904246A TW097106462A TW97106462A TW200904246A TW 200904246 A TW200904246 A TW 200904246A TW 097106462 A TW097106462 A TW 097106462A TW 97106462 A TW97106462 A TW 97106462A TW 200904246 A TW200904246 A TW 200904246A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- layer
- electrode
- substrate
- organic light
- oxide
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 64
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 245
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 51
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 38
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 34
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 31
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 28
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 25
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 25
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 25
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 23
- 239000002585 base Substances 0.000 claims description 21
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 19
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 19
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 17
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 13
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 13
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 13
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 12
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 12
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 12
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 11
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 9
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 8
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 8
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 8
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 7
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910007667 ZnOx Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 6
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims description 5
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 4
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000005340 laminated glass Substances 0.000 claims description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims description 3
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 3
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000005034 decoration Methods 0.000 claims description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims 2
- 229910001093 Zr alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims 1
- 239000010436 fluorite Substances 0.000 claims 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- -1 Regel Polymers 0.000 description 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 12
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 10
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910015202 MoCr Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 5
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 4
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 3
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000010329 laser etching Methods 0.000 description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 3
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 3
- KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N oxotin;zinc Chemical compound [Zn].[Sn]=O KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- RICKKZXCGCSLIU-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[carboxymethyl-[[3-hydroxy-5-(hydroxymethyl)-2-methylpyridin-4-yl]methyl]amino]ethyl-[[3-hydroxy-5-(hydroxymethyl)-2-methylpyridin-4-yl]methyl]amino]acetic acid Chemical compound CC1=NC=C(CO)C(CN(CCN(CC(O)=O)CC=2C(=C(C)N=CC=2CO)O)CC(O)=O)=C1O RICKKZXCGCSLIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HVOAFLJLVONUSZ-UHFFFAOYSA-N 2-ethylperoxythiophene Chemical compound CCOOC1=CC=CS1 HVOAFLJLVONUSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpyridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N Butyraldehyde Chemical compound CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920001467 poly(styrenesulfonates) Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 2
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052902 vermiculite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010455 vermiculite Substances 0.000 description 2
- 235000019354 vermiculite Nutrition 0.000 description 2
- UHXOHPVVEHBKKT-UHFFFAOYSA-N 1-(2,2-diphenylethenyl)-4-[4-(2,2-diphenylethenyl)phenyl]benzene Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC(C=C(C=3C=CC=CC=3)C=3C=CC=CC=3)=CC=2)C=CC=1C=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 UHXOHPVVEHBKKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UADRLDJJTNNJSW-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpyridine silver Chemical compound [Ag].c1ccc(cc1)-c1ccccn1 UADRLDJJTNNJSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHDHJYNTEFLIHY-UHFFFAOYSA-N 4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=NC2=C1C=CC1=C(C=3C=CC=CC=3)C=CN=C21 DHDHJYNTEFLIHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AWXGSYPUMWKTBR-UHFFFAOYSA-N 4-carbazol-9-yl-n,n-bis(4-carbazol-9-ylphenyl)aniline Chemical compound C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2N1C1=CC=C(N(C=2C=CC(=CC=2)N2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C32)C=2C=CC(=CC=2)N2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C32)C=C1 AWXGSYPUMWKTBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCZWJXTUYYSKGF-UHFFFAOYSA-N 5,12-dimethylquinolino[2,3-b]acridine-7,14-dione Chemical compound CN1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3N(C)C1=C2 SCZWJXTUYYSKGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000208340 Araliaceae Species 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- VTLYFUHAOXGGBS-UHFFFAOYSA-N Fe3+ Chemical compound [Fe+3] VTLYFUHAOXGGBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 101000837344 Homo sapiens T-cell leukemia translocation-altered gene protein Proteins 0.000 description 1
- 229910000583 Nd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005855 NiOx Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000144 PEDOT:PSS Polymers 0.000 description 1
- 235000005035 Panax pseudoginseng ssp. pseudoginseng Nutrition 0.000 description 1
- 235000003140 Panax quinquefolius Nutrition 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000286 Poly(2-decyloxy-1,4-phenylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 229910018316 SbOx Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005728 SnZn Inorganic materials 0.000 description 1
- 102100028692 T-cell leukemia translocation-altered gene protein Human genes 0.000 description 1
- 229910010421 TiNx Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003087 TiOx Inorganic materials 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- 239000004904 UV filter Substances 0.000 description 1
- 229910052770 Uranium Inorganic materials 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002998 adhesive polymer Substances 0.000 description 1
- 229920000109 alkoxy-substituted poly(p-phenylene vinylene) Polymers 0.000 description 1
- 230000003373 anti-fouling effect Effects 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000002902 bimodal effect Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 1
- 235000008434 ginseng Nutrition 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 230000001699 photocatalysis Effects 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- OANVFVBYPNXRLD-UHFFFAOYSA-M propyromazine bromide Chemical compound [Br-].C12=CC=CC=C2SC2=CC=CC=C2N1C(=O)C(C)[N+]1(C)CCCC1 OANVFVBYPNXRLD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- HLLICFJUWSZHRJ-UHFFFAOYSA-N tioxidazole Chemical compound CCCOC1=CC=C2N=C(NC(=O)OC)SC2=C1 HLLICFJUWSZHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-O triphenylazanium Chemical compound C1=CC=CC=C1[NH+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- DNYWZCXLKNTFFI-UHFFFAOYSA-N uranium Chemical compound [U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U][U] DNYWZCXLKNTFFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HGBOYTHUEUWSSQ-UHFFFAOYSA-N valeric aldehyde Natural products CCCCC=O HGBOYTHUEUWSSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
- H10K50/816—Multilayers, e.g. transparent multilayers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8051—Anodes
- H10K59/80517—Multilayers, e.g. transparent multilayers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/84—Parallel electrical configurations of multiple OLEDs
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/86—Series electrical configurations of multiple OLEDs
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/302—Details of OLEDs of OLED structures
- H10K2102/3023—Direction of light emission
- H10K2102/3031—Two-side emission, e.g. transparent OLEDs [TOLED]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/351—Thickness
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
- H10K59/173—Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
- H10K59/179—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
200904246 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明的標的爲帶有用於有機發光裝置的不連續電極 之基板,倂入該基板的有機發光裝置,及彼之製造。 【先前技術】 有機發光系統或裝置(OLED)包含有機電致發光材料 或此等以導電層形式經由在其側面的電極供應電力的材料 堆疊體。 傳統上,上電極爲反射金屬層,例如由鋁構成,且下 電極爲厚度約100至150 nm之氧化銦爲底的透明層,該氧 化銦一般爲摻錫之氧化銦(常縮寫爲ITO)。然而,此ITO 層具有許多缺點。首先,用於改善傳導度的材料及高溫 (3 5 0 °C )沈積方法招致額外的成本。除非層厚度提高至大 於1 5 0 nm,否則該表面電阻維持非常的高(1 〇 Ω/□的等級) ’藉以導致透明度降低及表面粗糙度增加,引起大大地降 低該OLED壽命及可靠度的尖峰效應(spike effect)。 再者,爲了電分離該等電極,下電極爲不連續,經常 形成電極平行帶,各個照明帶係串聯連結。現在,申請人 發現大面積照明帶上不可能具有均勻的照明。再者,爲了 獲得適當的塡充因子,對應照明面積對裝置總面積的比例 ,需要使用昂貴的光微影技術大大地降低電極帶之間的距 離。 文件E P 1 5 2 1 3 0 5因此提供由肉眼見不到的蝕刻線分 -4- 200904246 開且由樹脂隔絕的串聯電極區之形式的ITO爲底的下電極 ,此下電極係藉由光微影術沈積。 在其他習知的裝置中,上電極爲連續反射電極且下電 極爲一般由鋁構成的金屬線越過的連續ΙΤΟ層,且視需要 組織成柵格,這些金屬線的目的爲改善該ΙΤΟ層的導電性 質以供更均勻照射大面積。爲了獲得適當的塡充因子,這 些線係精細的,具有1 〇〇 μπι等級的寬度,且經由光微影 術以經常具有約400 nm厚度之光敏性樹脂或光阻劑構成 的遮罩獲得。此光阻劑係保持在用於鈍化用途的線上,以 便防止下電極與上電極之間的短路。 此下電極係昂貴的且缺乏可靠度,因爲單短路點會污 染整個面積,而使該發光裝置有缺陷。 【發明內容】 本發明的目的在於獲得同時持續確保大面積的照明均 勻性且具有令人滿意的塡充因子之下電極,其係可靠、不 貴且較易於製造,尤其是以工業規模。 爲此目的,本發明之一標的爲一種用於有機發光裝置 之基板,其係在不連續電極的主要面上,其包含,從該基 板開始: -以經摻雜或未經摻雜的金屬氧化物爲底的接觸層; -具有固有導電性之以銀爲底的金屬功能層,該功能 層厚度爲小於1 0 0 n m ;及 -用於改變功函數的覆蓋層,其係以金屬氧化物爲底 -5- 200904246 ,對於小於1 〇〇 nm,較佳等於或小於5 0 nm的功能層厚度 ’該電極具有等於或小於5 Ω/□,或甚至等於或小於4 Ω /口 的表面電阻。 根據本發明的不連續電極係呈至少一排電極區的形式 ,各電極區在該排的方向具有至少3 cm,且較佳至少5 cm 的第一尺寸,各排的電極區間的間隔係所謂的排內距離, 其等於或小於〇 . 5 m m。 該電極可包含個別或連續驅動之許多變化幾何形狀及 /或面積的電極區,該等區可或可不沿著一排。 根據本發明的電極導電性可由具有金屬功能層的電極 之選擇,此金屬功能層也比ITO功能層不貴,及由電極材 料的本質和可在室溫下(例如經由噴灑及蒸發)進行的製造 來實現。 導電性允許選定之伸相當長(至少3 c m)的電極區所定 義的各照明區的照明均勻性,不會危及透明度或產物粗糙 ,該功能層厚度係有限的。 經常地,對於與電極區相關的照明區或對於此等照明 區之數個或各個,此照明區中心亮度(以Cd/m2爲單位測 量)對此照明區任何邊緣亮度的比例因此可等於或大於〇. 7 ,或更佳等於或大於0.8。 鈍化防止OLED電極之間的短路。再者,樹脂覆蓋電 極區可能的不規則邊緣。這些覆蓋區因爲不會發亮,藉以 提高均勻照明的可能性。然而,爲了適當的塡充因子,各 覆蓋邊界的寬度較佳可爲小於100 μιη,或甚至小於或等於 -6- 200904246 5 0 μιη,例如在10與30 μιη之間。 在不必仰賴光微影術產生電極區下,該排內距離上限 及各電極區範圔確保高塡充因子。 因爲該電極係視需要組織成一或多個排,缺陷性電極 區不會干擾其他電極區的操作。 該電極中ΙΤΟ或主要銦爲底之氧化物的總厚度可等於 或小於40 nm或甚至30 nm。 電極的總厚度可等於或小於1 5 0 nm。 根據本發明的電極可覆蓋大面積,例如等於或大於 0.02 mm2或甚至0.5 m2或1 m2的面積。 該排內距離可爲至少2 0 μιη以便限制邊緣之間的短路 ,較佳在50與250 μπι之間,尤其是在1〇〇與250 μιη之間 〇 有利地’在不需光微影術下,可獲得該不連續電極, 例如: -藉由雷射蝕刻; -藉由底部遮蔽(undermasking); -藉由使用蝕刻糊’尤其是酸爲底的糊之化學網版印 刷, 該等技術完全爲了工業條件發展且不貴。 該底部遮蔽在於沈積該不連續遮罩,經常視需要呈概 格形式的平行線。此遮罩係由可藉由相對於電極來看·爲舍屯 性之溶劑(水、醇、丙酮等)來溶解的材料構成。該遮罩可 經由網版印刷或經由噴墨來沈積。接下來,沈積電I #材_半斗 200904246 的連續層且溶解該遮罩,由此在電極區之間產生間隔(較 佳呈平行線的形式)。 在本發明的較佳設計中,該絕緣材料覆蓋周圍電極區 的邊緣。 有關絕緣材料,可選擇例如丙烯酸系或聚醯胺樹脂, 例如樹脂 Wepelan、樹脂 SD2154E 及 SD2954。 較佳地,爲了進一步降低製造成本,該絕緣材料係選 自網版印刷絕緣材料,尤其是丙烯酸系樹脂,該絕緣材料 係藉由噴墨,例如,專利US 6 986 982所述的墨水來沈積 ,或藉由輥塗法來沈積。 較佳地,爲了選擇電連接的自由度,該電極包含許多 相互平行排,該等電極區之排係經由等於或小於0.5 mm, 較佳在1 〇 〇 μιη與2 5 0 μχη之間的排內距離間隔開。 這些排較佳可由絕緣樹脂相互電絕緣,特別是如先前 所述者。 像是該等排內距離,排之間的間隔較佳可經由雷射或 底部遮蔽製造。 各電極區可爲完全幾何圖形(方形、矩形、圓形等)的 圖案。一排接著另一排,該等圖案可偏離,例如,成錯開 的排列。 依垂直該排的方向,該電極區可具有任何大小,例如 至少3 cm、5 cm或甚至大約1〇 Cm(大於等於1〇 cm)。 有利地,根據本發明的電極可具有: -對於等於或小於20 nm的功能層厚度等於或小於5 Ω/口 200904246 的表面電阻,及等於或大於6 0 %,更佳7 0 %的光透射率T L ,及小於10%的吸收因子A(由1-RL-TL得到),使其能作爲 用於底部發光裝置特別適當的透明電極; -對於高於20 nm的功能層厚度等於或小於3 Ω/□的表 面電阻,較佳等於或小於1.8 Ω/□,及在0.1至0.7之間的 Tl/Rl比及小於1 0%的吸收因子A,使其能作爲用於底部 發光及頂部發光裝置特別適當的半透明電極;及 -對於高於5 0 nm的功能層厚度等於或小於1 Ω/□的表 面電阻,較佳等於或小於0.6 Ω/□,較佳結合等於或大於 70%的光反射率RL,又更佳大於80%,藉以使其能作爲用 於頂部發光裝置特別適當的反射電極。 該TL較佳在薄基板(例如對於約90%的TL,例如鹼石 灰-矽石玻璃,具有1 mm等級的厚度)上測量。 下電極的表面可具有較佳等於或小於2 nm的RMS粗 糖度(也稱爲R q)且又更佳等於或小於1 . 5 n m或等於或小於 1 nm以避免尖峰效應。 該RMS粗糙度表示均方根粗糙度。此係粗糙度RMS 偏離的度量。此RMS粗糙度因此明確地說測定粗糙度的 峰及凹處的高度平均相對於平均高度的量。由此,2 nm 的RMS粗糙度意指雙峰振幅。 其可以不同方式測量:例如,藉由原子力顯微鏡,藉 由機械探針系統(mechanical stylus system)(使用例如 VEECO所販售名稱DEKTAK的測量儀器)及藉由光學干擾 儀。此測量一般藉由原子力顯微鏡在一平方微米面積上執 -9- 200904246 行且藉由機械探針系統在約50微米乘2毫米的較大面積上 執行。 當該基材包含,在基底層與接觸層之間,由混合氧化 物所構成的非晶性平滑層時尤其能達到此低粗糙度,該平 滑層正好配置在該接觸層下方且係由該接觸層的材料以外 的材料構成。 較佳地,該平滑層係以下列一或多種金屬之氧化物爲 底的混合氧化物層:Sn、Si、Ti、Zr、Hf、Zn ' Ga及in ,且尤其是以鋅及錫爲底的視需要之經摻雜的混合氧化物 層,或混合氧化銦錫(ITO)層或混合氧化銦鋅(IZO)層。 較佳地,該平滑層具有〇· 1與30 nm之間且更佳0.2與 10 nm之間的幾何厚度。 該功能層係以純銀或銀與Au、Al、Pt、Cu、Zn、In 、Si、Zr、Mo、Ni、Cr、Mg、Mn、Co、Sn 或 Pd 之合金 或者慘雜 Au、Al、Pt、Cu、Zn、In、Si、Zr、Mo、Ni、 Cr、Mg、Mn、Co、Sn或Pd之銀爲底。例如,可列舉摻
Pd的銀或銅/金合金或銀/金合金。 可藉由真空沈積技術,尤其是蒸發或較佳磁控管濺射 ’尤其是在室溫時,來沈積該功能層。 若特別尋求高傳導度,較佳可選擇純的材料。若特別 尋求顯著機械性質,較佳可選擇摻雜或合金化的材料。 爲了其傳導度及其透明度選擇銀爲底的合金。該銀爲 底的功能層厚度可在3與20 nm之間,較佳在5與15 nm之 間。在此厚度範圍內,該電極維持透明。該銀爲底的功能 -10- 200904246 層厚度也可在20與50 nm之間以從主要呈透射的操作切換 爲主要呈反射的操作。 用於改變功函數的覆蓋層較佳可以至少一種下列金屬 氧化物爲底:氧化鉻、氧化銦、氧化鉬及氧化鎳,用於改 變功函數彼等較佳爲化學計量的,氧化鋁、氧化鈦、氧化 錯、氧化組及氧化砂。 該金屬氧化物經常可摻雜0.5與5%之間。特別是,爲 了較好的沈積程序安定性及/或爲了提高導電度,其係摻 雜S的氧化錫或摻雜Al(AZO)、Ga(GZO)、B、Sc或Sb的 氧化鋅。 該覆蓋層可以混合氧化物爲底,特別是具有非晶相之 一般非化學計量混合的氧化錫鋅SnxZnyOz或混合氧化銦 錫(I Τ Ο)或混合的氧化銦鋅(I ζ Ο )。 該覆蓋層可爲單層或多層。此層較佳具有在3與50 nm 之間的總厚度,更佳在5與2 0 nm之間。 較佳爲選擇具有大於10·6 S/cm導電度的覆蓋層,或 甚至10_4 S/cm,該層容易及/或能快速製造且爲透明的, 尤其是以 ITO、IZO、SnxZnyOz、ZnO、NiOx、Μ ο Ο x 或 Ιη203之摻雜或未經摻雜的覆蓋層。 因爲此覆蓋層較佳可爲最終層,特別佳爲所具有的 ΙΤΟ覆蓋層是安定的且可用現有技術製造且最適化所保有 的OLED有機結構同時還能控制成本。 平坦基板可爲透明的(特別是對於穿過該基板的放射) 。該平坦基板可爲剛性、彈性或半彈性的。 -11 - 200904246 其主要面可爲矩形、方形或任何其他形狀(圓形 '橢 圓形、多邊形等)。此基板可爲大型,例如具有大於〇·〇2 m2或甚至0.5 m2或1 m2的面積,且具有實質上佔據整個面 積(除了結構化區之外)的下電極。 該平坦基板較佳係由玻璃構成,尤其是鹼石灰-矽石 玻璃。有利地,該基板可爲在該OLED輻射波長下具有小 於2.5 ηΤ1,較佳小於0.7 πΓ1的吸收係數之玻璃。 例如,選擇具有小於0.05% Fe(III)或Fe203的鹼石灰-
矽石玻璃,尤其是Saint-Gobain Glass的玻璃DIAMANT 、Pilkington 的玻璃 OPTIWHITE 或 Schott 的玻璃 B270。 文件WO 04/025334所述的所有超透明玻璃組成都可選用 〇 在選用於穿過該透明基板厚度的0LED系統放射(底 部放射)的結構中,部分放射的輻射係引導至該基板中。 此外’本發明的有利設計選用的玻璃基板厚度可爲至 少0.35 mm’例如較佳至少1 mm。這允許內反射次數被降 低且由此能使更多引導至玻璃中的輻射被引出,藉以提高 發光區的亮度。 該面板的邊緣也可爲反射性且爲了被引導輻射的最適 再循環較佳具有鏡子,且爲了再引導輻射橫過較寬的引出 區’該等邊緣與0LED系統相關的主要面形成等於或大於 4 5 °的外部角’較佳等於或大於8 〇。,但是小於9 〇。。由 此該面板可形成斜角。 該電極較佳可包括,在該功能層下方,能形成鹼金屬 -12- 200904246 之阻障層的基底層。 該基底層提供根據本發明的電極許多優點。首先,其 可爲舖在該電極下方的鹼金屬之阻障層。其防止該接觸層 受到任何污染(其可能導致機械缺陷,如脫層)且其也防止 該金屬層的導電性。其亦防止OLED裝置的有機結構被鹼 金屬污染(該污染事實上使OLED的壽命減短相當多)。 鹼金屬的遷移可能在裝置製造期間發生,造成可靠度 不足,及/或在製造之後,降低其壽命。 該基底層改善該接觸層的黏合性而不會可感知地提高 整個組合的粗糙度。 該基底層係堅固且容易且能快速使用不同技術沈積。 其可例如藉由熱解技術沈積,尤其是CVD(化學氣相沈積) 。此技術對本發明係有利的,因爲適當調整沈積參數能獲 得非常緻密的層作爲強化阻障層。 該基底層可視需要摻雜鋁以便使其真空沈積更穩定。 該基底層(視需要摻雜的單層或多層)可具有在10與150 nm 之間的厚度,且更佳在20與100 nm之間。 該基底層較佳可爲: -以氧化矽或氧碳化矽爲底的層,具有通式SiOC的層 -以氮化矽 '氧氮化矽或氧碳氮化矽爲底的層,通式 SiNOC的層,尤其是SiN,特別是Si3N4。 其較佳可以氮化矽爲底或其可爲以氧化矽爲底或以氧 碳化矽爲底且具有藉由溼潤抗蝕刻性來補強之錫的層,換 -13- 200904246 言之通式SnSiOCN的層。 最特別的是較佳可爲基本上由摻雜或未經摻雜的氮化 矽Si3N4所構成的基底層。氮化矽能非常快速沈積且形成 鹼金屬的優異阻障層。再者,想到其相對於承載基板的高 光學指數,使該電極的光學性質能較佳改變此基底層的厚 度而予以改變。由此,例如當電極爲透明的時能調整透射 的色彩,或當該承載基板的相反面爲鏡子時能調整反射。 該接觸層較佳可以至少一種下列化學計量或非化學計 量的金屬氧化物爲底:氧化鉻、氧化銦、氧化鲜、氧化鋁 、氧化鈦、氧化鉬、氧化锆、氧化銻、氧化鉬、氧化矽或 甚至氧化錫。 典型地,該金屬氧化物經常可摻雜0.5與5%之間。特 別是,爲了較好的沈積程序安定性,其係摻雜Al(AZO)、 Ga(GZO)或B、Sc或Sb的氧化錫,或甚至摻雜F或S的 氧化錫。 該接觸層可以混合氧化物爲底,尤其是一般非化學計 量且具有非晶相之混合的氧化錫鋅SnxZnyOz,或以混合 氧化銦錫(ITO)或混合的氧化銦鋅(IZO)爲底。 該接觸層可爲單層或多層。較佳地,此層具有在3與 3 0 n m之間的總厚度,或又更佳在5與2 0 n m之間。 較佳爲選擇沒有毒性且容易及/或能迅速製造的層, 必要時,視需要爲透明的,尤其是以 ITO、IZO、 SnxZny〇z或ZnOx爲底之摻雜或未經摻雜的層。 又更佳地,選用沿著潛在可能生長方向具有結晶性本 -14- 200904246 質的層以促成該功能金屬層的異質磊晶。 由此,較佳爲氧化鋅Zn〇x層,較佳X小於1,且又更 佳在0.88與0.98之間,尤其是在0.90與0.95之間。如先前 所述的,此層可爲純的或摻雜A1或Ga。 在本發明的較佳設計中,爲了進一步防止該功能層腐 蝕,該電極可包括,在該功能層與該覆蓋層之間,用於預 防氧及/或水之金屬氧化物爲底的層,最特別的是當該覆 蓋層係薄的時(20 nm或更小)。 該保護層較佳可以至少一種下列金屬氧化物爲底:氧 化銦、氧化鋅、氧化鉬、氧化鋁、氧化鈦、氧化鉻、氧化 鉬、氧化矽、氧化錫。 該金屬氧化物典型可摻雜2與5%之間。特別是摻S的 氧化錫或經摻雜的氧化鋅ZnOx,例如爲了較好的安定性 摻雜Al(AZO)或爲了提高導電度摻雜Ga(GZO),或摻雜B 、Sc 或 Sb 。 該保護層可以混合氧化物爲底,尤其是一般非化學計 量且具有非晶相之混合的氧化錫鋅SnxZnyOz或混合氧化 銦錫(ITO)或混合的氧化銦鋅(IZO)。 該保護層可爲單層或多層。此層較佳具有在3與90 nm 之間的總厚度,更佳在5與3 〇 nm之間。 當然,添加致力於保護的層使單獨選擇的覆蓋層之選 擇具有較大的自由度以具有最適的表面性質,尤其是對於 改變Ο L E D的功函數。 較佳爲選擇容易及/或能快速製造且爲透明的保護層 -15- 200904246 ,尤其是以ITO、izo、SnxZnyOz、zn〇x爲底之摻雜或未 經摻雜的層。 特佳爲具有以氧化鋅ZnOx爲底的層,較佳具有小於i 的X,較佳在0.88與0.98之間,尤其是在0.9與0.95之間。 如先前所述的,此層可爲純的或經摻雜的。此層最特別的 是適於直接在該功能層上而不會降低其透明度或其導電度 〇 在本發明的較佳具體例中’該接觸層及該保護層具有 相同本質’特別是由純的、經摻雜或合金化的氧化鋅構成 ,且較佳該覆蓋層係由ITO構成。 總厚度(連同基底層)可在30 nm與250 nm之間,或甚 至是1 5 0 nm。 在該銀爲底的功能層與覆蓋層之間,該電極可依序包 括:以視需要包含該保護層、該平滑層、第二接觸層(特 別是類似該接觸層或至少由前述材料構成)、銀爲底的第 二功能層(尤其是類似第一功能層)及視需要的阻擋塗層( 尤其是類似該視需要的阻擋塗層或至少由前述材料構成) 之金屬氧化物爲底的分離層。 銀多層堆疊體的樣子可想像的到。 該堆疊體一般係藉由真空技術(如濺射,視需要的磁 控管濺射)來進行的連續沈積操作獲得。也可提供一或甚 至兩層所謂"阻擋塗層"之非常薄的塗層,該阻擋塗層係直 接沈積在各功能性金屬層(尤其是以銀爲底)下方或各側上 ,以基板的方向該塗層在該功能層下方作爲黏合、成核及 -16- 200904246 /或保護塗層,且該塗層在該功能層下方作爲作爲保護或" 犧牲'’塗層以便預防該功能金屬層受到來自該功能金屬層 上的層之氧的攻擊及/或遷移而受損,或者若該功能金屬 層上的層係在氧存在下藉由濺射沈積時受到氧的遷移而受 損。 因此該功能金屬層可直接置於至少一個上方阻擋塗層 上及/或直接在至少一個上方阻擋塗層下方,各塗層具有 較佳在〇 _ 5與5 nm之間的厚度。 在本發明的內文中,當明確指出一層或塗層(包含一 或多個層)的沈積物係直接形成在另一種沈積物的下方或 直接形成在另一個沈積物上時,這兩種沈積物之間可沒有 任何層介入。 至少一個阻擋塗層較佳包含金屬、金屬氮化物及/或 以下列金屬中之至少其一爲底的金屬氧化物:Ti、V、Μη 、Fe、Co、Cu、Ζη、Zr、Hf、A1、Nb、Ni、Cr、Mo、Ta 、W,或以該等材料中之至少其一的合金爲底。 例如,阻擋塗層可由鈮、鉅、鈦、鉻或鎳爲底或以至 少二種該等金屬所形成的合金(如鎳·鉻合金)爲底之層構 成。 薄阻擋塗層形成保護或甚至”犧牲"層,其防止該功能 金屬層的金屬受損,尤其是在一或多個下列組態中: -若在該功能層上的層係使用反應性(氧、氮等)電漿 來沈積,例如若在該功能層上的氧化物層係藉由濺射來沈 積; -17- 200904246 -若在該功能層上的層之組成對於工業製造時的變化( 該靶材損耗型的沈積條件變化等)不安定,尤其是若氧化 物及/或氮化物型的化學計量變化,將因此改變該功能層 的品質且因此該電極品質(表面耐性、光透射率等);及 -若該電極塗層在沈積之後進行熱處理。 此保護或犧牲層明顯改善該電極的電及光學性質的再 現性。這對於只能接受電極性質小量分散的工業方法非常 重要。 特佳爲以選自鈮Nb、鉅Ta、鈦Ti、鉻Cr或鎳m的 金屬爲底,或以至少二種這些金屬所形成的合金(尤其是 鈮/鉅(Nb/Ta)合金、鈮/鉻(Nb/Cr)合金或钽/鉻(Ta/Cr)合金 或錬/鉻(Ni/Cr)合金)爲底之薄阻擋層。以至少一種金屬爲 底這類型的層具有特別強的吸氣效應。 薄金屬阻擋層可輕易製造而不會損及該功能層。此金 屬層較佳可在由惰性氣體(He、Ne、Xe、Ar、Kr)所構成 的惰性環境(即故意不加入氧或氮)中沈積。不排除後繼沈 積以金屬氧化物爲底的層時此金屬層的表面會被氧化,但 此並不是個問題。 此薄金屬阻擋塗層也提供優異的機械性質(尤其是磨 損及刮傷耐性)。這對於進行熱處理的堆疊體,且進而此 處理期間氧或氮的實質擴散尤其如此。 無論如何,爲了使用金屬阻擋塗層,必須限制該金屬 層的厚度及光吸收以保持該等透明電極充分的光透射率。 該薄阻擋層可能部分被氧化。此層係以非金屬形式沈 -18- 200904246 積且因此並非以化學計量形式而是以低於化學計量形式的 MOx型沈積,其中Μ表示材料且X爲低於該材料之氧化 物的化學計量的數字,或對於兩種材料Μ及Ν(或多於兩 種)的氧化物而言爲 ΜΝΟχ型。例如,可列舉 TiOx及 NiCrOx 。 較佳地,X係介於該氧化物普通化學計量數的〇. 7 5倍 與0.99倍之間。對於單氧化物,X可特別是選爲0.5與0.98 之間且對於二氧化物X可爲1.5與1 .98之間。 在一個特定的變化例中,該薄阻擋層係以Ti〇x爲底 ,其中X可特別爲1·5 S X < 1.98或1.5 < X < 1.7,或甚至 1 7 < X S 1 _ 95。 該薄阻擋層可部分被氮化。因此其並非以化學計量形 式而是以低於化學計量形式的MNy型沈積,其中Μ表示 材料且y爲小於該材料之氮化物的化學計量的數字,y較 佳爲介於該氮化物正常化學計量數的0.75倍與0.99倍之間 〇 同樣地,該薄阻擋層也可部分被氧氮化。 此薄氧化及/或氮化阻擋層可輕易被製造而不會損及 該功能層。其較佳爲使用在較佳由惰性氣體(He、Ne、Xe 、Ar、Kr)所構成的非氧化性環境中的陶瓷靶材來沈積。 該薄阻擋層較佳可由低於化學計量的氮化物及/或氧 化物構成以進一步提高該電極的電及光學性質的再現性。 所選擇之薄的低於化學計量的氧化物及/或氮化物阻 擋層較佳可以選自下列金屬中之至少其一的金屬爲底:Ti -19- 200904246 、V、Μη、Fe、Co、Cu、Zn、Zr、Hf、A1、Nb、Ni、Cr 、Mo、Ta、W,或以這些材料中之至少其一爲底之低於化 學計量的合金之氧化物。 特佳爲以選自鈮Nb、钽Ta、鈦Ti、鉻Cr或鎳Ni的 金屬之氧化物或氧氮化物爲底,或以至少二種這些金屬所 形成的合金(尤其是鈮/钽(Nb/Ta)合金、銳/鉻(Nb/Cr)合金 或钽/鉻(Ta/Cr)合金或鎳/鉻(Ni/Cr)合金)爲底的層。 有關低於化學計量的金屬氮化物,也可選擇由氮化矽 SiNx或鋁A1NX或氮化鉻CrNx*氮化鈦TiNx或數種金屬 的氮化物,如NiCrNx所構成的層。 使用特定的沈積環境時該薄阻擋層可具有一氧化梯度 (oxidation gradient),例如 Xi 改變的 M(N)Oxi,該阻擋層 與該功能層接觸的部分氧化的比此層離該功能層最遠的部 分氧化的更少。 該阻擋層也可爲多層且特別是包含: -一方面’正好接觸該功能層的”界面”層,此界面層 係由非化學計量的金屬氧化物、氮化物或氧氮化物爲底的 材料(如上述者)構成; -另一方面’至少一個由金屬材料(如上述者)所構成 的層,此層正好與該”界面"層接觸。 該界面層可爲一或多種金屬的氧化物、氮化物或氧氣 化物,存在於視需要的相鄰金屬層中。 本發明也有關包含至少一個承載層(尤其是由玻璃所 構成)的有機發光裝置,該承載層上有: -20- 200904246 -如上述之不連續下電極,由此形成至少一排下電極 區(或至少多個下電極區); -至少一個不連續層,其係由一或多種呈排列在該等 電極區上之電致發光層區形式的有電致發光材料所構成; 及 -具有呈排列在該電致發光層區上的電極區形式的導 電層的不連續上電極, 及,對於該排的可能串聯連接,該等電致發光層區依 該排的方向偏離該等下電極區且該等下電極區依該排的方· 向偏離該等電致發光層區。 在串聯連接中,電流從上電極區流至相鄰的下電極區 0 該下電極可沿著垂直此排的方向形成單一排下電極區 ,且該上電極及電致發光層可爲不連續以形成多個平行的 排。 由此,此裝置可有利地組織成多個被隔開至少0.5 m m 之實質平行的電致發光排,各排皆能串聯連接。 獨立排的電致發光層區之間的距離可爲大於指定排的 區間距離,較佳爲高於100 μιη,尤其是在100 μιη與250 μπι之間。 各個排因此可爲獨立的。若各排多個區中之其一有缺 陷,整個排仍可繼續操作。相鄰排保持原狀。 一或多個電極區可爲獨立的。 或者,該等下電極可包含多個下電極區排且該電致發 -21 - 200904246 光層及上電極複製這些排(沿著該等排的方向偏移)。 不同類型的連接係可行的: -所有電致發光區的單一串聯連接; -串聯及並聯連接的組合; -各排特有或甚至各組群或區特有的串聯連接。 在較佳的具體例中,電連接墊,呈與上電極材料相同 的材料所構成之導電層的形式,係與視需要覆蓋下方絕緣 樹脂之下電極區的周圍邊緣相連。 根據本發明的有機發光裝置可有或可沒有電流引線。 形成集電器或配電器的兩個連續或不連續電流引線帶 可個別與下電極區的周圍邊緣(較佳爲經由連接墊)且與上 電極區的周圍邊緣電接觸。 該等電流引線帶較佳可具有在0.5與10 μιη之間的厚 度及0.5 mm的寬度,且可爲不同形式: -由下列金屬中之其一所構成的金屬單層:Mo、A1、 Cr、Nd或金屬的合金,如MoCr、AINd ; -由下列金屬中之其一所形成的金屬多層:Mo、Al、 Cr、Nd或金屬的合金,如MoCr/Al/MoCr; -較佳由導電琺郵(例如含有銀及網版印刷的)所構成 -較佳由導電材料或塡充導電粒子且藉由噴墨(例如來 自 InkTec Nano Silver Paste Inks 的墨水 TEC PA 03 0™之 類的銀墨水)沈積的材料所構成的;及 -無論摻雜金屬(例如銀)與否的導電聚合物所構成的 -22- 200904246 也可使用所謂TCC(透明導電塗層)的薄金屬層,例如 由 Ag、Al、Pd、Cu、Pd、Pt、In、Mo、Au 且經常根據想 要的光透射率/反射率具有5與50 nm之間的厚度。 該上電極可爲有利地選自金屬氧化物的導電層,尤I 是下列材料··經摻雜的氧化鋅,尤其是摻鋁的氧化鋅Zn0 :A1或摻鎵的氧化鋅ZnO: Ga,或經摻雜的氧化銦,尤 其是摻錫的氧化銦(ITO)或摻鋅的氧化銦(IZ〇)。 更常地’可使用任何類型的透明導電層,例如T c 0 ( 透明導電氧化物)層,例如具有在20與1000 nm之間的厚 度。 該OLED裝置可產生單色(尤其是藍及/或綠及/或紅色 )光或可被改變以產生白光。 爲了產生白光,幾種方法係可行的:在單層中混合多 種化合物(發紅、綠及藍光);在該等電極面上堆疊三種有 機結構(發紅、綠及藍光)或兩種有機結構(黃及藍);在該 等電極面上且在適當燐光層另一面上的連續三種相鄰有機 結構(發紅、綠及藍光),一種有機結構一種色彩。 該OLED裝置可包含多個相鄰的有機發光系統,各自 放射白色,或藉由發紅、綠及藍光之一系列三種光,該等 系統係例如串聯連接。 各排可例如放射指定色彩。 該裝置可形成多層單元(尤其是真空玻璃單元或具有 空氣層或另一種氣體層者)的零件。爲了更緊密及/或更輕 -23- 200904246 ,該裝置也可爲單片且包含單片玻璃單元。 該OLED系統可黏至另一個所謂蓋件(較佳爲透明)的 平坦基板(如玻璃),或較佳使用層疊中間層(尤其是超透 明中間層)與另一個所謂蓋件(較佳爲透明)的平坦基板(如 玻璃)層疊。 經層疊的玻璃單元通常由其間放置熱塑性聚合物板或 此等板的重疊體的兩個剛性基板構成。本發明也包括所謂 的"非對稱”層疊玻璃單元,其使用特別是玻璃型的剛性承 載基板及,作爲覆蓋基板,一或多個保護聚合物板。 本發明也包括層疊的玻璃單元,其具有至少一個以彈 性體型單側或雙側黏著聚合物爲底的中間層板(即不需要 此措辭傳統意義的層疊操作者,即一般在壓力下必需加熱 以便軟化該熱塑性中間層板且黏著彼的層疊)。 在此結構中,用於將該蓋件固定於該承載基板的元件 於是可爲層疊中間層,尤其是熱塑性塑膠的板子,例如聚 胺基甲酸酯(PU) '聚乙烯基丁醛(PVB)或乙烯/醋酸乙烯酯 (EVA),或熱可固化的單成分或多成分樹月旨(環氧樹脂、 PU)或紫外線可固化的單成分或多成分樹脂(環氧樹脂、丙 烯酸系樹脂)。較佳地,一板子實質上具有與該蓋件及基 板相同的尺寸。 該層疊中間層可預防該蓋件彎曲,尤其是對於例如具 有大於0.5 m2之面積的大型裝置。 特別是,EVA提供許多優點: -其含有以體積計少量或沒有水; -24- 200904246 -爲了處理EVA不一定需要高壓。 熱塑性層疊中間層較佳可爲鑄造樹脂所構成的蓋件’ 因爲彼易於實施且較不貴且可能更不透氣。 該中間層視需要包括設置於其面向上電極之內表面的 導電配線陣列,及/或該蓋件內表面上的導電層或導電帶 〇 該OLED系統較佳可置於該雙玻璃單元,尤其是具有 鈍性氣體(例如氬)層,內側。 再者,可能有利的是增加在與根據本發明帶有電極之 基板相對面上或額外基板上具有指定功能性的塗層。這可 爲防霧層(anti-fogging layer)(使用疏水層)、防積垢層(包 含Ti〇2的光催化塗層,至少部分結晶爲銳鈦礦形式),或 例如Si3N4/Si02/Si3N4/Si02型的抗反射塗層,或UV濾光 片,像是例如氧化鈦(TiOO層。其也可爲一或多個燐光層 、鏡面層或至少一個散射光提取層(scattering nght extraction layer) ° 本發明也有關可放置這些OLED裝置的不同應用,胃 等裝置形成一或多個發光面,該等表面係透明及/或反身寸 性(鏡面功能),同時放在戶外及戶內應用。 該裝置可形成’或者合倂’照明、裝飾、建築學等的 系統,或指引顯示面板-例如繪圖、商標或字母與數字構 成的顯示型式,尤其是緊急出口面板。 該OLED裝置可經配置以產生均勻光,尤其是同質照 明,或產生相同強度或不同強度的不同發光區。 -25- 200904246 相反地,可找到差別發光。該有機發光系統(0 LED) 產生直射光區,且另一個發光區係藉由提取該基板厚度的 全反射所導向的OLED輻射獲得,該基板係選擇由玻璃構 成。 爲了形成此其他發光區,該提取區可毗鄰該OLED系 統或在基板的另一側上。該提取區可用於例如提高該直射 光區所提供的照明,尤其是用於建築照明,或用於指示該 發光板。該提取區較佳爲一或多個,尤其是均勻的,光帶 形式且這些較佳爲放在該等面之其一的周圍。這些帶可例 如形成高發光框架。 提取係藉由下列放在該提取區的裝置之至少其一達到 :光擴散層,較佳以礦物質粒子爲底且較佳具有礦物質黏 合劑;被製爲光擴散的基板,尤其是有織構或粗糙的基板 〇 該二主要面可各自具有一直射光區。 當該OLED系統的電極及有機結構係選用透明的時, 特別可製造照明窗。若是那樣房間照明的改善並無損於光 透射率。也藉由限制該光反射率,尤其是在該照明窗的外 側,可控制反射率,例如以便勉強符合建築物牆壁的防眩 標準。 更廣泛地,該裝置,尤其是部分或完全透明的裝置, 可爲: -預期用於建築物,例如外部發光玻璃、內部發光部 分或裝發光玻璃的門(或門的零件),尤其是拉門; -26- 200904246 -預期用於透明媒介物,如發光屋頂、發光側窗(或窗 戶的零件)、陸運、水運或空運交通工具(汽車、臺車、火 車、飛機、船等)的內部發光部分; -預期用於城市或專業家具,如公車亭嵌板、展示櫃 壁、珠寶展示或商店窗戶、溫室牆壁或照明磚; -預期用於內部陳設品、棚架或陳列櫥元件、陳列橱 外表、照明磚、天花板、照明冷凍架、水族館壁; -預期用於電子設備背光,尤其是顯示幕,視需要爲 雙螢幕’如電視或電腦螢幕、觸控式螢幕。 例如,可預見用於不同大小的雙面螢幕、較佳與聚光 的Fresnel透鏡相關之小螢幕的背光。 必要時若只優先照在直射光區的一側上的話,爲了形 成照明鏡,該等電極之一可爲反射性,或鏡子可置於該 OLED系統的相對面。 也可爲鏡子。該發光板可用於照亮浴室牆壁或廚房流 理臺或可爲天花板。 該等OLED —般根據所用的有機材料分爲兩個寬廣的 群組。 若該等電致發光層係由小分子形成,該等裝置係稱爲 SM-OLED (小分子有機發光二極體)。該薄層的有機電致發 光材料由蒸發的分子構成,像是例如錯合物A1Q3(參(8-羥 基喹啉)鋁)、DPVBi(4,4'-(二苯基伸乙烯基)聯苯)、 DMQA(二甲基喹吖啶酮)或DCM(4-(二氰基亞甲基)-2 -甲 基-6-(4-二甲胺基苯乙烯基)·4Η-吡喃)的分子。該放射層 -27- 200904246 也可例如爲摻雜Ir(ppy)3(面向-參(2-苯基吡啶)銀)的 TCTA(4,4’,4"-三(N-胺甲醯基)三苯基銨)層。 一般,SM-OLED的結構由HIL(電洞注入層)及電洞傳 輸層(HTL)、放射層及ETL(電子傳輸層)的堆疊體構成。 電洞注入層的例子爲酞花青銅(CuPC)且電洞傳輸層可 例如爲N,N'-雙(萘-1-基)-N,N’-雙(苯基)聯苯胺(α_ΝΡΒ)。 電子傳輸層可由A1Q3(參(8-羥基喹啉)鋁)或BPhen(紅 二氮雜菲)組成。 該上層可爲Mg/Al或LiF/Al層。 有機發光堆疊體的例子爲例如文件US 6 645 645所述 的。 若該等有機電致發光層爲聚合物,該等裝置係稱爲 PLED(聚合物發光二極體)。 該薄層的有機電致發光材料由CES聚合物(PLED), 像是例如代表聚(對苯乙烯)、PPP(聚(苯))、DO-PPP(聚(2-癸氧基-1,4-苯撐))、MEH-PPV(聚[2-(2·-乙基己氧基)-5-甲 氧基-1,4-苯乙炔])、CN-PPV(聚[2,5-雙(己氧基)-1,4-伸苯 基(卜氰基伸乙烯基)])或PDAF(聚二烷基氟)構成,且該聚 合物層也與促成例如由PEDT/PSS(聚(3,4-伸乙基-二氧噻 吩)/聚(4-苯乙烯磺酸酯))所構成之電洞注入的層(HIL)有 關。 PLED的一個例子由下列堆疊體構成: -具有50 nm厚度之摻雜聚(苯乙烯磺酸酯)的聚(2,4-伸 乙基二氧噻吩)(PEDOT: PSS)層;及 -28- 200904246 -具有50 nm厚度之苯基聚(對-苯乙嫌)ph_ppv的層。 該上電極可爲Ca的層。 本發明也有關如上文所定義的不連續下電極之製造方 法,其包含: -倉虫刻步驟’形成下電極區(較佳呈一或多個平行排) 時不用光微影術,:及 -利用網版印刷或噴墨絕緣樹脂(較佳爲有機材料)在 該等電極區之間塡充且延伸超過該等電極區的邊緣之步驟 〇 此方法快速、不貴且可靠。 不用光微影術的蝕刻步驟可包含(或由下列構成): -雷射蝕刻或底部遮蔽; -利用酸蝕刻糊,例如使用Merck所販售的墨水 HiperEtch™04sisishapeTM,之網版印刷。 當最小距離等於或大於1 5 0 μ m時較佳可使用雷射剝 鈾。若被蝕刻的區大於1 0 0 μιη時較佳爲藉由網版印刷的 底部遮蔽。若被蝕刻的區小於ΙΟΟμιη時較佳爲使用噴墨的 底部遮蔽。 該方法也可包括一或多個電流引線帶的製造步驟,例 如藉由網版印刷或藉由噴墨,如先前所示。 本發明也有關如上文所定義的有機發光裝置的製造方 法,其包含: -將該不連續下電極形成爲一或多個平行排的步驟; 及 -29- 200904246 -以線,例如金屬(諸如鋁或鐵電物質(鉻、鎳等))組成 之陣列形式將該電致發光材料或材料沈積在遮罩上而形成 該電致發光區的步驟,該陣列中之線係沿著第一及第二交 錯方向組織,沿著該第二方向的線較粗。 此遮罩可例如由金屬片構成,其係例如經由電凹版印 刷製成。 粗線提高預期用於建造排內間隔之薄線的剛性。這促 成對準且限制短路的風險。 有利地,在形成上電極區的步驟期間,該方法可包括 經由上電極材料的沈積在獨立排周圍的下電極區中形成電 連接墊。 【實施方式】 爲求清晰起見,要提到所示的物體(包> 角度)的不同 元件並未依比例描繪。 第1圖’其故意非常粗略’顯示有機發光裝置10的斷 面(經過該基板或"底部放射"裝置放射)。第2圖例示該裝 置1 0的槪略頂視圖。 該有機發光裝置10包含具有0.7 mm厚度的平坦透明 或超透明鹼石灰-矽石玻璃基板1,依序在其主要面上提供 -多層下電極2a至2”c’具有50與100 nm之間的總厚 度,呈現沿著X方向之三個平行排形式的不連續電極, 各排具有呈幾何圖形(例如方形,測得3 cm乘3 cm)的三個 -30- 200904246 電極區2a至2c、2'a至2'c及2"a至2”c,指定排的相鄰下 電極區之間的距離d 1 (沿著X)爲大約1 5 0 μπι,獨立排的相 鄰下電極區之間的距離d'l (沿著Υ)爲例如與dl相同,約 1 50 μιη,這些間隔較佳經由雷射蝕刻均質電極獲得; -有機發光系統4a至4 "c,具有100 nm的厚度,呈現 沿著X方向之三個平行排形式的不連續系統,各排具有 呈方形(測得將近3 cm乘3 cm)形式的三個電致發光層區4a 至4c、4'a至4'c及4"a至4"c(或更甚者沿著Y以限制邊緣 效應,例如多10至20 μπι),對於適當的塡充因子,指定排 的相鄰電致發光層區之間的距離d2(沿著X)爲小於50 μιη ,例如約25 μιη ;及 -不連續反射上電極5a至5c,具有20 nm的厚度,呈 現沿著X方向之三個平行排形式的不連續電極,各排具 有呈方形(測得將近3 cm乘3 cm)形式的三個上電極區5a 至5c、5’a至5'c及5 "a至5 "c,對於適當的塡充因子指定排 的相鄰上電極區之間的距離d3(沿著X)爲小於50 μηι,例 如約2 5 μ m。 下電極區2a至2'’c之間的間隔及下電極區2a至2nc的 邊緣係經由絕緣樹脂3予以鈍化,如丙烯酸系聚醯樹脂, 厚度數微米,具有分別等於或大於dl及d'l (例如約25〇 μπι)之沿著X的寬度L1 (在指定排內)及沿著Y的L'l(兩個 獨立排之間),該樹脂係經由網版印刷來沈積。 不同層的相鄰電致發光層區之間的距離d'2(沿著γ) 等於或小於L ’ 1,例如在1 0 0 μ m與2 5 0 μ m之間。 -31 - 200904246 獨立排的相鄰上電極區之間的距離d’3(沿著Y)等於 或小於L」,例如在1 〇 〇 μιη與2 0 0 μηι之間。 各排係串聯連接。此外,該等電致發光塊4a至4c、 4’a至4’c及4”a至4"c沿著X相對於該等下電極塊2a至2c 、2'a至2'c及2”a至2”c偏移25至60 μιη,且該等上電極塊 5a至5c、54至5'c及5 ”a至5 "c沿著X相對於該等電致發 光塊4a至4c、4、至及4"a至4"c偏移25至60 μηι。因此 電流從上電極區流至相鄰的下電極區5a至2b,5b至2c。 一個製造該等電致發光塊之簡單及可靠的方式在於將 第一及第二垂直線形式的金屬遮罩置於該下電極上,尤其 是藉助於該玻璃1四個角落上的參考遮罩。該等第一線爲 細的,具有小於5〇 μηι的寬度(得到d2),例如約25 μιη, 且平行Υ設置於經鈍化的邊緣附近。 該等第二線爲粗的,寬度(得到d’2)在100 μιη與250 μηι之間,且係平行X設置。這些粗線強化該等第一線, 由於強化該等第一線,因此指定排的電致發光區之間的間 隔爲明確定義的直線。 一個製造該等上電極區塊之簡單及可靠的方式在於將 已使用,但是沿著X偏移25至60 μιη的遮罩置於該等電致 發光塊上。 在此例子中,該塡充因子爲約0.98。各個照明塊中心 的亮度(以C d/m2爲單位測量)對此照明塊任何邊緣的亮度 之比例係大約0.8。該裝置10的亮度可爲至少1000 cd/m2 -32- 200904246 此裝置係供應低電壓,例如24 V或12 V(汽車應用等) 且電流係大約5 0 mA且在指定範圍內變動很小。 在該玻璃1的一側上,該等周圍下電極邊緣2a、2'a及 2"a未被該等電致發光塊覆蓋且與電連接帶5a至5d(例如 具有沿著X 1 cm等級的寬度及沿著Y大約3 cm)電連接。 這些連接帶5a至5(1可與該上電極(尤其是由相同材料構成 )同時製造。 對於串聯及並聯連接: -在這些連接帶5a至5d上形成第一電流引線帶61,較 佳具有0.5與10 μιη之間的厚度,例如5 μιη,且具有5 cm 沿著X的厚度及例如由下列金屬中之其一所構成的金屬 層形式:Mo、Al、Cr、Nd或合金(如MoCr、AlNd),或金 屬多層(如MoCr/Al/MoCr);及 -在該玻璃的另一側上’在該等上電極區5c、5c'、5c" 的周圍邊緣上形成第二類似的電流引線帶62。 對於這些串聯及並聯連接’ d'l可爲0。 對於所有排的串聯連接,該第—電流引線帶6 1在2a 與2'a之間爲不連續且該第二電流引線帶62在5 |C與5 "c之 間爲不連續。 對於各排特有的串聯連接’該第一電流引線帶61在2a 、2’a及2 "a之間爲不連續且該第二電流引線帶62在5c與 5k、5'c與5”c之間爲不連續。 該不連續下電極2a至2"c,被選爲透明的,包含下列 類型的多層堆疊體: -33 - 200904246 -選自摻雜或未經摻雜的 ZnOx、SnxZnyOz、ITO或 ΙΖΟ的接觸層; -功能層,較佳由純銀構成; -選自ZnOx、SnxZnyOz、ΙΤΟ或ΙΖΟ的保護層、接觸 層及相同本質之用於預防水及/或氧的層;及 -用於改變功函數的覆蓋層, 即關於ZnO: A1爲5至20 nm,銀爲5至15 nm,ZnO: A1爲5至20 nm及ITO爲5至20 nm的厚度較佳爲該堆疊體 ZnO : Al/Ag/Zn〇:A1/ITO。 該下電極2a至2 ”c具有下列特徵: -等於或小於5 Ω/□的表面電阻, -等於或大於70%的光穿透率TL(在結構化之前,在完 整層上測量)及等於或小於2 0 %的光反射率R l ; -藉由光學干擾儀在一微米見方上藉由原子力顯微鏡 測得之等於或小於3 nm的RMS粗糙度(或Rq)。 具有10 nm與80 nm之間的厚度之氮化矽基底層可在 下電極2a至2 "c與基板1之間。 對於 Si3N4 2 0nm/ZnO:Al2 0nm/Agi2nm/ZnO:Al4 0nm/IT〇2 0nm 堆 疊體,獲得75%的 Tl、15%的RL、4.5歐姆/□的表面電阻 及1.2 nm的RMS粗糙度。 對於 Si3N4 2〇nm/SnZnSb:Ox5nm/ZnO : Al5nm/Ag12nm/Ti/ZnO : Al2〇nm/IT02Qnni 堆疊體,獲得 85% 的 TL、8% 的 RL、3·3 歐姆/□的 表面電阻及0.7 nm的RMS粗糙度。 對於 20nm/SnZllSb:OX5nm/ZllO . Al5nm/Agl2nm/Ti〇.5mm/IT〇2〇nm -34- 200904246 堆疊體,獲得65%的TL、29%的RL、3.3歐姆/□的表面電阻及 0.7 nm的RMS粗糙度。 該SnZn: SbOx爲底的層係在0.2 Pa的壓力及氬/氧環 境下使用摻雜銻的錫及鋅靶之反應性濺射來沈積,該靶包 含以重量計6 5 % S η、3 4 % Ζ η及1 % S b。 該Ti層係在0.8 Pa的純氬環境下使用鈦靶來沈積。 該下電極2 a至2 ” c可以變體形式亦爲半透明電極。對 於 S i 3 N 4 2 0 n m / Ζ II Ο · A 1 2 〇 n m / A g 3 0 n m / Ζ η O . A 1 4 〇 n m / I Τ Ο 2。n m ’ 獲得16%的TL、81%的RL及0.9歐姆/□的表面電阻。 該不連續有機發光系統4a至4”c爲例如下列結構的 SM-OLED : -α-NPD 層; -TCTA + Ir(ppy)3 層; -BPhen 層;及 -L i F 層。 該不連續反射上電極5 a至5 c特別可爲金屬性,尤其 是以銀或錯爲底。 所有層2、4及5係於室溫下經由磁控管濺射來沈積。 EVA片可用於將玻璃1層疊於另一個玻璃,該另一個 玻璃較佳具有與玻璃1相同的特性。視需要地,該玻璃轉 向該EVA片的面上有指定功能的堆疊體。 不用說使用此例子所述者以外的有機發光系統時本發 明也能以相同方式應用。 -35- 200904246 【圖式簡單說明】 本發明將藉由非限定例及圖形更詳細地描述: 第1圖爲有機發光裝置的槪要斷面圖,其包括根據本 發明的下電極;及 第2圖例示第1圖裝置的槪要頂視圖。 【主要元件符號說明】 d 1 :相鄰下電極區之間的距離 d' 1 :相鄰下電極區之間的距離 d2 :相鄰電致發光層區之間的距離 d'2 :相鄰電致發光層區之間的距離 d3 :相鄰上電極區之間的距離 d'3 :相鄰上電極區之間的距離 L1 :寬度 L’l :寬度 尤:第一尺寸 1 :鹼石灰-矽石玻璃基板 2a :多層下電極 2b :多層下電極 2c :多層下電極 2a':多層下電極 2b’ :多層下電極 2c':多層下電極 2a” :多層下電極 -36- 200904246 2b1':多層下電極 2c":多層下電極 3 :絕緣材料 4 a :有機發光系統 4b :有機發光系統 4c :有機發光系統 4 a':有機發光系統 4b’ :有機發光系統 4 c ’ :有機發光系統 4 a ” :有機發光系統 4b” __有機發光系統 4 c 11 :有機發光系統 5 a :不連續反射上電極 5 b :不連續反射上電極 5c:不連續反射上電極 5d :電連接帶 5 a1 :不連續反射上電極 5b’ :不連續反射上電極 5 c ':不連續反射上電極 5'd :電連接帶 5a” :不連續反射上電極 5 b ":不連續反射上電極 5c11 :不連續反射上電極 5 ” d :電連接帶 -37- 200904246 1 〇 :有機發光裝置 61 :第一電流引線帶 62 :第二電流引線帶 -38-
Claims (1)
- 200904246 十、申請專利範圍 1.一種用於有機發光裝置之基板,其係在不連續電極 (2a至2 ”c)的主要面上,其包含,從該基板開始: -以金屬氧化物爲底的接觸層; -具有固有導電性之以銀爲底的金屬功能層,該功能 層厚度爲小於1 00 nm,及 -用於改變功函數的覆蓋層(34),其係以金屬氧化物 爲底, 該電極具有等於或小於5 Ω/□的表面電阻, Μ電極係呈至少一排電極區的形式,各電極區在該排的方 向(X)具有至少3 cm的第一尺寸(t),各排的電極區間的間 隔係所謂的排內距離(d 1 ),其等於或小於0.5 mm,且絕緣 材料(3)塡充在該等電極區之間並突出該等電極區。 2 .如申請專利範圍第1項之用於有機發光裝置之基板 ’其中該絕緣材料(3 )係經網版印刷,尤其是丙烯酸系樹 脂’或絕緣墨水係經由噴墨法來沈積,且較佳爲該絕緣材 料覆蓋著該等電極區的周圍邊緣。 3·如申請專利範圍第1或2項之用於有機發光裝置之基 板’其中該不連續電極(2a至2"c)不需用光微影技術獲得 ’尤其是可藉由雷射蝕刻,以蝕刻糊來網版印刷,或藉由 _蓋’較佳爲利用網版印刷或噴墨沈積材料所構成的遮罩 〇 4.如申請專利範圍第1或2項之用於有機發光裝置之基 板’其中當功能層厚度等於或小於20 nm且光穿透率TL -39- 200904246 等於或大於60%且吸收因子A小於10%時,該表面電阻等 於或小於5 Ω/口。 5. 如申請專利範圍第1或2項之用於有機發光裝置之基 板,其中該金屬功能層係以純銀或銀與 Au、Pd、Al、Pt 、Cu、Ζη、Cd、Iη、Si、Zr、Mo、Ni、Cr、Mg、Mn、Co 或 Sn 之合金或者摻雜 Au、Pd、Al、Pt、Cu、Zn、Cd、In 、Si、Zr、Mo、Ni、Cr、Mg、Mn、Co 或 Sn 之銀爲底, 尤其是金/銀或金/銅合金。 6. 如申請專利範圍第1或2項之用於有機發光裝置之基 板,其中該覆蓋層係以至少一種下列視需要經摻雜的金屬 氧化物爲底:氧化鉻、氧化銦、視需要低於化學計量的氧 化鋅(substoichiometric zinc oxide)、氧化鋁、氧化鈦、氧 化鉬、氧化锆、氧化銻、氧化錫 '氧化鉬及氧化矽,且其 中該覆蓋層較佳爲具有3與50 nm之間的厚度。 7. 如申請專利範圍第1或2項之用於有機發光裝置之基 板,其中該覆蓋層係由具有等於或小於3 0 nm厚度的ITO 製成。 8. 如申請專利範圍第1或2項之用於有機發光裝置之基 板’其中該接觸層係以經摻雜或未經摻雜的金屬氧化物爲 底’尤其是以ITO、IZO、SnxZnyOz爲底,或較佳爲以 ZnOx爲底。 9. 如申請專利範圍第1或2項之用於有機發光裝置之基 板,其中該功能性金屬層(3 2)係直接沈積在至少一個下方 阻擋塗層(3Γ)上及/或直接沈積在至少一個上方阻擋塗層 -40- 200904246 (321)之下方。 1 0 ·如申請專利範圍第9項之基板,其中該至少—個 擋塗層包含金屬、氮化物及/或以下列金屬中之至少其 爲底的金屬氧化物層:Ti、V、Mn、Fe、Co、Cu、Zn、 、Hf、Al' Mb、Ni、Cr、Mo、Ta 及 W,或以該等材料 之至少其一的合金爲底。 1 1 .如申請專利範圍第1或2項之基板,其中其包括 混合氧化物所構成的非晶性平滑層,該平滑層正好配置 該接觸層下方且係由該接觸層的材料以外的材料構成。 1 2 .如申請專利範圍第1 1項之基板,其中該平滑層 以下列一或多種金屬之氧化物爲底的混合氧化物層:Sn Si、Ti ' Zr ' Hf、Zn、Ga及In,且尤其是以鋅及錫爲 的視需要之經摻雜的混合氧化物層,或混合氧化銦 (ITO)層或混合氧化銦鋅(IZO)層。 1 3 ·如申請專利範圍第1或2項之基板,其中其包括 在該接觸層的下方,能形成鹼金屬之阻障物的基底層, 其是以氧化矽 '氧碳化矽、氮化矽、氧氮化矽或氧碳氮 矽爲底的基底層,該基底層之材料係視需要地摻雜且該 底層較佳爲具有10與150 nm之間的厚度。 1 4 .如申請專利範圍第1或2項之基板,其中在該功 層與覆盡層之間’該基板接連包含以視需要包含該保 層、該平滑層、第二接觸層、銀爲底的第二功能層及視 要的阻擋塗層之金屬氧化物爲底的分離層。 1 5 ·如申請專利範圍第1或2項之基板,其中電連接 阻 Zr 中 由 在 係 N 底 錫 尤 化 基 能 護 需 墊 -41 - 200904246 (5d至5 ”d),呈與上電極材料相同的材料所構成之導電層 的形式,係與下電極區(2a、24、2"a)的周圍邊緣相連。 16. 如申請專利範圍第1或2項之基板,其中該基板(1) 係平的,尤其是由玻璃所構成,較佳爲鹼石灰-矽石玻璃 ,特別是透明或超透明玻璃。 17. —種有機發光裝置(1〇),其包含至少一個承載層, 尤其是由玻璃所構成,該承載層上有: -根據前述申請專利範圍中任一項之不連續下電極(2 a 至2 ” c),由此形成至少一排下電極區; -至少一個不連續電致發光層(4a至4"c),其係由一或 多種呈排列在該等電極區上之電致發光層區形式的有電致 發光材料所構成;及 -具有呈排列在該等電致發光層區上的電極區(5a至 5”c)形式的導電層的不連續上電極, 及,對於該排的串聯連接,該等電致發光層區依該排的方 向(X)偏離該等下電極區且該等下電極區依該排的方向(X) 偏離該等電致發光層區。 18. 如申請專利範圍第17項之有機發光裝置(1〇),其中 該裝置係組織成多個被隔開至少0.5 mm之實質平行的電 致發光排,各排皆能串聯連接。 19. 如申請專利範圍第18項之有機發光裝置(1〇),其中 獨立排的電致發光層區之間的距離(d'2)係大於指定排的區 間距離(d 2 ),較佳爲1 0 0 μ m與2 5 0 μ m之間。 2〇_如申請專利範圍第17至19項中任一項之有機發光 -42- 200904246 裝置(1 ο) ’其中對於與電極區相關的各個照明區,中心的 亮度(以Cd/m2爲單位測量)對此照明區任何邊緣亮度的比 例係等於或大於〇.7。 2 1.如申請專利範圍第17至19項中任一項之有機發光 裝置(10),其中該等電連接墊(5d至5,,(!),呈與該上電極 材料相同的材料所構成之導電層的形式,係與下電極區 (23、2'3、2"3)的周圍邊緣相連。 22. 如申請專利範圍第17至19項中任一項之有機發光 裝置(10),其中該裝置係單層玻璃、雙層玻璃 '多層玻璃 或層疊玻璃單元。 23. 如申請專利範圍第17至19項中任一項之有機發光 裝置(10),其中其形成一或多個透明及/或反射發光表面, 尤其是照明、裝飾或建築系統,或指示顯示面板,例如圖 式、標識或字母-數字的指示類型、產生均勻光或差別發 光區’尤其是藉由該玻璃基板排出的導引光來區分該差別 〇 24. 如申請專利範圍第1 7至1 9項中任一項之有機發光 裝置(10),其中其係: •預期用於建築物’例如外部發光玻璃、內部發光部 分或裝發光玻璃的門(或門的零件),尤其是拉門; -預期用於透明媒介物,如發光屋頂、發光側窗(或窗 戶的零件)、陸運、水運或空運交通工具(汽車、臺車、火 車、飛機、船等)的內部發光部分; -預期用於城市或專業家具,如公車亭嵌板、展示櫃 -43- 200904246 壁、珠寶展示或商店窗戶、溫室牆壁或照明碍; -預期用於內部陳設品、棚架或陳列橱元件、陳列樹 外表、照明碍、天花板、照明冷凍架 '水族館壁·, -預期用於電子設備背光,尤其是顯示幕,視需要爲 雙螢幕’如電視或電腦螢幕、觸控式螢幕;及 -一種照明鏡’尤其是用於照亮浴室牆壁或廚房流理 臺或用於天花板。 2 5_—種製造根據申請專利範圍第1至16項中任一項的 不連續電極(2a至2 ”c)之方法,其包含: -蝕刻步驟,不用光微影技術,用於形成下電極區, 較佳爲呈一或多個平行排;及 -以網版印刷或噴墨絕緣樹脂(3)塡充在該等電極區之 間且延伸越過該等電極區邊緣的步驟。 26. 如申請專利範圍第25項之製造有機發光裝置(1〇)的 方法’其中該触刻步驟包含以酸蝕刻糊網版印刷。 27. 如申請專利範圍第25項之製造有機發光裝置(1〇)的 方法’其中該蝕刻步驟包含雷射蝕刻。 28. 如申請專利範圍第25至27項中任一項之製造有機 發光裝置(10)的方法,其中其包含經由網版印刷製造一或 多個電流引線帶(6 1 )的步胃。 29. 如申請專利範圍第25至27項中任一項之製造有機 發光裝置(10)的方法,其中其包含·· -將該不連續下電極(2a至2,,c)形成爲一或多個平行排 的步驟;及 -44- 200904246 -以陣列形式將該電致發光材料沈積在遮罩 該電致發光層區(4a至4 "c)的步驟’該陣列中之 第—及第二交錯方向(X, Y)組織,沿著該第二〕 線較粗。 30.如申請專利範圍第29項之製造裝置的方 其包括沿著第一方向(X)偏移將該上電極材料沈 罩上而形成上電極區的步驟。 3 1 · —種製造如申請專利範圍第1 7及1 8項 之裝置的方法’其特徵爲其包括,在形成該等 (5a至5”c)的步驟期間,經由沈積該上電極材料 排的周圍下電極區(2a、2'a、2" a)中形成電連接 5"d)。 上而形成 線係沿著 Ϊ向(Y)的 法,其中 積在該遮 中任一項 上電極區 而在獨立 墊(5 d至 -45-
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0753453A FR2913146B1 (fr) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | Electrode discontinue, dispositif electroluminescent organique l'incorporant, et leurs fabrications |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200904246A true TW200904246A (en) | 2009-01-16 |
Family
ID=38544274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW097106462A TW200904246A (en) | 2007-02-23 | 2008-02-25 | Substrate bearing a discontinuous electrode, organic light-emitting device incorporating it, and their manufacture |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100117523A1 (zh) |
EP (1) | EP2130241A2 (zh) |
JP (1) | JP5723529B2 (zh) |
KR (1) | KR20090125095A (zh) |
CN (1) | CN101617418B (zh) |
FR (1) | FR2913146B1 (zh) |
TW (1) | TW200904246A (zh) |
WO (1) | WO2008119899A2 (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI482326B (zh) * | 2011-01-14 | 2015-04-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method for manufacturing organic EL element |
US9499725B2 (en) | 2007-04-19 | 2016-11-22 | Lg Chem, Ltd. | Acrylic pressure-sensitive adhesive compositions |
US9530979B2 (en) | 2012-03-23 | 2016-12-27 | Lg Display Co., Ltd. | Substrate for organic electronic device |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2924274B1 (fr) | 2007-11-22 | 2012-11-30 | Saint Gobain | Substrat porteur d'une electrode, dispositif electroluminescent organique l'incorporant, et sa fabrication |
FR2925981B1 (fr) * | 2007-12-27 | 2010-02-19 | Saint Gobain | Substrat porteur d'une electrode, dispositif electroluminescent organique l'incorporant. |
FR2936358B1 (fr) | 2008-09-24 | 2011-01-21 | Saint Gobain | Procede de fabrication d'un masque a ouvertures submillimetriques pour grille electroconductrice submillimetrique, masque a ouverture submillimetriques, grille electroconductrice submillimetrique. |
FR2936362B1 (fr) | 2008-09-25 | 2010-09-10 | Saint Gobain | Procede de fabrication d'une grille submillimetrique electroconductrice revetue d'une grille surgrille, grille submillimetrique electroconductrice revetue d'une surgrille |
US20110297988A1 (en) * | 2009-02-19 | 2011-12-08 | Agc Glass Europe | Transparent substrate for photonic devices |
FR2944145B1 (fr) | 2009-04-02 | 2011-08-26 | Saint Gobain | Procede de fabrication d'une structure a surface texturee pour dispositif a diode electroluminescente organique et structure a surface texturee |
DE102009019524B4 (de) * | 2009-04-30 | 2023-07-06 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Optoelektronischer Halbleiterkörper mit einem reflektierenden Schichtsystem |
US8829501B2 (en) | 2009-12-18 | 2014-09-09 | Novaled Ag | Large area light emitting device comprising organic light emitting diodes |
FR2955575B1 (fr) | 2010-01-22 | 2012-02-24 | Saint Gobain | Substrat verrier revetu d'une couche haut indice sous un revetement electrode et dispositif electroluminescent organique comportant un tel substrat. |
BE1019243A3 (fr) * | 2010-02-19 | 2012-05-08 | Agc Glass Europe | Substrat transparent pour dispositifs photoniques. |
CN103025675B (zh) * | 2010-07-26 | 2015-10-14 | 旭硝子株式会社 | 无碱保护玻璃组合物及使用该玻璃组合物的光提取构件 |
US8388852B2 (en) * | 2010-07-30 | 2013-03-05 | Apple Inc. | Method for fabricating touch sensor panels |
FR2965407A1 (fr) | 2010-09-27 | 2012-03-30 | Saint Gobain | Procédé de connexion(s) électrique(s) d'un dispositif a diode électroluminescente organique encapsule et un tel dispositif oled |
FR2969391B1 (fr) * | 2010-12-17 | 2013-07-05 | Saint Gobain | Procédé de fabrication d'un dispositif oled |
DE112011104636B4 (de) * | 2010-12-28 | 2023-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Licht abstrahlende Baugruppe, Licht abstrahlende Vorrichtung, Beleuchtungsvorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Licht abstrahlenden Baugruppe |
CN103262656B (zh) | 2010-12-28 | 2016-08-24 | 株式会社半导体能源研究所 | 发光单元、发光装置以及照明装置 |
JP5677117B2 (ja) * | 2011-02-08 | 2015-02-25 | 株式会社カネカ | 有機el装置及びその製造方法 |
KR20140048087A (ko) | 2011-02-10 | 2014-04-23 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광 장치 및 그 제작 방법, 조명 장치 및 표시 장치 |
JP5488849B2 (ja) | 2011-06-24 | 2014-05-14 | 三菱マテリアル株式会社 | 導電性膜およびその製造方法並びにこれに用いるスパッタリングターゲット |
CN102856503A (zh) * | 2011-06-28 | 2013-01-02 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 一种有机电致发光器件及其制备方法 |
JP5724828B2 (ja) * | 2011-10-31 | 2015-05-27 | 株式会社デンソー | 発光素子 |
WO2013075879A1 (fr) * | 2011-11-23 | 2013-05-30 | Agc Glass Europe | Substrat à couche fonctionnelle comprenant un composé soufré |
TWI461104B (zh) * | 2011-12-20 | 2014-11-11 | Au Optronics Corp | 有機電致發光元件 |
JP6151275B2 (ja) * | 2012-01-11 | 2017-06-21 | アイメック・ヴェーゼットウェーImec Vzw | パターニングされた有機半導体層 |
FR2986372B1 (fr) * | 2012-01-31 | 2014-02-28 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'assemblage d'un element a puce micro-electronique sur un element filaire, installation permettant de realiser l'assemblage |
CN102628945B (zh) * | 2012-03-30 | 2013-10-16 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 光距传感装置的制作方法 |
KR101982073B1 (ko) * | 2012-10-12 | 2019-05-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 소자 및 유기 발광 표시 장치 |
WO2014109265A1 (ja) * | 2013-01-11 | 2014-07-17 | コニカミノルタ株式会社 | 透明電極、及び、電子デバイス |
US20140273525A1 (en) * | 2013-03-13 | 2014-09-18 | Intermolecular, Inc. | Atomic Layer Deposition of Reduced-Leakage Post-Transition Metal Oxide Films |
EP2985803B1 (en) * | 2013-05-16 | 2019-03-06 | LG Display Co., Ltd. | Organic light-emitting device and method of manufacturing same |
CN104346010B (zh) * | 2013-08-08 | 2017-08-08 | 群创光电股份有限公司 | 阵列基板及应用其的显示面板 |
KR102104371B1 (ko) * | 2013-12-03 | 2020-04-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기 발광 장치 |
KR20150071318A (ko) * | 2013-12-18 | 2015-06-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
US10186559B2 (en) * | 2014-03-31 | 2019-01-22 | Konica Minolta, Inc. | Organic electroluminescence module and information device |
TWI612707B (zh) * | 2015-07-02 | 2018-01-21 | 友達光電股份有限公司 | 有機發光二極體顯示器 |
JP2017123235A (ja) * | 2016-01-05 | 2017-07-13 | 住友化学株式会社 | マザー基板及び照明装置の製造方法 |
CN106356394B (zh) | 2016-10-27 | 2018-09-04 | 北京小米移动软件有限公司 | 显示基板及其制作方法和电子设备 |
FR3066324B1 (fr) * | 2017-05-11 | 2021-09-10 | Isorg | Dispositif electronique a tenue au vieillissement amelioree |
CN113451335B (zh) * | 2021-06-30 | 2022-09-23 | 厦门天马微电子有限公司 | 一种阵列基板及其制备方法、显示面板和显示装置 |
Family Cites Families (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60158780A (ja) * | 1984-01-27 | 1985-08-20 | Sony Corp | 表示装置 |
DE69230189T2 (de) * | 1991-02-14 | 2000-02-10 | Asahi Glass Co Ltd | Laminierte Glaskonstruktion |
US5280373A (en) * | 1991-07-24 | 1994-01-18 | Mitsubishi Kasei Corporation | Light modulating device including a liquid crystal, a polymer and dichroic dyes having maximum absorption in the different wavelength regions |
US5667853A (en) * | 1995-03-22 | 1997-09-16 | Toppan Printing Co., Ltd. | Multilayered conductive film, and transparent electrode substrate and liquid crystal device using the same |
DE19520843A1 (de) * | 1995-06-08 | 1996-12-12 | Leybold Ag | Scheibe aus durchscheinendem Werkstoff sowie Verfahren zu ihrer Herstellung |
JPH09283866A (ja) * | 1996-04-10 | 1997-10-31 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 透明導電膜付き基板 |
JPH10100303A (ja) * | 1996-06-07 | 1998-04-21 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 透明導電膜付き基板およびそれを用いた表示素子 |
FR2757151B1 (fr) * | 1996-12-12 | 1999-01-08 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage comprenant un substrat muni d'un empilement de couches minces pour la protection solaire et/ou l'isolation thermique |
EP0924966A1 (en) * | 1997-06-30 | 1999-06-23 | Aventis Research & Technologies GmbH & Co. KG | Thin film electrode for planar organic light-emitting devices and method for its production |
JP2001035660A (ja) * | 1999-07-16 | 2001-02-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 有機電界発光素子 |
TWI263336B (en) * | 2000-06-12 | 2006-10-01 | Semiconductor Energy Lab | Thin film transistors and semiconductor device |
US20030186064A1 (en) * | 2000-09-29 | 2003-10-02 | Kenji Murata | Transparent laminate having low emissivity |
JP2002313572A (ja) * | 2001-04-13 | 2002-10-25 | Toyota Motor Corp | 有機el表示装置 |
US20030049464A1 (en) * | 2001-09-04 | 2003-03-13 | Afg Industries, Inc. | Double silver low-emissivity and solar control coatings |
WO2003036657A1 (fr) * | 2001-10-19 | 2003-05-01 | Asahi Glass Company, Limited | Substrat a couche d'oxyde conductrice transparente, son procede de production et element de conversion photoelectrique |
CZ2004755A3 (cs) * | 2001-12-24 | 2004-12-15 | Saint-Gobain Glass France | Způsob výroby vícevrstvého prvku s průhlednou povrchovou elektrodou a elektroluminiscenčním prvkem |
US6727122B2 (en) * | 2001-12-29 | 2004-04-27 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Method of fabricating polysilicon thin film transistor |
US6811815B2 (en) * | 2002-06-14 | 2004-11-02 | Avery Dennison Corporation | Method for roll-to-roll deposition of optically transparent and high conductivity metallic thin films |
SG169230A1 (en) * | 2002-08-02 | 2011-03-30 | Idemitsu Kousan Co Ltd | Sputtering target, sintered body, conductive film formed by using them, organic el device, and substrate used for the organic el device |
US7049757B2 (en) * | 2002-08-05 | 2006-05-23 | General Electric Company | Series connected OLED structure and fabrication method |
US6693296B1 (en) * | 2002-08-07 | 2004-02-17 | Eastman Kodak Company | OLED apparatus including a series of OLED devices |
US7034470B2 (en) * | 2002-08-07 | 2006-04-25 | Eastman Kodak Company | Serially connecting OLED devices for area illumination |
FR2844136B1 (fr) * | 2002-09-03 | 2006-07-28 | Corning Inc | Materiau utilisable dans la fabrication de dispositifs d'affichage lumineux en particulier de diodes electroluminescentes organiques |
KR100662297B1 (ko) * | 2002-10-18 | 2007-01-02 | 엘지전자 주식회사 | 유기 el 소자 |
GB0226401D0 (en) * | 2002-11-12 | 2002-12-18 | Koninkl Philips Electronics Nv | Electroluminescent devices and their manufacture |
GB0229653D0 (en) * | 2002-12-20 | 2003-01-22 | Cambridge Display Tech Ltd | Electrical connection of optoelectronic devices |
US20040149984A1 (en) * | 2003-01-31 | 2004-08-05 | Eastman Kodak Company | Color OLED display with improved emission |
KR100527191B1 (ko) * | 2003-06-03 | 2005-11-08 | 삼성에스디아이 주식회사 | 저저항 캐소드를 사용하는 유기 전계 발광 소자 |
JP2005116193A (ja) * | 2003-10-02 | 2005-04-28 | Toyota Industries Corp | 有機電界発光素子及び当該素子を備えた有機電界発光デバイス |
US7268485B2 (en) * | 2003-10-07 | 2007-09-11 | Eastman Kodak Company | White-emitting microcavity OLED device |
KR20050039014A (ko) * | 2003-10-23 | 2005-04-29 | 주식회사 엘지화학 | 유기 발광 소자용 전극 및 이를 포함하는 유기 발광 소자 |
JP2005259820A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Sharp Corp | Iii−v族化合物半導体発光素子とその製造方法 |
DE102004025578B4 (de) * | 2004-05-25 | 2009-04-23 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Herstellen von organischen, Licht emittierenden Flächenelementen und Verwendung dieses Verfahrens |
TWI237525B (en) * | 2004-08-30 | 2005-08-01 | Au Optronics Corp | Electro-luminescence display device and method for forming the same |
KR100673744B1 (ko) * | 2004-10-28 | 2007-01-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 다층 구조 애노드 |
KR100700642B1 (ko) * | 2004-12-13 | 2007-03-27 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기전계발광표시소자 및 그 제조방법 |
DE202005000979U1 (de) * | 2005-01-20 | 2006-06-01 | Schott Ag | Elektro-optisches Element mit gesteuerter, insbesondere uniformer Funktionalitätsverteilung |
JP4161374B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2008-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
US20060209551A1 (en) * | 2005-03-18 | 2006-09-21 | Robert Schwenke | Light emissive plastic glazing |
EP1717876A1 (en) * | 2005-04-27 | 2006-11-02 | C.S.E.M. Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique Sa | Interconnect in polymer light-emitting or light-detecting devices or solar cells |
KR101152127B1 (ko) * | 2005-05-27 | 2012-06-15 | 삼성전자주식회사 | 표시 장치용 배선, 이를 포함하는 박막 트랜지스터 표시판및 그 제조 방법 |
KR101140241B1 (ko) * | 2005-06-27 | 2012-04-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 얼라인 마크를 포함한 액정표시소자 |
EP2426552A1 (en) * | 2006-03-03 | 2012-03-07 | Gentex Corporation | Electro-optic elements incorporating improved thin-film coatings |
US20080100202A1 (en) * | 2006-11-01 | 2008-05-01 | Cok Ronald S | Process for forming oled conductive protective layer |
-
2007
- 2007-02-23 FR FR0753453A patent/FR2913146B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-02-25 WO PCT/FR2008/050313 patent/WO2008119899A2/fr active Application Filing
- 2008-02-25 CN CN2008800057873A patent/CN101617418B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-02-25 JP JP2009550746A patent/JP5723529B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-02-25 TW TW097106462A patent/TW200904246A/zh unknown
- 2008-02-25 US US12/527,723 patent/US20100117523A1/en not_active Abandoned
- 2008-02-25 EP EP08762154A patent/EP2130241A2/fr not_active Withdrawn
- 2008-02-25 KR KR1020097019077A patent/KR20090125095A/ko active IP Right Grant
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9499725B2 (en) | 2007-04-19 | 2016-11-22 | Lg Chem, Ltd. | Acrylic pressure-sensitive adhesive compositions |
TWI482326B (zh) * | 2011-01-14 | 2015-04-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method for manufacturing organic EL element |
US9530979B2 (en) | 2012-03-23 | 2016-12-27 | Lg Display Co., Ltd. | Substrate for organic electronic device |
US9666828B2 (en) | 2012-03-23 | 2017-05-30 | Lg Display Co., Ltd. | Method for producing a substrate for organic electronic devices |
US9698366B2 (en) | 2012-03-23 | 2017-07-04 | Lg Display Co., Ltd. | Substrate for organic electronic device |
US9716242B2 (en) | 2012-03-23 | 2017-07-25 | Lg Display Co., Ltd. | Substrate for organic electronic device |
TWI624097B (zh) * | 2012-03-23 | 2018-05-11 | 樂金顯示科技股份有限公司 | 製備用於有機電子裝置之基板之方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2913146B1 (fr) | 2009-05-01 |
JP5723529B2 (ja) | 2015-05-27 |
EP2130241A2 (fr) | 2009-12-09 |
WO2008119899A2 (fr) | 2008-10-09 |
FR2913146A1 (fr) | 2008-08-29 |
KR20090125095A (ko) | 2009-12-03 |
CN101617418A (zh) | 2009-12-30 |
JP2010519699A (ja) | 2010-06-03 |
WO2008119899A3 (fr) | 2009-03-26 |
CN101617418B (zh) | 2013-12-25 |
US20100117523A1 (en) | 2010-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW200904246A (en) | Substrate bearing a discontinuous electrode, organic light-emitting device incorporating it, and their manufacture | |
KR101633131B1 (ko) | 유기 발광 장치용 기판, 및 이를 포함하는 유기 발광 장치 | |
JP5261397B2 (ja) | 有機発光素子用の電極、その酸エッチング、及び、それを組み込んだ有機発光素子 | |
KR101700286B1 (ko) | 유기 발광 소자용 기판, 상기 기판 및 유기 발광 소자의 제조 방법 및 용도 | |
US8593055B2 (en) | Substrate bearing an electrode, organic light-emitting device incorporating it, and its manufacture | |
JP5606458B2 (ja) | フォトニックデバイスのための透明基板 | |
CN101536608A (zh) | 用于有机发光装置的基板、其用途和制备方法,以及有机发光装置 | |
WO2012057043A1 (ja) | 有機el素子、透光性基板、および有機el素子の製造方法 | |
KR20150097587A (ko) | Oled 장치를 위한 전도성 지지체 및 그것을 포함하는 oled 장치 | |
KR20150041030A (ko) | Oled 장치를 위한 확산 전도성 지지체 및 그를 포함하는 oled 장치 | |
KR20150041031A (ko) | Oled 장치를 위한 확산 전도성 지지체 및 그를 포함하는 oled 장치 | |
WO2015140090A1 (en) | Transparent substrate for photonic devices | |
WO2015111327A1 (ja) | 透明導電体 |