TW200902400A - Pellicle storage container and method of manufacturing same - Google Patents

Description

200902400 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種防護薄膜組件收納容器及並製造方法，兮 防護薄膜組件收納容器可收納、保f、輸送在吾义 g 或是液晶顯示器等產品時作為防塵器使用的微影‘ 防護薄膜組件。 【先前技術】 在LSI、超LSI等半導體或是液晶顯示板等產品的 用光照射半導體晶®或液晶簡、板續作 _ =塵會吸收光，使光f曲，=== = 因此’該等作業通常係在益塵室 #外觀專。 保持光罩清潔仍相當_。於是 使如此欲經常 塵器之用的防護薄膜組件後再進行^逐2罩表面貼附作為防 著於光罩表面上’而係附著於防護薄膜直接附 驟中將焦點對準光罩圖荦上，防嘈，故，、要在微影步 印造成影響。ΰ案上时薄膜組件上的異物就不會對轉 一般而言，該防護薄膜組件，係用 醋酸纖維錢㈣樹辦物_成透、纖維素、 的下端設置為裝著於光罩上接I’f防護_組件框架 J7^r 間二:==:以後其所形成的封閉空 防護薄膜組件本身且在封閉空間内;=難 難义防止光罩表面附 5 200902400 ϊίtSi二除了要求防護薄膜組件本身的高度清潔性以外， 管、輪送時使用的防護薄膜組件收納容器（參照下 I靜電性二^^具„該5潔性的性能。具體而言，要求其防 r作量由*摩擦時發塵量少的材質所構成’且形成 r卜組件與構成零件間之接觸的構造，以及施加 外力％此夠防止變形的高剛性構造。 聚物11通常係將丙稀腈—丁二烯—苯二稀共 r 接縫故發塵或異塵的疑慮較少、—體成形無 納容器外觀的-個實it 表護薄膜組件收 本體61 ’以及被覆防護薄膜Ώ °日:防膜組件的容器 的蓋體62所構成，容哭太栌、同$备态本體與周緣部嵌合卡止 63與蓋林體__帶（未關W或失箝器 半導體用或印刷基板用的 長大約200〜300咖左右， 組件收納容器，其外形邊 而成。另-方面，主要用於液二f 射出成形方式製造 的大型防護薄膜組件收柄交 姜潯馭組件而邊長超過500mm 片，真空成形方式所製造^成HAf、丙烯酸等合成樹脂 或是數個地方的閘門將樹 5疋因為，若使用從一個地方 其樹脂流動距離太長而4 =注人模具内的射出成形方式， 形法，係在模具上覆蓋二。另—方面，真空成 故即使大型物品也能輕易i、得。树月曰片材，再以真空吸引成形， 射出成形法除了閘門部八 於此’如圖5所示的真空法得所想要的形狀，相對 為，成形部分51的周圍會有直侍所想要的形狀。這是因 片材的邊端材料52殘留的關’係:時用來形成按I緣部的原料 在真空成形法中，必須在 200902400 成形後利用機械加工步驟除去周圍剩餘的邱八 -二雜所製作:二護薄膜組件收納容 切削加工時被切削部分會產生振動，除了 ^在 圖3所示的鬚狀毛邊32，故難以獲得清潔的表^外，遇會產生如 因此，通常，會利用刀類工具進行毛邊 工之後的後續處理。然而，利用刀類工具進加 毛邊’故要獲得完全清潔的狀態非常的困難。又 ^ =的 ίϊΐ=收=中也有外周長超過51〇者，其去 要數十分鐘，在成本上也造雜大的_。 •埋而 [專利文獻1]日本特開2000 —173887號公報 【發明内容】 [發明所欲解決的問題] 由以上情事，本發明之目的在於提供―、 乂 防護薄膜組件收納容器，其確立出直且成本低廉的 方法，使端面不會產生毛邊等瑕絲後適當的外周圍加工 [解決問題之技術手段] 本發明之製造方法，先將樹脂片材 薄膜組件收納容器構件的形狀後，再切削蔓 形成的表面部分進行溶構件接者，對剩餘部分除去後 防護薄膜組件收納容器構件，通常， 谷态本體與防護薄膜組件收納容哭蓋 、、、.且牛收納 組件_容器構的構翻t何只要是防護薄膜 Ϊ解ΐϊ明可if有機溶劑。又，亦可用熱風吹送取代。 造方護薄膜組件收納容器，其係由利2述製 容^以It，，件收納容器本體與防護薄膜組件收納 皿體所構成的’谷㈣體使用其周緣部與容ϋ本舰合卡: 200902400 的形態為佳。 [對照先前技術之功效] .納容器所要求 S性端面清潔的話’便可維持防護薄膜喻納ί;=ΐ 【實施方式】 形態以下’根據附圖説明本發明之防護薄膜組件收納容器的實施 面』二=施明以組件收納容器構件端 制加工時的外二：;二=真空成形後進行外周圍切 過外周圍切削加工後的防護薄膜組件收納哭 条件而造成差異，並產生如“ 禮〗*本么明，如圖1所示的將有機溶媒浸潤於溶媒保持機 並使销構邊著容11構件端面11邊移動，而將、、容媒冷 布於该端面的表面。有機溶媒宜選擇 溶解容器材質也不合彦生對作f人貝危害取小且即使 ~苯二橋丑取私與二Γ生义色者為么，例如，對丙烯腈—丁二烯 iac^〇nitrile butadiene styrene ； ABS) #f -II Ϊ! ^yl ketone ； MEK) f ： 用Si,，12宜適當選擇不會被溶媒侵觸材質為佳，二吏 #处古：，由折疊_料、的擦拭布所㈣的溶媒縣機構12， J =fMEK侵钱。又，移動速度或溶媒的浸 度專’可邊顧㈣_完赭减作整。 一 —，圖2係表示附帶有熱風吹送功能的其他實施形態。設置 :ί=3Λ端时:ΐ22邊將大約150〜赋左右的熱風吹送 南丨'、且牛收納谷态構件端面21，邊在該端面上移動。此時， 敗、風吹送讓鬚狀毛邊受熱溶縮而被燒光，如是便能輕易的從 200902400 表面除去該毛邊。然而’高溫熱風處理很危險，溫度控制报難， 長時間對著同一個處所吹送太久會在表面留下溶縮凹痕能準 備專用裝置自動執行是很好，但是用人力執行該作業、該有 媒之方法，才具備實用性。 、、'谷 [實施例] 以下，説明本發明的實施例，惟本發明並非僅限定於此 [實施例1] ' 利用真空成形法對厚度3刪的防靜電ABS [商品名· Toyolacparel (T0RAY股份有限公司製）：丙烯腈—丁二烯^笨二 烯共聚合物（約87%)與聚醚醯胺酯（約13%)的混合物](黑色 片材進行成形。成形後之外觀如圖5所示的周圍留有剩餘部分 52，利用數控鉋刮機（numerical corrtr〇lledr〇uter ; Nc⑺此 將該部分切削除去，即製得防護薄膜組件收納容器構件。接 如圖1所示的將纖維素製擦拭布[商品名：Bemcot PS2 (旭化成股 份有限公司製）]折疊起來浸潤於中，塗布容器端面整圈 後’靜置lOmin使其完全乾燥之後，用純水洗淨除去灰塵等雜物， 並觀察其外觀。塗布部分外觀光澤情況與非塗布部雖有若 異，但沒有變色’品質良好。又，此時可確認並無毛邊。接著， 將白色黏貼膠帶[商品名：Almake tape (ALMA公司製）]黏貼於端 面，在，下來以確認是否有毛邊等雜物附著，發現並無任何鬚狀 毛邊附著。 ’' >' [實施例2] ⑽用與上述實關1完全相同的方式，製作防護細組件收納 容器構件。然後，如圖2所示的從安裝在加熱器23 (八光電機 作所製）前端的喷嘴22❺前端邊吹送出溫度18〇 ，端J以約一的速度移動。之後，洗淨去除雜物: i觀’雖然沒有發現毛邊等瑕龜，但發現數個地方因為過 表面粗糙。又’與上述實施例1相同用黏貼膠帶確認是 否有毛邊附著，則完全未發現有毛邊附著。 疋 200902400 [比較例] 用與上述實施例1、2完全相同的方式，f 納容器構件。接著，如圖4所示的用切割器犯= 。之後’用純水洗淨去除雜物，觀察 地方。再者，與上述實施例相同用方^數ΐ :鬚狀毛邊附著，從外觀上以及清淨性的觀點來看情‘^ r ，發明’可㈣溶解㈣切肖仏卫後表 滑’故可適用於對清潔性特別要求的 業技術範_。 猶、轉H為的產 【圖式簡單說明】 法其圖纟鱗騎端面處理方 法其本ΐΓί_賴崎收納”構件端面處理方 Γ/fit!圍切削加工後端面外觀—實施例的説明圖。 法一實施例的説明圖。 、、内谷时本體端面處理方 圖 體圖。係絲真空成形後防廳件收納容ϋ構件狀態的立 則係表示防護_組件收納容器外觀—實施例的立體圖。 【主要元件付號說明】 11防護薄膜組件收納容器構件端面 12溶媒保持機構 =防護薄膜組件收納容器構件端面 22喷嘴 10 200902400 23 加熱器 31 防護薄膜組件收納容器構件端面 32 毛邊 41防護薄膜組件收納容器構件端面 42切割器 51防護薄膜組件收納容器構件（成形部分） 52剩餘部分（按壓緣部） 61防護薄膜組件收納容器本體 62 防護薄膜組件收納容器蓋體 63夾箝器 11

Claims (1)

1. 200902400 十、申請專利範圍： 1、-種防護薄膜組件收納容器 將樹脂片材以真空成形方式形牛的衣仏方法，其特徵為： 的形狀後，切削除去片材周圍的剩=護薄膜組件收納容器構件 納容器構件，接著，對剩餘部分除f H ’、製得防護薄膜組件收 處理。 ’、後形成的表面部分進行溶解 造方2法如竭1項之防_膜組件_容器構件的製 體。該防賴麵件㈣容賴件係物韻贿魏納容器本 造方利範圍第1項之防護薄膜組件收納容器構件的製 體。該防護薄膜組件收納容器構件係為防護薄膜組件收納容器蓋 4、如申請專利範圍第1 容器構件的製造方法，其中，、中任一項之防護薄膜組件收納 該溶解處理係以塗布有機溶劑方式施行。 容器#至3項中任—項之防護薄膜組件收納 該洛解處理係以吹送熱風方式施行。 6、=種防護薄膜組件收納容器，包含： 約容專ί範圍第2項之製造方法所製得的防護薄膜組件收 納容專利翻第3項之製造綠所製得的__組件收 該容哭申利範圍第6項之防護薄膜組件收納容器，盆中， 體係以其周緣部與容器本體互相嵌合卡止。、 十 圖式： 12