JPS63205656A - 両面粘着テ−プの洗浄方法 - Google Patents
両面粘着テ−プの洗浄方法Info
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- JPS63205656A JPS63205656A JP62037665A JP3766587A JPS63205656A JP S63205656 A JPS63205656 A JP S63205656A JP 62037665 A JP62037665 A JP 62037665A JP 3766587 A JP3766587 A JP 3766587A JP S63205656 A JPS63205656 A JP S63205656A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は半導体装置の製造工程におけるように、防塵
対策が要求される分野において使用される両面粘着テー
プの洗浄方法に関する。
対策が要求される分野において使用される両面粘着テー
プの洗浄方法に関する。
従来技術とその問題点
防塵対策が要求される分野で両面粘着テープが使用され
る例の一つに半導体装置の製造工程において使用される
フォトマスクやレチクル（以下単にマスク等という）の
防塵用カバーとして使用されるペリクルがある。このペ
リクルはマスク等に通常、両面粘着テープによって接着
されるようになっているが、両面粘着テープの製造はク
リーンルームでなく通常の室で行われているためテープ
中に異物が含まれていることがあり、またテープ基材は
通常発泡樹脂から構成されているためその切断面には気
泡部に切屑などの異物が入り込んでいることが多い、こ
うした異物は両面粘着テープを接着したペリクルをマス
ク等への装着に際しエアーの吹付けによる洗浄を行った
とき飛び出し易い、従来はこうした異物による発塵の影
響が軽微なこともあって両面粘着テープからの発塵につ
いてあまり配慮がなされていなかったが、半導体装置の
集積度が向上するのに伴いマスク等に描かれる回路パタ
ーンの線巾も細くなり、付着する異物の許容サイズが小
さ°くなる結果、両面粘着テープの気泡部に入り込む異
物による発塵に配慮する必要が生じてきた。
る例の一つに半導体装置の製造工程において使用される
フォトマスクやレチクル（以下単にマスク等という）の
防塵用カバーとして使用されるペリクルがある。このペ
リクルはマスク等に通常、両面粘着テープによって接着
されるようになっているが、両面粘着テープの製造はク
リーンルームでなく通常の室で行われているためテープ
中に異物が含まれていることがあり、またテープ基材は
通常発泡樹脂から構成されているためその切断面には気
泡部に切屑などの異物が入り込んでいることが多い、こ
うした異物は両面粘着テープを接着したペリクルをマス
ク等への装着に際しエアーの吹付けによる洗浄を行った
とき飛び出し易い、従来はこうした異物による発塵の影
響が軽微なこともあって両面粘着テープからの発塵につ
いてあまり配慮がなされていなかったが、半導体装置の
集積度が向上するのに伴いマスク等に描かれる回路パタ
ーンの線巾も細くなり、付着する異物の許容サイズが小
さ°くなる結果、両面粘着テープの気泡部に入り込む異
物による発塵に配慮する必要が生じてきた。
問題点の解決手段
本発明者らは両面粘着テープからの発塵を防止するため
両面粘着テープを洗浄することを考え、洗浄方法につい
て種々実験を重ねた結果、ペリクル枠に両面粘着テープ
を接着した状態で純水ブローしながらブラッシングし、
ついで水中で超音波洗浄すると気泡部に入り込んだ異物
の除去に効果があることを見出し、本発明に至った。す
なわち本発明は両面粘着テープを対象物に接着した状態
で純水ブローしながらブラッシングし、ついで水中で超
音波洗浄したのち乾燥することを特徴とするものである
。
両面粘着テープを洗浄することを考え、洗浄方法につい
て種々実験を重ねた結果、ペリクル枠に両面粘着テープ
を接着した状態で純水ブローしながらブラッシングし、
ついで水中で超音波洗浄すると気泡部に入り込んだ異物
の除去に効果があることを見出し、本発明に至った。す
なわち本発明は両面粘着テープを対象物に接着した状態
で純水ブローしながらブラッシングし、ついで水中で超
音波洗浄したのち乾燥することを特徴とするものである
。
ここで両面粘着テープを対象物に接着した状態で洗浄す
るのは粘着テープ単独で洗浄するよりも保形性があり、
純水ブローによる洗浄が容易となるからである。
るのは粘着テープ単独で洗浄するよりも保形性があり、
純水ブローによる洗浄が容易となるからである。
本発明によれば、純水ブローしながらブラッシングする
ことにより気泡部に入り込む異物が洗い流され、ブラシ
と枠の擦れ合いによって生ずる塵埃は気泡部内部に残留
する異物とともに次の超音波による洗浄で除去される。
ことにより気泡部に入り込む異物が洗い流され、ブラシ
と枠の擦れ合いによって生ずる塵埃は気泡部内部に残留
する異物とともに次の超音波による洗浄で除去される。
しかして粘着テープを接着した対象物を洗浄後、使用に
際し新ためて通常行われるエアーブローによる洗浄を行
ったところこの洗浄による異物の増加は認められなかっ
た。しかしながら対象物の掻く近くよりエアーブローを
行ったところ異物の増加が認められ、この場合上記方法
では不十分であることが確認された。
際し新ためて通常行われるエアーブローによる洗浄を行
ったところこの洗浄による異物の増加は認められなかっ
た。しかしながら対象物の掻く近くよりエアーブローを
行ったところ異物の増加が認められ、この場合上記方法
では不十分であることが確認された。
そこで本発明者らはエアーブローによる洗浄を対象物の
極く近くで行っても異物の増加をもたらさない洗浄方法
を求めて更に実験を重ねた結果、上記方法において乾燥
後エアーブローするとはソ゛満足すべき結果が得られる
ことを見出した。したがって本発明は乾燥後更にエアー
ブローしたことをも特徴とする。
極く近くで行っても異物の増加をもたらさない洗浄方法
を求めて更に実験を重ねた結果、上記方法において乾燥
後エアーブローするとはソ゛満足すべき結果が得られる
ことを見出した。したがって本発明は乾燥後更にエアー
ブローしたことをも特徴とする。
実施例１
ペリクルの開口側の枠側端面に接着した両面粘着テープ
に第１表に示される順序のステップで洗浄聚行った。す
なわち先ず純水を吹付けながらブラッシングし、ついで
全体を水中に浸漬し、超音波洗浄する。乾燥後表面に異
物の付着が認められる場合にはその箇所に粘着テープを
くっ付は除去する０以上のようにして洗浄を終え、その
後ニトロセルロース膜を貼り付け、改めて１ｍφの口径
を有するチューブから３０ｐｓ ｉの圧力でエアーの吹
付けを粘着テープより３１の高さと５鶴の高さよりそれ
ぞれ行い、吹付前と吹付後にニトロセルロース膜面に付
着する異物の数をそれぞれ目測したところ第２表に示さ
れるように、３１の高さよりエアーブローを行った場合
、吹付前後で異物の数に増加は認められなかった。
に第１表に示される順序のステップで洗浄聚行った。す
なわち先ず純水を吹付けながらブラッシングし、ついで
全体を水中に浸漬し、超音波洗浄する。乾燥後表面に異
物の付着が認められる場合にはその箇所に粘着テープを
くっ付は除去する０以上のようにして洗浄を終え、その
後ニトロセルロース膜を貼り付け、改めて１ｍφの口径
を有するチューブから３０ｐｓ ｉの圧力でエアーの吹
付けを粘着テープより３１の高さと５鶴の高さよりそれ
ぞれ行い、吹付前と吹付後にニトロセルロース膜面に付
着する異物の数をそれぞれ目測したところ第２表に示さ
れるように、３１の高さよりエアーブローを行った場合
、吹付前後で異物の数に増加は認められなかった。
実施例２
乾燥後エアーブローを行う以外は実施例１と同様の方法
により洗浄を行った。その後実施例１と同様にエアーを
両面粘着テープより３ｏａの高さと５ｍの高さよりそれ
ぞれ吹付け、吹付前後の異物の数を目測した。その結果
第２表に示されるように、３ｃｍの高さでは異物の数に
差はなく、また５論の高さでもほとんど差は認められな
かった。
により洗浄を行った。その後実施例１と同様にエアーを
両面粘着テープより３ｏａの高さと５ｍの高さよりそれ
ぞれ吹付け、吹付前後の異物の数を目測した。その結果
第２表に示されるように、３ｃｍの高さでは異物の数に
差はなく、また５論の高さでもほとんど差は認められな
かった。
比較例１
実施例１の両面粘着テープの表面をアセトンで拭き取り
、ついで粘着テープによる異物処理を両面粘着テープの
全面に亘って行った。その後実施例１と同様にしてエア
ーを吹付け、吹付は前後の異物の数を目測したところ第
２表に示されるように吹付後に増加が認められた。
、ついで粘着テープによる異物処理を両面粘着テープの
全面に亘って行った。その後実施例１と同様にしてエア
ーを吹付け、吹付は前後の異物の数を目測したところ第
２表に示されるように吹付後に増加が認められた。
比較例２
比較例１と同様にアセトンによる拭き取り、粘着テープ
による異物処理を行ったのちエアーブローを行い、つい
で実施例１と同様粘着テープによる異物の部分的な処理
を行った。その後実施例１と同様にしてエアーを吹付け
、異物の数を目測したところ第２表に示されるように吹
付後で異物の数に増加が認められた。
による異物処理を行ったのちエアーブローを行い、つい
で実施例１と同様粘着テープによる異物の部分的な処理
を行った。その後実施例１と同様にしてエアーを吹付け
、異物の数を目測したところ第２表に示されるように吹
付後で異物の数に増加が認められた。
比較例３
純水ブローによるブラッシングに代えて洗剤中でブラッ
シングを行い、かつ乾燥後粘着テープによる異物処理を
行う以外は実施例２と同様の方法により洗浄を行った。
シングを行い、かつ乾燥後粘着テープによる異物処理を
行う以外は実施例２と同様の方法により洗浄を行った。
その後実施例１と同様にしてエアーを吹付け、異物の数
を目測したところ第２表に示されるように吹付後で異物
の数に増加が認められた。
を目測したところ第２表に示されるように吹付後で異物
の数に増加が認められた。
発明の効果
本発明は以上のように、対象物に両面粘着テープを接着
した状態で純水ブローしながらブラッシングし、ついで
水中で超音波洗浄するようにしたもので、対象物を使用
するのに先立って行われる通常の程度のエアーブローに
よる洗浄では異物の増加をもたらすことがない。
した状態で純水ブローしながらブラッシングし、ついで
水中で超音波洗浄するようにしたもので、対象物を使用
するのに先立って行われる通常の程度のエアーブローに
よる洗浄では異物の増加をもたらすことがない。
表２
Claims (2)
- （１）両面粘着テープを対象物に接着した状態で純水ブ
ローしながらブラッシングし、ついで水中で超音波洗浄
したのち乾燥することを特徴とする両面粘着テープの洗
浄方法 - （２）乾燥後エアーブローする特許請求の範囲第１項記
載の両面粘着テープの洗浄方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62037665A JPS63205656A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 両面粘着テ−プの洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62037665A JPS63205656A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 両面粘着テ−プの洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63205656A true JPS63205656A (ja) | 1988-08-25 |
Family
ID=12503927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62037665A Pending JPS63205656A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 両面粘着テ−プの洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63205656A (ja) |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP62037665A patent/JPS63205656A/ja active Pending
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