TW200849630A - Extruded structure with equilibrium shape - Google Patents

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TW200849630A
TW200849630A TW096140900A TW96140900A TW200849630A TW 200849630 A TW200849630 A TW 200849630A TW 096140900 A TW096140900 A TW 096140900A TW 96140900 A TW96140900 A TW 96140900A TW 200849630 A TW200849630 A TW 200849630A
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extruded
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inlet
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David K Fork
Thomas Stephan Zimmermann
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Palo Alto Res Ct Inc
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Description

200849630 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關擠製系統及方法，尤有關用來共擠製多 數類似及/或不冋材料以形成具有f父筒縱橫比之較精細結 構的微擠製系統及方法。 【先前技術】 藉由傳統擠製，透過一模型擠出及/或拉出材料擠錠以 形成桿、軌、管等。種種的用途運用到該能力。例如，擠 製可用於食品加工用途以製造麵類、穀類食品、點心等， 於酥皮餡餅上加奶油花飾（例如蛋白霜），於餅干煎鍋上模 製餅干點心’於蛋糕上加花及邊飾等。於另一用途，可使 用擠製於消費品，例如將不同顏色的牙膏一倂擠在一牙刷 上。 第11圖係一立體圖，顯示一用來於一基板1〇1之上表 面1 02上製造精細外形特徵（例如小於5 〇微米之寬度及高 度）之結構20之習知微擠製系統。擠製頭3〇包含使用習知 局壓晶圓接合技術層疊在一起之金屬板31，32及33，將一 或更多此等板加工以形成一流體通道3 4，該流體通道3 4 與一形成於該頭側緣之出口孔口 3 5連通。擠出材料透過一 輸入埠37插入流體通道34內，俾擠製材料透過出口孔口 3 5成形及擠出，其自該出口孔口 3 5分配至一目標結構（例 如基板101之上表面102)。 第12(A)及12(B)圖係圖解有關習知微擠製頭之典型製 造問題之橫剖側視圖。第1 2 (A)圖顯示使用上述習知微擠製 200849630 技術形成於基板 1 〇 1上的理想高縱橫比格線擠製結構 20A，理想擠製結構20A具有正方形或長方形之出口孔口 3 5。爲了解釋目的，理想擠製結構2 0 A具有較窄寬度W i 及較大高度Η。微擠製結構的製造問題在於，擠製材料須 爲流體（亦即，液體或糊狀物），並因此，在擠製後會沉降。 因此，如第12(B)圖所示箭頭所明示，第12(A)圖所示理想 長方形典型地會因其流體特徵而沉降，使理想高縱橫比格 線結構2 0 Β呈具有至少一較寬寬度W 2及一減低高度Η 2的 驟降形狀。此種高度的減低及寬度的增加在例如可使用擠 製結構來形成金屬格線的太陽電池製造中不理想，其原因 在於，沉降結構容許較少的陽光進入基板1 〇 1，較多的陽 光（如虛線箭頭所指）自基板1 〇 1反射出去。因此，習知微 擠製技術例如受限於，其無法以低於1 $/每平方英尺的成本 形成較高縱橫比（例如1 : 1或更大）或多孔結構。因此，典 型地，不使用擠製來製造用於電化學（例如燃料）、太陽能 及/或其他類型的電池，此等電池運用高縱橫比之精細外形 特徵之多孔結構來增加效率及電力產生。 從用來形成高縱橫比的線及外形特徵之快速及經濟裝 置獲得好處的其他實用裝置包含諸如第1 3圖所示者之電 漿顯示器面板，於顯示器內，高縱橫比之阻隔壁形成次像 素。阻隔壁係一電絕緣結構，且較佳地係一高縱橫比結構， 其原因在於，這會改善每英寸點之解析度以及顯示器的塡 充率。以上參考第1 2 (Β )圖所說明之沉降問題造成製造低劣 顯示器裝置的非最適阻擋壁。 200849630 需要有效率地製造可例如用在高品質光伏打電池及電 漿顯示器面板之製造的微擠製結構。 【發明內容】 本發明係用來於一透過擠製頭之孔口擠製出格線在基 板表面上形成高縱橫比功能結構（例如，、、格線〃）的設備 及方法，其中，該孔口具有一傾斜（例如，弧形或錐形）上 表面’使格線在擠製後立即具有一弧形或錐形上表面。使 用若干（例如，金屬）黏接或以其他方式層疊的薄片製造擠 製頭。將多數薄片之一者蝕刻以形成孔口之傾斜表面，接 著，將該薄片黏接於一第2薄片以提供孔口之一平坦下表 面。根據本發明，形成孔口之傾斜上表面，俾格線在擠製 後立即實質上平衡，因此，避免增加寬度及減少高度之不 理想後續沉降。 根據本發明之一實施例，將一格線（功能）材料與一支 撐（例如，犧牲）材料共擠出於基板表面上，俾支撐高縱橫 比格線於二支撐材料部（於一實施例中，將支撐部當作隨後 將移除的犧牲部來處理）間。此種共擠製結構的形成要求將 格線材料壓縮於此二支撐材料部間，其要求使用較寬的三 通道凹穴對較狹窄出口孔口進給，俾壓縮格線材料於二支 撐材料部間。耢由形成具有平衡形狀之合成擠製結構，本 發明有助於局縱橫比格線的可靠製造。 根據本發明之一實施例，一種製造用於微擠製設備之 擠製頭的方法包含蝕刻一第1薄片，使其含有一具有傾斜 (例如，一般而言，半圓筒形或錐形）形狀的長溝槽。該溝 200849630 槽具有一封閉端，並延伸至薄片之一側緣。触刻一第2薄 片，使其含有一入口埠，該入口埠定位成當第1與第2薄 片黏接在一起時，與溝槽之封閉端對齊。因此，以可靠及 經濟的方式形成傾斜溝槽，並提供一具有傾斜表面的孔 口’該傾斜表面形成於擠製頭之一側緣。 【實施方式】 第1圖根據本發明之一實施例顯示擠製頭1 3 〇的一部 分，其構成微擠製設備100之部分，該微擠製設備100用 來於一基板1 0 1上製造一具有平衡形狀的擠製結構1 2 0。 擠製頭1 3 0可操作地連接於一或更多擠製材料源（未圖 示），俾材料自一形成於擠製頭1 3 0之一側緣1 3 9的出口孔 口 135擠出，並沉積於基板101之上表面102，具有在擠 出後抗沉降的期望平衡形狀。 第2圖係更詳細顯示擠製頭1 3 0之分解立體圖。根據 本發明之一實施例，擠製頭130由複數薄片（基板或板）2 10, 220及230構成，於一實施例中，該等薄片210,220及230 使用習知高壓晶圓接合技術黏接以形成第1圖所不之實質 上剛性、塊狀結構。於一實施例中，薄片21 〇,220及230 係具有約0.1 5 m m厚度的金屬板。各薄片具有相對側及實 質上筆直側緣，薄片210具有相對之第1及第2表面211-1 及211-2及一側緣219,薄片220具有相對之表面221-1及 221-2及一側緣229’且薄片230具有相對之第1及第2表 面231-1及231-2及一側緣239。黏接溥片210,220及230’ 俾薄片230夾在薄片210與220間’薄片230安裝在薄片 200849630 220上，使表面231-1面對表面221-2，且薄片210安裝在 薄片230上，使（第1)表面211-1面對（第2)表面231-2。組 合或加工薄片2 1 0,220及2 3 0(藉由切割、銑或硏磨之一或 多者），俾如第1圖明示，側緣2 1 9，2 2 9及2 3 9對齊以形成 擠製頭1 3 0之一側緣表面1 3 9。於名稱爲、具有平面化之 側緣表面〃之共同擁有且同時申請之美國專利申請案第XX/ \父父，\\\號（代理人卷宗號碼20060464(5-1；3^?(\€?-074))中 說明一種用來製造擠製頭1 3 0的方法，在此倂提全文俾供 參考。 再度參考第2圖，根據本發明之一觀點，蝕刻或以其 他方式製造薄片230以包含長溝槽232,233及234之至少 一者，該等長溝槽232,233及234形成於表面232-2中， 且自一位於側緣2 3 9附近的敞開端（凹口）2 3 5延伸至一配置 於側緣2 3 9外的封閉端。各溝槽2 3 2,2 3 3及2 3 4具有一以 以下方式形成的凹入傾斜（例如，大致半圓筒形或錐形）表 面。具體而言，溝槽232包含一傾斜表面231-22，溝槽233 包含一傾斜表面 23 1 -2 3，且溝槽 23 4包含一傾斜表面 231-24。當薄片230接著黏接於薄片210時，第2表面232-2 的平面狀的平坦部23 1 -21抵接薄片21 0的第1表面21 1 -1， 且各溝槽2 3 2，2 3 3及2 3 4分別與表面2 1 1 - 1的相對平坦部 21 1-12,2 1 1-13及21 1-14組合以形成大致半圓筒形流體通 道（例如，如第1圖明示，流體通道1 3 2,1 3 3及134)，各流 體通道與一相關出口孔口 135連通。 根據本發明另一觀點，出口孔口 1 3 5包含：一筆直側 200849630 緣1 3 6，由位於薄片2 i 〇之一側緣2 1 9的平坦表面2 1 1 - 1 部分形成；以及一傾斜第2側緣1 3 7，由位於薄片2 3 0之 側緣2 3 9的傾斜表面2 3 2 - 2 2，2 3 2 - 2 3及/或2 3 2 - 2 4形成。傾 斜側緣1 3 7有助於以後述方式製造具有平衡形狀之擠製結 構。 根據本發明之一實施例，溝槽2 3 2,23 3及23 4配置成 箭頭形狀圖案，俾當裝配擠製頭1 3 0時，一流體通道1 3 0- 1 形成爲三通道凹穴，該三通道凹穴具有位於相對（第1與第 2)通道133與134間的中央通道132，三通道均與輸出埠 1 3 5連通。特別是，於其個別封閉端，中央溝槽2 3 2與側 溝槽2 3 3及23 4分別被錐形指狀平坦部23 2-2 1 1及23 2-2 1 2 分開，藉此，當薄片2 1 0及2 3 0組合時，形成中央通道1 3 2 ^ 同樣地，側溝槽2 3 3及2 3 4被薄片2 1 0之對應周圍平坦部 所關閉以形成側通道1 3 3及1 3 4。側通道1 3 3及1 3 4成角 度朝向中央通道132，並於接近凹口 235的一點會聚，該 凹口 235與薄片210合作形成出口孔口 135。雖然所揭示 V 實施例描述三個配置成箭頭形狀的相互連通溝槽/通道，惟 本發明之多數態樣適用於任何數目的溝槽/通道（例如，與 出口孔口 135連通的單一溝槽/通道）。 再度參考第1圖，根據本發明另一觀點，相對於基板 1 〇 1 (例如’沿箭頭A方向）移動擠製頭1 3 0，同時經由流體 通道132,133及134擠出一或更多擠製材料，俾自出口孔 口 1 3 5側擠出材料，並形成一相關擠製結構丨2 〇於基板】〇工 上。用來於基板1 〇 1與擠製頭丨3 〇間發生必要相對運動的 -10- 200849630 機構業已周知。使用習知技術，經由位於各流體通道 1 3 2，1 3 3及1 3 4之封閉端的入口擠出擠製材料。參考第2 圖’蝕刻或以其他方式形成用來與流體通道連通的入口埠 於種種薄片中。特別是，薄片2 1 0形成分別與溝槽2 3 3及 2 3 4之封閉端對齊的入口堤（例如，通孔、槽孔或通道）2 i 3 及214，且薄片220形成一與中央溝槽232對齊的入口埠 222-1。一入口開口 222-2形成於延伸穿過薄片230之剩餘 壁部的中央溝槽2 3 2內部，且當薄片2 1 0與2 3 0連結時， $ 與入口埠222- 1對齊。例如使用微切削技術（例如，光化學 切削、脈衝雷射切削、深層反應離子蝕刻、放電切削或各 向異性蝕刻）形成入口埠2 1 3，2 1 4，2 2 2 - 1及2 2 2 - 2。 根據本發明另一態樣，由於流體通道1 3 2,1 3 3及1 3 4 及出口孔口 135的形狀，因此，在擠製時，擠製結構120(顯 示於第1圖中）具有平衡形狀，從而避免有關習知微擠製技 術的沉降問題。特別是，擠製結構1 2 0具有：一平坦下表 面126(亦即與基板101之上表面1〇2接觸之表面），由出口 、 孔口 1 3 5之平坦側緣1 3 6形成；以及一弧形或錐形上表面 1 2 7，由出口孔口 1 3 5的傾斜側緣1 3 7形成’並背離基板 1 0 1。相對於藉由習知微擠製技術所形成會沉降之矩形初始 擠製結構2 0 Α (第1 2 (A)圖），擠製結構1 2 0擠製成接近結構 平衡的形狀，藉此抗沉降，並有助於製造具有較均一及可 靠的一致高度及寬度的擠製結構。 除了第1圖所描述的層疊金屬層配置外’可以種種方 法製造擠製頭1 3 0。例如，可藉由將金屬電鑄於業已在其 -11- 200849630 玻璃遷移溫度以上回熔的抗鈾結構上方’形成圓通道。亦 可藉由將金屬電鑄於使用形成錐形側壁的之習知技術加工 的抗蝕結構上方，形成錐形通道。於另一實施例中’可藉 由將數層蝕刻過的金屬薄片硬焊在一起’製造根據本發明 形成的濟製頭。於又另一例子中’可使用由諸如SU8之可 光形成之聚合物形成的結構製造擠製頭。於又另一例子 中，可使用習知製造技術’由金屬及/或塑膠切削或模塑擠 製頭。 第 3圖顯示根據本發明另一實施例之微擠製設備 100A。微擠製設備100 A包含一擠製裝置110， 該擠製裝 置110具有一或多個固定安裝於其上之共擠製頭 130-2，如上述，各共擠製頭130-1及130-2與擠製頭130 一致。於本發明中，擠製裝置110連接於一含有一支撐材 料1 1 2之第1源1 1 1 ’以及一含有一功能（、格線〃）材料 1 1 5之第2源1 1 4。擠製頭1 3 0 - 1及1 3 0 - 2可操作地連接於 源1 1 1及1 14，俾頭130-1及130-2同時施加支撐材料1 12 及格線材料1 1 5於基板1 0 1的上表面1 02上。材料透過擠 及/或拉技術（例如，熱或冷）被施加，其中材料透過擠製裝 置11〇及/或共擠製頭130-1及13〇-2以及分別形成於共擠 製頭130-1及130-2下部出口孔口 135擠出（例如，擠壓等） 及/或拉出（例如經由真空等）。 於一實施例中，藉擠製裝置1 1 〇保持共擠製頭1 3 〇 _ i 及1 3 0-2，以平行、隔開之配置方式配置其個別出口孔口。 特別是，沿第1方向XI延伸之共擠製頭丨“]之（第㈠出 -12- 200849630 口孔口（例如，出口孔口 135-11及135-12)及第2共擠製頭 130-2之（第2)出口孔口 130-2(例如，出口孔口 135-21及 1 3 5 -22)形成一與第1線XI分開並與其平行的第2線X2。 如在此倂提全文俾供參考，名稱爲、、緊密隔開之高縱橫比 濟製格線’之同時申請之美國專利申請案第X X / X X X，X X X號 (代理人卷宗號碼2 0 0 6 0 4 6 4 - U S - N P (X C P - 0 7 2 ))所說明，設備 100 A包含一用來沿垂直於出口孔口之對齊方向之方向移 動擠製裝置1 1 〇 (並因此，共擠製頭1 3 0 - 1及1 3 0 - 2 )之機構 (未圖示），且透過出口孔口 135共濟製犧牲材料112及格 線材料1 1 5，形成平行之長擠製結構1 2 〇 a於基板1 0 1上， 俾各結構1 2 0 A之格線材料形成一高縱橫比格線i 2 5，且各 結構1 2 0 A之犧牲材料形成分別配置於相關高縱橫比格線 1 2 5之相對側上之相關第1及第2犧牲材料部1 2 2。擠製結 構120A的形狀（亦即格線125的縱橫比及犧牲材料部122 的形狀）可藉出口孔口 135及頭130-1及130-2內流體通道 之形狀、材料特徵（例如，黏度等）以及擠製技術（例如，流 速、壓力、溫度等）控制，以達到上述及以下更詳細說明之 平衡形狀與以上參考第1圖及第2圖所說明者一致。頭 1 3 0 - 1及1 3 0 - 2內之結構及出口孔口丨3 5之形狀。適當格線 材料1 1 5包含，惟不限於銀、銅、鎳、錫、鋁、鋼、氧化 鋁、矽酸鹽、玻璃、炭黑、聚合物及躐，且適當犧牲材料 1 1 2包含塑膠、陶瓷、油、纖維素、膠乳、聚甲基丙烯酸 甲酯等、其組合及/或其變化，包含爲獲得期望之密度、黏 度、紋理、顏色等之以上與其他物質的組合。共擠製頭1 3 i 200849630 及1 3 0 - 2之出口孔口以錯開配置方式配置成同時形成緊密 隔開之擒製結構1 2 0 A，因此，有助於高縱橫比格線1 2 5之 製造’以使用習知方法者所無法辦到的間距形成緊密隔開 之高縱橫比格線1 2 5於基板1 0 1上。於本發明另一實施例 中’可使用單一擠製頭來製造隔開較大的擠製結構12〇 A。 爲限制材料於擠製後混合的傾向，可藉由使用例如一 驟冷元件1 7 0來冷卻基板，於基板1 〇丨上驟冷離開共擠製 頭1 3 0 - 1及1 3 0 - 2的濟製結構1 2 0 A。可替換地，使用於此 用途中之油墨/糊料可爲在室溫固化的熱熔材料，在此情況 下’將列印頭1 3 0 - 1及1 3 0 - 2加熱，一旦其分配於基板丨〇 !， 擒製結構1 2 0 A即固化。於另一技術中，材料可藉熱、光學 及/或其他手段，於自擠製頭130-1及130-2出來時固化。 例如’可提供一固化元件1 8 0來熱及/或光固化材料。若一 或二材料包含紫外線固化劑，材料即可凝結成固態，俾無 需混合即可進一步加工。 第4(A)圖顯示在形成金屬格線前，包含位於基板ι〇1 上方之流體通道130-11之共擠製頭130-1 一部分。於擠製 程序期間內（亦即，當共濟製頭1 3 〇 -1以上述方式相對於基 板1 〇 1移動時），共擠製頭1 3 0 - 1被維持於基板1 〇丨之上表 面102上方實質上固定距離D處。在頭與基板ι〇1 間的距離D可根據諸如頭1 3 0 - 1之分配端相對於上表面 102(例如自平行至垂直）之角度的種種因素來決定，以增加 轉送效率、實體界定（例如寬度、高度、長度、直徑等）、 實體特徵（例如強度、柔軟性等）。請注意距離D須大於或 200849630 等於擠製結構120-1 1的高度Η(顯示於第5圖中），俾有助 於第3圖所示交錯式擠製頭配置。 第4(B)圖顯示於共擠製程序開始時共擠製頭l3〇q _ 相同部分。如白色箭頭明示，分別地，將格線材料丨丨5 _ 由第1入口埠222-1及222-2(參考第2圖），強行射入中央 通道1 3 2的封閉端，同時將支撐材料1 1 2經由入口卑2 i 3 及2 Μ強行射入側通道133及134。如第4(B)圖之黑色箭 頭明示，已射出之材料向下行經其個別通道。藉由通道 Γ 1 3 2，1 3 3及1 3 4的錐形壓縮格線及支撐材料。當材料接近出 口孔口 135-1 1時，格線材料進一步被沿側通道133及134 流動的會聚支撐材料壓縮。接著，被壓縮流自出□孔口 1 3 5 - 1 1擠出，並沉積於基板 1 〇 1上成爲擠製結構 1 2 0 A - 1 1 (顯示於第5圖中）。藉由選擇適當的材料及黏度、 藉由使通道適當地漸細及/或藉由維持層流狀態，可將格線 與犧牲材料間的混合降至最低。 第5圖係一橫剖側視圖，顯示根據參考第4(B)圖所說 I 明之共擠製程序所製造之一例示擠出結構120A-11。擠出 結構1 1 2 0 A - 1 1包含一配置於支撐材料部1 2 2 - 1與1 2 2 - 2 之間的格線 1 2 5 - U。由於溝槽之形狀以及引至出口孔口 135-11之三個分支流體通道130-11(第4(A)及4(B))圖所產 生的會聚力量，擠製結構1 2 0 A - 1 1呈現優於習知方法所形 成格線的優點。亦即，除了具備擁有如上述平衡形狀特徵 之一平坦下表面1 2 6及弧形或錐形上表面1 2 7外，擠製頭 13 0-1有助於形成單道具有2: 1或更大縱橫比（高度Η相對 200849630 於寬度W )之格線1 2 5 - 1 1，這是使用習知方法不可能辦到 的。可使格線125-1 1的寬度W較流體通道130-1 1之最小 之最低限度設計特徵更狹窄（精細）。由於平衡形狀，支撐 材料部122-1與122-2在諸如乾燥、固化及/或燒結的後續 加工之前或期間內，依需要，可靠地保持格線1 2 5 - 1 1之高 縱橫比形狀。如第5圖之右側上所示，接著，移除支撐部， 從而提供具有期望高度Η及寬度W高縱橫比格線1 2 5 - 1 1。 支撐材料部122-1與122-2之進一步優點在於，添加的材 料導致整體更大的出口孔口 1 3 5 - 1 1，並因此造成一給定材 料流速的更低壓降。因此，可達到更高加工速度。此外， 可操縱壓縮流來形成具有錐形截面（例如，具有配置於基板 表面1 02上的較寬底部、一較窄上端以及以一角度相對於 表面102自底端延伸至上端的錐面側）的金屬格線125-1 1。 該錐形有助於將光子導入基板1 ，並減少格線所造成的 光子封阻（遮蔽），這可改善效率及/或電力產生。 第6圖及7係橫剖側視圖，顯示根據本發明另一實施 例，長溝槽2 3 2，2 3 3及2 3 4於薄片2 3 0中的形成。如第6 圖所示，一光罩810於薄片230之表面上予以圖案化，俾 窗口 815露出薄片230之長區域對應期望長溝槽。接著， 塗布一蝕刻劑8 2 0於光罩8 1 0上，俾蝕刻劑8 2 0進入窗口 8 1 5，且各向同性地蝕刻薄片8 2 0，藉此，形成期望傾斜溝 槽232,233及234(第7圖）。於一實施例中，薄片230係具 有0.0 1 0英寸厚度的3 1 6 L不銹鋼，且蝕刻劑8 2 0係氯化鐵， 其透過具有〇.002英寸寬度之窗口 815被塗布。可使用種 200849630 種對蝕刻連接的變更來更改長溝槽的弧形或錐 用雷射消蝕來替代化學蝕刻，或在切削連接後 如第8圖所示，於表面2 3 1 -1上將一第2 以圖案化，並使用第2蝕刻劑840來形成入口開 2圖）。較佳地，使用雙面光罩對準器來塗布該 蝕刻步驟可與第1鈾刻步驟同時或在其後進行 第9圖描繪完全裝妥之擠製頭1 3 0的一部 配置於薄片230之相對表面上之第1薄片210 220。請注意，薄片220包含開口 222-1(上述: 開口 222 _2對齊，俾有助於將格線材料射入中ί 同樣地，薄片210包含開口 213及214(上述）， 格線材料分別射入側通道1 3 3及1 3 4。 弟1 0圖藏不諸如太陽能電池之—'光伏打電 示部分，該電池具有透過共擠製頭130製成之 屬格線125。光伏打電池300包含一*具有一* p 一 η型區308之半導體基板301。基板301之0 之一或二者由例如砷化鋁、砷化鋁鎵、氮化硼 硒化鎘、硒化銅銦鎵、金剛石、砷化鎵、氮化 化銦、矽、碳化矽、鍺矽、絕緣體上的矽、硫 鋅等形成。一下接觸件3 1 0形成於基板3 0 1之-上（亦即於Ρ型區3 06的下端）◦金屬格線ι25 之匯流條320形成於基板3〇1之一上表面3〇4 型區3 0 8的下端）。接觸件3丨〇及匯流條3 2 〇可 銀爲基礎材料的糊料或鋁爲基礎材料的糊料形 形，例如使 電鑄結構。 光罩830予 口 222-2(第 圖案。第2 〇 分，其包含 及第2薄片 >，其與入口 ^:通道132。 其有助於將 :池3 0 0之例 高縱橫比金 型區306及 ΐ 306 及 308 、硫化鋪、 鎵、鍺、磷 化鋅、硒化 -下表面302 及一或更多 上（亦即於η 使用諸如以 成。 200849630 光伏打電池3 0 0可以串聯及/或並聯方式，透過 屬線或金屬帶，與其他光伏打電池（未圖示）相互連 裝入模組或面板內，如圖示連接於一負載3 4 0。一 火之玻璃片（未圖示）可層疊於格線125上，及/或一 封裝（未圖示）可形成於接觸件310上。上表面304 一凹凸表面及/或塗布一抗反射材料（例如氮化矽、 鈦等），以增加吸入電池內的光量。 於操作期間內，當光子3 5 0(以箭頭指出）經由 ί 304被導入基板301時，其能量激勵內部的電子-電 該電子-電洞對接著自由移動。特別是，光子的吸 ρ-η結（以遷移+及一電荷表示）產生電流。當η型區 受激勵之電子行經格線1 2 5、匯流條3 2 0及電極至 3 40 ’並經由下電極及接觸件31〇回到ρ型區3 06時 電流。 可使用舉例說明，具有表1所示評估參數之一 頭來分配材料，以形成格線1 2 5於一結晶矽太陽能賃 扁平金 接，及 經過回 聚合物 可包含 二氧化 上表面 洞對， 收透過 3 08中 外負載 ，產生 共擠製 I池上。 -18- 200849630 表1.形成一格線之例示頭參數 薄片厚度 152微米 ，線間距 2.5mm ，速度 1 cm/sec J9料黏度 100,000CP 頭角度 45度 _頭出口寬度 304.8微米 銀寬度 49.2微米 銀線截面 7,500 微米-2 銀線縱橫比 3.10:1 銀流 O.OTSmm^S/sec 頭壓縮 6.2 ： 1 頭壓降 2.24atm(大氣壓力） 藉此設計’將多數會聚通道圖案化於具有約〇 . i 5 mm 厚度的材料薄片內。擠製頭/噴嘴之出口孔口以2.5mm的間 距重覆出現。於擠製頭/噴嘴壓力約2·24大氣壓力下，以 Icm/sec的速率射出黏度1〇〇〇泊的糊料。中央銀條約5〇 微米寬’具有3 : 1的縱橫比。 雖然本發明業已就某些具體實施例加以說明，惟熟於 此技藝人士明白，本發明之發明特點同樣適用於其他實施 例，凡此皆涵蓋在本發明之範圍內。例如，除了具有橫向 變化的條狀材料外，亦可另外及/或替代地使用頭〗3 〇的變 化來導入具有垂直變化的材料，以例如將阻擋層導入基 -19- 200849630 板。此種垂直變化可藉由在歧管內形成將不同材料會聚於 垂直方向（除了沿水平方向會聚）的通道，予以實施。例如， 藉由太陽電池的應用，可有利的將一雙金屬層導至電池表 面’其一金屬與矽接觸以作爲一擴散阻擋層，一第2金屬 位於爲了更低成本或更高電導所選擇的頂部上。除了金屬 格線，可進一步使用本文所說明的方法及結構來製造由諸 如所用無機玻璃的不導電材料形成的格線，以製造參考第 1 3圖所說明的阻擋壁結構。 r、 ‘而且’雖然於實施例中，側面及中央通道係自擠製設 備的對面進給，惟很清楚的，藉由必要的變更，側面及中 央通道亦可自一共用側進給，這造成可以一限界透視角對 基板擒出材料。 【圖式簡單說明】 參考以下說明、後附申請專利範圍及附圖，本發明之 此等及其他特點、態樣及優點將更加瞭然，其中： 第1圖係根據本發明一實施例，一微擠製系統之一共 ^ 擠製頭一部分的裝配立體圖； 第2圖係顯示第1圖之共擠製頭一部分的分解立體圖； 第3圖係顯示一包含第1圖之共擠製頭之微擠製設備 的立體圖，該共擠製頭用來同時塗布二或更多材料於一基 板上； 弟4(A)圖及弟4(B)圖係顯不一形成於第1圖之共擠製 頭中之三通道凹穴的橫剖側視圖； 第5圖係顯示藉第4(B)圖之共擠製頭形成於一基板表 -20 - 200849630 面之一例示共擠製格線結構的橫剖側視圖； 第6圖係顯示根據本發明一實施例’一薄片的橫剖側 視圖，該薄片包含一用來形成溝槽之第1光罩； 第7圖係顯示使用第6圖所示第1光罩來形成溝槽之 一蝕刻程序的橫剖側視圖； 第8圖係顯示一第2光罩及用來形成一通入第7圖所 示薄片之中央溝槽之入口開口之第2蝕刻程序的橫剖側視 圖； 第9圖係顯示包含於第8圖中形成之薄片之擠製頭一 部分的橫剖側視圖； 第1 〇圖顯示包含根據本發明形成之格線之光伏打電 池； 第1 1圖係顯示習知微擠製頭之一部分的立體圖； 第12(A)圖及第12(B)圖係顯示藉第11圖所示習知微 濟製頭形成之擠製結構的簡化橫剖側視圖； 第1 3圖係顯示一例示電漿顯示面板之一部分的簡化 橫剖側視圖。 [主要元件符號說明】 100 101 102 110 112 微擠製設備 基板 上表面 擠製裝置 支撐材料 格線材料 115 200849630 1 20,1 20A 122 125 126 127 130 130-1,130-2 130-11 f \ I 13 2 133,134 135 135-11,135-12,135-21,135-22 136 137 139 170 f I 1 8 0 210,2 2 0,230 2 11-1 2 11-2 211-12,21 1-13,21 1_14 213,214,222-1,222-2 2 1 9,229,23 9 231-1,231-2 擠製結構 第2支撐材料部 格線 平坦下表面 錐形上表面 擠製頭 共擠製頭（列印頭） 流體通道 中央通道 相對側通道 輸出埠 出口孔口 筆直側緣 傾斜第2側緣 側緣 驟冷元件 固化元件 薄片 第1表面 第2表面 相對平坦部 入口埠 側緣 相對表面 200849630 231-21 平坦部 23 1 -22,23 1 -23 ,23 1 -24 傾斜表面 232 中央溝槽 232-22,232-23,232-24 傾斜表面之端部 233,234 側溝槽 300 光伏打電池 301 半導體基板 302 下表面 304 上表面 306 P型區 308 η型區 3 10 接觸件 320 匯流條 340 負載 350 光子 8 10 光罩 8 15 窗口 820 蝕刻劑 -23 -

Claims (1)

  1. 200849630 十、申請專刹範圍： 1 · 一種微擠製設備，用來於一基板上製造具有平衡形狀之 擠製結構’該微擠製設備包括： 一擠製頭，包含： 一第1薄片，具有一第1表面及一第1側緣； 一第2薄片，具有一第2表面及一第2側緣； 其中該第2薄片安裝於該第1薄片上，使該第2表 面之一平坦部抵接該第1表面，且該第2側緣對準該第i (% 側緣，俾第1與第2側緣形成該擠製頭之一側緣表面； 及 其中該第2薄片之該第2表面形成一長溝槽，該溝 槽自該第2側緣延伸，並具有一凹入傾斜表面，藉此， 形成一具有一出口孔口的流體通道，該出口孔口包含一 由該第1薄片形成之筆直第1邊緣，以及一由該長溝槽 形成之傾斜第2邊緣；以及 移動裝置’用來於透過該流體通道擠出材料時，相 1 ^ 對於該基板移動該擠製頭，俾自該出口孔口擠出材料， 並於該基板上形成一相關擠製結構，其中該濟製結構具 有：一平坦下表面，由該孔口之該平坦第丨邊緣形成， 並與該基板表面接觸；以及一上表面，由該出口孔口之 弧形第2邊緣形成，並面離該基板。 2.如申請專利範圍帛i項之設備，其中該移動裝置包括— 連接於該濟製材料源的擠製裝置，且其中該擠製頭固定 安裝於該擠製裝置上。 -24- 200849630 3 .如申請專利範圍第1項之設備，其中進一步包括下列裝 置中之至少一者··一加熱裝置，用來於擠製前對該擠製 材料加熱；冷卻裝置，用來於擠製期間內冷卻該基板； 以及固化裝置，用來固化該擠製材料。 4·如申請專利範圍第1項之設備，其中該流體通道包括三 通道凹穴’包含有一中央通道及相對之第1及第2側通 道’其中該中央通道包括長溝槽，且該第1及第2側通 道包括第2及第3長溝槽，且其中該中央通道及該第i 及第2側通道與該出口孔口連通；且 其中該設備進一步包括射出裝置，用來於將支撐材 料射入該三通道凹穴之該第1及第2側通道時，將功能 材料射入該三通道凹穴之該中央通道，俾自該出口孔口 出之功目b材料形成該濟製結構之一相關高縱橫比功 能結構’且自該出口孔口擠出之該支撐材料形成分別配 置於該相關功能結構之相對側上的相關第1及第2支撑 材料部。 ^ 5·如申請專利範圍第4項之設備，其中該第1薄片形成與 該三通道凹穴之該第1及第2側通道連通之一第丨及2 入口埠，且該擠製頭進一步包括一第3薄片，其具有一 與該三通道凹穴之該中央通道連通之一第3入口棒；且 其中該用以射出該功能材料及該支撐材料的射出裝 置包括擠壓裝置’用來透過該第3入口埠將該功能材料 擠入該中央通道’同時分別透過該第1與第2側通道將 該支撐材料擠入該第1與第2側通道。 -25 - 200849630 6·如申請專利範圍第5項之設備，其中該第2薄片進一步 形成一入口開口，其配置於鄰近封閉端之長溝槽中，且 完全延伸穿過該第2薄片；及 其中該用以射出該功能材料之射出裝置包含擠壓裝 置，用來透過該第3入口埠及該入口開口兩者將該功能 材料擠入該中央通道。 7 ·如申請專利範圍第1項之微擠製設備，其中該第1及第2 薄片包括金屬板。 8 · —種用來形成具有平衡形狀之擠製結構於基板的方法， 該方法包括： 定位擠製頭隣近於基板之一表面，使得一由該擠製 頭形成之出口孔口配置於該表面上方，其中該擠製頭包 括第1及第2薄片，於其間形成一與該出口孔口連通之 流體通道，該第1薄片具有一形成該出口孔口之一平坦 邊緣的實質上平坦表面，及該第2薄片形成一長傾斜溝 槽，該溝槽形成該出口孔口之一傾斜邊緣； i I 相對於該基板移動該擠製頭，可透過該流體通道擠 出材料，俾材料自該出口孔口擠出，並於該基板上形成 一相關擠製結構； 其中該擠製頭相對於該基板定位，俾該擠製結構之 一平坦下表面藉該孔口之該平坦邊緣形成，並與該表面 接觸，且該擠製結構之一上表面由該出口孔口之傾斜邊 緣形成，並面離該基板。 9 .如申請專利範圍第8項之方法，其中提供擠製頭包括： -26- 200849630 鈾刻該第1薄片以形成該長傾斜溝槽； 蝕刻該第2薄片，俾該第2薄片包含一入口璋完全 延伸穿過該第2薄片；以及 黏接該第1薄片於該第2薄片，使該入口痺與該長 溝槽的封閉端對齊。 1 〇 ·如申請專利範圍第8項之方法，其中提供擠製頭包括固 定安裝該擠製頭在連接於一擠製材料源的擠製裝置上。 1 1 .如申請專利範圍第8項之方法，其中進一步包括在擠製 、 前加熱該擠製材料、於擠製期間內冷卻該基板以及固化 該擠製材料之至少一者。 1 2 ·如申請專利範圍第8項之方法，其中該流體通道包括三 通道凹穴，包含有一中央通道及相對之第1與第2側通 道，其中該中央通道以及該第1及第2側通道各包括一 相關之該長溝槽，並與該出口孔口連通；及 其中透過流體通道擠出材料包括於將支撐材料射入 該三通道凹穴之該相對第1與第2側通道時，將功能材 k 料射入該三通道凹穴之該中央通道，俾自該出口孔口擠 出之功能材料形成該擠製結構之一相關高縱橫比功能結 構’及自該出口孔口擠出之該支撐材料形成分別配置於 該相關功能結構之相對側上的相關第1及第2支撐材料 部。 1 3 ·如申請專利範圍第i 2項之方法，其中該第1薄片形成第 1及2入口埠，分別與該三通道凹穴之該第1與第2側通 道連通之一，且該擠製頭進一步包括一第3薄片，其具 -27 - 200849630 有一與該三通道凹穴之該中央通道連通之一第3入口 埠；及 其中該射出功能材料及支撐材料的射出又包括透過 該桌3入口璋將功能材料擠入該中央通道，同時分別透 過該第1與第2側通道將支撐材料擠入該第1與第2側 通道。 1 4 ·如申請專利範圍第1 3項之方法，其中該第2薄片進一步 形成一入口開口，其配置在鄰近該封閉端之長溝槽，且 ί' 完全延伸穿過該第2薄片；及 其中射出功能材料包含透過該第3入口埠及該入口 開口兩者，將功能材料擠入該中央通道。 1 5 · —種用來製造微擠製設備之擠製頭的方法，該方法包括： 蝕刻一第1薄片以形成一長溝槽於基板之一表面， 該長溝槽具有一配置在薄片之一側緣的敞開端，以及一 相對封閉端，該長溝槽具有一大致半圓筒形表面； 鈾刻一第2薄片，俾該第2薄片包含一完全延伸穿 ν 過該第2薄片的入口埠；以及 將該第1薄片黏接於該第2薄片，使該入口埠對齊 該長溝槽的封閉端，及配置該第2薄片之一平坦表面部 相對於在該入口埠與該側緣間之該長溝槽，俾該長溝槽 及該第2薄片之該平坦部形成一流體通道，延伸於該入 口埠與位於該側緣之一出口孔口間，其中該出口孔口具 有一由該第2薄片之一側緣形成之平坦邊緣，以及一由 該長溝槽之一端形成之傾斜邊緣。 -28 - 200849630 1 6 .如申請專利範圍第1 5項之方法，其中蝕刻第1薄片包括 光化學切削、脈衝雷射切削、深層反應離子蝕刻、放電 切削及各向異性蝕刻其中之一者。 1 7 .如申請專利範圍第1 5項之方法，其中蝕刻第1薄片包括 形成三個長溝槽，其包含一中央溝槽以及相對之第1及 第2側構槽，其中該中央溝槽以及該第1及第2側構槽 自該側緣延伸至一相關之相對封閉端。 1 8 .如申請專利範圍第1 7項之方法，其中蝕刻第2薄片包括 ί ^ 形成該第1及第2入口埠，該第1及第2入口埠配置成 在該黏接後，該第1入口埠對齊該第1側溝槽的封閉端， 及該第2入口埠對齊該第2側溝槽的封閉端。 1 9 .如申請專利範圍第1 8項之方法，其中蝕刻第2薄片又包 括形成一入口開口，該入口開口配置在鄰近其封閉端之 中央長溝槽中，並完全延伸穿過該第2薄片；及 其中該方法進一步包括蝕刻一第3薄片，俾該第3 薄片包含一第3入口埠完全延伸穿過該第2薄片；及 t 其中將第1薄片黏接於該第2薄片進一步包括將該 第3薄片黏接於該第1薄片之第2側，俾該第3入口埠 對齊該入口開口。 -29 -
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Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8226391B2 (en) * 2006-11-01 2012-07-24 Solarworld Innovations Gmbh Micro-extrusion printhead nozzle with tapered cross-section
US20090107546A1 (en) 2007-10-29 2009-04-30 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extruded compositions for high aspect ratio structures
US8080181B2 (en) 2008-05-13 2011-12-20 Solarworld Innovations Gmbh Coextrusion ink chemistry for improved feature definition
US8071149B2 (en) * 2008-08-07 2011-12-06 Amf Automation Technologies, Inc. Easy open dough distribution manifold
US20100117254A1 (en) * 2008-11-07 2010-05-13 Palo Alto Research Center Incorporated Micro-Extrusion System With Airjet Assisted Bead Deflection
US8704086B2 (en) 2008-11-07 2014-04-22 Solarworld Innovations Gmbh Solar cell with structured gridline endpoints vertices
US8117983B2 (en) * 2008-11-07 2012-02-21 Solarworld Innovations Gmbh Directional extruded bead control
US8046960B1 (en) * 2009-09-18 2011-11-01 Narinder Singh Kapany Solar window apparatus and method
US9004001B2 (en) 2010-12-17 2015-04-14 Palo Alto Research Center Incorporated Interdigitated finger coextrusion device
US9589692B2 (en) 2010-12-17 2017-03-07 Palo Alto Research Center Incorporated Interdigitated electrode device
US8529240B2 (en) * 2011-07-05 2013-09-10 Makerbot Industries, Llc Three-dimensional surface texturing
US9899669B2 (en) 2012-12-27 2018-02-20 Palo Alto Research Center Incorporated Structures for interdigitated finger co-extrusion
US9337471B2 (en) 2012-12-27 2016-05-10 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extrusion print head for multi-layer battery structures
US10923714B2 (en) 2012-12-27 2021-02-16 Palo Alto Research Center Incorporated Structures for interdigitated finger co-extrusion
US9012090B2 (en) 2012-12-27 2015-04-21 Palo Alto Research Center Incorporated Advanced, high power and energy battery electrode manufactured by co-extrusion printing
US9590232B2 (en) 2012-12-27 2017-03-07 Palo Alto Research Center Incorporated Three dimensional co-extruded battery electrodes
US10800086B2 (en) 2013-08-26 2020-10-13 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extrusion of periodically modulated structures
US10256503B2 (en) 2014-07-11 2019-04-09 Palo Alto Research Center Incorporated High performance all solid lithium sulfur battery with fast lithium ion conduction
US9882200B2 (en) 2014-07-31 2018-01-30 Palo Alto Research Center Incorporated High energy and power Li-ion battery having low stress and long-term cycling capacity
US10115964B2 (en) 2014-12-08 2018-10-30 Palo Alto Research Center Incorporated Advanced Si-C composite anode electrode for high energy density and longer cycle life
US20160322131A1 (en) 2015-04-29 2016-11-03 Palo Alto Research Center Incoporated Co-extrusion printing of filaments for superconducting wire
US9755221B2 (en) 2015-06-26 2017-09-05 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extruded conformal battery separator and electrode
US20190214631A1 (en) 2018-03-22 2019-07-11 Fmc Lithium Usa Corp. Methods of applying printable lithium compositions for forming battery electrodes
US11264598B2 (en) 2018-03-22 2022-03-01 Fmc Lithium Usa Corp. Battery utilizing printable lithium
US11909083B2 (en) 2018-12-28 2024-02-20 Xerox Corporation Apparatus and method for forming a multilayer extrusion comprising component layers of an electrochemical cell
CN110605174B (zh) * 2019-08-15 2021-07-02 深圳市振晔橡胶制品有限公司 一种用于纳米橡胶密封条的生产装置

Family Cites Families (207)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2031387A (en) 1934-08-22 1936-02-18 Schwarz Arthur Nozzle
US2326803A (en) 1941-03-18 1943-08-17 Samiran David Positive displacement pump for metering
IT557307A (zh) 1955-02-23 1900-01-01
US2789731A (en) 1955-06-06 1957-04-23 Leonard L Marraffino Striping dispenser
US3032008A (en) 1956-05-07 1962-05-01 Polaroid Corp Apparatus for manufacturing photographic films
US3159313A (en) 1961-05-16 1964-12-01 Dow Chemical Co Multi-component proportioning meter system
US3176345A (en) 1962-06-25 1965-04-06 Monsanto Co Spinnerette
US3204290A (en) 1962-12-27 1965-09-07 Monsanto Co Laminated spinneret
NL6801610A (zh) 1967-02-07 1968-08-08
US3602193A (en) 1969-04-10 1971-08-31 John R Adams Apparatus for preparing coatings with extrusions
US3973994A (en) 1974-03-11 1976-08-10 Rca Corporation Solar cell with grooved surface
JPS5328751B2 (zh) 1974-11-27 1978-08-16
AT349415B (de) 1975-07-28 1979-04-10 Zimmer Peter Ag Spritzdruckeinrichtung zum bemustern einer ware
US3988166A (en) 1975-01-07 1976-10-26 Beam Engineering, Inc. Apparatus for enhancing the output of photovoltaic solar cells
US4045246A (en) 1975-08-11 1977-08-30 Mobil Tyco Solar Energy Corporation Solar cells with concentrators
US4021267A (en) 1975-09-08 1977-05-03 United Technologies Corporation High efficiency converter of solar energy to electricity
US4053327A (en) 1975-09-24 1977-10-11 Communications Satellite Corporation Light concentrating solar cell cover
US4018367A (en) 1976-03-02 1977-04-19 Fedco Inc. Manifold dispensing apparatus having releasable subassembly
GB1578018A (en) 1976-03-11 1980-10-29 Schmermund A Glue applications
US4086485A (en) 1976-05-26 1978-04-25 Massachusetts Institute Of Technology Solar-radiation collection apparatus with tracking circuitry
US4095997A (en) 1976-10-07 1978-06-20 Griffiths Kenneth F Combined solar cell and hot air collector apparatus
US4084985A (en) 1977-04-25 1978-04-18 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method for producing solar energy panels by automation
US4131485A (en) 1977-08-08 1978-12-26 Motorola, Inc. Solar energy collector and concentrator
US4177083A (en) 1977-09-06 1979-12-04 Acurex Corporation Photovoltaic concentrator
US4148301A (en) 1977-09-26 1979-04-10 Cluff C Brent Water-borne rotating solar collecting and storage systems
US4153476A (en) 1978-03-29 1979-05-08 Nasa Double-sided solar cell package
US4337758A (en) 1978-06-21 1982-07-06 Meinel Aden B Solar energy collector and converter
US4221468A (en) 1979-02-26 1980-09-09 Macken John A Multi-cavity laser mirror
US4331703A (en) 1979-03-28 1982-05-25 Solarex Corporation Method of forming solar cell having contacts and antireflective coating
US4254894A (en) 1979-08-23 1981-03-10 The Continental Group, Inc. Apparatus for dispensing a striped product and method of producing the striped product
DE8033450U1 (de) 1980-12-17 1982-07-22 Colgate-Palmolive Co., 10022 New York, N.Y. Laenglicher Behaelter fuer einen Spender fuer pastoeses gut
US4355196A (en) 1981-03-11 1982-10-19 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Solar cell having improved back surface reflector
US4420510A (en) 1982-03-23 1983-12-13 Weyerhaeuser Company Method for applying a foamed adhesive under start-stop conditions
JPS58180262A (ja) 1982-04-16 1983-10-21 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布方法
US4476165A (en) 1982-06-07 1984-10-09 Acumeter Laboratories, Inc. Method of and apparatus for multi-layer viscous fluid deposition such as for the application of adhesives and the like
US4521457A (en) 1982-09-21 1985-06-04 Xerox Corporation Simultaneous formation and deposition of multiple ribbon-like streams
DE3308269A1 (de) 1983-03-09 1984-09-13 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh Solarzelle
JPS6082680A (ja) 1983-10-07 1985-05-10 Fuji Photo Film Co Ltd 金属ウエブの表面処理装置
US4602120A (en) 1983-11-25 1986-07-22 Atlantic Richfield Company Solar cell manufacture
US4841946A (en) 1984-02-17 1989-06-27 Marks Alvin M Solar collector, transmitter and heater
GB8510706D0 (en) 1985-04-26 1985-06-05 Marconi Co Ltd Solar cell arrays
EP0257157A1 (en) 1986-08-29 1988-03-02 General Systems Research Inc. Optical apparatus for scanning radiation over a surface
US4796038A (en) 1985-07-24 1989-01-03 Ateq Corporation Laser pattern generation apparatus
WO1987001378A1 (en) 1985-08-27 1987-03-12 Mitsui Toatsu Chemicals, Incorporated Polyimides and heat-resistant adhesives comprising the same
US4849028A (en) 1986-07-03 1989-07-18 Hughes Aircraft Company Solar cell with integrated interconnect device and process for fabrication thereof
JPS63175667A (ja) 1987-01-14 1988-07-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多列同時塗布方法
US5216543A (en) 1987-03-04 1993-06-01 Minnesota Mining And Manufacturing Company Apparatus and method for patterning a film
US4747517A (en) 1987-03-23 1988-05-31 Minnesota Mining And Manufacturing Company Dispenser for metering proportionate increments of polymerizable materials
US4826777A (en) 1987-04-17 1989-05-02 The Standard Oil Company Making a photoresponsive array
US4792685A (en) 1987-04-29 1988-12-20 Masami Yamakawa Photoelectric sensor
US4746370A (en) 1987-04-29 1988-05-24 Ga Technologies Inc. Photothermophotovoltaic converter
US4938994A (en) 1987-11-23 1990-07-03 Epicor Technology, Inc. Method and apparatus for patch coating printed circuit boards
US4855884A (en) 1987-12-02 1989-08-08 Morpheus Lights, Inc. Variable beamwidth stage light
US4952026A (en) 1988-10-14 1990-08-28 Corning Incorporated Integral optical element and method
US5004319A (en) 1988-12-29 1991-04-02 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Crystal diffraction lens with variable focal length
US5075281A (en) 1989-01-03 1991-12-24 Testardi Louis R Methods of making a high dielectric constant, resistive phase of YBA2 CU3 OX and methods of using the same
US4947825A (en) 1989-09-11 1990-08-14 Rockwell International Corporation Solar concentrator - radiator assembly
US5011565A (en) 1989-12-06 1991-04-30 Mobil Solar Energy Corporation Dotted contact solar cell and method of making same
US5089055A (en) 1989-12-12 1992-02-18 Takashi Nakamura Survivable solar power-generating systems for use with spacecraft
US4985715A (en) 1990-03-22 1991-01-15 Telesis Controls Corporation Marker assembly for spray marking dot matrix characters and method of fabrication thereof
US5062899A (en) 1990-03-30 1991-11-05 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Wide acceptance angle, high concentration ratio, optical collector
WO1991015355A1 (en) 1990-03-30 1991-10-17 Minnesota Mining And Manufacturing Company Composite materials and process
DK170189B1 (da) 1990-05-30 1995-06-06 Yakov Safir Fremgangsmåde til fremstilling af halvlederkomponenter, samt solcelle fremstillet deraf
JPH04124645A (ja) 1990-09-14 1992-04-24 Fuji Photo Film Co Ltd 写真用支持体及びその製造方法
US5213628A (en) 1990-09-20 1993-05-25 Sanyo Electric Co., Ltd. Photovoltaic device
US5254388A (en) 1990-12-21 1993-10-19 Minnesota Mining And Manufacturing Company Light control film with reduced ghost images
US5120484A (en) * 1991-03-05 1992-06-09 The Cloeren Company Coextrusion nozzle and process
US5151377A (en) 1991-03-07 1992-09-29 Mobil Solar Energy Corporation Method for forming contacts
US5167724A (en) 1991-05-16 1992-12-01 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Planar photovoltaic solar concentrator module
US5180441A (en) 1991-06-14 1993-01-19 General Dynamics Corporation/Space Systems Division Solar concentrator array
JP2857512B2 (ja) 1991-07-31 1999-02-17 株式会社神戸製鋼所 二層電線被覆装置における押出機のオーバフロー制御装置
US5356488A (en) 1991-12-27 1994-10-18 Rudolf Hezel Solar cell and method for its manufacture
US5560518A (en) 1992-02-25 1996-10-01 Cambridge Consultants Limited Fluid delivery system
US5353813A (en) 1992-08-19 1994-10-11 Philip Morris Incorporated Reinforced carbon heater with discrete heating zones
JP2613719B2 (ja) 1992-09-01 1997-05-28 キヤノン株式会社 太陽電池モジュールの製造方法
US5344496A (en) 1992-11-16 1994-09-06 General Dynamics Corporation, Space Systems Division Lightweight solar concentrator cell array
JPH0758355A (ja) 1993-05-12 1995-03-03 Optical Coating Lab Inc Ｕｖ／ｉｒ反射太陽電池カバー
JPH06337366A (ja) 1993-05-21 1994-12-06 Xerox Corp 電子写真プリンターにおけるラスター出力スキャナのための露光装置
WO1994028361A1 (en) 1993-06-02 1994-12-08 Stirbl Robert C Method for changing solar energy distribution
JPH0768208A (ja) 1993-09-06 1995-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 間欠塗布装置
US5543333A (en) 1993-09-30 1996-08-06 Siemens Solar Gmbh Method for manufacturing a solar cell having combined metallization
US5559677A (en) 1994-04-29 1996-09-24 Motorola, Inc. Method of forming a device by selectively thermal spraying a metallic conductive material thereon
US5529054A (en) 1994-06-20 1996-06-25 Shoen; Neil C. Solar energy concentrator and collector system and associated method
US5700325A (en) 1994-08-03 1997-12-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Coating device and a method of coating
US5501743A (en) 1994-08-11 1996-03-26 Cherney; Matthew Fiber optic power-generating system
US5540216A (en) 1994-11-21 1996-07-30 Rasmusson; James K. Apparatus and method for concentrating radiant energy emanated by a moving energy source
US5553747A (en) 1994-12-07 1996-09-10 Smithkline Beecham Corporation Container for multisegmental toothpaste
US5981902A (en) 1994-12-15 1999-11-09 Mitsubishi Chemical Corporation Texturing apparatus for magnetic recording medium and magnetic recording medium process thereby
US5679379A (en) * 1995-01-09 1997-10-21 Fabbricante; Anthony S. Disposable extrusion apparatus with pressure balancing modular die units for the production of nonwoven webs
US5569399A (en) 1995-01-20 1996-10-29 General Electric Company Lasing medium surface modification
CN1174612A (zh) 1995-02-02 1998-02-25 美国3M公司 涂敷薄液体涂料条的方法和设备
US5538563A (en) 1995-02-03 1996-07-23 Finkl; Anthony W. Solar energy concentrator apparatus for bifacial photovoltaic cells
EP0729189A1 (en) 1995-02-21 1996-08-28 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw Method of preparing solar cells and products obtained thereof
GB9507572D0 (en) 1995-04-12 1995-05-31 Smithkline Beecham Plc Dispenser
US5929530A (en) 1995-08-18 1999-07-27 Mcdonnell Douglas Corporation Advanced solar controller
FR2741194B1 (fr) 1995-11-13 1998-01-30 Photowatt Int Cellule solaire comportant du silicium multicristallin et procede de texturisation de la surface du silicium multicristallin de type p
CN1077813C (zh) 1996-01-31 2002-01-16 国际喷雾有限公司 发送多成分材料的喷射器
US5605720A (en) 1996-04-04 1997-02-25 J & M Laboratories Inc. Method of continuously formulating and applying a hot melt adhesive
US5990413A (en) 1996-06-19 1999-11-23 Ortabasi; Ugur Bifacial lightweight array for solar power
US6047926A (en) 1996-06-28 2000-04-11 Alliedsignal Inc. Hybrid deicing system and method of operation
US6476343B2 (en) 1996-07-08 2002-11-05 Sandia Corporation Energy-beam-driven rapid fabrication system
US5902540A (en) 1996-10-08 1999-05-11 Illinois Tool Works Inc. Meltblowing method and apparatus
US5873495A (en) 1996-11-21 1999-02-23 Saint-Germain; Jean G. Device for dispensing multi-components from a container
EP0851511A1 (en) 1996-12-24 1998-07-01 IMEC vzw Semiconductor device with two selectively diffused regions
US6354791B1 (en) 1997-04-11 2002-03-12 Applied Materials, Inc. Water lift mechanism with electrostatic pickup and method for transferring a workpiece
WO1999001342A1 (en) 1997-07-01 1999-01-14 Smithkline Beecham Corporation Apparatus for inserting plural materials into containers
US6011307A (en) 1997-08-12 2000-01-04 Micron Technology, Inc. Anisotropic conductive interconnect material for electronic devices, method of use and resulting product
DE19735281A1 (de) 1997-08-14 1999-02-18 Rolf Hoericht Einrichtung zur Erzeugung von Energie
US6008449A (en) 1997-08-19 1999-12-28 Cole; Eric D. Reflective concentrating solar cell assembly
CA2306384A1 (en) 1997-10-14 1999-04-22 Patterning Technologies Limited Method of forming an electronic device
US6140570A (en) 1997-10-29 2000-10-31 Canon Kabushiki Kaisha Photovoltaic element having a back side transparent and electrically conductive layer with a light incident side surface region having a specific cross section and a module comprising said photovolatic element
US6130465A (en) 1997-10-29 2000-10-10 Light Point Systems Inc. Micro-solar assembly
JP3185729B2 (ja) 1997-11-07 2001-07-11 富士ゼロックス株式会社 画像形成装置及び画像形成方法
US6379521B1 (en) 1998-01-06 2002-04-30 Canon Kabushiki Kaisha Method of producing zinc oxide film, method of producing photovoltaic element, and method of producing semiconductor element substrate
JP4003273B2 (ja) 1998-01-19 2007-11-07 セイコーエプソン株式会社 パターン形成方法および基板製造装置
US6185030B1 (en) 1998-03-20 2001-02-06 James W. Overbeck Wide field of view and high speed scanning microscopy
US6032997A (en) 1998-04-16 2000-03-07 Excimer Laser Systems Vacuum chuck
US6278054B1 (en) 1998-05-28 2001-08-21 Tecstar Power Systems, Inc. Solar cell having an integral monolithically grown bypass diode
AUPP437598A0 (en) 1998-06-29 1998-07-23 Unisearch Limited A self aligning method for forming a selective emitter and metallization in a solar cell
JP3259692B2 (ja) 1998-09-18 2002-02-25 株式会社日立製作所 集光型太陽光発電モジュール及びその製造方法並びに集光型太陽光発電システム
US6204523B1 (en) 1998-11-06 2001-03-20 Lumileds Lighting, U.S., Llc High stability optical encapsulation and packaging for light-emitting diodes in the green, blue, and near UV range
US6118067A (en) 1998-11-20 2000-09-12 Swales Aerospace Method and apparatus for improved solar concentration arrays
US6274508B1 (en) 1999-02-05 2001-08-14 Alien Technology Corporation Apparatuses and methods used in forming assemblies
US6291896B1 (en) 1999-02-16 2001-09-18 Alien Technology Corporation Functionally symmetric integrated circuit die
US6380729B1 (en) 1999-02-16 2002-04-30 Alien Technology Corporation Testing integrated circuit dice
WO2000050215A1 (en) 1999-02-26 2000-08-31 The Procter & Gamble Company Process for extruding a continuous layer
US6020554A (en) 1999-03-19 2000-02-01 Photovoltaics International, Llc Tracking solar energy conversion unit adapted for field assembly
JP2000294813A (ja) 1999-04-07 2000-10-20 Bridgestone Corp 太陽電池用バックカバー材及び太陽電池
US6257450B1 (en) 1999-04-21 2001-07-10 Pechiney Plastic Packaging, Inc. Dual dispense container having cloverleaf orifice
US6164633A (en) 1999-05-18 2000-12-26 International Business Machines Corporation Multiple size wafer vacuum chuck
US6203621B1 (en) 1999-05-24 2001-03-20 Trw Inc. Vacuum chuck for holding thin sheet material
US6291016B1 (en) 1999-06-02 2001-09-18 Nordson Corporation Method for increasing contact area between a viscous liquid and a substrate
US6924493B1 (en) 1999-08-17 2005-08-02 The Regents Of The University Of California Ion beam lithography system
US6091017A (en) 1999-08-23 2000-07-18 Composite Optics Incorporated Solar concentrator array
FI115295B (fi) 1999-09-01 2005-04-15 Metso Paper Inc Verhopäällystin ja verhopäällystysmenetelmä
US6529220B1 (en) 1999-09-06 2003-03-04 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method and apparatus for forming image with image recording liquid and dummy liquid
JP2001110659A (ja) 1999-10-05 2001-04-20 Toyota Autom Loom Works Ltd 充電用受電器
US6420266B1 (en) 1999-11-02 2002-07-16 Alien Technology Corporation Methods for creating elements of predetermined shape and apparatuses using these elements
US6479395B1 (en) 1999-11-02 2002-11-12 Alien Technology Corporation Methods for forming openings in a substrate and apparatuses with these openings and methods for creating assemblies with openings
US6527964B1 (en) 1999-11-02 2003-03-04 Alien Technology Corporation Methods and apparatuses for improved flow in performing fluidic self assembly
US6623579B1 (en) 1999-11-02 2003-09-23 Alien Technology Corporation Methods and apparatus for fluidic self assembly
JP2001148500A (ja) 1999-11-22 2001-05-29 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池モジュール
ES2157846B1 (es) 1999-12-02 2002-03-01 Univ Madrid Politecnica Dispositivo con lente discontinua de reflexion total interna y dioptrico asferico para concentracion o colimacion de energia radiante.
JP4774146B2 (ja) 1999-12-23 2011-09-14 パナソニック株式会社 レーザを用いて波長より小さなピッチで穴を開けるための方法および装置
JP2001291881A (ja) 2000-01-31 2001-10-19 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池モジュール
US6719846B2 (en) 2000-03-14 2004-04-13 Nordson Corporation Device and method for applying adhesive filaments to materials such as strands or flat substrates
US6310281B1 (en) 2000-03-16 2001-10-30 Global Solar Energy, Inc. Thin-film, flexible photovoltaic module
US6433303B1 (en) 2000-03-31 2002-08-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus using laser pulses to make an array of microcavity holes
JP3865036B2 (ja) 2000-04-07 2007-01-10 セイコーエプソン株式会社 光モジュール及びその製造方法並びに光伝達装置
US6423565B1 (en) 2000-05-30 2002-07-23 Kurt L. Barth Apparatus and processes for the massproduction of photovotaic modules
US6232217B1 (en) 2000-06-05 2001-05-15 Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. Post treatment of via opening by N-containing plasma or H-containing plasma for elimination of fluorine species in the FSG near the surfaces of the via opening
US6423140B1 (en) 2000-06-08 2002-07-23 Formosa Advanced Coating Technologies, Inc. Die set for preparing ABCABC multiple-stripe coating
JP2002111035A (ja) 2000-09-27 2002-04-12 Sanyo Electric Co Ltd 両面発電型太陽電池モジュール
US6558146B1 (en) * 2000-10-10 2003-05-06 Delphi Technologies, Inc. Extrusion deposition molding with in-line compounding of reinforcing fibers
US6398370B1 (en) 2000-11-15 2002-06-04 3M Innovative Properties Company Light control device
US6620645B2 (en) 2000-11-16 2003-09-16 G.T. Equipment Technologies, Inc Making and connecting bus bars on solar cells
US20020149107A1 (en) 2001-02-02 2002-10-17 Avery Dennison Corporation Method of making a flexible substrate containing self-assembling microstructures
KR100378016B1 (ko) 2001-01-03 2003-03-29 삼성에스디아이 주식회사 태양 전지용 반도체 기판의 텍스처링 방법
JP2002289900A (ja) 2001-03-23 2002-10-04 Canon Inc 集光型太陽電池モジュール及び集光型太陽光発電システム
JP3848168B2 (ja) 2001-03-29 2006-11-22 三菱製紙株式会社 カーテン塗布装置
US7186102B2 (en) 2001-04-26 2007-03-06 Strandex Corporation Apparatus and method for low-density cellular wood plastic composites
US6606247B2 (en) 2001-05-31 2003-08-12 Alien Technology Corporation Multi-feature-size electronic structures
US7449070B2 (en) 2001-06-01 2008-11-11 Ulvac, Inc. Waveform generator for microdeposition control system
EP1329297A3 (en) 2001-06-15 2011-10-19 FUJIFILM Corporation Method of producing of cellulose ester film
CN2606309Y (zh) 2001-06-22 2004-03-10 高增世 双槽面镜式太阳能单向导光聚能板
US6555739B2 (en) 2001-09-10 2003-04-29 Ekla-Tek, Llc Photovoltaic array and method of manufacturing same
US7208674B2 (en) 2001-09-11 2007-04-24 Eric Aylaian Solar cell having photovoltaic cells inclined at acute angle to each other
US6531653B1 (en) 2001-09-11 2003-03-11 The Boeing Company Low cost high solar flux photovoltaic concentrator receiver
US6597510B2 (en) 2001-11-02 2003-07-22 Corning Incorporated Methods and apparatus for making optical devices including microlens arrays
US6697096B2 (en) 2001-11-16 2004-02-24 Applied Materials, Inc. Laser beam pattern generator having rotating scanner compensator and method
WO2003053597A1 (en) 2001-12-13 2003-07-03 Dow Global Technologies Inc. Method and apparatus for curtain coating
JP4335691B2 (ja) * 2002-02-08 2009-09-30 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー スロットダイ
WO2003074254A1 (en) 2002-02-28 2003-09-12 Scimed Life Systems, Inc. Ultrasonic assisted apparatus and process
DE10211052A1 (de) 2002-03-13 2003-10-23 Fresenius Medical Care De Gmbh Hohlfaser-Spinndüse
DE60332406D1 (de) 2002-03-15 2010-06-17 Affymetrix Inc System und Verfahren zur Abtastung von biologischen Materialien
JP3889644B2 (ja) 2002-03-25 2007-03-07 三洋電機株式会社 太陽電池モジュール
US7270528B2 (en) 2002-05-07 2007-09-18 3D Systems, Inc. Flash curing in selective deposition modeling
EP1547126A2 (en) 2002-08-05 2005-06-29 The Research Foundation Of State University Of New York System and method for manufacturing embedded conformal electronics
US6818818B2 (en) 2002-08-13 2004-11-16 Esmond T. Goei Concentrating solar energy receiver
US6896381B2 (en) 2002-10-11 2005-05-24 Light Prescriptions Innovators, Llc Compact folded-optics illumination lens
JP2004266023A (ja) 2003-02-28 2004-09-24 Sharp Corp 太陽電池およびその製造方法
US20050081908A1 (en) 2003-03-19 2005-04-21 Stewart Roger G. Method and apparatus for generation of electrical power from solar energy
JP2004288898A (ja) 2003-03-24 2004-10-14 Canon Inc 太陽電池モジュールの製造方法
US7388147B2 (en) 2003-04-10 2008-06-17 Sunpower Corporation Metal contact structure for solar cell and method of manufacture
US7259323B2 (en) 2003-04-22 2007-08-21 The Aerospace Corporation Thin film solar cell thermal radiator
US7964789B2 (en) 2003-05-07 2011-06-21 Imec Germanium solar cell and method for the production thereof
US20040259382A1 (en) 2003-06-23 2004-12-23 Fuji Photo Film Co., Ltd. Apparatus and method of producing dope
JP4748955B2 (ja) 2003-06-30 2011-08-17 株式会社半導体エネルギー研究所 パターンの作製方法
US6959993B2 (en) 2003-07-10 2005-11-01 Energy Innovations, Inc. Solar concentrator array with individually adjustable elements
IL157716A0 (en) 2003-09-02 2004-03-28 Eli Shifman Solar energy utilization unit and solar energy utilization system
JP4121928B2 (ja) 2003-10-08 2008-07-23 シャープ株式会社 太陽電池の製造方法
JP4232597B2 (ja) 2003-10-10 2009-03-04 株式会社日立製作所 シリコン太陽電池セルとその製造方法
WO2005070224A1 (en) 2004-01-15 2005-08-04 Kellogg Company Nozzle assembly for imprinting patterns on an extruded product
JP2005347628A (ja) 2004-06-04 2005-12-15 Sharp Corp 電極形成方法、電極及び太陽電池
US7097710B2 (en) 2004-04-29 2006-08-29 The Procter & Gamble Company Extrusion applicator having rotational operability
US7169228B2 (en) 2004-04-29 2007-01-30 The Procter & Gamble Company Extrusion applicator having linear motion operability
US7045794B1 (en) 2004-06-18 2006-05-16 Novelx, Inc. Stacked lens structure and method of use thereof for preventing electrical breakdown
EP1763086A1 (en) 2005-09-09 2007-03-14 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Photovoltaic cell with thick silicon oxide and silicon nitride passivation and fabrication method
US20060207650A1 (en) 2005-03-21 2006-09-21 The Regents Of The University Of California Multi-junction solar cells with an aplanatic imaging system and coupled non-imaging light concentrator
US7906722B2 (en) 2005-04-19 2011-03-15 Palo Alto Research Center Incorporated Concentrating solar collector with solid optical element
US7444934B2 (en) 2005-05-24 2008-11-04 Micron Technology, Inc. Supercritical fluid-assisted direct write for printing integrated circuits
US7394016B2 (en) 2005-10-11 2008-07-01 Solyndra, Inc. Bifacial elongated solar cell devices with internal reflectors
US20080047605A1 (en) 2005-07-28 2008-02-28 Regents Of The University Of California Multi-junction solar cells with a homogenizer system and coupled non-imaging light concentrator
US7765949B2 (en) * 2005-11-17 2010-08-03 Palo Alto Research Center Incorporated Extrusion/dispensing systems and methods
US7799371B2 (en) 2005-11-17 2010-09-21 Palo Alto Research Center Incorporated Extruding/dispensing multiple materials to form high-aspect ratio extruded structures
US20070169806A1 (en) 2006-01-20 2007-07-26 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell production using non-contact patterning and direct-write metallization
US7928015B2 (en) 2006-12-12 2011-04-19 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell fabrication using extruded dopant-bearing materials

Also Published As

Publication number Publication date
US20080099953A1 (en) 2008-05-01
KR20080039817A (ko) 2008-05-07
US20110062622A1 (en) 2011-03-17
US8557689B2 (en) 2013-10-15
JP2008155625A (ja) 2008-07-10
EP1920849B1 (en) 2013-11-06
EP1920849A3 (en) 2012-07-25
CN101219447A (zh) 2008-07-16
US7922471B2 (en) 2011-04-12
EP1920849A2 (en) 2008-05-14

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