TW200842089A - Environmental isolation system for flat panel displays - Google Patents

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TW200842089A
TW200842089A TW096146988A TW96146988A TW200842089A TW 200842089 A TW200842089 A TW 200842089A TW 096146988 A TW096146988 A TW 096146988A TW 96146988 A TW96146988 A TW 96146988A TW 200842089 A TW200842089 A TW 200842089A
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TW
Taiwan
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container
door
substrate
display
flat
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Application number
TW096146988A
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Inventor
Anthony C Bonora
Michel Pharand
Richard Gould
Original Assignee
Asyst Technologies
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Description

200842089 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 不器基板之儲存容器及與此容器共 具體=而:發存與處理工作件用之隔絕系統。更 同操作之儲存系統。 【優先權主張】 為優先權母案二= 【先前技術】 增加在製紗φ顯示卵PDs)時姻之液晶顯示c 品質及製造良率為-項具有挑戰性的過程。隨著大尺寸與暮 的挑我性。由於在市場中晝面品質為主要的競爭區別，因此fpd 製造者必須要能夠貞擔赠目缺陷侧測試所有面板 測試時間及增加品質與良率。 '彳 歸因於粒子污染的玻璃面板損害負面地影響了大面積 的良率。此問題在面板尺寸增加且圖案尺寸維度減小時變得更嚴 重。 部分由於FPDs的尺寸，因此已知並無FPDs用的密封容哭。 因此’需要在處理期間提減少污染的環境隔絕。山 【發明内容】 本發明之一態樣為提供一種隔絕身統以在處理期間隔絕FpD 基板不受污染。在一實施例中，此系統包含具有裝载口門 d〇〇r)的裝載口(loadport)，此裝載口門包含可縮回的撓性材料 200842089 (retractable flexibie matrial)。在一廢 ，仏 裝載口上方的貯囊或區域中。縮才f斗縮回至該 於該裝载口上之衮哭卜方的旳軎斗至忒射展或區域的材料，或置 中之ί i ί :=ί 化儲存於容器 之應力的任何適當 中，錢性材料縮回至位於容器 =*貝_ 2中’撓性材料縮回至位於容器之下部中的° ^另一實施 晨中的材料亦位於本發明的料之内。、、了義。縮回至側貯 ^本毛月之更另一悲樣為提供在製造循 淨過濾空氣或氣體的環境，其中此製 基板用之潔 備裝载及檢驗。在一實施例中，容^ 儲存、傳送、設 件如離子、财起度。亦可㈣環境條 六哭^明之仍另一態樣為傳送一容器 <亍、經製造場戶斤久卢”文 升該容器的點包含一機構(例如agv等)可藉以舉 說明======彻的方式來 【實施方式】 下列將敘述之發明為大面積基板如平面I ff。然而，熟知此項技藝者將明白，之系統與 ，的情況下亦可施行本發明。再者， 200842089 本發明，w知之處理操侧不贅述。 統可ί材料儲存及傳送用之系統。此™系 其中一傳或工作站負載的能力。該系統的 包含可密封之Μ # 封之谷&。該系統之其中另一元件 接受處理。衣合為可緊#著此裝載口對接而使基板得以 載小示I根據本發明之—實施例的—基板容器、-設鮮 圖1中，容器1 上水ί的位向來儲存FPD基板。在 例中，容哭了勺二；/、裱彡兄100前方之裝载位置處。在此實施 護罩）。例如，於性望L 封(在此處亦被稱為容器門或 上缩回，以介在滾輪(可為片段或非為片段)或輪子 ====== ;，口的邊圍作實質接觸，二==== 或消除，以下將對此有更詳細釋种’此間隙被最小化 具有容器1座落於上的容器支撐機構101 脾 谷器的前面移至小環境卿的前開口附近(例如
和—财器卿P)的前碟），或容器可於初始時H ®1:ϊ:之支撐機?上的位置處。在此裝载位置處，容哭ί係 較仏地罪近小械_門，以在兩扇門 -- (Ρ腹imity Seal)。在任何情況下，—旦容器 =的容，與小環境刚的前⑽可被 5 == 内的卿基板被傳送機構娜所接取。在—實施例中允== 的動作為同步，-起開啟及關閉。應瞭解 斤义’ 轉境觸的門⑽可類似於門3為可縮回捷性薄膜 門動作最小化了外來之微粒污染，轉在已受污染的任—門^ 200842089 或 ====嶋)係位於秘處理 在門3與108同時升起之前，小環境門 門搞合。將門3與_合在—起將會收隼^ 108之間之兩門之外部表面上的初 、在谷口口門3與珂門 -up 〇 !〇s 器門3的配置使其能夠上升至合在—起。容 由基板操作機械裝置1〇6所接取的位^了木的工作件可藉 3與小環境門⑽兩者皆開 者暴蕗至外部環境的小間隙。為 了此存在 入容器或小環境觸，小環境可外，境的污染物進 淨空氣提供予小環境内部，在小i| j^生、將潔 相内部壓力。賴力差會強_ 並防止來自外部的污⑨。#卜 田嶋賴小壞境100 風扇與過小環境100或設備102可不包含 no 若未使用小環境)可為—滾動锋膜^上的門(或设備上的門， 可為垂直滑動以開啟盘關f的更偉夕5者(如圖中所示）’或門 推進容器1直到容哭Ϊ封緊靠更門。在門開啟後，可藉由 應瞭解，右夂緊展境100為止來密封間隙。 容器門機構及選i性風^驅動力(例如’機械力)提供予 藉由： ’、/、匕濾糸、、先。例如，能量可供給至容器 心='=?)式能量健存咖如 ，電池、超級電容 b)在裝載站處之電接觸； )非接觸式此夏，藉由來自褒载站處之固定導體之電磁場而傳 200842089 輸至容器上的接收線圈及電路； d)裝載站處之氣動接口提供加壓氣體;及/或 科與容祕_機猶結(m—11址_〇 容哭門，卜L的源頭處可直接控制能量源b)、C)、句或e)以控制 “wnif ’在裝載站處可提供風扇及過濾單元的制動/ f 制容器門動作或風扇過濾單元之制動/押_ =間=制峨可以料财絲與容麟通，包 ί或發光二極體(led)及光感應器繼站處之軒接 圖2顯示了在一實施例中之容器的 〇 14 0 以在門動作期間使桿(因此使薄盘矛门)所 與12)上确，(包含滑輪丨丨 輪8與11俾使皮帶6盥 ）另鳊邛。#軸15連接滑 之側表面處以對角交ϋ : j宁皮贡6與7可在容器】 式下吾非圍繞整個週圍。在此方 至門3内為接J門上在開啟動作期間可黏附 厂I、他開口 (例如，狹縫、微孔等），則 200842089 孔以潔淨空氣流會避免粒子沈積在 内表：當門為開啟時淨空:二至門3的 吾人之另一考量為，挽二:冰過門3之上表面上方。 成與轉移。粒子生成可共滾輪2間之介面處的粒子生 和。例如，滾輪2 輪2與門3之間的接觸而被緩 少滾輪2與門3之間的接觸的狹脊或缺的凸塊以減 脊或凸塊以減少接觸面積。容ί門的内表面可具有狹 或關閉。下終止桿4可盘猎由各種機構來加以開啟 垂直驅動機構可在毋需；，二=備上的垂直驅動機構銜合。 容器門3及下降以關嶋:門。2致以開啟 15、滾輪2之端部鱗_㈣ 電動馬達’合至桿軸 作會旋轉相對應的桿軸、滾幹者。馬達的旋轉動 統與門。類似地，-i性亚移動時間點皮帶的連接系 ί 1=5，。用以舉升或降低門的任何其他適合二 iiii ίt圖2中所示之門3在滚輪2上方移動 介面勺鬥、梦·合裔具有包含對接介面的框架，而此對接 ;丨面包圍滾輪2(如圖6中所示）。 π 0 π 3 止。m 、下門部19’此兩部分分別在桿4與桿16處終 士=4與16利用—驅動妓在每—端部處連接以允許動作被傳 5 Γ:7與19。下門部19在滾輪20上方滾動且終止於終止 鈎皮帶6與7移動時，狹縫18將隨著皮帶上下移動， 對合☆中之單—儲存位置作接取。本發明之範.包含，狹 ^ 8^大到足以對儲存在容器1中之多片基板提供接取。亦可藉由 刀入皁一件撓性材料的孔隙或可藉由連接至撓性材料門3之孔板 具有孔隙之單一碟板)來形成狹縫。在圖3與4之實施例中， 薄^門指引出正在被移動之基板的位置，因此門將停留在支撐元 件鈿方而孔隙允許對一或多個支撐元件或基板的接取。 200842089 可呈d4 =縫門，在桿導件、粒子減少及驅動機構方面， 12與®巾所较容。下表面亦可具有潔淨空 淨度。當基板被接取而接受處理時， i 動機構可銜合桿4或16，以移動狹縫至 容Ξ 示了包含選擇性風扇110與過濾'單元112的 士環風 開σ °#圖二顯不了—實補，轉或娜位於容器 二 、丁、4中。畜谷态門被舉升至直到狹縫18係位於壁1〇9 ΊΓΓ9覆蓋整個容器開口 14°小環境或處理設備的艙 含具1单—狹縫的可移動門。在此情況下·，一旦容 ;衣載位置時，搶門則較佳地同時移動或利用容器門同時 二引艙Η，俾使艙Η與容n門中的狹縫鮮。在另—實施例中， 舫門亦可包含類似於傳統艙門的門。 5Α^σ5Β顯不了挽性門的一實施例，此撓性門可被拉向關 才鳊处之谷裔框架以最小化密閉間隙。在此實施例中，容器包含 了移動之滾輪組件25。滚輪崎Μ包含雜2、_臂2二枢轴 7 27、ί輪張力彈黃28、彈簧連接結構29及停止塊30。樞軸臂 26，持著倚靠停止塊3〇直到垂直於樞轴桿⑼v〇tb的之長轴的力 =里超過彈黃28的彈簧張力為止。接著，枢軸臂26將繞著樞軸 ^ 27轉動並於停止塊3〇分離。張力彈簧力係較佳地大於皮帶張 力及自__產生的任何雜力。在—實施例中，關閉容器門 及^器門緊靠著停止塊3〇密封係齡單—動作來完成。本發明 之範臂亦包含，包含滑動軸承⑽debearing)組件的滚輪組件。 /應瞭解’圖5A中之驅動系統可類似於圖2中的驅動系統。驅 動系統包含時間點皮帶7、滑輪，且門係終止於上桿5及下桿4。 圖5A顯示了分別連接至桿5與4的滑座22與22&，其提供滑動 11 200842089 :持在將皮帶張力 P_e)料打擊端塊24 廓(—d— -向容_前斜-角度，俾使 部分，其約略 抵著終端停止上但桿5卻 向終端停止塊轉動為止。滾於组株鳇、里直到滾輪組件朝 •;移^，(滾輪下方)的;有表面朝:容= - V-« - 旋轉之動作。滑輪8_1G可被= 3輪可具有線性而非 nr簾作動的方式在扭力發條滾輪上= f5〇。。^!關中，容器1包含了用以接受驅動栓的 ’被閂鎖於ί二^妾广二:/二藉由旋轉或其他適合機構而 施例二德Lt: 2含風扇過遽、組件110與薄膜門3。在一實 达與保持銜合，例如利用整合維持構。例，鎖 播圖7A與7B顯示了根據本發明之一實施例之^ 自己的接觸最小化。1大^以將門捲繞桿軸時薄臈門與 圖8顯示了基板容器的另一實施例。容器包含形成—封閉罩 12 200842089 的容器外殼，此容器外殼包含第一侧壁、第二侧壁、自下壁或底 部延伸的後壁、及上壁。在圖8中所示之容器外殼包含基板可藉 以通過的前開口。不像F0UP，容器門包含撓性材料。容器門可包 含與製私和潔淨室環境匹配、能夠耐受重覆開啟與關閉所引起之 考折的任何適當材料。例示性之材料包聚醋薄膜、合成之氟聚合 ，、纖維強化之聚酯薄膜及纖維強化之合成氟聚合物、不銹鋼箔 等。在一實施例中，容器門可具有導電特性以避免靜電。 圖^顯示了在關閉位置下的容器門3。在此實施例中，容器亦 包^沿著底表面設置的底部。如之後所將更詳細討論，容器
I縮回至谷器外殼的頂部或容器外殼的侧部中，以提供儲 裔1中之基板的接取。
圖9顯示了位於開啟位置下的容器門。為了顯示 =已，了容器上壁與側板。在此實施例中， S |外頂^^如，沿著容器的内上壁、沿著容“上 々丄ί如’合裔門3可縮回至容器上壁中的貯Λ中，或縮回容哭 / 壁附近的容器頂部中。無論如何，在此實施例中'容哭 過前開π之頂部的滚輪上方移動。^ ^門3 «:=移，_折成直角，因此必二m 含’容器包含多個滾輪以導引容=== 折。空氣進人充氣室17〇允許空氣進二的厫重f 充氣室可沿著上表面的側邊設置。進1、⑽的區域，但廢氣 端部可藉由導引件或滑i未支^^ 容器本體_翻定的麟)，，作_使桿與 ^之别，圖9中所示的皮帶6係連接至至另一導引 輪上方沿著前開口的側部向下移動，接=以上；= 13 200842089 方式^彳^移動上至侧板的上背角落。連接至每一導引桿之另一端 的皮V藉由類似的滑輪組移動。一桿軸連接滑輪8與η俾使皮帶 的動作同步。其他滑輪能夠自由旋轉而毋需與桿軸交錯。 圖10Α40Β顯示了 一容器可包含一潔淨空氣流動系統。在此 ^施例，，容器包含空氣進入充氣室170、空氣出口充氣室及複數 潔淨空氣吹送設備11〇。吹送設備110將外部空氣吸引至容器中以 在容器中產生潔淨空氣流。圖10Β顯示了可將一擴散器屏& 18〇 ，，於充氣室與吹送設備之間。吹送設備11〇產生進^容器的潔 淨氣/’1L。此在谷态中產生了略高的潔淨空氣壓。此空氣將流出藉 由容器門及其他排氣孔所形成的近接密封，該其他排氣孔可被設 計^用來掃除來自污染表面如滾輪及轴承的粒子。吹送面板與擴 苎，2幕18〇之間的空間為充氣室，其在空氣離開充氣室及忑乂 容器丽允許壓力更均勻地分佈。換言之，充氣室出口 内部的出Π。若有針對充氣室分配雜，則過濾元。 同於其在小環境巾的配H吹送設備會加壓絲室容積且過 濾兀件，在圖示中擴散器屏幕所在之處。在此方式下，過濾元件 I自充氣室的平均壓力受惠並提供非紊流之氣流。過濾元件可幾 乎直接連接至吹送設備，產生潔淨但可能稍微是紊流的空氣流， 以節省空間但仍然對容器提供潔淨的加壓内部。 圖11A顯示了 FPD傳送系統的一實施例。此處，傳送系统包 含具有FPD操控機械手臂106的小環境1〇〇。小環境通常呈有潔 淨傳送室的功能，以允許FPD操控機械手臂1〇6自容器移/出FpD 基板或面板並接著將基板傳送至處理設備或其他容器而不污染某 板。在此實施例中，小環境包含艙門192與門封鎖室19〇或區域= 門封鎖室190係位於小環境100之上俾使艙門向上移動至室體 中。門封鎖室190亦可位於小環境的任一側。圖11A更顯示了關 閉位置下的艙Η。如以下將更詳細討論，容科座落於輯口上。 圖11Β顯示了位在開啟位置下的艙門192及容器門。艙 升至潔淨環境的Η封鎖室19G中。容ΙΙΗ早已縮回至容器j的^ 14 200842089 小環境起操作絲—門可各自操作。例如， _動機構。或者，艙“以：父關=置之間移動的單 .Η以兩之1 ㈣亦包含，容器門與驗 之中。在小環境門^容哭門/仇知控機械手臂106被插入於容器 •可接取容II巾的任何基’啟位置後，FPD操控機械手臂 Ξί i# 1〇0^^ 亦包含，裝載口與傳送系統使 上。本發明之犯缚 或輪子來移動衮哭彳。阁-孔釉承系統(airbearmgsystem) 器之每-側延伸^裝^ 接位置。容器包含自容 藉由裝載點而舉升容哭。此四姻與^匕3上把手，一叉型裝置可 置上。容器可包含任“目器重量分散於舉升裝 其他類似裝置。 牛升，、沾及/或用以舉升及支撐容器的 或小環境。：13了^以:,=於裝2 口上之容器的處理設備 設備或小‘複:裝本二含： 如，容器門可卜容器外殼的下部中。例 亦包含，容器包含多個滾輪= 之齡 器可包含彼此以β度角分離谷益門。例如，容 重彎折。容器門的下與上端&、、、f輪，喊少容器門的嚴 得撓性門之整個寬度上隨= = =，終止。此些導引桿使 Μ夠維持均勻的張力。導引桿的端部 15 200842089 本體間圖二戶2撐，以在門動作期間使桿與容器 動機構的使撓性門在開啟與關閉之間移動的驅 哭門弓區動趟^>^及合為的氣體排放結構。在此實施例中，容 門驅動機構包含位在容器每一 = — 於容器開口下方之交哭沾丁义+上j处弟一，月輪2—係位 的下:後方處二滑輪202係位於容器 閉位=^2導引桿之每一端的兩皮_得門在開啟位置盘關
Γ'ΐί SI： ^ ® 14 t^^20S ί部背向^引f^接著於第一滑輪上方沿著前開口的 第-^ 接著於第二滑輪下方沿著容器的背面向下移向 ίϊϊί的ΐΐΐ第三滑輪上方背朝向容器的後方移動並朝向皮 右方上)係、經由類似的滑於二叙m—，的皮帶(在容器的 地每一者藉由三組係較佳 輪並未由共用桿軸皮帶的移動。第二滑 時並地說明了上導引桿在容器門位於開啟位置 上導引桿已被下降至低於最低基板的位置
ιΤβ'Γ；^ J 圖13-15顯不了撓性門縮回至下貯囊中。此 ς 二部分或位在容器下方的額外結構。容器門縮回至下、貯嚢、二 器開啟時使容器轉在受控制的環境中。圖13顯示了^沾t 流允許空氣進入下貯囊並離開下貯囊的後I。ς容的^ 故在Ϊ哭==ϊίϊΙ，流會在容器的潔淨側上方移動: 的㈣。下貯囊背壁中的齒孔表面允許 16 200842089 氣環境中 μ 貝示了滑輪組可如何藉由普通桿軸206連接賴滑於驅 Γϋΐ步的—實施例。以同步方式移動撓性門(例如，兩皮i以 :速度移動)控制了門的移動，以防止門變得歪斜及以 ，17_19顯示了基板傳送系統的實施例。該祕包含 =存^容器中之基板並將基板傳送至處理設備(或另—I 衣載口及小環境。在一實施例中，圖17_19中所示之勺二)勺 ΪΪΐ至丁貯囊中以開啟的容糾。裝载口包含了 盥支 撐裝載口上之容器的傳送系統。在此處，圖示之傳 滾輪。但例如’傳送系統亦可包含皮帶傳m…’ ’、、、 株示了在對^1置下的容器。裝載口包含容器支樓 在此實施例中，在容器係位於對接位i 動機播’且驅動桿具有用以開啟/關閉容器門之驅 構。如上所述，容器係藉由傳送設備來:動 r 2支撐”被用來儲存裝載口門。如圖17中所*，装載口 j、=回至容$支撑件中而開啟。由小環境(例如，自壓差)或自 y衣置產生之氣流較佳地移動進入容器支撐件中並於穿口門 =淨巧(裝載口門的内部侧)提供潔淨空氣流。圖17顯示了小 ϋ谷為内部及外部環境可包含*同壓力俾使圖18巾所示之 流移動。 ’、 在此ί S由觸捕20九及20Β顯不了基板傳送系統的另—實施例。 移植侏^*，傳衫統包含具有用以傳送基板至處理設備之滑 ίίίΐ載口。圖19Α】Β中所示之裝載口係類似於圖Π-18 中^揭2之裝載口，裝載口門可藉其_至容器支撐件中。立他 ^2載口亦落在本發明之範射(例如，裝載口 Η可向上縮回 此實施例中，裝載口包含用以將基板自容器傳送 至處理汉備的垂直動作滑移組件。裝載σ可包含單—1/0接口或多 17 200842089 重1/0接口。此處將敘述具有單一 ι/ο接口之裝載口。 當然圖顯示了包含用以支撐基板之三支撐件的級件。 以轉存在=ιΐίί目之支稽件。圖19顯示了垂直組件調整 中的基板作垂直解…旦組件與基板對準後， 二士 ^ μ被移至組件上。有許多種方式來自容11移出基板， i 於)#由空氣軸承支撐基板並允許基板自容器滑動 件、㈣ϊϋΐ支撐基板並制動滾輪以將基板自容器移動至組 :。itiir基板並制動皮帶以將基板自容器移動至組 釦& = 土=虱軸承來支撐並傳送基板可能需要容器支撐件略微地 朝離容11前賴斜，以使基板可滑出容11。組件亦可包含 真空杯)’鳴基板的一部分並將基板::空 ^操作上，一旦容器門與裝載口門開啟， „任何基板對準。接著，自容器將基板移出=件 ϊΐ:接ί該組件使基板與正開啟的處理設備對準，該處理設 iff以允許基板自組件被傳送至設備中。一旦基板處理完 ^2板會被傳送回組件’該組件會自行與容器中的空架 ϊΐίϊί被傳送回容11。® i9a_i9b顯示，可難地在裝載口 二處理稍之間的傳送區巾提供潔淨氣流或消除 板的可紐。傳送區可為賴或包含經控制之環境内的開 圖21A-21B顯示了基板傳送純的另—實 包含裝置艙(未圖示)及晶圓傳送設備。圖服中 非. 儲存“ if 2犯顯不’容器亦可以其他非平面配置來 j存土板，且母片基板毋需以相同的非平面配置被儲 中。在一實施例中，每片基板在整個基板或面板長度上的偏&係 介於則m其他偏斜織絲在本偏中斜t 非線性或非平面的配置來儲存基板增加了基板的剛硬程度"7 18 200842089 (rig=〇。例如’容器支撐件可包含滾輪、空氣赌、墊帶。 以 > 平面配置來儲存基板能大幅地減少基板 争 撐=可咖吏基板形變或偏 “荖任柯-ίΙΐ處的形變為例示性的’域板或平面顯示器 ‘詈月二ΐΐ或點或複數線或複數點偏斜或形變。藉由支樓 …位置及轭加至基板上的其他力量可控制形變。 機構包含升降機構及傳送組件。升降 機構職生之粒子絲板的㈣。傳送組件係
盥ϋ® - τί可移動地連接)至升降機構中的驅動機構。圖21A mUiHf組件具有用以支絲板並在容11與處理設備之 Γί,Ϊΐ，子。如上所討論，傳送組件亦可利用例如滚 f二軋軸承、皮帶等來支撐及傳送基板。在一較佳實施例中， 支撐件係與容器中的支撐件對準。傳送組件可允許 ^受平坦或可維持基板之雜性配置。若允許基板變平坦 專1件可能需要具有額外的第三支撐件以適當地讀基板。、 加件可包含水平靜止框架或水平可輕之《。靜止框 中的基板垂錢準’且基板會被傳送至框架上。僅欠 為中的輪子、找軸承或皮帶及傳送組件會軸。或者 ： 動二以允許傳送組件插入至容器中並將基板舉離ϊ 似傳、、先末執行器(end effector)的支撐架。 、 個可t含任何高度(修σ，以刻單—着機構接取多 4谷如）。敢>，傳送組件應包含能夠接取儲存在容器中之每 =ίί移°升降機構可包含裝載口之部分或包含系“ ^讀。類似圖2GA與2GB，較佳地維持通過此傳送區 二軋流，以最小化粒子污染基板的可能性。 、 圖22A與DB顯示了以非平面配置儲存於容器中的基板 ，=圓J器(例如，F0UP或S娜容器)中，每一儲存架包 支撐件；母—支撐件係沿著—容器壁設置俾使晶_外壁邊緣$ 19 200842089 到支撐。不若傳統的容器，在Fp — 容器中的兩或更多分離讀元件。存架皆包含在 置係根據(至少部分根攄^5兀件的水平間隔及垂直設 寸·Α與型與尺 .的容器(例如，”S”形等）。 3 了以其他替代配置來儲存基板 -施例f 的—實施例。在此實 靠在容器外殼之容器宓封件^ t目^頃形袷封表面)將撓性門3壓 提供對抗外部環_接_封面_的前部， 麼迫撓性門3緊靠著固定密封件4^可=動〜之密封框架400 當可移動密封框架400係位在開啟位有H趙封^器。例如， 容器時，首先2 Γ的Γ動Γ可ΐΐϊ動密封框架400關閉以密封 3接觸的位置。當可移動贫^厂2在封拖架400移動至與撓性門 最後— = 框架移動時， 前推擠且_形變。或者，應性以允許容器門被向 置時，在可移動密封ί;與係位於開殷位 其他距離）。無論實際的距 ，在者2 mm的間隙(或 門分離，允許撓性門 5、β可移動畨封框架400係與容器 捲至容器外殼‘ΚΊ，位置。在此處，撓性門向上 置之:，夺，其頁以移何!^門在開啟與關閉位 器上；動，容 容器之頂部中的撓=用顯示向上捲入 向圍繞任—_，可機密封件亦^揮^ 20 200842089 挽性門用之驅動系統如容界上的 容器外部之驅動件例如耦合至對^仿番=之範疇亦包含’ 結構在容器不再與設備或，載人$处的容器。亦可有额外的 若撓性門或_係由境的可能性。 設備移動至設備所經的所有位置1 =：；，於對接位置或自 、專輸加以耦合。當容:非接觸式 收經由電感觸闕傳f Α對接日〗，機構亦可接 處接☆的電池 τ ^ ίί；ί；；Ιί；1；；ΓΓ 種位置。控制訊號亦ΐ被提:制S構1區ΐ至其各 is:?^ 適當的位置(=，確自自載口脫離之前機構已到達 t至容器’例如溝通致動器之狀態及命令致 J或經由傳輪器與偵測器之間的光傳輸(紅外 i由iitl見光)，被傳輸至容器。容器無備之間的通訊可 ^動^/~^4控制$加以接收及處理。微控可控制致動器 之動作及/或提供狀態訊號。 用的簡！^既圖顯示了根據本發明之一實施例之大面積基板 人处豹迗谷盗’其可將基板的共振或震動最小化。容器1包 、_及將基板608(亦被稱為晶圓)穩固地留滯於容器 玎υΐΐ門。基板608被裝載至支撐元件602上。支撐元件602 厪架，且包含獨立的元件如桿、叉、平面架、拉緊的金 ϋ或ί他支撐元料，且此些支撐元件可㈣置(―)。 然圖25顯示基板608在相當於支撐元件602的兩位置處 21 200842089 寸但if所使用之支撐元件的數目、支撐元件的結構如 之位；比I基板的形狀與尺寸及基板的期望偏斜點，任何數目 至容哭撐。基板可經由門移動所提供的開口而被裝載 t 25 上_F〇UP用至容器 撐元件600a與6〇〇h為命田稱在封奋杰°接著’周邊支 ^6〇〇； 件6術可類似使=608形變。應、瞭解’周邊支撐元 然；應瞭解具有夹緊延伸件，或反之亦 的結構可包含容器！内畜=曰，/、他結構、。用以驅動構件下向 移動的門制動定位哭'干干’例如當門被移至容器上時向下 其鎖住Η並下降^升°其他觸包關匙， 置。在-^升邊支撐70件或與門分離的其他獨立, 周邊支撐树接朗的#面，但 位於容器的任何對向側且不限於門、。^田^，周邊支擔元件可 元件_a與==^602的數目與位置及周邊支撐 示周邊支撐元件6GGa * _b ^板7為數種其他形狀。雖然顯 支擇元件可向上移動而第$者==的方向移動，但-周邊 及共振。基板_可為^送/移動所引發的震動 方形、矩形或任何其他四邊g何形狀，包含但不限制為環形、正 限於此。在如上敘述了二:糸統僅為解釋用途，本發明並 …一 ΐ送(包含傳輪)及裝載™的容 轉者應瞭解，其已達成了該系統内的特 應瞭解，上述之容哭B / 7 一一收 A J 1 及系統後，熟知此項技; 22 200842089 優點。亦應暸解：各種變化、修改、及替代實施例皆可落在本發 明之範疇與精神内。例如，容器與系統亦可被用來傳送、儲存^ 輸送其他類型的基板，或與半導體製造場所中的其他設備一起使 用，應瞭解：上述的許多發明概念可相同地應用至其他半導體製 造處理如大面積基板如450 _基板或其他非半導體製造應用^ - 太陽能電池基板的使用，包含其所宥製造技術如單晶矽、多晶矽、 一 薄膜及有機製程。在此處所述之容器亦可被用來作為在不同場所 之間以及一場所内輸送基板用的輸送容器。此外，所提供之實施 包含經由此文中所述之實施例而支撐單一基板或複公基ΐ的 容器。 • 雖然已針對明白瞭解的目的敘述了前述發明的部分細節，但 應瞭解，在隨附申請專利範圍内可進行某些改變及修改。因此， 本文之實施例應被視為是說明性而非限制性，且本發明並不限於 此文中所提供之細節，在隨附申請專利範圍之等效物的範圍内可 修改本發明。在申請專利範圍中，除非明確指示，否則元件及/ 步驟並不意味著操作的任何特定順序。 【圖式簡單說明】 _自結合了附圖之下列詳細敘述以例示本發明之原理的方式决 說明，當可輕易地瞭解本發明的態樣。 ^ Β圖1顯示了根據本發明之一實施例之基板容器、設備 兄及製程設備(例如，製造設備、量測設備等）。 圖2顯示了一實施例中之容器的透視圖。 圖3及4顯示了具有狹缝門之容器。 5A及5B顯示了撓性門的一實施例，此撓性門可被拉向p 閉糕處之容器框架以最小化密閉間隙。 ！ 圖6為顯示另一實施例中具有撓性薄膜門之容器的簡化概 構。圖7A及7B顯示了根據本發明之一實施例之容器的另 23 200842089 圖8顯示了基板容器的另一實施例。 圖9顯示了位於開啟位置中的容器門。 圖10A-10B顯示了一容器可包含一潔淨空氣流動系統。 圖11A顯示了 FPD傳送系統的一實施例。 圖11B顯示了位在開啟值置中的艙門192及容器門。 圖12顯示谷裔傳送及裝载系統的一實施例。 圖13-15顯示了撓性門縮回至下貯囊中。 可如何藉由普通桿軸2G6連接以與滑輪驅
容器 圖17、17A、18及18A顯示了在對接位置(d〇ckedp〇siti〇n)的 二、、〇一八及遍顯示了基板傳送系統的另 圖21A-21B顯示了基板傳送系統的另_實施例。 圖22A及通顯示了以非平面配_存於容器中的 Em 了具有可移動密封件之容㈣」°實施‘ 圖25之間化概圖顯示了根摅太 — 用的儲存/傳送容器，其可將基板的或;大面麵
主要元件符號說明： 1 :容器 2 :滾輪 3 :撓性薄膜/容器門 4、5 :桿 6 Λ 7 :皮帶8、9、10、η、12 :滑輪 13 :上容器表面 14 :前開口 15 :桿軸· 16 ·桿 24 200842089 17 :上門部 18 :狹缝開口 19:下門部 20 :滾輪 .21 :終止桿 - 22 :滑座 22a :滑座 # 23 :皮帶彈簧 24 :端塊 25 :可移動之滾輪組件 • 26 ··樞軸臂 27 :樞軸承 28 :滚輪張力彈簧 29 ··彈簧連接結構 30 :停止塊 31 :凹陷之滑動輪廓 1⑻：小環境 101 :容器支撐機構 102 :處理設備 φ 104 :風扇與過濾單元 106 ··傳送機構 108 :門 109 ··壁 110 :風扇/過濾單元 - 112 :過濾單元 . 150 :對接介面 154、156 :桿軸 158 :凸塊 170 :空氣進入充氣室 200842089 174 :裝載點 180 :擴散器屏幕 190 :門封鎖室 192 :艙門 200、202 :滾輪 • 204 ··貯囊 205 :皮帶 ^ 206 :桿軸 400 :外部框架 402 :密封件 ⑩ 404 :密封件 406 :馬達 408 :連結機構 410 :容器密封件 600a、600b ··周邊支撐元件 602 :支撐元件 604 ··夾緊延伸件 608 ·基板

Claims (1)

  1. 200842089 、申請專利範圍： 一種平面顯示器用之容器，包含： 底部； · 頂部； ]貝词s， -部价其中_容器的 件口上方，燒性門具有- 該剛性底部構件的端部係固定2中^剛性頂部構件的端部與 複數驅動構件係經由一可轉動桿轴動構件，該對應之 2·如申請專利範圍第1 .設置在用以支撐平顯示器用之容器，更包含： 牙十面顯Μ之該容_的複數支撐元件。 3·如申請專利範圍第〗項 動構件為複數皮帶，該用之容器，其t該複數驅 部接觸，並受複可轉__複數對應端 4·如申請專利範圍第2 Jg 標元件提供供該平面顯示ΐίίίί?的用—之其令該複數支 ;，包如:：:=項以，器用之容器，其中，性 ，對於-或多個平面顯=齡形成有-孔口:該1 包ί在^面顯示器用之容器，其令今 件，該對.中間構件72器之=成隔^ 口一對剛性;^門 27 200842089 7.如申請專利範圍第6項之平面顯示 哭 與該平面顯示H之—處理設備連結 ^中絲器係 驅動桿’該驅動桿係用以移動該撓性門二^、有與_器銜合的 翻制第1項之平 係设置於-m定密封件與—可移動 ^雜性門 或關閉時，該撓性門係與該固定密封件 ^如申請專利範圍第8項之平賴示器 密封件係連接至-致動器，該致動㈣ ：八中〇可移動 緊靠該撓性門的第一表面，並迫= 密封件 固定密封件。 ^«撓性門的弟二表面緊靠該 il件ϋ睛專利範圍第8項之平面顯示器用之容器，其中該固定穷 封件與柯義·件係沿著該祕門的周邊設置 ‘ 11. 一種平面顯示器用的傳送容器，包含： 顯示ΐ數分_支#元件’係軸_容如朋以支樓該平面 開 之内部的接取沿著該容器之表面形成，該開口提供對於該容器 有=可移動方式設置於該開口之上方，該撓性門呈 由-生底部構件，其中該剛性頂部構件係經 犯動構件而連接至該剛性底部構件； 錢驅動容器之外表面而設置，該同步桿軸驅動 取冓件而私動鎌性門以開啟與關閉對於該容器之内部的接 氣 sr置二 28 200842089 以防止來自外部環境的微粒進入。 12·如申明專利範圍弟η項之平面顯示器用的容哭， 裝置為固絲該容器之與該開口反方向之—“面2 13. 圍第:1，平面顯示器用的傳送容器，更包含： 匕/慮衣置，位於禮空氣供應裝置之下游。 14·如利範圍第13項之平面顯示器用的傳送容器，更包^ 分==，=咖编纏触繼置的& I5. 申請專利範圍第11項之平面顯示制的傳送容器，更 設置弟一同步㈣’沿著該容_ —外表面同步桿軸呈^角 16·如申請專利範圍第n項之平面顯示器用的傳送容哭， 撓性門為開啟狀態時在該撓性。門; 17.如申請專利範圍第u項之平面顯示器用的傳送容哭， 一撓性門容納空腔’設置於該容器之内部的—外表面盥兮 撓性n容納空腔在該撓性門為開啟狀態時^ 18·如申請專利範圍第17項之平面顯示器用的傳送容哭，置 性門容納空腔之係沿著該容器的一下表面設置。 的/、兀 29 200842089 容器’其中該 顯示器之處_統，包含： 一十面顯不器處理設備； 械手臂，5移mm制之山環境，此封閉罩容納有：操控機 載口’，此;=;動=;?器處理設備;及裝 用以傳送該平面基板 表移動門係以可移動之方式設 口上方，該可移動門具有- 裝載口連結，今可·;：ΓΡ；7雌，該容器經由一可移動門而與該 一表面形成的係之方式設置在沿著該容蒸之 剛性底部構件；直中，兮1"多動門具有一剛性頂部構件與一 該剛性底部構件^接，^二係、經由複數驅動構件而與 的同步桿軸，該同步桿軸驅越過該容器之—外表面設置 開啟與關閉對於該容器之内部的件，移動該撓性門以 容器之一外表面以可滑動方^^取，其中’柯移動Π係繞該 21·如申請專利範圍第2〇項之 的 控機械手臂包知二維枝鶴的^處理_，其中該操 22·如申請專利範圍第2〇項之平 器包含用以支撐該平面基板的複數處f:系統，其中該容 該複數支撐元件支撐時該基板為非平’在该平面基板受到 23.如申請專利範圍第22項之平面 * ^ ίΠ抒包含在該可軸，其中該操 #延伸部，該臂延伸部的一端係向 亥谷器之内部的 板匹配。 /、δ亥非平面之平面其 30 200842089 24. 如申請專利範圍第2〇項之平面。〆 移動門包含在__频底部統’其中該可 間構件，該對剛性中間構件在該容器中开對剛性中 25. 如申凊專利範圍第24項之伞 _ 閉罩係經由自該封閉罩之一表面^系統’其中該封 ，移動門銜合，該驅動桿係用以使該與該容器的該可 動門同步移動。 矛夕動門與该封閉罩的一可移 26. 如申請專利範圍第2〇項之 移動門係由聚酯薄膜或不鎊鋼落中的 里系統，其中該可 27. 一種平面顯示器之處理系統，包含： 平面顯示器處理設備； 用以傳送基板的容器，琴玄 連結，該可移動Η係以可移動^方工動門而與該處理設備 部構件，其令該剛性頂部』性頂部構件與—剛性底 部構件連接，該容器更該剛性底 軸，該同步桿軸驅動該福數 卜表面彡又置的同步桿 與關 之一 閉對於該容器之内部的接 ^件而移動該撓性門以開啟 外表面以可物方式鶴。〜、，該可移朗係繞該容器 器包平面1到之處理祕，其中該容 I緣板之下表_複數支撐元件。 9· 周 面顯示器之處理系統’更包含: 表面，該複數周邊支^亓用；^由夾緊延伸件來支撐該基板的周邊 又按兀件係自由該複數支撐元件所定義之平面 200842089 平移，以使該基板形狀變形為非平面形狀。 30.如申請專利範圍第29項之平面顯示器之處理系統，其中該非 平面形狀為曲線狀，且該複數周邊支撐元件係在垂直方向上平移。 十一、圖式： 32
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