KR101464039B1 - 기판 반송 용기의 개폐 장치, 덮개의 개폐 장치 및 반도체 제조 장치 - Google Patents

기판 반송 용기의 개폐 장치, 덮개의 개폐 장치 및 반도체 제조 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 과제는, 밀폐형 FOUP(1)의 덮개(3)를 개폐(착탈)하는 데 있어서, 덮개(3)를 착탈하는 덮개 개폐 기구(20)에 필요로 하는 기구를 적게 억제하면서, 개폐 영역 S3과 로딩 에어리어 S2 사이에 설치되는 시일 부재(56)의 마모를 억제하는 것이다.
로딩 에어리어 S2측에 있어서의 반송구(5)의 개구 단부가 경사 상방을 향하도록, 측벽부(4)에 통 형상체(5a)를 기밀하게 접속한다. 그리고 승강 기체(22)와 함께 커버 부재(23)를 승강 가능하게 구성하고, 커버 부재(23)에 회전체(41)를 설치하는 동시에, 승강 기체(22)가 하강할 때에, 커버 부재(23)가 승강 기체(22)와 함께 하강하면서 통 형상체(5a)의 개구면에 대해 수직으로 이동하도록, 회전체(41)가 안내되는 안내부(61)를 설치한다. 이때, 커버 부재(23)가 통 형상체(5a)를 향해 이동할 때에, 당해 도어 부재의 자세를 규제하기 위해, 커버 부재(23)와 승강 기체(22) 사이에 가이드부(26)를 각각 설치한다.

Description

기판 반송 용기의 개폐 장치, 덮개의 개폐 장치 및 반도체 제조 장치{SUBSTRATE CONVEYING CONTAINER OPENING/CLOSING DEVICE, LID OPENING/CLOSING DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS}
본 발명은, 예를 들어 밀폐형 기판 반송 용기의 덮개를 개폐하는 개폐 장치 및 이 개폐 장치를 구비한 반도체 제조 장치에 관한 것이다.
반도체 디바이스를 제조하는 공정에 있어서, 기판인 반도체 웨이퍼(이하 「 웨이퍼」라고 함)는, 예를 들어 밀폐형 FOUP(Front-Opening Unified Pod)라 불리는 반송 용기 내에 선반 형상으로 적재되어 반도체 제조 장치 사이를 반송된다. 따라서, 반도체 제조 장치에 있어서의 웨이퍼 반입 포트에는, FOUP의 측면의 덮개를 개폐하는 개폐 장치가 설치된다.
이 개폐 장치는, FOUP를 적재하는 영역과 FOUP로부터 취출된 웨이퍼의 반송을 행하는 반송 영역 사이에 개재되는 벽부에 개구부를 형성하고, FOUP에 있어서의 덮개의 주위를 개구부의 테두리부에 기밀하게 접촉시키는 동시에, 웨이퍼의 반송 영역측으로부터 개구부를 커버 부재에 의해 기밀하게 폐색하고, 이 커버 부재에 설치된 개폐 기구에 의해 FOUP의 덮개를 제거하도록 구성되어 있다. 이때, 예를 들어 FOUP의 반송되는 에어리어의 분위기가 덮개의 개폐 동작이 행해지는 개폐 영역을 통해 상기 반송 영역으로 유입되는 것을 억제하기 위해, 상기 커버 부재와 개구부 사이에 수지나 고무 등으로 이루어지는 시일 부재를 설치하고 있다. 그리고 FOUP의 덮개를 제거할 때는, 상기 시일부에 의해 기밀하게 폐색된 영역에 대해 진공 배기나 질소(N2) 가스 등의 청정 기체의 공급을 행하여, 당해 영역의 분위기를 치환하도록 하고 있다. 따라서, 상기 커버 부재는, 덮개의 착탈 위치와, FOUP로부터 반송 영역측으로 웨이퍼를 취출할 때에 퇴피하는 퇴피 위치 사이에서 승강 가능하게 되고, 또한 승강하는 위치와 개구부를 기밀하게 폐색하는 위치 사이에서 진퇴 가능하게 되도록 구성된다.
여기서, 개폐 장치에 설치되는 기구를 최대한 적게 함으로써, 당해 기구로부터의 발진 및 파티클의 발생을 억제하는 동시에 개폐 장치의 비용 절감을 도모하는 기술이 요구되고 있고, 구체적으로는 개폐 장치를 진퇴시키는 기구(구체적으로는 구동축)를 삭감할 수 있는 기술이 검토되고 있다. 이러한 기술의 일례로서, 특허문헌 1에는, 개폐 장치에 의해 시일되는 면을 연직축에 대해 경사지게 함으로써, 개폐 장치의 승강 동작만으로 반송구의 시일도 행하도록 구성된 장치가 기재되어 있다.
그러나, 이와 같이 개폐 장치의 시일하는 면을 경사지게 하면, 시일부에 대해 개폐 장치가 미끄럼 이동하면서 접촉하게 되므로, 시일부가 마모되기 쉬워지거나, 혹은 편마모되어 버린다. 그로 인해, 장치의 메인터넌스(시일부의 교환)를 빈번히 행할 필요가 있고, 또한 메인터넌스에 필요로 하는 비용도 높아져 버린다. 특허문헌 2에는, 열처리 장치의 셔터 기구에 대해 기재되어 있지만, 상술한 과제에 대해서는 언급되어 있지 않다.
일본 특허 출원 공개 제2005-26513호 공보 일본 특허 출원 공개 제2004-342731호 공보
본 발명은 이러한 사정에 비추어 이루어진 것이며, 그 목적은, 밀폐형 반송 용기의 덮개를 개폐하는 개폐 장치에 있어서, 구동계의 간소화를 도모하고, 또한 기판의 반송 영역측 개구부를 기밀하게 폐색하기 위한 시일부의 마모를 억제할 수 있는 기술을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 기판 반송 용기의 개폐 장치는,
벽부에 있어서의 일면측에 형성된 제1 개구부의 테두리부에, 기판 반송 용기의 전방면을 개폐하는 덮개의 주위를 밀착시켜, 기판의 반송 영역측인 상기 벽부에 있어서의 타면측에 연직면에 대해 상향으로 경사져 형성된 제2 개구부를 통해 상기 덮개를 제거하는 기판 반송 용기의 개폐 장치에 있어서,
상기 기판의 반송 영역측에 승강 기구에 의해 승강 가능하게 설치된 승강 기체와,
이 승강 기체에 지지되는 동시에 상기 제2 개구부의 테두리부에 그 주연부를 밀착시켜 당해 제2 개구부를 폐색하도록 구성되고, 상기 제2 개구부를 개폐하기 위한 커버 부재와,
상기 커버 부재와 상기 제2 개구부의 테두리부 사이를 시일하기 위한 시일 부재와,
상기 커버 부재에 설치되고, 당해 커버 부재가 상기 제2 개구부를 폐색하고 있을 때에 상기 반송 용기의 덮개의 제거 또는 장착을 행하는 덮개 착탈 기구와,
상기 승강 기체에 설치되고, 상기 커버 부재가 당해 승강 기체에 대해 후퇴 위치로부터 상기 벽부측을 향해 전진 가능하도록, 당해 커버 부재의 자세를 규제하면서 상향으로 가이드하는 가이드부와,
상기 벽부측에 설치되고, 상기 제2 개구부의 테두리부에 있어서의 시일면과 직교하는 방향으로 신장되는 안내로와,
상기 제2 개구부의 개구면에 대해 평행하고, 또한 횡방향의 축 주위로 회전 가능하게 상기 커버 부재에 설치되고, 상기 승강 기체가 하강하고 있을 때에 상기 안내로에 상방측으로부터 접촉하여 당해 안내로를 따라 구르면서 하강하는 회전체를 구비하고,
상기 커버 부재는, 승강 기체가 상승 위치에 있을 때에는 후퇴 위치에 놓이는 한편, 상기 승강 기체의 하강에 의해 상기 회전체의 구름 이동과 상기 가이드부에 의한 가이드 작용에 의해 후퇴 위치로부터 전진하여, 상기 제2 개구부에 대향한 자세에서 당해 개구부를 폐색하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 승강 기체에는, 당해 승강 기체에 대한 상기 커버 부재의 진퇴 방향에 대해 직교하는 방향을 따르도록 제1 지지면이 형성되고,
상기 커버 부재에는, 상기 제1 지지면에 대향하도록 제2 지지면이 형성되고,
서로 대향하는 제1 지지면 및 제2 지지면끼리의 사이에는, 상기 커버 부재를 상기 벽부측으로부터 반송 영역측으로 가압하기 위한 가압 기구가 설치되어 있어도 된다. 서로 대향하는 제1 지지면 및 제2 지지면끼리의 사이에는, 상기 승강 기체와 상기 커버 부재의 충돌을 억제하기 위해, 탄성체로 이루어지는 스토퍼 기구가 설치되어 있어도 된다.
본 발명의 기판 반송 용기의 개폐 장치는,
벽부에 있어서의 일면측에 형성된 제1 개구부의 테두리부에, 기판 반송 용기의 전방면을 개폐하는 덮개의 주위를 밀착시켜, 기판의 반송 영역측인 상기 벽부에 있어서의 타면측에 연직면에 대해 하향으로 경사져 형성된 제2 개구부를 통해 상기 덮개를 제거하는 기판 반송 용기의 개폐 장치에 있어서,
상기 기판의 반송 영역측에 승강 기구에 의해 승강 가능하게 설치된 승강 기체와,
이 승강 기체에 지지되는 동시에 상기 제2 개구부의 테두리부에 그 주연부를 밀착시켜 당해 제2 개구부를 폐색하도록 구성되고, 상기 제2 개구부를 개폐하기 위한 커버 부재와,
상기 커버 부재와 상기 제2 개구부의 테두리부 사이를 시일하기 위한 시일 부재와,
상기 커버 부재에 설치되고, 당해 커버 부재가 상기 제2 개구부를 폐색하고 있을 때에 상기 반송 용기의 덮개의 제거 또는 장착을 행하는 덮개 착탈 기구와,
상기 승강 기체에 설치되고, 상기 커버 부재가 당해 승강 기체에 대해 후퇴 위치로부터 상기 벽부측을 향해 전진 가능하도록, 당해 커버 부재의 자세를 규제하면서 하향으로 가이드하는 가이드부와,
상기 벽부측에 설치되고, 상기 제2 개구부의 테두리부에 있어서의 시일면과 직교하는 방향으로 신장되는 안내로와,
상기 제2 개구부의 개구면에 대해 평행하고, 또한 횡방향의 축 주위로 회전 가능하게 상기 커버 부재에 설치되고, 상기 승강 기체가 상승하고 있을 때에 상기 안내로에 하방측으로부터 접촉하여 당해 안내로를 따라 구르면서 상승하는 회전체와,
상기 커버 부재를 상기 승강 기체에 대해 반송 영역측으로 가압하는 가압 기구를 구비하고,
상기 커버 부재는, 승강 기체가 하강 위치에 있을 때에는 상기 가압 기구의 가압력에 의해 후퇴 위치에 놓이는 한편, 상기 승강 기체의 상승에 의해 상기 회전체의 구름 이동과 상기 가이드부에 의한 가이드 작용에 의해 상기 가압 기구의 가압력에 저항하여 후퇴 위치로부터 전진하여, 상기 제2 개구부에 대향한 자세에서 당해 개구부를 폐색하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 덮개 개폐 장치는,
벽부에 있어서의 일면측 및 타면측이 서로 연통하도록 형성된 개구부의 상기 타면측에서, 상기 일면측에 설치된 기판 반송 용기의 덮개 또는 상기 개구부를 상기 타면측으로부터 기밀하게 폐색하는 덮개를 개폐하는 덮개 개폐 장치에 있어서,
상기 벽부의 타면측에 설치되고, 당해 벽부를 따라 평행하게 신장되는 축의 일측과 타측 사이에 있어서 이동 기구에 의해 이동 가능하게 설치된 이동 기체와,
상기 타면측에 있어서의 상기 개구부의 테두리부에 형성되고, 상기 벽부로부터 수직으로 신장되는 방향에 대해 상기 일측으로 경사지도록 구성된 시일면과,
상기 이동 기체에 지지되는 동시에 상기 타면측에 있어서의 상기 시일면에 그 주연부를 밀착시켜 상기 테두리부를 폐색하도록 구성되고, 상기 개구부를 개폐하기 위한 커버 부재와,
상기 커버 부재와 상기 시일면 사이를 시일하기 위한 시일 부재와,
상기 커버 부재에 설치되고, 당해 커버 부재가 상기 개구부를 폐색하고 있을 때에 상기 덮개의 제거 또는 장착을 행하는 덮개 착탈 기구와,
상기 이동 기체에 설치되고, 상기 커버 부재가 당해 이동 기체에 대해 후퇴 위치로부터 상기 벽부측을 향해 전진 가능하도록, 당해 커버 부재의 자세를 규제하면서 상기 벽부에 대해 수직을 향하는 방향과 상기 일측을 향하는 방향 사이의 방향으로 가이드하는 가이드부와,
상기 벽부측에 설치되고, 상기 시일면과 직교하는 방향으로 신장되는 안내로와,
상기 시일면에 대해 평행하고, 또한 상기 축에 교차하는 축 주위로 회전 가능하게 상기 커버 부재에 설치되고, 상기 이동 기체가 상기 타측으로 이동하고 있을 때에 상기 안내로에 접촉하여 당해 안내로를 따라 구르는 회전체와,
상기 커버 부재를 상기 이동 기체에 대해 상기 벽부측으로부터 상기 후퇴 위치측을 향해 가압하는 가압 기구를 구비하고,
상기 커버 부재는, 이동 기체가 상기 일측 위치에 있을 때에는 후퇴 위치에 놓이는 한편, 상기 이동 기체의 상기 타측으로의 이동에 의해 상기 회전체의 구름 이동과 상기 가이드부에 의한 가이드 작용에 의해 후퇴 위치로부터 전진하여, 상기 시일면에 대향한 자세에서 상기 개구부를 폐색하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 반도체 제조 장치는,
기판 반송 용기가 적재되는 적재대와,
기판에 대해 처리를 행하는 처리부와,
상기 적재대 상의 기판 반송 용기와 상기 처리부 사이에서 기판의 전달을 행하는 기판 반송 기구와,
상기 적재대 상의 기판 반송 용기의 덮개 또는 상기 처리부와 상기 기판 반송 기구 사이에 설치된 덮개의 개폐를 행하기 위한 상술한 개폐 장치를 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 벽부에 형성된 개구부를 통해 기판의 반송 영역측으로부터 기판 반송 용기의 덮개의 착탈(개폐)을 행하는 데 있어서, 반송 영역측 개구부의 테두리부를 연직면에 대해 상향으로 경사지게 하고 있다. 그리고 승강 기체와 함께 커버 부재를 승강 가능하게 구성하고, 커버 부재에 회전체를 설치하는 동시에, 승강 기체가 하강할 때에 커버 부재가 개구부에 대향한 자세에서 당해 개구부를 향해 전진하도록, 회전체가 회전하여 안내되는 안내로를 설치하고 있다. 따라서, 승강 기체의 승강 동작에 의해 개구부의 테두리부의 주위에 형성된 시일 부재에 대해 커버 부재를 접촉시키는 데 있어서, 당해 시일 부재의 미끄럼 이동을 억제할 수 있으므로, 시일부의 마모를 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명의 개폐 장치가 적용되는 종형 열처리 장치의 일례를 도시하는 종단면도.
도 2는 상기 종형 열처리 장치를 도시하는 횡단 평면도.
도 3은 상기 개폐 장치의 일례를 도시하는 분해 사시도.
도 4는 상기 종형 열처리 장치에 있어서 개폐 장치에 의해 덮개의 착탈이 행해지는 영역을 도시하는 반송구의 사시도.
도 5는 상기 개폐 장치에 의해 시일되는 시일부를 도시하는 단면도.
도 6은 상기 개폐 장치를 모식적으로 도시하는 모식도.
도 7은 상기 개폐 장치를 도시하는 측면도.
도 8은 상기 개폐 장치를 도시하는 종단면도.
도 9는 상기 개폐 장치를 도시하는 횡단 평면도.
도 10은 상기 개폐 장치를 도시하는 횡단 평면도.
도 11은 상기 개폐 장치에 설치되는 스토퍼 기구를 도시하는 사시도.
도 12는 상기 스토퍼 기구를 도시하는 횡단 평면도.
도 13은 상기 개폐 장치의 일부를 도시하는 정면도.
도 14는 상기 개폐 장치에 있어서 커버 부재를 가이드하는 가이드부를 도시하는 사시도.
도 15는 상기 가이드부를 도시하는 측면도.
도 16은 상기 개폐 장치의 작용을 도시하는 작용도.
도 17은 상기 개폐 장치의 작용을 도시하는 작용도.
도 18은 상기 개폐 장치의 작용을 도시하는 작용도.
도 19는 상기 개폐 장치의 작용을 도시하는 작용도.
도 20은 상기 개폐 장치의 작용을 모식적으로 도시하는 모식도.
도 21은 상기 개폐 장치의 다른 예를 도시하는 측면도.
도 22는 상기 개폐 장치의 다른 예를 도시하는 측면도.
도 23은 상기 개폐 장치의 다른 예를 도시하는 정면도.
도 24는 상기 개폐 장치의 다른 예를 도시하는 정면도.
도 25는 상기 개폐 장치의 다른 예를 도시하는 측면도.
도 26은 상기 개폐 장치의 다른 예를 도시하는 사시도.
도 27은 상기 개폐 장치의 다른 예를 도시하는 측면도.
본 발명의 기판 반송 용기의 개폐 장치의 실시 형태의 일례로서, 당해 개폐 장치를 적용한 반도체 제조 장치인 종형 열처리 장치를 예로 들어, 도 1 내지 도 15를 참조하여 설명한다. 처음에, 개폐 장치(20) 및 종형 열처리 장치의 개략에 대해 설명한다. 개폐 장치(20)는, 복수매, 예를 들어 25매의 웨이퍼(W)를 선반 형상으로 수납하는 밀폐형 반송 용기인 FOUP(1)로부터, 당해 FOUP(1)의 측방측(전방면측) 개구부(2)에 기밀하게 설치된 덮개(3)를 착탈(개폐)하기 위한 것이다. 그로 인해, 개폐 장치(20)는, 종형 열처리 장치에 대해 외부로부터 FOUP(1)가 반입되는 반입출 에어리어 S1과, FOUP(1)로부터 취출된 웨이퍼(W)의 반송을 행하는 로딩 에어리어 S2 사이[상세하게는 이들 에어리어 S1, S2 사이의 측벽부(4)보다도 로딩 에어리어 S2측]에 배치되어 있다. 이 측벽부(4)에는, 덮개(3)나 웨이퍼(W)의 반송을 행하기 위한 반송구(5)가 형성되어 있고, 후술하는 바와 같이, 로딩 에어리어 S2측에 있어서의 반송구(5)[통 형상체(5a)]의 개구 테두리의 주위에는, 덮개(3)가 착탈되는 개폐 영역 S3을 에어리어 S1, S2로부터 기밀하게 구획하기 위한 시일 부재(56)가 경사 상측을 향하도록 형성되어 있다. 그리고 상술한 개폐 장치(20)는, 승강 로드(21)를 따라 연직 방향으로 승강함으로써, 상기 시일 부재(56)에 대해 수직으로 이동하여 기밀하게 접촉하도록 구성되어 있다.
계속해서, 개폐 장치(20)의 상세에 대해 서술하기 전에, 종형 열처리 장치의 전체의 개관(槪觀)에 대해 간단하게 설명한다. 반입출 에어리어 S1에는, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 측벽부(4)의 일면측(반입출 에어리어 S1측)에 있어서의 상술한 반송구(5)의 개구 테두리(테두리부)에 대해 FOUP(1)의 덮개(3)의 주위를 기밀하게 접촉시키기 위해, 당해 FOUP(1)를 도 1 중 전후 방향(X 방향)으로 진퇴시키기 위한 적재대(6)가 좌우 방향(Y 방향)으로 서로 이격되어 복수 군데, 예를 들어 2군데에 배치되어 있다. 이 반입출 에어리어 S1측에 있어서의 반송구(5)의 주위에는, 측벽부(4)에 접촉된 FOUP(1)의 개구 테두리와 기밀하게 접촉하도록, 도 7에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 수지나 고무 등으로 이루어지는 시일부(10)가 주위 방향에 걸쳐 설치되어 있다. 도 1 중 부호 7은 종형 열처리 장치의 외부의 도시하지 않은 반송 기구에 의해 FOUP(1)가 적재되는 반입출 스테이지, 부호 8은 웨이퍼(W)가 취출되어 빈 FOUP(1)를 보관하기 위한 보관 영역, 부호 9는 이들 적재대(6), 반입출 스테이지(7) 및 보관 영역(8) 사이에 있어서 FOUP(1)의 반송을 행하는 반송 아암이다. 또한, 시일부(10)에 대해서는, 도 7 이외에서는 묘화를 생략하고 있다.
반입출 스테이지(7)로부터 보아 반입출 에어리어 S1의 안쪽에는, 상술한 로딩 에어리어 S2가 배치되어 있다. 이 로딩 에어리어 S2에는, 반송구(5, 5)에 대향하도록 각각 개폐 장치(20, 20)가 설치되어 있고, 개폐 장치(20, 20)의 더 안쪽에는 다수매, 예를 들어 100매 정도의 웨이퍼(W)를 선반 형상으로 유지하는 승강 가능 및 연직축 주위로 회전 가능하게 구성된 웨이퍼 보트(11)가 배치되어 있다. 이들 개폐 장치(20)와 웨이퍼 보트(11) 사이에는, 반입출 에어리어 S1의 FOUP(1)와 웨이퍼 보트(11) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 행하기 위한 웨이퍼 반송 아암(12)이 기판 반송 기구로서 설치되어 있고, 이 웨이퍼 반송 아암(12)은 전후 방향으로 진퇴 가능, 연직축 주위로 회전 가능, 좌우 방향으로 이동 가능 및 승강 가능하게 구성되어 있다. 웨이퍼 보트(11)의 상방측에는, 당해 웨이퍼 보트(11)가 기밀하게 수납되어 웨이퍼(W)에 대해, 예를 들어 가열 처리가 행해지는 종형의 처리부를 이루는 반응관(13)이 설치되어 있다. 이 반응관(13)의 하방에는, 당해 반응관(13)의 하단부측인 노구(爐口)를 기밀하게 개폐하기 위한 덮개(13a)를 수평으로 유지하여 진퇴 가능하게 구성된 도시하지 않은 덮개 개폐 기구가 설치되어 있다. 도 1 및 도 2에 있어서의 부호 14는, 종형 열처리 장치의 외부와 당해 종형 열처리 장치 사이에 설치된 하우징이며, 이 하우징(14)의 일부를 이루는 벽면부가 상술한 에어리어 S1, S2 사이에 형성되어 있다.
여기서, 로딩 에어리어 S2측에 있어서의 상술한 반송구(5)의 개구 테두리가 이루는 면은, 경사 상방을 향하도록 형성되어 있다. 즉, 로딩 에어리어 S2에는, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 전후 방향으로 신장되는 동시에 일단부측 및 타단부측이 각각 개방되는 개략 각 통형의 통 형상체(5a)가 설치되어 있고, 이 통 형상체(5a)의 상기 일단부측은, 주연부가 반송구(5)의 개구 테두리를 향해 주위 방향에 걸쳐 수평으로 신장되어 측벽부(4)에 기밀하게 접속되어 있다. 이 통 형상체(5a)의 타단부측이 이루는 면은, 경사 상방을 향하고 있다. 따라서, 반송구(5)에 있어서의 반입출 에어리어 S1측 개구부 및 로딩 에어리어 S2측 개구부를 각각 제1 개구부 및 제2 개구부라 하면, 제2 개구부는, 연직면에 대해 상향으로 경사지도록 형성되어 있다. 이 예에서는, 수평면과 통 형상체(5a)의 타단부측이 이루는 면의 각도 θ는, 도 6에 도시하는 바와 같이 예를 들어 80˚로 되어 있다. 또한, 도 6은 개폐 장치(20)를 모식적으로 도시하고 있다.
로딩 에어리어 S2측에 있어서의 통 형상체(5a)의 타단부측에는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 당해 통 형상체(5a)의 개구 테두리를 둘러싸도록, 주위 방향에 걸쳐 수지나 고무 등으로 이루어지는 시일 부재(56)가 설치되어 있다. 시일 부재(56)는, 이 예에서는 탄성력이 얻어지기 쉽도록(시일하기 쉽도록), 도 5에 도시하는 바와 같이, 당해 시일 부재(56)의 길이 방향에 직교하는 방향으로 절단하였을 때에, 중앙부가 웨이퍼 반송 아암(12)측을 향해 돌출되도록 형성되어 있다. 통 형상체(5a)의 하면측에는, 개폐 영역 S3의 분위기를 배기하기 위한 배기구(57)가 형성되어 있고, 이 배기구(57)로부터 종형 열처리 장치의 하방측을 향해 신장되는 배기로(58)에는, 도시하지 않은 배기 펌프가 접속되어 있다. 또한, 도 4는 시일 부재(56)를 모식적으로 도시하고 있고, 도 3은 측벽부(4)로부터 통 형상체(5a)를 이격시켜 묘화하고 있다. 또한, 도 10에 있어서는 시일 부재(56)를 생략하고 있다.
이어서, 도 3 내지 도 15를 참조하여 개폐 장치(20)에 대해 상세하게 서술한다. 이 개폐 장치(20)는, 상하 방향으로 각각 신장되는 동시에 측벽부(4)를 따르도록 좌우에 서로 이격되어 평행하게 배치된 승강 기구(이동 기구)의 일부인 승강 로드(21, 21)와, 승강 로드(21, 21)를 따라 각각 승강 가능하게 구성된 개략 판형상의 승강 기체[이동 기체(22, 22)]를 구비하고 있다. 그리고 이들 승강 기체(22, 22) 사이에는, 당해 승강 기체(22, 22)와 함께 승강 가능 및 승강 기체(22, 22)에 대해 전후 방향으로 진퇴 가능하게 되도록, 반송구(5)측이 개방되는 개략 상자형의 커버 부재(23)가 승강 기체(22, 22)에 의해 지지되어 있다. 또한, 도 7은 개폐 장치(20)를 도시하기 위해 승강 로드(21)의 일부를 생략하여 1점 쇄선으로 도시하고 있다.
승강 로드(21, 21)는, 상단부측이 지지부(24)를 통해 측벽부(4)에 지지되고, 하단부측이 바닥면에 고정되어 있다. 이들 승강 로드(21, 21)의 예를 들어 내부에는, 도시하지 않은 에어 실린더 기구가 조합되어 설치되어 있고, 당해 기구에 의해 승강 기체(22, 22)가 서로 평행하게 승강 가능하게 지지되어 있다. 또한, 도 9는 개폐 장치(20)에 커버 부재(23)를 설치한 상태, 도 10은 커버 부재(23)를 제거한 상태를 묘화하고 있다.
각각의 승강 기체(22, 22)는, 측벽부(4)를 향해 신장되도록 형성된 개략 판형상체를 이루고 있고, 웨이퍼 반송 아암(12)측의 일단부에 승강 로드(21)가 상하 방향으로 관통 삽입되는 동시에, 예를 들어 반송구(5)측의 타단부가 측벽부(4)에 형성된 가이드 홈(25)에 끼워 맞추어져 상하 방향으로 가이드되도록 구성되어 있다. 이들 승강 로드(21, 21)에 의해, 승강 기체(22, 22)는, 반송구(5)를 면하는[반송구(5)에 대향하는] 하방 위치와, 웨이퍼 반송 아암(12)에 의한 FOUP(1)로부터의 웨이퍼(W)의 취출 동작에 간섭하지 않도록 상방측으로 퇴피하는 퇴피 위치 사이에 있어서, 상술한 커버 부재(23)를 좌우 방향에 있어서의 측면측으로부터 사이에 끼우도록 지지하여 승강하도록 구성되어 있다.
승강 기체(22, 22)와 커버 부재(23) 사이에는, 상술한 바와 같이 당해 승강 기체(22, 22)에 대해 커버 부재(23)를 전후 방향으로 진퇴 가능하게 지지하기 위해, 서로 상하 방향으로 이격되도록 배치된 가이드부(26, 26)가 각각 설치되어 있다. 구체적으로는, 각각의 가이드부(26)는, 예를 들어 전후 방향으로 신장되도록 승강 기체(22)에 형성된 관통구(26a)와, 일단부측이 커버 부재(23)에 있어서의 당해 승강 기체(22)에 대향하는 측벽면에 고정되는 동시에, 타단부측이 상기 관통구(26a) 내에 관통 삽입되어 당해 관통구(26a)를 따라 이동함으로써 커버 부재(23)를 진퇴시키는 막대 형상의 진퇴축(26b)에 의해 구성되어 있다.
이때, 각각의 관통구(26a)는, 관통구(26a)를 따라 커버 부재(23)가 반송구(5)측으로 이동할 때에 승강 기체(22, 22)에 대해 상대적으로 상승하도록, 안쪽으로부터 전방측을 향해 경사 상측으로 경사지도록 형성되어 있다. 즉, 후술하는 바와 같이, 커버 부재(23)가 웨이퍼 반송 아암(12)측으로부터 반송구(5)측으로 이동할 때, 이 커버 부재(23)는 통 형상체(5a)의 개구 단부를 향해 경사 하측으로 이동하게 된다. 그로 인해, 승강 기체(22)로부터 보면, 상기 경사 하측으로 이동하는 커버 부재(23)는, 당해 승강 기체(22)보다도 연직 방향 하방측으로 이동하는 속도가 지연되므로, 승강 기체(22)에 대해 상대적으로 상승한다고 할 수 있다. 따라서, 승강 기체(22)에 대한 상대적인 이동 방향을 따르도록, 상술한 관통구(26a)의 방향을 설정하고 있다. 이와 같이 관통구(26a)를 비스듬히 형성함으로써, 커버 부재(23)는, 상기 퇴피 위치를 향해 승강 기체(22)가 상승할 때에 당해 커버 부재(23)의 하단부가 다른 부위[후술하는 안내부(61)]에 지지되어 있지 않은 상태에서는, 관통구(26a)를 따라 중력에 의해 하방측[웨이퍼 반송 아암(12)측]에 위치한다.
그리고 가이드부(26)를 상하 방향으로 2군데에 설치하고 있으므로, 전후 방향으로 커버 부재(23)가 이동할 때, 커버 부재(23)는 가이드부(26)에 의해 가이드되면서, 통 형상체(5a)의 개구면에 대향하는 자세가 유지되도록[반송구(5)측 또는 웨이퍼 반송 아암(12)측으로 쓰러지지 않도록] 구성되어 있다. 관통구(26a)가 신장되는 방향과 수평면의 이루는 각도 α는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 10˚로 되어 있다.
여기서, 이상의 예에서는, 가이드부(26)의 기능을 이해하기 쉽게 설명하기 위해, 가이드부(26)로서 상술한 관통구(26a) 및 진퇴축(26b)으로 이루어지는 구성을 예로 들었지만, 실제로는 이들 관통구(26a) 및 진퇴축(26b) 대신, 도 14 및 도 15에 도시하는 바와 같이, 승강 기체(22)측에 설치된 가이드 레일(100)과, 커버 부재(23)에 설치되고, 가이드 레일(100)에 가이드되어 진퇴하는 진퇴부(101)를 구비한 구성으로 되어 있다. 또한, 도 14 및 도 15에서는 가이드부(26)에 대해 하나만 묘화하고 있고, 개폐 장치(20)의 일부를 도시하고 있다.
각각의 승강 기체(22, 22)와 커버 부재(23) 사이에는, 승강 기체(22, 22)에 대해 커버 부재(23)를 웨이퍼 반송 아암(12)측으로 가압하기 위해, 스프링 등으로 이루어지는 가압 기구(31)가 각각 설치되어 있다. 구체적으로는, 커버 부재(23)에 있어서의 승강 기체(22, 22)에 각각 대향하는 면에는, 가이드부(26, 26) 사이에 있어서 당해 승강 기체(22, 22)측을 향해 개략 직사각형으로 돌출하는 돌출부(32)가 형성되어 있고, 각각의 승강 기체(22, 22)에는, 이 돌출부(32)가 헐겁게 끼워지는(간극 영역을 사이에 두고 끼워 넣어지는) 개구부(33)가 형성되어 있다.
돌출부(32)에 있어서의 전후 방향의 측면 중 반송구(5)측 측면과, 당해 측면에 대향하는 개구부(33)의 내벽면 사이에는, 도 11 및 도 12에 도시하는 바와 같이, 일단부측 및 타단부측이 이들 측면 및 내벽면에 각각 고정된 상술한 가압 기구(31)가 설치되어 있다. 이 가압 기구(31)는, 상술한 바와 같이 커버 부재(23)가 관통구(26a)를 따라 중력에 의해 하측[웨이퍼 반송 아암(12)측]으로 이동할 때에, 이 이동을 보조하기 위한 것이다. 가압 기구(31)의 신축 방향은, 상술한 관통구(26a)의 길이 방향을 따르도록 구성되어 있다. 이때, 개구부(33)는, 가압 기구(31)의 신축 동작에 간섭하지 않도록, 관통구(26a)의 길이 방향을 따르도록 형성되어 있고, 개구부(33) 및 돌출부(32)에 있어서 당해 가압 기구(31)를 고정하는 면은, 상기 신축 방향에 대해 직교하도록 형성되어 있다. 또한, 도 3에 있어서는, 가압 기구(31)를 생략하고 있다.
상술한 가압 기구(31)가 고정되어 있는 커버 부재(23) 측의 면 및 승강 기체(22) 측의 면을 각각 제1 지지면(34) 및 제2 지지면(35)이라 하면, 제2 지지면(35)에는, 이들 승강 기체(22)와 커버 부재(23)의 충돌을 방지하기 위해, 예를 들어 수지 등으로 이루어지는 탄성체가 제1 지지면(34)에 대해 간극 영역을 사이에 두고 대향하도록 스토퍼 기구(36)로서 설치되어 있다. 또한, 돌출부(32)에 있어서의 상기 제1 지지면(34)의 반대측 면에는, 마찬가지로 승강 기체(22)와 커버 부재(23)의 충돌을 방지하기 위한 스토퍼 기구(36)가 설치되어 있다.
계속해서, 커버 부재(23)에 대해 상세하게 서술한다. 커버 부재(23)는, 상술한 바와 같이 반송구(5)측이 개방되는 개략 상자형 형상을 이루고 있고, 하단부측이 승강 기체(22)의 하단부 테두리보다도 하방측으로 신장되어 있다. 이 커버 부재(23)의 측면부에 있어서의 상술한 가이드부(26, 26)의 하방측에는, 측벽부(4)에 평행한 수평축 주위로 회전 가능하게 구성된 회전체(41)가 설치되어 있다. 즉, 도 13에 도시하는 바와 같이, 상기 수평축을 따라 신장되는 축부(41a)의 일단부측이 커버 부재(23)에 고정되어 있고, 이 축부(41a)의 타단부측에 회전체(41)가 회전 가능하게 지지되어 있다. 회전체(41)는, 커버 부재(23)에 있어서의 좌우 양측에 설치되어 있다. 또한, 도 13 이외에서는 축부(41a)에 대해 생략하고 있다.
또한, 커버 부재(23)에 있어서의 반송구(5)측에 있어서의 주연부는, 통 형상체(5a)의 개구 테두리(테두리부)와 기밀하게 접촉하도록, 당해 주연부가 이루는 면 이 경사 하방을 향하도록 형성되어 있다. 커버 부재(23)에 있어서의 반송구(5)측에는, 반송구(5)를 통해 반입출 에어리어 S1측으로 신장되어 덮개(3)의 착탈(개폐)을 행하기 위해, 개략 상자형의 덮개 착탈 기구(51)가 설치되어 있다. 또한, 커버 부재(23)의 웨이퍼 반송 아암(12)측의 측면에는, 상기 개폐 영역 S3의 분위기의 치환을 행할 때에 당해 개폐 영역 S3에 대해 청정 기체, 예를 들어 질소 가스를 공급하기 위해, 가스 공급관(52)의 일단부측이 접속되어 있다. 도 3 중 부호 51a는, 덮개(3)의 외측에 설치된 도시하지 않은 열쇠 구멍에 삽입되어 당해 덮개(3)의 로크를 해제하기 위해 덮개 착탈 기구(51)에 설치된 해제 부재이며, 당해 덮개 착탈 기구(51)의 내부에 설치된 도시하지 않은 구동부에 의해 구동[덮개(3)의 착탈]을 행하도록 구성되어 있다. 또한, 도 3 중 부호 51b는, 덮개 착탈 기구(51)를 진퇴시키는 구동 기구이다.
로딩 에어리어 S2측에 있어서의 측벽부(4)에는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 상술한 통 형상체(5a)를 좌우 방향으로부터 사이에 끼우도록, 당해 측벽부(4)로부터 상술한 회전체(41, 41)의 하방 위치를 향해 수직으로 신장되는 안내부(61, 61)가 설치되어 있다. 안내부(61, 61)의 상면은, 회전체(41, 41)의 하방측의 영역[커버 부재(23)가 전후 방향으로 이동하는 영역]에 있어서, 당해 회전체(41, 41)를 반송구(5)측으로 안내하기 위해, 안쪽으로부터 전방측을 향해 경사 하측으로 경사지도록 형성되어 있다. 이 안내로(62)와 수평면이 이루는 각도 β는, 통 형상체(5a)의 개구면에 대해 직교하는 각도로 되도록, 구체적으로 당해 개구면에 대해 90˚±5˚로 되도록, 도 6에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 10˚로 되어 있다. 안내부(61)의 상면의 경사면은, 안내로(62)를 이루고 있다.
이 종형 열처리 장치에는, 장치 전체의 동작의 컨트롤을 행하기 위한 컴퓨터로 이루어지는 도시하지 않은 제어부가 설치되어 있고, 이 제어부의 메모리 내에는, 종형 열처리 장치의 외부로부터 반입된 FOUP(1)로부터 웨이퍼(W)를 취출하여, 반응관(13) 내에 있어서 웨이퍼 보트(11)에 적재된 웨이퍼(W)에 대해 가열 처리를 행하기 위한 프로그램이 저장되어 있다. 이 프로그램은, 하드 디스크, 콤팩트 디스크, 광자기 디스크, 메모리 카드, 플렉시블 디스크 등의 기억 매체인 기억부로부터 제어부 내에 인스톨된다.
다음에, 상술한 실시 형태의 작용에 대해 설명한다. 우선, 종형 열처리 장치의 외부의 도시하지 않은 반송 기구에 의해 반입출 스테이지(7)로 반송된 FOUP(1)를 반송 아암(9)에 의해 적재대(6)에 적재한다. 이때, 반입출 에어리어 S1측의 분위기가 로딩 에어리어 S2측으로 유입되지 않도록, 당해 로딩 에어리어 S2측에는, 통 형상체(5a)의 개구부를 기밀하게 폐색하도록 커버 부재(23)가 위치하고 있고, 안내부(61) 상에 회전체(41)가 위치하고 있다. 그리고 도 16에 도시하는 바와 같이, 적재대(6)를 안쪽으로 이동시켜, FOUP(1)의 덮개(3)측[개구부(2)에 있어서의 개구 테두리]을 로딩 에어리어 S2측에 기밀하게 접촉시킨다. 이렇게 하여 덮개(3)가 위치하는 영역인 상술한 개폐 영역 S3은, 각 에어리어 S1, S2로부터 기밀하게 구획된다.
계속해서, 배기로(58)를 통해 상기 개폐 영역 S3 내의 분위기를 배기하는 동시에, 당해 개폐 영역 S3에 대해 가스 공급관(52)으로부터 청정 기체를 공급하여, 이 개폐 영역 S3의 분위기를 치환한다. 따라서, FOUP(1)측(반입출 에어리어 S1측)의 분위기는, 이 개폐 영역 S3으로부터 배출된다. 또한, 시일 부재(56)를 통해 통 형상체(5a)와 커버 부재(23) 사이가 기밀하게 구획되어 있으므로, 상기 청정 기체나 반입출 에어리어 S1측의 분위기는, 로딩 에어리어 S2측으로 유입되지 않는다.
이어서, 커버 부재(23)에 설치된 상술한 덮개 착탈 기구(51)가 통 형상체(5a)의 내부 영역 및 반송구(5)를 통해 FOUP(1)측으로 신장되어, 해제 부재(51a)를 통해 덮개(3)를 당해 FOUP(1)로부터 제거한 후, 덮개 착탈 기구(51)가 덮개(3)와 함께 커버 부재(23)측의 원래의 위치로 복귀된다. 그리고 도 17에 도시하는 바와 같이, 승강 기체(22)는 커버 부재(23), 덮개 착탈 기구(51) 및 덮개(3)와 함께, 웨이퍼 반송 아암(12)에 의한 FOUP(1)로부터의 웨이퍼(W)의 반출에 간섭하지 않는 상측의 퇴피 위치로 퇴피된다. 이때, 승강 기체(22)가 상승하면 회전체(41)가 안내부(61)로부터 이격되어 간다. 그로 인해, 상술한 바와 같이 가이드부(26)가 반송구(5)측으로부터 웨이퍼 반송 아암(12)측을 향할수록 하강하도록 경사져 있고, 또한 가압 기구(31)에 의해 커버 부재(23)가 웨이퍼 반송 아암(12)측으로 가압되어 있으므로, 커버 부재(23)는, 퇴피 위치에 있어서 반송구(5)측으로부터 웨이퍼 반송 아암(12)측으로 이격된 영역(후퇴 위치)에 위치한다. 또한, 도 17에서는 덮개(3)의 기재를 생략하고 있다.
계속해서, 웨이퍼 반송 아암(12)이 FOUP(1)측으로 신장되어, 통 형상체(5a) 및 반송구(5)를 통해 웨이퍼(W)를 취출하는 동작과, 웨이퍼 보트(11)에 이 웨이퍼(W)를 적재하는 동작을 복수회 반복하여, FOUP(1)로부터 예를 들어 모든 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(11)로 재이동한다. 빈 FOUP(1)는, 이하와 같이 하여 덮개(3)가 폐쇄된다(장착된다).
즉, 상술한 퇴피 위치로부터 승강 기체(22)가 커버 부재(23)와 함께 하측 위치를 향해 하강한다. 그리고 승강 기체(22)가 하강하는 도중에 있어서, 도 18에 도시하는 바와 같이, 회전체(41)가 안내부(61)에 접촉한다. 이어서, 승강 기체(22)가 더 하강하려고 하면, 회전체(41)는 안내부(61)에 의해 연직 방향 하방측으로의 이동이 규제되어 있으므로, 안내부(61)의 안내로(62)를 따라 구르면서 하강하여, 커버 부재(23)를 통 형상체(5a)의 개구면을 향해 수직으로 이동시킨다. 이때, 커버 부재(23)는, 연직면에 대한 자세가 가이드부(26)에 의해 규제되어 있으므로, 도 19에 도시하는 바와 같이, 통 형상체(5a)의 개구면에 대한 당해 커버 부재(23)에 있어서의 반송구(5)측 면이 평행 자세를 유지한 상태로 전진한다. 그 후, 커버 부재(23)는, 상술한 도 16과 같이, 시일 부재(56)를 통해 당해 통 형상체(5a)의 개구면에 기밀하게 접촉한다. 계속해서, 덮개(3)를 유지한 덮개 착탈 기구(51)가 통 형상체(5a) 및 반송구(5)를 통해 FOUP(1)측으로 신장되어, FOUP(1)에 대해 당해 덮개(3)의 장착을 행한다. 또한, 도 16 내지 도 19에서는 승강 로드(21)의 일부를 생략하고 있다.
이와 같이 커버 부재(23)가 통 형상체(5a)를 향해 이동하는 모습을 모식적으로 도시하면, 도 20과 같이, 회전체(41)가 안내로(62)를 하방측[반송구(5)측]을 향해 이동하면서, 가이드부(26)에 있어서의 진퇴축(26b)이 관통구(26a) 내를 경사 상측을 향해 상승하고 있는 것을 알 수 있다. 또한, 도 20에 있어서, 커버 부재(23)가 통 형상체(5a)에 기밀하게 접촉할 때까지의 이들 커버 부재(23), 가이드부(26) 및 회전체(41)가 위치하는 어느 영역에 있어서의 능선을 1점 쇄선으로 묘화하고 있다.
이렇게 하여 덮개(3)가 장착된 빈 FOUP(1)를 보관 영역(8)으로 반송한 후, 미처리 웨이퍼(W)가 수납된 다른 FOUP(1)에 대해, 마찬가지로 덮개(3)의 제거, 웨이퍼(W)의 반출 및 덮개(3)의 설치를 행한다. 그리고 복수의 FOUP(1)로부터 웨이퍼(W)를 순차 취출한 후, 예를 들어 150매 정도의 웨이퍼(W)가 적재된 웨이퍼 보트(11)를 반응관(13) 내에 기밀하게 삽입하여, 각각의 웨이퍼(W)에 대해 예를 들어 성막 처리 등의 가열 처리를 행한다. 그 후, FOUP(1)로부터 반출된 순서와 역순으로, 원래의 FOUP(1)로 각각의 웨이퍼(W)를 반입한다.
상술한 실시 형태에 따르면, 측벽부(4)에 형성된 반송구(5)를 통해 FOUP(1)의 덮개(3)의 착탈을 행하는 데 있어서, 로딩 에어리어 S2측에 있어서의 반송구(5)의 개구 단부가 경사 상방을 향하도록, 당해 측벽부(4)에 통 형상체(5a)를 기밀하게 접속하고 있다. 그리고 승강 기체(22)와 함께 커버 부재(23)를 승강 가능하게 구성하고, 커버 부재(23)에 회전체(41)를 설치하는 동시에, 승강 기체(22)가 하강할 때에 커버 부재(23)가 통 형상체(5a)의 개구면에 대해 수직으로 이동하도록, 회전체(41)가 안내되는 안내부(61)를 설치하고 있다. 이때, 커버 부재(23)가 통 형상체(5a)를 향해 이동할 때에, 당해 커버 부재(23)의 자세를 규제하기 위해, 커버 부재(23)와 승강 기체(22) 사이에 가이드부(26)를 각각 설치하고 있다. 따라서, 커버 부재(23)는, 승강 기체(22)의 승강 동작만으로, 승강하는 동시에 시일 부재(56)에 대해 수직으로 이동한다. 그로 인해, 시일 부재(56)에 대한 커버 부재(23)의 미끄럼 이동이 억제되므로, 시일 부재(56)의 마모(열화)를 억제할 수 있다. 이때, 실험용 유닛을 사용하여 개폐 장치(20)를 구성하고, 시일 부재(56)의 내마모성의 가속 시험을 행한 바, 10년분의 개폐 장치(20)의 가동을 행해도, 시일 부재(56)의 마모는 확인되지 않았다.
또한, 승강 기체(22)의 승강 동작에 의해 시일 부재(56)에 대해 기밀하게 접촉되어 있으므로, 커버 부재(23)를 전후 방향으로 이동시키는 기구(구동축)가 불필요해지고, 따라서 당해 구동축을 설치한 경우에 비해 구동계를 간소화할 수 있으므로, 장치 비용을 저감시킬 수 있다. 또한, 스토퍼 기구(36, 36)를 설치하고 있으므로, 커버 부재(23)와 승강 기체(22)의 충돌을 억제할 수 있다.
상술한 가이드부(26)에 있어서의 수평면에 대한 각도 α는 0˚＜α＜90˚이면 되고, 즉 안내부(61)에 의해 안내되는 커버 부재(23)의 이동을 저해하지 않는 각도이면 되지만, 지나치게 급준하면(90˚에 가까우면) 커버 부재(23)가 시일 부재(56)에 도달할 때까지 필요로 하는 승강 기체(22)의 이동 스트로크가 길어져 버리기 때문에 누워 있는(0˚에 가까운) 쪽이 바람직하다. 이상에 있어서 시일 부재(56)에 대해 커버 부재(23)가 수직으로 이동하는 데 있어서, 「수직」이라 함은, 시일 부재(56)의 마모가 억제되는 정도이면 되고, 구체적으로는 90˚±5˚로 된다. 또한, 회전체(41) 및 안내부(61)로 이루어지는 구성을 커버 부재(23)의 좌우 방향 양측에 설치하였지만, 편측에만 설치해도 되고, 예를 들어 통 형상체(5a)의 하방 위치에 설치해도 된다. 또한, 승강 로드(21) 및 승강 기체(22)를 커버 부재(23)의 좌우 양측에 설치하였지만, 이들 승강 로드(21) 및 승강 기체(22)를 커버 부재(23)의 편측에만 설치하여, 편측 지지에 의해 커버 부재(23)를 승강시키는 기구를 채용해도 된다.
이하에, 개폐 장치(20)의 다른 실시 형태에 대해 서술한다. 도 21은, 회전체(41) 및 안내부(61)에 대해, 커버 부재(23)의 하방측에 설치하는 대신에, 당해 커버 부재(23)의 상방측에 각각 배치한 예를 도시하고 있다. 구체적으로는, 커버 부재(23)의 상면측에는, 상하 방향으로 신장되는 지지축(71)의 하단부측이 접속되어 있다. 이 지지축(71)의 상단부측은, 예를 들어 커버 부재(23)가 승강하는 승강 영역을 피하도록, 웨이퍼 반송 아암(12)측으로부터 반송구(5)측을 보았을 때에 상방측을 향함에 따라서 외측으로 넓혀지도록 굴곡하는 동시에, 회전체(41)[상세하게는 상술한 축부(41a)]에 접속되어 있다. 그리고 이 회전체(41)의 하면을 안내하도록, 상기 승강 영역을 피한 위치에 있어서 커버 부재(23)의 상방측에 안내부(61)가 설치되어 있다.
또한, 도 22는 퇴피 위치를 통 형상체(5a)보다도 하방측에 설정한 예를 도시하고 있다. 즉, 이 예에 있어서의 개폐 장치(20)는, 상술한 도 3에 있어서의 개폐 장치(20)를 상하 반전시킨 상태로 되어 있다. 구체적으로는, 통 형상체(5a)는, 경사 하측을 향하도록 형성되어 있다. 또한, 안내부(61)는, 상술한 안내로(62)가 하측을 향하는 동시에 커버 부재(23)의 상방측에 위치하도록 배치되어 있다. 이 안내로(62)는, 전방측으로부터 안쪽을 향해 경사 하측으로 경사지도록 형성되어 있다. 가이드부(26)는, 마찬가지로 전방측으로부터 안쪽을 향해 경사 상방을 향하도록 형성되어 있다.
이 예에서는, 커버 부재(23)는, 퇴피 위치에서는 가압 기구(31)의 가압력에 의해, 웨이퍼 반송 아암(12)측[관통구(26a)에 있어서의 안쪽]에 위치하고 있다. 그리고 승강 기체(22)가 상승하여 회전체(41)가 안내로(62)에 접촉하면, 가압 기구(31)의 가압력에 저항하여, 회전체(41)가 안내로(62)를 따라 통 형상체(5a)측으로 이동하면서 상승하고, 또한 승강 기체(22)에 대해 커버 부재(23)가 상대적으로 하강하여, 시일 부재(56)에 대해 커버 부재(23)가 수직을 향하게 된다.
또한, 도 23은 회전체(41)의 회전면 및 안내로(62)를 수평면에 대해 경사지게 한 예를 도시하고 있다. 즉, 회전체(41)는, 회전축 방향에 있어서, 외측[승강 로드(21)측]으로부터 내측[커버 부재(23)측]을 향함에 따라서 직경 축소되도록 형성되어 있다. 안내로(62)는, 이 회전체(41)의 회전면을 따르도록, 상기 외측으로부터 상기 내측을 향할수록 높아지도록 형성되어 있다.
또한, 도 24는 회전체(41)의 회전축을 수평 방향에 대해 경사지게 한 예를 도시하고 있다. 구체적으로는, 회전체(41)는, 상기 외측으로부터 상기 내측을 향함에 따라서 높아지는 동시에 통 형상체(5a)의 개구면에 대해 평행하고 횡방향[승강 로드(21)가 신장되는 축과 교차하는 방향]의 축 주위로 회전하도록 구성되어 있다. 안내로(62)에 대해서는, 이 회전체(41)의 회전면을 따르도록, 상술한 도 23과 마찬가지로 외측으로부터 내측을 향해 높아져 있다. 여기서, 이러한 회전체(41) 및 안내부(61)를 커버 부재(23)의 좌우 양측에 배치하고 있으므로, 당해 커버 부재(23)는, 안내로(62)로부터 벗어난 영역으로 회전체(41)가 탈락되거나 하지 않고, 상술한 바와 같이 진퇴하게 된다.
또한, 도 25는 안내부(61)에 대해, 경사면인 안내로(62)로서, 안내부(61) 대신에 회전체(41)가 가이드되는 가이드 홈(72)을 형성한 예를 도시하고 있다. 이 예에 있어서, 가이드 홈(72)의 상단부 위치에는, 회전체(41)가 당해 가이드 홈(72)에 대해 출입하기 위한 절결부(73)가 형성되어 있다.
또한, 도 26은 상술한 통 형상체(5a)의 개구면이 경사 상방향 또한 반입출 스테이지(7)로부터 보아 우측으로 치우친 방향을 향하도록 형성한 예를 도시하고 있다. 이 예에 있어서도, 커버 부재(23)가 통 형상체(5a)의 개구면을 향해 수직으로 이동하도록, 회전체(41)는, 도 27에 도시하는 바와 같이, 통 형상체(5a)의 개구면을 따르는 방향으로 신장되는 수평축의 주위를 회전하도록 구성된다. 또한, 안내부(61)는, 이 회전체(41)를 안내하도록, 통 형상체(5a)의 개구면에 대해 직교하도록 안내로(62)가 형성된다.
이상의 예에서는, 승강 기체(22)에 대해, 상하 방향으로 이동하도록 구성하였지만, 측벽부(4)를 따라 좌우 방향으로 이동하도록 구성해도 된다. 이 경우에는, 통 형상체(5a)의 개구면은, 측벽부(4)로부터 수직으로 신장되는 방향에 대해 승강 기체(22)의 이동 방향에 있어서의 일측을 향하도록 형성되고, 이 통 형상체(5a)의 개구면에 대해 수직으로 커버 부재(23)가 이동하도록, 상술한 가이드부(26), 회전체(41) 및 안내부(61)가 배치된다. 구체적으로는, 가이드부(26)는, 안쪽으로부터 전방측을 향함에 따라서, 승강 기체(22)의 이동 방향에 있어서의 타측으로부터 상기 일측으로 경사지도록 형성된다. 회전체(41)는, 통 형상체(5a)의 개구면에 평행하고 승강 기체(22)의 이동 방향과 교차하는 축 주위로 회전하도록 구성된다. 또한, 안내부(61)는, 안쪽으로부터 전방측을 향함에 따라서, 상기 일측으로부터 상기 타측으로 경사지도록 형성된다.
또한, 본 발명의 개폐 장치(20)는, 종형 열처리 장치 이외에도, 웨이퍼(W)에 대해 레지스트막의 형성을 행하는 도포·현상 장치나, 웨이퍼(W) 상에 형성된 전극 패드에 대해 프로브 바늘을 접촉시켜 당해 전극 패드의 검사를 행하는 프로브 장치 등의 반도체 제조 장치에 적용해도 된다. 이러한 경우에 있어서도, 개폐 장치(20)는, 웨이퍼(W)에 대해 각 처리(레지스트막의 형성이나 검사)가 행해지는 처리부와, FOUP(1)가 적재되는 적재대(6) 사이에 설치된다.
또한, 이상의 예에서는 FOUP(1)의 덮개(3)의 착탈을 행하는 경우에 있어서, 시일 부재(56)에 대해 수직으로 커버 부재(23)를 이동시키는 예에 대해 설명하였지만, 본 발명은 FOUP(1)의 덮개(3)를 착탈하는 경우 이외에 적용해도 된다. 구체적으로는, 예를 들어 반응관(13)의 하단부측에 있어서의 개구 단부(노구)를 덮개에 의해 기밀하게 밀폐하는 경우에 적용해도 된다. 이 경우에는, 상기 개구 단부의 주위에 시일 부재가 설치되고, 상술한 개폐 장치(20)는, 상기 개구 단부를 기밀하게 밀폐하는 상술한 덮개(13a)를 수평으로 유지하여, 수평 방향으로 이동하도록 구성된다. 또한, 본 발명은, 예를 들어 분말 등의 피처리물에 대해 복수의 처리(칭량, 혼련, 소결, 분쇄 등)를 순서대로 행하여 고형물 등의 처리물을 얻는 처리 공장에 있어서, 상기 처리를 행하는 공정실 사이를 구획하기 위한 도어(덮개)의 개폐를 행하는 예에 적용해도 된다.
1 : FOUP
3 : 덮개
5 : 반송구
20 : 개폐 장치
21 : 승강 로드
22 : 승강 기체
23 : 커버 부재
26 : 가이드부
41 : 회전체
51 : 덮개 착탈 기구
56 : 시일 부재
61 : 안내부

Claims (6)

  1. 벽부에 있어서의 일면측에 형성된 제1 개구부의 테두리부에, 기판 반송 용기의 전방면을 개폐하는 덮개의 주위를 밀착시켜, 기판의 반송 영역측인 상기 벽부에 있어서의 타면측에 연직면에 대해 상향으로 경사져 형성된 제2 개구부를 통해 상기 덮개를 제거하는 기판 반송 용기의 개폐 장치에 있어서,
    상기 기판의 반송 영역측에 승강 기구에 의해 승강 가능하게 설치된 승강 기체와,
    이 승강 기체에 지지되는 동시에 상기 제2 개구부의 테두리부에 그 주연부를 밀착시켜 당해 제2 개구부를 폐색하도록 구성되고, 상기 제2 개구부를 개폐하기 위한 커버 부재와,
    상기 커버 부재와 상기 제2 개구부의 테두리부 사이를 시일하기 위한 시일 부재와,
    상기 커버 부재에 설치되고, 당해 커버 부재가 상기 제2 개구부를 폐색하고 있을 때에 상기 반송 용기의 덮개의 제거 또는 장착을 행하는 덮개 착탈 기구와,
    상기 승강 기체에 설치되고, 상기 커버 부재가 당해 승강 기체에 대해 후퇴 위치로부터 상기 벽부측을 향해 전진 가능하도록, 당해 커버 부재의 자세를 규제하면서 상향으로 가이드하는 가이드부와,
    상기 벽부측에 설치되고, 상기 제2 개구부의 테두리부에 있어서의 시일면과 직교하는 방향으로 신장되는 안내로와,
    상기 제2 개구부의 개구면에 대해 평행하고, 또한 횡방향의 축 주위로 회전 가능하게 상기 커버 부재에 설치되고, 상기 승강 기체가 하강하고 있을 때에 상기 안내로에 상방측으로부터 접촉하여 당해 안내로를 따라 구르면서 하강하는 회전체를 구비하고,
    상기 커버 부재는, 승강 기체가 상승 위치에 있을 때에는 후퇴 위치에 놓이는 한편, 상기 승강 기체의 하강에 의해 상기 회전체의 구름 이동과 상기 가이드부에 의한 가이드 작용에 의해 후퇴 위치로부터 전진하여, 상기 제2 개구부에 대향한 자세에서 당해 개구부를 폐색하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 기판 반송 용기의 개폐 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 승강 기체에는, 당해 승강 기체에 대한 상기 커버 부재의 진퇴 방향에 대해 직교하는 방향을 따르도록 제1 지지면이 형성되고,
    상기 커버 부재에는, 상기 제1 지지면에 대향하도록 제2 지지면이 형성되고,
    서로 대향하는 제1 지지면 및 제2 지지면끼리의 사이에는, 상기 커버 부재를 상기 벽부측으로부터 반송 영역측으로 가압하기 위한 가압 기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기판 반송 용기의 개폐 장치.
  3. 제2항에 있어서, 서로 대향하는 제1 지지면 및 제2 지지면끼리의 사이에는, 상기 승강 기체와 상기 커버 부재의 충돌을 억제하기 위해, 탄성체로 이루어지는 스토퍼 기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기판 반송 용기의 개폐 장치.
  4. 벽부에 있어서의 일면측에 형성된 제1 개구부의 테두리부에, 기판 반송 용기의 전방면을 개폐하는 덮개의 주위를 밀착시켜, 기판의 반송 영역측인 상기 벽부에 있어서의 타면측에 연직면에 대해 하향으로 경사져 형성된 제2 개구부를 통해 상기 덮개를 제거하는 기판 반송 용기의 개폐 장치에 있어서,
    상기 기판의 반송 영역측에 승강 기구에 의해 승강 가능하게 설치된 승강 기체와,
    이 승강 기체에 지지되는 동시에 상기 제2 개구부의 테두리부에 그 주연부를 밀착시켜 당해 제2 개구부를 폐색하도록 구성되고, 상기 제2 개구부를 개폐하기 위한 커버 부재와,
    상기 커버 부재와 상기 제2 개구부의 테두리부 사이를 시일하기 위한 시일 부재와,
    상기 커버 부재에 설치되고, 당해 커버 부재가 상기 제2 개구부를 폐색하고 있을 때에 상기 반송 용기의 덮개의 제거 또는 장착을 행하는 덮개 착탈 기구와,
    상기 승강 기체에 설치되고, 상기 커버 부재가 당해 승강 기체에 대해 후퇴 위치로부터 상기 벽부측을 향해 전진 가능하도록, 당해 커버 부재의 자세를 규제하면서 하향으로 가이드하는 가이드부와,
    상기 벽부측에 설치되고, 상기 제2 개구부의 테두리부에 있어서의 시일면과 직교하는 방향으로 신장되는 안내로와,
    상기 제2 개구부의 개구면에 대해 평행하고, 또한 횡방향의 축 주위로 회전 가능하게 상기 커버 부재에 설치되고, 상기 승강 기체가 상승하고 있을 때에 상기 안내로에 하방측으로부터 접촉하여 당해 안내로를 따라 구르면서 상승하는 회전체와,
    상기 커버 부재를 상기 승강 기체에 대해 반송 영역측으로 가압하는 가압 기구를 구비하고,
    상기 커버 부재는, 승강 기체가 하강 위치에 있을 때에는 상기 가압 기구의 가압력에 의해 후퇴 위치에 놓이는 한편, 상기 승강 기체의 상승에 의해 상기 회전체의 구름 이동과 상기 가이드부에 의한 가이드 작용에 의해 상기 가압 기구의 가압력에 저항하여 후퇴 위치로부터 전진하여, 상기 제2 개구부에 대향한 자세에서 당해 개구부를 폐색하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 기판 반송 용기의 개폐 장치.
  5. 벽부에 있어서의 일면측 및 타면측이 서로 연통하도록 형성된 개구부의 상기 타면측에서, 상기 일면측에 설치된 기판 반송 용기의 덮개 또는 상기 개구부를 상기 타면측으로부터 기밀하게 폐색하는 덮개를 개폐하는 덮개 개폐 장치에 있어서,
    상기 벽부의 타면측에 설치되고, 당해 벽부를 따라 평행하게 신장되는 축의 일측과 타측 사이에 있어서 이동 기구에 의해 이동 가능하게 설치된 이동 기체와,
    상기 타면측에 있어서의 상기 개구부의 테두리부에 형성되고, 상기 벽부로부터 수직으로 신장되는 방향에 대해 상기 일측으로 경사지도록 구성된 시일면과,
    상기 이동 기체에 지지되는 동시에 상기 타면측에 있어서의 상기 시일면에 그 주연부를 밀착시켜 상기 테두리부를 폐색하도록 구성되고, 상기 개구부를 개폐하기 위한 커버 부재와,
    상기 커버 부재와 상기 시일면 사이를 시일하기 위한 시일 부재와,
    상기 커버 부재에 설치되고, 당해 커버 부재가 상기 개구부를 폐색하고 있을 때에 상기 덮개의 제거 또는 장착을 행하는 덮개 착탈 기구와,
    상기 이동 기체에 설치되고, 상기 커버 부재가 당해 이동 기체에 대해 후퇴 위치로부터 상기 벽부측을 향해 전진 가능하도록, 당해 커버 부재의 자세를 규제하면서 상기 벽부에 대해 수직을 향하는 방향과 상기 일측을 향하는 방향 사이의 방향으로 가이드하는 가이드부와,
    상기 벽부측에 설치되고, 상기 시일면과 직교하는 방향으로 신장되는 안내로와,
    상기 시일면에 대해 평행하고, 또한 상기 축에 교차하는 축 주위로 회전 가능하게 상기 커버 부재에 설치되고, 상기 이동 기체가 상기 타측으로 이동하고 있을 때에 상기 안내로에 접촉하여 당해 안내로를 따라 구르는 회전체와,
    상기 커버 부재를 상기 이동 기체에 대해 상기 벽부측으로부터 상기 후퇴 위치측을 향해 가압하는 가압 기구를 구비하고,
    상기 커버 부재는, 이동 기체가 상기 일측 위치에 있을 때에는 후퇴 위치에 놓이는 한편, 상기 이동 기체의 상기 타측으로의 이동에 의해 상기 회전체의 구름 이동과 상기 가이드부에 의한 가이드 작용에 의해 후퇴 위치로부터 전진하여, 상기 시일면에 대향한 자세에서 상기 개구부를 폐색하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 덮개의 개폐 장치.
  6. 기판 반송 용기가 적재되는 적재대와,
    기판에 대해 처리를 행하는 처리부와,
    상기 적재대 상의 기판 반송 용기와 상기 처리부 사이에서 기판의 전달을 행하는 기판 반송 기구와,
    상기 적재대 상의 기판 반송 용기의 덮개 또는 상기 처리부와 상기 기판 반송 기구 사이에 설치된 덮개의 개폐를 행하기 위한 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 개폐 장치를 구비한 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 장치.
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