FR2607406A1 - Procede de traitement d'un objet dans une atmosphere de haute proprete et conteneur pour la mise en oeuvre de ce procede - Google Patents

Abstract

LA PRESENTE INVENTION A POUR OBJET UN PROCEDE DE TRAITEMENT D'OBJETS TELS QUE DES PLAQUETTES DE SILICIUM AINSI QU'UN CONTENEUR POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE. A L'INTERIEUR D'UN LOCAL DE PROPRETE MOYENNE, ON MAINTIENT LES PLAQUETTES 24 A L'INTERIEUR D'UN CONTENEUR 72 DONT L'ATMOSPHERE EST DE TRES HAUTE PROPRETE GRACE A UN VENTILATEUR 84 QUI FAIT CIRCULER L'AIR A TRAVERS UN FILTRE ABSOLU 100. CE CONTENEUR 72 PEUT SERVIR AU TRANSFERT DES PLAQUETTES 24 GRACE A UN NEZ 104 QUI PEUT PENETRER DANS LE NEZ 105 DE PLUS GRANDE SECTION D'UN AUTRE CONTENEUR 74 DU MEME TYPE PLACE SUR UNE MACHINE 76. UNE TIGE 110 PERMET LE TRANSFERT DU PANIER DE PLAQUETTES 14 DU PREMIER CONTENEUR 72 A L'ASCENSEUR 80 DE LA MACHINE 76. APPLICATION A L'INDUSTRIE DE LA MICROELECTRONIQUE.

Description

DESCRIPTION
PROCEDE DE TRAITEMENT D'UN OBJET DANS UNE ATMOSPHèRE
DE HAUTE PROPRETE ET CONTENEUR POUR LA MISE EN OEUVRE
DE CE PROCEDE.

La présente invention se rapporte au domaine de la ventilation de locaux à L'intérieur desquels L'air doit être d'une très grande propreté et s'applique plus particulièrement dans L'industrie de la microélectronique.

On rappelle que, dans des industries comme la microélectronique, certaines opérations telles que la préparation de plaquettes de silicium doivent être effectuées dans une atmosphère pratiquement exempte d'impuretés ou de poussières, c'est-à-dire dans des locaux appeles "salles blanches". Ceci est obtenu en ventilant les Locaux par de L'air qui a eté filtre par des filtres absolus, c'est-à-dire des filtres qui arrêtent pratiquement toutes les poussières, mêmes les plus fines. Il existe à l'heure actuelle quatre méthodes principales pour maintenir la pureté de l'air dans les salles blanches de la microéLectronique.

Dans le premier type de salle blanche, l'air est introduit dans le local par le plafond et L'écoulement au plafond est un écoulement laminaire,
Le personnel se trouve dans La salle, ainsi que les différents équipements. Cependant, on cherche à réduire le volume occupe par ces derniers dans la salle blanche. Pour cela, on dispose les différentes machines ou appareils à travers une cloison étanche, de sorte qu'une partie de ceux-ci se trouve dans la salle blanche et le reste dans un local dont le degré de propreté n'est pas aussi élevé. Cette solution présente pour principal inconvénient la nécessité d'avoir un volume d'air propre très important et le volume des Locaux de traitement d'air est souvent trois à quatre fois plus important que le volume de la salle blanche elle-même.Les coûts d'installation et de fonctionnement sont donc très élevés et la lourdeur de la structure ne permet pas de changement d'équipement. Enfin, ce type de salle blanche présente des inconvénients pour Le personnel qui subit des contraintes vestimentaires très lourdes.

C'est pourquoi on a utilisé un autre type de structure de salle blanche dans lequel le personnel, générateur de particules et donc de poussières, est remplace par des robots. Si la diminution du personnel présent dans la salle permet d'obtenir une meilleure propreté, il n'en reste pas moins que les robots sont eux-mêmes générateurs de poussières : bien qu'ils en produisent moins que des êtres humains, on atteint des niveaux qui ne sont pas négligeables. D'autre part, la réduction du personnel est faible, car la seule fonction de manutention des plaquettes de silicium n'occupe les employés que pour une durée inférieure à 10 X de leur temps total de travail.

C'est pourquoi cette solution, qui nécessite des modifications importantes dans les salles et les équipements, n'est pas réeLlement rentable.

Une troisième solution consiste à raccorder les différents équipements à l'aide d'un tube dans lequel les plaquettes de silicium circulent au moyen d'un chariot automatique. Une ambiance ultrapropre est maintenue à L'intérieur de ce tube et non pas dans la salle. Ainsi, Le personnel se trouve dans un environnement dont le degré de propreté est plus faible, mais qui est moins contraignant, et les coûts d'installation et de fonctionnement de la ventilation sont diminues. Toutefois, cette solution présente encore des inconvénients. Tout d'abord, une fois que Le tube est installe, il n'accepte que difficilement des modifications. D'autre part, son raccordement aux différents équipements ou aux différentes machines alourdit les opérations de modification ou de changement de ces machines.Enfin, les chariots qui circulent à L'intérieur des tubes sont complexes, générateurs de poussières et d'une maintenance difficile.

C'est pourquoi on a adopte un autre système dans lequel les plaquettes de silicium sont enfermées dans une botte étanche pour leur transfert å L'intérieur du local de traitement. L'atmosphère à L'intérieur de ces bottes étanches est de très haute propreté alors que le local est d'une propreté moyenne. Le transfert d'une boute à L'autre ou d'une botte à une machine s'opère grâce à un système de tiroirs qui évite l'introduction de particules este~ rieures ou de poussières dans les conteneurs étanches.

Si cette solution présente L'avantage que les équi- pements de ventilation sont relativement simples du fait que la propreté de la salle est moyenne et que l'utilisation de boites étanches n'entra-~ne pas toutes les complications dues à l'existence de tubes, cette solution a encore quelques inconvénients.Tout d'abord, Les plaquettes de silicium placées dans les bottes se trouvent dans une ambiance isostatique, c'est-à-dire qu'il n'y a que três peu ou pas de mouvements d'air. Dans ces conditions, Les p-articutes qui pourraient être présentes au voisinage des plaquettes sont principalement soumises aux forces d'attraction électrostatique qui se developpent à la surface des plaquettes et sur les parois internes des portes. Comme La surface totale des plaquettes de silicium est beaucoup plus importante que celle des parois internes des bottes, les particules se déposent surtout sur les plaquettes.Ceci est un inconvénient très important puisqu'on estime que,
Lorsqu'une particule ayant un diamètre de L'ordre de 0,2 micromètre est collee sur une surface propre, il est pratiquement impossible de l'en decoller.

D'autre part, le système de tiroirs pour transférer les plaquettes d'une botte à L'autre, ou d'une boute à un équipement donne, doit être très précis. Les manoeuvres s'effectuent avec des frottements qui peuvent entraSner l'arrachement de particules et ces dernières risquent ensuite de se coller sur les plaquettes. Enfin, les divers équipements de fabrication doivent être équipés de conteneurs semblables aux boutes étanches utilisées pour le transfert et l'installation de ces conteneurs est coûteuse et complexe.

La présente invention a pour but de remédier à ces inconvénients en proposant un procédé de traitement d'un objet dans une atmosphère de haute propreté plus simple et moins coûteux à mettre en oeuvre que les procédés de l'art antérieur, ainsi qu'un conteneur pour la mise en oeuvre de ce procédé.

Le procédé objet de L'invention est un procédé de traitement d'au moins un objet dans une atmosphère de haute propreté dans lequel cet objet est placé à L'intérieur d'un conteneur dont
L'atmosphère présente une haute propreté, ce conteneur se trouvant dans un local de propreté moyenne. Selon
La principale caractéristique de ce procédé, on soumet ledit objet, à L'intérieur du conteneur, à un courant gazeux de haute propreté.

De préférence, on maintient L'intérieur du conteneur en surpression par rapport au local.

Ce procédé s'applique plus particulièrement au cas où L'objet à traiter présente une ou plusieurs surface(s) plane(s), par exemple s'#iL s'agit de plaquettes de silicium. Dans ce cas, on règle le courant gazeux afin qu' il soit laminaire et que sa direction soit paralléle à cette surface plane.

L'invention a egalement pour objet un conteneur pour la mise en oeuvre de ce procédé. Selon la principale caractéristique de ce conteneur, celuici comprend :
- au moins un filtre absolu ayant une face amont et une face aval,
- un emplacement pour ledit objet près de la face aval du filtre, et
- des moyens pour faire circuler Le gaz contenu à L'intérieur de ce conteneur, le gaz traversant le filtre de la face amont à la face aval de celui-ci.

L'expression "face amont" du filtre désigne la face de celui-ci par où entre le gaz qui doit être filtre, le plus souvent de l'air, l'expression "face aval" désignant la face du filtre par laquelle le gaz sort.

Selon une autre caractéristique de
L'invention, on prévoit des moyens pour créer une surpression à L'intérieur du conteneur. Ces moyens comprennent, dans un mode de réalisation préféré, au moins un ventilateur place de manière à insuffler un gaz à L'intérieur du conteneur à travers un orifice prévu dans une paroi de celui-ci, cet orifice pouvant être équipé d'un filtre.

Selon un autre aspect de L'invention, les moyens pour faire circuler le gaz contenu à L'intérieur du conteneur comprennent au moins un ventilateur comportant :
- un arbre mobile en rotation autour de son axe,
- au moins un ensemble de pales monte sur cet arbre, et
- des moyens de mise en rotation et/ou de maintien de cet arbre.

De préférence, Les moyens de mise en rotation et/ou de maintien de L'arbre (c'est-à-dire essentiellement le ou les moteur(s) d'entra~nement ainsi que les paliers) se trouvent à L'extérieur du conteneur et L'arbre traverse au moins une paroi de celui-ci à travers un orifice dont la section est supérieure à celle de L'arbre.

Ainsi, il n'y a aucun contact entre L'arbre et La paroi du conteneur, ce qui évite de transmettre d'éventuelles vibrations à ce dernier. D'autre part, le fait que L'orifice à travers lequel passe L'arbre ait une section supérieure à ce dernier Laisse. un passage pour que le gaz contenu à l'intérieur du conteneur puisse s'échapper à L'extérieur lorsqu'on maintient le conteneur en surpression par rapport au Local.

Il peut également être avantageux de prévoir au moins un cylindre creux ouvert à ses deux extrémités à L'intérieur duquel se trouve(nt) le ou les ensemble(s)de pales du ventilateur. Dans ce cas, les surfaces intérieures du conteneur peuvent être avantageusement recouvertes d'une couche mince du matériau constitutif du ou des objet(s) à traiter.

L'expression "surfaces intérieures du conteneur" désigne les surfaces de tous les éléments qui se trouvent à L'intérieur de celui-ci, c'està-dire les faces internes de ses parois, L'arbre qui supporte les pales, les pales elles-mêmes, ainsi que La face interne du cylindre creux dans Le cas où le ventilateur est place à L'intérieur d'un tel cylindre. Par exemple, si Le conteneur sert à la manipulation de plaquettes de silicium, toutes les surfaces internes du conteneur peuvent être recouvertes d'une couche mince de silicium. Ainsi, L'air ou le gaz en circulation à L'intérieur du conteneur n'est en contact avec aucun autre matériau que le silicium, ce qui évite de polluer Les plaquettes.

Comme l'air ou Le gaz se trouvant dans le conteneur est perpétuelLement recyclé, avec éventuelLement un apport extérieur faible pour compenser les fuites, il peut dans certains cas être avantageux d'avoir un dispositif de réguLation de température et/ou d'hygrométrie.

Selon un autre aspect de L'invention, le conteneur comporte :
- un premier caisson rigide dans lequel se trouve l'emplacement dudit objet, et
- au moins un deuxième caisson rigide dans lequel se trouvent les moyens de mise en circulation du gaz se trouvant à L'intérieur du conteneur, les deux caissons étant reliés l'un à l'autre par un élément creux et souple apte à absorber les vibrations.

Cet éLément creux et souple se présente généralement sous la forme d'un soufflet et sa présence permet de ne pas transmettre aux objets à manipuler déposés dans le premier caisson les vibrations du deuxième caisson qui pourraient se produire dans celui-ci à cause du ou des ventiLateur(s).

Selon une autre caractéristique du conteneur objet de L'invention, celui-ci comporte au moins une ouverture pour le passage dudit objet entre L'intérieur et L'extérieur du conteneur, cette ouverture pouvant être obturée par une porte mobile entre une position de fermeture et une position d'ouverture, La forme et les dimensions de la porte étant telles que La position de fermeture Laisse un passage pour que Le gaz se trouvant à L'intérieur du conteneur puisse s'échapper dans Le Local si on maintient le conteneur en surpression.

Afin d'éviter des frottements lorsqu'on manoeuvre la porte, celle-ci est de préférence montée sur le conteneur au moyen d'une tale fine déformable fixée d'une part au conteneur et d'autre part à la porte.

Avantageusement, on peut prévoir des moyens de maintien de cette porte en position de fermeture, ces moyens de maintien comprenant, dans le mode de réalisation préféré
- un premier aimant fixe sur la porte, et
- un deuxième aimant fixé sur Le conteneur, les deux aimants se trouvant au voisinage l'un de
L'autre lorsque la porte est en position de fermeture.

Dans le cas où le conteneur est utilisé pour le transfert des objets, par exemple entre une armoire de stockage et une machine de traitement, il comporte en outre des moyens de transfert de cet objet entre L'intérieur et l'extérieur du conteneur.

Dans le mode de réalisation préféré, ces moyens de transfert comprennent :
- une tige ayant à L'une de ses extrémités des moyens de préhension de L'objet, cette tige étant déplaçable en translation entre une position rétractée dans laquelle Ledit objet est à son emplacement dans le conteneur et une position déployée dans laquelle l'objet est à l'extérieur du conteneur, et
- des moyens de déplacement de cette tige en translation.

Un tel conteneur peut aussi être utilisé comme sas pour Le transfert de L'objet à traiter à L'intérieur d'une machine. Dans ce cas, le conteneur est place sur une machine ou à proximité immédiate d'une paroi de celle-ci et L'une des parois du conteneur comporte une ouverture apte à laisser passer Objet à traiter et permettant egalement Le passage d'un moyen de préhension faisant partie de La machine.

Lorsque le conteneur objet de L'invention sert au transfert d'un objet ou est utilisé comme sas pour introduire cet objet dans une machine, il est muni d'un nez en forme de cylindre creux dont une extrémité communique avec L'intérieur du conteneur et dont L'autre extrémité comporte un orifice permettant le passage de l'objet de L'intérieur du conteneur vers l'extérieur, cet orifice pouvant être ferme par une porte. Dans ce cas, il est avantageux que les nez des deux conteneurs aient des sections diffé- rentes afin que le nez de l'un puisse pénétrer dans le nez de l'autre.Les deux conteneurs étant maintenus en surpression, l'air peut s'écouler à l'extérieur dans L'espace entre Les deux nez et, ainsi, L'objet reste en permanence dans une atmosphère de très haute propreté puisque L'intérieur de la machine est égale- ment maintenu à un degré de propreté très elevé.

L'invention apparaîtra mieux à la Lecture de La description qui va suivre, donnée à titre d'exemple purement illustratif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels :
- la figure 1 est une vue schématique en coupe horizontale d'un conteneur selon L'invention utilise comme armoire de stockage,
- la figure 2 est une vue schématique de profil, en coupe verticale, de L'armoire de la figure 1,
- la figure 3 est une vue schématique en perspective d'un panier servant de support à des plaquettes de silicium,
- la figure 4 est une vue schématique en coupe verticale illustrant deux conteneurs selon
L'invention, dont l'un est utilisé pour le transfert des plaquettes de silicium et L'autre sert de sas pour l'introduction des pLaquettes dans une machine,
- la figure 5 est une vue schématique en perspective montrant certains éléments constitutifs des conteneurs illustres à La figure 4,
- la figure 6 est une vue schématique de profil et partiellement en coupe illustrant le transfert de plaquettes entre un conteneur de transfert et une machine,
- la figure 7 est une vue schématique en perspective montrant le panneau avant de L'armoire de la figure 1 pendant une opération d'introduction ou d'extraction des plaquettes de l'armoire,
- la figure 8 est une vue schématique en coupe verticale à échelle agrandie illustrant l'ouverture des portes du panneau avant de L'armoire, et
- La figure 9 est une vue schématique en coupe verticale ilLustrant une autre forme possible pour les alvéoles de stockage des plaquettes dans
L'armoire.

Les figures 1 et 2 illustrent un conteneur 10 selon L'invention servant d'armoire de stockage pour des plaquettes de silicium ou d'un autre matériau, par exemple l'arséniure de gallium. Cette armoire comporte un certain nombre d'alveoles 12 dans chacun desquels est stocke un panier 14 contenant des plaquettes de silicium. Chaque alveole 12 est limité par par deux cloisons verticales 16 qui Le séparent des alvéoles adjacents et par un plancher horizontal 18 sur lequel est pose le panier 14. Les alvéoles sont disposes en rangées horizontales, tous les planchers des alvéoles d'une même rangée étant à la même hauteur, et il y a plusieurs rangées superposées.Un alveole situe à L'extrémité d'une rangée, comme par exemple l'alvéole 12a, est Limité d'un côté par une cloison 16a qui le sépare de L'alvéole adjacent 12b de la même rangée et de L'autre côté par une paroi 15. Les dimensions des alvéoles dépendent de la capacité des paniers (ceux-ci contiennent en général 25 ou 50 plaquettes) et du diamètre des plaquettes. Par exemple, pour des plaquettes ayant quatre pouces de diamètre, la hauteur de l'alvéole peut être de 12 cm et sa largeur de 18 cm.

La vue en perspective de la figure 3 montre une forme particulière de panier destinée à faciliter la manutention et le transfert de celui-ci au cours des opérations de transfert entre l'armoire de stockage et les machines de traitement, opérations qui seront décrites ultérieurement. On voit que le panier 14 a La forme d'un support allongé présentant à ses deux extrémités des pieds 20 entre Lesquels se trouve un évidement 22 permettant le passage d'un moyen de manutention. Les plaquettes 24 sont posées dans des logements prévus à la surface supérieure du panier, le plan des plaquettes étant vertical lorsque Le panier est pose sur un support horizontal. La forme des paniers est telle que la surface des plaquettes en contact avec leur support soit la plus faible possible. De tels supports sont connus en soi et ne seront pas décrits en détail ici.On voit encore sur la figure 3 que chaque plaquette 24 comporte un méplat 26 servant à indiquer l'orientation cristallographique de La plaquette et à faciliter son positionnement correct dans les machines de traitement.

Si L'on se reporte à nouveau à la figure 1, on voit qu'un filtre absolu, ou une batterie de filtres absolus 28, est placé en arrière des alvéoles 12. Dans le cas particulier décrit ici, le filtre 28 comporte une face amont 30 et une face aval 32, les faces amont et aval du filtre étant verticales.

Les cloisons 16, ainsi que Le plancher 18, sont en contact, à L'une de Leurs extrémités, avec La face aval du filtre de sorte que chaque alvéole est ferme à son extrémité correspondante par le filtre.

Des ventilateurs, qui seront décrits cidessous, permettent de faire circuler l'air à l'interieur de l'armoire de sorte que celui-ci pénètre à travers le filtre par sa face amont 30 et en ressorte par sa face aval 32. Les paniers 14 sont placés sur le plancher 18 au voisinage immédiat de la face aval 32 du filtre 28 et ils sont disposes de sorte que le plan des plaquettes 24 soit parallèle à la direction d'écoulement de l'air à sa sortie du filtre. Ceci présente un double avantage : tout d'abord, c'est de l'air qui est passe à travers un filtre absolu, donc de l'air très propre, qui balaye les plaquettes.

D'autre part, comme la direction d'écoulement est parallèle aux faces planes des plaquettes, ceci a pour effet d'éliminer les éventuelles poussières qui pourraient se déposer sur celles-ci. La longueur des alvéoles est prévue suffisamment importante pour qu'il y ait, en aval des paniers 14 par rapport au sens d'écoulement de l'air, une longueur d'environ 30 cm afin d'éviter que les turbulences de l'air sortant des alvéoles ne viennent pertuber l'environnement immédiat des plaquettes.

L'air sort des alvéoles par L'extrémité de ceux-ci opposée au filtre 28, qui est ouverte.

Il arrive ainsi dans l'espace avant 34 de L'armoire.

Cet espace est Limité, du côté opposé aux alvéoles, par le panneau avant 35 de L'armoire : celui-ci, qui est vertical et placé parallèlement aux rangées d'alvéoles, sera décrit ultérieurement. L'espace 34 est ouvert à chacune de ses extrémités correspondant aux extrémités d'une rangée d'alvéoles : il communique ainsi, par Les espaces situés entre le panneau avant 35 et les parois telles que 15, avec des caissons contenant des ventilateurs tels que 36. Ces ventilateurs sont disposés. de manière à aspirer l'air se trouvant dans L'espace 34 et à le refouler dans
L'espace arrière 38 de L'armoire 10. Les dimensions de cet espace 38 sont déterminées afin d'homogénéiser la pression de l'air avant que celui-ci ne pénètre dans les filtres absolus.

Dans le mode de réalisation préféré décrit ici, les ventilateurs 36 se composent essentiellement d'un arbre 40 le long duquel sont montés plusieurs ensembles de pales 42. Afin d'éviter de transmettre des vibrations à l'armoire de stockage, le moteur d'entrainement 44, ainsi que les paliers tels que 46 pour le maintien de L'arbre, se trouvent å l'extérieur de l'armoire. L'arbre 40 traverse les parois de l'armoire à travers des orifices 48 dont la section est supérieure à celle de L'arbre. Cette disposition présente un double avantage : tout d'abord, il n'y a pas de contact entre L'arbre et la paroi de L'armoire, ce qui évite de transmettre à celle~ ci les vibrations dues au mouvement de rotation de
L'arbre.D'autre part, comme L'armoire est la plupart du temps maintenue en surpression par rapport au local, l'air peut s'écouler de l'intérieur vers l'extérieur de celle-ci à travers les orifices 48.

Afin de maintenir l'armoire en surpression par rapport au local de traitement, on a prévu un ventilateur annexe 50 monte sur la paroi arrière 52 de L'armoire. Le ventilateur 50 prélève de L'air dans le local et L'insuffle à l'intérieur de L'armoire à travers un filtre 53 place dans un orifice de la paroi 52. Le ventilateur 50 est asservi au moyen de deux capteurs de pression dont l'un (non représenté) se trouve à l'extérieur de L'armoire et l'autre 55 à l'intérieur de celle-ci, dans L'espace avant 34.

Avantageusement, on peut prévoir un régulateur de température et d'hygrométrie 57 dans la partie arrière 38 de L'armoire.

Les parties de l'armoire 10 où se trouvent les ventilateurs peuvent être le siège de vibrations.

Bien que celles-ci ne soient pas gênantes vis-à-vis des plaquettes stockées, comme on doit être en ambiance extrêmement propre dans les alvéoles, il convient d'annuler tout frottement mécanique car les vibrations sont génératrices de particules. C'est pourquoi l'armoire 10 est constituée de deux parties principales : une première partie 54 se présente sous la forme d'un caisson rigide contenant les alvéoles, les filtres absolus et le panneau avant. Une deuxième partie 56 se présente sous la forme d'un deuxième caisson rigide entourant le premier sur les cotés et à
L'arrière de celui-ci. Afin que les vibrations engendrées dans le caisson 56 par les ventilateurs ne soient pas transmises au caisson 54 contenant les alvéoles, les deux caissons sont relies l'un à l'autre par des liaisons souples qui se présentent sous la forme de soufflets.Dans le cas particulier décrit ici, les liaisons sont assurées par deux soufflets latéraux 58 reliant L'espace avant 34 de
L'armoire aux deux zones où se trouvent Les ventilateurs. D'autre part, un troisième soufflet 60 relie La partie arrière du caisson 56 à la partie arrière du caisson 54 au voisinage de la face amont des filtres absolus 28.On comprend que cette disposition assure un recyclage permanent de l'air contenu à L'intérieur de l'armoire lorsque les ventilateurs 36 sont en fonctionnement : l'air traverse les aLvéoles depuis le filtre 28 jusqu'à L'espace 34, passe ensuite de cet espace dans les parties du caisson 56 contenant les ventilateurs 36 à travers les soufflets 58, puis de ces parties du caisson 56 dans la partie arrière 38 de L'armoire à travers des zones de raccordement 59 et, de la, jusqu'à la face amont des filtres à travers Le soufflet 60.

Les soufflets 58 et 60 sont de préférence fixes de manière étanche aux caissons 54 et 56 : cependant, si l'étanchéité n'est pas parfaite, ce n'est pas gênant dans la mesure où L'armoire est en surpression par rapport à L'extérieur.

S'il y a un nombre important de rangées d'alvéoles superposées, comme cela est illustré å la figure 2, on peut prévoir plusieurs ventilateurs tels que 36 places Les uns au-dessus des autres de chaque côté de L'armoire 10. Eventuellement, afin d'éviter des turbulences, on peut placer chaque ventilateur, ou du moins la partie de chaque ventilateur contenant les pales 42, à L'intérieur d'un cylindre creux 64 (figure 2). De préférence, les pales des ventilateurs sont polies et métallisées afin d'avoir un aspect de surface brillant et la surface interne des cylindres 64 est polie comme celle des pales afin d'éviter des turbulences dues au frottement de l'air sur ces surfaces.

IL est à remarquer que le volume intérieur d'une telle armoire est relativement petit par rapport au volume du local dans lequel elle est entreposée.

Aussi, dans un mode préfère de réalisation, on revêt l'ensemble des surfaces intérieures de l'armoire, c'est-à-dire non seulement La face interne des parois de celles-ci, mais également La surface des arbres et des pales des ventilateurs ainsi que les cloisons et les planchers des alvéoles, d'une couche mince d'un matériau qui est Le matériau constitutif des plaquettes, par exemple le silicium. Ainsi, l'air circulant à l'i terieur de l'armoire n'est jamais en contact avec un matériau autre que le silicium.

On voit encore sur les figures 1 et 2 que le panneau avant 35 de l'armoire comporte un certain nombre de portes 68. Il y a une porte en face de chaque alvéole : il suffit donc d'ouvrir La porte correspondant à un alvéole donne et de venir prendre ou déposer Le panier 14 par un moyen de préhension extérieur à L'armoire. Les portes, ainsi que les moyens de préhension, seront décrits ci-dessous lorsqu'on décrira le transfert d'un panier entre l'armoire de stockage et une machine de traitement.

A titre d'exemple, le volume utile de stockage, c'està-dire L'ensemble des alvéoles, peut avoir une hauteur de 2,4 m et une largeur de 4,32 m. Si la section de chaque alvéole est de 12 x 18 cm, on peut loger 24 alvéoles dans une rangée et superposer 20 rangées, soit au total 480 alvéoles pour des plaquettes d'un diamètre de 4 pouces. Si les paniers contiennent 50 plaquettes, on pourra ainsi stocker soit 24 000 plaquettes de diamètre 4 pouces, soit 6 000 plaquettes de diamètre 8 pouces.

Il se peut qu'au cours d'une manutention,
Lorsqu'on vient déposer un panier dans son alvéole ou l'en retirer, une fausse manoeuvre conduise à la chute du panier ou de quelques plaquettes seulement.

C'est pourquoi on a prévu, à la partie inférieure de l'espace avant 34 de L'armoire, un tiroir 70 qui permet de récupérer les objets brises ou souilles.

On peut prévoir ta forme et les dimensions de ce tiroir afin que L'air qu'il contient, qui est en surpression par rapport au local, puisse s'échapper à l'extérieur, soit par dessus le rebord supérieur du tiroir, soit en dessous de celui-ci : dans ce cas, le plancher du tiroir peut être perfore.

Afin que L'armoire soit utilisable quel que soit le diamètre des plaquettes à stocker, on peut prévoir que chaque alvéole est fixe en largeur (cette largeur étant fonction du nombre de plaquettes dans le panier) et peut être ajusté en hauteur. En cas de changement de diamètre des plaquettes à stocker, le panneau avant est prévu démontable afin qu'il puisse être retire et remplacé par un autre dont les portes correspondent aux nouvelles dimensions des alvéoles. Ainsi, seuls les alvéoles et le panneau avant sont modifies, tout le reste de l'armoire demeurant inchangé.

On va maintenant décrire une opération de transfert des plaquettes entre l'armoire de stockage et une machine de traitement en référence aux figures 4 à 9.

La vue en coupe verticale de la figure 4 montre deux conteneurs dont l'un (72) sert au transfert des plaquettes entre L'armoire de stockage et une machine (76) tandis que L'autre (74) sert de sas pour le transfert des plaquettes entre le conteneur 72 et la machine 76. Dans L'exemple décrit ici, le conteneur 74 est place sur la machine 76 et communique avec L'espace intérieur de celle-ci par une ouverture 78 prévue dans sa paroi inférieure.

Cette ouverture permet le passage d'un ascenseur 80, faisant partie de La machine, cet ascenseur étant apte à transférer Les plaquettes de l'intérieur du conteneur 74 à L'intérieur de la machine.

La vue en perspective de la figure 5 montre de manière schématique La structure générale d'un conteneur tel que 72. On voit que celui-ci se compose d'abord d'un caisson rigide 82 à l'intérieur duquel se trouve un ventilateur 84, semblable aux ventilateurs 36 équipant L'armoire de stockage.Comme dans le cas de L'armoire, il est préférable que les moteurs 86 actionnant le ventilateur 84, ainsi que les paliers de maintien de L'arbre 88, se trouvent à L'extérieur du caisson 82 et que l'arbre 88 traverse les parois du caisson 82 à travers des orifices dont Le diamètre est supérieur à celui de l'arbre. Le caisson 82, qui a une section carrée ou rectangulaire, est de forme allongée et il communique, à chacune de ses extrémités, avec un manchon rigide 92 par l'intermé- diaire d'un soufflet 90.Ce manchon comporte, à son extrémité opposée au soufflet 90, une bride 94 qui permet de le fixer de manière étanche sur un autre caisson 96, chaque bride 94 étant placée autour d'une ouverture 98 prévue dans le caisson 96. Ainsi, le caisson 96 et les manchons 92 constituent le premier caisson rigide dans lequel se trouvent les plaquettes, tandis que le caisson 82 constitue le deuxième caisson dans lequel se trouve le ventilateur. Celui-ci permet donc une circulation permanente de l'air à L'intérieur du caisson, l'air étant aspire à travers l'un des deux soufflets (90a) et refoule par L'autre (90b).

Dans Le cas particulier décrit ici, la direction générale des soufflets 90 et des manchons 92 est perpendiculaire à La direction générale des caissons
82 et 96, mais on ne sortirait pas du cadre de l'invention en utilisant une disposition différente.

Un filtre absolu 100 est prévu dans le caisson 96 un peu en aval du raccordement avec le manchon 92b tandis que Le panier 14 repose sur un emplacement situé sur la paroi inférieure du conteneur 72 immédiatement en aval du filtre absolu 100. Là aussi, la disposition est telle que te plan des plaquettes soit parallèle à la direction d'écoulement de l'air afin que les deux faces de chaque plaquette soient balayées par un écoulement d'air laminaire,
Comme dans le cas de L'armoire de stockage, le conteneur 72 est équipé d'un ventilateur annexe 102 placé de manière à insuffler L'air extérieur à l'intérieur du conteneur 72. Le ventilateur 102 est place de préférence de manière à insuffler l'air extérieur en amont du filtre 100.

On voit encore sur les figures 4 et 5 que le caisson 96 a la forme d'un parallélépipède creux et que le caisson 82 est monté sur le caisson 96 de sorte que l'un des soufflets (90b) se trouve très près de L'une des extrémités du caisson 96 et que l'autre soufflet (90a) soit relativement éloigné de l'autre extrémité du caisson 96. La partie du caisson 96 située entre le point de raccordement du manchon 92a et L'extrémité du caisson 96 constitue ainsi un nez 104 dont la première extrémité communique avec L'intérieur du conteneur et la deuxième extrémité communique avec L'extérieur par une ouverture 107.

Cette deuxième extrémité peut être obturée par une porte 106 fixée au rebord supérieur de L'ouverture 105 et pouvant pivoter autour d'un axe perpendiculaire au plan de la figure et passant au voisinage immédiat de ce rebord.

On voit encore sur la figure 4 qu'on a prévu, dans le conteneur 72, au voisinage du filtre 100, un passage 108 pour une tige de manutention 110. De préférence, la largeur du passage 108 est inférieure à celle du caisson 96 et ses dimensions sont juste suffisantes pour laisser passer la tige.

Si nécessaire, on peut pratiquer une petite ouverture à la base du filtre 100 pour le passage de la tige.

Celle-ci est manoeuvrée à l'aide d'un équipement qui sera décrit ci-dessous en référence à la figure 6 et comporte, à l'une de ses extrémités, un électro- aimant 112 qui peut coopérer avec un aimant 114 prévu à la partie inférieure du panier 14. Ainsi, lorsque l'extrémité de la tige 110 est introduite sous le panier 14 et que L'électroaimant 112 est excité, le panier est maintenu sur l'extrémité de la tige et celle-ci peut être soulevée et déplacée en translation : on peut ainsi faire passer le panier de la position de départ 14a, qui est sa position normale dans le conteneur de transfert 72, à une position 14b représentée schématiquement en traits mixtes sur la figure. La longueur de la tige 110 est prévue suffisamment grande pour qu'elle puisse transporter le panier depuis la position de départ 14a jusqu La position 14c qui se trouve à l'intérieur du deuxième conteneur 74, au-dessus de l'ouverture 78.

On voit encore sur la figure 5 que des ouvertures telles que 98 pour la fixation des brides 94 peuvent être prévues sur n'importe quelle face du caisson 96. Si nécessaire, il est facile de retirer les brides 92 des ouvertures sur lesquelles elles sont fixées et de les placer sur une autre face du caisson 96, les ouvertures non utilisées étant obturées par des plaques 99. De même, en ce qui concerne le conteneur 74 servant à l'introduction des plaquettes dans la machine 76, il n'est pas nécessairement posé sur une face plane supérieure de la machine. Il peut être placé à côte de celle; de sorte qu'une paroi verticale du conteneur 74 soit au voisinage immédiat d'une paroi verticale de la machine.Dans ce cas,
L'ouverture 78 se trouve sur cette paroi verticale tandis que la paroi de la machine présente une ouverture permettant le passage d'un moyen de préhension propre à la machine. Le conteneur 74 est constitué de la même manière que Le conteneur 72 et ne sera pas décrit en détail ici.

On va maintenant décrire une opération de transfert des plaquettes depuis le conteneur de transfert jusqu'à l'intérieur de la machine et inversement, ainsi que le transfert de plaquettes depuis La machine jusqu'à L'armoire de stockage à L'aide du conteneur de transfert.

Ce dernier peut être manipule par un opérateur car il est relativement léger et peu encombrant. Par exemple, sa Longueur totale (depuis le ventilateur 102 jusqu'à la porte 106) peut être de L'ordre de 70 cm, tandis que le caisson 96 a une section carrée ou rectangulaire dont les dimensions sont inférieures à celles des alvéoles de stockage de L'armoire 10 : grâce à cette disposition, le nez 104 peut pénétrer non seulement à l'intérieur de l'armoire après ouverture de l'une des portes 68, mais également à l'intérieur de l'alvéole correspondant. Cependant, pour les raisons indiquées au début de la présente description, et notamment parce que les êtres humains sont générateurs de poussières, il est préférable que le conteneur de transfert 72 soit transporte de L'armoire de stockage 10 jusqu'au conteneur 74 par un robot.

Un tel robot est représenté schématiquement sur La figure 6 où l'on voit qu'il se compose essentiellement d'un chariot 118 reposant sur le sol par des roues 120. A La partie supérieure du chariot 118 sont montes des bras articules 122 sur
Lesquels repose un support 124. Le conteneur 72 repose sur ce support 124 tandis que les bras 122 sont mobiles entre une posi#tion basse et une position haute, ce qui leur permet d'amener le conteneur 72 à la hauteur voulue. Sur le support 124 est monté un électroaimant 126 qui permet d'agir sur une tige 128. Les mouvements de la tige 128 sont transmis à la tige 110 par l'intermédiaire d'un dispositif de liaison 130.

Si le conteneur est transporté par un opérateur humain, il doit être relié par des fils de connexion à un chariot contenant tous les instruments de commande et notamment l'alimentation électrique des moteurs du ventilateur. Dans le cas où le transfert est effectue à l'aide du robot 116, celui-ci comporte toutes les commandes et, en particulier, l'alimentation électrique des ventilateurs.

Le transfert d'un panier de plaquettes entre le conteneur de transfert 72 et la machine 76 se fait de manière suivante :
Lors du transfert entre l'armoire de stockage et la machine, le panier 14 occupe la position 14a illustrée à la figure 4, tandis que la porte 106 du conteneur 72 est fermée, c'est-à-dire qu'elle est en position verticale. Le conteneur 72 repose sur le support 124 du robot 116. Lorsque ce dernier approche de la machine 76, on règle la position des bras 122 afin que le nez 104 du conteneur 72 soit à la même hauteur que le nez 105 du conteneur 74.

A ce moment, on ouvre La porte 109 du conteneur 74.

Celle-ci est montée comme la porte 106 du conteneur 72. L'ouverture de la porte 109 peut être obtenue de la manière suivante : on a prévu, . sur la partie extérieure de cette porte, un bras recourbe 132 qui passe dans l'entrefer d'un électroaimant 134 fixe par rapport au conteneur 74. Lorsque la porte 109 est en position fermée, c'est-à-dire verticale, seule l'extrémité du bras 132 se trouve dans l'entrefer de l'électroaimant. Lorsqu'on excite celui-ci, le bras 132 est attiré et il se Lève, ce qui a pour effet d'ouvrir progressivement la porte. Quant å
L'ouverture de la porte 106 du conteneur 72, elle peut être obtenue grâce à deux séries d'aimants montés dans le nez 105 du conteneur 74.Une telle série d'aimants est semblable à celle qui peut être utilisée dans le système d'ouverture des portes de l'armoire de stockage et qui sera décrite ci-dessous en référence aux figures 7 et 8.

Lorsque le conteneur 72 se trouve à la bonne hauteur et que la porte 109 du conteneur 74 est ouverte, on ouvre la porte 106 du conteneur 72 et on déplace le robot 116 de sorte que le nez 104 du conteneur 72 pénètre légèrement à L'intérieur du nez 105 du conteneur 74. Comme les deux conteneurs sont en surpression par rapport à l'extérieur, l'air présent à l'intérieur des deux conteneurs, qui est de très haute propreté, peut s'échapper à l'exterieur à travers les espaces entre les nez des deux conteneurs.L'électroaimant 126 du support 124 (figure 6) est excité afin que les tiges 128 et 110 qui se trouvaient jusqu'alors en position rétractée (c'està-dire pratiquement la position illustrée aux figures 4 et 6) avancent vers la gauche en regardant les figures 4 et 6 jusqu'à ce que l'aimant 112 de la tige 110 se trouve au-dessous de L'aimant 114 du panier 14. L'évidement 22 prévu à la partie inférieure du panier (figure 3) permet le passage de L'extrémité de La tige 110. Lorsque les aimants 112 et 114 sont en contact l'un avec l'autre, L'électroaimant 112 est excite afin que le panier 14 reste maintenu à l'extrémité de La tige.Cette dernière est Légèrement soulevée par exemple par L'intermédiaire des moyens de liaison 130), et elle est déplacée vers la gauche en regardant la figure 4 jusqu'à ce que le panier 14 occupe La position 14c à L'intérieur du conteneur 74, au-dessus de L'ouverture 78. L'ascenseur 80 de la machine est alors amené en position haute (sa position illustrée à la figure 4) et la tige 110 est abaissée pour que le panier repose sur L'ascenseur.

L'aimant 112 est désexcité et la tige 110 est reculée.

L'ascenseur 80 est mis en mouvement vers le bas à l'intérieur de la machine (figure 6) jusqu'à ce que les plaquettes arrivent en une position 24a représentée schématiquement en traits mixtes. Elles peuvent alors être transportées jusqu'à un poste de travail 77.

Lorsque le traitement à l'intérieur de la machine est termine et qu'il faut ramener les plaquettes à l'intérieur de l'armoire de stockage, on opère de la manière suivante : å L'intérieur de la machine, les plaquettes sont transportées du poste de travail 77 à la position 24a et l'ascenseur 80 les ramène à l'intérieur du conteneur 74. La tige 110 est déplacée jusqu'à ce que son extrémité arrive sous le panier 14, l'électroaimant 112 est excité et la tige 110 est Légèrement soulevée. L'électroaimant 126 est alors excite afin que l'ensemble des tiges 128 et 110 soit déplacé vers la droite en regardant les figures 4 et 6 jusqu'à ce que le panier 14 revienne à sa position 14a à l'intérieur du conteneur 72.

Afin de mieux maintenir le panier en position à L'intérieur du conteneur 72 pendant le transfert, on a prévu des aimants 136 sur les pieds du panier qui coopèrent avec des aimants 138 prévus dans la paroi inférieure du conteneur.

La tige 110 peut ensuite être ramenée å sa position de départ, illustrée à la figure 4, dans laquelle son extrémité n'est plus sous Le panier 14. Le robot 116 est ensuite déplacé afin que le nez du conteneur 72 sorte du nez du conteneur 74.

On désexcite L'électroaimant 134 afin que la porte 109 du conteneur 74 se referme, et on ferme également la porte 106 du conteneur 72. Le robot est alors déplacé et amené devant l'armoire de stockage 10 afin que le conteneur 72 se trouve dans une position telle que le caisson 96 ait sa plus grande longueur perpendiculaire au plan du panneau avant 35 de
L'armoire (figure 7).

La mise en place du robot devant la porte choisie se fait à l'aide d'un capteur de ciblage d'origine 140 prévu sur un côté du panneau avant de l'armoire. Grâce à un détecteur 144, le robot se centre sur ce capteur qui peut être, par exemple, un capteur à infrarouge, un détecteur de proximité ou tout autre dispositif équivalent. Le robot fait Lui-même sa mise à zéro, puis son système informatique le conduit, à partir de cette position précise, jusqu'à la porte choisie, par exemple celle qui est référencée 68a sur la figure 7. Un second capteur 142, qui est un capteur de ciblage fin, permet au robot d'être parfaitement centré et parfaitement positionne devant la porte choisie, toujours grâce au détecteur 144.

il y a autant de capteurs 142 que de portes sur le panneau avant 35 de l'armoire. Ces capteurs peuvent être placés soit sur la porte elle-même, soit sur un autre élément du panneau 35, à n'importe quel endroit de celui-ci, le système informatique du robot étant programme en conséquence.

Le panneau avant 35 de l'armoire 10 peut être constitué d'un ensemble de montants verticaux 146 et horizontaux 148 définissant ainsi des ouvertures de section carrée ou rectangulaire et dont les dimensions correspondent à celles des alvéoles. Les portes sont des panneaux carres ou rectangulaires dont les dimensions sont voisines de celles des ouvertures ainsi définies. Dans le mode de réalisation préféré, chaque porte est fixée par son rebord supérieur à l'un des montants horizontaux 148 et peut pivoter autour d'un axe horizontal parallèle à ce montant. Afin d'éviter les frottements qu'on aurait avec des charnières classiques, frottements qui sont générateurs de particules et donc de poussières, les portes 68 sont montées sur le panneau avant 35 de l'armoire à l'aide de tôle fines déformables 150 (figure 8).La longueur de ces tôles est pratiquement celle du rebord supérieur des portes et chacune est fixée d'une part au montant horizontal 68 situé au-dessus de la porte et, d'autre part, à la partie supérieure de la porte elle-même. Ainsi, le mouvement de pivotement de la porte n'entrain aucun frottement et seulement la déformation de cette tôle.

D'autre part, les dimensions des portes ne sont pas exactement celles des ouvertures définies par les montants 146 et 148, mais Légèrement inférieures afin de laisser un passage d'environ 1 mm de large pour que l'air contenu à l'intérieur de l'armoire puisse s'échapper à L'extérieur Lorsque l'armoire est maintenue en surpression par rapport au local. Une porte comme la porte 68a illustrée aux figures 7 et 8 est donc mobile entre une position de fermeture 68a1 dans laquelle elle est pratiquement verticale et une position d'ouverture 68a2 dans laquelle elle est pratiquement horizontale après un pivotement au cours duquel La tôle fine 150 a ete déformée.Pour assurer le maintien de chaque porte en position de fermeture, et surtout afin d'evi- ter qu'elle ne s'ouvre trop sous L'effet de la surpression régnant à l'intérieur de l'armoire, on a prévu un système d'aimants : ce système comprend un premier aimant 152 à la partie inférieure de la porte, de préférence au milieu du rebord inférieur de celleci, et un deuxième aimant 154, fixe par rapport au panneau 35, qui peut être placé sur le montant horizontal 138 correspondant au bord inférieur de La porte et au milieu de celle-ci de manière à être en face de l'aimant 152. L'ouverture des portes se fait grâce à des poignées si L'ouverture est effectuée par un opérateur humain, soit à l'aide d'aimants 156 Si on utilise un robot, comme cela va être décrit c;- dessous.

Un exemple d'un tel robot, portant La référence générale 158, est illustre aux figures 7 et 8. Celui-ci se compose d'abord d'un chariot 160 mobile le long d'un rail horizontal 162 fixé à la partie supérieure de l'armoire. Sur le chariot 160 est monté un rail vertical 164 le long duquel peut se déplacer un support 166. Les dimensions et la position respective des différents éléments constituant le robot 158 sont telles qu'au cours du déplacement du chariot 160 le long du rail 162, le rail vertical 164, le support mobile 166 et tous les éléments montes sur ce support restent devant Le panneau avant 35 de l'armoire. Sur le support mobile 166 est fixé un moteur 168 qui commande un bras mobile 170.Celuici comporte une première partie horizontale mobile en rotation autour de son axe et une deuxième partie perpendiculaire à la première qui porte à son extrémité un aimant 172 apte à coopérer avec les aimants 156.

Les mouvements du chariot 160 sur le rail 162 et du support 166 sur le rail 164 sont réglés par un dispositif de commande 167, qui peut éventuellement être lui-même commande par Le robot 116.

Lorsque le robot 116 de la figure 6 a amené le conteneur 72 en face de la porte choisie 68a, le chariot 160 est déplacé le long du rail 162 et le support 166 est déplacé verticalement le long du rail 164 jusqu'à ce que l'aimant 172 se trouve en face de l'aimant 156. L'aimant 172 peut être un électroaimant qui est excité au moment voulu par le dispositif de commande du robot 158. La mise en route du moteur 168 entraine la rotation du bras 170 autour d'un axe horizontal et donc l'ouverture de la porte. Sur le support 166 se trouvent encore deux bras 174 constitués par des plaques planes perpendiculaires au panneau avant 35 de l'armoire 10. La distance entre les bras 174 est légèrement supérieure à la largeur d'une porte 68. Sur chacun des bras 174 est montée une série d'aimants 176 servant à l'ouverture de la porte 106 du conteneur 72 comme cela va être décrit ci-dessous.

Lorsque le robot 116 a amené le conteneur 72 en face de la porte choisie, mais à une certaine distance de cette dernière, Le robot 158 est mis en mouvement jusqu'à ce que les bras 174 viennent encadrer cette porte. Le moteur 168 est mis en route afin que le bras 170 ouvre la porte 68a. Le robot 116 est alors avancé jusqu'à ce que la porte 106 du conteneur 72 arrive au voisinage de L'extrémité des bras 174 opposée au panneau 35. La porte 106 du conteneur est montée pivotante autour de son rebord supérieur au moyen d'une tôle fine, comme Les portes de l'armoire.Lorsqu'on arrive dans la position illustrée sur la figure 8, la partie inférieure de la porte 106 est attirée par L'aimant 176a situe à l'extrémité du bras 174 oppose à L'armoire. Elle pivote donc dans le sens des aiguilles d'une montre en regardant la figure 8 et s'ouvre donc légèrement.

Au fur et à mesure que le robot 116 fait avancer le conteneur 72, la porte s'ouvre progressivement, attirée par les autres aimants 176. Il est à remarquer que la ligne constituée par les aimants 176 est inclinée par rapport à l'horinzontale et s'élève progressivement depuis l'aimant d'extrémité 176a.

Cependant, afin d'éviter que la porte ne revienne à sa position de fermeture, par exemple à cause de l'attraction des aimants qu'elle a déjà franchis, on a prévu un dispositif de maintien constitue d'un ruban métallique souple 178 dont une extrémité est fixée sur la face externe de la porte 106. Un électroaimant 180 agit sur ce ruban afin de le maintenir constamment en tension au fur et à mesure que la porte 106 s'ouvre, ce qui empêche cette dernière de retomber. La porte 106 passe ainsi par un certain nombre de positions intermédiaires 106a jusqu'à la position d'ouverture 106b dans laquelle elle est pratiquement horizontale. Le robot 116 continuant à se déplacer, le nez 104 du conteneur 72 pénètre à l'intérieur de l'armoire.En effet, les dimensions de ce nez sont prévues de telle sorte que le nez du conteneur 72 puisse non seulement pénétrer à L'intérieur de L'armoire, mais éventuellement pénétrer à l'intérieur des Alvéoles où sont stockes les paniers de plaquettes.

Lorsque le conteneur 72 est ainsi en position, la tige 110 est mise en mouvement afin de tranferer le panier 14 de l'intérieur du conteneur 72 au fond de l'alvéole choisi. Cette opération est effectuée de la même façon que Le transfert des paniers entre le conteneur 72 et l'ascenseur 80 de la machine 76 (figure 4) et ne sera pas décrite en détail ici.

Lorsque le panier est posé dans son alvéole, la tige 110 est retirée, le robot 116 se recule et on referme la porte 106 du conteneur 72 en désexcitant progressivement l'aimant 180 pour détendre progressivement le ruban 178. Le bras 170 du robot 158 est mis en rotation de manière à refermer progressivement la porte 68a et on désexcite l'aimant 172 : le robot 158 peut être alors amené à une autre position, c'està-dire soit devant une autre porte, soit à une position de repos ou d'attente.

L'opération consistant à aller chercher un panier à l'intérieur de l'armoire pour le transporter ailleurs s'effectue de la manière suivante
Le robot 116 est amené en face de la porte correspondante, ainsi que le robot 158. On ouvre la porte de l'armoire comme décrit ci-dessus et les opérations d'approche du conteneur et d'ouverture de la porte 106 de celui-ci se font également de la même façon. La tige 110 est alors avancée jusqu'à ce qu'elle arrive sous le panier, elle soulève celuici et l'amène à son emplacement à l'intérieur du conteneur 72, comme dans le cas où le panier est extrait de la machine. Le robot 116 est recule, et on ferme la porte de l'armoire ainsi que la porte 106 du conteneur 72.

La figure 9 illustre une autre disposition possible pour les alvéoles de L'armoire de stockage.

Dans le cas des figures 1 et 2, les alveoles sont
Limités par des cloisons 16 et des tôles horizontales 18 dont les dimensions sont telles que l'espace avant 34 de l'armoire est entièrement dégagé. Cependant, on ne sortirait pas du cadre de L'invention en utilisant des casiers 182 (figure 9) en forme de paralle lépipèdes rectangles ouverts à chacune de leurs deux extrémités et dont la longueur est égale à la distance entre la face aval du filtre 28 et le panneau avant 35 de L'armoire. Bien entendu, dans la zone de ces casiers située près de la porte 68, on prévoit des ouvertures 184 sur chaque côté afin de laisser passer l'air dans L'espace 34.Dans ce cas, les paniers 14 sont places dans des tiroirs 186 dont la section est semblable à celle des casiers 182, mais plus petite, afin que le tiroir 186 puisse pénétrer à l'intérieur du casier 182. Le tiroir a la même longueur que le caiser 182 et il est également équipé d'ouvertures 188 au voisinage de la porte 68 afin de Laisser passer l'air. Le tiroir 186 peut être équipé d'une poignée ou d'un aimant 190 situe à L'extérieur de
L'armoire et au voisinage du bord inférieur de la porte 68 : cette disposition permet de déplacer le tiroir vers l'extérieur de l'armoire grâce à la poignée ou à l'aimant 190 pour que le panier 14 soit rapproché des moyens de préhension du conteneur 72.

Ainsi, le procédé objet de L'invention et les conteneurs utilises pour la mise en oeuvre de ce procédé présentent des avantages particulièrement intéressants, dont le premier est de permettre de maintenir les plaquettes de silicium en permanence dans une ambiance de très haute propreté, puisque les plaquettes sont constamment balayées par un courant d'air laminaire parallèle à leur surface, cet air étant passé à travers un filtre absolu. D'autre part, les conteneurs tels que l'armoire 10 ou les conteneurs de transfert 72 et 74 sont simples à réaliser, donc peu coûteux, et Les opérations de transfert des plaquettes entre L'armoire de stockage et une machine sont faciles. Enfin, en cas de changement du diamètre des plaquettes à traiter, l'adaptation des appareils est facile, puisque, dans l'armoire, on ne change que les alvéoles et le panneau avant. Quant aux conteneurs de transfert, leur construction illustrée à la figure 5 fait qu'ils peuvent s'adapter à toutes sortes de situations puisque le caisson 82 peut être fixé sur n'importe quelle face du caisson 96 et que le conteneur 74 servant de sas pour l'introduction dans une machine de traitement est prévu avec des ouvertures sur chaque face, ce qui lui permet de s'adapter à n'importe quelle machine.

Claims (24)

REVENDICATIONS

1. Procédé de traitement, stockage, transport et/ou introduction dans une machine d'au moins un objet (24) dans une atmosphère de haute propreté, dans lequel ledit objet (24) est placé à l'intérieur d'un conteneur (10, 72, 74) dont l'atmosphère présente une haute propreté, ce conteneur se trouvant dans un local de propreté moyenne, caractérisé en ce qu'on soumet ledit objet (24), à l'intérieur du conteneur, à un courant gazeux de haute propreté.

2. Procédé selon la revendication 1, carac térisé en ce qu'on maintient L'intérieur du conteneur (10, 72, 74) en surpression par rapport au local.

3. Procédé selon la revendication 1, carac térisé en ce que, ledit objet (24) présentant au moins une surface plane, on règle le courant gazeux afin qu'il soit laminaire et de direction parallèle à ladite surface plane.

4. Procédé selon la revendication 3, carac térise en ce que ledit objet se présente sous la forme d'une plaquette (24).

5. Procédé selon la revendication 4, carac térisé en ce que le matériau constitutif de la plaquette (24) appartient au groupe constitué par : le silicium, l'arséniure de gallium.

6. Conteneur (10) pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, servant au stockage dudit objet (24), caractérisé en ce qu'il comprend : - au moins un filtre absolu (28) ayant une face

amont (30) et une face aval (32), - un emplacement pour ledit objet (24) près de la

face aval (32) du filtre (28), et - des moyens (36, 44) pour faire circuler le gaz

contenu à l'intérieur de ce conteneur, le gaz

traversant le filtre (28) de la f-ace amont (30)

à La face aval (32) de celui-ci.

7. Conteneur (72) pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, servant au transport dudit objet (24), caractersé en ce qu'il comprend : - au moins un filtre absolu (100) ayant une face

amont et une face aval, - un emplacement pour ledit objet (24) près de la

face aval du filtre (100), et - des moyens (84, 86) pour faire circuler le gaz

contenu à l'intérieur de ce conteneur, le gaz

traversant le filtre (100) de la face amont à

la face aval de celui-ci.

8. Conteneur (72) selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de transfert dudit objet (24) entre l'intérieur et l'extérieur du conteneur (72).

9. Conteneur (72) selon la revendication 8, caractérisé en ce que lesdits moyens de transfert comprennent : - une tige (110) ayant, à l'une de ses extrémités,

des moyens de préhension dudit objet (24), cette

tige étant déplaçable en translation entre une

position rétractée dans laquelle ledit objet (24)

est à son emplacement dans le conteneur (72) et

une position déployée dans laquelle ledit objet est

à L'extérieur du conteneur (72), et - des moyens de déplacement en translation de ladite

tige.

10. Conteneur (74) pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, servant à l'introduction dudit objet (24) dans une machine (76), caractérisé en ce qu'il comporte : - au moins un filtre absolu ayant une face amont

et une face aval, - un emplacement pour ledit objet (24) près de la

face aval du filtre, et - des moyens pour faire circuler le gaz contenu

à l'intérieur de ce conteneur, le gaz traversant

le filtre de la face amont à La face aval de celui

ci, et - en ce que l'une au moins de ses parois comporte une ouverture

(78) apte à laisser passer ledit objet (24) et permettant ega-

lement le passage d'un moyen de préhension (80) en faisant

partie de la machine (76).

11. Conteneur selon l'une quelconque des revendications 7 et 10, caractérisé en ce qu'il comporte un nez (104, 105) en forme de cylindre creux dont une extrémité communique avec l'intérieur du conteneur (72, 74) et dont l'autre extrémité comporte un orifice permettant le passage dudit objet (24), cet orifice pouvant être fermé par une porte (106, 109).

12. Conteneur (72, 74) selon la revendication 11, servant au transport dudit objet (24), respectivement à l'introduction de celui-ci dans une machine (76), caractérisé en ce que la section droite de son nez cylindrique (104) est différente de celle du nez (105) d'un autre conteneur (74, 72) servant à l'introduction dudit objet (24) dans une machine (76), respectivement au transport de celui-ci, afin que l'un des deux nez puisse pénétrer dans L'autre.

13. Conteneur selon L'une quelconque des revendications 6, 7 et 10, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens pour créer une surpression à l'intérieur du conteneur.

14. Conteneur selon la revendication 13, caractérisé en ce que lesdits moyens pour créer une surpression comprennent au moins un ventilateur (50, 102) placé de manière à insuffler un gaz à

L'intérieur du conteneur à travers un orifice prévu dans une paroi de ce conteneur.

15. Conteneur selon l'une quelconque des revendications 6, 7 et 10, caractérisé en ce que les moyens pour faire circuler le gaz contenu à L'intérieur du conteneur comprennent au moins un ventilateur (36, 84) comportant : - un arbre (40, 88) mobile en rotation autour de

son axe, - au moins un ensemble de pales (42) monté sur cet

arbre (40, 88), et - des moyens (44, 46, 102) de mise en rotation et/ou

de maintien de cet arbre (40, 88).

16. Conteneur selon la revendication 15,

caractérisé en ce que les moyens de mise en rotation

et/ou de maintien de L'arbre (40, 88) se trouvent

à l'extérieur du conteneur, et en ce que l'arbre

(40, 88) traverse au moins une paroi de celui

ci à travers un orifice (48) dont la section est

supérieure à celle de l'arbre.

17. Conteneur selon la revendication 15,

caractérisé en ce qu'il comporte en outre au moins

un cylindre creux (64), ouvert à ses deux

extrémités, à l'intérieur duquel se trouve(nt)

le(s) dit(s) ensemble(s) de pales (42).

18. Conteneur selon l'une quelconque des

revendications 6, 7 et 10, caractérisé en ce que

les surfaces intérieures du conteneur sont recou

vertes d'une couche mince du matériau constitutif

du ou des objet(s) (24) à traiter.

19. Conteneur selon l'une quelconque des revendications 6, 7 et 10, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un dispositif de régulation de température et/ou d'hygrométrie.

20. Conteneur selon l'une quelconque des revendications 6, 7 et 10, caractérisé en ce qu'il comporte :

- un premier caisson rigide (54, 96) dans lequel se trouve l'emplacement dudit objet (24), et

- au moins un deuxième caisson rigide (56, 82) dans lequel sont places les moyens de mise en circulation du gaz se trouvant à l'intérieur du conteneur, les deux caissons étant reliés l'un à l'autre par au moins un élément creux et souple (58, 60, 90) apte à absorber les vibrations.

21. Conteneur selon l'une quelconque des revendications 6, 7 et 10, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une ouverture pour le passage dudit objet (24) entre l'intérieur et l'extérieur du conteneur, cette ouverture pouvant être obturée par une porte (68, 106, 109) mobile entre une position de fermeture laissant un passage pour le gaz de l'intérieur du conteneur vers l'extérieur.

22. Conteneur selon la revendication 21, caractérisé en ce que ladite porte (68) est montée sur le conteneur au moyen d'une tôle fine déformable (150) fixée d'une part au conteneur et d'autre part à ladite porte (68).

23. Conteneur selon la revendication 21, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de maintien de la porte (68) en position de fermeture.

24. Conteneur selon la revendication 17, caractérisé en ce que lesdits moyens de maintien de la porte en position de fermeture comprennent - un premier aimant (152) fixé sur la porte (68),

et - un deuxième aimant (154) fixe sur le conteneur,

les deux aimants étant au voisinage l'un de l'autre

lorsque la porte (68) est en position de fermeture.