TW200829922A - High frequency probe - Google Patents

Description

200829922 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 特別是指一種用於探針卡 本發明係與探針裝置有_: 上以傳遞高頻訊號的高頻探針。 5【先前技術】 一請參閱如第—圖所示為—高頻懸臂式探針卡i，包括有

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12 2〇 , 木、’上之土 & 121為有良好抗震性的絕緣材質， 設之座體122為具料的金屬材質所製賴電性連接 至雜針卡1上的接地電位，座體122上則有多數個固定 件123分別用以固定各同軸探針2〇;其中，各同轴探針％ =-金屬針21為軸芯，並區分為前、後端2〇1、2〇2部位， 班端2〇ι位於固定件123至針尖之間，後端2〇2位於固定 件123至電路板1〇之間，金屬針21之後端2〇2周圍包覆 -層介電材料22，介電材料22之外層包覆—導電金屬23， 導電金屬23並與金屬材質之座體122相接以電性連接至接 地電位，使各同軸探針20於後端202部位以類似同軸傳輸 線之設置有玫傳輪高頻訊號而維持訊號特性阻抗，但由於 2〇各同軸探針20之前端2〇1部位係用以承受來自針尖反作用 力的彈性緩衝力臂，需維持有金屬針21本體之特定重量及 其周圍所需之緩衝活動空間，無法如其後端2〇2之同軸傳 輸線設置結構一般，故高頻傳輸特性僅限於各同軸探針20 之後端202部位無法及於前端201，容易使探針20周圍介 4 200829922 Τ寄生包谷效應造成高頻訊號傳輸的介電損耗。 有特定絕綾軸㈣Μ軸芯的金屬針21需配合環繞 、、、'貝厚度的介電材料Μ，以控制維持訊號傳輸 的特性阻抗，但又黨編人“丄… 又而顧及金屬針21與外層包覆之導電金屬 曰、可生電容效應造成的介電損耗，避免產生訊號阻抗 金匹配的W ’故絕緣材質需有相當的厚度且依照介電常 同有所差異，但不論選用何種絕緣材質，傳輸線本 身的線徑皆較轴芯的金屬針21大了許多，如此增加了傳輸 線=工間分佈密度，故往抑以傳輸高頻訊號的探針卡無 法设置杈多的測試探針以點測需做高頻測試的電子元件。 因此，針卡如何能以高品質的線路傳輸結構，快速並 全面的對馬密集的電子元件作電測，同時兼顧高頻電測訊 號傳輸日^維持其訊號品質，以進行精確的高頻電測工程， 實為現今探針卡製造者所面臨的一大考驗。 【發明内容】 因此，本發明之主要目的乃在於提供一種高頻探針， 係應用於測試探針卡，以維持高頻電測訊號的特性阻抗。 本發明之另一目的乃在於提供一種高頻探針卡，係具 2〇有多數且低空間密度分佈的高頻探針設置結構，有效簡化探 針製作工程並提升探針卡的高頻電測品質。 為達成前揭目的，本發明所提供一種高頻探針卡係具 有一電路板、一針座、複數個訊號探針及接地探針，該電路 板係定義有上、下相對之一上表面及一下表面，該上表面 5 200829922 用以電性連接職機台⑽電子^件做電性測試， 板佈設有錄舰號電敍接地魏，與各該訊號電 鄰特定之間距上設有至少—該接地t路，該些接地電路= 性導通至接地電位；該針座設於該電路板之下表面；各^ 號探針具有-金屬針及至少—導線，該導線佈設於=屬 針上且電性連接該接地探針，該導線與該金屬針之間為相 互電性絕緣’各該金屬針及接地探針皆具有—針尖、 該:尾與針尖之間之一固定部，該針尖用以點觸 上述电子兀件，該固定部為固定於該針座上，該金 連接該訊號電路’該接地探針之針尾電性連接該 15 20

本f明另提供一種高頻探針卡，具有將測試輸出訊 測试回傳職糾使提供不關傳輸路徑，因此戦高頻訊穿 測柄程巾’觀輸出纖與職_訊餘互干擾的現象，U ，板、一針座、複數個訊號探針及接地探針，該 疋義有上、下相對之一上表面及一下表面，該上 1电陡連接測試機台以對上述電子元件做電性測 UC有多數個訊號電路及接地電路，與各該 特定之間距上設有至少—該接地電路，各該 線路性導通至接地電位，各該訊號電路具有一探測 屮m二感測線路，該探測線路用以傳送自測試機台所輸 ^忒條件訊號至電子元件，該感測線路用以傳送自電 物傳之職結果訊號至測試機台；該針座設於該 兔 之下表面；各該訊號探針具有一金屬針、一第一導 6 200829922 線及至少一第_… 佈設於該金屬=線’，第:導線及該至少-第二導線係 針及該感測線路，#f弟一導線兩端分別電性連接該金屬 之間為相互電性=弟二導線與該金屬針及與該第一導線 :設有該接軸^緣，與各龍舰針㈣特定之間距上 -針尾及介於二=金屬針及接地探針皆具有-針尖、 點觸上述電子元杜毛:、針尖之間之一固定部’該針尖用以 針之針尾電性連接^固定部為固定於該針座上，該金屬 接該接地電路 采測線路’該接地探針之針尾電性連 【實施方式】 發明::冓 明如下：〇力放作坪細5兒明，其中所用圖示之簡要說 15 20 提供第—較佳實補之上視圖； =二圖係上述第-錄實施綱提供之結構示意圖； 弟四圖係上述第-較佳實施例所提供之局部結構放大底 1 Ί顯喊針卡上訊雜針與接地探針麟置關係； 第五圖係第二圖之5—5連線剖視圖； 第六圖係第三圖之6-6連線剖視圖； 第七圖係上述第-較佳實施例所提供訊號探針之訊號特 性曲線圖； 第八圖係上述第-較佳實施例所提供訊號探針之訊號特 座曲線圖，為較之第七圖所量測使用之訊號探針有較大之尺寸 7 200829922 結構； 第九圖係本發明所提供第二較佳實施例之訊號探針之結 構不意圖； , _第十®係本發明所提供第三較佳實施例之訊號探針之結 5 構示意圖； 第十-圖係本發明所提供第四較佳實施例之結構示意 圖； 弟十—祕上述第四較佳實施例所提供之局部結構放大 &視，=員示才木針卡上訊號探針與接地探針的設置關係； 10 針三_本發騎提供紅較佳實施例之結構示意 圖； 圖·第十四圖係本發明所提供第六較佳實施例之結構示意 b示意=1五圖係上述第六較佳實施例所提供訊號探針之結構 ，結構圖係本發明所提供第七較佳實施例之訊號探針之 ，圖。第+七圖係本發明所提供第八較佳實施例之結構示意 20 二至第五_示本發明所提供 只靶例，為用以量測積體雷踗 弟季乂么 括有一電路板30、-針㈣歧針卡包 個接地探針60,其中： 夕數個訊號振針50及多數 8 200829922 請配合第二及第三圖參照，該電路板3〇可定義出 之-上表面施及一下表面302 ’以及内、外圍之—探針區 則及-測试區304，該上表自3〇1之測試區綱可供—測 試機台（圖中未示）電性接觸，該測試機台可輸出電測:凡 號至該探針卡2’以傳遞高頻測試訊號至内圍之探針區 303，該電路板3〇佈設有電子電路，包括有多數個訊號; 路31及接地電路32,係自該上表面3〇1延伸設置至下表面 302以電性連接該些訊號探針5〇及接地探針6〇，各該訊號 電路31用以傳遞上述高頻測試訊號，且相鄰特定間距 有該接地電路32,各該接地電路32可錢或間接與測試機 台的接地電位電性連接，因此維持各該訊號電路31傳 頻測試訊號之特性阻抗。 ' ° 明配合第二圖參照，§亥針座4〇係環設於該電路板3〇 下表面302之探針區303上，為如環氧樹脂等具良好絕緣 is特性的材質所製成，用以固定各該探針5〇、6〇並使相互不 電性導通。 ， 請配合第三至第五圖參照，各該訊號探針5〇具有一金 屬針51及一導線52，該金屬針51係區分有一針尖511、 一針尾512及自該針尾512向該針尖511依序延伸分佈之 20 —連接部513、一固定部514及一力臂515,該針尖511用 以點觸上述電子元件所設計為接收高頻測試訊號之測試銲 塾71，該針尾512用以電性連接該訊號電路31，該固定部 514設於該針座40 ;該導線52係佈設於該金屬針51之連 接部513以至力臂515上，包括有軸芯之一金屬線52〇及 9 200829922 以同輛環繞該金屬線520之一絕緣 5〇之金屬針51與金屬線52〇之間藉：=各該訊號探針 性絕緣，該絕緣層521為具有特定之二^ 521相互電 號探針50相鄰朗設有—該接 /厚度；各該訊 與該金屬針Μ為相同之材質4針：口接，6〇 、-針尾602及自該針尾6〇2向針尖 有針尖- 之-連接部603、-固定部604及—力 1 ，伸分佈 用以點觸上述電子科之接地電位所對應之m2 固定部_設於該針座4〇，且該接地探針6〇兩; 及針尖6G2處皆與相鄰該導線52之金屬線 、系不合上述之結構可知，本發明所提供之該懸臂式探針卡2 係為以各該金屬針51與各該導線52所組合之訊號探針5〇 結構取代習用探針，使高頻測試訊號傳遞之路徑上皆設有 15緊鄰之接地電位，且該導線52之金屬線520兩端鄰近訊號 鲁 探針50之針尾511及針尖512處皆與相鄰該接地探針6〇 t 相接設，因此達到最佳阻抗匹配的效果以維持高頻測試訊 號之傳輸品質；再者，由於各該訊號探針50之金屬針51 * 與導線52為平行並列的結構，使該訊號探針50之整體徑 20長取決於二者組合之徑長，且組合最大徑長約略僅為兩倍 之該金屬針51之徑長甚至更小，配合第六圖參照，故不必 如習用同軸探針般受限於軸心金屬針之周圍需以同軸包覆 形態環設有絕緣材質及導電金屬的結構，本發明所提供之訊 號探針能以小尺寸的優點於高密集度的探針區中大量設置 200829922 以供高頻電測使用，且能兼顧探針在探觸電子元件時前端 力臂同樣獲得有足夠的緩衝性，同時達到更佳的阻抗匹配 效果。 r 請配合如第七及第八圖所示，為本實施例所提供該訊 5號探針50之頻率特性曲線圖，其中當該金屬針51與金屬 線52〇之徑長同為4 mil，該絕緣層521之壁面厚度為25 Um，且金屬線520前端距金屬針51之針尖511為16〇 mil 日:，其組合最大徑長為25〇 um，配合第七圖參照反射耗 損（return 10SS)曲線su顯示其低反射耗損特性可及於高 ίο頻GHz頻段，插入耗損（inserti〇nl〇ss)曲線切更顯示於 -3dB增益之通帶（Passband)限制頻率可高至i 8 GHz ;而 當該金屬針51與金屬線別之徑長同為8 mi卜該絕緣層 521之壁面厚度為5〇 um，且金屬線52〇前端距金屬針^ =針尖511為80 mil時，其組合最大徑長為5〇〇聰配合 15弟八圖參照，反射耗損（她ml〇ss)曲線su，顯示於高頻 GHz頻段有極㈣反雜損，亦峡高赌有極佳的阻抗 匹ί特性If入耗損（—1〇SS)曲線S21，更顯示於-3dB 增益之通帶（passband)限制頻率可高至43GHz，具有良 好的的尚頻訊號傳輸品質，如此使該探針卡2在傳輸高頻 2〇電測訊號時不但整體高頻傳輸路徑皆具有低損耗、匹= 圭 的特性，且各該訊號探針50僅為二分之一亳米甚至更小之 徑長，在該探針區303上可大量設置以供大量電子元件的 探測，有效並快速_電子元件進行晶圓級電性測試。 當然本發明所提供之訊號探針主要以導線佈設於金屬 200829922 “ j ’達.頻訊號傳輸路徑上鄰近有接地電位的設 ，使掏有阻抗匹崎性，故亦可如第九圖所示為本發明 :實闕崎供㈣設雌針卡電路板之-訊號探 ，、士 ’較之上述實施例所提供者為於該金屬針51之兩側皆 5佈設有-該導線a更可避免金屬針M在僅佈設有單一導 線52之結構時，於未佈設有導線％之另一側邊受料他 麟訊號的干擾’因此具有良好的的高舰號傳輸品質。 馨"再者’祕訊餘針主要以金屬針與金屬線並列的平 =雙導線雜維持高頻訊號傳輸時的阻抗匹配，故亦可如 10第十圖所不為本發明第三較佳實施例所提供用以設於探針 =電路板之-訊號探針55，較之上述實施例所提供者為於 该金屬針51之外圍先以同軸環繞一絕緣層54，再於絕緣層 54上佈②該金屬線52〇，如此可盡量避免用以傳輸訊號的 金屬針W上受到氧化或污染，增加金屬針51的使用壽命。 15 請參閱如第十一圖所示為本發明第四較佳實施例所提 # 供之懸煮式探針卡3,與上述第一較佳實施例所提供者差 t異在於，該針座40上更設有一接地面41，係為具導電性的 金屬材質所製成，各該訊號探針5〇之金屬線52〇以及各該 ?接地探針60皆為電性連接該接地面41，因此該接地面41 2〇不但可知:供為該採針卡3中電子電路之接地等電位面，使 電路中維持穩定的共同接地電位，且二該訊號探針5〇僅需 於相鄰同側之間設置一該接地探針6〇，將各別之導線52 佈設於外側’配合第十二圖參照，即可維持各該訊號探針 50傳遞尚頻測試訊號之特性阻抗，同時避免其他不必要的 12 200829922 sfl號干擾，更能減少該些接地探針之設置數量，用以量 測對應設置較少接地銲墊的晶圓電子電路結構。 里 5 15 20 β本發明所提供之高頻測試訊號傳輸結構亦可應用於一般 顯不器驅動晶片做高頻差動訊號之量測，請參閱如第十三 圖所示本發明第五較佳實施例提供之-懸臂趣針卡心盘: 述第-較㈣蘭所提供者差異在於，树施騎提供^一 電路板35，係更設有多數個差動訊號電路％，為相鄰二訊號 線路33卜332所構成用以傳輸差動訊號對，兩側相鄰特定間 =則各設至少-接地電路34以_縣峨對的訊號特性 阻抗，各該差動訊號電路33對應接設有二該訊號探針5〇，各 娜^路34則電性連接該接地探針⑼，因此使該探針卡 更月t*於傳遞差動號過程巾維持阻抗匹配的特性。 喷參閱如第十四圖所示為本發明第六較佳實施例所提 里式探針卡5 ’與上述第一較佳實施例所提供者差 施例所提供之—電路板37與多數個訊號探針57， ^有將測試輸出訊號與測試回傳訊號分開使提供不同的傳 輸路’因此避务古斗g 、 %且板37佈対紐個職電路36，各該訊號電路 用以、值、、'則:線路361及—感測線路362’該探測線路361 糾、目丨Γ Μ機台所輸出之測試條件訊號至電子元件， 號至測試機自電子元件所回傳之測試結果訊 間距上則設有至少：：=，361及感測祕362相鄰特定 孩接地電路32以維持測試訊號傳輸的訊 13 200829922 5虎特性阻抗。 請配合第十四及十五圖參照，各該訊號探針57具有一 該金屬針51及佈設於該金屬針上之二導線，其中一第一導 線56與上述實施例所提供之導線52同樣具有-金屬線56〇 5及-絕緣層划’該金屬線56〇兩端分別電性連接該金屬針 51及該感測線路362，第二導線52即為上述各實施例所提 供者用以與接地電路32電性連接’該金屬針51電性連接該 籲探測線路361，與各該訊號探針57相鄰特定之間距上設有 該接地探針60。 1〇 目此該探測線路如傳送自測試機台所輸出之高頻測 4條件讯號至该金屬針51，該感測線路362與第一導線％ 用以作為量測電子元件測試結果的訊號傳送路徑，當中皆鄰 近配合有該接地電路32及第二導線52與接地探針6〇的設 置，因此本實施例所提供之該探針卡5除了具有上述各實 15施例所提供者用轉持高頻測試訊號傳遞之特性阻抗，更 • 提供避免高頻訊號測試過程中，測試輸出訊號與測試回傳訊號 相互干擾的現象，故具有更佳的高^^貝測試品質。 | 韻本實施例所提供之該訊號探針57同樣可設置更多 的第二轉52以達成最佳醜號阻抗匹配特性，故可如第 2〇十六圖所示為本發明第〖較佳實施例所提供之訊號探針58， 於該金屬針與第-導線56共同之兩侧邊皆佈設有一該 第二導線52，更可有效降低測試輸出訊號與測試回傳訊號相 互干擾以及其侧試訊號的干擾，因此具有良好的高頻訊號 傳輸品質。 200829922 5 當然若為了減少單—訊號探針的整體尺寸，亦可如第 十七圖所示為本發明第八較佳實施例所提供之一懸臂式探針 卡6，與上述第六較佳實施例所提供者差異在於，僅由一該 金屬针51與第一導線56構成一訊號探針外，與各嗲 探針59相鄰特定之間距上則設有至少一該接地探；：，以u ，持各該訊麟針59傳駄號的雜阻抗，如本實施例 ，供者為各該訊號探針59兩側各設一該接地探針的，同 能兼顧職輸㈣號與峨哺訊號轉如抗匹配

Li當it能其他職訊號的干擾，因而發揮本發明Ϊ 提仏之南口口貝的南頻訊號傳輸。 唯，以上所述者，僅為本發明之較佳 本發明說明書及申請專利‘^ 變化’理應包含在本發明之專利範圍内。巧之年U冓 200829922 【圖式簡單說明】 第一圖係習用懸臂式探針卡之結構示意圖； =一圖係本發明所提供第一較佳實施例之上視圖； ，二圖係上述第一較佳實施例所提供之結構示意圖； 5 第四圖係上述第一較佳實施例所提供之局部結構放大底 視圖L頒不探針卡上訊號探針與接地探針的設置關係； 第五圖係第三圖之5-5連線剖視圖； 第六圖係第三圖之6—6連線剖視圖； 第七圖係上述第一較佳實施例所提供訊號探針之訊號特 ίο 性曲線圖； 第八圖係上述第一較佳實施例所提供訊號探針之訊號特 性曲線圖’為較之第七圖所制使狀訊號探針有較大之尺寸 結構； 第九圖係本發供帛二較佳實施例之訊號探針之結 15 構示意圖； 一第十圖係本鲞明所提供第三較佳實施例之訊號探針之結 構示意圖； 第十-圖係本發明所提供第四較佳實施例之結構示 圖； 20 、f十一圖係上述第四較佳實施例所提供之局部結構放大 底視，不採針卡上訊號探針與接地探針的設置關係； 第十二圖係本發明所提供第五較佳實施例之結構示意 圖； 〜 第十四圖係本發明所提供第六較佳實施例之結構示意 16 200829922

示意圖； =十五難上述第，、㈣實施例所提供訊讎針之結構 5結構^ Ϊ圖圖係本發明所提供第七較佳實施例之訊號探針之

圖 第十七圖係本發明所提供第八較佳實 施例之結構示意 【主要元件符號說明】 10 2 ' 3 ' 4、5懸臂式探針卡 15

30、35、37電路板 302下表面 304測試區 32、34接地電路 331、332訊號線路 362感測線路 41接地面 50、53、55、π、％、 51金屬針 512、602 針尾 514、604固定部 52導線 521 ' 54'561 絕緣層 60接地探針 301上表面 303探針區 31、36訊號電路 33差動訊號電路 361抵測線路 40針座 59訊號探針 511、601 針尖^ 513、603連接部 515、605 力臂 520、560金屬線 56第一導線 17 20 200829922 71測試銲墊 72接地銲墊 Sll、S11’反射耗損曲線 S21、S21’插入耗損曲線

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Claims (1)

1. 200829922 十、申請專利範圍： 1 · 一種高頻探針，包括有·· ^針’料有—針尖、—針尾及介於該針尾與針 ==1定部’該針尖狀_電子元件，該針尾及 u疋γ用以固定於測試用電路板上； 金屬線，係饰設於該金屬針上；以及， ^少—絕緣層，係設於該金屬針及該金屬線之間。 緣声以請專鄕圍第1項所叙高雜針，該絕 ί;繞該金屬線’該絕緣層為具有特定之一壁面 居度’錢屬針與金屬線之間距即為該壁面厚度。面 該高 該局 該絕 k壁面 係具 該至 相:^ · f射請專利範圍第1項所述之高頻探針 ’、木"之最大徑長係相當於兩倍之該金屬針之徑長（ 4 ·依據申請專利範圍第丄項所述之高頻探^十 麵針之最大縣制、於祕之祕屬針之徑長。 15 5 ·依據申請專利範圍第丄項所述之高頻探針 ，層以同軸環繞該金屬針，該絕緣層為具有特定之· 厚度，該金屬針與金屬線之間距即為該壁面厚度。 6·依據申請專利範圍第1項所述之高頻探針 有二金屬線，並列設於該金屬針之兩侧。 7·依據申請專利範圍第1項所述之高頻探針 少一金屬線係電性連接至接地電位。 8 ·依據申請專利範圍第7項所述之高頻探針，— 夕一金屬線係自該金屬針之針尾延伸佈設至該金屬針 與固定部之間。 、之針士 9 ·依據申請專利範圍第1項所述之高頻探斜，上 、τ，吞亥j 20 200829922 少-=線係紐連接至該金屬針之針尖。 依據申請專利範圍第9項 _ 具有=、二金屬線，其中，係 11·依據申請真刹々 運接至接地電位 ;該至少二金屬線係自該巳^ ,所述之高頻探針， 針尖與固定部⑽。 +針尾㈣佈設至該金屬針之 一電路板’係絲有上、下相對之 面，該上表面用以電性連接測試機台以對上=:::表 電性測試，該電路板佈設有多數個訊號做 與各該訊號電路相鄰特定之間距上設有至少==带 路，該些接地電路電性導通至接地電位； λ 屯 15 二針座，設於該電路板之下表面；以及， 複數個訊_針及接地騎，各該訊絲針具有一金 針及至少-導線，該導線佈設於該金屬針上且電性連接該 接地探針，該導線與該金屬針之間為相互電性絕緣，各該 金屬針及接地探針皆具有一針尖、一針尾及介於該針尾與 針尖之間之-固定部’該針尖用以點觸上述電子元件該 固定部為固定於該針座上’該金屬針之針尾電性連接該訊 號電路，該接地探針之針尾電性連接該接地電路。 1 3 .依據申請專利範圍第i 2項所述之高頻探針 卡，該導線具有一金屬線及一絕緣層，該金屬線之兩端分 別與該接地探針及該接地電路相接設，該絕緣層以同軸環 20 20 200829922 繞該金屬線。 1 4 ·依據申請專利範圍第1 2項所述之高頻探針 卡，該導線係為一金屬線，該訊號探針更具有一絕緣層， 該絕緣層以同軸環繞該金屬針。 ^ 5 1 5 ·依據申請專利範圍第1 2項所述之高頰探針 卡’该至少一導線係自該金屬針之針尾延伸佈設至該金屬 之針尖與固定部之間。 ' 1 6 ·依據申請專利範圍第1 2項所述之高頻探針 卡’該訊號探針之最大徑長係相當於兩倍之該金屬針之π ίο長。 侵 17·依據申請專利範圍第12項所述之高頻探針 卡’該訊號探針之最大徑長係小於兩倍之該金屬針之徑長。 1 8 ·依據申請專利範圍第1 2項所述之高頻探針 卡，該訊號探針具有二導線，並列設於該金屬針之兩側。 15 1 9 ·依據申請專利範圍第1 2項所述之高頻探針 卡，該電路板之訊號電路具有相鄰二訊號線路，該二訊號線 路之兩侧相鄰特定間距上各設至少一該接地電路。 2 0 ·依據申請專利範圍第1 9項所述之高頻探針 卡，該二訊號線路用以傳輸差動訊號對。 20 2 1 ·依據申請專利範圍第1 9項所述之高頻探針 卡，該二訊號線路分別電性連接一該訊號探針。 2 2 ·依據申請專利範圍第2 1項所述之高頻探針 卡’該二訊號線路所對應連接之二該訊號探針之兩侧各設至 少一該接地探針。 21 200829922 卡二線路 ==19項所述之高頰探針 :輸有至少二心線路，號 .5尖及=測線路，該金屬針電性連“___針之針 依據申睛專利範圍第2 3項所述之 之針物針讀尾延輪^金ί ί 卡’該針座 ω成’鱗線與職地探針係透職接地面電性^質所製 元件高=卡，用以傳輸測試咖 一電路板，係定義有上、下相對之一 與各接地電路， 路’各該接地魏導通該接地電 有一;η 、、至接地電位，各該訊號電路具 力偉详… 電子疋件’該感測線路用以 專^自電子几件所回傳之測試結果訊號至測試機台； —針座，設於該電路板之下表面；以及， ，數個訊號探針及接地探針，各該訊號探針具有一金屬 一導線’該導線係佈設於該金屬針上且兩端分別 y連接該金屬針及該感測線路，與各該訊號探針相鄰特 22 200829922 二至少一該接地探針，各該金屬針及接地探 、有一針大、一針尾及介於該針尾與針尖之間之一固 針尖上述電子元件，_定部為固定於 才木針之針尾電性連接該接地電路。 卡：少右專利範圍第2 6項所述之高頻探針 V、、泉具有一金屬線及一絕緣 同軸環繞該金屬線，該今屬砼+ \ 忑、、巴緣層以 感測線路減設。 線之⑽分㈣該金屬針及該 10 15 20 卡：Lff申請專利範圍第2 7項所述之高頻探針 屬針之針尾延伸佈設絲金屬針之針尖 M·依據申請專利範圍第26項所述之高頻探針 八十兩侧與該金屬針及導線相鄰特定之間距上係 刀別各设有一該接地探針。 ^0备依據申請專利範圍第26項所述之高頻 卡，該訊號探針具有至少二導線，係分別為—第一及 ίί二Ϊ導線具有—金屬線及—絕緣層，其中該第一導 ^之i屬線兩端分別與該金屬針之針尖及該感測線路相接 Ϊ敗Γ弟二導線之金屬線兩端分別與該接地探針及該接地 電路相接設。 31·依據申請專利範圍第3Q項所述之高頻探針 2該至少二導_自該金屬針之針魏伸佈設至該金屬針 之針尖與固定部之間。 23 200829922 3 2 ·依據申請專利範圍第3 0項所述之高頻探針 卡，該訊號探針具有二第二導線，並列設於該金屬針與該 第一導線所組成結構之兩側。 3 3 ·依據申請專利範圍第2 6項所述之高頻探針 5卡，該針座上設有一接地面，為具導電性的金屬材質所製 成，該第二導線與該接地探針係透過該接地面電性連接。 3 4 ·依據申請專利範圍第2 6項所述之高頻探針 卡，該導線之徑長係相當於該金屬針之徑長。 3 5 ·依據申請專利範圍第2 6項所述之高頻探針 ίο 卡，該導線之徑長係小於該金屬針之徑長。

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