JPH11108955A - ウエハプローバー - Google Patents
ウエハプローバーInfo
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- JPH11108955A JPH11108955A JP26536797A JP26536797A JPH11108955A JP H11108955 A JPH11108955 A JP H11108955A JP 26536797 A JP26536797 A JP 26536797A JP 26536797 A JP26536797 A JP 26536797A JP H11108955 A JPH11108955 A JP H11108955A
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- JP
- Japan
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- signal
- coaxial
- probe needle
- ground
- probe
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 同軸型プローブ針の外部導体部のシグナル・
グランドへの接続処理方法を工夫して、良好な高速デー
タ転送を可能とする。 【解決手段】 同軸型プローブ針の同軸部の外部導体部
１ａ，１ｂを互いにケーブル４又は編組線７で接続した
複数のグループを構成し、これら同軸型プローブ針の共
通グランド信号をグランド用プローブ針でパッド６に当
接させる。
グランドへの接続処理方法を工夫して、良好な高速デー
タ転送を可能とする。 【解決手段】 同軸型プローブ針の同軸部の外部導体部
１ａ，１ｂを互いにケーブル４又は編組線７で接続した
複数のグループを構成し、これら同軸型プローブ針の共
通グランド信号をグランド用プローブ針でパッド６に当
接させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ＩＣのウ
エハテスト時に使用するウエハプローバーにおけるプロ
ーブカードの内、同軸型信号処理をするプローブ針を持
つ同軸型プローブカードの改良に関するものである。
エハテスト時に使用するウエハプローバーにおけるプロ
ーブカードの内、同軸型信号処理をするプローブ針を持
つ同軸型プローブカードの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＩＣ，ＬＳＩなどを製造する工
程の中に、ウエハ上の個々のチップが良品か不良品かを
テストするウエハテスト工程がある。このウエハテスト
は、通常、プローバーと呼ばれる装置にプローブカード
を装着し、プローブカードのプローブ針をウエハのチッ
プ上の所定のパッドにコンタクト（接触）させて行なわ
れる。このプローブ針、そしてプローブカードの概要
は、実開昭５７−１４６３４０号公報に開示されてい
る。
程の中に、ウエハ上の個々のチップが良品か不良品かを
テストするウエハテスト工程がある。このウエハテスト
は、通常、プローバーと呼ばれる装置にプローブカード
を装着し、プローブカードのプローブ針をウエハのチッ
プ上の所定のパッドにコンタクト（接触）させて行なわ
れる。このプローブ針、そしてプローブカードの概要
は、実開昭５７−１４６３４０号公報に開示されてい
る。
【０００３】一方、メモリＩＣの信号の内、ある信号の
みが非常に高速な場合がある。従来型のＤＲＡＭは、信
号として、ＲＡＳ，ＣＡＳ，ＷＥ，ＯＥを持ち、これら
の制御信号の入力レベル、入力タイミングの前後関係に
より種々の動作を規定していたが、例えば、同期（シン
クロナス）型ＳＧＲＡＭ−μＰＤ４８１８５０は、シス
テムクロック信号に同期してコマンドを入力することに
より、ＤＲＡＭメモリの動作制御を行なっている。クロ
ック信号は、最大１００ＭＨz で、その周期は１０ｎｓ
ｅｃと高速である。即ち、このような高速のメモリＩＣ
用のプローブカードでは、プローブ針の一部はその他の
ものに比べて高いデータ転送能力（５００ＭＨz 以上の
要求も出ている）が要求される。
みが非常に高速な場合がある。従来型のＤＲＡＭは、信
号として、ＲＡＳ，ＣＡＳ，ＷＥ，ＯＥを持ち、これら
の制御信号の入力レベル、入力タイミングの前後関係に
より種々の動作を規定していたが、例えば、同期（シン
クロナス）型ＳＧＲＡＭ−μＰＤ４８１８５０は、シス
テムクロック信号に同期してコマンドを入力することに
より、ＤＲＡＭメモリの動作制御を行なっている。クロ
ック信号は、最大１００ＭＨz で、その周期は１０ｎｓ
ｅｃと高速である。即ち、このような高速のメモリＩＣ
用のプローブカードでは、プローブ針の一部はその他の
ものに比べて高いデータ転送能力（５００ＭＨz 以上の
要求も出ている）が要求される。
【０００４】従来、高速な信号用のプローブカードとし
て、同軸型プローブ針を使用したプローブカードがあっ
た。その例として、図５、図６に示されるようなものが
挙げられる。図５は、従来の同軸型プローブカード並び
にプローブ針を示す側面図であり、図において、２１は
基板、２２は同軸型プローブ針の内、内部導体部の針の
先端部、２３は同軸ケーブル部、２４は固定部、２５は
同軸ケーブル部２３の外部導体部を基板２１のシグナル
・グランドに接続するためのケーブルである。そして同
軸ケーブル部２３が特性インピーダンス５０Ω等を持
ち、内部導体部の針の先端部２２がチップのパッドにコ
ンタクトしてウエハテストするものである。
て、同軸型プローブ針を使用したプローブカードがあっ
た。その例として、図５、図６に示されるようなものが
挙げられる。図５は、従来の同軸型プローブカード並び
にプローブ針を示す側面図であり、図において、２１は
基板、２２は同軸型プローブ針の内、内部導体部の針の
先端部、２３は同軸ケーブル部、２４は固定部、２５は
同軸ケーブル部２３の外部導体部を基板２１のシグナル
・グランドに接続するためのケーブルである。そして同
軸ケーブル部２３が特性インピーダンス５０Ω等を持
ち、内部導体部の針の先端部２２がチップのパッドにコ
ンタクトしてウエハテストするものである。
【０００５】図６は基板２１を除いた状態で同軸型プロ
ーブカード並びにプローブ針を示す平面図であり、プロ
ーブカードの中の同軸型プローブ針の１本の付近を抜粋
し拡大して表わしたもので、同軸型プローブ針の信号処
理方法と、そのコンタクトするパッドとの関係を説明す
るものである。図において、左端の一本が同軸型のプロ
ーブ針であり、その他は一般的なものである。２６はプ
ローブ針の先端部２２がコンタクトするパッドで、その
うち、２６ａ，２６ｂ，２６ｄが信号用のパッド、２６
ｃがシグナル・グランド用のパッドである。この場合の
シグナル・グランド信号は、ＩＣのＶｃｃに対応するも
ので、特に、高速信号用のプローブ針の同軸ケーブルの
外部導体部をグランド処理する為のものではない。
ーブカード並びにプローブ針を示す平面図であり、プロ
ーブカードの中の同軸型プローブ針の１本の付近を抜粋
し拡大して表わしたもので、同軸型プローブ針の信号処
理方法と、そのコンタクトするパッドとの関係を説明す
るものである。図において、左端の一本が同軸型のプロ
ーブ針であり、その他は一般的なものである。２６はプ
ローブ針の先端部２２がコンタクトするパッドで、その
うち、２６ａ，２６ｂ，２６ｄが信号用のパッド、２６
ｃがシグナル・グランド用のパッドである。この場合の
シグナル・グランド信号は、ＩＣのＶｃｃに対応するも
ので、特に、高速信号用のプローブ針の同軸ケーブルの
外部導体部をグランド処理する為のものではない。
【０００６】この従来の場合、同軸ケーブル２３の外部
導体部がチップ側のシグナル・グランドにコンタクトし
ていない為、同軸ケーブル２３が正確にはチップ側で終
端されておらず、即ち、特性インピーダンスのマッチン
グが無く、反射波が発生する。同軸ケーブル２３の外部
導体部のグランドはケーブル２５で基板２１のシグナル
・グランドに接続され、別のシグナル・グランドに対応
するプローブ針を経由して非常に遠回りしてパッド２６
ｃにコンタクトして、チップのシグナル・グランドに接
続されている。
導体部がチップ側のシグナル・グランドにコンタクトし
ていない為、同軸ケーブル２３が正確にはチップ側で終
端されておらず、即ち、特性インピーダンスのマッチン
グが無く、反射波が発生する。同軸ケーブル２３の外部
導体部のグランドはケーブル２５で基板２１のシグナル
・グランドに接続され、別のシグナル・グランドに対応
するプローブ針を経由して非常に遠回りしてパッド２６
ｃにコンタクトして、チップのシグナル・グランドに接
続されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の同軸型プローブ
カードは以上のように構成されているので、同軸ケーブ
ルの外部導体部のシグナル・グランドの処理の配線の長
さが長い為、特性インピーダンスのマッチングが無く、
反射波を生じたり、その大きなループで他の信号のノイ
ズを拾ったりしてノイズマージンを低下させていた。即
ち、従来の同軸型プローブカードは、単に、従来のプロ
ーブカードのプローブ針の一部を同軸ケーブル化したも
ので、良好な高速データ転送が得られる性能のものでは
なかったという問題点があった。
カードは以上のように構成されているので、同軸ケーブ
ルの外部導体部のシグナル・グランドの処理の配線の長
さが長い為、特性インピーダンスのマッチングが無く、
反射波を生じたり、その大きなループで他の信号のノイ
ズを拾ったりしてノイズマージンを低下させていた。即
ち、従来の同軸型プローブカードは、単に、従来のプロ
ーブカードのプローブ針の一部を同軸ケーブル化したも
ので、良好な高速データ転送が得られる性能のものでは
なかったという問題点があった。
【０００８】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、同軸型プローブ針の外部導体部
のシグナル・グランドへの接続処理方法を工夫して、良
好な高速データ転送を可能とする同軸型プローブカード
を提供することを目的とする。
ためになされたもので、同軸型プローブ針の外部導体部
のシグナル・グランドへの接続処理方法を工夫して、良
好な高速データ転送を可能とする同軸型プローブカード
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るウエハプローバーは、プローブ針をウエハ上のパッド
表面に押し付けウエハテストを行なうものであって、同
軸型プローブ針の同軸部の外部導体部を互いにケーブル
又は編組線で接続した複数のグループを構成し、同軸型
プローブ針の共通グランド信号をグランド用プローブ針
でパッドに当接させたものである。
るウエハプローバーは、プローブ針をウエハ上のパッド
表面に押し付けウエハテストを行なうものであって、同
軸型プローブ針の同軸部の外部導体部を互いにケーブル
又は編組線で接続した複数のグループを構成し、同軸型
プローブ針の共通グランド信号をグランド用プローブ針
でパッドに当接させたものである。
【００１０】この発明の請求項２に係るウエハプローバ
ーは、同軸型プローブ針を高速データ信号用プローブ針
とシグナル・グランド信号用プローブ針で構成したもの
である。
ーは、同軸型プローブ針を高速データ信号用プローブ針
とシグナル・グランド信号用プローブ針で構成したもの
である。
【００１１】この発明の請求項３に係るウエハプローバ
ーは、高速データ信号用同軸型プローブ針の隣にシグナ
ル・グランド信号用同軸型プローブ針を配置したもので
ある。
ーは、高速データ信号用同軸型プローブ針の隣にシグナ
ル・グランド信号用同軸型プローブ針を配置したもので
ある。
【００１２】
実施の形態１．以下、この発明の一実施形態を図につい
て説明する。図１はこの発明の一実施形態による同軸型
プローブカードを示す平面図であり、図において、１ａ
は高速にデータ転送したい信号線のプローブ針を同軸化
した同軸型プローブ針の外部導体部、１ｂはシグナル・
グランド信号用のプローブ針を同軸化した同軸型プロー
ブ針の外部導体部、２ａ，２ｂは同軸型プローブ針の
内、内部導体部の針の先端部、３は固定部、４は外部導
体部１ａ，１ｂの最先端部分を密に（短く太く）接続す
るケーブルであり、その描くループの大きさは従来のも
のに比べて小さくなる。
て説明する。図１はこの発明の一実施形態による同軸型
プローブカードを示す平面図であり、図において、１ａ
は高速にデータ転送したい信号線のプローブ針を同軸化
した同軸型プローブ針の外部導体部、１ｂはシグナル・
グランド信号用のプローブ針を同軸化した同軸型プロー
ブ針の外部導体部、２ａ，２ｂは同軸型プローブ針の
内、内部導体部の針の先端部、３は固定部、４は外部導
体部１ａ，１ｂの最先端部分を密に（短く太く）接続す
るケーブルであり、その描くループの大きさは従来のも
のに比べて小さくなる。
【００１３】また場合によっては、このケーブル４と直
接シグナル・グランド信号用のプローブ針の先端部２ｂ
とをケーブル５で接続すると更に有効となる。６はプロ
ーブ針の先端部２がコンタクトするパッドであり、その
うち６ａ，６ｂ，６ｄが信号用のパッドであり、６ｃが
シグナル・グランド用のパッドである。
接シグナル・グランド信号用のプローブ針の先端部２ｂ
とをケーブル５で接続すると更に有効となる。６はプロ
ーブ針の先端部２がコンタクトするパッドであり、その
うち６ａ，６ｂ，６ｄが信号用のパッドであり、６ｃが
シグナル・グランド用のパッドである。
【００１４】以上のように構成することにより、従来の
同軸型プローブカードに比べて、同軸ケーブルの外部導
体部のシグナル・グランドの処理のための配線の長さが
短くなり、特性インピーダンスのマッチングが従来より
近づき、反射波を減少させ、その小さいループで他の信
号のノイズを拾い難くなり、ノイズマージンを向上させ
ることができる。又、図１においては、ケーブル４によ
って同軸の外部導体部を接続する場合について説明した
が、図２に示すように、編組線７によって外部導体部を
幅広く接続すれば更に有効となる。
同軸型プローブカードに比べて、同軸ケーブルの外部導
体部のシグナル・グランドの処理のための配線の長さが
短くなり、特性インピーダンスのマッチングが従来より
近づき、反射波を減少させ、その小さいループで他の信
号のノイズを拾い難くなり、ノイズマージンを向上させ
ることができる。又、図１においては、ケーブル４によ
って同軸の外部導体部を接続する場合について説明した
が、図２に示すように、編組線７によって外部導体部を
幅広く接続すれば更に有効となる。
【００１５】尚、上記説明においては、２本の外部導体
部１ａ，１ｂをケーブル４又は編組線７によって接続し
た場合を示したが、複数の同軸型プローブ針の同軸部の
外部導体部分を互いにケーブル又は編組線で接続したグ
ループを複数構成し、グループの中から共通するグラン
ド信号をグランド用のプローブ針でパッド（測定物）に
当接させてもよい。
部１ａ，１ｂをケーブル４又は編組線７によって接続し
た場合を示したが、複数の同軸型プローブ針の同軸部の
外部導体部分を互いにケーブル又は編組線で接続したグ
ループを複数構成し、グループの中から共通するグラン
ド信号をグランド用のプローブ針でパッド（測定物）に
当接させてもよい。
【００１６】実施の形態２．図３はこの発明の実施の形
態２による同軸型プローブカードを示す平面図であり、
本実施形態においては、チップにおけるパッド配置を変
更し、高速にデータ転送する信号のパッド６ａの隣にシ
グナル・グランド用のパッド６ｂを新たに設け、それに
付随して同軸型プローブ針を隣同士に対で配置したもの
である。図において、８は高速にデータ転送したい信号
線とシグナル・グランド信号用のプローブ針のみを同軸
化した同軸型プローブ針の外部導体部１ａ，１ｂの間を
密に（短く太く）接続するケーブルで、その描くループ
の大きさは従来のものに比べて極端に小さい。また、場
合によっては、このケーブル８と直接シグナル・グラン
ド信号用のプローブ針２ｂとをケーブル９で接続すると
更に有効となる。
態２による同軸型プローブカードを示す平面図であり、
本実施形態においては、チップにおけるパッド配置を変
更し、高速にデータ転送する信号のパッド６ａの隣にシ
グナル・グランド用のパッド６ｂを新たに設け、それに
付随して同軸型プローブ針を隣同士に対で配置したもの
である。図において、８は高速にデータ転送したい信号
線とシグナル・グランド信号用のプローブ針のみを同軸
化した同軸型プローブ針の外部導体部１ａ，１ｂの間を
密に（短く太く）接続するケーブルで、その描くループ
の大きさは従来のものに比べて極端に小さい。また、場
合によっては、このケーブル８と直接シグナル・グラン
ド信号用のプローブ針２ｂとをケーブル９で接続すると
更に有効となる。
【００１７】以上のように構成することにより、従来の
同軸型プローブカードに比べて、同軸ケーブルの外部導
体部のシグナル・グランドの処理のための配線の長さが
極端に短くなり、特性インピーダンスのマッチングが従
来より近づき、反射波を減少させ、その小さいループで
他の信号のノイズを拾い難くなり、ノイズマージンを向
上させることができる。即ち、信号用のパッド６ａの隣
のパッドは、シグナル・グランド用のパッド６ｂが用意
されるのである。又、図３においては、ケーブル８によ
って同軸の外部接続部を接続する場合について説明した
が、図４に示すように、編組線１０によって外部導体部
を幅広く接続すれば更に有効となる。
同軸型プローブカードに比べて、同軸ケーブルの外部導
体部のシグナル・グランドの処理のための配線の長さが
極端に短くなり、特性インピーダンスのマッチングが従
来より近づき、反射波を減少させ、その小さいループで
他の信号のノイズを拾い難くなり、ノイズマージンを向
上させることができる。即ち、信号用のパッド６ａの隣
のパッドは、シグナル・グランド用のパッド６ｂが用意
されるのである。又、図３においては、ケーブル８によ
って同軸の外部接続部を接続する場合について説明した
が、図４に示すように、編組線１０によって外部導体部
を幅広く接続すれば更に有効となる。
【００１８】この実施の形態２においては、ＩＣ、即
ち、チップの開発当初より高速データ信号、例えば、ク
ロック信号等の隣には必ずシグナル・グランド用のパッ
ドを設けるように設計する必要があるが、その代わり、
高速なデータ転送をマージン高く行なうことができるメ
リットがある。このように、従来の同軸型プローブカー
ドの同軸ケーブル部の外部導体のグランド処理を最短
で、太く、低インピーダンスで接続すれば、擬似的に同
軸ケーブルの終端を実施出来たことになり、反射波を低
くおさえられ、良好な高速データ転送が得られる。
ち、チップの開発当初より高速データ信号、例えば、ク
ロック信号等の隣には必ずシグナル・グランド用のパッ
ドを設けるように設計する必要があるが、その代わり、
高速なデータ転送をマージン高く行なうことができるメ
リットがある。このように、従来の同軸型プローブカー
ドの同軸ケーブル部の外部導体のグランド処理を最短
で、太く、低インピーダンスで接続すれば、擬似的に同
軸ケーブルの終端を実施出来たことになり、反射波を低
くおさえられ、良好な高速データ転送が得られる。
【００１９】以上の実施の形態１、２においては、Ｃａ
ｎｔｉｌｅｖｅｒ型プローブ針について説明したが、垂
直針型のプローブ針でも同様の処理を行なえば同様の効
果が得られる。また、高速データ転送の信号を一本で説
明したが、複数本でも同様の効果が得られ、そして、対
象とするＩＣがメモリでなく、マイコン、ＡＳＩＣ等の
ロジックＩＣでも同様の効果が得られる。また、同軸型
プローブ針の内、同軸ケーブル部より飛び出したプロー
ブ針の先端長が短いほど、以上の効果が大きくなる。
ｎｔｉｌｅｖｅｒ型プローブ針について説明したが、垂
直針型のプローブ針でも同様の処理を行なえば同様の効
果が得られる。また、高速データ転送の信号を一本で説
明したが、複数本でも同様の効果が得られ、そして、対
象とするＩＣがメモリでなく、マイコン、ＡＳＩＣ等の
ロジックＩＣでも同様の効果が得られる。また、同軸型
プローブ針の内、同軸ケーブル部より飛び出したプロー
ブ針の先端長が短いほど、以上の効果が大きくなる。
【００２０】
【発明の効果】この発明の請求項１に係るウエハプロー
バーによれば、プローブ針をウエハ上のパッド表面に押
し付けウエハテストを行なうものであって、同軸型プロ
ーブ針の同軸部の外部導体部を互いにケーブル又は編組
線で接続した複数のグループを構成し、同軸型プローブ
針の共通グランド信号をグランド用プローブ針でパッド
に当接させるようにしたので、グランド配線の描くルー
プを出来るだけ小さく、そしてグランド配線は最短で極
太にできると共に、他のグランドを含めた同軸の信号間
の干渉（クロストーク、グランドレベルの変動等）や外
部の電磁的な外乱ノイズとの遮蔽を行なうことができ、
信号の周波数特性を向上させることができる。
バーによれば、プローブ針をウエハ上のパッド表面に押
し付けウエハテストを行なうものであって、同軸型プロ
ーブ針の同軸部の外部導体部を互いにケーブル又は編組
線で接続した複数のグループを構成し、同軸型プローブ
針の共通グランド信号をグランド用プローブ針でパッド
に当接させるようにしたので、グランド配線の描くルー
プを出来るだけ小さく、そしてグランド配線は最短で極
太にできると共に、他のグランドを含めた同軸の信号間
の干渉（クロストーク、グランドレベルの変動等）や外
部の電磁的な外乱ノイズとの遮蔽を行なうことができ、
信号の周波数特性を向上させることができる。
【００２１】この発明の請求項２に係るウエハプローバ
ーによれば、同軸型プローブ針を高速データ信号用プロ
ーブ針とシグナル・グランド信号用プローブ針で構成し
たので、良好な高速データ転送を可能とすることができ
る。
ーによれば、同軸型プローブ針を高速データ信号用プロ
ーブ針とシグナル・グランド信号用プローブ針で構成し
たので、良好な高速データ転送を可能とすることができ
る。
【００２２】この発明の請求項３に係るウエハプローバ
ーによれば、高速データ信号用同軸型プローブ針の隣に
シグナル・グランド信号用同軸型プローブ針を配置した
ので、同軸ケーブルの外部導体部のシグナル・グランド
の処理のための配線の長さが極端に短くなり、特性イン
ピーダンスのマッチングが近づき、反射波を減少させ、
その小さいループで他の信号のノイズを拾い難くなり、
ノイズマージンを向上させることができる。
ーによれば、高速データ信号用同軸型プローブ針の隣に
シグナル・グランド信号用同軸型プローブ針を配置した
ので、同軸ケーブルの外部導体部のシグナル・グランド
の処理のための配線の長さが極端に短くなり、特性イン
ピーダンスのマッチングが近づき、反射波を減少させ、
その小さいループで他の信号のノイズを拾い難くなり、
ノイズマージンを向上させることができる。
【図１】 この発明の実施の形態１によるウエハプロー
バーの同軸型プローブカードを示す平面図である。
バーの同軸型プローブカードを示す平面図である。
【図２】 この発明の実施の形態１によるウエハプロー
バーの同軸型プローブカードを示す平面図である。
バーの同軸型プローブカードを示す平面図である。
【図３】 この発明の実施の形態２によるウエハプロー
バーの同軸型プローブカードを示す平面図である。
バーの同軸型プローブカードを示す平面図である。
【図４】 この発明の実施の形態２によるウエハプロー
バーの同軸型プローブカードを示す平面図である。
バーの同軸型プローブカードを示す平面図である。
【図５】 従来のウエハプローバーにおける同軸型プロ
ーブカードを示す側面図である。
ーブカードを示す側面図である。
【図６】 従来のウエハプローバーにおける同軸型プロ
ーブカードを示す平面図である。
ーブカードを示す平面図である。
１ａ，１ｂ 外部導体部、４ ケーブル、６ パッド、
７ 編組線。
７ 編組線。
Claims (3)
- 【請求項１】 プローブ針をウエハ上のパッド表面に押
し付けウエハテストを行なうウエハプローバーにおい
て、同軸型プローブ針の同軸部の外部導体部を互いにケ
ーブル又は編組線で接続した複数のグループを構成し、
上記同軸型プローブ針の共通グランド信号をグランド用
プローブ針でパッドに当接させることを特徴とするウエ
ハプローバー。 - 【請求項２】 同軸型プローブ針を高速データ信号用プ
ローブ針とシグナル・グランド信号用プローブ針で構成
したことを特徴とする請求項１記載のウエハプローバ
ー。 - 【請求項３】 高速データ信号用同軸型プローブ針の隣
にシグナル・グランド信号用同軸型プローブ針を配置し
たことを特徴とする請求項２記載のウエハプローバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26536797A JPH11108955A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | ウエハプローバー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26536797A JPH11108955A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | ウエハプローバー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108955A true JPH11108955A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17416202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26536797A Pending JPH11108955A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | ウエハプローバー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11108955A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003001223A2 (en) * | 2001-06-20 | 2003-01-03 | Formfactor, Inc. | High density planar electrical interface |
| JP2008170441A (ja) * | 2007-01-08 | 2008-07-24 | Mjc Probe Inc | 高周波プローブ及びプローブカード |
| US7888956B2 (en) | 2007-09-18 | 2011-02-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for testing a semiconductor device and a method of fabricating and using the same |
| JP2012018116A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-26 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査用プローブユニットおよび回路基板検査装置 |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP26536797A patent/JPH11108955A/ja active Pending
Cited By (7)
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