TW200828331A - Semiconductor memory test system - Google Patents

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TW200828331A
TW200828331A TW096130107A TW96130107A TW200828331A TW 200828331 A TW200828331 A TW 200828331A TW 096130107 A TW096130107 A TW 096130107A TW 96130107 A TW96130107 A TW 96130107A TW 200828331 A TW200828331 A TW 200828331A
Authority
TW
Taiwan
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failure
memory
data
threshold
semiconductor memory
Prior art date
Application number
TW096130107A
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English (en)
Inventor
Ken-Ichi Nakagaki
Takahiro Kimura
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/56External testing equipment for static stores, e.g. automatic test equipment [ATE]; Interfaces therefor
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/3193Tester hardware, i.e. output processing circuits with comparison between actual response and known fault free response
    • G01R31/31932Comparators

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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)

Description

200828331 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明侧於—半導體記憶體戦裝置,詳細而言係 可縮紐測試時間之半導體記憶體踯試裝置。 ’、外; 【先前技術】 你m圖=係習知之轉體記憶制峨置巾失效資料之傳送槿, 之咖!之失效資料1^=^將藉由執行功能檢查附 、兄,用之分析之她 其,失效記憶體3之失效十數 不之冗餘CPU進行额演算。^輯4體5,由未觸 圖5係顯示圖4之動作户您今、士&门 / 憶體3側之處理,(b)俜^ ’(a)係顯示失效! ,側之處理中,周期=處理。編 之處理中,周期性地執行著^至^:己憶體5。緩衝記憶體5相 餘演算。 者將失效㈣複製至緩衝記憶體5與万 圖5中,’若注意1次從恭 : 理,可知依序執行荖·於生 效貧料至冗餘演算之一連串〆 S、體〜失效計數-將失效資料㈣L载失效貧料至失效 十思肢5側中,將失女警 、旻衣至緩衝記憶體5, ^ 5 ΐί 理時料複製錢衝記'_ ί 處理時間為 間丁八如下: 讀至几餘演算之-連串處理時 200828331 ΤΑ: Τ1+Τ2 + Τ3 + Τ4 係為亍之載入失效資料後之失效計 處理?束為止吾人無法將失S 下緩衝心隱體侧之處理必須待命 數, 之失效 資料傳送至緩 龄失效計數處理在傳送失效資料至緩衝記師5接六經 少,而成為欲^體之測試時間並未減 導體記憶測靖置之—例,該半 體。 \衣踩以讀從失效記憶體傳駐缓衝記憶 .【專利文獻1】日本特開2〇〇2 —3_6號公報 【發明内容】 本發明之課題在於提供一半導壯 導體記憶體測試時間(不良分析.時4體别轉置,可縮短半 解決謀顳之手种、 記,二 ,申請專利範圜第1項之發明係一種柳 。己k'脰測试裝置’從失效記憶體 種丰¥體 特徵在於:設有失效計緩衝記憶體,其 同時,將每頁之總失效數加以計^^失效讀至緩衝記憶體之 Μ申請專利細第2項之發縣 體記憶體測試裝置,其中該失效計數弟1項之半導 寬(頁數)同樣數目之計數哭。数°。邛具有與失效資料之位元 200828331 申睛專利範圍第3項蘇^ 從失效記Μ傳私效資^導體練_試裝置, 失效計數器部,在1 =,魏體’其特徵在於包含: 頁總失效數加以計^1料失效資駐緩衝記憶體之同時,將每 閾値暫存器,儲在古沉、士此 …比較部,比較該失效計^數器^效,(閾值);及 從閾値暫存器所輪入之捕:二上,母頁總失效數之計數値與 申古主直刹μ .失效數(閾値)〇 體記憶體測試裝置請專利範圍第 3項之半導 寬(頁數)才目同數目^計^,部具有與失效資料之位元 之計數器相同數目的比較器7 ’以比較部具有與該失效計數器部 查3¾主敫果 依本發明’藉由傳送失效 失效數加以計數,可缩短丰衝記憶體之同時將每頁總 間)。 德體魏體之測試時間(不良分析時 【實施方式】 之最佳形| 乂 以下餐知、圖式說明本發明之實祐犯 一實施例構成圖,對與圖4共通之部顯示本發明之 圖1中,根據從模式產生哭2所於山。一付號。 功能=所狀翻由執行 緩衝記憶體5。此時,失效計數器部料傳送至 之失效資料失效數目加以計數。在此,^ ^至^^己憶體5 效資料之位元寬(賊)囉數目 4H6具有與失 器61〜6N在將失效資料傳送至緩衝將·; 200828331 效數目加以計數。然後,傳送至缓衝記憶體5後, 冗餘CPU進行顧演#。 〜之 圖2係顯示圖i之動作流程之流程圖,(a)顯示失效記 體3侧之處理,(b)顯示缓衝記憶體5侧之處理。失效記憶^^ 侧之處理中,周期性地執行著載入失效資料至失效圮情體^ ~蔣 二效資料複製至緩衝記憶體5與失效計數之同時處理了緩衝 5二側,肋性地齡賴失效:雜魏至_記怜i 5 —失效计數之同時處理4冗餘演算。 、 圖2中’注意1次從載入失效資料至冗餘演算之一 理,即周期性地執行著:失效記憶體3侧中,載入 趟 ,體3,失效資料複製至缓衝記憶體5與失效同$ 衝記㈣5侧中,將其複製至緩衝記憶體5盘失3 .,之同%處理—冗餘演算等動作。若令载效資^ _、=叶 ΤΒ = Τ1+Τ5 + Τ4 在此,將失效資料複製至緩衝記憶體5盥 理日守間T5以及@ 5之失效計數處理 2ς 寸處 緩衝記憶體5之處理時間Τ3相之削、f失办料硬製至 丁3)。藉此,圖5.之一連串處理’為T5<(叫 ΤΒ之關係為ΤΑ>ΤΒ,圖2之—連串/理^ 2 連串處理時間 串處理時間ΤΑ縮短。 連串處理日獨Τβ較圖5之-連 ^如圖2所示,藉由將儲存在失效記 ^ 緩衝記憶體5之同時,由失效計數哭二;之失效育料傳送至 待失效資㈣人後之失效計數處’則不需等 憶體5,可驗半導敎,輯、不^^核至緩衝記 圖3係顯示本發明之° 部分賦予同—符號。圖 成圖’對與圖1共通之 -中__杨7⑽縣可補救之失 效數目。於比較部8 < 緩衝記憶體5時所^數比較H 81〜8N,用以比較傳送至 效計數値與從閾値 f計數器部6之各計數器61〜6N之失 値)。 。7所輪入之可補救之失效數目(閾 從構成比較部8之夂 各計數器61〜晰 81〜8N巾,失效計數器部6之 果,可判斷成為冗餘清管與閾値暫存器7之閾値之比較結 亦即,超過鬧値象之頁是否可補救。 被剔除在冗餘演算之對参=判斷由冗餘演算不可能將其補救而 外,所處理之頁數減少,卜。猎由將其剔除在冗餘演算之對象 此,可更縮短裝置整體之減冗餘演算之處理時間。藉 且藉由使用由比較部祕:曰。 ' 憶體5之冗餘演算外,亦祖之與閾俊之比較結果,除緩衝記 良分析。具體而言,與 j於對於失效記憶體3所進行之不 t析時,藉由將超過閾値之生對失效記憶體3進行不良 象外,可縮短失效記憶體侧之分“間效記憶體3之不良分析對 口人已示在與閾値比較時,卷 由敕體所產生之比較演算钟 專用電路之例,但亦可使用 對象之處理。° 進仃剔除不良分析或冗餘處理之 【圖式簡單說明】 =1齡本㈣之1_之顧目。 圖2顯示圖1之動作流程之流程圖。 、圖3顯示本發私另—實麵之構. 圖4顯示習知之半導濟印愔 Θ 成例。 _ °思-測試裝置中失效資料之傳送構 圖5顯示圖4之動作流程之流程圖。 200828331 【主要元件符號說明】 1〜半導體記憶體裝置(DUT ) 2〜模式產生器 3〜失效記憶體 4〜失效計數器 5〜缓衝記憶體 6〜失效計數器部 61 ...6N〜計數器 7〜閾値暫存器 8〜比較部 81 ...8N〜比較器 T1〜載入失效貧料之處理時間 ’ T2〜失效計數處理時間 T3〜將失效資料複製至缓衝記憶體之處理時間 T4〜冗餘處理時間 T5〜將失效資料複製至緩衝記憶體與失效計數之同時處理時 間 ΤΑ、TB〜從載入失效資料至冗餘演算之一連串處理時間 10

Claims (1)

  1. 200828331 十、申請專利範圍: 1. 一種半導體記憶體測試裝置,從失效記憶體傳送失效資料至 缓衝記憶體,其特徵在於:設有失效計數器部,在傳送失效 資料至緩衝記憶體之同時,將每頁之總失效數加以計數。 2. 如申請專利範圍第1項之半導體記憶體測試裝置,其中該失 效計數器部具有與失效資料之位元寬.(頁數)同樣數目之計 數器。 3. —種半導體記憶體測試裝置,從失效記憶體傳送失效資料至 緩衝記憶體,其特徵在於包含: 失效計數器部,在傳送失效資料至緩衝記憶體之同 時,將每頁總失效數加以計數; 閾値暫存器,儲存有可補救之失效數(閾値);及 比較部,比較該失效計數器部中,每頁總失效數之計 數値與從閾値暫存器所輸入之可補救之失效數(閾値)。 4. 如申請專利範圍第3項之半導體記憶體測試裝置,其中該失效 計數器部具有與失效資料之位元寬(頁數)相同數目的計數 器;該比較部具有與該失效計數器部之計數器相同數目的比 較器。 十一、圖式: 11
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