TW200808629A - Stocker and floor system - Google Patents

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Description

200808629 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種倉儲，係暫時儲存内部容納有一容置 ，απ的卡匣或類似之物，並包括一個用以在該容置物品上 實施諸如檢查等製造操作之一容置物品處理元。 【先前技術】 傳統地，在諸如半導體製造工廠或液晶顯示面板製造^ 廠等製造工廠中，用以容納一容置物品（諸如，半導體道 板或液晶顯示器玻璃基板、光罩玻璃基板，以及光碟基^ ^理物體）的卡Ε係暫時地儲存於一倉儲中，而同時带 匕伙^衣過程中的《—個制；生半驟、富、、，^ J划衣仏步驟運迗至另一個製造涉 驟。亦即，藉由設置在倉儲内的—倉料車，此卡匿㈣ 达至倉儲内的一架子上，以便暫時儲存。 =利公告第2006_21913號揭示一種倉儲，其係損 部充滿清潔的乾燥空氣，從此空氣中將分子污 乐物移除至l〇ppb或以下， _lnn〇r . „ 且此空軋的大氣露點為 於★亥；I I ’以防止諸如水等有害物質在儲存期間黏著 ，、品上’以確保防止於裝填所導致的裝置故障。 入儲內的近年來’已經提出一種技術，其中在卡匣儲存於 置:trr時間，而_内的卡“ 麸桌物扣執仃诸如檢查或加工等製造操作。 ^ §對倉儲内的卡匣中所容納之容置物口上勃一制 造操作時，由於當倉儲吊 〇口執仃衣. 傳送至用w 吊車卡Ε時所產生的震動會被 ;处理該容置物品的容置物品處理單元上，所 312XIV發明說明書(補件—·鳴ι〇7⑽ ^ 200808629 以’導致使容置物品 【發明内容】 的處理受到嚴重影響之問題 〇 —種倉儲，其能夠較佳地實施一 本發明之目的是要提供 容置物品的處理。
於：明，提供一種倉儲’包含：-儲存單元，用以 :其中儲存-個容納單元，該容納單元内容納有一容置物 口口二-容置物品處理單元’用以對該容納單元内的容置物 =貫施-製造操作；以及—運送單元，用以在儲存單元盘 谷置物品處理單元之間運送該容納單元，其中，該儲存單 兀以及，運送單元被放置在一主要地板板體上，而且，其 /谷置物ΠΟ處理單元係被放置在一個與該主要地板板 體獨立分開的第二地板板體上。 根據以上已描述之結構，由於容置物品處理單元係被放 置在第二地板板體上，而與上面放置有儲存單元及運送單 元的主要地板板體獨立分開，所以，能夠防止當運送單元 馨運送該容納單元時所產生的震動被傳送至容置物品處理 單元上。因此，可以較佳地藉由容置物品處理單元而實施 容置物品的處理。 在本發明的倉儲中，主要地板板體可以由一主要地板所 支撐’而且，第二地板板體可以由一個與主要地板獨立分 開的第二地板所支撐。根據此種結構，由於上面放置有容 置物品處理單元的第二地板板體係藉由第二地板所支 撐，而第二地板與支撐著放置有儲存單元與運送單元的主 要地板板體之主要地板獨立分開，所以，能夠較佳地防止 312XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 6 200808629 當運送單元運送容納單元時所產生的震動免於傳送至容 置物品處理單元。 • 在本發明的倉儲中，第二地板板體可以由一震動控制單 . 元所支撐。根據此種結構，由於上面放置有容置物品處理 單元的第二地板板體係藉由震動控制單元所支撐，所以， 能夠藉由該震動控制單元較佳地防止當運送單元運送容 納單元時所產生的震動免於傳送至容置物品處理單元。 根據本發明，提出一種倉儲，包含：一儲存單元，用以 儲存一容納單元，在該容納單元内容納有一容置物品；一 谷置物品處理單元，用以對該容納單元内的容置物品實施 一製造操作；以及一運送單元，用以在儲存單元與容置物 Π口處理單元之間運送該容納單元，其中，該儲存單元以及 δ亥運送單元被放置在一地板板體上，而且，其中，該容置 物品處理單元被放置在一個與該地板板體獨立分開的 動控制單元上。 ⑩，據以上已描述之結構，由於容置物品處理單元被放置 ，辰動控制單兀上，此震動控制單元係與上面放置有儲存 早it運送單元的地板板體獨立分開，所以，能夠防止當 運达早兀運送該容納I元時所產生的震動被傳送至容置 物口口處理單兀上。因此，可以較佳地藉由容置物品處理單 -兀而實施容置物品的處理。 • •據本毛明，提供一種地板系統，適用於在一地板上配 個能夠儲存數個卡g的外框，各卡E能夠儲存數個 οσ，個用以處理各物品的物品處理器；以及一個用以 312ΧΡ/發明麵書(補件)/96•嶋鑛⑽ 7 200808629 在外框與物品處理器之間運送各卡匣的倉儲吊車，該地板 糸統包含： 第一地板組件，係位於該地板以及各個外框與倉儲吊車 之間；以及 第二地板組件，係接近但與該第一地板組件分開，而 且’係位於地板與物品處理器之間。 第一地板組件可以包括： 鲁數個第一支撐腳，係設置於地板上且從地板豎立；以及 至4 一個第一地板板體，係由該等第一支撐腳所支撐； 其中，该至少一個第一地板板體界定出配置有外框與倉 儲吊車的第一表面。 、 第二地板組件可以包括： 數個第二支撐腳，係與該等第一支撐腳不同，且設置於 地板上而從地板豎立；以及 ▲至J一個第二地板板體，係不同於該第一地板板體且由 籲該等第二支撐腳所支撐； 中σ亥至）一個第二地板板體界定出配置有物品處理 器的第二表面。 弟一地板組件可以包括： -第：地板，係位於該地板上方且與該土也板獨立分開； 〜數個第一支撐鈿’係與該等第一支撐腳不同，且設置於 弟二地板上而從第二地板豎立； …人個第一地板板體，係不同於該第一地板板體且由 該等第二支撐腳所支撐； 312ΧΡ/翻說明書(補件)/96-06/96107130 8 200808629 其中，該至少一個第二地板板體界 器的第二表面。 卬配置有物品處理 第二地板組件可以包括： 免體係δ又置於該地板底下的一個第二 數個第二支撐腳，係與該等第—支撐反上^ 该塊體上而從該塊體豎立；以及 5且叹置於 至少一個第二地板板體，係不 該等第二支#腳所支禮； 4地板板體且由 其中，該至少一個第二地板板體 器的第二表面。 心出配置有物品處理 第二地板組件可以包括： 抗震單元，係設置於該地板上； 該= 撐腳，係與該等第一支撐腳不同，且設置於 辰早兀上而從該抗震單元豎立；以及 ，J!一個第二地板板體’係不同於該第-地板板體且由 该荨第二支撐腳所支撐； ㈣骽且由 器的:二二少一個第二地板板體界定出配置有物品處理 第二地板組件可以包括： 勃一係'又置於位在該地板底下的-個第三地板上； 數個弟二支撐腳，係盥等第一 I、邊寻弟支撐腳不同，且設置於 ^塊體上而從該塊體豎立；以及 今i t 一個第二地板板體’係不同於該第一地板板體且由 该4弟二支撐腳所支撐； 312XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 〇 200808629 ’、中u亥至少一個弟二地板板 器的第二表面。 1出配置有物品處理 第二地板組件可以包括： 一抗震單元，係設置於該地板上； 數個第二支撐腳，係與該等第一 _ ^ 該抗震單元上而從該抗震單元s立；二及不同’且s又置於 二地板板體’係不同於該第_地板板 3寺弟一支撐腳所支撐； 其中，該至少一個第二地板板 器的第二以。 u配置有物口口處理 第二地板組件可以包括： 一抗震單元，係設置於該地板上； 其中’ §亥抗震单元界定出配署右 疋配置有物品處理器的第二表 面0 【實施方式】 以下’將參考附圖說明根據本發明的倉儲之實施例。 [第一實施例] ' 首先，參考圖1至3，將說明本發明的第一實施例。 (倉儲1的結構） 如圖1所示，倉儲i包括數個作為儲存單元的架子u， 這些架子被設置成很多層’致使’作為儲存單元的複數個 卡匣10可以放置於其上，以及倉儲i亦包括一外框2， 其包含一個作為運送單元的倉儲吊車12，用以運送其内 部的卡E 1G。倉儲吊車12係以縱向方向在倉儲i的底表 312XP/發明說明書(補件)/96-06/% 107130 10 200808629 面上所設置之執道13上梦氣 上和動，以便將載入部（ 放置的一個卡匣10運送 i未顯不）所 〜王木子Π上，而且，利 機器人14,將架子丨丨上 和用一倉儲 示的載出部。 運k至未顯 此外，-插人部2b於外框2的_ 致使，作為—容置物品處理單⑽-個檢查單元3之产杳 广係插入此外框2的内部。當藉 ：； U上所放置的-切10運送至檢查台^ 2杳^元子 能夠對一個晶圓（未顯示）執 一早π 3 1 η咖λα ^ ^ , 執仃&查，而此晶圓係為卡匣 10内的一容置物品。然後，告 勹下匣 鱼19腺私左L 田才双查兀成時，藉由倉儲吊 車，查° 3&上的卡_運送回到架子lljL。要知 道的是，在此實施例中，雖麸掷a — ^ ^ 7t 3 # i- ^ ^ ,…、、日日圓貫施一檢查操作的檢 一早70 3被個容置物品處理單元，， 置物品處理單元也可以勃并味 fj以執仃堵如照相平版印刷術或其他 處理。 拳（地板的結構） 如圖2所示’上面放置有外框2以及檢查單元3的一地 板板體4是由複數個礙板7所製成，這些喪板是由複數個 設置於-地板5上且從該處g立的支撐腳6所支撐。在第 -地板上所設置的-清潔室中，地板5是由散佈於整個地 面上的混凝土所製成，而且，在第二地板上或較高之處所 設置的一清潔室中，地板5是由一個地板所製成，而此地 板能夠在一地板以及該處上方或下方的另一地板之間構 成分隔壁。此外，作為嵌板7，可以建立起格子嵌板、衝 312XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 11 200808629 壓嵌板、隔板等。此複數個支撐腳6係以相等間隔在縱向 及橫向上設置，而且，各個支撐腳6的上表面上所形成的 四個突起通常被製作成能夠個別裝配於不同的嵌板7 内。也就是說，一個嵌板7是由四個支撐腳6所支撐。換 句話說，正常情形下，一個支撐腳6個別地支撐住四個嵌 板7的各一角落。 (此實施例的地板之結構） 如圖3所示，包含架子Π及倉儲吊車12的外框2係放 ⑩置在主要地板板體8上，而檢查單元3則是被放置在與主 要地板板體8獨立分開之第二地板板體9上。主要地板板 體8以及第二地板板體9各是由複數個嵌板7所製成。雖 然主要地板板體8以及第二地板板體9兩者均是由複數個 設置在地板5上且從該處豎立的支撐腳6所支撐，但是， 構成主要地板板體8的嵌板7以及構成第二地板板體9的 嵌板7則是彼此分開。因此，雖然可能產生一種情形，就 _是由於在執道13上移動以運送卡匣1〇的倉儲吊車12所 產生之震動會被傳送至主要地板板體8，然後經由支撐腳 6而被傳送至地板5，然後，經由支撐腳6而傳送至第二 地板板體9，而最後傳送至檢查單元3，並不會發生由於 所產生的震動從主要地板板體8直接傳送至第二地板板 體9而震動檢查單元3之情形，藉此，可以抑制當倉儲吊 車12運送卡匣10至檢查單元3時所產生的震動之傳送。 (倉儲1的操作） 以下，將參考圖i與圖3而說明倉儲}的操作。倉儲吊 312XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 12 200808629 車12將-個放置在架子n上的卡g⑺運送至檢 的檢查台3a。檢查單元3料放置在檢查台如: ® 1〇内側之晶圓實施-檢查。甚至在檢查單元3實^ 檢查的期間’倉儲吊車12會在執道13上移動，以：：載: 入部（未顯示）上所放置的一卡£ 1G運送至 者將架子Π上的一卡厣1n$、，，广也 或 ^ / 卡匿10運达至載出部（未顯示）。雖然
辰疋由於在執迢13上移動以運送卡匿1〇的倉儲吊車 以此方式而產生的’但是’因為包括倉儲吊車U的外 框二所放置的主要地板板體8是與上面放置有檢查單元3 的第二地板板體9獨立分開’所以’並不會發生所產生的 震^主要地板板體8直接傳送至第二地板板體9而引起 檢查早兀3的震動之情形，藉此，可以抑制當倉儲吊車 12運送卡Ε 10至檢查單元3時所產生的震動之傳送。因 此可以較佳地藉由檢查單元3而執行晶圓的檢查。 (本實施例的總結） φ 如上所述，本實施例的倉儲1包含：數個架子u，其 能儲存數個卡匣10，各卡匣内容納有一晶圓；檢查單元 3，用以對卡匣1〇内的晶圓實施製造操作（檢查）；以及， 倉儲吊車12，用以在架子η與檢查單元3之間運送卡匣 10,而且，架子11與倉儲吊車12是被放置在主要地板板 體8上，而檢查單元3則是被放置在與主要地板板體8獨 立分開之第二地板板體9上。 根據以上所描述的結構，由於檢查單元3被放置在第二 地板板體9上’而與上面放置有架子11以及倉儲吊車I〗 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96-06/96107130 13 200808629 二要體8獨立分開。所以’可以抑制 運：卡U。至檢查單元3時所產生的震吊： :，可以較佳地藉由檢查單元3而執行 ： [第二實施例] 其次，參考圖1與圖4，將說明本發明的第—杏 (本實施例的地板之結構） 弟…例。 第二實施例與第-實施例不同之處在於：如圖4所示， 亡面放置有檢查單元3的第二地板板體9是藉由設置在第 二地板15上的數個支撐腳16所支撐，此第二地板是與一 個支撐主要地板板體8以致於從該處s立起來的地板、(主 要地板)5獨立分開。第二地板15是由地板托樑鋼或η形 鋼、方形管鋼等所製成’且被連接到未顯示的柱子或類似 物上。 、 雖然由於在執道13上移動以運送卡g 1()的倉儲吊車 12所產生之震動會被傳送至主要地板板體δ，而且經由支 撐腳6傳:^至地板5 ’但是，由於地板5以及第二地板卫5 彼:匕是分開獨立的，所以’不會發生震動從地板5被傳送 至第二地板15以及檢查單元3之情形。此外，也不會發 生檢查單it 3受到從主要地板板體8直接傳送至第二ς板 板體9的震動而產生震動之情形。 (倉儲1的操作） 以下，將參考圖1與圖4而說明倉儲丨的操作。即使在 檢查單元3執行一檢查的期間，倉儲吊車12會在軌道13 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96_〇6/96107130 14 200808629 上移動以運送卡ϋ 10。雖然由於在轨道13上移動以運送 卡匣ίο的倉儲吊車12會產生震動，但是，由於包括倉儲 吊車12的外框2所放置之主要地板板體8與上面放置有 檢查單元3的第二地板板體9是彼此分開獨立的，所以， 不會發生所產生的震動從主要地板板體8被直接傳送至 第二地板板體9之情形。此外’由於支撐主要地板板體8 的地板5與支撐第二地板板體9的第二地板15是彼此分 開獨立的，所以，也不會發生所產生的震動從地板5被傳 送至第二地板15而使檢查單元3產生震動之情形。藉由 此種結構，可以較佳地抑制當倉儲吊車12運送卡匣1〇至 檢查單元3時所產生的震動，如此一來，可允許檢查單元 3更佳地檢查晶圓。 (本實施例的總結） 如上所述，在本實施例的倉儲丨中，所採用的結構乃是 其中主要地板板體8是由地板（主要地板）5所支撐，而第 馨二地板板體9則是由與地板5獨立分開的第二地板15所 支撐的。根據此種結構，由於上面放置有檢查單元3的第 二地板板體9是由第二地板15所支撐的，而此第二地板 是與用以支撐上面放置有架子u與倉儲吊車12的主要地 板板體8之地板5獨立分開，所以，可以更佳地抑制當倉 儲吊車12運送卡匣1 〇到檢查單元3時所產生的震動之傳 达。 [第三實施例] 其次，參考圖1與圖5，將說明本發明的第三實施例。 312XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 15 200808629 (本實施例的地板之結構） 第三實施例與第一實施例不同之處在於：如圖5所示， 上面放置有檢查單元3的第二地板板體9 ’是藉由設置在 一塊體26上且從該處豎立的數個支撐腳16所支撐。塊體 26是由鋼骨強化混凝土結構或類似物所製成，而且，係 以從該處S立的方式被設置在—個諸如樓層的堅硬地面 或地板之第三地板25上。 雖然由於在執道13上移動以運送卡匣1〇的倉儲吊車 • 12所產生之震動會被傳送至主要地板板體8，而且經由支 撐腳6傳送至地板5,但是，由於地板5以及第三地板託 彼此是分開獨立的，所以，不會發生所產生的震動從地板 5被傳送至第三地板25而使檢查單元3產生震動之情形。 此外也不胃發生所產生的震動被直接從主要地板板體8 傳送至第二地板板體9而使檢查單元3產生震動之情形。 (倉儲1的操作） •以下，將參考圖1與圖5而說明倉儲1的操作。即使在 檢查單元3執行檢查的期間，倉儲吊車12會在軌道13上 移動以運送卡E 10。雖然震動是由於在執道13上移動以 運达卡匣10的倉儲吊車12而產生的，但是，由於包括倉 儲吊車12的外框2所放置之主要地板板體8與上面放置 有檢查單元3的第二地板板體9是彼此分開獨立的，所 以，不會發生所產生的震動從主要地板板冑8被直接傳送 至第二地板板體9之情形。此外，由於支撐主要地板板體 8的地板5與支撐第二地板板體9的第三地板託是彼此 312XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 ^ 200808629 分開獨立的，所以，也不會發生所產生的震動從地板5被 傳送至第二地板25而使檢查單元3產生震動之情形。藉 .由此種結構，可以更佳地抑制當倉儲吊車12運送卡匣1〇 至檢查單元3時所產生的震動之傳送，如此一來，可允許 檢查單元3更佳地檢查晶圓。 由於第三實施例的其他特點係類似於第二實施例的其 他特點’所以，在此省略其相關說明。 [第四實施例] 鲁首先，參考圖1與圖6，將說明本發明的第四實施例。 (本實施例的地板之結構） 第四實施例與第一實施例不同之處在於：如圖6所示， 上面放置有檢查單元3的第二地板板體9是藉由設置在一 震動控制單元36上的數個支撐腳16所支撐，此震動控制 單元作用如同一個放置在地板5上而從該處豎立的^動 控制單元。 • 雖然由於在執道13上移動以運送卡匣10的倉儲吊車 12所產生之震動會被傳送至主要地板板體8，然後，經由 支撐腳6傳运至地板5 ’而最後被傳送至震動控制單元 36彳一疋由於晨動控制單元3 6能夠減輕所傳送過來的 震動，所以，能夠抑制在震動控制單元36上的第二地板 板體9以及檢查單元3之震動的傳送。此外，不會發生震 ，直接從主要地板板體δ傳送至第二地板板體9 ^檢查 早元3產生震動之情形。 (倉儲1的操作） 312XP/發明說明書(補件 y96-〇6/961〇7l 3〇 17 200808629 以了，將參考圖！與圖6而說明倉们的操作。即使在 檢查單元3執行-檢查的期間，倉儲吊車12會在軌道】3 •上移動以運送卡E]0。雖然震動是由於在軌冑13上移動 -以運送卡M iG的倉料車12而產生的，但是，由於包括 倉儲吊車义的外框2所放置之主要地板板體8與上面放 置有檢查單元3的第二地板板體9是彼此分開獨立的，所 以不冒务生所產生的震動從主要地板板體8被直接傳送 至第二地板板體9之情形。此外，由於被傳送至支撐主要 地板板體8的地板5上之震動受到震動控制單元％的減 輕，所以，能抑制在震動控制單元36上的第二地板板體 9以及檢查單元3的震動之傳送，藉此，可以更佳地抑制 當倉儲吊車12運送卡匣1〇到檢查單元3時所產生的震動 之傳送，如此一來，可允許檢查單元3更佳地檢查晶圓。 (本實施例的總結） 如上所述，在本實施例的倉儲丨中，所採用的結構乃是 春第二地板板體9是藉由震動控制單元36所支撐。根據此 種結構’由於上面放置有檢查單元3的第二地板板體9是 由震動控制單元36所支撐的，所以，可以藉由震動控制 單元36而更佳地抑制倉儲吊車12運送卡匣1 〇到檢查單 元3時所產生的震動之傳送。 -[第五實施例] • 其次，參考圖1與圖7，將說明本發明的第五實施例。 (本實施例的地板之結構） 第五實施例與第一實施例不同之處在於：如圖7所示， M2XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 18 200808629 放置在一震動控制單元46上，其作用如 46盘m 的震動控制單元。此震動控制單元 〃 要地板板體8彼此是獨立分開的。 雖然由於在軌道13上㈣料送卡g iq的倉 支震動會被傳送至主要地板板體8，然後，經由 叉得腳6傳送至地拓^，&吳你德w 46，但是’由於震動控制單元4 = = = :: 要地板板體“送::動::;生所f生的震動直接從主 ^ 辰動&制早兀46而使檢杳輩分q念 生震動之情形。 忧杈笪早兀3產 (倉儲1的操作） 檢Γ:元=考圖1與圖7而說明倉儲1的操作。即使在 上移：二：一檢查的期間，倉儲吊車12會在執道13 以運送卡^卡匠人10。雖然震動是由於在執道13上移動 倉儲吊車12的外==主產要生：’但是，由於包括 制單元46是彼此分門獨立μ 板板體8與震動控 0 刀開獨立的’所以’能抑制在震動㈣ 早元46 t的檢查單元3之震動的傳送。此外，不㈣生 所產生的辰動破直接從主要地板板體 單元46而使檢查單元3產生震動之情形。I動控制 (倉儲的操作） =:，將使用圖1與圖7而說明倉儲1的操作。即使在 檢查早元3執行-檢查的期間，倉儲吊車12會在執= 312XP/發明說明書(補件)/96·〇6/96ι〇713〇 19 200808629 上移動以運送卡£1〇。_震較由於在軌道 ㈣的倉儲吊車12而產生的，但是，由於包括 层儲吊車㈣外框2所放置之主要地板板心與上面放 置有檢查早兀3的震動控制單元46是彼此分開獨立的， 所以，不會發生所產生的震動從主要地板板體8被直接傳 达至震動控制單元46之情形。此外，由於傳送至支撐著 主要地板板體8的地板5之震動受到震動控制單元46的 減輕’所以，能抑制在震動控制單元46上的檢查單元3 =震動的傳送’藉此’可以較佳地抑制當倉儲吊車12運 送卡E 10至檢查單元3時所產生的震動之傳送，如此一 來，可允許檢查單元3更佳地檢查晶圓。 (本實施例的總結） 如上所述，本實施例的倉儲丨之結構包含：數個架子 ^卜其儲存數個卡E 1Q，各卡E内容納有—晶圓；檢查 早凡3，用以對卡匣10内的晶圓實施製造操作（檢查）； 籲以及，倉儲吊車12，用以在架子u與檢查單元3之間運 达卡H 10，而且’架子u與倉儲吊車12是被放置在主 要地板板體8上，而檢查單元3則是被放置在盥 板體8獨立分開之震動控制單元46上。…、要地板 根據以上已描述的結構，由於檢查單元3是被放置在震 動控制單元46上，而與上面放置有架子u以及倉儲吊車 12，主要地板板體δ獨立分開，所以，可以藉由震動控 制單元46抑制當倉儲吊車12運送卡匣至檢查單元3 時所產生的震動之傳送。因此，可以允許檢查單元3較佳 312χρ/發明說明書(補件)/96-06/96107130 20 200808629 地執行晶圓的處理（檢查）。 本^明亦提供一種地板系統，適用於在一地板5上配 置·一忐夠儲存數個卡匣1〇的外框2，各個卡匣能夠儲 存數個物，一用以處理各物品的物品處理器3 ;以及一 用以在外框與物品處理器之間運送各卡匣的倉儲吊車 12，該地板系統包含：第一地板組件，係位於該地板5以 及各個外框2與倉儲㈣12之間；以及第二地板組件， 係接近但與該第一地板組件分開，而且，係位於地板5與 物品處理器3之間。 在第一至第五實施例中，如圖3至7所示，第一地板組 臣牛匕括婁文個第一支撐腳6，其設置於地板5上且從該處 1立；以及，至少一個第一地板板體8，其由該等第一支 撐腳所支撐’其中’該至少一個第一地板板體8界定出配 置有外框2與倉儲吊車12的第一表面。 ί第一實施例中，如圖3所示’第二地板組件包括：數 :固弟二支撐腳6,係不同於該等第一支撐腳且設置於地板 5上而從該處豎立；以及，至少—個第二地板板體9,係 不㈣該第-地板板體且由該等第二支撐腳所支撐；其 中二亥至少一個第二地板板體9界定出配置有物理 3的第二表面。 /第二實施例中，如圖4所示，第二地板組件包括> 二一f板！5，係位於該地板5上方且與該地板5獨立分 開，數個第二支撐腳i 6，係不同 里认炫—π…亥4弟一支撐腳且設 置於弟二地板15上而從該處暨立；以及，至少一個第二 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96·06/96107130 21 200808629 地板板體9，係不同於該第一地板板體8且由該等第二支 撐腳所支撐’，其中’該至少一個第二地板板體9界定出配 置有物品處理為3的第二表面。 · 在第三實施例中’如圖5所示，第二地板組件包括：一 塊體26，係設置於該地板5底下的一個第三地板25上； 數個第二支撐腳16,係不同於該等第一支撐腳且設置於 該塊體託上而從該處豎立；以及’至少一個第二地板板 體9，係不同於該第一地板板體8且由該等第二支撐腳所 支撐，/、中，3亥至少一個第一地板板體9界定出配置有物 口口處理為3的第二表面〇 在第四實施例中’如圖6所示，第二地板組件包括：一 抗震單元36,係設置於該地板5上；數個第二支撐腳16， 係不同於該等第-支撐腳且設置於該抗震單元％上而從 該處豎立；以及，至少一個第二地板板體9，係不同於該 第一地板板體8且由該等第二支撐腳所支撐；其中，該至 少一個第二地板板體9界定出配置有物品處理器3的 表面。 在第五實施例中，如圖7所示，第二地板組件包括：一 抗震單it 46，係設置於㈣板5± :其巾，該抗震單元 46界定出配置有物品處理器3的第二表面。 (上述實施例的修改範例） 口此外，雖然已經根據上述較佳實施例說明了本發明，但 是，在不背離本發明的精神與範圍之前提下，仍可加以修 改。也就是說’可以採料樣的結構，使上面放置有外框 312XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 22 200808629 的主；地板板體8是由一個震動控制單元所 :斤產生：Γ的實施例中，由於倉健吊車12在外框2 、的展動由震動控制單元減輕而傳送至地板5, 可以更佳地抑制至檢查單元3的震動之傳送。 【圖式簡單說明】 圖1是一倉儲的立體圖。 圖2疋一地板板體的說明圖。 _ 圖3疋顯示倉儲、地板板體以及地板的侧視圖。 圖4疋頒示倉儲、地板板體以及地板的側視圖。 圖5是顯示倉儲、地板板體以及地板的侧視圖。 圖β是顯示倉儲、地板板體以及地板的侧視圖。 圖7是顯示倉儲、地板板體以及地板的側視圖。 【主要元件符號說明】 1 倉儲 2 外框 鲁2a 側表面 2b 插入部 3 檢查單元（物品處理器） 3a 檢查台 4 地板板體 5 地板 6 支撐腳 7 嵌板 8 主要地板板體 312χρ/發明說明書(補件)/%-〇6/96107130 23 200808629 9 第二地板板體 10 卡匣 11 架子 12 倉儲吊車 13 執道 14 倉儲機器人 15 第二地板 16 支撐腳 25 第三地板 26 塊體 36 震動控制單元 46 震動控制單元
312XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 24

Claims (1)

  1. 200808629 十、申請專利範圍： 1 · 一種倉儲，包含·· •納有-容置物品；在八中储存谷納手段’該容納手段内容 實用以對該容納手段内的該容置物品 運达手段，_在料手段與容 送該容納手段， 处埋手段之間運 籲該儲存手段以及該運送手段被放 板體上，而且， 主要地板 其中’該容置物品處理手段係被放置在一 板體獨立分開的第二地板板體上。 —主要地板 2·如申請專·圍们項之倉儲 體係由-主要地板所支撐，而且 第主：也板板 /么丄 t 兴甲邊弟二地板板體 係由-與主要地板獨立分開的第二地板所支標。 3. 如申請相範圍第丨項之讀 體係由震動控料段所支撐。 弟-地板板 4. 一種倉儲，包含·· 儲存手段，用以在盆中儲左 …“工机 μ冬 仕八甲儲存一谷納手段，該容納手段内 谷納有一容置物品； —容置物品處理手段’用以對該容納手段内的該容置物品 貫施一製造操作；以及 運达手段’用以在儲存手段與容置物品處理手段之間運 送該容納手段， 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96-06/96107130 25 200808629 其中，該儲存手段以及該運送手段係放置在—地板板體 ^上’而且’其中，該容置物品處理手段係被放置在一個與 該地板板體獨立分開的震動控制手段上。 〃 5.—種地板系統，適用於在一地板上配置：一能夠儲存 數個卡E的外框’各卡g能夠儲存數個物品；—用以處理 各物品的物品處理器；以及，—用以在外框與物品處理器 之，運送各卡E的倉儲吊車，該地板系統包含： 第一地板組件，係位於該地板以及各個外框盥倉儲 之間；以及 平 第二地板組件，係接近但與該第一地板組件分開，而 且’係位於地板與物品處理器之間。 6·如申請專利範圍第5項之地板系統，其中，該第一地 板組件包括： 數個第一支撐腳，係設置於地板上且從地板豎立；以及 至少一個第一地板板體，係由該等第一支撐腳所支撐·， 其中，該至少一個第一地板板體界定出配置有外框與倉 儲吊車的第一表面。 、 7 ·如申明專利範圍第6項之地板系統，其中，該第二地 板組件包括： 數個第二支撐腳，係不同於該等第一支撐腳且設置於地 板上而從地板豎立；以及 至少一個第二地板板體，係不同於該第一地板板體且由 該等第二支撐腳所支撐； 其中’該至少一個第二地板板體界定出配置有物品處理 312幼/發明說明書(補件)/96-06/96107130 26 200808629 裔的弟二表面。 8.如申請專利範圍第6項之地板系統，其中，該第二地 板組件包括： :第二地板’隸於該地板上方且與該地板獨立分開； 數個第二支撐腳’係不同於該等第—支撐腳且設置於第 一地板上而從第二地板豎立；以及 至少一個第二地板板體，係不同於該第一 該等第二支撐腳所支撐； 由 一中忒至少一個第二地板板體界定出配置有物品處理 态的第二表面。 9·如申請專利範圍第6項之地板系統，其中，該第二地 板組件包括： 一塊體，係設置於該地板底下的一第三地板上； 數個第二支#腳’係不同於該等第-切腳且設置於該 塊體上而從該塊體豎立；以及 ^ !一個第二地板板體，係不同於該第—地板板體且由 δ亥等第二支撐腳所支撐； /、中σ亥至少一個第二地板板體界定出配置有物品處理 器的第二表面。 1 〇·如申請專利範圍第6項之地板系統，其中，該第二 地板組件包括： 一抗震單元，係設置於該地板上； 固第二支撐腳，係不同於該等第一支撐腳且設置於該 抗震單元上而從該抗震單元豎立；以及 3 i2XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 27 200808629 至少一個第二地板板體，係不同於該第一地板板體且由 該等第二支撐腳所支撐； 其中，該至少一個第二地板板體界定出配置有物品處理 器的第二表面。 11.如申請專利範圍第6項之地板系統，其中，該第二 地板組件包括： 一抗震單元，係設置於該地板上； 其中，該抗震單元界定出配置有物品處理器的第二表
    312XP/發明說明書(補件)/96-06/96107130 28
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