CN217674779U - 一种防晶圆坠落的存储系统 - Google Patents
一种防晶圆坠落的存储系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN217674779U CN217674779U CN202221031050.2U CN202221031050U CN217674779U CN 217674779 U CN217674779 U CN 217674779U CN 202221031050 U CN202221031050 U CN 202221031050U CN 217674779 U CN217674779 U CN 217674779U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- plate body
- storage system
- wafer box
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型涉及的防晶圆坠落的存储系统,包括储物架,储物架包括至少两排立柱,同排的相邻的立柱之间连接有横杆,两排立柱之间通过斜杆相互连接,立柱的侧面连接有L形支撑板,相邻的L形支撑板之间形成用于容纳晶圆盒的容纳空间;L形支撑板包括第一板体和第二板体,第一板体连接在立柱上,第二板体连接在第一板体的侧面,第二板体的上表面为倾斜面,第二板体靠近晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较厚,第二板体远离晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较薄。本实用新型的有益效果是:能够使得晶圆与水平面保持一定的夹角,防止抛光后的晶圆因表面过于光滑而滑落,从而提高晶圆存储的安全性和可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及了晶圆存储技术领域,具体的是一种防晶圆坠落的存储系统。
背景技术
随着自动化设备的普及以及人力成本的日益提高,产品(包括纸巾、棉柔巾和卫生巾等卫品)的包装一般都是通过包装机来实现,该包装机一般都包括包装主机以及产品输送机构、包装袋输送机构和成品输送机构,该产品输送机构为包装机主体提供产品,该包装袋输送机构为包装机主体提供包装袋,该包装机主体则将该产品装入包装袋中,再通过成品输送装置向外输送。在包装之前需要对包装膜进行尾封和切膜以形成包装袋,现有技术中的封口结构的位置是固定的,只能加工预定好大小的包装袋,而且现有技术切膜一般采用改动牵引辊的转动速度的方式来控制包装袋的大小,会降低包装袋的加工效率。
发明内容
为了克服现有技术中的至少部分缺陷,本实用新型实施例提供了一种防晶圆坠落的存储系统,结构简单,使用方便,能够降低晶圆坠落风险,提高晶圆存储的安全性。
本实用新型涉及的一种防晶圆坠落的存储系统,包括晶圆盒,所述晶圆盒包括两个开口,其中一个开口用于放置晶圆,另一所述开口具有连接在所述晶圆盒上的挡板,包括储物架,所述储物架包括至少两排立柱,同排的相邻的立柱之间连接有横杆,两排立柱之间通过斜杆相互连接,所述立柱的侧面连接有L形支撑板,相邻的L形支撑板之间形成用于容纳所述晶圆盒的容纳空间;
所述L形支撑板包括第一板体和第二板体,所述第一板体连接在所述立柱上,所述第二板体连接在所述第一板体的侧面,所述第二板体的上表面为倾斜面,所述第二板体靠近所述晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较厚,所述第二板体远离所述晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较薄。
进一步地,所述第二板体的上表面的相对于水平面的倾斜角度为0°-30°。
进一步地,所述晶圆盒下端具有若干个定位槽,所述第二板体上连接有插接在所述定位槽中的定位柱体。
进一步地,所述横杆的两端连接有U形固定板,所述U形固定板上开设有第一连接孔,所述立柱上开设有第二连接孔,所述U形固定板通过穿过所述第一连接孔和所述第二连接孔的固定螺栓和/或卡扣与所述立柱连接。
进一步地,所述立柱底部连接有地脚板,所述地脚板通过膨胀螺栓或化学螺栓与地面固定。
进一步地,还包括搬运机构,所述搬运机构设置在所述储物架的前侧或后侧,所述搬运机构包括支撑座、第一放料架和移载机构,所述第一放料架连接在所述支撑座上,所述第一放料架用于对晶圆盒进行临时承载,所述移载机构设置在所述支撑座下方的空腔中,所述移载机构的上端与所述晶圆盒接触,所述移载机构用于将所述晶圆盒由所述容纳空间转移至所述第一放料架或将所述晶圆盒由所述第一放料架转移至所述容纳空间。
进一步地,还包括临时储料机构与堆垛机构,所述临时储料机构设置在所述储物架的左侧或右侧,所述堆垛机构设置在相邻的所述储物架之间,所述堆垛机构用于将晶圆盒由所述临时储料机构转移至所述储物架的容纳空间中。
进一步地,所述移载机构包括沿设置在所述空腔中的导轨水平移动的横向驱动模组,所述横向驱动模组连接有驱动所述晶圆盒在高度方向移动的升降驱动模组。
进一步地,所述第一放料架的上表面为倾斜面,所述第一放料架上表面靠近所述晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的高度较高,第一放料架上表面与水平面之间的夹角为0°-30°。
本实用新型的有益之处在于:第二板体的上表面为倾斜面,第二板体靠近晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较厚,第二板体远离所述晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较薄,能够使得晶圆与水平面保持一定的夹角,防止抛光后的晶圆因表面过于光滑而滑落,从而提高晶圆存储的安全性和可靠性。
为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附图式,作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是防晶圆坠落的存储系统的整体结构示意图。
图2是图1中A处局部放大图。
图3是搬运机构的结构示意图。
图4是储物架的排布结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型一较佳实施例中的一种防晶圆坠落的存储系统,包括晶圆盒1,所述晶圆盒1包括两个开口,其中一个开口用于放置晶圆,另一所述开口具有连接在所述晶圆盒1上的挡板,还包括储物架2,所述储物架2包括至少两排立柱21,同排的相邻的立柱21之间连接有横杆22,两排立柱21之间通过斜杆23相互连接,所述立柱21的侧面连接有L形支撑板24,相邻的L形支撑板24之间形成用于容纳所述晶圆盒1的容纳空间25;
所述L形支撑板24包括第一板体241和第二板体242,所述第一板体241连接在所述立柱上,所述第二板体242连接在所述第一板体241的侧面,所述第二板体242的上表面为倾斜面,所述第二板体242靠近所述晶圆盒1放置晶圆的开口的一侧的厚度较厚,所述第二板体242远离所述晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较薄。
在上述实施例中,所述第二板体242的上表面的相对于水平面的倾斜角度为0°-30°。在实际实施过程中,为了在保证晶圆盒1放置的稳定性的同时降低第二板体242的加工难度,第二板体242的上表面的相对于水平面的倾斜角度为5°。
在上述实施例中,所述晶圆盒1下端具有若干个定位槽(未图示),所述第二板体242 上连接有插接在所述定位槽中的定位柱体243。
在上述实施例中,所述横杆22的两端连接有U形固定板221,所述U形固定板221上开设有第一连接孔2211,所述立柱21上开设有第二连接孔211,所述U形固定板221通过穿过所述第一连接孔2211和所述第二连接孔211的固定螺栓和/或卡扣与所述立柱21连接。
在上述实施例中,所述立柱21底部连接有地脚板212,所述地脚板212通过膨胀螺栓或化学螺栓与地面固定。
在上述实施例中,还包括搬运机构3,所述搬运机构3设置在所述储物架的前侧或后侧,所述搬运机构3包括支撑座31、第一放料架32和移载机构33,所述第一放料架32连接在所述支撑座31上,所述第一放料架32用于对晶圆盒1进行临时承载,所述移载机构33设置在所述支撑座31下方的空腔34中,所述移载机构33的上端与所述晶圆盒1接触,所述移载机构33用于将所述晶圆盒1由所述容纳空间转移至所述第一放料架32或将所述晶圆盒 1由所述第一放料架32转移至所述容纳空间25。
在上述实施例中,还包括临时储料机构4与堆垛机构5,所述临时储料机构4设置在所述储物架2的左侧或右侧,所述堆垛机构5设置在相邻的所述储物架2之间,所述堆垛机构5用于将晶圆盒1由所述临时储料机构4转移至所述储物架的容纳空间25中。
在上述实施例中,所述移载机构33包括沿设置在所述空腔34中的导轨水平移动的横向驱动模组331,所述横向驱动模组331连接有驱动所述晶圆盒1在高度方向移动的升降驱动模组332。
在上述实施例中,所述第一放料架32的上表面为倾斜面,所述第一放料架32上表面靠近所述晶圆盒1放置晶圆的开口的一侧的高度较高,第一放料架32上表面与水平面之间的夹角为0°-30°。在实际实施过程中,第一放料架32上表面与水平面之间的夹角为5°。在实际实施过程中,搬运机构3还包括与第一放料架32结构相同的第二放料架35,第二放料架35设置在与第一放料架相反的一端,移载机构33还能将晶圆料盒1在第一放料架32与第二放料架35之间移动,还用于将晶圆料盒1转移到相邻的储物架2内的容纳空间25中。
本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (9)
1.一种防晶圆坠落的存储系统,包括晶圆盒,所述晶圆盒包括两个开口,其中一个开口用于放置晶圆,另一所述开口具有连接在所述晶圆盒上的挡板,其特征在于:包括储物架,所述储物架包括至少两排立柱,同排的相邻的立柱之间连接有横杆,两排立柱之间通过斜杆相互连接,所述立柱的侧面连接有L形支撑板,相邻的L形支撑板之间形成用于容纳所述晶圆盒的容纳空间;
所述L形支撑板包括第一板体和第二板体,所述第一板体连接在所述立柱上,所述第二板体连接在所述第一板体的侧面,所述第二板体的上表面为倾斜面,所述第二板体靠近所述晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较厚,所述第二板体远离所述晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较薄。
2.根据权利要求1所述的防晶圆坠落的存储系统,其特征在于:所述第二板体的上表面的相对于水平面的倾斜角度为0°-30°。
3.根据权利要求2所述的防晶圆坠落的存储系统,其特征在于:所述晶圆盒下端具有若干个定位槽,所述第二板体上连接有插接在所述定位槽中的定位柱体。
4.根据权利要求1所述的防晶圆坠落的存储系统,其特征在于:所述横杆的两端连接有U形固定板,所述U形固定板上开设有第一连接孔,所述立柱上开设有第二连接孔,所述U形固定板通过穿过所述第一连接孔和所述第二连接孔的固定螺栓和/或卡扣与所述立柱连接。
5.根据权利要求1所述的防晶圆坠落的存储系统,其特征在于:所述立柱底部连接有地脚板,所述地脚板通过膨胀螺栓或化学螺栓与地面固定。
6.根据权利要求2所述的防晶圆坠落的存储系统,其特征在于:还包括搬运机构,所述搬运机构设置在所述储物架的前侧或后侧,所述搬运机构包括支撑座、第一放料架和移载机构,所述第一放料架连接在所述支撑座上,所述第一放料架用于对晶圆盒进行临时承载,所述移载机构设置在所述支撑座下方的空腔中,所述移载机构的上端与所述晶圆盒接触,所述移载机构用于将所述晶圆盒由所述容纳空间转移至所述第一放料架或将所述晶圆盒由所述第一放料架转移至所述容纳空间。
7.根据权利要求6所述的防晶圆坠落的存储系统,其特征在于:还包括临时储料机构与堆垛机构,所述临时储料机构设置在所述储物架的左侧或右侧,所述堆垛机构设置在相邻的所述储物架之间,所述堆垛机构用于将晶圆盒由所述临时储料机构转移至所述储物架的容纳空间中。
8.根据权利要求7所述的防晶圆坠落的存储系统,其特征在于:所述移载机构包括沿设置在所述空腔中的导轨水平移动的横向驱动模组,所述横向驱动模组连接有驱动所述晶圆盒在高度方向移动的升降驱动模组。
9.根据权利要求8所述的防晶圆坠落的存储系统,其特征在于:所述第一放料架的上表面为倾斜面,所述第一放料架上表面靠近所述晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的高度较高,第一放料架上表面与水平面之间的夹角为0°-30°。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202221031050.2U CN217674779U (zh) | 2022-04-29 | 2022-04-29 | 一种防晶圆坠落的存储系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202221031050.2U CN217674779U (zh) | 2022-04-29 | 2022-04-29 | 一种防晶圆坠落的存储系统 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN217674779U true CN217674779U (zh) | 2022-10-28 |
Family
ID=83736236
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202221031050.2U Active CN217674779U (zh) | 2022-04-29 | 2022-04-29 | 一种防晶圆坠落的存储系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN217674779U (zh) |
-
2022
- 2022-04-29 CN CN202221031050.2U patent/CN217674779U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA3163642C (en) | Fully automatic framing machine for aluminum profile | |
CN101003330A (zh) | 托盘搬送系统 | |
TW200307625A (en) | Application of loading ledges | |
CN217674779U (zh) | 一种防晶圆坠落的存储系统 | |
JP2639574B2 (ja) | 昇降装置 | |
JP2009523681A (ja) | パレット詰め装置用の仕分け方法及び仕分けステーション | |
JP3376404B2 (ja) | 櫛形格子状ホルダーを用いたタイヤ等の物品輸送、保管の方法及び輸送、保管用コンテナ | |
KR101108566B1 (ko) | 스토커 및 이를 구비한 스토커 시스템 | |
TW204322B (en) | Feeding device for stacked cup-shape containers | |
CN214729952U (zh) | 一种安瓿瓶包装设备 | |
JP3796628B2 (ja) | チューブの箱詰め方法及び装置 | |
CN114291326A (zh) | 一种吸塑包装装置 | |
CN210236328U (zh) | 一种低温抗氧化物料的输送辊线 | |
JP2019085113A (ja) | 収納装置及び収納方法 | |
CN114275565A (zh) | 一种具有码垛功能的料仓 | |
KR100877463B1 (ko) | 박스 보관 및 반출 시스템 및 그 방법 | |
CN217732040U (zh) | 一种订单牌转运叠放装置 | |
JP2966767B2 (ja) | 円筒型電池の箱詰装置 | |
JPH0671404U (ja) | 長尺物箱詰め装置 | |
JP4352438B2 (ja) | 平板のストック装置 | |
CN210392944U (zh) | 一种化妆品包装用码垛装置 | |
CN219278282U (zh) | 汽车左右转向臂转运架 | |
CN217919658U (zh) | 一种用于仓库竖放卷带的密集型货架 | |
CN215248182U (zh) | 一种薄膜包装托盘架 | |
CN220391770U (zh) | 一种电池包中转架 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |