TW200529341A - Wire bonding apparatus - Google Patents

Description

200529341 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明，係有關邊藉麼電元件使毛細管振動邊進行接 合作業的打線裝置。 【先前技術】 就藉壓電元件使毛細管振動的打線裝置而言，舉例有 專利文獻1。該構造將麼電元件裝入接合臂的毛細管安裝 部附近，俾在接合臂的軸線方向使毛細管振動。於接合臂， 供施加預塵於壓電元件的預a用螺检係設在虔電元件後部 的接合臂軸線上。 (專利文獻1)日本專利第3245445(日本特開平5_ 275502號）公報 【發明内容】 上述習知技術，由於供施加預壓於壓電元件的預壓用 螺栓係設在壓電元件後部的接合臂軸線上，故若不自裝置 卸下接合臂’即無法進行壓電元件的預壓調整及壓電元件 的更換，很不方便，會有維修性不佳的問題。 本發明在於提供，可不須自震置卸下接合臂，即能進 行塵電元件的預壓調整及m電元件的更換，俾謀求維修性 的提高的打線裝置。 為解決上述問題，本發明之申請專利範圍第丨項之打 線裝置，係將壓電元件裝入接合臂的毛細管安裝部附近， 並具備供施加預壓於壓電元件的預壓施加機構，俾在接合 臂的軸線方向使毛細管振動，其特徵在於·· 200529341

該預壓施力M 作部，·以及轉Π構:：：自接合臂的外周操作之外部操 臂的軸線方向的移動外部操作部的移動轉換成該接合 、 移動’以施加預壓於該壓電元件。 為解決上述問題，本發明 於上述中請專利 乾w 2項’係 設於該壓電元件後方的二頁中，該預壓施加機構具備··配 垃人辟 後方的别方及後方楔狀安裝座，以及自哕 =二外周螺合於該後方楔狀安裝座的預 ;; ==:栓的旋轉，使該後方楔狀安裝座在該預㈣ 向㈣，並使該前方横狀安裝座在接合臂的轴線方 °矛夕動，精以施加預壓於該壓電元件。 為解決上述問題，本發明之申請專利範圍第3項，係 上述申明專利軌圍第！項中，該預壓施加機構具備：配 設於該壓電元件後方的忠继& 便方的女裝座，以及用以在該接合臂的軸 線方向移動該安裝座的偏心銷； 該偏心銷具備:以能旋轉的方式支承於接合臂的軸部， 以及與該軸部偏心且以能自外部操作的方式突出於該接合 臂的外周的操作部’藉由該操作部的操作，使該安裝座在 該接合臂的軸線方向移動’以施加預壓於該壓電元件。 由於申請專利範圍帛i項的預壓施加機構具備：自接 合臂的外周操作之外部操作部；以及轉換部，將該外部操 作部的移動轉換成該接合臂的軸線方向的移動，以施加預 壓於該壓電元件；故可藉由操作設於接合臂外周的外部操 作部，來施加預壓於壓電元件。亦即’即使不自裝置卸下 接合臂，仍可進行預壓調整。又在更換壓電元件情況下， 200529341 即使不自裝置卸下接合臂，仍可 提高。 4未維修性的 【實施方式】 藉第1圖及第2圖說明本發明之打線 形態。將插通金屬線2的毛細f 3 弟1貫施 於接合臂！，在毛細管3的安裝部附近的前端。 1 a，壓電元件用孔i a之、壓電兀件用孔 ^ 一側部成為由薄壁却姓上、， 部1 b、1 b。於壓電元件用孔] 的彈性 电儿件用孔la的後部側(於第 形成安裝座…c。分別於壓電元件用孔】 ：:) 孔lc配設壓電元件4及二個換狀安裝座5、= 元件4及楔狀安裝座5、6於壓電元件用孔“及安= :1C，又為施加預壓於輪件4，於後方楔狀 成母螺紋，自接合臂1的彳丨 y 母蟫玲^ r 勺側面插入的預壓用螺才全7螺合於 螺、·、文。於此’麼電元件4配設成其變形方向與毛細管3 的中心軸線正交，並在接合 2圖中，符號8係試料…轴線方向伸縮。且於第

預舞=二螺入預屋用螺栓7，後方模狀安裝座6即在 預壓用螺栓7的方向（箭頭R 5及R 方向）移動。由於楔狀安裝座 面係形成模形狀，故楔狀安裝…在毛細 :4 箭頭C方向)移動。藉此，施加㈣於壓電元 使不自預壓用螺栓7如此設於接合臂1的側面，故即 使不自裝置卸下接合臂，仍 壓調整。又在更換jr… 用螺栓7來進行預 接人臂 、1电兀件4情況下，即使不自裝置卸下 ° ，仍可藉由自接合臂1旋鬆預壓用螺栓7來進行。 200529341 其次，對其動作加以說明。 水平面内的移動及上下作動 ：」精由接合臂1於 上下方向移動，由於藉習知的Z 3於水平面内並在 明。若施加電壓於壓電元件4，m^丁杜故省略其詳細說 的振動即經由接合臂1傳至毛細的伸縮所產生 的振動能量，使全屬綠9… 3。猎傳至此毛細管3 _第32 料8接合，亦即打線。 圖及弟4圖說明本發明之打線裝置之"實施 構件，省略JL嗦, 別述貫轭形您相同或相當的 孔18及二7細說明。於前述實施形態中，《元件用 雖"二1C自上面向下貫穿形成。本實施形態 雖然如同丽述實施形態，麼 穿形成，不過，安裝座用孔】 自上面向下貫 、用孔1C係自一侧面貫穿另一側面 / 。又’垂直形成母螺紋於楔狀安裝座6，自接合臂1 的下方插人的用螺栓7螺合於母螺紋。 β因此，若螺入·用螺检7,後方楔狀安裝& 6即在 預壓用螺栓7的方向（箭頭D方向）移動。由於楔狀安裝座 μ及6的接觸面係形成楔形狀，故楔狀安裝座$會在毛細 吕3的方向（前頭Ε方向）移動。藉此，施加預壓於壓電元 件4。由於預壓用螺栓7如此設於接合臂丨的下面側，故 Ρ使不自裝置卸下接合臂1，仍可旋轉預壓用螺栓7來進 行預疋s周整。又在更換壓電元件4情況下，即使不自裝置 卸下接合臂1 ’仍可藉由自接合臂1卸下預壓用螺栓7來 進订。又當然可將預壓用螺栓7設於接合臂1的上面側。 藉第5圖說明本發明之打線裝置之第3實施形態。本 200529341 貫施形態使用偏心銷i 0來替代前 裝座5、6及預壓用螺拾7。於壓電元二— 元件4及L字形安裝座u的：配-壓電 a 女裝座11的龙 面部11b配設於接合臂丨的下 °十 文衣压1 1轉固定螺 固定於接合臂1，安裝座丨丨的固定 ^ & H 12部分形成有軔 該固定螺絲12的螺紋部為A的孔lle，俾安裝座U 接合臂i的軸線方向移動。該偏心銷10的轴部他以於 旋：：：式支承於接合臂卜自軸部10a偏心的操作部二 係貝牙女裝座11的平面部H b。摔作立p ] n h | & 細作口P l〇b貫穿的安裴座 11的操作部孔lid係形成沿與接合臂i的軸線方向正交的 方向延伸的長孔。 因此，若在略微旋鬆固定螺絲12狀態下，在箭頭G方 向旋轉操作部10b，偏心銷10即以軸部1〇a為中心旋轉， 刼作部1 Ob沿安裝座11的操作部孔u d 側（箭頭Η方向）。藉此，安裝u在箭頭H方向毛^ 3 以施加預壓於壓電元件4。於預壓調整後，鎖緊固定螺絲 12，將偏心銷1〇固定於接合臂】。由於在本實施形態中， 偏心銷10的操作部10b亦設於接合臂丨的外周，故即使 不自裝置卸下接合臂1，仍可旋轉操作部丨〇b，預壓調整。 又在更換壓電元件4情況下，即使不自裝置卸下接合臂】， 仍可藉由自接合臂1卸下固定螺絲12來進行。 【圖式簡單說明】 第】圖係表示本發明之打線裝置之第I實施形態的要 部立體圖。 200529341 第2(a)圖係第1圖的側視圖，第2(b)圖係第2(a)圖 的A — A線截面圖。 第3圖係表示本發明之打線裝置之第2實施形態的要 部立體圖。 、第4(a)圖係第3圖的側視圖，第4(b)圖係第3圖的俯 視圖。 部 第5圖係表示本發明之打線裝置之第3實施形態的要 a)係（b)的F—F線截面圖，（b)係仰視圖。 【主要元件符號說明】 1 接合臂 2 金屬線 3 毛細管 4 壓電元件 5 ^ 6 楔狀安裝座 7 預壓用螺栓 10 偏心銷 1〇a 軸部 操作部 11 安裝座

Claims (1)

1. 200529341 十、申請專利範圍： …：打線係將壓電元件裝入接合臂的毛細管 =二::::施加預壓於壓電元件_施加機 軸線方向使毛細管振動，其特徵在於： μ預壓施加機構且備· 作邻U ·自接合臂的外周操作之外部操 臂在軸線方向ΓΓ動將料部操作部的移動轉換成該接合 動以轭加預壓於該壓電元件。 加機:冓=請專利範圍…之打線裝置，其中該預壓施 裝座，:;及自配設於該壓電元件後方的前方及後方楔狀安 預壓用螺栓4 =臂的外周螺合於該後方楔狀安裝座的 裝座在該栓的— 接合臂的軸線方向移動，#…並使δ亥別方模狀安裝座在 糟以施加預壓於該壓電元件。 加機構ill利觀圍$1項之打線裝置’其中該預壓施 在兮姑人辟 、w壓電兀件後方的安裝座，以及用以 接“的軸線方向移動該安裝座的偏心銷； 該偏心銷具備：_ 以及與該軸部偏心且以：7方式支承於接合臂的軸部’ 臂的外周㈣作部，#==夕卜部操作的方式突出於該接合 該接合臂的軸線方向^亥㈣部的操作，使該安裝座在 夕動’以施加預壓於該壓電元件。 十一、圖式： 如次頁