200424624 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種可顯示局品質圖像之顯示裝置的製造 方法以及如該製造方法中所使用之顯示裝置的製造裝置。 【先前技術】 近年來，電子顯示裝置之輕量化以及薄型化之要求高 張，其中正在開發發光二極體（LED : Light Emittmg Diode)、電漿顯示面板（pj)p : plasma Display Panel)或液晶 顯不器（LCD : Liquid Crystal Display)等各種種類之電子顯 示裝置。 這類電子顯示裝置中，特別係具有高畫質、薄型、輕量 以及低消耗電力等特徵之LCD，可應用於時鐘、電視機、 個人笔細或投影機等較多之成品中，與其他電子顯示裝置 相比，應用領域更為多面而廣闊。為獲得良好之晝質，以 LCD(例如，呈一對玻璃基板中夾有液晶材料之構造者）中的 一對玻璃基板間之間隔（稱為間隙）儘可能地均一遍佈於整 個有效畫面區域為特別重要。 上述玻璃基板間之間隙係於LCD之製造過程中的貼合步 驟中限疋出來。過去以來是在該貼合步驟中，於一對玻璃 基：中之相對面形成配向膜以及密封圖案後，以例如具有 特定直徑的球狀之間隔物（珠狀物）為中介㈣合而加壓，再 使密封圖案硬化（例如’參照特開平6_33 1993號公報）。在此 、 矛、了配向膜形成於整個成為顯示區域(有效圖畫區 域）之部分以外’密封圖案係以圍繞該有效畫面區域且-部 90683.doc 200424624 份具有液晶封入口之方式形成。—般係使用紫外線（uv)硬 化型樹脂或熱硬化型樹脂等者作為密封圖案。加屢以及硬 化係藉由於-對互相面對且表面平坦之定盤上分別裝配玻 璃基板，以lkgW左右之壓力，均—地加壓於整個玻璃基 板，於此狀態下使密封圖案硬化，以形成間隙。此時，在 使用uv硬化型樹脂作為密封圖案之材料之情形下，為使紫 外線可照射至密封圖案，—者之基板側的定盤可使用石英 玻璃等UV穿透性較高之材料。為了均—加壓玻璃基板，可 於另-者之基板㈣定盤使料面性較好之㈣板或於金 屬板上裝配有橡膠等具有彈性之緩衝部件者。然後，藉由 在玻璃基板受到均一加壓之狀態下進行uv照射，使uv硬化 型樹脂硬化，而形成間隙（uv定盤壓印法）。另一方面，在 使用熱硬化型樹脂作為密封圖案之情形下，例如可使用裝 配有硬度較低、具有彈性、厚度較薄之緩衝部件等者之易 確保平行度之金屬，料雙方之將施加於 玻璃基板上之壓力分佈的偏差限制至最小。接著，藉由在 均加壓玻璃基板之狀態下加熱，使熱硬化型樹脂硬化， 而形成間隙。 然而，如上述般使用間隔物來形成間隙，會產生如下述 般的問題。首先，會產生這樣的問題：在間隔物未分散於 有效晝面區域内之情形下（，亦即，間隔物僅存在於密封圖 案内部之情形下）均一加壓於一對玻璃基板，雖然包含間隔 物之密封圖案得以受到加壓，但另一方面，無間隔物存在 之有效晝面區域亦會受到加壓，因此該有效晝面區域之玻 90683.doc [624 璃基板就會凹陷，結果導致盔 在有效晝面區域較大之情、兄；“成均一之間隙。特別是 就笞户收叫 月况下，凹陷產生更為顯著。此外， 而丁过 也刀放到遍佈整個有效晝面區域 而不僅限於密封圖案内部之 ~ 月形下，雖然可達成均一間隙 =成，但亦會發生使用時間隔物周圍產生漏光等配向不 ;或視覺上可識別之間隔物自身等對畫質產生不良影響的 情形。 【發明内容】 本發明係鑑於相關問題所開發而成者，其目的在於提供 -種可有效製造出可顯示更高品質圖像之顯示裝置的顯示 裝置之製造方法以及可適用於該種製造方法之顯示裝置之 製造裝置。 本發明之顯示裝置的製造方法，係—種包含特定之顯示 面板之顯示裝置的製造方法，其包含：密封圖案形成步驟， 其係於互相面對之第丨以及第2基板中之一對相對缶中的至 少一者上，沿複數個顯示面板之顯示區域之外緣形成密封 圖案，定位步驟，其使用具有一對平行面中至少一者之面 形成有與密封圖案相對應並呈平面形狀之凸部圖案的一對 定盤，以使密封圖案與凸部圖案為一致之方式，將第1以及 第2基板配置於一對平行面之間；以及貼合步驟，其係使用 一對定盤，於與平行面垂直於平行面之方向，以呈特定間 隔之方式，加壓該定位步驟中所配置之第1以及第2基板， 進而使密封圖案硬化貼合。 於本發明之顯示裝置之製造方法中，係以使沿複數個顯 90683.doc -8- 200424624 不面板之顯示區域的外緣而形成之密封圖案，與對應於該 密封圖案之呈平面形狀的凸部圖案互為一致之方式，進行 第1以及第2基板與一對定盤之定位，再使用一對定盤，從 與平仃面垂直之方向，加壓於第丨以及第2基板。因此，幾 乎不會加壓到對應於第丨以及第2基板中之複數個顯示面板 之有效畫面區域的區域，卻又可以使整個對應於密封圖案 之區域受到均一且較強的加壓。 〃 本發明之顯示裝置之製造裝置，係一種包含特定顯示面 板之顯示裝置的製造裝置，其含有··一對定盤，其具有一 對平行面，於至少一者之面形成有呈平面形狀之凸部圖 案，該凸部圖案與沿著複數個顯示面板之顯示區域外緣的 密封圖案相對應；定位機構，其將具有一對相對面且其中 之至少一者形成有密封圖案的第1以及第2基板，以使該密 封圖案與該凸部圖案互為一致之方式，配置於該對平行面 之間；以及貼合機構，其使用一對定盤，從於與平行面垂 直之方向，以呈特定間隔之方式，加壓於該定位機構所配 置之第1以及第2基板，再使密封圖案硬化貼合。 本發明之顯示裝置之製造裝置中，係以使沿著複數個顯 不面板之顯示區域外緣而形成的密封圖案，與對應於該密 封圖案之呈平面形狀的凸部圖案互為一致的方式，將該第1 以及第2基板與一對定盤定位，再使用該對定盤，從與平行 面垂直之方向，加壓於該第1以及第2基板。因此，幾乎可 以不加壓到對應於第1以及第2基板中之複數個顯示面板的 有效晝面區域之區域，卻又可以使整個對應於密封圖案之 90683.doc -9 - 200424624 區域受到均一且較強地加壓。 【實施方式] 以下參照圖示，針對本發明之第丨實施方式進行詳細說 明。 首先’參照第1A圖以及第⑺圖，針對本發明之實施方式 之相關顯示裝置的構成進行說明。 弟1A圖以及第1B圖係表示作為本實施方式相關之顯示 裝置的主要部分之顯示面板匕構成者，第ia圖係自正上方 看之俯視圖’㈣圖係第1A圖所示之！⑻_i(b)線之箭頭 方向的切面圖。該顯示面板w、以動態式矩陣方式之反射型 液晶顯示裝置所構成者。另外，為了易於理解，第以圖中 省略了上部基板7(稍後出現）之圖示。 如第1A圖以及第⑺圖所示，顯示面板“系由矩形形狀之 下部基板2以及上部基板7與藉由該等下部與上部基板27 所夹住之顯示部分31以及密封圖案4所構成。下部與上部基 板2、7彼此間的間隔（即間隙4H)為例如2 〇 _左右。此外土， 顯示面板1主要可分為有效畫面區域3與電極墊區域5。有效 晝面區域3係形成為矩陣狀之複數個畫素以及實際顯示圖 像之區域，且》帶狀之密封圖案4所包圍。藉由該密封圖案 4以與有效晝面區域3隔離之電極片區域5中，形成:盘外部 連接用之汲取電極。上部基板7上不存有對應於該電極墊區 域5之部分。 者 下部基板2係例如於矽（Si)等基板上形成有半 ，且具有0.7 mm左右之厚度者。上部基板7 導體元件等 &含紫外線 90683.doc -10- 200424624 (U^UltraV1〇let)穿透率較高之玻璃等材料，具有例如0.7 mm 之厚度。密封圖案4係沿有效畫面區域3之外緣而形成的接 合層，除了用於密封用來填滿有效畫面區域3之液晶層 18(稍後出現，為顯示部分31之構成要件之一"以防止其流 出至外部以外，亦係用於接合下部基板2與上部基板7者。 該密封圖案4係由例如紫外線（UV)硬化型樹脂所構成，並包 έ /、有特疋直徑之球狀間隔物4A。該間隔物4A係對應於本 、 發明之「間隔調整部件」者之一具體例。此外，密封圖案4 ·· 於其一部份具有作為開口部分之液晶注入口 6。該液晶注'入 · 口 6係用於在顯示面板丨之製造過程中注入液晶層18者，藉 由密封部件（未圖示）得以密封。顯示部分31係形成於有效畫 面區域3，包含液晶層18等者。就此而言說明如後。 接著，參照第2圖，更詳細說明關於有效畫面區域3中之 剖面構造。 第2圖係將第1A圖以及第1B圖所示之顯示面板！之有效 畫面區域3中之切面構成的一部分擴大表示，其表示出下部 基板2與顯示部分31與上部基板7依次層積之構造。如第2圖 所示，上部基板7具有玻璃基板8與透明電極9，該透明電極 9係藉由氣相沈積等方式形成於該下部基板2之側面。玻璃 基板8係由例如不含有鹼成分之無鹼玻璃所構成。透明電極 9包含銦（In)與錫（Sn)之合金氧化物，即IT〇 (Indium
Oxide)等，特別是，其一方面可用於確保可見光之穿透性， 另一方面亦用於確保導電性。該透明電極9與反射畫素電極 14(稍後出現）一起將電壓施加於液晶層18，作為用於控制液 90683.doc •11- 200424624 晶層1 8所含有之液晶分子之動作而發揮電流路徑之功能。 此外，液晶層1 8之厚度越薄，則施加特定電壓時之液晶分 子的反應時間越短，因此可高速驅動控制液晶分子。 顯示部分3 1自上部基板7之側起依次具有形成於透明電 極9上之配向膜1〇、液晶層18與配向膜丨丨。液晶層18係由特 定之液晶分子所構成，該液晶分子根據用途或所需之性能 等進行選擇。配向膜11、10係將液晶層18之液晶分子依固 定方向排列以發揮功能者，且於特定方向刻有槽。可使用 例如燒製後的聚醯亞胺清漆或氣相沈積無機材料者（垂直 配向膜等）作為配向膜11、10之構成材料。 下部基板2自遠離上部基板7之側起依次含有：包含石夕之 單結晶晶圓的Si基板16、作為顯示控制用之半導體元件的 CMOS元件15、絕緣層13、底層12以及反射畫素電極14。底 層12係例如呈2個氮化鈦膜夾住鈦膜之3層構造 (TiN/Ti/TiN)，而於製造步驟中以辅助反射晝素電極14形成 (主要係提南接合強度）之方式發揮功能。反射畫素電極工4 以分割為各個畫素之方式於其積層面内形成有畫素槽17。 。亥旦素槽1 7以垂直於紙面之方向延伸，而為配向膜11所掩 埋。畫素槽17之相互間隔為例如8〜9 μτη左右。另外，反射 畫素電極14亦為積層面内而以與紙面平行之方向延伸的槽 所分割。反射晝素電極14以藉由濺鍍法等（例如於可見視光 區域顯示出高反射率特性之鋁（Α1)等）構成為較佳，且以具 有1〇〇〜150 nm左右之厚度為可使反射板及電極充分發揮功 能者，此為吾人所企望。 90683.doc -12- 200424624 再者，車父好的是下部以及上部基板2、7之表面粗糖度為 〇·2 /xm以下。其原因係··若為超過〇·2 之表面粗糙度，則 於後述製造方法中之貼合步驟中，難以均—加壓下部以及 上部基板2、7之對應於密封圖案4的部分。 此外，於這類的反射型液晶顯示裝置之顯示面板丨中，因 調整自上部基板7射入之光進行圖像顯示，故將間隔物4A 配置於反射晝素電極14附近，以使下部與上部基板2、7之 間隔均-，但是該間隔物4八自身就會在視覺上被察覺出 來。因此，以有效晝面區域3中無間隔物4八係為所望。 其次，參照第3圖至第8圖，針對本實施方式中之顯示裝 置之製造方法以及製造裝置進行說明。 第3圖係表示本實施方式中之顯示裝置之製造方法中所 有步驟的流程圖。如第3圖所示，本實施方式之顯示裝置之 製造步驟大致區分為4個步驟（步驟sl〇1〜si〇4)。即，基板 形成步驟（步驟S101)、圖案形成步驟（步驟sl〇2)、顯示面板 組裝步驟（步驟S103)以及模組組裝步驟（步驟s 1〇4)。 基板形成步驟（步驟S101)係形成顯示裝置之主要部分之 步驟，該主要部分即為顯示面板i的下部基板2中之^基板 16與上部基板7。下部基板2係藉由切片從例如矽之單結晶 曰曰鍵切出特疋厚度之石夕晶圓後，再藉由研磨裝置等進行鏡 面研磨而獲得。上部基板7例如係藉由將IT〇作真空氣相= 積在經浮動法加工後之玻璃基板8上成為膜狀透明電極後 而形成。 接著是圖案形成步驟(步驟S102)，其係以成為特定平面 90683.doc -13- 200424624 圖案之方式將下列者依次層積於基板形成步驟（步驟S101) 中所準備之下部基板2的31基板16上之步驟：cm〇s元件 15、絕緣層13、纟層12與反射晝素電㈣。在此情形下， 對應於母個成為有效畫面區域3之部分中之各圖元而形成 圖案。藉此，下部基板2大致完成。 然後是顯示面板組裝步驟（步驟咖），其係關於本發明 之主要特徵部分的步驟，亦即將作為顯示裝置之主要部分 的顯示面板i進行組裝之的步驟。於該步驟中，如第4圖所 丁於>{下部基板2上一體形成有複數個顯示面板卜第* 圖係表示於下部基板2上形成有包含複數個顯示面…之顯 面板群100中的狀悲，於各顯示面板i之形成辱域分別形 成有密封圖案4。關於該步驟，將詳述於後。 最後之模組組裝步驟（步驟S1()4)，係於上述顯示面板組 :乂驟(v驟S 103)中所組裝之顯示面板j上，裝配用於使顯 示裝置ίΗ乍的驅動部#等，纟作為成品完工之步驟。 此處，參照第5Α圖以及第_，針對作為上述顯示面板 組裝步驟（步驟S103)中所使用之本實施方式之顯示裝置之 製造裝置的貼合裝置進行說明。第从圖以及第湖係表示 適用 '本實施方式之顯示裝置之製造方法之貼合裝置的概 要圖，第5Α圖表示加麼前之開放狀態，第5Β圖表示加壓狀 態。如第5Α圖以及第5Β圖所示，本實施方式之貼合裝置具 備：下部以及上部定盤19、20,其等具有互相面對的一對 平行面19S 20S ,疋位機構，其將下部與上部基板2、7配 置於該下部以及上料盤19、糊之特定位置；以及貼合 90683.doc -14- 200424624 機構，其使用下部以及上部定盤19、2〇，從與平行面MS、 2〇S垂直之方向（Z方向）加壓下部與上部基板2、7，再使密 封圖案4硬化。 下部以及上部定盤19、20具有一對平行面19S、2〇s，於 該對平行面19S、20S中的至少一者形成有如第6圖所示之凹 凸圖案26。於第7A圖中詳示出該凹凸圖案％。第Μ圖係將 作為凹凸圖案26之一例的凹凸圖案26A的一部份擴大表 示。凹凸圖案26A係由對應於分別形成於各顯示面板丨上之 密封圖案4且呈平面形狀的凸部圖案27，與對應於密封圖案 4以外之部分且呈平面形狀的凹部圖案“所構成。在此情形 下，一對平行面19S、20S係指凹部圖案28之形成面。於凹 凸圖案26A中，凸部圖案27與凹部圖案28沿又方向以及丨方 向有規則地排列。凸部圖案27包含於χ方向延伸之第i凸部 分27A與於γ方向延伸之第2凸部分27b。另一方面，凹部圖 案28包含對應於有效晝面區域3之矩形形狀的第工凹部分 28A與格子狀之第2凹部分28B。此處，較佳的是，於將1個 一面板1之尺寸5又為11 mm(X方向）χ 14 mm(Y方向），將密 封圖案4之寬度設為15 mm的情形下，第工凸部分之γ方 向的見度為例如2 mm，第2凸部分27B之χ方向的寬度為例 士 3 mm。又，凸部圖案27之高度（即，凹部圖案28之深度） 乂呈均狀為較佳。所謂凸部圖案27之高度（凹部圖案28之 /木度）呈均一狀係指於下部定盤19或上部定盤2〇上所形成 之凸4圖案27的各個上表面（與下部基板2或上部基板7相 對之面）全部存在於同一平面内。 90683.doc -15- 200424624 此外，下部以及上部定盤1 9、20可具有一對平行面1 9S、 20S且其中之至少一者上形成有如第7B圖所示之凹凸圖案 26B，以作為前述者之變形例。凹凸圖案26]B係呈與密封圖 案4相對應之平面形狀’且包含凸部圖案29以及凹部圖案
30。凸部圖案29包含有於X方向延伸之第1凸部分29A與於Y 方向延伸之第2凸部分29B。另一方面，凹部圖案30包含對 應於顯示面板1之有效畫面區域3之矩形形狀的第1凹部分 30 A與於γ方向延伸之栅攔狀的第2凹部分3〇]8。此處，較佳 的是於將1個顯示面板1之尺寸設為n mm(x方向）χ14 mm(Y方向），將密封圖案4之寬度設為15mm的情形下，第 1凸。卩分29A之Y方向的寬度為例如6 mm，第2凸部分29B之 X方向的寬度為例如3 mm。此外，與凹凸圖案26A一樣，凸 部圖案29之高度（即，凹部圖案3〇之深度）以呈均一狀為較 佳。 本實施方式之貼合裝置中的定位機構，係以使密封圖案4 與凸部圖案27 (29)互為一致之方式，將下部與上部基板2、 7配置於下部與上部定盤19、2〇中之一對平行面丨％、2〇s 間者。該定位機構例如可由安裝於下部基板丨9之可於垂直2 軸方向移動並轉動的工作檯等（未圖示）構成。貼合機構例如 可藉由連接於下部定盤19之加壓柱塞等（未圖示）構成。此 外’密封圖案4之硬化可藉由自上部定盤2〇之側藉由^燈 照射紫外線R而實施。 下部定盤19係包含用金屬、玻璃以及陶瓷中之至少1者而 構成的單層或複層構造者。上部係'由破璃等uv穿透 90683.doc -16- :::高之材料所構成。但是，於藉 (例如熱硬化型樹脂等)構成密封 T外者 包含金屬或川案4之^下，亦可使用 文寺材枓的上部定盤20。 繼續’參照第U圖至第2圖、第 本實施方式之，… 圖至弟9C圖’針對作為 步驟進行說明：之主要特徵部分的顯示面板組裝 步驟包含:封::施方式之製造方法中之顯示面板組裝 2、7中、_形成步驟’其係於下部以及上部基板 m 一者的相對面上，沿複數個顯示面板1之外緣 形成密封圖案4 ·令 > 止时 ^ ^ ^ ，疋位^驟，其使用具有一對平行面19S、 成Γ;:下部與上㈣ 有4封圖案4相對應並呈平面形狀之凸部圖案27(29)， 以使密封圖案4與凸部圖案27 一致之方式，將下部與上部基 板2 ^配置於—對平行面19S、20S間；貼合步驟，其係使 用下邛以及上部定盤19、20，從與平行面19S、20S垂直之 ° (方向）以呈特疋間隔之方式，加壓於下部以及上部基 板2、7 ’再使密封圖案4硬化；以及切割步驟，其係於每個 …一、面板1將下部以及上部基板2、7切斷。以下進行詳細說 明。 第8圖係表示上述4個步驟（步驟Si〇i〜Si〇4)中的顯示面 板組裝步驟（步驟sl〇3)中之詳細步驟的流程圖。首先，於 上述基板形成步驟（步驟S 101)以及圖案形成步驟（步驟S102) 中所形成之下部以及上部基板2、7上，分別形成配向膜11、 1〇(步驟S 131)。於該步驟中，首先，例如將聚醯亞胺或聚 醯胺酸溶解於特定溶劑中，將5〜10 wt%左右之濃度者藉由 90683.doc -17- 200424624 旋轉塗佈或苯胺印刷等儘量均一地塗敷於下部以及上部基 板2、7之相對面。然後，照射輻射熱等，於18〇。〇〜2〇〇七溫 度下燒製，以使其硬化，如此則配向膜丨丨、丨〇之形成大致 完成。 繼續進行配向膜11、10之配向處理（步驟S132)。即於所 謂摩擦步驟之該步驟中，藉由依固定方向用布等摩擦配向 膜11、10之表面，以於固定方向形成複數個具有微小深度 之平行槽。另，亦可以使用無機系列材料之斜方氣相沈積 等方式形成配向膜11、10。於此情形下不需要摩擦步驟。 然後’於配向膜11上，形成密封圖案4(步驟S133)。此處， 使用例如壞氧系之UV硬化型樹脂，藉由分配器沿顯示面板 1之外緣描晝特定形狀的密封圖案4。於此情形下，如第4圖 所示，將對應於複數個顯示面板1之密封圖案4 一體形成於 一片下部基板2上。該步驟中之密封圖案4的高度（厚度）為例 如 20 μτη 〇 接著，進行下部以及上部基板2、7之暫時固定，形成暫 日守固疋基板23(步驟S 134)。於該步驟中，如第9Α圖所示， 於面内方向以使上部基板7之中心位置與下部基板2之中心 位置一致之方式進行定位，例如藉由使附著於4之處的暫時 固定位置23Κ之UV硬化型樹脂硬化到一半左右時，將該等 下部以及上部基板2、7固定，形成暫時固定基板23。於此 情形下’為了使密封圖案4不因UV硬化，而僅對附著於4之 處的暫時固定位置23Κ之UV硬化型樹脂點照射UV。另外， 暫日可固定基板23中之下部以及上部基板2、7的相互間隔約 90683.doc -18 - 200424624 二、〆大於此日$之岔封圖案4之高度（例如，20 μηι)甚多。 之後，於下部定盤19與上部定盤20間，將暫時固定基板 23配置於特疋位置後加壓（步驟s I”）。於該步驟中，首先， 於貼合裝置中之下部定盤i 9與上部定盤2〇間插入暫時固定 基板23，例如，藉由圖像處理等使暫時固定基板23於面内 方向移動或於面内方向中轉動，進行顯示面板群1〇〇之輪廓 線100K與第9B圖所示之下部以及上部定盤19、2〇中之凹凸 圖案26全體之輪廓線26K的定位。第9β圖係對應於第6圖 者，此處，省略凸部圖案27(29)之圖式。第9C圖係表示於 以如此之方式進行定位時，暫時固定基板23與下部以及上 部定盤19、20之位置關係的概念圖（透視圖）。如第9c圖所 示，輪廓線100冗與輪摩線26K 一致。藉此，各顯示面板1中 之密封圖案4與凸部圖案27(29)成為對應之位置。此處，可 在於下部定盤以及上部定盤2〇中之各平行面上，形成與 密封圖案4之寬度成同等以上之寬度的凸部圖案巧^”，^ 此情形下可確保製造上之範圍，而更容易進行定位。於該 步驟中，以進一步於下部以及上部定盤19、2〇與下部以及 上部基板2、7間《住緩衝部件21為較佳。該緩衝部件21為 例如橡膠薄板，可根據橡膠之堅固或凸部圖案27(29)之高 度、壓力之大小等條件來決定最適宜的厚度。以設為例如 1 mm左右或其以下（例如〇·5 mm)之厚度為較佳。但可根據上 述條件作適當變更。可於進行加壓時藉由夾住該緩衝部件 21，，而將重量更均一地全面施加於整個與於下部以及上 部基板2、7中之密封圖案4對應的部分，。該緩衝部件川系 90683.do< -19- 200424624 於加壓時降低壓力分佈之偏差，並緩和衝擊者，並不限於 橡膠材料般之彈性體，亦可藉由硬度低於下部定盤19或下 部基板2之可產生塑性變形的材料（例如，鋁等）構成。 進行輪廓線100K與輪廓線26K之定位後，使用了部以及 上部定盤19、20，從與該等平行面垂直之方向加壓下部以 及上部基板2、7。於此情形下，以如後述般設計多段性（即 時間性）步驟進行加壓為較佳。首先，作為第丨步驟的是， 使密封圖案4不產生發泡等的情況下緩慢地（例如，以〇工 kg/cm2左右之壓力）預備加壓，保持特定的時間。然後，作 為第2步驟的是，缓慢地加壓（例如，以〇5kg/cm2左右之壓 力）以形成特定之間隙4H(於使用間隔物4八之情形中，係為 相當於該間隔物4A之直徑大小之間隙4H)，再形成特定之間 隙4H時之位置保持一定時間。第10A圖係表示該狀態中之 凸部圖案27(29)與密封圖案4之位置關係的切面圖。於第 1〇A圖中，將對應於下部定盤19中之凸部圖案27(29)之剖面 部分以凸部19T表示，將對應於上部定盤2〇中之凸部圖案 27(29)之剖面部分以凸部2〇τ表示。如第1〇A圖所示，於 平面内凸部19Τ、20Τ與密封圖案4成為互相對應之位置。因 此，幾乎不會加壓到下部以及上部基板2、7中與複數個顯 示面板1之有效畫面區域3對應的區域，卻又可以使整個對 應於被封圖案4之區域受到均—且較強的加壓。第ι〇β圖係 將第1〇Α圖之-部分擴大表示者，其係表示於間隔物4Α分 散於密封圖案4上之狀態。如第1〇β圖所示，對應於間隔物 4Α之直徑，下部基板2以及上部基板7形成均一之間隙々η。 90683.doc -20- 200424624 其後，於保持加壓之狀態，照射紫外線R，使密封圖案4 硬化以貼σ下部基板2及上部基板7(步驟s丨3 6)。該情形 下，例如通過上部定盤20與上部基板7，以例wi〇〇mW/cm2 之照度的UV對整個顯示面板群100照射60秒鐘。其後，使 壓力徐徐降低，完成間隙4H之形成。 最後’使用鑽石切割器或超鋼材切割器將貼合有下部以 及上。卩基板2、7之顯示面板群1〇〇切割為各顯示面板1，藉 由液晶注入口 6將特定之液晶材料注入顯示部分31後，以密 封部件等密封（步驟S137)。藉由上述者，完成了本實施方 式之製造方法中之顯示面板組裝步驟，而顯示面板丨亦大致 完成。 如此，可藉由將貼合有下部以及上部基板2、7之顯示面 板群100切割為各顯示面板i，以保證高品質與有效生產的 方式製造出間隙均一的顯示面板。 X上如所σ兒明者，根據本實施方式之顯示裝置之製造 方法以及製造裝置，形成沿複數個顯示面板i之外緣之密封 圖案4後，使用具有一對平行面198、2〇3的下部以及上部定 盤19、20 ’且其中至少一者之面形成有對應於密封圖案4之 呈平面形狀的凸部圖案27(29)，以使密封圖案4與凸部圖案 27(29)互為-致之方式，定位下部以及上部基板2、7與下部 以及上部定盤19、20，再用下部以及上部定盤19、2〇從與 平仃面19S、20S垂直之z方向加壓不部以及上部基板2、7。 因此，幾乎不會加壓到下部以及上部基板2、7中之與複數 個顯示面板1之有效晝面區域3相對應的區域，卻有可以使 90683.doc -21 - 屬4246 24 整個對應於密封圖案4之區域受 a本 A又到均—且較強的加壓，故有 效旦面區域3中即使不存在間 等’有效晝面區域3中亦 不會產生凹陷。其結果為， 了々地確保住下部基板2與 上邛基板7之間隔（即間隙4H)，故 質之晝質的顯示裝置。 〇有效製造出具有更高品 特別是，當作為下部以及上部基板2、7者之使用表面粗 糙度為〇.2_以下者時，有利於貼合步驟中對應於密封圖 案4之部分的下部以及上部基板2、7之均—加壓處理。 又’特別是，以包含間隔物4八之方式形成密封圖案4時， 因有效晝面區域3中不存有間隔物4A，故而不會產生使用時 因間，物周圍產生漏光等配向不良或視覺可察覺之間隔物 自身等之間隔物而造成之畫質劣化。 又’特別是m步驟以及貼合步驟中，係以使用形 成有與密封圖案4之寬度呈同等以上之寬度的凸部圖案 )之下#以及上部定盤之方式來進行時，可確保製造時 之範圍，而更容易地進行定位。 再者，又，以於下部與上部定盤19、2〇以及下部與上部 基板=、7之間夾住緩衝部件21之方式進行時，可更均一地 將重里％加於整個與下部以及上部基板2、7中之密封圖案* 相對應的部分，而易於形成均一之間隙。 ” 此外’於貼合步驟中，卩多段性地加壓下部以及上部基 板2、7之方式進行時，可形成更穩定之均一的間隙。 [第2實施方式] 繼而，參照第11Α圖以及第11Β圖，針對本發明之第2實 90683.doc -22- 200424624 施方式之顯示裝置之製造方法以及製造裝置進行說明。 第11A圖以及第11B圖係表示作為本實施方式之顯示穿 置之製造裝置的貼合裝置者，對應於上述第丨實施方式 第5A圖以及第5B圖。與第5A圖以及第5]5圖一樣，第"A圖 表不加壓刖之開放狀悲，第丨丨B圖表示加壓狀態。對於第uL 圖以及第UB圖中與第5A圖以及第沾圖所示之構成要件為 貫質性相同之部件，賦予同一符號。 … 另外，以下之說明中，係關於本實施方式之顯示裝置之 製造方法以及製造裝置，主要係針對與上述第i實施方式相 異之點進行說明，故視情況省略其餘之說明。 上述第1實施方式，係使用包含金屬、玻璃或陶瓷等之下 部定盤19，並且於該下部定盤19與暫時固定基板23間夹住 包含橡膝薄板等之緩衝部件21進行者。就此而言，於本實 =方式中’疋使用於平行面所具有之凸部圖案27(叫形成有 彈性面的下部定盤22來進行。具體而言，如第圖以及第 ΠΒ圖所示，不使用緩衝部件21，以使用包含剛性層22錢 彈性層22B之下部定㈣之構成方式來進行。 下部定盤2 2係由與上部定盤2 〇對側開始依次為剛性層 22續彈性層22B所層積構成者。剛性層22A係由例如金屬曰 材料構成而顯示出較高剛性者。剛性層22a中之彈性層細 側之面係平坦盔凹凸， 曰 -…、凹凸该面之對側連接有作為貼合機構之 加Μ活塞者等。彈性層细係例如顯示出橡膠等之高彈性率 者於與上部定盤2〇相對之側之面⑵上形成有凸部圖案 27(29)。更具體而言，以彈性層22b包含任—種硬度為別。 90683.doc -23- 200424624 或硬度為70。之NBR(腈橡膠：mtrile rubber)、聚胺基曱酸酯 或合成橡膠等為較佳。進言之，彈性層22B之整體厚度為例 如2 mm〜5 mm，於此情形下，以凸部圖案27(29)之高度係工 mm為較佳。 如此，由於本實施方式中，將下部定盤22設為包含剛性 層22A與彈性層22B之2層構造，並於與暫時固定基板23相 接之側的面22S上形成與密封圖案4相對應且呈平面形狀的 凸部圖案27(29)，故而無需使用緩衝部件即可吸收暫時固定 基板23之彎曲（翹曲）等，並可更強地確實加壓於與複數個顯 示面板1之密封圖案4對應的區域。 另外，雖然本實施方式中將下部定盤22設為包含2層之構 ^但其亦可设為包含3層以上之構造。惟與暫時固定基板 2 3相接之部分必須為彈性層。 接著，針對上述第1以及第2實施方式中之具體的實施例 進行說明。 [苐1實施例] 基於上述第1實施方式中之製造方法，於以直徑為8英寸 (与203 mm)之大型矽晶圓形成之Sl基板16的下部基板2上， 形成包含136個顯示面板i之顯示面板群1〇〇。1個顯示面板 之大小，設為約14 mm X 11 mm(對角〇·7英寸）。密封圖案4 係於環氧系UV硬化型樹脂使用含有丨·5 wt%之直徑1.9 mm 之一氧化石夕（Si〇2)間隔物4A者而形成。 關於上述各顯示面板1，於液晶注入前之狀態中測定間隙 4H，其於密封圖案4之附近土3%，其於有效畫面區 90683.doc -24- 200424624 /^±1〇%。接著，注入、密封液晶等， 示面板1測定間隙4H，以確認其遍佈在 域3之令央部分為1.9 並針對完成後之各顯 任-顯示面板i中之整面中者均為19μιη±3%範圍内 [苐2實施例] 接著，與上述第1實施例相同，於以直徑為8英寸（与 mm)之大㈣晶圓形成之⑴基板16的下部基板2上，使用混 口有直裎為1.9 mm二氧化矽（Si〇2)間隔物4八之環氧系卩乂硬 化型樹脂形成密封圖案4後，使用第UA圖以及第UB圖所示 之第2實％方式之貼合裝置，將136個顯示面板}一體貼合。 1個顯示面板之大小，設為約14 mm χ u mm(對角〇 7英 寸）。於該階段，針對136個顯示面板丨（液晶注入前）來測定 間隙4H，其於密封圖案4之附近為19㈣±3%，其於有效畫 面區域3之中央部分為L9Mm±1〇%。接著，進行注入、密封 液曰a等並針對完成之各顯示面板i測定間隙4H，以確認其遍 佈於任一顯示面板丨之整面中者均為1.9 範圍内。 如此可知，根據上述第丨以及第2實施方式之製造裝置及 使用其之製造方法，可形成全部均一之間隙。可想而知的 是本發明特別適於製造企求以形成2·5 以下之狹窄均一 之間隙作為間隙4H的顯示裝置，即使間隙4H狹窄至1() μηι 左右仍可均一地形。又可知於將一體貼合之顯示面板1之大 小設為約35 mm X 20 mm(對角ι·5英寸）時，亦可遍佈整面地 均一形成間隙4Η。 因此’藉由上述第1以及第2實施方式之製造裝置及使用 其之製造方法所製造的顯示裝置，係包含具有顯示部之特 90683.doc -25- 200424624 定顯示面板的顯示裝置，具備構成該顯示面板之互相面對 的第1及第2基板，以及沿第〗及第2基板之外緣形成於顯示 部以外之區域的密封圖f，該密封圖案係使用包含有間隔 調整部件之材料所形成，該間隔調整部件具有僅配置於密 封圖案而未配置於顯示部之構成。如上述第丨以及第2實施 例所示，該顯示裝置，作為_例者是於對角尺寸為U英寸 以上之顯示面板中，形成有第i基板與第2基板之間隔為2 Mm以下之狹窄均一的間隙。 以上’列舉幾個實施方式以及實施例說明本發明，但本 發明並不限定於該等實施方式，而可作各種改變。例如， 於本實施方式以及實施例中，使用υν硬化型樹脂構成密封 圖案，但例如亦可使用熱硬化型樹脂為之。於該情形下， 亦可不用UV穿透率較高之材料作為—對定盤者。再者，作 為構成密封圖案之材料不限定於上述，可於將下部以及上 部基板加壓之狀態中硬化，而且，只要是不會對液晶材料 等周圍之材料造成惡性影響之材料，即可適用。再者，若 有效晝面區域内之間隔物之存在所造成的漏光等配向不良 ㈣題，不會對畫質之劣化造成影響，在此情形下，可使 間隔物分散於有效晝面區域，如此可形成更均一之間隙。 於本貫轭方式以及實施例中，係藉由移動下部基板 側之疋盤進仃貼合，但亦可移動上部基板側之定盤進行。 1又，於本實施方式以及實施例中，以具有一對平行面且 /、至）一者之面上形成有與密封圖案相對應並呈平面 狀之凸部圖奉砧a姐仏 ’ v、、疋盤為較佳，特別是於一對平行面雙方形 90683.doc -26- 200424624 成有凸邛圖案者。又，以凸部 、、吳厣^, 乘之呵度（即，凹部圖案之 冰度）呈均一為較佳，但根據密 高度以實現均-的加μ。 ⑽之㈣，可適當改變 又要本發明中之凸部圖案各部分之尺寸以考慮密 之位置、密封圖幸之宫声、由人 系 杜夕旦 案之見度&含於密封圖案之間隔調整部 牛之里、各基板之表面粗糙度或^等再決定為較佳。 '如，上說明’根據本發明之顯示裝置之製造褒置，以形 成於第1以及第2基板中之一對相對面中之至少一者，呈沿 複數個顯示面板之顯示區域之外緣之形狀的密封圖案二 形成於第！以及第2基板中之—對平行面中之至少一者，呈 制於密封圖案之平面形狀的凸部圖案為一致之方式進行 定位’使用—對定盤從與平行面垂直之方向加壓於第】以及 第2基板。藉此’由於可喊保第！基板與第2基板之間隙（即 :效晝面區域中之間隙)呈均一狀，故而可有效製造具有更 高品質之晝質的顯示裝置。 J疋於雄、封圖案形成步驟中，使用表面粗糙度為0.2 μιη以下之第丨以及第2基板，將使對應於密封圖案之部分的 第1以及第2基板的均一加壓處理變得更為容易。 又’特別是’於密封圖案形成步驟中，使用分散有間隔 調整部件之材料形成密封圖案之情形下，可進行均一之間 隙形成而不會因間隔調整部件造成畫質劣化。 又特別是在定位步驟以及貼合步驟中，使用形成有與 後、封圖案之寬度呈同等以上之寬度之凸部圖案的一對定盤 日守可確保製造上之範圍處，而更容易地進行定位。其結 90683.doc •27- 200424624 於密封圖案之區域，而使 果為，可更確實地僅加壓在對應 均一之間隙形成變為容易。 又，特別是，進而於定位^ , 疋仅v騾中，於一對定盤與第1以及 第2基板之間夾住緩衝部件 if化下，可對於整個對應於第 1以及弟2基板中之穷抖闰安 在封圖案之部分’進行更均-之加壓， 容易地形成均一之間隙。 驟中，作為一對定 部圖案之彈性面之 又，特別是，於定位步驟以及貼合步 盤中之至少-者是使用>具有形成有凸 個顯示面板之密封圖案之區域的全體 類者之情形下，-方面可不使用緩衝部件就吸收^以及第 2基板之4曲等方面可更強地確實地加壓於對應於複數 又，特別是，於貼合步驟中，如多段性加壓第i以及第2 基板之情形下，更穩定的均—之間隙形成成為可能。 又，特另，凸部圖案具有與密封圖案之寬度㈤等以上 之寬度的情形下，可確保製造上之範圍，更容易地進行定 位。其結果’可更確實地加壓僅對應於密封圖案之區域， 均一之間隙形成變得容易。 又’特別是’ 一對定盤中之至少一方為具有形成有凸部 圖案之彈11面者之情形下，一方面可吸收第i以及第2基板 之彎曲等，一方面可更強地確實加壓於對應於複數個顯示 面板之密封圖案之區域的全體。 【圖式簡單說明】 第1A圖以及第1B圖係表示本發明之第1實施方式之相關 的顯示裝置中所包含的顯示面板之概略構成的俯視圖以及 90683.doc -28- 200424624 切面圖。 第2圖係表示第ία圖以及第iB圖所示之顯示面板中之主 要部分之切面構成的切面圖。 第3圖係表示第ία圖以及第iB圖所示之顯示裝置之掣造 方法中之所有步驟的流程圖。 第4圖係表示第3圖所示之所有步驟中之一部分步驟中之 平面構成的俯視圖。 第5A圖以及第5B圖係表示第1A圖以及第1B圖所示之顯 示裝置之製造裝置的概要圖。 第6圖係第5A圖以及第5B圖所示之顯示裝置之製造裝置 之主要部分俯視圖。 第7A圖以及第7B圖係將第6圖所示之顯示裝置之製造裝 置之主要部分擴大的俯視圖。 第8圖係表示第3圖所示之所有步驟中之一部分步驟的流 程圖。 第9A圖至第9C圖係用於說明第8圖所示之一部份步驟的 概要圖。 第10A圖以及第10B圖係表示用於說明第8圖所示之一部 份步驟之剖面構成的剖面圖。 第11A圖以及第11B圖係表示本發明之第2實施方式相關 之顯示裝置之製造裝置的概要圖。 【圖式代表符號說明】 1 顯示面板 2 下部基板 90683.doc -29- 200424624 3 有效晝面區域 4 密封圖案 4A 間隔物 4H 間隙 5 電極墊區域 6 液晶注入口 7 上部基板 8 玻璃基板 9 透明電極 10，11 配向膜 12 底層 13 絕緣層 14 反射晝素電極 15 CMOS元件 16 Si基板 17 畫素槽 18 液晶層 19 下部定盤 19S ， 20S 一對平行面 19T ， 20T 凸部 20 上部定盤 21 緩衝部件 22 下部定盤 22A 剛性層 90683.doc -30- 200424624
22B 22S 23 23K 26，26A， 26K 27，29 27A ， 29A 27B ， 29B 28，30 28A ， 30A 28B ， 30B 31 100 100K R Z 彈性層 與上部定盤相對之側之面、 與暫時固定基板相接之側之面 暫時固定基板 暫時固定位置 26B 凹凸圖案 凹凸圖案全體之輪廓線 凸部圖案 第1凸部分 第2凸部分 凹部圖案 第1凹部分 第2凹部分 顯示部分 顯示面板群 顯示面板群之輪廓線 紫外線 與平行面垂直之方向 90683.doc -31 -