TW200416494A - Mask pattern correcting method - Google Patents

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200416494 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於補正使用於微影之光罩之圖案之方法。 【先前技術】 半導體元件之微細化之要求近年越發嚴格，設計規則已 達到光微影之曝光波長之1/2以下。電子束微影技術以作為 可對應元件更進一步之微細化之微影技術而受到注目。 伴隨圖案之微細化，發生光罩上之圖案與實際上轉印之 圖案不同的問題（近接效應）。為了減低此種近接效應之影 響，近接效應補正係施加於光罩圖案上。線寬補正處理為 近接效應補正之一。 … ^、咏見補止慝理係使各配線之線寬，按照該配線之線寬2 該配線與鄰接配線之距離，僅增減事前規定之偏移量之3 罩圖案資料處理，並廣泛受到採用。具體而言，進行抽: 適合上述線寬及距離2個條件之圖案邊緣（以下亦表示為走 緣）’使該邊緣對於邊_#直方向僅偏移規定量之圖形杏 作。線寬補正處理前後之邊緣係互相平行。 ’ 然而，若根據如上述之線寬及配線間距離而進行線寬相 正’將形成具有與補正量同程度之階差之凹部或凸部。命 如· ^圖1所示，於經由圖案I之9〇。角部而鄰接之邊，若 補^量a、b互異時，於角部（圓形所圍起之部分）形成凹部D。 #之角度相。以外之情況，由於線寬補正，亦於角部 部或凸部。例如:如圖2所示’於圖案Π之135。角部， 補正圖案C 1、C2之間f圓拟％问士 間（回形所圍起之部分）形成具有45。角之

O:\87\87366.DOC 200416494 凹部D。 所不，於圖案瓜之225。角 c 1、C2之間（圓开彡所R 補正圖案 如04所 之部分)形成具有45。角之凹部 圖4所不，於經由圖 添加補正圖荦C日丰角#而鄰接之邊之—方 另方角部(圓形所圍起之部分)形成凸部P。 另一方面，鄰接之配線不平行之情況， 線間距離連續變化。τ θ 所不，配 化m由於補正量係藉由最小 離散定義，故即使補正图安々、去τ曰 口數而 南圖案之補正夏為連續變化之情況， 如圖5 B所示，於實ji双花；士 , w成於先罩之圖案將做成組合矩形圖 案之階梯狀之補正圖案。亦即， 特m… ψ兀即#於線見及配線間距離在 特疋犯圍内之部分係適用一樣之補正量。 如以上所述，若進行線寬補正處理，於圖案之角部將形 成凹«凸部’或者於斜向延伸之圖案形成階梯狀之補正 圖案。若存在此種凹部、凸部、或階梯狀圖帛，光罩資料 之圖开ν數.艾夕’為了於光罩描晝圖案之資料傳輸時間或描 晝時間變長。 又’光罩之缺陷檢查時，亦有因線寬補正所形成之微細 之凹部、凸部、或階梯狀圖案將疑似被作為缺陷而辨識之 問題。由於此種疑似缺陷，缺陷檢出之所需時間變長，或 者缺陷檢查將停止。 解除凹部或凸部等微小階差之方法有於圖案進行超過最 大補正里之一疋1之放大（過大· Oversize)，將階差埋入 後，再於圖案進行縮小之方法，或者相反地，進行過小 (Undersize)後再進行過大之方法。 O:\87\87366 DOC -6 - 200416494 根據此種方法可將階差埋入，然而，於經由角部而鄰接 之邊之補正量互異之情況（例如：參考圖丨之補正量a、匕）， 將造成階差埋入後之補正量變化，或者因補正量之變化所 引起之圖案之外型（拓樸）變化的問題。若補正量變化，對於 近接效應之補正將造成影響。 以使用 進行線 又，為了在短時間進行光罩圖案之作成或描晝 如光罩描畫裝置等所具備之泛用之圖形運算工具 寬補正後之圖案修正為佳。 【發明内容】 本發明係、有幾於上述問題點所實現者，故本發明之目的 為提供可簡單解除圖案之線寬補正後所產生之微小階差之 光罩圖案補正方法。 為了達成上述目的，本發明之光罩圖案補正方法，並 徵在於：包含延伸於第一方向之第一圖案與延伸於第:方 向之第一圖案形成特定之角度(1。而相接之角部者丨且具 有：使前述第—圖案之延伸於前述第-方向之圖案邊綾：: 個並位於角部外側之第一圖案邊緣，朝垂直於前述第 :之第三方向以第一補正量平行移動，於以前述 正 -平行移動前後之前述第一圖案邊緣間，使 之線寬增加之做成第一補正圖案之工序；使前述圖： =伸於前述第二方向之圖案邊緣之u@，並與前述 邊緣相接之第二圖案邊緣，朝垂直於前述第二方向之； ::以第二補正量平行移動，於以前述第二補正量付 後之前述第二圖案邊緣間，使前述第二圖荦之線：

O:\87\87366 DOC -7- 增：之：成第二補正圖案之工序；放大合併前述第一圖案 及則述第二圖案之圖形而做成放大圖形之工序，前述第一 補正量與前述第二補正量中之大者之補正量，與前述第;; 圖案之朝前述第三方向之移動量一致，並且前述大者之補 正量與前述第二圖案之朝前述帛日方向之移動量一致，而 擴大㈣圖形之工序；使前述第一圖案邊緣朝前述第三方 向以别述大者之補正量平行移動，於以前述大者之補正量 平行移動前後之前述第一圖案邊緣間做成第一暫時區域之 工序，使W述第二圖案邊緣朝前述第四方向以前述大者之 f正量平行移動，於以前述大者之補正量平行移動前後之 别述：二圖案邊緣間做成第二暫時區域之工序；由擴大圖 形將前述第-暫時區域及前述第二暫時區域除外，做成階 差埋入用圖案之工序；由前述階差埋入用圖案之全圖案邊 緣將最外周邊緣除外，並進一步將前述第一補正圖案之圖 案邊緣及前述第二補正圖案之圖案邊緣除外，抽出區域指 定用邊緣之工序；使前述區域指定用邊緣朝與前述區域指 定：邊緣垂直之方向’並且向前述階差埋入用圖案之内側 以前述大者之補正量平行移動，於以前述大者之補正量平 行移動前後之前述區域指U邊緣間做成削除區域之工 序丄及由前述階差埋入用圖案削除前述削除區域，追加削 除月=削除區域之前述階差埋入用圖案及前述第一補正圖 案與月’J述第一補正圖案’於前述第一圖案及前述第二圖案 之工序。 /、 上述本發明之光罩圖案補正方法之放大前述圖形之工序

O:\87\87366.DOC 適合藉由前述第一及/或前述第二圖案之過大而進行。 2，做成前述第一及/或前述第二暫時區域之工序適合藉 由前述第一及/或前述第二圖案之過大而進行。 曰 一又，刚述第一暫時區域及前述第二暫時區域之除外適合 稭由W述第-暫時區域及前述第二暫時區域之過小 行。 又’丽述第一補正圖案及前述第二補正圖案之補正量係 適合互異。 :’前述最外周邊緣適合為前述第一暫時區域之邊緣中 朝前述第-方向延長之線段之—部分及前述第二暫時區域 之邊緣中朝前述第二方向延長之線段之一部分。 一又’别述大者之補正量適合為前述第—補正量或前述第 一補正量中任一者之最大補正量。 又，刖述特定之角度α。適合規定為90^α<180。 又，為了達成上述目#，本發明之光罩圖案補正方法， 其特徵在於：包含延伸於第—方向之第-圖案與延伸於第 二方向之第二圖案形成特定之角度α。而相接之角部者；且 具有：使前述第一圖案之延伸於前述第一方向之圖案邊緣 之1個並位於角部内側之Ρ圖案邊緣，朝垂直於前述第一 方向之弟三方向以第一補正量平行移動，於以前述第一補 正量平行移動前後之前述第—圖案邊緣間，使前述第—圖 案之線寬增加之做成第一補正圖案之工序；使前述第二圖 案之延伸於前述第二方向之圖案邊緣之⑽並位於角部内 側’與前述第-圖案邊緣相接之第二圖案邊緣，朝垂直於

O:\87\87366 DOC -9- 刚述第二方向之第四方向以第二補正量平行移動，於以十 述第：補正量平行移動前後之前述第二圖案邊緣間，使： 述：二圖案之線寬增加之做成第二補正圖案之工序；由： 述弟-補正圖案之圖案邊緣及前述第二補正圖案之圖案邊 緣，抽出長度為前述第一補二 ,、 ^ 補止里及刖述弟二補正量中 者t補正量以下，—端之角為90°且另—端之角為45〇i。 一、 緣序；做成以前述區域指定用邊緣為 ^ 方$而不與包含前述區域指定用邊緣之補正圖案 且之工序，由胃述第一補〖圖案之圖案邊緣及前述第二 ==案邊緣，為前述正方形内且不與前述: $之部分之前述正方形内邊緣之卫序；及追加 方形之另外-邊且鄰接於前述區域指定用邊緣之 ^ 用邊緣、刖述正方形内邊緣所包圍之三 二=:、及前述第一補正圖案與前述第二補正圖案，於 刖述弟-圖案及前述第=圖案之工序。 月之光罩圖案補正方法之做成前述第-及/或 =二補正圖案之工序適合藉由前述第-及/或前述第 一圖案之過大而進行。 id 成Μ述正方形之卫序之前，適合將前述 正圖案及/或前述第二補正圖案過小。 又’ 4述第一補正圖案及前 適合互異。 口茶及引述弟-補正圖案之補正量係 -補正θ: #之補正置適合為前述第-補正量或前述第 一補正s中任—者之最大補正量。

O:\87\87366 DOC -10- 200416494 又，前述特定之角度α。適合規定為9〇“<18〇。 又’為了達成上述目的，.蘇 复牲5^ X月之光罩圖案補正方法， ”寺欲在於·包含延伸於第一 -古a ^ 句之弟一圖案與延伸於第 一方向之苐二圖案形成特定 、弟 目士· 月度α而相接之角部者；且 :Η•使則述弟一圖案之延伸於前述第-方向之圖幸邊緣 =個並位於角部外側之第一圖案邊緣，朝垂直於前;= 之補：：：方向以特定之補正量平行移動，於以前述特定 平行移動前後之前述第—圖㈣_，使㈣第 。案之線見增加之做成補正圖案之工序；由前述補正圖 案之圖案邊緣’抽出長度為前述特定之補正量以下，一端 之角為90。且另-端之角為“列。之區域指w邊緣之工 f;做成以前述區域指定用邊緣為—邊之正方形而與包含 前述補正圖案重疊之玉序’·由除去前述第_圖案邊緣之前 述補正圖案之圖案邊緣，抽出與前述正方形之邊重疊之前 述正方形上邊緣之J1序；及做成以前述區域指定用邊緣及 刖述正方形上邊緣為二邊之三角形圖案之工序；由前述補 正圖案削除前述三角形圖案，追加削除前述三角形圖案之 前述補正圖案於前述第一圖案之工序。 上述本發明之光罩圖案補正方法之做成前述補正圖案之 工序適合藉由前述第一圖案之過大而進行。 又，於做成前述正方形之工序之前，適合將前述補正圖 案過小。 又’前述特定之角度α。適合規定為9〇$α<180。 又’為了達成上述目的，本發明之光罩圖案補正方法， O:\87\87366.DOC -11- 200416494 ，、特敛在於·包含延伸於第一方 一 -古a μ-门 內之第一圖案與延伸於第 ^ , 韦 刀割前述第一圖案之延伸 於前述第一方向之圖案邊緣之丨個， 口茶之L伸 之莖阅安真从★ 並位於刖述第二圖案側 之苐一圖案邊緣為複數區間之工 外’使刖述分割之各區間 以按照與前述第二圖案之距離 斤 離之補正夏，朝垂直於前述第 一方向之第三方向平行移動， 久「„ ㈣於則达平行移動前後之前述 。區間之間，使前述第一圖案 ^ — 尺見^日加之做成補正圖案 之工序；由前述補正圖案之圖宰 楚一+ 口系遺緣，抽出比延伸於前述 ^二方=之最大補正量短之複數第—區域指定用邊緣之工 使料第-區域指定用邊緣朝向前述第一方向之前述 :圖案：内側，僅平行移動區間長度之最小值，於前述 千㈣動前後之前述第一區域指定用邊緣間，做成第一矩 幵^區域之工序；由前述補 — ®案之圖案邊緣，抽出比延伸 二』l弟方向之區間長度之最小值短之複數第二區域指 定用邊緣之工序；使前述第二區域指定用邊緣朝向前述第 二：向之前述補正圖案之内側，以最大補正量平行移動， 於前述平行移動前後之前述第二區域指定用邊緣間，做成 第:矩形區域之工序；將前述第一矩形區域及前述第二矩 :區域之重疊部分由前述補正圖案削除之工序；及至前述 第一區域指定用邊緣沒有為止，重複前述第一區域指定用 f緣之抽出、前述第一矩形區域之做成、前述第二區域指 疋^邊緣之抽出、及前述第二矩形區域之做成之工序。 /猎此，為了減低近接效應而進行光罩圖案之線寬補正 後，可糟由使用泛用之圖形運算工具之處理，解除圖案之

O:\87\87366.DOC -12- 200416494 角口P等所發生之微小階差或階梯形狀。根據本發明之光罩 圖案補正方法，可防止產生於光罩圖案之微小階差成 罩之缺陷檢查中之疑似誤差。又，藉由解除微小誤差，可 削減資料處理量，達成光罩圖案之描晝等之高速化。 【實施方式】 ~ 以下苓考圖式，說明關於本發明之光罩圖案補正方法之 實施型態。本發明之光罩圖案補正方法具有於做成之光罩 圖案進行線寬補正後，解除發生於圖案之角部等之微小階 差之工序。 於以下實施型態丨〜5說明微小階差之解除方法之具體 例m型g中’最大補正量表示為Max(bias)。如⑻㈣ 係使圖案邊緣㈣於其邊緣之直角方向偏移之量（補正量） 之於圖案内之最大值。X ’各實施型態中，最終補正結果 所期望之邊緣長之下限值表示為Min(edge)。 (實施型態1) 本只施型恶中說明藉由線寬補正，解除於圖案之角部之 補正圖案間所形成之凹部之方法。圖6A係表示藉由本實施 型態，凹部被埋入之圖案之角部。圖6A之圖案Pl係與圖2 相同，包含135。之角部（圓形所圍起之部分），135。之角部之 兩側的補正圖案Cl、C2之補正量為互異。 將圖6A所示之凹部D埋入時，首先，如圖6B所示，將圖 案全體僅過大Max(bias)。其次，如圖6C所示，使圖案邊緣 朝對於其邊緣之垂直方向，僅偏移Max(bias)。藉此，形成 暫時區域ΤΙ、T2。將圖6B所示之過大及圖6C所示之圖案邊 O:\87\87366.DOC -13 - 200416494 緣之偏移之順序改換亦可。 人如圖7 A所示，求取於圖6B被過大之圖案與於圖6C 所形成之暫時區域T1、丁2之合計之差分pd。由此差分⑼做 成凹部埋入用圖案。 其次，如圖7B所示，由差分Pd之邊緣，將圖6八所示之補 正圖案Cl、C2之圖案邊緣除外，並進一步將差分pd之最外 周之邊緣除外。藉此，抽出差分Pd之邊緣中，圖7B中之粗 線所示之邊緣e。 其次，如圖7C所示，使於圖7B所抽出之邊緣e朝垂直於邊 緣e之方向，並且向差分Pd之内側之方向僅偏移Ma<bias)， 於偏移前後之邊緣e間形成矩形區域r。 其後，如圖7D所示，由合併線寬補正後之圖案（參考圖6句 及差分Pd(參考圖7A)中，削除矩形區域汉（參考圖7〇)。 藉此，不變更角部兩側之補正量，即可埋入角部之凹部。 故，減低描晝光罩資料之際等之資料處理量，處理將高速 化。又，光罩之缺陷檢查時，可避免角部之微小階差作為 疑似缺陷而被檢出。 (實施型態2) 本實施型態僅角部之角度與實施型態丨相異。圖8八係表示 藉由本實施型態、’凹部被埋入之圖帛之角部。圖8A之圖案 P2係與圖丨相同，包含90。之角部（圓形所圍起之部分），列。 之角部之兩側之補正圖案C1、C2之補正量為互異。 將圖8A所示之凹部D埋入時，首先，如圖8β所示，將圖 案全體僅過大MaX(bias)。其次，如圖8C所示，使全圖案邊

O:\87\87366 DOC -14- 200416494 緣朝對於各邊緣之垂直方向，僅偏移Max(bias)，形成暫時 區域Tl、T2。改換圖8B所示之過大及圖8C所示圖案邊緣之 偏移之順序亦可。 其次，如圖9A所示，求取於圖8B被過大之圖案與於圖8C 所形成之暫時區域丁丨、丁2之合計之差分pd。 其次，如圖9B所示，由差分Pd之邊緣，將圖从所示之補 正圖案Cl、C2之圖案邊緣除外，並進一步將差分pd之最外 周之邊緣除外，抽出圖9B中之粗線所示之邊緣e。 其次，如圖9C所示，使於圖9B所抽出之邊緣e朝垂直於邊 緣e之方向，並且向差分Pd之内側之方向僅偏移Max(bias)， 於偏移前後之邊緣e間形成矩形區域r。 其後，如圖10所示，由合併線寬補正後之圖案（參考圖8A) 及差分Pd(參考圖9A)中，削除矩形區域叫參考圖9C)e 藉此，不變更角部兩側之補正量，即可埋入角部之凹部。 故，減低描晝光罩資料之際#之資料處理量，處理將高速 化。又，光罩之缺陷檢查時，可避免角部之微小階差作為 疑似缺陷而被檢出。 (實施型態3) 本實施型態中說明藉由綠宫# τ ^ Λ 稽田線見補正，解除於圖案之角部之 補正圖案間所形成之凹部夕 乂凹°卩之方法。圖11Α係表示藉由本實施 型態’凹部被埋入之圖案之角部。 實施型態1及2中，圖幸之a 口茶之角部未滿1 80。，相對地，本實 施型態中係與圖3相同 圖案之角部為225。，超過180。。此 時，可說於1 3 5 之角部之内側形成補正圖案

0 \87\87366 DOC -15- 200416494 於本實施型態，角部之兩側之補正圖案C 1、C2之補正量 為互異。如圖11A所示，圖案P3之角部超過180。之情況，於 圖案之角部（圓形所圍起之部分），補正圖案之間將一部分重 疊。 將圖11A所示之凹部D埋入時，首先，如圖11B所示，抽 出長度為Max(bias)以下之邊，兩端之内角為9〇。及315。之邊 緣e 1。 其次，如圖lie所示，形成以圖11B中所抽出之邊緣“為 一邊之正方形。此時，於補正圖案間之凹部配置正方形。 其次，如圖12A所示，抽出與圖uc中所形成之正方形之 内°卩重豐，與正方形之邊不重疊之補正圖案之邊緣e2。 其夂，如圖UB所示，將邊緣㈠（參考UB)、邊緣a(參考 圖12A)、及正方形（參考圖11C)之一邊所包圍之區域丁埋入。 猎此，如圖12C所示，不變更角部兩側之補正量，即可埋 入角口P之凹。故，減低描畫光罩資料之際等之資料處理 量，處理將高速化。又，光罩之缺陷檢查時，可避免角部 之微小階差作為疑似缺陷而被檢出。 (實施型態4) 本實施型態中說明藉由線寬補正，解除於圖案之角部之 ，正圖案所形成之凸部之方法。圖ΐ3Α係表示藉由本實施型 怨’凸部被削除之圖案之角部。圖13Α之圖案Ρ4係與圖4相 同’包含135。之角部，並於135。之角部（圓形所圍起之部分) 之外側追加補正圖案c。 削除圖1 3 Α所示之凸部ρ時 首先，如圖13B所示，抽出

O:\87\87366.DOC -16 - 200416494 長度為Max(bias)以 下之邊，兩端之内角為90。及225。之邊緣 一其次，如®13C所示，形成以圖13B中所抽出之邊緣61為 一邊之正方形。此時，於與補正圖案C重疊之側配置正方形。 田其次’如1114A所示’抽出與圖13C中所形成之正方形重 豐部分之補正圖案C之邊緣e2。 其次，如圖14B所示 角形之區域T。其後， 域丁。 ’形成以邊緣el及邊緣e2為二邊之二 如圖14C所示，由補正圖案c削除區 藉此，無須變更線寬之補正量，即可削除角部之凸部。 故’減低描畫光罩資料之際等之資料處理量，處理將高速 化。又，光罩之缺陷檢查時，可避免角部之微小階差作為 疑似缺陷而被檢出。 (實施型態5) 本貝轭型悲中係說明藉由線寬補正，解除圖案邊緣成為 階梯形狀之方法。圖5A係表示藉由本實施型態，階梯形狀 部分被削除之圖案。 圖5A之圖案p5、P6之鄰接配線不平行，配線間距離連續 變化。由於補正量係藉由最小袼子之倍數而離散定義，故 如圖5B所示，做成補正量階段性變更之補正圖案c。補正 里係按照配線間距離而變化。 削除圖5B所示之階梯形狀部分（圓形所圍起之部分）時， 首先，如圖15A所示，抽出與線寬補正前之圖案邊緣垂直， 長度為MaX(bias)以下之邊緣el。此工序中所抽出之複數邊

O:\87\87366.DOC 17 200416494 緣e 1係於圖1 5 A以粗線表示。 其次，如圖15B所示，使圖15A所抽出之邊緣“朝對於邊 緣el之垂直方向，並且向補正圖案c之内側之方向僅偏移 Mm(edge)。藉此，於偏移前後之邊緣el間形成矩形區域 R1。由於補正圖案成為階梯形狀，故形成複數矩形區域尺卜 另一方面，如圖15C所示，抽出與線寬補正前之圖案邊緣 平行，並且長度比Min(edge)短之邊緣e2。此工序中所抽出 之複數邊緣e2係於圖15C以粗線表示。 其次，如圖15D所示，使圖15C中所抽出之邊緣。，朝對 於該邊緣之垂i方向’並且向補正圖案c之内側之方向僅移 動MaX(bias)。藉此，於偏移前後之邊緣^間，形成矩形區 域R2。由於補正圖案成為階梯形狀，故形成複數矩形區域 R2。改換形成矩形區域R1及矩形區域R2之順序亦可。 其次，如圖16A所示，求取矩形區域^及矩形區域们之 重疊部分（AND部分）A。 其次，如圖16B所示，由補正圖案削除矩形區域ri及矩 形區域R2之AND部分A(參考圖16C)。 其後，重複圖15A〜16B所示之工序至階梯形狀沒有為 止。藉此，如圖16C所示，獲得矩形之補正圖案Cr。 根據上述本實施型態之光罩圖案補正方法，於追加於斜 向延伸之圖案之補正圖案’成為階梯形狀之部分被削除。 故，描晝光罩資料之際等之資料處理量減低，處理將高速 化。又，於光罩之缺陷檢查時，可避免角部之微小階差作 為疑似缺陷而被檢出。

O:\87\87366 DOC -18- _本如明之光罩圖案補正方法之實施型態並未限定於上述 兄月例如·於角部之内側及外側之兩方追加補正圖案， 使圖案之線寬增加之情況，亦可組合上述實施型態中之相 異2者而進行圖案之補正。 匕外在不逸脫本發明之要旨之範圍内，可進行各種變 更。 . 々根據本务明之光罩圖案補正方法，可簡單解除圖案之線 ： I補正後所產生之微小階差。 【產業上之利用可能性】 _ ，本电明之光罩圖案補正方法可適用於補正半導體農置之 製程中之微影所使用之光罩之圖案的光罩圖案之補正方 法。 【圖式簡單說明】 圖1為圖案之線寬補正後所產生之微小階差之示意圖。 圖2為圖案之線寬補正後所產生之微小階差之示意圖。 圖3為圖案之線寬補正後所產生之微小階差之示意圖。 圖4為圖案之線寬補正後所產生之微小階差之示意圖。· 圖5 A及圖5B係表示先前例及本發明之實施型態5之光罩 圖案補正方法之工序圖。 圖6A〜6C係表示本發明之實施型態工之光罩圖案補正方、 法之工序圖。 圖7A〜7D係表示本發明之實施型態）之光罩圖案補正方 法之工序圖。 圖8A〜8C係表示本發明之實施型態2之光罩圖案補正方

0 \87\87366 DOC -19- 200416494 法之工序圖。 圖9A〜9C係表示本發明之實施型態2之光罩圖案 法之工序圖。 圖1 〇係表示本發明之實施型態2之光罩圖案補正 工序圖。 圖11A〜11 C係表示本發明之實施型態3之光罩圖 方法之工序圖。 圖12A〜12C係表示本發明之實施型態3之光罩圖 方法之工序圖。 圖13 A〜1 3 C係表示本發明之實施型態4之光罩圖 方法之工序圖。 圖14A〜14C係表示本發明之實施型態4之光罩圖 方法之工序圖。 圖15A〜15D係表示本發明之實施型態5之光罩圖 方法之工序圖。 圖16A〜16C係表示本發明之實施型態5之光罩圖 方法之工序圖。 【圖式代表符號說明】 P1 圖案 Cl、C2 補正圖案 D 凹部 ΤΙ、T2 暫時區域 Pd 差分 e 邊緣

〇'\87\87366.DOC 補正方 方法之 案補正 案補正 案補正 案補正 案補正 案補正 -20- 200416494 R 矩形區域 P2、P3 圖案 el 邊緣 e2 補正圖案之邊緣 T 區域 P4 圖案 C 補正圖案 P5、P6 圖案 R1、R2 矩形區域 A R1及R2之AND部分（重疊部分） Cr 矩形之補正圖案 I 圖案 a、b 補正量 Π、n、IV 圖案 P 凸部

O:\87\87366.DOC 3.DOC -21 -

Claims (1)

1. 拾、申請專利範圍： L -種光罩圖案補正方法，其係包含延伸於第 —圖案與延伸於第二 D之第 以相接之角部者;且具有弟—圖案形成特定之角度 使前述第一圖案之延伸於前述第一方 之1個並位於角部外側之第-圖案邊緣，朝垂直：！、二 第-方向之第三方向以第一補正量平行移動 弟一補正量平行移動前後之前述第-圖案邊緣間，：= 乐一□案之線見增加之做成第—補正圖案之 :前述第二圖案之延伸於前述第二方向之緣 之1個並位於角部外側’與前述第-圖案邊緣相 —圖案邊緣，朝垂直於前述第二 弟 々巧ι弟四方向膂一 千::動，於以前述第二補正量平行移動前後之 =第:圖案邊緣間，使前述第二圖案之線寬增加之做 成弟一補正圖案之工序； = 并前述第一圖案及前述第二圖案之 而做成放大圖形之工序，前述 正量中之大者…曰ρ 補正里與河述第二補 之大者之補正置，與兩述第-圖案之朝前述第： 方向之移動量一致，並且前述大者之補正量與前述^ 圖案之朝前述第四方向之移動量— 之工序； 里致而擴大前述圖形 使前述第一圖幸邊绫如益+、 補正…逑第三方向以前述大者之 之；第仃移動’於以前述大者之補正量平行移動前後 之則述第一圖案邊緣間做成第—暫時區域之工序，· O:\87\87366 DOC 200416494 使前述第二圖案邊緣朝前述第四方向以前述大者之 補正夏平行移動’於以前述大者之補正量平行移動前後 之前述第二圖案邊緣間做成第二暫時區域之工序； 由擴大圖形將前述第一暫時區域及前述第二暫時區 域除外，做成階差埋入用圖案之工序； 由前述階差埋入用圖案之全圖案邊緣將最外周邊緣 除外’亚進一步將前述第一補正圖案之圖案邊緣及前述 第二補正圖案之圖案邊緣除外，抽出區域指定用 工序； 使前述區域指定用邊緣朝與前述區域指定用邊緣垂 直之方向’並且向前述階差埋入用圖案之内側以前述大 :之補正量平行移動’於以前述大者之補正量平行移動 前後^前述區域指^用邊緣間做成削除區域之工序.及 ^前述階差埋入用圖案削除前述削除區域，追力削 除則述削除區域之前述階差埋人用圖案及前述第 正圖案與前述第二補正圖案，於前述第—圖案及前述第 一圖案之工序。 2·:申請專利範圍第1項之光罩圖案補正方法，其中放大 别述圖形之工序藉由前贫裳 大而進行。 p及/或河述第二圖案之過 3.!申請專利範圍第1項之光罩圖案補正方法，其中做成 -述第-及/或前述第二暫時區域之工序…：：成 及/或第二圖案之過大而進行。 彳錯“述弟- 4·如申請專利範圍第丨項之光罩圖案補正方法，其中前述 O:\87\87366 DOC 200416494 弟一暫時區域及前述第二暫時區域之除外藉由前 -暫時區域及前述第二暫時區域之過小而進行。 5.如申請專利範圍第1項之光罩圖案補正方法，其中前、 第一補正圖案及前述第二補正圖案之補正量係互異則攻 6·如申請專利範圍第1項之光罩圖案補正方法，…' 最外周邊緣為前述第-暫時區域之邊緣中朝前述Z 方岐長之線段之一部分及前述第二暫時區域 中朝W述第二方向延長之線段之_部分。 緣 7. 如申請專·圍第W之光罩圖案補正方法，其 大者：補正量為前述第一補正量或前述第二二 任一者之最大補正量。 中 8. 如：請專利範圍第!項之光罩圖案補正方法，其 特定之角度α。規定為90^α<18〇。 ⑺述 9· -種光單圖案補正方法，其係包含延伸於第— 一圖案與延伸於第- 之第 H 弟二圖案形成特定之角片 α而相接之角部者；且具有： 角度 之：前述第一圖案之延伸於前述第一方向之圖 :位於角部内側之第一圖案邊緣 第一方向夕笙^ 且％則逑 第一 。以第一補正量平行移動，於以前辻 二一補：量平行移動前後之前述第-圖案邊緣間，二 圖案之線寬增加之做成第—補正圖案之工岸 使刖述第二圖案之延伸於前述第； ， 之1個並位於角部之内側 ：°之圖案邊緣 第二圖案邊緣，朝垂直於前述第二二之圖第案邊緣相接之 之第四方向以第 〇 \87\87366 DOC 200416494 二補正量平行移動，於以前 之前述第二圖案邊緣間，使&補正量平行移動前後 做成第_、、 則述第二圖案之線寬增加之 做成弟一補正圖案之工序； < 由則述第-補正圖案之圖案邊緣 案之圖案邊緣，抽出長度為前 補正圖 τ θ , ⑴述弟一補正量及前述第- 補正I中之大者之補正量 硿夕&去 乂下，—端之角為90。且另— 為450。一α。之區域指定用邊緣之工序； 做成以前述區域指定用邊緣 包含前述區域指定用邊緣之、s 方形而不與 疋用違緣之補正圖案重疊之工序； 由前述第一補正圖案之圖宰 ， 索夕岡安、皇 口茶逯緣及則述弟二補正圖 -、θ案邊緣，抽出為前述正方形内且^ j ^ Η且不與則述正方形 之邊重豐之部分之前述正方形内邊緣之工序；及 追加前述正方形之另外_邊 用邊緣之邊、前述區域指定用邊缘Μ區域指定 疋用邊緣、别述正方形内邊緣 匕之二角形圖案、及前述第—補正圖案與前述第二 ίο. 11. 12. 補正圖案’於前述第一圖案及前述第二圖案之工序。 如申請專利範圍第9項之光軍圖案補正方法，其中做 前述第-及/或前述第二補正圖案之工序藉由前述第一 及/或前述第二圖案之過大而進行。 如：請專利範圍第9項之光罩圖案補正方法，其中於做 f别述正方形之工序之前，將前述第-補正圖案及/或 前述第二補正圖案過小。 ，申請專利範圍第9項之光罩圖案補正方法，其中前述 第補正圖案及前述第二補正圖案之補正量係互異。 O:\87\87366 DOC -4- 13.200416494 14. 15. 如申凊專利範圍第9項之 ^貝之先罩圖案補正方 大者之補正量為前试楚 其中前述 任一者之最大補正量。 ^以二補正量中 如申請專利範圍第9項之光罩圖案補正方法 特定之角度α。規定為9〇“<ΐδ〇。 ，、中前述 一種光罩圖案補正方法， ，、係包含延伸於第__, 一圖案與延伸於第、 方向之第 。 方向之第二圖案形成特定+么 α而相接之角部者；且具有· 、 之角度 使刖述第一圖案之延伸於前述第一方 之1個並位於角部外側 ^之圖案邊緣 第-方向之第：方1苐—圖案邊緣，朝垂直於前述 叶-桩- 特定之補正量平行移動，於以前 述特定之補正量平行移 、， 助於以别 間，使前述第一圖宰 圖案邊緣 序； 案之線見增加之做成補正圖案之工 由前述補正圖案之圖案邊緣， 補正量以下，—端之“。λ。 長度為則述特定之 之巴❹… 且另一端之角為《。+ 9〇。 之區域私疋用邊緣之工序； 做成以前述區域指定 人乂、+、、士 γ ^ 咬〈止方形而與包 3刖述補正圖案重疊之工序· 由除去如述第—EJ ^ 圖案邊緣之前述補正圖幸 緣，抽出與前述正⑼之、“田& ΰ案之圖案邊 工序； ^邊重^之別述正方形上邊緣之 做成以前述區域扣^ 一.軎 & _ 用邊緣及前述正方形上邊緣為 一邊之二角形圖案之工序；及 O:\87\87366.DOC 16. 一由前述補正圖案削除前述三角形圖案，追加削除前述 二角形圖案之前述補正圖案於前述第一圖案之工序。 17. 18. 專利範圍第15,之光罩圖案補正方法’其令做成 引”正圖案之工序藉由前述第一圖案之過大而進行。 如二請專利範圍第15項之光罩圖案補正方法，其中於做 成前述正方形之工序之前’將前述補正圖案過小。 如申請專利範圍第15項之光罩圖案補正方法，其中前述 特定之角度α。規定為180。 1 9·種光罩圖案補正方法，其係包含延伸於第—方向之第 圖案與延伸於第二方向之第二圖案者；且具有·· 分割前述第一圖案之延伸於前述第一方向之圖案邊 、、彖之1個，亚位於前述第二圖案側之第_圖案邊緣為 數區間之工序； 使岫述分割之各區間以因應與前述第二圖案之距離 之補正量，朝垂直於前述第一方向之第三方向平行移 動，於前述平行移動前後之前述各區間之間，使前述第 一圖案之線寬增加之做成補正圖案之工序； 由前述補正圖案之圖案邊緣，抽出比延伸於前述第三 方向之最大補正量短之複數第一區域指定用邊緣之工 序； 使前述第一區域指定用邊緣朝向前述第一方向之前 述補正圖案之内側，平行移動區間長度之最小值，於前 述平行移動前後之前述第一區域指定用邊緣間，做成第 一矩形區域之工序； O:\87\87366.DOC -6- 由前述補正圖案之圖案邊緣，抽出比延伸於前述 向之區間長度之最小值短之複數第二區域卜 緣之工序； 9疋用邊 使别述第二區域指定用邊緣朝向前 述補正FI奋 $ —万向之前 一 内側’以最大補正量平行移動，於m 仃移動前後之前述第二、c 形區域之工序； …用邊緣間’做成第二矩 將g述苐一矩形區域及前 — 、 八；二 疋弟一矩形區域之重最部 刀由則述補正圖案削除之工序；及 旦邛 至則述第二區域指定用邊、主 , V, ^ 緣…除為止，重複前述第一 ^域指定用邊緣之抽出、前 Κ弟 述第-卩Α β + 呔苐一矩形區域之做成、前 做成之工序。 出、及前述第二矩形區域之 O:\87\87366.DOC