KR100822584B1 - 배선 형성 시스템 및 그 방법 - Google Patents

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KR100822584B1
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사토루 야사카
도시유키 오카야마
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다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
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Abstract

광학식 외관 검사 장치(13)는, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판의 전체 영역에 대하여, 선폭 측장 알고리즘을 이용하여 배선 패턴의 선폭을 측장한다. 그리고, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 선폭 히스토그램을 영역(22)단위로 작성한다. 그리고, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 동일 영역(22)에서, 작성한 선폭 히스토그램과 마스터 화상 데이터의 선폭 히스토그램을 비교하여, 선폭 분포를 작성한다. 정보 관리 시스템(14)은, 소정 수의 프린트 기판으로 작성한 선폭 분포의 평균에 기초하여 보정 데이터를 작성한다. 노광 장치(12)는, 상기 보정 데이터에 기초하여, 설계 데이터 또는 노광용 화상 데이터 상의 배선 패턴의 선폭을 영역(22) 단위로 굵어지게 하거나, 가늘어지게 하는 보정을 행한다.

Description

배선 형성 시스템 및 그 방법{WIRING SYSTEM AND METHOD THEREOF}
도 1은 제1 실시형태에 관한 배선 형성 시스템의 구성을 도시하는 블록도,
도 2는 제1 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에서의 처리의 흐름을 대략적으로 도시하는 플로우 차트,
도 3은 제1 실시형태에서의 광학식 외관 검사 장치(13)의 검사 방법을 모식적으로 도시한 도면,
도 4는 선폭 히스토그램의 일례를 도시하는 도면,
도 5a는 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판(21)의 화상 데이터의 일례를 도시하는 도면,
도 5b는 도 5a에 대응하는 선폭 분포의 일례를 도시하는 도면,
도 6은 보정 데이터가 노광 장치(12)에 피드백되기까지의 처리의 흐름을 도시하는 플로우 차트,
도 7은 보정 데이터가 피드백된 후의 처리의 흐름을 도시하는 플로우 차트,
도 8a는 마스터 화상 데이터의 배선 패턴의 일부를 도시하는 도면,
도 8b는 노광 시의 근접 효과에 의해서 배선 패턴에 결함이 발생한 상태를 도시하는 도면,
도 9는 보정 데이터가 노광 장치(12)에 피드백되기까지의 처리의 흐름을 도 시하는 플로우 차트,
도 10은 보정 데이터가 피드백된 후의 처리의 흐름을 도시하는 플로우 차트,
도 11은 마스터 화상 데이터와 배선 패턴 형성 후의 화상 데이터를 비교하여 검출되는 결락의 일례를 도시하는 도면,
도 12는 「결락」 또는 「돌기」에 대한 보정 방법의 개략을 도시하는 모식도,
도 13은 제3 실시형태에 관한 배선 형성 시스템의 처리의 흐름을 도시하는 플로우 차트,
도 14a는 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판에서의 3개의 얼라인먼트 점(M1∼M3)을 도시하는 도면,
도 14b는 마스터 화상 데이터에서의 3개의 얼라인먼트 점(O1∼O3)을 도시하는 도면,
도 15는 종래의 배선 형성 시스템의 구성을 도시하는 블록도이다.
본 발명은, 배선 형성 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 특정적으로는, 프린트 기판의 배선 패턴을 형성하는 배선 형성 시스템에 관한 것이다.
프린트 기판의 배선 패턴은 에칭 공정 등을 거쳐 형성된다. 이 에칭 공정에서는, 예를 들면 에칭이 굵어지거나 가늘어지는 것 등에 의해서, 배선 패턴의 선폭 이 변화해버린다는 문제가 있다.
이 문제에 대처하기 위해, 에칭 공정 후의 배선 패턴이 설계대로 되어 있는지의 여부를 검사하여(예를 들면, 측장(測長)하여), 작업자가 그 검사 결과에 기초하여 에칭의 조건을 변경하거나, 에칭 공정 전의 노광 공정에서 사용하는 마스크 필름을 재작성하였다. 그러나, 작업자는, 검사에 의해서 설계대로 되어 있지 않은, 소위 불량 기판이 발생할 때마다 에칭 조건이나 마스크 필름의 재작성을 행할 필요가 있어, 생산성이 향상되지 않는다는 문제가 있었다. 그래서, 설계 데이터와 각 공정 후의 데이터를 비교하여, 그 비교 결과를 노광 공정에 피드백하여, 불량 기판의 발생을 방지하는 배선 형성 시스템이 제안되어 있다(예를 들면, 일본국 특개 2004-56068호 공보를 참조). 이하, 도 15를 참조하여 종래의 배선 형성 시스템에 관해서 설명한다. 도 15는, 종래의 배선 형성 시스템의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 15에 도시하는 종래의 배선 형성 시스템은, 설계 데이터 작성 장치(91), 노광 장치(92), 외관 검사 장치(93), 에칭 공정(94), 외관 검사 장치(95), 및 리사이징 룰 작성 장치(96)로 구성되는 시스템이다. 설계 데이터 작성 장치(91)는, CAD 데이터 등의 설계 데이터를 작성하는 장치이다. 노광 장치(92)는, 설계 데이터 작성 장치(91)에서 작성된 설계 데이터로부터 노광용 화상 데이터를 작성한다. 그리고, 노광 장치(92)는, 노광용 화상 데이터에 기초하여, 레이저 주사 등에 의해 프린트 기판에 마스크를 직접 묘화(描畵)하여 노광한다. 이와 같이, 노광 장치(92)는 마스크 필름을 사용하지 않는 장치이다. 노광 후의 프린트 기판은, 외관 검사 장치(93)에 이송된다. 외관 검사 장치(93)는, 노광 후의 프린트 기판을 촬상하여 화상 데이터를 취득한다. 외관 검사 장치(93)에서 취득된 화상 데이터는, 노광 장치(92)에 피드백된다. 노광 장치(92)는, 이 화상 데이터와 상기 설계 데이터를 비교하여, 프린트 기판의 신축이나 변형 등을 계측한다. 이 비교 결과에 기초하여, 노광 장치(92)는 설계 데이터를 보정(스케일링(scaling) 보정)하고 있다.
에칭 공정(94)은, 노광 후의 프린트 기판을 에칭하여, 프린트 기판에 배선 패턴을 형성시킨다. 외관 검사 장치(95)는, 에칭 후의 프린트 기판을 촬상하여 화상 데이터를 취득한다. 리사이징 룰 작성 장치(96)는, 에칭 후의 프린트 기판의 화상 데이터와 설계 데이터를 비교하여, 리사이징 룰을 작성한다. 여기서, 리사이징 룰이란, 에칭 후의 프린트 기판의 배선 패턴이 설계 데이터와 같은 배선 패턴이 되기 위해서 노광용 화상 데이터를 어떻게 보정할 필요가 있는가라는 역(逆)문제를 공지의 수학적 수법으로 풀어서 얻어지는 룰이다. 설계 데이터 작성 장치(91)는, 리사이징 룰에 기초하여 설계 데이터를 보정(에칭 보정)한다. 그리고, 노광 장치(92)는, 보정된 설계 데이터로부터 노광용 화상 데이터를 작성한다.
이와 같이, 종래의 배선 형성 시스템에서는, 설계 데이터와 각 공정 후의 데이터를 비교하여 그 비교 결과를 최종적으로 노광 장치에 피드백함으로써, 즉 상기 스케일링 보정 및 에칭 보정을 행함으로써, 불량 기판의 발생을 방지하고 있다.
그러나, 상기 종래의 배선 형성 시스템에서, 리사이징 룰은, 상기 역문제를 공지의 수학적 수법을 이용하여 얻어진다는 것밖에 개시되어 있지 않아, 리사이징 룰의 구체적인 구성은 불명확하다.
또한, 실제 제조 상에서는, 예컨대 근접 효과에 의한 배선 패턴의 변형이나 에칭의 얼룩 등에 의한 결함 등, 다양한 결함이 발생하지만, 상기 종래의 배선 형성 시스템에서는 이러한 결함에 대해서는 고려되어 있지 않다. 또한, 이러한 결함은, 프린트 기판의 모든 영역에 대하여 일정하게 발생하는 것이 아니라, 기판의 영역마다 그 발생 정도가 상이한 것이다.
이상의 이유에 의해, 상기 종래의 배선 형성 시스템에서의 리사이징 룰에 기초하는 보정은, 실제 제조 상에서 실현성이 결여된 것으로서, 정밀도가 높은 보정을 행하여 생산성의 향상을 도모하는 것이 실질적으로 불가능하다는 문제가 있었다.
그 때문에, 본 발명의 목적은, 실제 제조 상에서 발생하는 다양한 결함에 대하여 정밀도가 높은 보정을 각각 행함으로써, 프린트 기판의 생산성의 향상을 도모하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 이하에 도시하는 구성을 채용하였다. 제1 국면은, 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 방법으로서, 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 단계와, 노광 단계에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프 린트 기판의 배선 패턴의 선폭을 단위 영역마다 측정하는 선폭 측정 단계와, 선폭 측정 단계에서 측정된 선폭과, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터의 선폭을 단위 영역마다 비교함으로써, 단위 영역별 선폭 보정 데이터를 작성하는 선폭 보정 데이터 작성 단계와, 선폭 보정 데이터를 이용하여, 노광 단계에서 이용되는 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 보정하는 선폭 보정 단계를 구비한 배선 형성 방법이다.
제2 국면은, 상기 제1 국면에서, 선폭 보정 데이터 작성 단계는, 복수의 프린트 기판의 선폭 측정 결과에 기초하여 선폭 보정 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 것이다.
제3 국면은, 상기 제1 국면에서, 선폭 측정 단계는, 선폭의 크기와 그 빈도의 관계를 나타내는 선폭 히스토그램을 단위 영역마다 각각 작성하고, 해당 선폭 히스토그램을 이용하여 해당 단위 영역에서의 배선 패턴의 선폭을 검출하는 것을 특징으로 하는 것이다.
제4 국면은, 상기 제3 국면에서, 선폭 측정 단계는, 단위 영역마다, 선폭 히스토그램에서 가장 높은 빈도의 선폭을 해당 단위 영역에서의 배선 패턴의 선폭으로서 검출하는 것을 특징으로 하는 것이다.
제5 국면은, 상기 제1 국면에서, 선폭 보정 단계에서 보정된 보정 후의 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 이용하여 작성된 프린트 기판의 배선 패턴을 광학적으로 검사하고, 해당 프린트 기판의 배선 패턴의 선폭을 측장하여, 측장한 선폭과, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터의 선폭과의 차분값을 단위 영역마다 검출하는 선폭 재측정 단계와, 선폭 재측정 단계에서 어느 하나의 단위 영역에서 차분값이 검출되었을 때에, 해당 차분값에 기초하여 선폭 보정 데이터를 수정하는 수정 단계를 더 구비한 배선 형성 방법이다.
제6 국면은, 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 시스템으로서, 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 수단과, 노광 수단에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 배선 패턴의 선폭을 단위 영역마다 측정하는 선폭 측정 수단과, 선폭 측정 수단에 의해서 측정된 선폭과, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터의 선폭을 단위 영역마다 비교함으로써, 단위 영역별 선폭 보정 데이터를 작성하는 선폭 보정 데이터 작성 수단과, 선폭 보정 데이터를 이용하여, 노광 수단에서 이용되는 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 보정하는 선폭 보정 수단을 구비한 배선 형성 시스템이다.
제7 국면은, 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 방법으로서, 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 단계와, 노광 단계에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 배선 패턴의 선간(線間)을 측정하는 선간 측정 단계와, 선간 측정 단계에서 측정된 선간이 미리 설정한 최소 선간보다도 작은 경우에 선간 보정 데이터를 작성하는 선간 보정 데이터 작성 단계와, 선간 보정 데이터를 이용하여, 노광 단계에서 이용되는 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 보정하는 선간 보정 단계를 구비한 배선 형성 방법이다.
제8 국면은, 상기 제7 국면에서, 선간 보정 데이터 작성 단계는, 선간 측정 단계에서 측정된 복수의 프린트 기판의 선간의 정보에 기초하여, 소정의 빈도를 초과한 빈도로 선간의 결함이 발생하고 있는지의 여부를 판단하여, 해당 판단 결과가 긍정인 경우에 선간 보정 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 것이다.
제9 국면은, 상기 제8 국면에서, 선간 보정 데이터 작성 단계는, 선간의 결함이 소정의 빈도를 초과한 빈도로 발생하고 있는 개소에 관해서, 해당 결함 개소에서의 복수의 프린트 기판의 선간의 평균값, 최대값, 최소값, 또는 최다 빈도값을 이용하여 선간 보정 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 것이다.
제10 국면은, 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 시스템으로서, 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 수단과, 노광 수단에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 배선 패턴의 선간을 측정하는 선간 측정 수단과, 선간 측정 수단에 의해서 측정된 선간이 미리 설정한 최소 선간보다도 작은 경우에 선간 보정 데이터를 작성하는 선간 보정 데이터 작성 수단과, 선간 보정 데이터를 이용하여, 노 광 수단에서 이용되는 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 보정하는 선간 보정 수단을 구비한 배선 형성 시스템이다.
제11 국면은, 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 방법으로서, 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 단계와, 노광 단계에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 화상 데이터와 기준 화상 데이터를 비교하여, 해당 2개의 화상 데이터의 배선 패턴에 관해서 소정의 화소 수를 넘는 차이가 존재하는 개소를 결함 개소로서 검출하는 결락(缺落) 돌기 검출 단계와, 결락 돌기 검출 단계에서 검출된 결함 개소에 기초하여 결락 돌기 보정 데이터를 작성하는 결락 돌기 보정 데이터 작성 단계와, 결락 돌기 보정 데이터를 이용하여, 노광 단계에서 이용되는 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 보정하는 결락 돌기 보정 단계를 구비한 배선 형성 방법이다.
제12 국면은, 상기 제11 국면에서, 결락 돌기 보정 데이터 작성 단계는, 결락 돌기 검출 단계에서 검출된 복수의 프린트 기판의 결함 개소의 정보에 기초하여, 소정의 빈도를 초과한 빈도로 결함이 발생하고 있는지의 여부를 판단하여, 해당 판단 결과가 긍정인 경우에 결락 돌기 보정 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 것이다.
제13 국면은, 상기 제12 국면에서, 결락 돌기 보정 데이터 작성 단계는, 결 함이 소정의 빈도를 초과한 빈도로 발생하고 있는 개소에 대하여, 해당 결함 개소에서의 복수의 프린트 기판의 화상 데이터와 기준 화상 데이터간의 차이의 평균값, 최대값, 최소값, 또는 최다 빈도값을 이용하여 결락 돌기 보정 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 것이다.
제14 국면은, 상기 제11 내지 제13 중 어느 하나의 국면에서, 결락 돌기 보정 데이터는, 배선 패턴의 차이의 크기에 따라서, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 확대 또는 축소하는 것이다.
제15 국면은, 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 시스템으로서, 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 수단과, 노광 수단에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 화상 데이터와 기준 화상 데이터를 비교하여, 해당 2개의 화상 데이터의 배선 패턴에 관해서 소정의 화소 수를 넘는 차이가 존재하는 개소를 결함 개소로서 검출하는 결락 돌기 검출 수단과, 결락 돌기 검출 수단에 의해서 검출된 결함 개소에 기초하여 결락 돌기 보정 데이터를 작성하는 결락 돌기 보정 데이터 작성 수단과, 결락 돌기 보정 데이터를 이용하여, 노광 수단에서 이용되는 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 보정하는 결락 돌기 보정 수단을 구비한 배선 형성 시스템이다.
제16 국면은, 상기 제15 국면에서, 결락 돌기 보정 데이터는, 배선 패턴의 차이의 크기에 따라서, 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 확대 또는 축소하는 것이다.
제17 국면은, 배선 형성 방법으로서, 청구항 1에 기재된 노광 단계와 선폭 측정 단계와 선폭 보정 데이터 작성 단계와 선폭 보정 단계로 이루어지는 선폭 보정 처리를 행한 후, 해당 선폭 보정 처리로 보정된 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터에 기초하여, 청구항 7에 기재된 노광 단계와 선간 측정 단계와 선간 보정 데이터 작성 단계와 선간 보정 단계로 이루어지는 선간 보정 처리, 및, 청구항 11에 기재된 노광 단계와 결락 돌기 검출 단계와 결락 돌기 보정 데이터 작성 단계와 결락 돌기 보정 단계로 이루어지는 결락 돌기 보정 처리 중, 적어도 한 쪽의 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 제1 국면에 의하면, 단위 영역별 선폭 보정 데이터를 작성함으로써, 예를 들면, 형성된 배선 패턴이 에칭 공정 등에 의해서 프린트 기판의 단위 영역마다 상이한 선폭 변화가 발생하여도, 해당 단위 영역별 선폭 변화에 대응한 정밀도가 높은 보정을 행할 수 있다. 즉, 실제 프린트 기판의 제조에 적응한 보정을 행할 수 있어, 생산성의 향상 및 고품질의 프린트 기판의 생산을 실현할 수 있다.
상기 제2 국면에 의하면, 복수의 프린트 기판의 선폭 측정 결과를 고려하여 선폭 보정 데이터를 작성함으로써, 단발적으로 발생하는 선폭 변화 등을 제외한 안정된 보정을 행할 수 있다.
상기 제3 국면에 의하면, 선폭 히스토그램을 이용함으로써, 원하는 선폭에 대한 보정을 행하는 것이 가능해진다.
상기 제4 국면에 의하면, 가장 높은 빈도의 선폭을 갖는, 고품질이 요구되는 배선 패턴에 대하여, 정밀도가 높고, 효율적인 보정을 행할 수 있다.
상기 제5 국면에 의하면, 보정 후의 설계 데이터 또는 노광용 화상 데이터를 이용하여 작성된 프린트 기판에 대해서 선폭의 검사를 행함으로써, 선폭 보정 데이터를 더 적절한 것으로 수정할 수 있어, 프린트 기판의 품질 유지, 및 작업자, 공정, 재료에 의한 품질의 불균형의 저감을 도모하는 것이 가능해진다.
상기 제7 국면에 의하면, 미리 설정한 최소 선간보다도 작은 선간에 대하여 선간 보정 데이터를 작성함으로써, 근접 효과에 의해 프린트 기판의 배선 패턴의 선간의 스페이스가 불충분하게 되어 있는 경우에도, 충분한 스페이스가 확보되도록 설계 데이터 또는 노광용 화상 데이터를 보정할 수 있다.
상기 제8 국면에 의하면, 소정의 빈도를 초과한 빈도로 결함이 발생하였을 때에 선간 보정 데이터를 작성함으로써, 예컨대 단발적으로 발생하는 결함 개소 등을 제외한 안정된 보정을 행할 수 있다. 이와 같이, 실제의 프린트 기판의 제조에 적응한 보정을 행할 수 있어, 생산성의 향상 및 고품질 프린트 기판의 생산을 실현할 수 있다.
상기 제11 국면에 의하면, 기준의 배선 패턴에 대하여 소정의 화소 수를 넘는 차이가 있는 개소를 결함 개소로서 검출하여, 해당 결함 개소에 기초하여 결락 돌기 보정 데이터를 작성함으로써, 예를 들어 작성된 프린트 기판의 배선 패턴에 「결락」이나 「돌기」가 발생되어 있었다고 해도, 그것에 대응한 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터의 보정을 행할 수 있다.
상기 제12 국면에 의하면, 소정의 빈도를 초과한 빈도로 결함이 발생하였을 때에 결락 돌기 보정 데이터를 작성함으로써, 결함 개소마다 상이한 발생 빈도에 적응한 보정을 행할 수 있다. 이와 같이, 실제의 프린트 기판의 제조에 적응한 보정을 행할 수 있어, 생산성의 향상 및 고품질 프린트 기판의 생산을 실현할 수 있다.
상기 제17 국면에 의하면, 선폭 보정 처리를 행한 후, 선간 보정 처리 및 결락 돌기 보정 처리 중 적어도 한 쪽의 처리를 행함으로써, 선폭 변화에 의한 결함이 선간의 결함 및 결락 돌기로서 오검출되는 일없이, 각 보정을 효율적으로 또한 높은 정밀도로 행할 수 있다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징, 국면, 효과는, 첨부 도면과 대조하여, 이하의 상세한 설명으로부터 한층 더 명확해질 것이다.
(제1 실시형태)
처음에, 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명에서의 제1 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에 관해서 대략적으로 설명한다. 도 1은 제1 실시형태에 관한 배선 형성 시스템의 구성을 도시하는 블록도이다. 도 2는, 제1 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에서의 처리의 흐름을 대략적으로 도시하는 플로우 차트이다.
도 1에서, 본 실시형태에 관한 배선 형성 시스템은, 설계 데이터 작성 장치(11), 노광 장치(12), 광학식 외관 검사 장치(13), 정보 관리 시스템(14), 및 데이터베이스(15)를 네트워크 접속하여 구성되는 시스템이다.
도 2에서, 설계 데이터 작성 장치(11)는, 설계 데이터를 작성한다(단계 (S101)). 이 설계 데이터는, CAD나 CAM 등으로 작성한 프린트 기판의 배선 패턴을 나타내는 화상 데이터이다. 노광 장치(12)는, 단계(S101)에서 작성된 설계 데이터에 기초하여, 노광용 화상 데이터(예컨대, RIP 데이터)를 작성한다. 그리고, 노광 장치(12)는, 해당 노광용 화상 데이터에 기초하여, 레이저 주사 등에 의해 기판에 배선 패턴을 직접 묘화하여 노광 처리를 행한다(단계(S102)). 노광 후의 프린트 기판은, 배선 패턴 형성 장치(비 도시)에서, 에칭이나 도금 공정 처리가 실시되어, 기판 상에 배선 패턴이 형성된다(단계(S103)). 광학식 외관 검사 장치(13)는, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판의 외관을 광학적으로 검사하여, 형성된 배선 패턴의 결함을 검출한다(단계(S104)). 구체적으로는, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 예컨대 복수의 촬상 카메라를 이용하여 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판을 촬상하여, 화상 데이터를 취득한다. 그리고, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 배선 패턴 형성 후의 화상 데이터와 마스터 화상 데이터를 비교하여, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판에 포함되는 결함을 검출한다. 또, 마스터 화상 데이터란, 상기 설계 데이터(CAD 등으로 작성한 프린트 기판의 배선 패턴을 나타내는 화상 데이터) 또는 양품 기판으로부터 취입한 화상 데이터이다.
단계(S104)의 다음에, 정보 관리 시스템(14)은, 광학식 외관 검사 장치(13)에서 검출된 결함에 기초하여 해당 결함에 대한 보정 데이터를 작성하고, 해당 보정 데이터를 노광 장치(12)에 피드백한다(단계(S105)). 또, 이 보정 데이터는, 정보 관리 시스템(14)에 의해서, 기판 재료별, 또는 에칭 등의 공정별로 관리되어, 데이터베이스(15)에 축적된다. 노광 장치(12)는, 단계(S105)에서 작성된 보정 데 이터에 기초하여, 설계 데이터 또는 노광용 화상 데이터를 보정한다. 그리고, 노광 장치(12)는, 보정한 노광용 화상 데이터에 기초하여 노광 처리를 행한다(단계(S102)). 이와 같이, 본 실시형태에 관한 배선 형성 시스템은, 검출한 결함에 기초하는 보정 데이터를 노광 장치(12)에 피드백함으로써, 공정 내의 수율의 향상, 즉 생산성의 향상을 도모하는 시스템이다.
또, 정보 관리 시스템(14)은, 개별로 설치된 장치로 구성되어도 되며, 예를 들어 광학식 외관 검사 장치(13)나 노광 장치(12)에 정보 관리 시스템(14)과 동등한 기능을 구비하도록 하여도 좋다. 또한, 보정 데이터는, 노광 장치(12)에 피드백된다고 하였으나, 설계 데이터 작성 장치(11)에 피드백되어도 좋다. 이 경우, 설계 데이터 작성 장치(11)는, 보정 데이터에 기초하여 설계 데이터를 보정한다.
이하, 다양한 결함에 대한 구체적인 보정 방법에 관해서 설명한다. 다양한 결함으로는, 배선 패턴의 선폭의 결함, 근접 효과에 의한 결함, 및 배선 패턴의 결락이나 돌기에 의한 결함 등을 들 수 있다. 이 중, 본 실시형태에서는, 배선 패턴의 선폭의 결함에 대한 보정 방법에 관해서 설명하고, 다른 결함에 대한 보정 방법에 관해서는, 후술하는 다른 실시형태에서 설명한다.
도 3은, 제1 실시형태에서의 광학식 외관 검사 장치(13)의 검사 방법을 모식적으로 도시한 도면이다. 배선 패턴의 선폭 보정에서, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 예컨대 도 3에 도시하는 바와 같이 복수의 촬상 카메라(131a∼131j)를 갖는다. 광학식 외관 검사 장치(13)는, 우선 복수의 촬상 카메라(131a∼131j)를 이용하여 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판(21)을 촬상하여, 해당 프린트 기판(21)의 화상 데이터를 취득한다. 다음으로, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 프린트 기판(21)의 화상 데이터 전체 영역에 대하여, 선폭 측장 알고리즘을 이용하여 배선 패턴의 선폭을 측장한다. 이 선폭 측장 알고리즘은, 광학식 외관 검사 장치(13)에 미리 설정되어 있는 알고리즘이다. 다음으로, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 프린트 기판(21)의 화상 데이터를 복수(도 3의 예에서는 40개)의 영역(22)(단위 영역)으로 분할하고, 영역(22)별 선폭의 측장 데이터를 이용하여 선폭 히스토그램을 작성한다. 이 선폭 히스토그램은, 영역(22) 단위로 작성된다. 도 4는, 선폭 히스토그램의 일례를 도시하는 도면이다. 선폭 히스토그램은, 가로축이 선폭값이고, 세로축이 그 선폭의 빈도를 나타낸다. 이 선폭 히스토그램을 영역(22)마다 작성함으로써, 각 영역(22)에서 어느 선폭이 가장 많이 포함되어 있는지를 알 수 있다. 도 4를 참조하여 구체적으로 서술하면, 빈도가 가장 높은 선폭(히스토그램 커브의 피크점에서의 선폭)이, 영역(22) 내에 포함되는 선폭 중, 가장 많이 존재하는 선폭이라는 뜻이 된다.
다음에 광학식 외관 검사 장치(13)는, 동일 영역(22)에서, 작성한 배선 패턴 생성 후의 선폭 히스토그램과, 마스터 화상 데이터의 선폭 히스토그램을 비교한다. 여기에서는, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 영역(22) 내에 가장 많이 존재하는 선폭들을 비교한다. 이 비교에 의한 선폭의 차는, 원하는 선폭으로부터의 변화량을 나타내고 있어, 영역(22)마다 요구되는 것이다. 광학식 외관 검사 장치(13)는, 상기 비교 결과에 기초하여 선폭의 변화량의 분포(이하, 선폭 분포라고 한다)를 작성한다. 도 5는, 선폭 보정에 관한 선폭 분포의 일례를 도시하는 도면이다. 도 5a 는, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판(21)의 화상 데이터의 일례를 도시한다. 도 5b는, 도 5a에 대응하는 선폭 분포의 일례를 도시하는 도면이다. 도 5b에 도시하는 선폭 분포는, 광학식 외관 검사 장치(13)에서 검사되는 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판(21) 단위로 작성된다. 예를 들어, 도 5b에 도시하는 영역(22a)에서는, 선폭 변화량이 + 10μ이다. 즉, 영역(22a)에서, 마스터 화상 데이터의 배선 패턴에 대하여, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판(21)의 배선 패턴이 + 10μ만큼 굵게 되어 있다는 것을 의미하고 있다. 또한, 검사되는 프린트 기판마다 작성되는 선폭 분포는, 디지털 데이터로 데이터베이스(15)에 기억된다.
정보 관리 시스템(14)은, 광학식 외관 검사 장치(13)에서 소정 수의 프린트 기판에 관한 선폭 분포가 작성되었을 때, 그 선폭 분포의 평균을 이용하여 배선 패턴 생성 후의 선폭이 설계 데이터의 선폭과 일치하도록 보정 데이터를 작성한다. 즉, 보정 데이터는, 영역(22)마다 요구된 상기 소정 수만큼의 선폭 변화량의 평균값에 관해서, 그 정부(正負)를 역으로 한 데이터이다. 예를 들어, 어떤 영역(22)에서의 선폭 변화량의 소정 수만큼의 평균값이 + 10μ인 경우, 그 영역(22)의 보정 데이터는 -10μ이 된다. 정보 관리 시스템(14)에서 작성된 보정 데이터는, 노광 장치(12)에 피드백된다. 또한, 정보 관리 시스템(14)에서 작성된 보정 데이터는, 디지털 데이터로, 프린트 기판 재료별, 에칭 공정 등의 제조 공정별로 데이터베이스(15)에 기억된다.
노광 장치(12)는, 데이터베이스(15)에 기억된 보정 데이터에 기초하여 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 영역(22) 단위로 보정하여, 보정 후의 노광용 화상 데이터를 이용하여 노광 처리를 행한다.
이하, 도 6 및 도 7을 참조하여, 선폭 보정의 처리의 흐름에 관해서 설명한다. 도 6은, 제1 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에서, 보정 데이터가 노광 장치(12)에 피드백되기까지의 처리의 흐름을 도시하는 플로우 차트이다. 도 7은, 제1 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에서, 보정 데이터가 피드백된 후의 처리의 흐름을 도시하는 플로우 차트이다.
도 6에서, 우선 설계 데이터 작성 장치(11)에서 설계 데이터가 작성된다(단계(S111)). 단계(S111)의 다음에, 노광 장치(12)에서, 설계 데이터로부터 노광용 화상 데이터가 작성되어, 해당 노광용 화상 데이터에 기초하여 노광 처리가 행하여진다(단계(S112)). 노광 후의 프린트 기판은, 배선 패턴 형성 장치(비 도시)에서, 에칭이나 도금 공정 처리가 실시되어, 프린트 기판 상에 배선 패턴이 형성된다(단계(S113)). 광학식 외관 검사 장치(13)는, 배선 패턴 형성 후의 기판(프린트 기판)의 전체 영역에 대하여, 선폭 측장 알고리즘을 이용하여 배선 패턴의 선폭을 측장한다(단계(S114)).
단계(S114)의 다음에, 광학식 외관 검사 장치(13)에서 선폭 히스토그램이 영역(22) 단위로 작성된다(단계(S115)). 단계(S115)의 다음에, 광학식 외관 검사 장치(13)에서, 동일 영역(22)에서의 광학식 외관 검사 장치(13)에서 작성된 선폭 히스토그램과, 마스터 화상 데이터의 선폭 히스토그램이 비교된다(단계(S116)). 그리고, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 이 비교에 기초하여 선폭 분포를 작성하여 기억한다(단계(S117)). 상술한 단계(S112∼S117)까지의 처리가, 검사되는 프린트 기 판 단위로 행하여진다. 그리고, 정보 관리 시스템(14)에서, 검사된 기판 수가 소정 수에 도달하였는지의 여부가 판정된다(단계(S118)). 이는, 소정 수 이상을 샘플로 함으로써, 어떤 특정한 기판이 특정한 값만으로 보정이 이루어지지 않도록 하기 위해서이다. 당연히, 통계적 수법으로서 크게 일탈하는 결과에 대해서는, 이후의 처리에서 제외하도록 하여도 좋다. 기판 수가 소정 수에 도달하지 않는 경우에는, 처리는 단계(S112∼S117)를 반복한다. 기판 수가 소정 수에 도달한 경우에는, 처리는 단계(S119)로 진행된다.
단계(S119)에서, 정보 관리 시스템(14)은, 프린트 기판마다 작성한 선폭 분포의 평균(또는, 가장 빈도가 높은 분포 등)에 기초하여 보정 데이터를 작성한다. 그리고, 보정 데이터는, 정보 관리 시스템(14)에 의해서, 디지털 데이터로, 프린트 기판 재료별, 에칭 공정 등의 제조 공정별로 데이터베이스(15)에 기억된다. 단계(S119)의 다음에, 노광 장치(12)는, 데이터베이스(15)에 기억된 보정 데이터에 기초하여, 설계 데이터 또는 노광용 화상 데이터 상의 배선 패턴의 선폭을 영역(22) 단위로 굵어지게 하거나, 가늘어지게 하는 보정을 행한다(단계(S120)).
도 7에서, 노광 장치(12)는, 보정한 노광용 화상 데이터를 이용하여 노광 처리를 행한다(단계(S121)). 그 후, 노광된 프린트 기판은, 배선 패턴 형성 장치(비 도시)에서, 에칭이나 도금 공정 처리가 실시되어, 프린트 기판 상에 배선 패턴이 형성된다(단계(S122)). 광학식 외관 검사 장치(13)는, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판의 전체 영역에 대하여, 선폭 측장 알고리즘을 이용하여 배선 패턴의 선폭을 측장한다(단계(S123)).
단계(S123)의 다음에, 광학식 외관 검사 장치(13)에서 선폭 히스토그램이 영역(22) 단위로 작성된다(단계(S124)). 단계(S124)의 다음에, 광학식 외관 검사 장치(13)에서 동일 영역(22)에 대하여, 배선 패턴 형성 후의 선폭 히스토그램과, 마스터 화상 데이터의 선폭 히스토그램이 비교된다(단계(S125)). 정보 관리 시스템(14)은, 이 비교에 의해, 단계(S122)에서 형성된 보정 후의 배선 패턴의 선폭이 설계 데이터의 선폭과 일치하는지의 여부를 판정한다(단계(S126)). 단계(S126)에서, 선폭이 일치하는 경우에는, 처리는 종료된다. 단계(S126)에서, 선폭이 일치하지 않는 경우에는, 설계 데이터의 선폭과 일치하도록 데이터베이스(15)에 기억된 보정 데이터가 영역 단위로 수정된다(단계(S127)). 그리고, 단계(S127)에서 수정된 보정 데이터에 기초하여 노광 처리가 행하여진다(단계(S121)). 도 7에 도시하는 처리는, 단계(S126)에서 선폭이 일치할 때까지 행하여진다. 또, 단계(S121)부터 (S125)까지를 소정 횟수 반복하고, 단계(S126)의 판단은 이들의 총합에 기초하여 판단하여도 된다.
또, 데이터베이스(15)에서 기판 재료별, 제조 공정별로 기억된 보정 데이터는 수정 후의 보정 데이터로 점차 갱신된다. 이와 같이, 단계(S121∼S127)의 처리를 반복함으로써, 작성되는 프린트 기판의 배선 패턴의 선폭을 원하는 선폭에 정확히 일치시킬 수 있어, 제조 기판의 품질 유지, 및 작업자, 공정, 재료에 의한 품질의 불균형의 저감을 도모하는 것이 가능해진다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관한 배선 형성 시스템은, 영역마다 선폭 히스토그램을 작성하고, 해당 선폭 히스토그램을 이용하여 선폭 분포를 작성한다. 그 리고, 본 실시형태에 관한 배선 형성 시스템은, 복수의 프린트 기판의 선폭 분포의 평균에 기초하여 보정 데이터를 작성하여, 해당 보정 데이터를 노광 장치(12)에 피드백한다. 이에 의해, 예를 들면, 형성된 배선 패턴이 에칭 공정 등에 의해서 프린트 기판의 영역마다 상이한 선폭 변화가 발생하여도, 해당 영역별 선폭 변화에 대응한 정밀도가 높은 보정을 행할 수 있다. 즉, 실제의 프린트 기판의 제조에 적응한 보정을 행할 수 있어, 생산성의 향상 및 고품질 프린트 기판의 생산을 실현할 수 있다.
또한, 상기 보정 데이터가 데이터베이스(15)에서, 기판의 재료, 제조 공정별로 기억되어 있음으로써, 예를 들어, 생산 라인 상에서 기판의 재료를 변경한 경우 등에 대하여 신속하게 또한 최적의 보정을 행할 수 있다. 즉, 이전에 프린트 기판의 제조를 행하였을 때의 제조 조건과 같은 조건에서 프린트 기판을 제조할 때에, 데이터베이스(15)에 등록되어 있는 보정 데이터를 이용함으로써, 그 제조 조건에 따라서 미리 설계 데이터를 보정한 후에 노광 처리에 이용할 수 있다.
또한, 상기 보정 데이터에 기초하여 노광 처리한 후, 그와 같이 하여 작성된 프린트 기판에 기초하여 그 보정 데이터의 수정을 행함으로써, 제조 기판의 품질 유지, 및 작업자, 공정, 재료에 의한 품질의 불균형의 저감을 도모하는 것이 가능해진다.
또, 상술한 노광 장치(12)는, 마스크 필름을 사용하지 않는 장치로 하였지만, 프린트 기판에 화상 데이터를 전사하기 위한 마스크 필름을 사용하는 노광 장치이어도 된다. 이 경우, 보정 데이터로 보정된 설계 데이터에 기초하여, 마스크 필름을 재작성하도록 하여도 좋다.
또한, 상술에서는, 보정 데이터를 작성할 때에, 선폭 히스토그램에서 가장 빈도가 높은 선폭을 이용하였으나, 빈도가 높은 복수의 선폭을 이용하거나, 또한, 측장한 영역(22) 내의 모든 선폭에 관한 평균을 이용하여도 좋다. 이 경우에도, 일정한 효과를 발휘할 수 있다.
(제2 실시형태)
다음에, 본 발명에서의 제2 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에 관하여 설명한다. 본 실시형태에서는, 근접 효과에 의해서 발생하는 결함에 대한 보정 방법에 관해서 설명한다. 또, 본 실시형태에 관한 배선 형성 시스템은, 제1 실시형태에서 설명한 도 1 및 도 2의 구성 및 처리의 흐름과 동일하므로, 각 구성의 기능과 대략적인 처리의 흐름에 관해서는 설명을 생략한다.
우선, 도 8을 참조하여, 근접 효과에 의해서 발생하는 배선 패턴의 결함에 관해서 설명한다. 도 8은, 근접 효과에 의해서 발생하는 배선 패턴의 결함을 모식적으로 도시하는 도면이다. 도 8a는, 마스터 화상 데이터의 배선 패턴의 일부를 도시하는 도면이다. 도 8a에 도시하는 2개의 배선 패턴의 선간을 α1이라고 한다. 도 8b는, 노광 시의 근접 효과에 의해서 배선 패턴에 결함이 발생한 상태를 도시하는 도면이다. 이 경우의 2개의 배선 패턴의 선간을 α2라고 한다. 도 8a 및 8b로부터 알 수 있는 바와 같이, 근접 효과에 의해서, 선간이 α1으로부터 α2로 좁아진다는 결함이 발생한다. 배선 패턴의 선간은, 프린트 기판 자체의 품질 및 그 배선 패턴을 이용하는 회로 성능에 크게 영향을 주는 것이며, 최소한의 선간 스페이 스(이하, 최소 스페이스라고 한다)를 확보할 필요가 있다.
이하, 도 9 및 도 10을 참조하여, 최소 스페이스를 확보하기 위한 보정 방법에 관하여 설명한다. 도 9는, 제2 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에서, 보정 데이터가 노광 장치(12)에 피드백되기까지의 처리의 흐름을 도시하는 플로우 차트이다. 도 10은, 제2 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에서, 보정 데이터가 피드백된 후의 처리의 흐름을 도시하는 플로우 차트이다.
도 9에서, 우선 설계 데이터 작성 장치(11)에서 설계 데이터가 작성된다(단계(S211)). 단계(S211)의 다음에, 노광 장치(12)에서, 설계 데이터로부터 노광용 화상 데이터가 작성되어, 해당 노광용 화상 데이터에 기초하여 노광 처리가 행하여진다(단계(S212)). 노광 후의 프린트 기판은, 배선 패턴 형성 장치(비 도시)에서, 에칭이나 도금 공정 처리가 실시되어, 프린트 기판 상에 배선 패턴이 생성된다(단계(S213)). 광학식 외관 검사 장치(13)는, 배선 패턴 형성 후의 기판(프린트 기판)의 전체 영역에 대하여, 선간 측장 알고리즘을 이용하여 배선 패턴의 선간을 측장한다(단계(S214)). 그리고, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 영역(22) 단위로 미리 설정된 최소 스페이스에 차지 않는(최소 스페이스보다도 작은) 스페이스의 좌표 위치와 그 양을 결함 개소로서 검출한다(단계(S215)). 단계(S215)에서 검출된 결함 개소의 좌표 위치 및 스페이스의 양은, 디지털 데이터로, 데이터베이스(15)에 기억된다.
단계(S215)의 다음에, 정보 관리 시스템(14)은, 동일한 결함 개소(동일한 좌표 위치)에서, 미리 설정한 결함의 발생 정도(빈도)보다도 결함이 집중되는지 아닌 지를 판단한다(단계(S216)). 여기에서, 결함의 빈도로는, 복수의 프린트 기판의 검사 결과를 참조하며, 예를 들어, 동일 개소에서의 결함이 소정 횟수를 넘은 경우, 동일 개소에서의 결함율이 소정의 비율을 넘은 경우, 또는, 동일 개소에서의 결함이 소정 수 연속하여 검출된 경우 등을 설정해둔다. 이는, 결함이 집중되는 경우에는, 원래의 노광용 화상 데이터를 보정할 필요가 있지만, 단발적인 결함에 대해서는 보정하지 않도록 하여, 생산성을 향상시키기 위해서이다. 단계(S216)에서, 정보 관리 시스템(14)이 결함이 집중되어 있지 않다고 판단한 경우에는, 처리는 단계(S212)로 되돌아간다. 또한, 정보 관리 시스템(14)이 결함이 집중되어 있다고 판단한 경우에는, 처리는 단계(S217)로 진행된다.
단계(S217)에서, 정보 관리 시스템(14)은, 데이터베이스(15)에 기억되어 있는 복수의 프린트 기판의 검사 결과(스페이스의 양)를 참조하여, 동일한 결함 개소에서, 예컨대 이들 스페이스의 양의 평균을 취한다. 또한 예컨대, 평균이 아니라, 데이터베이스(15)에 기억되어 있는 결함 개소의 스페이스의 양 중의 최소값, 최대값, 또는 최다 빈도값으로 하여도 좋다. 즉, 정보 관리 시스템(14)은, 소정의 빈도를 초과하여 발생하는 결함 개소에 대하여, 그 결함 개소에 관한 데이터베이스에 축적하여 온 스페이스의 양의 통계값을 이용하여, 보정 데이터를 작성한다. 그리고, 정보 관리 시스템(14)은, 이 스페이스의 양의 통계값에 따라서, 결함 개소의 배선 패턴의 양측을 제거하는 양을 나타내는 데이터(이하, 제거 데이터라고 한다)를 보정 데이터로서 작성한다(단계(S217)). 또한, 해당 보정 데이터에는, 결함 개소의 좌표 위치도 포함된다. 이와 같이, 정보 관리 시스템(14)은, 결함 개소에서 미리 설정된 최소 스페이스가 확보되도록, 결함 개소의 양측에 있는 배선 패턴을 제거하기 위한 제거 데이터를 보정 데이터로서 작성한다. 또, 정보 관리 시스템(14)에서 작성된 보정 데이터는, 디지털 데이터로, 프린트 기판 재료별, 에칭 공정 등의 제조 공정별로 데이터베이스(15)에 기억된다.
단계(S217)의 다음에, 노광 장치(12)는, 데이터베이스(15)에 기억된 결함 개소의 보정 데이터에 기초하여, 설계 데이터 또는 노광용 화상 데이터 상의 해당 결함 개소에서 제거 데이터를 추가하여 스페이스폭이 확장하도록 보정한다(단계(S218)). 또, 이 제거 데이터의 크기는, 설정 변경이 가능한 데이터이다.
도 10에서, 노광 장치(12)는, 보정한 화상 데이터를 이용하여 노광 처리를 행한다(단계(S221)). 그 후, 노광된 프린트 기판은, 배선 패턴 형성 장치(비 도시)에서, 에칭이나 도금 공정 처리가 실시되어, 프린트 기판 상에 배선 패턴이 형성된다(단계(S222)). 광학식 외관 검사 장치(13)는, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판의 전체 영역에 대하여, 선간 측장 알고리즘을 이용하여 배선 패턴의 선간을 측장한다(단계(S223)).
단계(S223)의 다음에, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 단계(S223)에서 측장된 선간과 마스터 화상 데이터의 선간을 비교한다(단계(S224)). 정보 관리 시스템(14)은, 이 비교에 의해, 보정된 결함 개소에서, 최소 스페이스가 확보되어 있는지를 판단한다(단계(S225)). 결함 개소에서, 최소 스페이스가 확보되어 있는 경우에는 처리는 종료된다. 또한, 결함 개소에서 최소 스페이스가 확보되어 있지 않은 경우, 정보 관리 시스템(14)은, 최소 스페이스가 확보되도록 데이터베이스(15)에 기억된 보정 데이터를 영역 단위로 수정한다(단계(S226)). 그리고, 단계(S226)에서 수정된 보정 데이터에 기초하여 노광 처리가 행하여진다(단계(S221)). 도 10에 도시하는 처리는, 단계(S226)에서 최소 스페이스가 확보될 때까지 행하여진다. 이에 의해, 제조 기판의 품질 유지, 및 작업자, 공정, 재료에 의한 품질의 불균형의 저감을 도모하는 것이 가능해진다. 또, 단계(S221)로부터 (S224)까지를 소정 횟수 반복하고, 단계(S225)의 판단은 이들의 총합에 기초하여 판단하여도 좋다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관한 배선 형성 시스템은, 영역마다 최소 스페이스에 차지 않는 결함 개소를 검출하고, 해당 결함 개소가 최소 스페이스를 확보하도록 보정 데이터를 작성한다. 그리고, 본 실시형태에 관한 배선 형성 시스템은, 이 보정 데이터를 노광 장치(12)에 피드백한다. 이에 의해, 노광 시의 근접 효과에 의해 프린트 기판의 배선 패턴의 선간이 최소 스페이스를 확보할 수 없게 되더라도, 프린트 기판의 영역마다 최소 스페이스를 확보하는 보정을 행할 수 있다. 즉, 실제의 프린트 기판의 제조에 적응한 보정을 행할 수 있어, 생산성의 향상 및 고품질 프린트 기판의 생산을 실현할 수 있다. 또, 본 실시형태에서는 최소 스페이스에 차지 않는 결함 개소의 검출 및 보정 데이터의 작성을 영역(22)마다 행한다고 하였지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 프린트 기판의 전체 영역에 대하여 일괄적으로 같은 최소 스페이스의 설정을 행하여, 결함 개소의 검출 및 보정 데이터의 작성을 행하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 보정 데이터가 데이터베이스(15)에서, 기판의 재료 및 에칭 공정 별로 관리되어 기억되어 있음으로써, 예를 들면, 생산 라인 상에서 기판의 재료를 변경한 경우 등에 대하여 신속하게 최적의 보정을 행할 수 있다.
또한, 상기 보정 데이터에 기초하여 노광 처리한 후, 그와 같이 하여 작성된 프린트 기판에 기초하여 그 보정 데이터의 수정을 행함으로써, 제조 기판의 품질 유지, 및 작업자, 공정, 재료에 의한 품질의 불균형의 저감을 도모하는 것이 가능해진다.
또, 본 실시형태에 관한 선간 보정과 상술한 제1 실시형태에 관한 선폭 보정을 조합하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 선간 보정을 선폭 보정 후에 행하는 것이 바람직하다. 즉, 선폭 보정의 보정 데이터가 노광 장치(12)에 피드백된 후에 선간 보정을 행하는 것이 바람직하다. 이는, 배선 패턴 형성 장치에서 배선 패턴이 형성되는 단계에서 발생하는 결함 중, 근접 효과에 의한 결함과 선폭 변화에 의한 결함을 구별할 수 없는 상태로 혼재하고 있기 때문이다. 예컨대, 최소 스페이스에 차지 않는 선간이 있었다고 해도, 선폭 보정을 행하는 것만으로 그 선간에 충분한 스페이스가 확보되는 경우가 있어, 선폭 변화에 의한 결함을 보정한 후에 근접 효과에 의한 결함을 보정함으로써, 각 보정을 효율적으로 또한 높은 정밀도로 행할 수 있다.
(제3 실시형태)
다음에, 본 발명에서의 제3 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에 관해서 설명한다. 본 실시형태에서는, 배선 패턴의 결락이나 돌기에 대한 보정 방법에 관해서 설명한다. 또, 본 실시형태에 관한 배선 형성 시스템은, 광학식 외관 검사 장치(13)가 구체적인 검사 방법 이외에는 제1 실시형태에서 설명한 도 1 및 도 2의 구성 및 처리의 흐름과 동일한 흐름이다. 따라서, 이하의 설명에서, 광학식 외관 검사 장치(13)의 구체적인 검사 방법 이외의 각 구성의 기능과 대략적인 처리의 흐름에 관해서는 설명을 생략한다.
본 실시형태에서, 도 1에 도시한 광학식 외관 검사 장치(13)는, 예컨대 복수의 촬상 카메라를 이용하여 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판(21)을 촬상하여, 해당 프린트 기판(21)의 화상 데이터를 취득한다. 광학식 외관 검사 장치(13)는, 이 배선 패턴 형성 후의 화상 데이터와 마스터 화상 데이터를 비교하여, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판(21)에 포함되는 결함 개소(결락 또는 돌기)를 검출한다.
여기서, 도 11을 참조하여, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판(21)에 포함되는 결락 또는 돌기의 검출 방법에 관해서 구체적으로 설명한다. 도 11은, 마스터 화상 데이터와 배선 패턴 형성 후의 화상 데이터를 비교하여 검출되는 결락의 일례를 도시하는 도면이다. 도 11에서, 1개의 검은 사각이 1개의 화소에 대응하고 있고, 해당 검은 사각의 집합에 의해 형성되는 도형은 배선 패턴의 일부를 나타내고 있다. 도 11에 도시하는 바와 같이, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 우선 마스터 화상 데이터와 배선 패턴 형성 후의 화상 데이터를 비교한다. 그리고, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 각 화상 데이터의 차가 미리 설정된 소정의 화소 수 이상 존재하면, 결함 개소로서 검출한다.
여기서, 상기 결함 개소의 종류에는, 「결락」과 「돌기」가 있다. 「결락」이란, 배선 패턴이 미리 설정된 소정의 화소 수보다도 작아져 있거나, 또는 배선 패턴의 일부가 소실되어 있는 개소를 말한다. 또한, 「돌기」란, 배선 패턴이 미 리 설정된 소정의 화소 수보다도 커져 있거나, 또는 배선 패턴의 일부에 의도하지 않은 패턴이 부가되어 있는 개소를 말한다. 그리고, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 디자인 룰 체크를 이용한 선(線) 인식 알고리즘을 이용하여, 검출한 결함 개소가 「결락」인지 「돌기」인지를 판별한다. 「결락」 및 「돌기」가 판별된 결함 개소는, 그 「결락」 또는 「돌기」의 정보와 함께, 「결락」 또는 「돌기」의 크기 및 좌표 위치가 데이터베이스(15)에 디지털 데이터로 기억된다.
여기서, 「결락」 또는 「돌기」에 대한 보정 방법에 관한 구체적인 설명에 앞서, 도 12에 도시하는 모식도를 이용하여 개략을 설명한다. 도 12는, 「결락」 또는 「돌기」에 대한 보정 방법의 개략을 도시하는 모식도이다. 도 12에서, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 배선 패턴 형성 후의 화상 데이터와 마스터 화상 데이터를 비교하여, 결함 개소를 검출한다. 그리고, 정보 관리 시스템(14)은, 해당 결함 개소의 정보에 기초하여 보정 데이터를 작성하여, 노광 장치(12)에 피드백한다. 노광 장치(12)가 보정 데이터에 기초하여, 설계 데이터 또는 노광용 화상 데이터를 보정한다.
다음에, 도 13을 참조하여, 「결락」 또는 「돌기」 에 대한 구체적인 보정 방법에 관해서 설명한다. 도 13은, 제3 실시형태에 관한 배선 형성 시스템의 처리의 흐름을 도시하는 플로우 차트이다. 도 13에서, 우선 설계 데이터 작성 장치(11)에서 설계 데이터가 작성된다(단계(S311)). 단계(S311)의 다음에, 노광 장치(12)에서, 설계 데이터로부터 노광용 화상 데이터가 작성되어, 해당 노광용 화상 데이터에 기초하여 노광 처리가 행하여진다(단계(S312)). 노광 후의 프린트 기판 은, 배선 패턴 형성 장치(비 도시)에서, 에칭이나 도금 공정 처리가 실시되어, 프린트 기판 상에 배선 패턴이 형성된다(단계(S313)).
단계(S313)의 다음에, 광학식 외관 검사 장치(13)에서, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판의 화상 데이터와 마스터 화상 데이터가 비교된다(단계(S314)). 그리고, 광학식 외관 검사 장치(13)는, 이 비교에 의해, 「결락」 또는 「돌기」를 검출한다(단계(S315)). 또, 단계(S315)에서 검출된 「결락」 또는 「돌기」는, 그 종류와 함께, 「결락」 또는 「돌기」의 크기 및 좌표 위치가 데이터베이스(15)에 디지털 데이터로 기억된다.
단계(S315)의 다음에, 정보 관리 시스템(14)은, 동일한 결함 개소(동일한 좌표 위치의 「결락」 또는 「돌기」) 에서, 미리 설정한 결함의 발생 정도(빈도)보다도 결함이 집중되는지 아닌지를 판단한다(단계(S316)). 여기서, 결함의 빈도로서 상술한 제2 실시형태와 동일하게, 복수의 프린트 기판의 검사 결과를 참조하여, 예를 들어, 동일 개소에서의 결함이 소정 횟수를 초과한 경우, 동일 개소에서의 결함율이 소정 비율을 초과한 경우, 또는, 동일 개소에서의 결함이 소정 수 연속하여 검출된 경우 등을 설정해둔다. 단계(S316)에서, 단계(S315)에서 검출된 「결락」 또는 「돌기」 중, 소정의 빈도를 넘지 않는 결함에 대해서는, 특정한 기판에만 발생한 결함으로 하여 처리를 종료한다. 또한, 단계(S316)에서, 단계(S315)에서 검출된 「결락」 또는 「돌기」 중, 소정의 빈도를 넘는 결함에 대해서는, 원래의 화상 데이터가, 에칭 처리 등에 대하여 부적당하다고 판단하고, 처리를 단계(S317)로 진행시킨다.
단계(S317)에서, 정보 관리 시스템(14)은, 데이터베이스(15)에 기억되어 있는 복수의 프린트 기판의 검사 결과(「결락」 또는 「돌기」의 크기)를 참조하여, 소정 빈도를 넘는 결함에 대해서 그 크기의 통계값, 종류(「결락」 또는 「돌기」), 및 결함의 좌표 위치를 보정 데이터로서 작성한다. 이 결함의 크기의 통계값은, 예를 들면 데이터베이스(15)에 기억되어 있는 복수의 프린트 기판의 결함의 크기의 평균으로 한다. 또한 예를 들면, 이 결함의 크기의 통계값을, 데이터베이스(15)에 기억되어 있는 복수의 프린트 기판의 결함의 크기 중의 최소값, 최대값, 또는 최다 빈도의 값으로 하여도 좋다. 여기서 예컨대, 「결락」이라는 결함이 검출된다고 한다. 이 결함의 빈도가 소정의 빈도를 초과한 경우, 같은 결함 개소에서, 정보 관리 시스템(14)은 복수의 프린트 기판에서의 「결락」의 크기의 통계값, 「결락」이라는 종류, 그 좌표 위치를 보정 데이터로서 작성한다. 또, 정보 관리 시스템(14)에서 작성된 보정 데이터는, 디지털 데이터로, 프린트 기판 재료별, 에칭 공정 등의 제조 공정별로 데이터베이스(15)에 기억된다. 단계(S317)에서 작성된 보정 데이터는, 단계(S312)로 되돌아가, 노광 장치(12)에 피드백된다.
또, 보정 데이터는, 상술한 바와 같이, 프린트 기판 재료별, 에칭 공정 등의 제조 공정별로 데이터베이스(15)에 기억되어 있다. 그래서, 하기 식에 나타내는 계산식을 이용하여, 프린트 기판 재료나 에칭 공정 등의 제조 공정에 따라서 보정량을 구하는 것도 가능하다.
(보정량) = (결락, 돌기의 크기의 평균) × (기판 재료 변수) × (공정 변수)
위의 식에서, 기판 재료 변수란, 프린트 기판의 재료에 따라서 상이한 변수이다. 공정 변수란, 프린트 기판의 제조 공정에 따라서 상이한 변수이다. 또, 전술한 선폭 보정이나 선간 보정에 대해서도 동일하다.
단계(S317)의 다음 단계(S312)에서, 노광 장치(12)는, 상기 보정 데이터에 기초하여, 결함 개소에 대응하는 노광용 화상 데이터의 일부 영역에 대하여 굵어지게 하거나 또는 가늘어지게 하는 처리를 행한다. 「결락」에 대해서는 굵어지게 하는 처리를 행하고, 「돌기」에 대해서는 가늘어지게 하는 처리를 행한다. 또, 이 굵어지게 하는 처리 및 가늘어지게 하는 처리는, 일반적인 화상 처리로서 주지이다. 예를 들어, 목표 화소의 4근방 또는 8근방의 화소값을 변경하는 처리이고, 가늘어지게 하거나, 굵어지게 하는 필요한 양에 따른 단회분(段回分)만큼 수축, 확대를 행하면 된다. 또한, 설계 데이터이면, 해당 부분의 패턴을 소정의 사이즈로 확대 또는 축소하도록 변배하여도 된다.
또, 정보 관리 시스템(14)은, 보정 데이터를 노광 장치(12)에 피드백한다고 하였지만, 원래의 노광용 화상 데이터를 정보 관리 시스템(14)에서 보정하여, 해당 보정된 노광용 화상 데이터를 노광 장치(12)에 보내도록 하여도 좋다. 또한, 최종적으로 노광 장치(12)에서 굵어지게 하는 처리 및 가늘어지게 하는 처리를 행하는 패턴 형상이나 크기는, 설정 변경 가능한 것으로 한다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관한 배선 형성 시스템은, 배선 패턴의「결락」이나 「돌기」를 검출하고, 복수의 프린트 기판의 검출 결과를 참조하여 보정 데이터를 작성하여, 해당 보정 데이터를 노광 장치(12)에 피드백한다. 이에 의해, 예 를 들어, 「결락」이나 「돌기」를 포함하는 배선 패턴이 형성되어도, 결함 개소마다 상이한 발생 빈도에 적응한 보정을 행할 수 있다. 즉, 실제의 프린트 기판의 제조에 적응한 보정을 행할 수 있어, 생산성의 향상 및 고품질 프린트 기판의 생산을 실현할 수 있다.
또, 상기 보정 데이터가 데이터베이스(15)에서, 기판의 재료 및 에칭 공정별로 관리되어 기억되어 있음으로써, 예를 들면, 생산 라인 상에서 기판의 재료를 변경한 경우 등에 대하여 신속하게 최적의 보정을 행할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 관한 결락·돌기 보정과 상술한 제1 실시형태에 관한 선폭 보정을 조합하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 결락·돌기 보정을 선폭 보정 후에 행하는 것이 바람직하다. 「결락」이나 「돌기」는, 마스터 화상 데이터와 실제의 프린트 기판의 화상 데이터가 비교됨으로써 검출되는 것이다. 따라서, 가령 배선 패턴 형성 후의 배선 패턴의 선폭이 설계 데이터의 선폭과 상이한 경우, 이 선폭의 차가 「결락」이나 「돌기」로서 검출될 우려가 있기 때문이다. 따라서, 선폭 보정을 행한 후에 「결락」이나 「돌기」에 대한 보정을 행함으로써, 각 보정을 효율적으로 또한 높은 정밀도로 행할 수 있다. 또한 마찬가지로, 본 실시형태에 관한 결락·돌기 보정과 제1 실시형태에 관한 선폭 보정과 제2 실시형태에 관한 선간 보정을 조합하는 것도 가능하다. 이 경우에도 선폭 보정을 처음에 행하는 것이 바람직하다.
(제4 실시형태)
다음에, 본 발명에서의 제4 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에 관해서 설 명한다. 본 실시형태에서는, 프린트 기판의 신축율에 기초하는 스케일링 보정에 관해서 설명한다. 상술한 제1∼제3 실시형태에 관한 배선 형성 시스템에서는, 결함을 검출할 때, 마스터 화상 데이터와 배선 패턴 형성 후의 화상 데이터를 비교하는 처리가 행하여지고 있었다. 여기서, 2개의 화상 데이터를 높은 정밀도로 비교하기 위해서는, 통상, 2개의 화상 데이터의 위치 및 사이즈를 맞추는 얼라인먼트 처리가 실시되고 있다. 즉, 광학식 외관 검사 장치(13)에서의 얼라인먼트 처리의 과정에 의해서 얻어지는 프린트 기판의 신축율을 보정 데이터로서 노광 장치(12)에 피드백함으로써, 해당 프린트 기판의 신축율에 기초하는 스케일링 보정이 가능해진다. 또한, 본 실시형태에 관한 배선 형성 시스템은, 제1 실시형태에서 설명한 도 1 및 도 2의 구성 및 처리의 흐름과 동일하므로, 각 구성의 기능과 대략적인 처리의 흐름에 관해서는 설명을 생략한다. 또한, 본 실시형태에서는, 3점 얼라인먼트 기능을 갖는 얼라인먼트 처리를 적용한 경우에 관해서 설명한다.
얼라인먼트 처리는, 상술한 바와 같이, 결함을 검출할 때, 배선 패턴 형성 후의 화상 데이터와 마스터 화상 데이터를 높은 정밀도로 비교 가능하게 하기 위해서, 이들 2개의 화상 데이터의 위치 및 사이즈 맞춤을 행하기 위한 처리이다. 얼라인먼트 처리에서는, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판 상의 2개소 이상의 특징점(이하, 얼라인먼트 점이라고 한다)을 촬상하여, 이들의 위치와 마스터 화상 데이터 상의 대응하는 얼라인먼트 점의 위치가 비교된다. 또, 특징점으로는, 예를 들어, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판 또는 마스터 화상 데이터의 소정 위치에 미리 붙인 십자 마크를 이용할 수 있다. 얼라인먼트 처리는, 예를 들어 3점 얼라인먼트 기능에 의해 실현된다.
여기서, 도 14를 참조하여 3점 얼라인먼트 기능에 관해서 설명한다. 도 14는, 3점 얼라인먼트 기능에 관해서 설명하기 위한 도면이다. 3점 얼라인먼트 기능이란, 도 14a에 도시하는 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판에서의 3개의 얼라인먼트 점(M1∼M3)과, 도면 14b에 도시하는 마스터 화상 데이터에서의 3개의 얼라인먼트 점(O1∼O3)에 기초하여, 배선 패턴 형성 후의 프린트 기판의 X축 방향의 신축율(ΔXo/ΔXm) 및 Y축 방향의 신축율(ΔYo/ΔYm)을 각각 산출하여, 산출된 X축 방향 및 Y축 방향의 신축율에 따라서 마스터 화상의 X축 방향 및 Y축 방향의 스케일을 변경하는 기능이다. 여기서, 정보 관리 시스템(14)은, 얼라인먼트 처리로 산출된 X축 방향 및 Y축 방향의 신축율을 보정 데이터로서 노광 장치(12)에 피드백한다. 노광 장치(12)는, 산출된 X축 방향 및 Y축 방향의 신축율에 따라서, 설계 데이터나 노광용 화상 데이터를 보정한다. 또한, 얼라인먼트 점을 다수 설정하여, 각 얼라인먼트 점 사이, 즉 영역마다 각각 상이한 신축율로 보정하도록 하여도 좋다.
이상과 같이, 얼라인먼트 처리로 산출된 X축 방향 및 Y축 방향의 신축율을 보정 데이터로서 노광 장치(12)에 피드백함으로써, 프린트 기판이 표준 상태보다도 팽창 또는 수축하여도, 그것에 대응한 배선 패턴의 형성을 행할 수 있다.
또, 얼라인먼트 처리에서 산출된 X축 방향의 신축율 또는 Y축 방향의 신축율은, 정보 관리 시스템(14)에 의해서, 디지털 데이터로, 프린트 기판 재료별, 에칭 정도 등의 제조 공정별로 데이터베이스(15)에 기억된다. 이에 의해, 예를 들어, 생산 라인 상에서 기판의 재료를 변경한 경우 등에 대하여 신속하게 최적의 보정을 행할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은, 실제 제조 상에서 발생하는 다양한 결함에 대하여 정밀도가 높은 보정을 각각 행함으로써, 프린트 기판의 생산성의 향상을 도모하는 것을 가능하게 한다.
이상, 본 발명을 상세히 설명하였으나, 전술의 설명은 모든 점에서 본 발명의 예시에 지나지 않고, 그 범위를 한정하고자 하는 것이 아니다. 본 발명의 범위를 일탈하지 않고서 다양한 개량이나 변형을 행할 수 있다는 것은 말할 필요도 없다.
본 발명에 의하면, 실제 제조 상에서 발생하는 다양한 결함에 대하여 정밀도가 높은 보정을 각각 행함으로써, 프린트 기판의 생산성의 향상을 도모할 수 있다.

Claims (17)

  1. 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 방법으로서,
    상기 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 단계와,
    복수의 프린트 기판에 대해서, 상기 노광 단계에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 배선 패턴의 선폭의 크기와 그 빈도의 관계를 나타내는 선폭 히스토그램을 단위 영역마다 각각 작성하고, 해당 선폭 히스토그램을 이용하여 해당 단위 영역에서의 배선 패턴의 선폭을 검출하는 선폭 측정 단계와,
    상기 선폭 측정 단계에서 측정된 복수의 프린트 기판의 선폭과, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터의 선폭을 상기 단위 영역마다 비교함으로써, 상기 단위 영역별 선폭 보정 데이터를 작성하는 선폭 보정 데이터 작성 단계와,
    상기 선폭 보정 데이터를 제조 조건별로 데이터 베이스에 축적하는 축적 단계와,
    상기 데이터 베이스에 기억된 선폭 보정 데이터를 이용하여, 상기 노광 단계에서 이용되는 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터를 보정하는 선폭 보정 단계와,
    상기 선폭 보정 단계에서 보정된 보정 후의 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 이용하여 작성된 프린트 기판의 배선 패턴을 광학적으로 검사하고, 해당 프린트 기판의 배선 패턴의 선폭을 측장하여, 측장한 선폭과, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터의 선폭과의 차분값을 상기 단위 영역마다 검출하는 선폭 재측정 단계와,
    상기 선폭 재측정 단계에서 어느 하나의 단위 영역에서 차분값이 검출되었을 때에, 해당 차분값에 기초하여 상기 데이터 베이스에 기억되어 있는 선폭 보정 데이터를 수정하는 수정 단계를 구비하는, 배선 형성 방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 선폭 측정 단계는, 상기 단위 영역마다, 상기 선폭 히스토그램에서 가장 높은 빈도의 선폭을 해당 단위 영역에서의 배선 패턴의 선폭으로서 검출하는 것을 특징으로 하는 배선 형성 방법.
  5. 삭제
  6. 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 시스템으로서,
    상기 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 장치와,
    복수의 프린트 기판에 대해서, 상기 노광 장치에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 배선 패턴의 선폭의 크기와 그 빈도의 관계를 나타내는 선폭 히스토그램을 단위 영역마다 각각 작성하고, 해당 선폭 히스토그램을 이용하여 해당 단위 영역에서의 배선 패턴의 선폭을 검출하는 선폭 측정 장치와,
    상기 선폭 측정 장치에서 측정된 복수의 프린트 기판의 선폭과, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터의 선폭을 상기 단위 영역마다 비교함으로써, 상기 단위 영역별 선폭 보정 데이터를 작성하는 선폭 보정 데이터 작성 장치와,
    상기 선폭 보정 데이터를 제조 조건별로 데이터 베이스에 축적하는 축적 장치와,
    상기 데이터 베이스에 기억된 선폭 보정 데이터를 이용하여, 상기 노광 장치에서 이용되는 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터를 보정하는 선폭 보정 장치와,
    상기 선폭 보정 장치에서 보정된 보정 후의 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 이용하여 작성된 프린트 기판의 배선 패턴을 광학적으로 검사하고, 해당 프린트 기판의 배선 패턴의 선폭을 측장하여, 측장한 선폭과 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터의 선폭과의 차분값을 상기 단위 영역마다 검출하는 선폭 재측정 장치와,
    상기 선폭 재측정 장치에서 어느 하나의 단위 영역에서 차분값이 검출되었을 때에, 해당 차분값에 기초하여 상기 데이터 베이스에 기억되어 있는 선폭 보정 데이터를 수정하는 수정 장치를 구비하는, 배선 형성 시스템.
  7. 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 방법으로서,
    상기 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 단계와,
    복수의 프린트 기판에 대해서, 상기 노광 단계에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 배선 패턴의 선간을 측정하는 선간 측정 단계와,
    상기 선간 측정 단계에서 측정된 복수의 프린트 기판의 선간의 정보에 기초하여, 소정의 빈도를 초과하는 빈도로 선간의 결함이 발생하고 있는지의 여부를 판단하여, 해당 판단 결과가 긍정인 경우에 선간 보정 데이터를 작성하는 선간 보정 데이터 작성 단계와,
    상기 선간 보정 데이터를 제조 조건별로 데이터 베이스에 축적하는 축적 단계와,
    상기 데이터 베이스에 기억된 선간 보정 데이터를 이용하여, 상기 노광 단계에서 이용되는 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터를 보정하는 선간 보정 단계와,
    상기 선간 보정 단계에서 보정된 보정후의 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 이용하여 작성된 프린트 기판의 배선 패턴을 광학적으로 검사하고, 해당 프린트 기판의 배선 패턴의 선간을 측장하여, 측장한 선간과 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터의 선간과의 차분값을 검출하는 선간 재측정 단계와,
    상기 선간 재측정 단계에서 차분값이 검출된 경우에, 해당 차분값에 기초하여 상기 선간 보정 데이터를 수정하는 수정 단계를 구비하는, 배선 형성 방법.
  8. 삭제
  9. 청구항 7에 있어서, 상기 선간 보정 데이터 작성 단계는, 상기 선간의 결함이 소정의 빈도를 초과한 빈도로 발생하고 있는 개소에 대해서, 해당 결함 개소에서의 상기 복수의 프린트 기판의 선간의 평균값, 최대값, 최소값, 또는 최다 빈도값을 이용하여 상기 선간 보정 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 배선 형성 방법.
  10. 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 시스템으로서,
    상기 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 장치와,
    복수의 프린트 기판에 대해서, 상기 노광 장치에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 배선 패턴의 선간을 측정하는 선간 측정 장치와,
    상기 선간 측정 장치에서 측정된 복수의 프린트 기판의 선간의 정보에 기초하여, 소정의 빈도를 초과하는 빈도로 선간의 결함이 발생하고 있는지의 여부를 판단하여, 해당 판단 결과가 긍정인 경우에 선간 보정 데이터를 작성하는 선간 보정 데이터 작성 장치와,
    상기 선간 보정 데이터를 제조 조건별로 데이터 베이스에 축적하는 축적 장치와,
    상기 데이터 베이스에 기억된 선간 보정 데이터를 이용하여, 상기 노광 장치에서 이용되는 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터를 보정하는 선간 보정 장치와,
    상기 선간 보정 장치에서 보정된 보정후의 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 이용하여 작성된 프린트 기판의 배선 패턴을 광학적으로 검사하고, 해당 프린트 기판의 배선 패턴의 선간을 측장하여, 측장한 선간과 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터의 선간과의 차분값을 검출하는 선간 재측정 장치와,
    상기 선간 재측정 장치에서 차분값이 검출된 경우에, 해당 차분값에 기초하여 상기 선간 보정 데이터를 수정하는 수정 장치를 구비하는, 배선 형성 시스템.
  11. 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 방법으로서,
    상기 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 단계와,
    복수의 프린트 기판에 대해서, 상기 노광 단계에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 화상 데이터와 기준 화상 데이터를 비교하여, 해당 2개의 화상 데이터의 배선 패턴에 관해서 소정의 화소 수를 넘는 차이가 존재하는 개소를 결함 개소로서 검출하는 결락 돌기 검출 단계와,
    상기 결락 돌기 검출 단계에서 검출된 복수의 프린트 기판의 결함 개소의 정보에 기초하여, 소정의 빈도를 초과하는 빈도로 결함이 발생하고 있는지의 여부를 판단하여, 해당 판단 결과가 긍정인 경우에 결락 돌기 보정 데이터를 작성하는 결락 돌기 보정 데이터 작성 단계와,
    상기 결락 돌기 보정 데이터를 제조 조건별로 데이터 베이스에 축적하는 축적 단계와,
    상기 데이터 베이스에 기억된 결락 돌기 보정 데이터를 이용하여, 상기 노광 단계에서 이용되는 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터를 보정하는 결락 돌기 보정 단계와,
    상기 결락 돌기 보정 단계에서 보정된 보정후의 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 이용하여 작성된 프린트 기판의 화상 데이터와 기준 화상 데이터를 비교하여, 해당 두 개의 화상 데이터의 배선 패턴에 관하여 소정의 화소수를 넘는 차이가 존재하는 개소를 결함 개소로서 검출하는 결락 돌기 재검출 단계와,
    상기 결락 돌기 재검출 단계에서 결함 개소가 검출된 경우에, 해당 결함 개소에 기초하여 상기 데이터 베이스에 기억되어 있는 결락 돌기 보정 데이터를 수정하는 수정 단계를 구비하는, 배선 형성 방법.
  12. 삭제
  13. 청구항 11에 있어서, 상기 결락 돌기 보정 데이터 작성 단계는, 상기 결함이 소정의 빈도를 초과한 빈도로 발생하고 있는 개소에 대해서, 해당 결함 개소에서의 상기 복수의 프린트 기판의 화상 데이터와 기준 화상 데이터간의 차이의 평균값, 최대값, 최소값, 또는 최다 빈도값을 이용하여 상기 결락 돌기 보정 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 배선 형성 방법.
  14. 청구항 11 또는 청구항 13에 있어서, 상기 결락 돌기 보정 데이터는, 상기 배선 패턴의 차이의 크기에 따라서, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터를 확대 또는 축소하는 것인 배선 형성 방법.
  15. 기판에 노광 처리를 실시하여 배선 패턴을 형성하는 프린트 기판의 배선 형성 시스템으로서,
    상기 배선 패턴에 관한 설계 데이터 혹은 해당 설계 데이터에 기초하는 노광용 화상 데이터를 이용하여 직접 기판을 노광하거나, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터에 기초하여 작성한 마스크를 이용하여 기판을 노광하는 노광 장치와,
    복수의 프린트 기판에 대해서, 상기 노광 장치에 의한 노광 처리를 거쳐 최종적으로 배선 패턴이 형성된 프린트 기판의 화상 데이터와 기준 화상 데이터를 비교하여, 해당 2개의 화상 데이터의 배선 패턴에 관해서 소정의 화소 수를 넘는 차이가 존재하는 개소를 결함 개소로서 검출하는 결락 돌기 검출 장치와,
    상기 결락 돌기 검출 장치에서 검출된 복수의 프린트 기판의 결함 개소의 정보에 기초하여, 소정의 빈도를 초과하는 빈도로 결함이 발생하고 있는지의 여부를 판단하여, 해당 판단 결과가 긍정인 경우에 결락 돌기 보정 데이터를 작성하는 결락 돌기 보정 데이터 작성 장치와,
    상기 결락 돌기 보정 데이터를 제조 조건별로 데이터 베이스에 축적하는 축적 장치와,
    상기 데이터 베이스에 기억된 결락 돌기 보정 데이터를 이용하여, 상기 노광 장치에서 이용되는 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터를 보정하는 결락 돌기 보정 장치와,
    상기 결락 돌기 보정 장치에서 보정된 보정후의 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터를 이용하여 작성된 프린트 기판의 화상 데이터와 기준 화상 데이터를 비교하여, 해당 두 개의 화상 데이터의 배선 패턴에 관하여 소정의 화소수를 넘는 차이가 존재하는 개소를 결함 개소로서 검출하는 결락 돌기 재검출 장치와,
    상기 결락 돌기 재검출 장치에서 결함 개소가 검출된 경우에, 해당 결함 개소에 기초하여 상기 데이터 베이스에 기억되어 있는 결락 돌기 보정 데이터를 수정하는 수정 장치를 구비하는, 배선 형성 시스템.
  16. 청구항 15에 있어서, 상기 결락 돌기 보정 데이터는, 상기 배선 패턴의 차이의 크기에 따라서, 상기 설계 데이터 혹은 상기 노광용 화상 데이터를 확대 또는 축소하는 것인 배선 형성 시스템.
  17. 청구항 1에 기재된 노광 단계와 선폭 측정 단계와 선폭 보정 데이터 작성 단계와 선폭 보정 단계로 이루어지는 선폭 보정 처리를 행한 후, 해당 선폭 보정 처리에서 보정된 설계 데이터 혹은 노광용 화상 데이터에 기초하여,
    청구항 7에 기재된 노광 단계와 선간 측정 단계와 선간 보정 데이터 작성 단계와 선간 보정 단계로 이루어지는 선간 보정 처리, 및, 청구항 11에 기재된 노광 단계와 결락 돌기 검출 단계와 결락 돌기 보정 데이터 작성 단계와 결락 돌기 보정 단계로 이루어지는 결락 돌기 보정 처리 중, 적어도 한쪽의 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 배선 형성 방법.
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